JPH11173825A - プリズムの直角度測定方法 - Google Patents
プリズムの直角度測定方法Info
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- JPH11173825A JPH11173825A JP36213997A JP36213997A JPH11173825A JP H11173825 A JPH11173825 A JP H11173825A JP 36213997 A JP36213997 A JP 36213997A JP 36213997 A JP36213997 A JP 36213997A JP H11173825 A JPH11173825 A JP H11173825A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 直角プリズムの直角２面以外の形状に拘わら
ず、その直角度，面精度を、簡便かつ高精度に測定でき
る測定方法を提供する。 【解決手段】 プリズム１４は被測定直角２面２′，
３′を除く部分がマッチング液１５に浸され、レーザー
位相測定干渉計４のレーザー光１１の方向に対し、被測
定直角２面２′，３′を各４５°に、マッチング液１５
の液面１７を垂直にそれぞれ配置されている。プリズム
１４の被測定直角２面２′，３′以外の部分がプリズム
１４と等しい屈折率のマッチング液１５で浸されている
ため、レーザー位相測定干渉計４のレーザー光１１が入
射する側のプリズム面１３が如何なる形状であってもマ
ッチング液１５によってキャンセルされ、被測定直角２
面２′，３′の直角度，面精度を評価することができ
る。
ず、その直角度，面精度を、簡便かつ高精度に測定でき
る測定方法を提供する。 【解決手段】 プリズム１４は被測定直角２面２′，
３′を除く部分がマッチング液１５に浸され、レーザー
位相測定干渉計４のレーザー光１１の方向に対し、被測
定直角２面２′，３′を各４５°に、マッチング液１５
の液面１７を垂直にそれぞれ配置されている。プリズム
１４の被測定直角２面２′，３′以外の部分がプリズム
１４と等しい屈折率のマッチング液１５で浸されている
ため、レーザー位相測定干渉計４のレーザー光１１が入
射する側のプリズム面１３が如何なる形状であってもマ
ッチング液１５によってキャンセルされ、被測定直角２
面２′，３′の直角度，面精度を評価することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリズムの直角度
測定方法、より詳細には、光学機器に用いられる光学ガ
ラス製プリズム，光学プラスチック成形プリズムの直角
度，面精度の測定方法に関する。
測定方法、より詳細には、光学機器に用いられる光学ガ
ラス製プリズム，光学プラスチック成形プリズムの直角
度，面精度の測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】直角プリズムやルーフ（屋根型）ミラー
などの直角度，面精度を評価する方法として、従来より
コリメータを使用するか、表面粗さ計で隣り合う２面の
面粗さを測定し、その面粗さを直線近似し、角度を演算
させる方法等が用いられていた。また、特開平８−２１
９７４３公報「プラスチック成形品の評価方法」にある
ように、レーザー光による位相測定干渉計を用いる方法
が知られている。
などの直角度，面精度を評価する方法として、従来より
コリメータを使用するか、表面粗さ計で隣り合う２面の
面粗さを測定し、その面粗さを直線近似し、角度を演算
させる方法等が用いられていた。また、特開平８−２１
９７４３公報「プラスチック成形品の評価方法」にある
ように、レーザー光による位相測定干渉計を用いる方法
が知られている。
【０００３】図７は、レーザー位相測定干渉計を用いた
従来例を示す図で、図中、１はルーフミラー、２，３は
隣り合う各々の面、４はレーザー位相測定干渉計、５は
λ／４偏光板、６はレーザー光源、７はビームスプリッ
タ、８はコリメータレンズ、９は基準参照面、１０は干
渉面、１１，１２はレーザーの入反射光である。レーザ
ー位相測定干渉計４のコリメータレンズ８により平行光
となったレーザー光の一部は基準参照面９で反射され、
他の一部は基準参照面９を透過して、被測定物（ここで
はルーフミラー）１に向け入射する。入射光１１は、被
測定物１の直角に交わる平面２，３に入射し、反射され
る。この結果、反射光１２の光波面と基準参照面９から
反射された光波面とが干渉し、干渉面１０に干渉縞パタ
ーンを発生させ、基準参照面９に対する被測定面の面形
状が表示される。この干渉縞パターンにより面２と面３
とのなす直角度，面精度を評価するものである。
従来例を示す図で、図中、１はルーフミラー、２，３は
隣り合う各々の面、４はレーザー位相測定干渉計、５は
