JPH11152611A - Cleanroom for clean room - Google Patents
Cleanroom for clean roomInfo
- Publication number
- JPH11152611A JPH11152611A JP9318023A JP31802397A JPH11152611A JP H11152611 A JPH11152611 A JP H11152611A JP 9318023 A JP9318023 A JP 9318023A JP 31802397 A JP31802397 A JP 31802397A JP H11152611 A JPH11152611 A JP H11152611A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- photocatalyst
- mask
- garment
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Artificial Filaments (AREA)
- Professional, Industrial, Or Sporting Protective Garments (AREA)
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
- Manufacturing Of Micro-Capsules (AREA)
- Catalysts (AREA)
- Chemical Or Physical Treatment Of Fibers (AREA)
- Respiratory Apparatuses And Protective Means (AREA)
- Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】従来のクリーンルーム用無塵衣又はマスクで
は、クリーンルーム内で放出された有機系ガスや、作業
員の身体から発生するガスを除去することはできなかっ
たので、クリーンルーム用無塵衣又はマスク自体に、ク
リーンルーム内の有機系ガス又は有機物の汚れを分解す
る機能を持たせた、クリーンルーム用の無塵衣又はマス
クを提供する。
【解決手段】クリーンルーム用無塵衣又はマスクに、光
触媒を担持させて、該光触媒とクリーンルーム内の光と
によって、クリーンルーム内の有機系ガスを分解し、ま
た無塵衣又はマスクに付着した有機物の汚れを分解す
る。また、光触媒と共に、吸着剤を併用してクリーンル
ーム用無塵衣又はマスクに担持させたものも一層有効で
ある。
(57) [Problem] A dust-free garment or mask for a conventional clean room cannot remove the organic gas released in the clean room and the gas generated from the worker's body. Provided is a clean room dust mask or mask, which has a function of decomposing organic gas or organic matter in a clean room to the clean room clothing or mask itself. A photocatalyst is supported on a clean room dust-free garment or mask, and the organic catalyst in the clean room is decomposed by the photocatalyst and light in the clean room. Break down dirt. In addition, an adsorbent used together with the photocatalyst and carried on a dust-free garment or mask for a clean room is more effective.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム用
無塵衣又はマスクに関するものであり、特に、光触媒を
担持させたクリーンルーム用無塵衣又はマスクに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean room garment or mask for a clean room, and more particularly to a clean room garment or mask for carrying a photocatalyst.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
デバイスの集積度の高度化に伴い、クリーンルーム内で
は、粒子のみでなく、ガス状汚染物質の低減が必要とな
っている。例えば、有機系ガスやアンモニアガスによる
汚染も低減する必要がある。ある種の有機系ガスはシリ
コンウェハー上に付着してＳｉＣを生成し、またアンモ
ニアガスはフォトレジストと反応し、これらによって回
路の製造に悪影響を与えるからである。これらのガスは
クリーンルームの構成材料や室内の装置類及び使用薬品
から主として放出されるが、クリーンルーム内の作業員
の人体表面の汗や呼吸によるものも少なくない。2. Description of the Related Art As the degree of integration of semiconductor devices increases, it is necessary to reduce not only particles but also gaseous pollutants in a clean room. For example, it is necessary to reduce contamination by an organic gas or an ammonia gas. Certain organic gases deposit on the silicon wafer to produce SiC, and ammonia gases react with the photoresist, thereby adversely affecting circuit fabrication. These gases are mainly emitted from the constituent materials of the clean room, the equipment in the room, and the chemicals used, but many of them are caused by sweat or breathing on the human body surface of the workers in the clean room.
【０００３】これに対し、従来は、クリーンルーム内で
作業する人がクリーンルーム用無塵衣やマスクを着用
し、該無塵衣やマスクから極力塵芥等を取り払って使用
していたに過ぎなかったが、それだけでは前記のような
クリーンルーム内で発生するガスや、作業員の人体から
発生する汗や呼吸によって発生するガス、さらには無塵
衣に付着した有機物の汚れについては、如何に無塵衣や
マスクの塵芥等を取り払っても、それらの有害物の低減
を図ることには限界があった。[0003] On the other hand, conventionally, a person working in a clean room only wears a clean room dust-free garment or mask and removes dust and the like from the clean room garment or mask as much as possible. However, the gas generated in the clean room as described above, the gas generated by the sweat or breathing generated from the human body of the worker, and the dirt of the organic matter attached to the dust-free garment, Even if dust and the like from the mask are removed, there is a limit in reducing such harmful substances.
