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JPH11110995A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

Info

Publication number
JPH11110995A
JPH11110995A JP9266245A JP26624597A JPH11110995A JP H11110995 A JPH11110995 A JP H11110995A JP 9266245 A JP9266245 A JP 9266245A JP 26624597 A JP26624597 A JP 26624597A JP H11110995 A JPH11110995 A JP H11110995A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
redundant
address
circuit
input
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP9266245A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiyonori Ogura
清則 小椋
Mutsuya Nakaie
睦哉 仲家
Yasuo Fukazawa
保夫 深澤
Shuichi Saito
修一 斎藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu VLSI Ltd, Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu VLSI Ltd
Priority to JP9266245A priority Critical patent/JPH11110995A/en
Publication of JPH11110995A publication Critical patent/JPH11110995A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】ブロック単位で冗長する半導体記憶装置におい
て、冗長救済率及び冗長救済の柔軟性を向上すること。 【解決手段】冗長回路3の第1の記憶手段4は、不良セ
ルを選択する正規アドレスADを冗長アドレスとして記
憶する。第2の記憶手段5は、不良セルとは別のワード
線WL又はビット線BL上の不良セルを選択する正規ア
ドレスADと第1の記憶手段4にて記憶された冗長アド
レスの差を記憶する。判定手段6は、入力された正規ア
ドレスADが第1の記憶手段4に記憶された冗長アドレ
スと一致した場合、若しくは入力された正規アドレスA
Dと第1の記憶手段4に記憶された冗長アドレスの差が
第2の記憶手段5に記憶された差と一致した場合には、
冗長信号JGを生成するとともに、入力された正規アド
レスADに基づいて冗長選択信号Rselを生成する。
(57) [Summary] To improve the redundancy repair ratio and the flexibility of the redundancy repair in a semiconductor memory device that is redundant in block units. A first storage means of a redundant circuit stores a normal address for selecting a defective cell as a redundant address. The second storage means 5 stores a difference between a normal address AD for selecting a defective cell on a word line WL or a bit line BL different from the defective cell and the redundant address stored in the first storage means 4. . The determination unit 6 determines whether the input regular address AD matches the redundant address stored in the first storage unit 4 or the input regular address A
If the difference between D and the redundant address stored in the first storage means 4 matches the difference stored in the second storage means 5,
A redundant signal JG is generated, and a redundant selection signal Rsel is generated based on the input normal address AD.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置に係
り、詳しくは、通常セルアレイ内の不良セルと冗長セル
とを切り換える冗長回路を備えた半導体記憶装置に関す
る。
The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a semiconductor memory device having a redundant circuit for switching between a defective cell and a redundant cell in a normal cell array.

【0002】近年の半導体記憶装置は、その記憶セルを
微細化することで高集積化及び大容量化を図っている。
そのため、記憶セルに不良が発生する確率が高くなると
ともに、その不良の大きさも1本のワード線又はビット
線上だけでなく、隣接する複数本のワード線又はビット
線上に跨った不良が増加してきた。そこで、単に不良セ
ルの救済率を向上させるだけでなく、その冗長救済の柔
軟性を向上することが必要となってきた。
2. Description of the Related Art In recent years, a semiconductor memory device has achieved high integration and large capacity by miniaturizing its memory cell.
Therefore, the probability of occurrence of a defect in the memory cell increases, and the size of the defect increases not only on one word line or bit line but also on a plurality of adjacent word lines or bit lines. . Therefore, it has become necessary to improve not only the remedy rate of defective cells but also the flexibility of the redundancy rescue.

【0003】[0003]

【従来の技術】メモリセルアレイに多数の記憶セルが形
成されるDRAMでは、通常の記憶セルが多数形成され
る通常セルアレイと、複数の冗長セルが形成される冗長
セルアレイとから構成される。このように構成されたD
RAMでは、動作試験により通常セルアレイ内に不良セ
ルが発見された場合には、その不良セルに対応する正規
アドレスがヒューズの切断等の操作により冗長回路に冗
長アドレスとして記憶される。
2. Description of the Related Art A DRAM in which a large number of storage cells are formed in a memory cell array includes a normal cell array in which a large number of normal storage cells are formed and a redundant cell array in which a plurality of redundant cells are formed. D configured in this way
In the RAM, when a defective cell is found in a normal cell array by an operation test, a normal address corresponding to the defective cell is stored as a redundant address in a redundant circuit by an operation such as cutting a fuse.