λ／４偏光板、６はレーザー光源、７はビームスプリッ
タ、８はコリメータレンズ、９は基準参照面、１０は干
渉面、１１，１２はレーザーの入反射光である。レーザ
ー位相測定干渉計４のコリメータレンズ８により平行光
となったレーザー光の一部は基準参照面９で反射され、
他の一部は基準参照面９を透過して、被測定物（ここで
はルーフミラー）１に向け入射する。入射光１１は、被
測定物１の直角に交わる平面２，３に入射し、反射され
る。この結果、反射光１２の光波面と基準参照面９から
反射された光波面とが干渉し、干渉面１０に干渉縞パタ
ーンを発生させ、基準参照面９に対する被測定面の面形
状が表示される。この干渉縞パターンにより面２と面３
とのなす直角度，面精度を評価するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のレーザー位相測
定干渉計による測定は簡便かつ高精度なものであり、被
測定物がルーフミラーである場合は有効な評価方法であ
る。しかしながら、被測定物がプリズムである場合は、
図８に示すように、測定レーザー入射光１１がプリズム
１４に入射する面１３の形状が平面以外であった場合、
原理的に測定が不可能であるという問題点があり、さら
に面１３が平面であったとしても、面１３の面精度が測
定干渉縞パターンに影響を及ぼし、プリズム面精度の正
確な測定が行えないという問題点があった。
定干渉計による測定は簡便かつ高精度なものであり、被
測定物がルーフミラーである場合は有効な評価方法であ
る。しかしながら、被測定物がプリズムである場合は、
図８に示すように、測定レーザー入射光１１がプリズム
１４に入射する面１３の形状が平面以外であった場合、
原理的に測定が不可能であるという問題点があり、さら
に面１３が平面であったとしても、面１３の面精度が測
定干渉縞パターンに影響を及ぼし、プリズム面精度の正
確な測定が行えないという問題点があった。
【０００５】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、直角プリズムの直角２面以外の形状に拘わらず、
その直角度，面精度を、簡便かつ高精度に測定できる評
価方法を実現することを目的としてなされたものであ
る。
ので、直角プリズムの直角２面以外の形状に拘わらず、
その直角度，面精度を、簡便かつ高精度に測定できる評
価方法を実現することを目的としてなされたものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、隣り
合う平面のなす角度が直角な形状を有するプリズムにお
ける前記平面の直角度及び面精度を、位相測定干渉計か
ら出射されるレーザー光を前記平面に照射して２面反射
させ、その結果得られた波面形状により、前記プリズム
の直角度及び面精度を測定するプリズム直角度測定方法
において、測定されるプリズムと等しい屈折率をもつ液
体で該プリズムの一部を浸して測定することを特徴とし
たものである。
合う平面のなす角度が直角な形状を有するプリズムにお
ける前記平面の直角度及び面精度を、位相測定干渉計か
ら出射されるレーザー光を前記平面に照射して２面反射
させ、その結果得られた波面形状により、前記プリズム
の直角度及び面精度を測定するプリズム直角度測定方法
において、測定されるプリズムと等しい屈折率をもつ液
体で該プリズムの一部を浸して測定することを特徴とし
たものである。
【０００７】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、請求項１のプリズムの直角度測定方法において、測
定されるプリズムの直角をなす２面に反射膜被膜を形成
し、かつ、該プリズムと等しい屈折率をもつ液体で該プ
リズムの全てを浸して測定することを特徴としたもので
ある。
て、請求項１のプリズムの直角度測定方法において、測
定されるプリズムの直角をなす２面に反射膜被膜を形成
し、かつ、該プリズムと等しい屈折率をもつ液体で該プ
リズムの全てを浸して測定することを特徴としたもので
ある。
【０００８】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、測定されるプリズムを浸した液体の表面に形状精度
の良い透明平行平板を配置して測定することを特徴とし
たものである。
て、測定されるプリズムを浸した液体の表面に形状精度
の良い透明平行平板を配置して測定することを特徴とし
たものである。
【０００９】請求項４の発明は、請求項２の発明におい
て、測定されるプリズムを浸した液体の表面に形状精度
の良い透明平行平板を配置して測定することを特徴とし
たものである。
て、測定されるプリズムを浸した液体の表面に形状精度
の良い透明平行平板を配置して測定することを特徴とし
たものである。