【０００４】前記課題を解決するため、クリーンルーム
用無塵衣又はマスク自体に、有機系ガスや有機物の汚れ
を分解する機能を持たせ、クリーンルーム内で発生した
有機系ガスや作業員の身体から発生するアンモニア等の
ガス、さらには有機物の汚れ等を分解するような機能を
有するクリーンルーム用無塵衣又はマスクの提供が望ま
れる。In order to solve the above-mentioned problems, a clean room dust-free garment or a mask itself is provided with a function of decomposing organic gas or organic dirt, and the organic gas generated in the clean room or generated from the worker's body. It is desired to provide a dust-free garment or mask for a clean room having a function of decomposing a gas such as ammonia and further, a stain of an organic substance.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決し、クリーンルーム用無塵衣又はマスクそれ自体に有
機系ガス等を分解する機能を持たせるために工夫したも
のであって、その構成は次のとおりである。 （１）表面に光触媒を担持させてなることを特徴とす
る、クリーンルーム用無塵衣。 （２）繊維に予め光触媒を担持させて織物又は不織布と
し、該織物又は不織布により縫製してなることを特徴と
する、クリーンルーム用無塵衣。 （３）光触媒としては、アナターゼ型二酸化チタンを用
いたことを特徴とする前記（１）項又は（２）項に記載
のクリーンルーム用無塵衣。 （４）光触媒をマイクロカプセルとして使用したことを
特徴とする、（１）項ないし（３）項のいずれか１項に
記載のクリーンルーム用無塵衣。 （５）光触媒と共に、吸着剤を担持させたことを特徴と
する（１）項ないし（４）項のいずれか１項に記載のク
リーンルーム用無塵衣。 （６）マイクロカプセルの壁材が、界面反応法により得
られた無機系の多孔質体であることを特徴とする（４）
項又は（５）項に記載のクリーンルーム用無塵衣。 （７）マイクロカプセルの壁材が、シリカ又はケイ酸カ
ルシウムのごとき薄膜で光の透過性の良いものであるこ
とを特徴とする（４）項ないし（６）項のいずれか１項
に記載のクリーンルーム用無塵衣。 （８）表面に光触媒を担持させてなることを特徴とす
る、クリーンルーム用マスク。 （９）光触媒をマイクロカプセルとして使用したことを
特徴とする、（８）項記載のクリーンルーム用マスク。 （１０）光触媒と共に、吸着剤を担持させたことを特徴
とする、（８）項又は（９）項に記載のクリーンルーム
用マスク。 （１１）光触媒を通気性のあるシート状物に担持させた
ものを、マスクの表面に着脱可能に装着したことを特徴
とするクリーンルーム用マスク。 以上により、クリーンルーム内に存在・生成する、有機
系のガスや有機物の汚れ、細菌類は、上記本発明の無塵
衣又はマスクに担持された光触媒とクリーンルーム内の
光とによって非常に有効に分解されるのである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised in order to solve the above-mentioned problems and to impart a function of decomposing an organic gas or the like to a clean garment or a mask itself for a clean room. The configuration is as follows. (1) A dust-free garment for a clean room, wherein a photocatalyst is carried on the surface. (2) A dust-free garment for a clean room, characterized in that a woven fabric or a non-woven fabric is obtained by previously supporting a photocatalyst on a fiber, and the fabric is sewn with the woven fabric or the non-woven fabric. (3) The dust-free garment for a clean room according to the above (1) or (2), wherein an anatase type titanium dioxide is used as the photocatalyst. (4) The dust-free garment for a clean room according to any one of (1) to (3), wherein the photocatalyst is used as a microcapsule. (5) The dust-free garment for a clean room according to any one of (1) to (4), wherein an adsorbent is carried together with the photocatalyst. (6) The wall material of the microcapsule is an inorganic porous material obtained by an interface reaction method (4).
