JPH11138812A - インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニットの製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニットの製造方法Info
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- JPH11138812A JPH11138812A JP32040197A JP32040197A JPH11138812A JP H11138812 A JPH11138812 A JP H11138812A JP 32040197 A JP32040197 A JP 32040197A JP 32040197 A JP32040197 A JP 32040197A JP H11138812 A JPH11138812 A JP H11138812A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エッジ部の欠損等による内部電極同士の短絡
や導通を防止すること。 【解決手段】 内部電極２、２’の内、圧電振動子５の
流路ユニット側の先端から一定の距離Ｌ２をおいて圧電
材料４に埋め込まれる内部電極２、２’の内、外側に位
置する内部電極２’、２’の先端２ａ’と圧電振動子５
の先端面との距離Ｌ２を、他の同極の内部電極２、２、
‥‥のそれよりも大きく形成し、欠けが生じ易いエッジ
部における内部電極２’と、他極内部電極３に接続する
外部電極９との間に長い距離を確保して導通を防止す
る。
や導通を防止すること。 【解決手段】 内部電極２、２’の内、圧電振動子５の
流路ユニット側の先端から一定の距離Ｌ２をおいて圧電
材料４に埋め込まれる内部電極２、２’の内、外側に位
置する内部電極２’、２’の先端２ａ’と圧電振動子５
の先端面との距離Ｌ２を、他の同極の内部電極２、２、
‥‥のそれよりも大きく形成し、欠けが生じ易いエッジ
部における内部電極２’と、他極内部電極３に接続する
外部電極９との間に長い距離を確保して導通を防止す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、圧電材料を介在
させて複数の内部電極を交互に積層した縦振動モードの
圧電振動子を圧力発生手段に使用するインクジェット式
記録ヘッドに関する。
させて複数の内部電極を交互に積層した縦振動モードの
圧電振動子を圧力発生手段に使用するインクジェット式
記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】縦振動モードの圧電振動子を使用したイ
ンクジェット記録ヘッドは、図９（イ）に示したように
圧力発生室Ａ、インク供給口Ｂ，リザーバＣを備えた流
路形成基板Ｄと、流路形成基板Ｄの一方の面を封止する
弾性板Ｅと、圧力発生室Ａに連通するノズル開口Ｆを備
えたノズルプレートＧとを積層した流路ユニットＨと、
圧電振動子ユニットＪとの２つの部材を有し、圧電振動
子ユニットＪを構成している各圧電振動子Ｋにより圧力
発生室Ａを膨張、収縮させてインク滴をノズル開口Ｆか
ら吐出させるもので、圧電振動子Ｋは、振動領域で２つ
の極の内部電極Ｌ，Ｍが圧電材料Ｎを介してラップする
ように積層され、各内部極に接続するように外部電極
Ｐ，Ｑを作り付けて構成されている。
ンクジェット記録ヘッドは、図９（イ）に示したように
圧力発生室Ａ、インク供給口Ｂ，リザーバＣを備えた流
路形成基板Ｄと、流路形成基板Ｄの一方の面を封止する
弾性板Ｅと、圧力発生室Ａに連通するノズル開口Ｆを備
えたノズルプレートＧとを積層した流路ユニットＨと、
圧電振動子ユニットＪとの２つの部材を有し、圧電振動
子ユニットＪを構成している各圧電振動子Ｋにより圧力
発生室Ａを膨張、収縮させてインク滴をノズル開口Ｆか
ら吐出させるもので、圧電振動子Ｋは、振動領域で２つ
の極の内部電極Ｌ，Ｍが圧電材料Ｎを介してラップする
ように積層され、各内部極に接続するように外部電極
Ｐ，Ｑを作り付けて構成されている。
【０００３】このような圧電振動子Ｋは、複数個分の大
判の圧電振動板を作成し、これを振動子ユニットのサイ
ズ相当の小板に切分け、各小板に外部電極Ｐ，Ｑを作り
付け、さらに各小板の圧電振動板をワイヤソウ等により
一端部に連続部が残るように一定のピッチでスリットを
形成することにより構成されている。
判の圧電振動板を作成し、これを振動子ユニットのサイ
ズ相当の小板に切分け、各小板に外部電極Ｐ，Ｑを作り
付け、さらに各小板の圧電振動板をワイヤソウ等により
一端部に連続部が残るように一定のピッチでスリットを
形成することにより構成されている。
【０００４】しかしながら、大判の圧電振動板を製作す
る段階で、圧電材料の積層工程や、焼成工程で、角部に
欠け等が生じ、この状態で蒸着やスパッタリング等によ