【００１０】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、前記プリズムと等しい屈折率をもつ液体を満たすた
めの容器の底面が形状精度の良い透明平行平板で形成さ
れ、該容器円に該プリズムの被測定直角２面を上側に向
けて液面に配置し、レーザー位相測定干渉計のレーザー
光を下方より照射して測定することを特徴としたもので
ある。
て、前記プリズムと等しい屈折率をもつ液体を満たすた
めの容器の底面が形状精度の良い透明平行平板で形成さ
れ、該容器円に該プリズムの被測定直角２面を上側に向
けて液面に配置し、レーザー位相測定干渉計のレーザー
光を下方より照射して測定することを特徴としたもので
ある。
【００１１】
【発明の実施の形態】図６は、本発明におけるレーザー
位相測定干渉計による直角度の測定原理を説明するため
の図で、今、図６において、∠ＡＣＢを真の直角、∠
Ａ′ＣＢ′を被測定角（９０°＋α（直角度誤差））、
∠ＡＣＡ′＝∠ＢＣＢ′＝α／２、レーザー光による測
定幅をＷ、レーザー位相測定干渉計で計測される位相差
をΔλ、直角２面内を満たしている媒質の屈折率をｎと
すると、
位相測定干渉計による直角度の測定原理を説明するため
の図で、今、図６において、∠ＡＣＢを真の直角、∠
Ａ′ＣＢ′を被測定角（９０°＋α（直角度誤差））、
∠ＡＣＡ′＝∠ＢＣＢ′＝α／２、レーザー光による測
定幅をＷ、レーザー位相測定干渉計で計測される位相差
をΔλ、直角２面内を満たしている媒質の屈折率をｎと
すると、
【００１２】
【数１】
【００１３】直角をなしている稜線部の位相は、その角
度が増減しても変化しないため、レーザー位相測定干渉
計で測定される波面収差の直角稜線部とＷ／２離れた位
置との位相差Δλを用いることで、直角度誤差αを表す
ことができる。また、本測定方法で測定される干渉縞パ
ターンより、直角２平面の面精度も評価することができ
る。
度が増減しても変化しないため、レーザー位相測定干渉
計で測定される波面収差の直角稜線部とＷ／２離れた位
置との位相差Δλを用いることで、直角度誤差αを表す
ことができる。また、本測定方法で測定される干渉縞パ
ターンより、直角２平面の面精度も評価することができ
る。
【００１４】（請求項１の発明）図１は、請求項１の発
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、全図を
通して、同様の作用をする部分には同一の参照番号が付
してある。而して、図１に示す請求項１の発明において
は、レーザー位相測定干渉計４、プリズム１４、マッチ
ング液を満たすための容器１６、及びプリズム１４と等
しい屈折率をもつマッチング液１５から構成され、プリ
ズム１４と容器１６の接合部にはマッチング液の漏洩防
止処理が施されている。この実施例においては、図１に
示すように、プリズム１４の被測定直角２面２′，３′
を除く部分をマッチング液１５で浸し、レーザー位相測
定干渉計４のレーザー光１１の方向に対し、被測定直角
２面２′，３′を各４５°に、マッチング液１５の液面
１７を垂直にそれぞれ配置したことを特徴としている。
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、全図を
通して、同様の作用をする部分には同一の参照番号が付
してある。而して、図１に示す請求項１の発明において
は、レーザー位相測定干渉計４、プリズム１４、マッチ
ング液を満たすための容器１６、及びプリズム１４と等
しい屈折率をもつマッチング液１５から構成され、プリ
ズム１４と容器１６の接合部にはマッチング液の漏洩防
止処理が施されている。この実施例においては、図１に
示すように、プリズム１４の被測定直角２面２′，３′
を除く部分をマッチング液１５で浸し、レーザー位相測
定干渉計４のレーザー光１１の方向に対し、被測定直角
２面２′，３′を各４５°に、マッチング液１５の液面
１７を垂直にそれぞれ配置したことを特徴としている。
【００１５】従って、請求項１の発明によると、図１に
示したように、プリズム１４の被測定直角２面２′，
３′以外の部分をプリズム１４と等しい屈折率のマッチ
ング液１５で浸しているため、レーザー位相測定干渉計
４のレーザー光１１が入射する側のプリズム面１３が如
何なる形状であってもマッチング液１５によってキャン
セルされ、被測定直角２面２′，３′の直角度，面精度
を評価することが可能となる。
示したように、プリズム１４の被測定直角２面２′，
３′以外の部分をプリズム１４と等しい屈折率のマッチ
ング液１５で浸しているため、レーザー位相測定干渉計
４のレーザー光１１が入射する側のプリズム面１３が如
何なる形状であってもマッチング液１５によってキャン
セルされ、被測定直角２面２′，３′の直角度，面精度
を評価することが可能となる。
【００１６】（請求項２の発明）図２は、請求項２の発