A clean room garment according to item or (5). (7) The microcapsule according to any one of the above items (4) to (6), wherein the wall material of the microcapsule is a thin film such as silica or calcium silicate and has good light transmittance. Cleanroom for clean room. (8) A clean room mask characterized in that a photocatalyst is carried on the surface. (9) The clean room mask according to (8), wherein the photocatalyst is used as a microcapsule. (10) The clean room mask according to the above (8) or (9), wherein an adsorbent is carried together with the photocatalyst. (11) A mask for a clean room, wherein a photocatalyst carried on a sheet-like material having air permeability is detachably mounted on the surface of the mask. As described above, the organic gas and organic matter stains and bacteria that are present and generated in the clean room are extremely effectively decomposed by the photocatalyst supported by the dust-free garment or mask of the present invention and the light in the clean room. It is done.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を以下に説明
する。図１は本発明を実施せるクリーンルーム用無塵衣
の一部拡大断面図であるが、同図に示すように、無塵衣
１の表面に、光触媒２、２…を担持させてある。光触媒
としては、アナターゼ型二酸化チタンが、光活性が高い
ため特に有効であるが、これに限らず光触媒として有効
なものを使用してよい。他の光触媒としては、酸化タン
グステン、酸化コバルト、酸化亜鉛等が挙げられる。Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a partially enlarged cross-sectional view of a clean garment for a clean room in which the present invention is carried out. As shown in the figure, the surface of a clean garment 1 carries photocatalysts 2, 2,. As the photocatalyst, anatase type titanium dioxide is particularly effective because of its high photoactivity. However, the present invention is not limited to this, and any one that is effective as a photocatalyst may be used. Other photocatalysts include tungsten oxide, cobalt oxide, zinc oxide and the like.
【０００７】無塵衣１の表面に光触媒２、２…を担持さ
せるためには、例えば、光触媒の粉末を混入した液体の
プレポリマーを薄く吹き付けて重合させてもよいし、光
触媒の粉末を混入した液体プレポリマーに無塵衣１を浸
して付着させて重合させる等、いずれの手段で光触媒２
を担持させてもよい。無塵衣１の表面に光触媒を担持さ
せたものに限らず、図示しないクリーンルーム用マスク
の表面に、前記と同様に光触媒を担持させたものもあ
る。In order to carry the photocatalysts 2, 2,... On the surface of the dust-free garment 1, for example, a liquid prepolymer mixed with the photocatalyst powder may be sprayed thinly and polymerized, or the photocatalyst powder may be mixed. The photocatalyst 2 can be formed by any means, such as immersing the dust-free garment 1 in the liquid prepolymer so that the garment 1 is adhered and polymerized.
May be carried. Not only the photocatalyst supported on the surface of the clean garment 1 but also a photocatalyst supported on the surface of a clean room mask (not shown) in the same manner as described above.
【０００８】次に、図２はクリーンルーム用無塵衣を構
成するための繊維に、予め光触媒を担持させたものの拡
大図であるが、図２（Ａ）のように、繊維３の表面に光
触媒２、２…をバインダーで担持させる等の方法で担持
させてもよく、図２（Ｂ）に示すように、ナイロン等の
ポリマーの繊維４の中に光触媒２、２…を混入させたも
のを用いてもよい。これらの光触媒を担持した繊維を、
織物又は不織布として、該織物又は不織布によって縫製
してクリーンルーム用無塵衣を構成するものである。Next, FIG. 2 is an enlarged view of a fiber for forming a clean room dust-free garment, in which a photocatalyst is supported in advance. As shown in FIG. 2, 2,... May be carried by a method such as carrying a binder. As shown in FIG. 2 (B), a mixture of photocatalysts 2, 2,. May be used. Fibers carrying these photocatalysts
The woven fabric or nonwoven fabric is sewn with the woven fabric or nonwoven fabric to form a clean room garment.