り外部電極Ｐ、Ｑを形成すると、図９（ロ）に示したよ
うに欠損部Ｒにも導電材料層が形成されて内部電極Ｌ，
Ｍが異極間で導通し、動作不良を生じるという問題があ
る。
る段階で、圧電材料の積層工程や、焼成工程で、角部に
欠け等が生じ、この状態で蒸着やスパッタリング等によ
り外部電極Ｐ、Ｑを形成すると、図９（ロ）に示したよ
うに欠損部Ｒにも導電材料層が形成されて内部電極Ｌ，
Ｍが異極間で導通し、動作不良を生じるという問題があ
る。
【０００５】もとより、厳重な検査によりこのような動
作不良の圧電振動子ユニットが記録ヘッドの構成部品と
して組み込まれることは皆無ではあるが、記録ヘッドの
記録密度の向上を図るため、圧電振動子のサイズが小さ
くなるほど、製造の歩留まりを急速に低下させるという
問題がある。
作不良の圧電振動子ユニットが記録ヘッドの構成部品と
して組み込まれることは皆無ではあるが、記録ヘッドの
記録密度の向上を図るため、圧電振動子のサイズが小さ
くなるほど、製造の歩留まりを急速に低下させるという
問題がある。
【０００６】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たものであって、圧電振動子のエッジ領域での欠損に因
する圧電振動子の動作不良を最小限として、歩留まりの
向上を図ることができるインクジェット式記録ヘッドを
提供することである。
たものであって、圧電振動子のエッジ領域での欠損に因
する圧電振動子の動作不良を最小限として、歩留まりの
向上を図ることができるインクジェット式記録ヘッドを
提供することである。
【０００７】また、本発明の他の目的は同上インクジェ
ット式記録ヘッドに使用する圧電振動子ユニットの製造
方法を提案することである。
ット式記録ヘッドに使用する圧電振動子ユニットの製造
方法を提案することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、軸方向に平行に異なる極の
第１の内部電極と第２の内部電極とをそれぞれ各端面で
のみ露出させ、かつ振動領域でラップするように圧電材
料を介装して積層した圧電定数ｄ31の圧電振動子と、前
記圧電振動子の先端に当接して圧力発生室の容積を膨
張、縮小させる弾性板を有する流路ユニットと、からな
るインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電振動
子の前記流路ユニット側の先端から一定の距離をおいて
前記圧電材料に埋め込まれる第１の内部電極の内、外側
に位置するものの先端と前記圧電振動子の先端面との距
離が、他の第１の内部電極の先端と前記先端面との距離
よりも大きく形成するようにした。
るために本発明においては、軸方向に平行に異なる極の
第１の内部電極と第２の内部電極とをそれぞれ各端面で
のみ露出させ、かつ振動領域でラップするように圧電材
料を介装して積層した圧電定数ｄ31の圧電振動子と、前
記圧電振動子の先端に当接して圧力発生室の容積を膨
張、縮小させる弾性板を有する流路ユニットと、からな
るインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電振動
子の前記流路ユニット側の先端から一定の距離をおいて
前記圧電材料に埋め込まれる第１の内部電極の内、外側
に位置するものの先端と前記圧電振動子の先端面との距
離が、他の第１の内部電極の先端と前記先端面との距離
よりも大きく形成するようにした。
【０００９】
【作用】欠けが生じ易いエッジ部における第１の内部電
極と、第２の内部電極に接続する外部電極との距離が長
いため、欠損部に外部電極用の導電層が形成されても他
の極である第１の内部電極との接触が防止される。
極と、第２の内部電極に接続する外部電極との距離が長
いため、欠損部に外部電極用の導電層が形成されても他
の極である第１の内部電極との接触が防止される。
【００１０】
【発明の実施の態様】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は本発明の一実施
例を示すものであって、本発明が特徴とする圧電振動子
ユニット１は、軸方向に平行に異なる極の内部電極２、
３をそれぞれ一端で露出させ、かつ振動領域でラップす
るように圧電材料４を介装して積層した圧電振動子５
を、図２に示したように固定基板６に一定ピッチで配置
して構成されている。なお、図中符号７、７は、圧電振
動子の列設方向の端部に設けた圧電振動子ユニット位置
決め用のダミーの圧電振動子を示す。
した実施例に基づいて説明する。図１は本発明の一実施
例を示すものであって、本発明が特徴とする圧電振動子
ユニット１は、軸方向に平行に異なる極の内部電極２、
３をそれぞれ一端で露出させ、かつ振動領域でラップす
るように圧電材料４を介装して積層した圧電振動子５
を、図２に示したように固定基板６に一定ピッチで配置
して構成されている。なお、図中符号７、７は、圧電振