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、この発
明は、図２に示すように、プリズム１４の被測定直角２
面２′，３′に反射膜、例えば、真空蒸着法で金属被膜
１８を形成した後、プリズム１４と等しい屈折率をもつ
マッチング液１５にプリズム全体を浸し、レーザー位相
測定干渉計４のレーザー光１１の方向に対し、被測定直
角２面２′，３′を各４５°に、マッチング液の液面１
７を垂直にそれぞれ配置したことを特徴としている。
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、この発
明は、図２に示すように、プリズム１４の被測定直角２
面２′，３′に反射膜、例えば、真空蒸着法で金属被膜
１８を形成した後、プリズム１４と等しい屈折率をもつ
マッチング液１５にプリズム全体を浸し、レーザー位相
測定干渉計４のレーザー光１１の方向に対し、被測定直
角２面２′，３′を各４５°に、マッチング液の液面１
７を垂直にそれぞれ配置したことを特徴としている。
【００１７】従って、請求項２の発明によると、請求項
１の発明の作用効果に加え、図２に示したように、プリ
ズム１４全体を該プリズム１４と等しい屈折率のマッチ
ング液１５で浸しているため、マッチング液の容器１６
とプリズム１４との接合部にマッチング液漏洩防止処理
が必要ないので、被測定直角２面２′，３′に反射膜１
８を形成する必要はあるものの、簡便に被測定直角２面
２′，３′の直角度，面精度を評価することが可能とな
る。
１の発明の作用効果に加え、図２に示したように、プリ
ズム１４全体を該プリズム１４と等しい屈折率のマッチ
ング液１５で浸しているため、マッチング液の容器１６
とプリズム１４との接合部にマッチング液漏洩防止処理
が必要ないので、被測定直角２面２′，３′に反射膜１
８を形成する必要はあるものの、簡便に被測定直角２面
２′，３′の直角度，面精度を評価することが可能とな
る。
【００１８】（請求項３の発明）図３は、請求項３の発
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、この発
明は、図１に示した請求項１の発明において、マッチン
グ液の液面１７に被測定面の面精度に対し十分面精度が
高く、任意の屈折率をもつ透明平行平板１９を配置した
ことを特徴とするものである。
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、この発
明は、図１に示した請求項１の発明において、マッチン
グ液の液面１７に被測定面の面精度に対し十分面精度が
高く、任意の屈折率をもつ透明平行平板１９を配置した
ことを特徴とするものである。
【００１９】従って、請求項３の発明によると、請求項
１の発明の作用効果に加え、図３に示したように、マッ
チング液の液面１７に形状精度の高い透明平行平板１９
を配置することで、液面１７の外気による影響，振動に
よる影響を受けにくくすることができ、さらに簡便に被
測定直角２面２′，３′直角度，面精度を評価すること
が可能となる。
１の発明の作用効果に加え、図３に示したように、マッ
チング液の液面１７に形状精度の高い透明平行平板１９
を配置することで、液面１７の外気による影響，振動に
よる影響を受けにくくすることができ、さらに簡便に被
測定直角２面２′，３′直角度，面精度を評価すること
が可能となる。
【００２０】（請求項４の発明）図４は、請求項４の発
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、この発
明は、図２に示した請求項２の発明において、図４に示
すように、マッチング液の液面１７に被測定面の面精度
に対し十分面精度が高く、任意の屈折率をもつ透明平行
平板１９を配置したことを特徴とするものである。
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、この発
明は、図２に示した請求項２の発明において、図４に示
すように、マッチング液の液面１７に被測定面の面精度
に対し十分面精度が高く、任意の屈折率をもつ透明平行
平板１９を配置したことを特徴とするものである。
【００２１】従って、請求項４の発明によると、請求項
２の発明の作用効果に加え、図４に示したように、マッ
チング液の液面１７に形状精度の高い透明平行平板を配
置することで、液面１７の外気による影響、振動による
影響を受けにくくすることができ、さらに簡便に被測定
直角２面２′，３′の直角度，面精度を評価することが
可能となる。
２の発明の作用効果に加え、図４に示したように、マッ
チング液の液面１７に形状精度の高い透明平行平板を配
置することで、液面１７の外気による影響、振動による
影響を受けにくくすることができ、さらに簡便に被測定