【0004】ここで、記憶容量の大きなDRAMでの冗
長救済は、ブロック単位で行われるものがある。即ち、
1つの冗長回路には、例えば2本の冗長ワード線及び冗
長セルで1組となる冗長セルアレイが接続される。この
ようにすれば、冗長セルアレイに対して冗長回路を少な
く構成することができ、DRAMのレイアウト面積増大
を抑制することができるためである。
Here, there is a method of performing redundancy repair in a DRAM having a large storage capacity in units of blocks. That is,
One redundant circuit is connected to, for example, two redundant word lines and a redundant cell array as a set of redundant cells. By doing so, the number of redundant circuits can be reduced with respect to the redundant cell array, and an increase in the layout area of the DRAM can be suppressed.

【0005】前記冗長回路には冗長アドレス判定回路が
備えられ、該判定回路は、入力される正規アドレスと、
記憶された冗長アドレスとの一致・不一致を判定するよ
うになっている。
[0005] The redundant circuit is provided with a redundant address determination circuit.
A match / mismatch with the stored redundant address is determined.

【0006】この場合、従来では冗長回路は、冗長アド
レス判定回路にてアドレスの最下位ビット以外のアドレ
ス情報が一致したとき、通常セルアレイを駆動するワー
ドドライバを不活性状態に切り換えるとともに、冗長セ
ルアレイを駆動する冗長ワードドライバを活性化状態に
切り換える。即ち、最下位ビットのみが異なった連続し
たアドレスにて選択される2つの通常セル列は、2つの
冗長セル列に置き換えられることになる。
In this case, the redundant circuit conventionally switches the word driver for driving the normal cell array to an inactive state when the address information other than the least significant bit of the address matches in the redundant address determination circuit, and switches the redundant cell array to the inactive state. The redundant word driver to be driven is switched to the activated state. That is, two normal cell columns in which only the least significant bit is selected by different consecutive addresses are replaced by two redundant cell columns.

【0007】また、前記冗長回路は、アドレスの最下位
ビットにて、冗長ドライバが2本の冗長ワード線のう
ち、いずれか1本を選択するため冗長ワード線選択信号
を生成する。
The redundant circuit generates a redundant word line selection signal at the least significant bit of the address so that the redundant driver selects one of the two redundant word lines.

【0008】そして、冗長ワードドライバは、前記冗長
回路からの冗長ワード線選択信号に基づいて1本の冗長
ワード線を選択し、選択された冗長ワード線と、コラム
選択信号に基づいて選択されるビット線とにより、前記
不良セルを救済すべく冗長セルが不良セルに代わり選択
される。
A redundant word driver selects one redundant word line based on a redundant word line selection signal from the redundant circuit, and is selected based on the selected redundant word line and a column selection signal. With the bit line, a redundant cell is selected instead of the defective cell to rescue the defective cell.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、DRAMの
メモリセルにおいては、DRAMのアドレス端子に入力
されるアドレスは、チップ上の物理的なセルの配置とは
必ずしも対応しない。つまり、図6に示すように、メモ
リセルアレイ6内の物理的に連続した4つの通常セル列
C1〜C4に対応する行アドレスのアドレス情報が、X
AD(i)、XAD(i+2)、XAD(i+1)、X
AD(i+3)と不連続に割り当てられることがある。
これは、主としてチップサイズの制約からくるレイアウ
ト上の理由によることが多い。
By the way, in a DRAM memory cell, an address inputted to an address terminal of the DRAM does not always correspond to a physical cell arrangement on a chip. That is, as shown in FIG. 6, the address information of the row address corresponding to four physically continuous normal cell columns C1 to C4 in the memory cell array 6 is X.
AD (i), XAD (i + 2), XAD (i + 1), X
AD (i + 3) may be assigned discontinuously.
This is often due to layout reasons mainly due to chip size restrictions.

【0010】そのため、記憶容量が大きいために物理的
に隣接した通常セル列C1,C2に同時に不良が発生す
ることが多くなっている。しかし、上記した冗長救済で
は、最下位ビットのみが異なる連続したアドレスにて選
択される2つの通常セル列を冗長セル列に置換すること
から、物理的に隣接していてもアドレスが連続していな
いため、1つのブロックで救済することができない。従
って、上記した冗長救済では、冗長救済の柔軟性がな
く、その救済率を向上することができないという問題が
あった。
For this reason, due to the large storage capacity, failures often occur simultaneously in the physically adjacent normal cell rows C1 and C2. However, in the above-described redundancy repair, two normal cell columns selected by consecutive addresses having different least significant bits are replaced with redundant cell columns. Therefore, addresses are continuous even if they are physically adjacent. Because of this, it cannot be relieved by one block. Therefore, there is a problem that the above-described redundancy relief does not have the flexibility of the redundancy relief and cannot improve the relief rate.