動子の列設方向の端部に設けた圧電振動子ユニット位置
決め用のダミーの圧電振動子を示す。
【００１１】各圧電振動子５の先端、後端の内部電極
２、３の露出面から固定基板６の表面側にかけては、駆
動信号を供給するフレキシブルケーブル８との接続部を
形成する外部電極９、１０が蒸着やスパッタリングによ
り形成されている。
２、３の露出面から固定基板６の表面側にかけては、駆
動信号を供給するフレキシブルケーブル８との接続部を
形成する外部電極９、１０が蒸着やスパッタリングによ
り形成されている。
【００１２】圧電振動子５の後端側に露出し、先端側で
は端部２ａが圧電材料４に埋設される内部電極２’、
２、２、‥‥の内、外側に位置するもの２’は、先端面
からの距離Ｌ１が他の内部電極２、２、‥‥と先端面と
の距離Ｌ２よりも大きくなるように形成されている。
は端部２ａが圧電材料４に埋設される内部電極２’、
２、２、‥‥の内、外側に位置するもの２’は、先端面
からの距離Ｌ１が他の内部電極２、２、‥‥と先端面と
の距離Ｌ２よりも大きくなるように形成されている。
【００１３】流路形成ユニット１１は、リザーバ１２、
インク供給口１３、及び圧力発生室１４を区画、形成す
る流路形成基板１５と、圧電振動子５の先端に当接して
圧力発生室１４の容積を膨張、縮小させる弾性板１６
と、流路形成基板１５の他方の面を封止して圧力発生室
１４のインクをインク滴として吐出させるノズル開口１
７を備えたノズルプレート１８とを液密に積層して構成
されている。
インク供給口１３、及び圧力発生室１４を区画、形成す
る流路形成基板１５と、圧電振動子５の先端に当接して
圧力発生室１４の容積を膨張、縮小させる弾性板１６
と、流路形成基板１５の他方の面を封止して圧力発生室
１４のインクをインク滴として吐出させるノズル開口１
７を備えたノズルプレート１８とを液密に積層して構成
されている。
【００１４】流路形成ユニット１１は、ヘッドホルダ１
９の開口面１９ａに固定され、また圧電振動子ユニット
１は、圧電振動子５の先端に接着剤を塗布して弾性板１
６のアイランド部１６ａに当接させ、固定基板６とヘッ
ドホルダ１９とを接着剤で固定されてインクジェット式
記録ヘッドが構成されている。
９の開口面１９ａに固定され、また圧電振動子ユニット
１は、圧電振動子５の先端に接着剤を塗布して弾性板１
６のアイランド部１６ａに当接させ、固定基板６とヘッ
ドホルダ１９とを接着剤で固定されてインクジェット式
記録ヘッドが構成されている。
【００１５】この実施例において、インク滴を吐出させ
るべきノズル開口１７に連通する圧力発生室１４に対向
する圧電振動子５に駆動信号を印加すると、圧電振動子
５が収縮、膨張して、圧力発生室１４を膨張、収縮させ
る。これによりリザーバ１２のインクがインク供給口１
３を介して圧力発生室１４に流れ込み、ついで圧力発生
室１４のインクが加圧されてノズル開口１７からインク
滴として吐出する。
るべきノズル開口１７に連通する圧力発生室１４に対向
する圧電振動子５に駆動信号を印加すると、圧電振動子
５が収縮、膨張して、圧力発生室１４を膨張、収縮させ
る。これによりリザーバ１２のインクがインク供給口１
３を介して圧力発生室１４に流れ込み、ついで圧力発生
室１４のインクが加圧されてノズル開口１７からインク
滴として吐出する。
【００１６】ところで、大判の圧電振動板を製造する過
程で、エッジ部に欠け等が生じることがある。この欠け
が存在する状態で導電材料の蒸着やスパッタリング等に
より外部電極９が作り付けられると、図３に示したよう
に欠損部Ｒにも導電層９’が形成されることになるが、
内部電極２、２、の内、外側に位置する内部電極２’
は、内側に位置する内部電極よりも欠損部Ｒよりも後端
に位置するから、若干の欠けでは導電層９’は、内部電
極２と他の極の内部電極３とを跨いでは形成されず、し
たがって異なる極の内部電極が導通等の事態を引き起こ
すことにはならない。
程で、エッジ部に欠け等が生じることがある。この欠け
が存在する状態で導電材料の蒸着やスパッタリング等に
より外部電極９が作り付けられると、図３に示したよう
に欠損部Ｒにも導電層９’が形成されることになるが、
内部電極２、２、の内、外側に位置する内部電極２’
は、内側に位置する内部電極よりも欠損部Ｒよりも後端
に位置するから、若干の欠けでは導電層９’は、内部電
極２と他の極の内部電極３とを跨いでは形成されず、し
たがって異なる極の内部電極が導通等の事態を引き起こ
すことにはならない。
【００１７】なお、上述の実施例のおいては、最外側の
内部電極２’、２’だけを後退させるようにしている
が、図４（イ）に示したように先端に露出しない内部電
極の内、中心部に位置する内部電極２を最長として、中
心部から離れる内部電極２”、２’ほど短くなるように
形成すると、欠損部に形成される導電層による異極の内
部電極間での導通をより確実に防止することができる。