直角２面２′，３′の直角度，面精度を評価することが
可能となる。
【００２２】（請求項５の発明）図５は、請求項５の発
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、この発
明は、図１に示した請求項１の発明において、図５に示
すように、マッチング液容器１６の底面が、被測定面の
面精度に対し十分面精度が高く、任意の屈折率をもった
透明平行平板２０で形成されており、被測定直角２面を
上にしてマッチング液に被測定直角２面以外の部分を浸
して配置し、レーザー位相測定干渉計のレーザー光を下
方より照射することを特徴とするものである。なお、以
上の説明中のマッチング液はすべて被測物であるプリズ
ムの材質と同一の屈折率を有する液体とする。
明の実施例を説明するための要部概略構成図で、この発
明は、図１に示した請求項１の発明において、図５に示
すように、マッチング液容器１６の底面が、被測定面の
面精度に対し十分面精度が高く、任意の屈折率をもった
透明平行平板２０で形成されており、被測定直角２面を
上にしてマッチング液に被測定直角２面以外の部分を浸
して配置し、レーザー位相測定干渉計のレーザー光を下
方より照射することを特徴とするものである。なお、以
上の説明中のマッチング液はすべて被測物であるプリズ
ムの材質と同一の屈折率を有する液体とする。
【００２３】従って、請求項５の発明によると、請求項
３の発明の作用効果に加え、図５に示したように、マッ
チング液容器の底面に形状精度の高い透明平行平板を配
置し、被測定直角２面を上向きにしてマッチング液面１
７上に配置することで、液面１７の外気による影響、振
動による影響を受けにくくすることができ、さらに被測
定直角２面への反射膜形成処理も必要ないため、簡便に
被測定直角２面２′，３′の直角度，面精度を評価する
ことが可能となる。
３の発明の作用効果に加え、図５に示したように、マッ
チング液容器の底面に形状精度の高い透明平行平板を配
置し、被測定直角２面を上向きにしてマッチング液面１
７上に配置することで、液面１７の外気による影響、振
動による影響を受けにくくすることができ、さらに被測
定直角２面への反射膜形成処理も必要ないため、簡便に
被測定直角２面２′，３′の直角度，面精度を評価する
ことが可能となる。
【００２４】
【発明の効果】請求項１の発明によると、図１に示した
ように、プリズム１４の被測定直角２面２′，３′以外
の部分をプリズム１４と等しい屈折率のマッチング液１
５で浸しているため、レーザー位相測定干渉計４のレー
ザー光１１が入射する側のプリズム面１３が如何なる形
状であってもマッチング液１５によってキャンセルさ
れ、被測定直角２面２′，３′の直角度，面精度を評価
することが可能となる。
ように、プリズム１４の被測定直角２面２′，３′以外
の部分をプリズム１４と等しい屈折率のマッチング液１
５で浸しているため、レーザー位相測定干渉計４のレー
ザー光１１が入射する側のプリズム面１３が如何なる形
状であってもマッチング液１５によってキャンセルさ
れ、被測定直角２面２′，３′の直角度，面精度を評価
することが可能となる。
【００２５】請求項２の発明によると、請求項１の発明
の作用効果に加え、図２に示したように、プリズム１４
全体をプリズム１４と等しい屈折率のマッチング液１５
で浸しているため、マッチング液の容器１６とプリズム
１４との接合部にマッチング液漏洩防止処理が必要ない
ので、被測定直角２面２′，３′に反射膜１８を形成す
る必要はあるものの、簡便に被測定直角２面２′，３′
の直角度，面精度を評価することが可能となる。
の作用効果に加え、図２に示したように、プリズム１４
全体をプリズム１４と等しい屈折率のマッチング液１５
で浸しているため、マッチング液の容器１６とプリズム
１４との接合部にマッチング液漏洩防止処理が必要ない
ので、被測定直角２面２′，３′に反射膜１８を形成す
る必要はあるものの、簡便に被測定直角２面２′，３′
の直角度，面精度を評価することが可能となる。
【００２６】請求項３の発明によると、請求項１の発明
の作用効果に加え、図３に示したように、マッチング液
の液面１７に形状精度の高い透明平行平板１９を配置す
ることで、液面１７の外気による影響，振動による影響
を受けにくくすることができ、さらに簡便に被測定直角
２面２′，３′直角度，面精度を評価することが可能と
なる。
の作用効果に加え、図３に示したように、マッチング液
の液面１７に形状精度の高い透明平行平板１９を配置す
ることで、液面１７の外気による影響，振動による影響
を受けにくくすることができ、さらに簡便に被測定直角
２面２′，３′直角度，面精度を評価することが可能と
なる。
【００２７】請求項４の発明によると、請求項２の発明
の作用効果に加え、図４に示したように、マッチング液
の液面１７に形状精度の高い透明平行平板１９を配置す