【０００９】図３は光触媒をマイクロカプセルとしたも
のの、拡大図であるが、光触媒２は、例えばシリカや珪
酸カルシウム等の透光性の薄膜から成る壁材５で覆っ
て、マイクロカプセルとしたものである。このような、
光触媒を芯物質としたマイクロカプセルの製造方法とし
ては、各種周知の方法が採用できるが、特に界面反応法
により製造されることが好ましく、該方法によればマイ
クロカプセルの壁体が極めて多孔質（例えば、表面積：
５００ｍ２／ｇ程度）なものとなり、ガスの吸着や透過
に有効となり光触媒との接触が良好となる。特に、マイ
クロカプセルの壁材としては、シリカやケイ酸カルシウ
ムのような薄膜で光の透過性の良いものがよい。こうし
て設けられた光触媒を含むマイクロカプセルにアンモニ
アガス等のアウトガスが接触すると、光触媒（例えば、
二酸化チタン）は、クリーンルーム等において例えば蛍
光灯からの光照射（３８０ｎｍ以下の光が最適）の元で
反応し、アンモニアガス等を分解する。一般に、アンモ
ニアガスは硝酸イオンを経て窒素ガスと酸素に分解さ
れ、有機物質は二酸化炭素と水に分解される。本発明の
場合、マイクロカプセル表面に吸着されるアンモニア等
のガス分子、あるいはカプセル壁を通過したガス分子
は、マイクロカプセル内部又は壁材に保持された二酸化
チタンと接触反応する。FIG. 3 is an enlarged view of the photocatalyst in the form of microcapsules. The photocatalyst 2 is covered with a wall member 5 made of a light-transmitting thin film such as silica or calcium silicate to form microcapsules. It is. like this,
As a method for producing microcapsules using a photocatalyst as a core material, various well-known methods can be employed, but it is particularly preferable to produce the microcapsules by an interface reaction method. According to this method, the microcapsule wall is extremely porous ( For example, surface area:
(Approximately 500 m 2 / g), which is effective for adsorbing and permeating a gas and improving contact with a photocatalyst. In particular, the wall material of the microcapsules is preferably a thin film such as silica or calcium silicate which has good light transmittance. When an outgas such as ammonia gas comes into contact with the microcapsules containing the photocatalyst thus provided, the photocatalyst (for example,
Titanium dioxide reacts in a clean room or the like under light irradiation from a fluorescent lamp (optimum of light of 380 nm or less) to decompose ammonia gas and the like. Generally, ammonia gas is decomposed into nitrogen gas and oxygen via nitrate ions, and organic substances are decomposed into carbon dioxide and water. In the case of the present invention, gas molecules such as ammonia adsorbed on the surface of the microcapsules or gas molecules passing through the capsule wall react with the titanium dioxide held inside the microcapsules or on the wall material.
【００１０】このような構成の光触媒を芯物質としたマ
イクロカプセルを、図１又は図２において説明したのと
同様の方法で、クリーンルーム用無塵衣又はマスクに担
持させるのである。The microcapsules having the photocatalyst as a core substance having such a structure are carried on a clean room dust-free garment or mask in the same manner as described with reference to FIG. 1 or FIG.
【００１１】図４は、クリーンルーム用無塵衣の表面
に、光触媒と共に吸着剤を担持させたものの、一部拡大
断面概念図であるが、同図に例示するものは、無塵衣１
の表面に、吸着剤６、６…と光触媒２、２…とを混合し
て作成したハイブリッド光触媒を担持させたものであ
る。FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional conceptual view of a case where an adsorbent is supported together with a photocatalyst on the surface of a clean room garment for a clean room.
And a hybrid photocatalyst prepared by mixing adsorbents 6, 6,... And photocatalysts 2, 2,.
【００１２】光触媒２と吸着剤６とを混合したハイブリ
ッド光触媒を無塵衣１の表面に担持させる方法は前記各
図で説明した光触媒を担持させる方法と同様である。但
し、吸着剤と光触媒とを混合したハイブリッド光触媒を
担持させるのでなく、図示は省略したが、吸着剤と光触
媒とをそれぞれ、図１によって説明したように、無塵衣
１の表面に担持させてもよい。The method of supporting the hybrid photocatalyst, in which the photocatalyst 2 and the adsorbent 6 are mixed, on the surface of the dust-free garment 1 is the same as the method of supporting the photocatalyst described in each of the drawings. However, instead of supporting a hybrid photocatalyst in which an adsorbent and a photocatalyst are mixed, the illustration is omitted, but the adsorbent and the photocatalyst are supported on the surface of the dust-free garment 1 as described with reference to FIG. Is also good.
【００１３】また無塵衣１の表面に光触媒２と共に吸着
剤６を担持させるのでなく、前記図２（Ａ）で説明した
のと同様に、に無塵衣１を構成する繊維の表面に予め光
触媒と共に吸着剤を担持させたものであってもよく、ま
た光触媒は前記図３で説明したように、マイクロカプセ
ルとして使用してもよい。Further, instead of carrying the adsorbent 6 together with the photocatalyst 2 on the surface of the dust-free garment 1, the surface of the fiber constituting the dust-free garment 1 is previously applied in the same manner as described with reference to FIG. An adsorbent may be supported together with the photocatalyst, and the photocatalyst may be used as a microcapsule as described in FIG.