内部電極２’、２’だけを後退させるようにしている
が、図４（イ）に示したように先端に露出しない内部電
極の内、中心部に位置する内部電極２を最長として、中
心部から離れる内部電極２”、２’ほど短くなるように
形成すると、欠損部に形成される導電層による異極の内
部電極間での導通をより確実に防止することができる。
【００１８】また、図４（ロ）に示したように先端に露
出せず、かつ最外側に位置する内部電極２’と外部電極
９との圧電材料４の層厚Ｇを、他の内部電極に挟まれる
圧電材料４の層厚よりも厚くすると、図４（イ）と同様
に欠損部に形成される導電層による異極の内部電極間で
の導通をより確実に防止することができる。
出せず、かつ最外側に位置する内部電極２’と外部電極
９との圧電材料４の層厚Ｇを、他の内部電極に挟まれる
圧電材料４の層厚よりも厚くすると、図４（イ）と同様
に欠損部に形成される導電層による異極の内部電極間で
の導通をより確実に防止することができる。
【００１９】図５乃至図７は、このような圧電振動子５
の製造方法に一実施例を示すものであって、表面が平坦
な定盤２０に、複数枚分のサイズを有し、かつ各層厚み
に予め成形された圧電材料のグリーンシート２１を載置
する（図５（I））。
の製造方法に一実施例を示すものであって、表面が平坦
な定盤２０に、複数枚分のサイズを有し、かつ各層厚み
に予め成形された圧電材料のグリーンシート２１を載置
する（図５（I））。
【００２０】これの表面に一方の内部電極３の内、最外
側に位置するパターン、つまりグリーシートの先端２１
ａからＬ１だけ非形成領域とするパターンを備えたマス
クを使用して導電材料の層２２を形成し（図５（I
I））、前述と同サイズの圧電材料のグリーンシート２
１を重ねる（図５（III））。
側に位置するパターン、つまりグリーシートの先端２１
ａからＬ１だけ非形成領域とするパターンを備えたマス
クを使用して導電材料の層２２を形成し（図５（I
I））、前述と同サイズの圧電材料のグリーンシート２
１を重ねる（図５（III））。
【００２１】他方の極となる内部電極３を形成するパタ
ーンを備えたマスクを使用して、グリーンシートの端部
２１ａから振動領域に相当する幅Ｌ３を形成領域とする
ように導電材料の層２３を形成し（図６（I））、前述
と同サイズの圧電材料のグリーンシート２１を重ねる
（図６（II））。
ーンを備えたマスクを使用して、グリーンシートの端部
２１ａから振動領域に相当する幅Ｌ３を形成領域とする
ように導電材料の層２３を形成し（図６（I））、前述
と同サイズの圧電材料のグリーンシート２１を重ねる
（図６（II））。
【００２２】グリーシートの先端２１ａからＬ２だけ非
形成領域とするパターンを備えたマスクを使用して導電
材料の層２２’を形成する（図６（III））。このよう
な工程を繰り返し、一方の極となる内部電極の内、最外
側となるもう一方の内部電極２’を形成する場合には、
図５（II）の工程と同様に、グリーシートの先端２１ａ
からＬ１だけ非形成領域とするパターンを備えたマスク
を使用して導電材料の層２２を形成し、圧電材料のグリ
ーンシート２１を重ねる。所定の厚みまで積層が終了し
た段階で、グリーンシートを乾燥させてから焼成する。
形成領域とするパターンを備えたマスクを使用して導電
材料の層２２’を形成する（図６（III））。このよう
な工程を繰り返し、一方の極となる内部電極の内、最外
側となるもう一方の内部電極２’を形成する場合には、
図５（II）の工程と同様に、グリーシートの先端２１ａ
からＬ１だけ非形成領域とするパターンを備えたマスク
を使用して導電材料の層２２を形成し、圧電材料のグリ
ーンシート２１を重ねる。所定の厚みまで積層が終了し
た段階で、グリーンシートを乾燥させてから焼成する。
【００２３】これにより、複数枚分の圧電振動板が完成
するから、表面にフレキシブルケーブルとの接続用の電
極となる外部電極３３、３６をスパッタリングや蒸着に
より形成し、これら電極３３、３６に電圧を印加して所
定の分極処理を行った後、圧電振動子ユニットに相当す
るサイズの小板に切分ける。
するから、表面にフレキシブルケーブルとの接続用の電
極となる外部電極３３、３６をスパッタリングや蒸着に
より形成し、これら電極３３、３６に電圧を印加して所
定の分極処理を行った後、圧電振動子ユニットに相当す
るサイズの小板に切分ける。
【００２４】小板に切分けられた圧電材料板３０を固定
基板３１に位置決めして（図７（I））接着剤で固定し
（図７（II））、少なくとも先端側で外部電極３３によ
り導通された導電層２３と、この外部電極層３３とを共
に分離できる程度の位置まで、先端からワイヤソウ等の
切断手段３４によりスリット３５を形成して歯割りする
ことにより圧電振動子５が完成する。なお、スリット３
５は、その終端が図示したように圧電振動子の配列面に
対して斜めとなるように形成したり、また垂直となるよ