ることで、液面１７の外気による影響、振動による影響
を受けにくくすることができ、さらに簡便に被測定直角
２面２′，３′の直角度，面精度を評価することが可能
となる。
の作用効果に加え、図４に示したように、マッチング液
の液面１７に形状精度の高い透明平行平板１９を配置す
ることで、液面１７の外気による影響、振動による影響
を受けにくくすることができ、さらに簡便に被測定直角
２面２′，３′の直角度，面精度を評価することが可能
となる。
【００２８】請求項５の発明によると、請求項３の発明
の作用効果に加え、図５に示したように、マッチング液
容器の底面に形状精度の高い透明平行平板２０を配置
し、被測定直角２面を上向きにしてマッチング液面１７
上に配置することで、液面１７の外気による影響、振動
による影響を受けにくくすることができ、さらに被測定
直角２面への反射膜形成処理も必要ないため、簡便に被
測定直角２面２′，３′の直角度，面精度を評価するこ
とが可能となる。
の作用効果に加え、図５に示したように、マッチング液
容器の底面に形状精度の高い透明平行平板２０を配置
し、被測定直角２面を上向きにしてマッチング液面１７
上に配置することで、液面１７の外気による影響、振動
による影響を受けにくくすることができ、さらに被測定
直角２面への反射膜形成処理も必要ないため、簡便に被
測定直角２面２′，３′の直角度，面精度を評価するこ
とが可能となる。
【図１】 請求項１の発明の実施例を説明するための要
部概略構成図である。
部概略構成図である。
【図２】 請求項２の発明の実施例を説明するための要
部概略構成図である。
部概略構成図である。
【図３】 請求項３の発明の実施例を説明するための要
部概略構成図である。
部概略構成図である。
【図４】 請求項４の発明の実施例を説明するための要
部概略構成図である。
部概略構成図である。
【図５】 請求項５の発明の実施例を説明するための要
部概略構成図である。
部概略構成図である。
【図６】 本発明におけるレーザー位相測定干渉計によ
る直角度の測定原理を説明するための図である。
る直角度の測定原理を説明するための図である。
【図７】 レーザー位相測定干渉計を用いた従来例を示
す図である。
す図である。
【図８】 被測定物がプリズムである場合における従来
技術の問題点を説明すめための図である。
技術の問題点を説明すめための図である。
１…ルーフミラー、２，３…隣り合う各々の面、４…レ
ーザー位相測定干渉計、５…λ／４偏光板、６…レーザ
ー光源、７…ビームスプリッタ、８…コリメータレン
ズ、９…基準参照面、１０…干渉面、１１，１２…レー
ザーの入反射光、１３…プリズムの入射光面、１４…プ
リズム、１５…マッチング液、１６…容器、１７…液
面、１８…反射膜、１９，２０…透明平行平板。
ーザー位相測定干渉計、５…λ／４偏光板、６…レーザ
ー光源、７…ビームスプリッタ、８…コリメータレン
ズ、９…基準参照面、１０…干渉面、１１，１２…レー
ザーの入反射光、１３…プリズムの入射光面、１４…プ
リズム、１５…マッチング液、１６…容器、１７…液
面、１８…反射膜、１９，２０…透明平行平板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金松 俊宏 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 妹尾 晋哉 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内
Claims (5)
- 【請求項１】 隣り合う平面のなす角度が直角な形状を
有するプリズムにおける前記平面の直角度及び面精度
を、位相測定干渉計から出射されるレーザー光を前記平
面に照射して２面反射させ、その結果得られた波面形状
により、前記プリズムの直角度及び面精度を測定するプ
リズム直角度測定方法において、測定されるプリズムと
等しい屈折率をもつ液体で該プリズムの一部を浸して測
定することを特徴とするプリズムの直角度測定方法。 - 【請求項２】 請求項１のプリズムの直角度測定方法に
おいて、測定されるプリズムの直角をなす２面に反射膜
被膜を形成し、かつ、該プリズムと等しい屈折率をもつ
液体で該プリズムの全てを浸して測定することを特徴と
するプリズムの直角度測定方法。 - 【請求項３】 請求項１のプリズムの直角度測定方法に
おいて、測定されるプリズムを浸した液体の表面に形状
精度の良い透明平行平板を配置して測定することを特徴
とするプリズムの直角度測定方法。 - 【請求項４】 請求項２のプリズムの直角度測定方法に
おいて、測定されるプリズムを浸した液体の表面に形状
精度の良い透明平行平板を配置して測定することを特徴
とするプリズムの直角度評価方法。 - 【請求項５】 請求項１のプリズムの直角度測定方法に