【００１４】図４では、無塵衣１の表面に光触媒と共に
吸着剤を担持させたものを図示したが、同様にして図示
しないクリーンルーム用マスクに、光触媒と共に吸着剤
を担持させたものもある。FIG. 4 shows a case in which an adsorbent is supported together with a photocatalyst on the surface of the dust-free garment 1, but there is also a case in which an adsorbent is supported together with the photocatalyst on a clean room mask (not shown).
【００１５】吸着剤としては、例えばゼオライト等があ
るが、これに限らず他の吸着剤を使用してもよい。The adsorbent includes, for example, zeolite, but is not limited thereto, and other adsorbents may be used.
【００１６】図５は、クリーンルーム用マスクに装着す
るための、通気性のあるシート状物の一部切欠拡大断面
図であるが、同図に示すように、通気性のあるシート状
物７の表面に、光触媒２を担持させたものであって、前
記シート状物７の両端にはマジックテープ８を取り付け
てある。FIG. 5 is a partially cut-away enlarged sectional view of a gas-permeable sheet material to be mounted on a clean room mask. As shown in FIG. The photocatalyst 2 is carried on the surface, and magic tapes 8 are attached to both ends of the sheet-like material 7.
【００１７】前記通気性のあるシート状物７を、図示し
ないクリーンルーム用マスクの表面に、前記マジックテ
ープ８によって着脱可能に装着して使用するものであ
る。図示は省略したが、クリーンルーム用マスクの適所
にも、前記マジックテープ８に係合するためのフエルト
等を取り付けて使用するとよい。The air-permeable sheet material 7 is used by being detachably attached to the surface of a clean room mask (not shown) by the magic tape 8. Although not shown, a felt or the like for engaging with the magic tape 8 may be attached to an appropriate position of the clean room mask.
【００１８】シート状物７としては、織物又は不織布で
もよいし、またプラスチックシートに、多数の通気穴を
設けたもの等、通気性のあるシート状のものであればよ
い。前記図５では、通気性のあるシート状物７の表面に
光触媒２を担持させた例を示したが、これに限らず、図
２（Ａ）において説明したのと同様に、シート状物を構
成する繊維の表面に、光触媒を担持させてもよいし、図
２（Ｂ）において説明したように、シート状物を構成す
るポリマーの繊維の中に光触媒を混入させてもよい。さ
らには、シート状物は多数の通気孔のあるプラスチック
の薄膜で構成し、該プラスチックの薄膜の中に、光触媒
を混入させたものであってもよい。The sheet-like material 7 may be a woven or non-woven fabric, or a sheet-like material having air permeability, such as a plastic sheet provided with a large number of ventilation holes. FIG. 5 shows an example in which the photocatalyst 2 is supported on the surface of the air-permeable sheet material 7. However, the present invention is not limited to this, and the sheet material may be used as described with reference to FIG. A photocatalyst may be supported on the surface of the constituent fibers, or the photocatalyst may be mixed into the polymer fibers forming the sheet as described in FIG. 2B. Further, the sheet may be formed of a plastic thin film having a large number of air holes, and a photocatalyst may be mixed into the plastic thin film.
【００１９】以上が本発明の構成である。以下その作用
について説明する。光触媒は、これに光を当てると、光
触媒の有する光活性により、該光触媒に接触した有機ガ
スや有機物の汚れ、細菌類、アンモニアガス、ＮＯｘ、
ＳＯｘ、等は光触媒によって、非常に有効に分解され
る。The above is the configuration of the present invention. Hereinafter, the operation will be described. When the photocatalyst is exposed to light, the photoactivity possessed by the photocatalyst causes the organic gas or organic matter that has come into contact with the photocatalyst, bacteria, ammonia gas, NOx,
SOx, etc. are very effectively decomposed by the photocatalyst.
【００２０】従って、本発明のクリーンルーム用無塵衣
又はマスクを着用した作業員が、クリーンルームに内に
入って作業をしたとき、クリーンルーム内の装置及び使
用薬品等から放出される有機系ガスはもちろん、作業員
の無塵衣又はマスクに付着した有機物の汚れ等は、本発
明のクリーンルーム用無塵衣又はマスクに接触して、光
触媒とクリーンルーム内の光とにより光分解され、クリ
ーンルーム内のケミカル汚染が抑制されるのである。Therefore, when a worker wearing the clean room dust-free garment or mask of the present invention enters the clean room and performs work, the organic gas released from the devices and chemicals used in the clean room is of course. The organic matter stains or the like adhered to the dust-free clothing or mask of the worker come into contact with the dust-free clothing or mask for the clean room of the present invention, and are photodecomposed by the photocatalyst and the light in the clean room, and the chemical contamination in the clean room. Is suppressed.