うに形成されている。
基板３１に位置決めして（図７（I））接着剤で固定し
（図７（II））、少なくとも先端側で外部電極３３によ
り導通された導電層２３と、この外部電極層３３とを共
に分離できる程度の位置まで、先端からワイヤソウ等の
切断手段３４によりスリット３５を形成して歯割りする
ことにより圧電振動子５が完成する。なお、スリット３
５は、その終端が図示したように圧電振動子の配列面に
対して斜めとなるように形成したり、また垂直となるよ
うに形成されている。
【００２５】このように先端側の外部電極層３３を分離
し、また後端側の外部電極３６を連続させることができ
る状態でスリット３５を形成することにより、外部電極
３３をセレクト電極に形成することができ、また外部電
極３６を可及的に電気抵抗が小さな共通電極として使用
することができる。
し、また後端側の外部電極３６を連続させることができ
る状態でスリット３５を形成することにより、外部電極
３３をセレクト電極に形成することができ、また外部電
極３６を可及的に電気抵抗が小さな共通電極として使用
することができる。
【００２６】なお、上述の実施例においては、圧電振動
子の不活性領域を固定基板に固定するようにしている
が、図８に示したように非振動領域側の端面を固定基板
３７の表面に固定するようにしても同様の作用を奏する
ことは明らかである。
子の不活性領域を固定基板に固定するようにしている
が、図８に示したように非振動領域側の端面を固定基板
３７の表面に固定するようにしても同様の作用を奏する
ことは明らかである。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
圧電振動子の流路ユニット側の先端から一定の距離をお
いて圧電材料に埋め込まれる第１の内部電極の内、外側
に位置するものの先端と圧電振動子の先端面との距離
が、他の第１の内部電極のそれよりも大きく形成したの
で、欠けが生じ易いエッジ部における第１の内部電極
と、第２の内部電極に接続する外部電極との間に長い距
離を確保できて、欠損部の外部電極用の導電層との接触
を防止することができる。
圧電振動子の流路ユニット側の先端から一定の距離をお
いて圧電材料に埋め込まれる第１の内部電極の内、外側
に位置するものの先端と圧電振動子の先端面との距離
が、他の第１の内部電極のそれよりも大きく形成したの
で、欠けが生じ易いエッジ部における第１の内部電極
と、第２の内部電極に接続する外部電極との間に長い距
離を確保できて、欠損部の外部電極用の導電層との接触
を防止することができる。
【図１】図（イ）、（ロ）は、本発明のインクジェット
式記録ヘッドの一実施例を示す断面図、及び圧電振動子
の先端を拡大して示す図である。
式記録ヘッドの一実施例を示す断面図、及び圧電振動子
の先端を拡大して示す図である。
【図２】同上記録ヘッドに使用する圧電振動子ユニット
の一実施例を示す斜視図である。
の一実施例を示す斜視図である。
【図３】同上圧電振動子ユニットの圧電振動子の先端を
拡大して示す図である。
拡大して示す図である。
【図４】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明のインク
ジェット式記録ヘッドの他の実施例を圧電振動子の形態
で示す図である。
ジェット式記録ヘッドの他の実施例を圧電振動子の形態
で示す図である。
【図５】図（I）乃至（III）は、同上圧電振動子ユニッ
トの製造方法の内、圧電振動板の製造方法の前半の工程
を示す図である。
トの製造方法の内、圧電振動板の製造方法の前半の工程
を示す図である。
【図６】図（I）乃至（III）は、同上圧電振動子ユニッ
トの製造方法の内、圧電振動板の製造方法の後半の工程
を示す図である。
トの製造方法の内、圧電振動板の製造方法の後半の工程
を示す図である。
【図７】図（I）乃至（III）は、同上圧電振動子ユニッ
トの製造方法の内、圧電振動板を用いて圧電振動子を形
成する工程を示す図である。
トの製造方法の内、圧電振動板を用いて圧電振動子を形
成する工程を示す図である。
【図８】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図９】図（イ）、（ロ）は、それぞれ従来のインクジ
ェット式記録ヘッド、及びこれの圧電振動子の先端を拡
大して示す図である。
ェット式記録ヘッド、及びこれの圧電振動子の先端を拡
大して示す図である。
１ 圧電振動子ユニット ２、２’ 一方の極の内部電極 ３ 他方の極の内部電極 ４ 圧電材料 ５ 圧電振動子 ６ 固定基板 １１ 流路形成ユニット １２ リザーバ １３ インク供給口 １４ 圧力発生室 １７ ノズル開口 Ｒ 欠損部
Claims (16)
- 【請求項１】 軸方向に平行に異なる極の第１の内部電
極と第２の内部電極とをそれぞれ各端面でのみ露出さ
せ、かつ振動領域でラップするように圧電材料を介装し