おいて、前記プリズムと等しい屈折率をもつ液体を満た
すための容器の底面が形状精度の良い透明平行平板で形
成され、該容器円に該プリズムの被測定直角２面を上側
に向けて液面に配置し、レーザー位相測定干渉計のレー
ザー光を下方より照射して測定することを特徴とするプ
リズムの直角度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36213997A JPH11173825A (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | プリズムの直角度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36213997A JPH11173825A (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | プリズムの直角度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11173825A true JPH11173825A (ja) | 1999-07-02 |
Family
ID=18476037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36213997A Pending JPH11173825A (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | プリズムの直角度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11173825A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107941469A (zh) * | 2017-10-27 | 2018-04-20 | 南京理工大学 | 一种等边三棱镜顶角偏差测量方法 |
| CN109470183A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-03-15 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种棱镜平整度的检测系统 |
| WO2023031913A1 (en) * | 2021-08-30 | 2023-03-09 | Lumus Ltd. | Method and apparatus for bonding of optical surfaces by active alignment |
| US11796729B2 (en) | 2021-02-25 | 2023-10-24 | Lumus Ltd. | Optical aperture multipliers having a rectangular waveguide |
-
1997
- 1997-12-10 JP JP36213997A patent/JPH11173825A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107941469A (zh) * | 2017-10-27 | 2018-04-20 | 南京理工大学 | 一种等边三棱镜顶角偏差测量方法 |
| CN107941469B (zh) * | 2017-10-27 | 2019-11-15 | 南京理工大学 | 一种等边三棱镜顶角偏差测量方法 |
| CN109470183A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-03-15 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种棱镜平整度的检测系统 |
| US11796729B2 (en) | 2021-02-25 | 2023-10-24 | Lumus Ltd. | Optical aperture multipliers having a rectangular waveguide |
| WO2023031913A1 (en) * | 2021-08-30 | 2023-03-09 | Lumus Ltd. | Method and apparatus for bonding of optical surfaces by active alignment |
| EP4396529A4 (en) * | 2021-08-30 | 2024-12-25 | Lumus Ltd. | METHOD AND DEVICE FOR CONNECTING OPTICAL SURFACES BY ACTIVE ALIGNMENT |
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