【００２１】また、前記光触媒をマイクロカプセルとし
て使用したものは、無塵衣又はマスクを構成する繊維自
体が光触媒によって分解されるのを防止できるのであ
る。光触媒と共に、吸着剤を担持させたクリーンルーム
用無塵衣又はマスクは、吸着剤によって有機系ガス等を
吸着するとともに、有機系ガスや有機物の汚れが、光触
媒によって光分解されるので、一層有効に有機系ガス等
を除去することになる。また、吸着剤６、６…と光触媒
２、２…とを混合させたハイブリッド光触媒を無塵衣又
はマスクに担持させたものは、吸着剤によって吸着され
た物質が、表面拡散によって光触媒上に移動し、光分解
されるので、さらに有効にクリーンルーム内の有害物を
除去することができる。Further, in the case where the photocatalyst is used as a microcapsule, it is possible to prevent the fiber itself constituting the dustless garment or the mask from being decomposed by the photocatalyst. A dust-free garment or mask for a clean room carrying an adsorbent together with a photocatalyst adsorbs organic gases and the like with the adsorbent, and the organic gases and organic contaminants are photo-decomposed by the photocatalyst. Organic gases and the like are removed. The hybrid photocatalyst in which the adsorbents 6, 6,... And the photocatalysts 2, 2,... Are mixed is carried on a dust-free garment or a mask, and the substance adsorbed by the adsorbent moves onto the photocatalyst by surface diffusion. Then, since the photodecomposition is performed, harmful substances in the clean room can be more effectively removed.
【００２２】[0022]
【発明の効果】本発明は前記のように構成したから、本
発明のクリーンルーム用無塵衣又はマスクに担持させた
光触媒と、クリーンルーム内の光とによって、前記のよ
うに有機系ガスや有機物の汚れ、アンモニア、ＮＯｘ等
の無機系ガス、細菌類等が分解されるので、作業員が本
発明のクリーンルーム用無塵衣又はマスクを着用してク
リーンルーム内で作業をするときには、クリーンルーム
内において室内の装置類及び使用薬品等から放出される
有機系のガスはもちろん、作業員の身体から発生する有
機系のガス、アンモニア等も分解されるとともに、作業
員の無塵衣又はマスクに付着した有機物の汚れ、細菌類
も分解され、クリーンルーム内のケミカル汚染を防止で
きるという効果がある。光触媒と共に吸着剤を担持させ
た無塵衣又はマスクは、吸着剤がクリーンルーム内の有
機系ガスを吸着し、光触媒による光分解によって分解す
るので、さらに有効である。As described above, the present invention is constructed as described above. Therefore, the photocatalyst carried on the clean room dust-free garment or mask of the present invention and the light in the clean room and the organic gas and organic substances are used as described above. Dirt, ammonia, inorganic gases such as NOx, bacteria and the like are decomposed. Therefore, when the worker wears the clean room dust-free garment or mask of the present invention and works in the clean room, the room inside the clean room is Not only organic gases emitted from equipment and chemicals used, but also organic gases and ammonia, etc., generated from the worker's body are decomposed, and organic substances adhering to the worker's dust-free clothing or mask are removed. Dirt and bacteria are also decomposed, which has the effect of preventing chemical contamination in the clean room. A dust-free garment or mask carrying an adsorbent together with a photocatalyst is more effective because the adsorbent adsorbs an organic gas in a clean room and is decomposed by photolysis by the photocatalyst.
【図１】本発明を実施した無塵衣の一部拡大断面図であ
る。FIG. 1 is a partially enlarged sectional view of a dust-free garment embodying the present invention.
【図２】（Ａ）は無塵衣を構成する繊維の表面に光触媒
を担持させたものの拡大図であり、（Ｂ）はポリマーの
繊維の中に光触媒を混入させたものの拡大図である。FIG. 2 (A) is an enlarged view of a structure in which a photocatalyst is supported on the surface of a fiber constituting a dust-free garment, and FIG. 2 (B) is an enlarged view of a structure in which a photocatalyst is mixed into a polymer fiber.
【図３】光触媒をマイクロカプセルとしたものの拡大図
である。FIG. 3 is an enlarged view of a photocatalyst formed as a microcapsule.