て積層した圧電定数ｄ31の圧電振動子と、 前記圧電振動子の先端に当接して圧力発生室の容積を膨
張、縮小させる弾性板を有する流路ユニットと、 からなるインクジェット式記録ヘッドにおいて、 前記圧電振動子の前記流路ユニット側の先端から一定の
距離をおいて前記圧電材料に埋め込まれる第１の内部電
極の内、外側に位置するものの先端と前記圧電振動子の
先端面との距離が、他の第１の内部電極の先端と前記先
端面との距離よりも大きく形成されているインクジェッ
ト式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記流路ユニットが、リザーバ、インク
供給口、及び圧力発生室を区画、形成する流路形成基板
と、前記圧電振動子の先端に当接して前記圧力発生室の
容積を膨張、収縮させる弾性板と、前記流路形成基板の
他方の面を封止してインク滴を吐出させるノズル開口を
備えたノズルプレートとを液密に積層して構成されてい
る請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】 第１の内部電極と前記圧電振動子の先端
面との距離が、中央領域を頂点とするようにして徐々に
長く設定されている請求項１に記載のインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項４】 最外側に位置する第１の内部電極の外側
の前記圧電材料の層が、他の領域の前記内部電極間より
も厚く形成されている請求項１に記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記各圧電振動子の第１の内部電極を非
振動領域の端面で並列に接続し、また前記各圧電振動子
の第２の内部電極を振動領域の端面で並列に接続する外
部電極を備えた請求項１に記載のインクジェット式記録
ヘッド。 - 【請求項６】 第１の内部電極に接続する外部電極が共
通電極として、また第２の内部電極に接続する外部電極
がセレクト電極としてフレキシブルケーブルに接続され
ている請求項５に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項７】 第１の内部電極に接続する外部電極が、
圧電振動子ユニットを構成する全ての前記圧電振動子と
並列に接続されている請求項５に記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項８】 前記圧電振動子が、その非振動領域を固
定基板に固定されて圧電振動子ユニットに構成されてい
る請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項９】 前記圧電振動子が、前記非振動領域の側
面を前記固定基板に固定されている請求項５に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１０】 前記圧電振動子が、前記非振動領域の
端面を前記固定基板に固定されている請求項５に記載の
インクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１１】 前記圧電振動子が、軸方向に平行に異
なる極の内部電極をそれぞれ一端で露出させ、かつ振動
領域でラップするように圧電材料を介装して積層した圧
電定数ｄ31の圧電振動板に、スリットを形成して構成さ
れている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項１２】 前記スリットが、振動領域に形成され
ている請求項１１に記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項１３】 前記スリットの端面が、前記圧電振動
子の配列面に対して傾斜している請求項１２に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１４】 前記スリットの端面が、前記圧電振動
子の配列面に対して垂直である請求項１２に記載のイン
クジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１５】 複所定のサイズと厚みの圧電材料と、
前記圧電材料の一方の端面に、外側に位置するもの程、
幅の広い非形成領域を残す第１の導電材料の層と、前記
圧電材料の他方の端面に一定幅の非形成領域を残す第２
の導電材料の層とを交互に形成する工程と、所定の厚み
まで積層が終了した段階で焼成する工程と、表面に接続
用の外部電極を形成する工程と、非振動領域を固定基板
に固定して非振動領域側に連続部を残すようにスリット
を形成して歯割りする工程とからなるインクジェット式
記録ヘッド用の圧電振動子ユニットの製造方法。 - 【請求項１６】 前記スリットが、非振動領域に連続部
を残すように形成される請求項１５に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド用の圧電振動子ユニットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32040197A JP3729997B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32040197A JP3729997B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニットの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11138812A true JPH11138812A (ja) | 1999-05-25 |
| JP3729997B2 JP3729997B2 (ja) | 2005-12-21 |
Family
ID=18121063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32040197A Expired - Fee Related JP3729997B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3729997B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1164016A2 (en) * | 2000-06-12 | 2001-12-19 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit |
| JP2003526903A (ja) * | 1999-04-20 | 2003-09-09 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | 差動型ｐｚｔアクチベータの電極パターンの形成 |
| US6700307B2 (en) | 1999-12-27 | 2004-03-02 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit |
| CN100372686C (zh) * | 2003-03-04 | 2008-03-05 | 精工爱普生株式会社 | 压电元件形成部件 |
| DE10231929B4 (de) * | 2001-07-25 | 2010-04-29 | Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo-shi | Piezoelektrische Mehrschicht-Vorrichtung und piezoelektrisches Betätigungsglied, das unter Verwendung derselben gebildet ist |
-
1997
- 1997-11-06 JP JP32040197A patent/JP3729997B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| US6955421B2 (en) | 1999-12-27 | 2005-10-18 | Seiko Epson Corporation | Manufacturing method of piezoelectric vibrator unit, manufacturing method of liquid jet head, piezoelectric vibrator unit, and liquid jet head |
| US7725995B2 (en) | 1999-12-27 | 2010-06-01 | Seiko Epson Corporation | Manufacturing method of piezoelectric vibrator unit, manufacturing method of liquid jet head, piezoelectric vibrator unit, and liquid jet head |
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| EP1164016A3 (en) * | 2000-06-12 | 2002-01-16 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit |
| US7111927B2 (en) | 2000-06-12 | 2006-09-26 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3729997B2 (ja) | 2005-12-21 |
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