【図４】無塵衣の表面に吸着剤と光触媒を担持させたも
のの、一部拡大断面概念図である。FIG. 4 is a partially enlarged conceptual view of an adsorbent and a photocatalyst carried on the surface of a dust-free garment.
【図５】通気性のあるシート状物の一部切欠拡大断面図
である。FIG. 5 is a partially cut-away enlarged sectional view of a sheet-like material having air permeability.
１：無塵衣 ２：光触媒 ３：繊維 ４：ポリマーの繊維 ５：（マイクロカプセルの）壁材 ６：吸着剤 ７：通気性のあるシート状物 ８：マジックテープ 1: dust-free garment 2: photocatalyst 3: fiber 4: polymer fiber 5: (microcapsule) wall material 6: adsorbent 7: breathable sheet material 8: magic tape
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ０１Ｄ 53/94 Ｂ０１Ｊ 35/02 Ｊ Ｂ０１Ｊ 21/06 Ｄ０６Ｍ 23/12 35/02 Ｄ０１Ｆ 1/10 Ｄ０６Ｍ 11/46 Ｂ０１Ｄ 53/36 Ｄ 23/12 Ｅ // Ｂ０１Ｊ 13/02 Ｇ Ｄ０１Ｆ 1/10 Ｊ １０１Ｚ Ｂ０１Ｊ 13/02 Ｚ Ｄ０６Ｍ 11/12 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI B01D 53/94 B01J 35/02 J B01J 21/06 D06M 23/12 35/02 D01F 1/10 D06M 11/46 B01D 53/36 D 23/12 E // B01J 13/02 G D01F 1/10 J 101Z B01J 13/02 Z D06M 11/12
Claims (11)
とする、クリーンルーム用無塵衣。1. A clean-room garment for a clean room, wherein a photocatalyst is carried on the surface.
織布とし、該織物又は不織布により縫製してなることを
特徴とする、クリーンルーム用無塵衣。2. A dust-free garment for a clean room, wherein a fiber is pre-loaded with a photocatalyst to form a woven or non-woven fabric and sewn with the woven or non-woven fabric.
ンを用いたことを特徴とする請求項１又は２に記載のク
リーンルーム用無塵衣。3. The clean room dust-free garment according to claim 1, wherein an anatase type titanium dioxide is used as the photocatalyst.
たことを特徴とする、請求項１ないし３のいずれか１項
に記載のクリーンルーム用無塵衣。4. The clean garment for a clean room according to claim 1, wherein the garment is used as a photocatalyst and a microcapsule.
特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のク
リーンルーム用無塵衣。5. The clean garment for a clean room according to claim 1, wherein an adsorbent is carried together with the photocatalyst.
より得られた無機系の多孔質体であることを特徴とする
請求項４又は５に記載のクリーンルーム用無塵衣。6. The clean garment for a clean room according to claim 4, wherein the wall material of the microcapsules is an inorganic porous material obtained by an interface reaction method.
イ酸カルシウムのごとき薄膜で光の透過性の良いもので
あることを特徴とする請求項４ないし６のいずれか１項
に記載のクリーンルーム用無塵衣。7. The clean room for a clean room according to claim 4, wherein the wall material of the microcapsule is a thin film made of silica or calcium silicate and has good light transmittance. Dustless clothing.
とする、クリーンルーム用マスク。8. A clean room mask, wherein a photocatalyst is carried on the surface.
ことを特徴とする、請求項８記載のクリーンルーム用マ
スク。9. The clean room mask according to claim 8, wherein the photocatalyst is used as a microcapsule.
を特徴とする、請求項８又は９に記載のクリーンルーム
用マスク。10. The clean room mask according to claim 8, wherein an adsorbent is carried together with the photocatalyst.
させたものを、マスクの表面に着脱可能に装着したこと
を特徴とするクリーンルーム用マスク。11. A mask for a clean room, wherein a photocatalyst supported on a gas-permeable sheet is detachably mounted on the surface of the mask.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9318023A JPH11152611A (en) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | Cleanroom for clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9318023A JPH11152611A (en) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | Cleanroom for clean room |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11152611A true JPH11152611A (en) | 1999-06-08 |
Family
ID=18094641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9318023A Pending JPH11152611A (en) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | Cleanroom for clean room |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11152611A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1477077A2 (en) * | 2003-05-15 | 2004-11-17 | Kuraray Co., Ltd. | Dustproof clothing |
| WO2006049025A1 (en) * | 2004-11-08 | 2006-05-11 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Near infrared radiation absobing fiber and textile product using the same |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0571002A (en) * | 1991-09-04 | 1993-03-23 | Fujitsu Ltd | Clothing for clean atmosphere |
| JPH08284011A (en) * | 1995-02-15 | 1996-10-29 | Takeda Chem Ind Ltd | Deodorant fiber and method for producing the same |
| JPH08322923A (en) * | 1995-05-31 | 1996-12-10 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | Photoreactive capsule and photoreactive harmful substance removing material using the same |
| JPH09164188A (en) * | 1995-12-15 | 1997-06-24 | Goyo Paper Working Co Ltd | Deodorizing spray |
-
1997
- 1997-11-19 JP JP9318023A patent/JPH11152611A/en active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0571002A (en) * | 1991-09-04 | 1993-03-23 | Fujitsu Ltd | Clothing for clean atmosphere |
| JPH08284011A (en) * | 1995-02-15 | 1996-10-29 | Takeda Chem Ind Ltd | Deodorant fiber and method for producing the same |
| JPH08322923A (en) * | 1995-05-31 | 1996-12-10 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | Photoreactive capsule and photoreactive harmful substance removing material using the same |
| JPH09164188A (en) * | 1995-12-15 | 1997-06-24 | Goyo Paper Working Co Ltd | Deodorizing spray |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1477077A2 (en) * | 2003-05-15 | 2004-11-17 | Kuraray Co., Ltd. | Dustproof clothing |
| EP1477077A3 (en) * | 2003-05-15 | 2005-02-02 | Kuraray Co., Ltd. | Dustproof clothing |
| SG127724A1 (en) * | 2003-05-15 | 2006-12-29 | Kuraray Co | Dustproof clothing |
| WO2006049025A1 (en) * | 2004-11-08 | 2006-05-11 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Near infrared radiation absobing fiber and textile product using the same |
| KR100926588B1 (en) | 2004-11-08 | 2009-11-11 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | Near Infrared radiation absorbing fiber and textile product using the same |
| US7687141B2 (en) | 2004-11-08 | 2010-03-30 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Near-infrared absorbing fiber comprising tungsten oxide, and fiber article using same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5626820A (en) | Clean room air filtering | |
| CA2253706C (en) | Fibrous matte support and method for the photopromoted catalyzed degradation of compounds in a fluid stream | |
| JP2011525818A (en) | Hazardous gas purification and neutralization equipment | |
| WO1996016719A1 (en) | Air-cleaning filter | |
| JP3684471B2 (en) | Bag filter material | |
| CN101495228A (en) | Systems and methods for removal of contaminants from fluid streams | |
| JP2020522415A (en) | Air purifying multilayer film and method for producing the same | |
| JPH11152611A (en) | Cleanroom for clean room | |
| JP2006255529A (en) | Photocatalyst filter, photocatalyst filter unit, clean room, air purification device, manufacturing device, and air purification method | |
| EP0525761B1 (en) | A catalytic composite for deodorizing odorous gases and a method for preparing the same | |
| JP4312878B2 (en) | Advanced cleaning equipment | |
| WO2010109796A1 (en) | Deodorizing device | |
| JPH09206558A (en) | Device for removing harmful material in gas | |
| TWI406699B (en) | Adsorptives filtermaterial | |
| JPH08266902A (en) | Environmental purification material using photocatalyst and composition thereof | |
| KR102738974B1 (en) | Elimination method of Nox including exhaust gases | |
| US7132086B2 (en) | Environmental control system including vapor cycle system and isothermal CATOX/PTF | |
| JP3429522B2 (en) | Conveying device having gas cleaning means | |
| KR20020063246A (en) | Method and device for preventing oxidation on substrate surface | |
| JP3776955B2 (en) | Photocatalytic reactor cartridge and photocatalytic reactor | |
| JP2014511718A (en) | Air purifier | |
| JPH11179154A (en) | Method and apparatus for cleaning of air pollution hazardous substance | |
| JP3800460B2 (en) | Method for suppressing outgas from concrete and outgas suppressing member | |
| JPH10230133A (en) | Outgas generation suppressing body including photocatalyst and method for suppressing outgas generation | |
| JPH07108175A (en) | Photoreactive harmful substance removal material |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040615 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040706 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041130 |