【0011】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的は、ブロック単位で冗長
する半導体記憶装置において、冗長救済率及び冗長救済
の柔軟性を向上することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to improve the redundancy repair ratio and the flexibility of the redundancy repair in a semiconductor memory device that is redundant in block units. is there.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】図1は、請求項1の原理
説明図である。即ち、半導体記憶装置は、選択回路1
と、冗長選択回路2と、冗長回路3とを備え、複数の冗
長ワード線RWL又は冗長ビット線RBLの選択動作を
制御する冗長回路単位で冗長動作を行う。選択回路1
は、通常セルアレイ内に備えられる複数のワード線WL
又はビット線BLのうち、いずれか1本を選択動作する
とともに、冗長信号JGの入力に基づいて不活性化され
る。冗長選択回路2は、前記冗長信号JGの入力に基づ
いて活性化され、冗長セルアレイ内に備えられる複数の
冗長ワード線RWL又は冗長ビット線RBLのうち、冗
長選択信号Rselの入力に基づいていずれか1本を選
択動作する。冗長回路3は、前記通常セルアレイ内の不
良セルを選択する正規アドレスADが入力されたとき、
前記選択回路1及び冗長選択回路2に冗長信号JGを出
力するとともに、該冗長選択回路2に冗長選択信号Rs
elを出力する。前記冗長回路3は、第1の記憶手段4
と、第2の記憶手段5と、判定手段6とを備える。第1
の記憶手段4は、前記不良セルを選択する正規アドレス
ADを冗長アドレスとして記憶する。第2の記憶手段5
は、前記不良セルとは別のワード線WL又はビット線B
L上の不良セルを選択する正規アドレスADと前記第1
の記憶手段4にて記憶された冗長アドレスの差を記憶す
る。判定手段6は、入力された正規アドレスADが前記
第1の記憶手段4に記憶された冗長アドレスと一致した
場合、若しくは入力された正規アドレスADと前記第1
の記憶手段4に記憶された冗長アドレスの差が前記第2
の記憶手段5に記憶された差と一致した場合には、前記
冗長信号JGを生成するとともに、入力された正規アド
レスADに基づいて前記冗長選択信号Rselを生成す
る。
FIG. 1 is a diagram for explaining the principle of claim 1. That is, the semiconductor memory device includes the selection circuit 1
, A redundancy selection circuit 2 and a redundancy circuit 3, and perform a redundancy operation in units of a redundancy circuit that controls a selection operation of a plurality of redundant word lines RWL or redundant bit lines RBL. Selection circuit 1
Is a plurality of word lines WL normally provided in a cell array.
Alternatively, one of the bit lines BL is selected, and is inactivated based on the input of the redundant signal JG. The redundancy selection circuit 2 is activated based on the input of the redundancy signal JG, and any one of a plurality of redundancy word lines RWL or redundancy bit lines RBL provided in the redundancy cell array based on the input of the redundancy selection signal Rsel. One is selected. When a normal address AD for selecting a defective cell in the normal cell array is input, the redundant circuit 3
A redundancy signal JG is output to the selection circuit 1 and the redundancy selection circuit 2, and a redundancy selection signal Rs is supplied to the redundancy selection circuit 2.
Output el. The redundancy circuit 3 includes a first storage unit 4
And a second storage unit 5 and a determination unit 6. First
Storage means 4 stores a normal address AD for selecting the defective cell as a redundant address. Second storage means 5
Is a word line WL or a bit line B different from the defective cell.
L and the first address AD for selecting a defective cell on L.
The difference between the redundant addresses stored in the storage means 4 is stored. The determination means 6 determines whether the input regular address AD matches the redundant address stored in the first storage means 4 or the inputted regular address AD and the first regular address AD.
The difference between the redundant addresses stored in the storage means 4 is the second
When the difference matches the difference stored in the storage means 5, the redundant signal JG is generated, and the redundant selection signal Rsel is generated based on the input normal address AD.

【0013】請求項2に記載の発明は、前記通常セルア
レイは、物理的に隣接して形成された複数の冗長ワード
線又は冗長ビット線を選択するアドレスが不連続に割り
当てられた構成である。
According to a second aspect of the present invention, in the normal cell array, addresses for selecting a plurality of redundant word lines or redundant bit lines formed physically adjacent to each other are discontinuously assigned.

【0014】請求項3に記載の発明は、前記判定手段
は、入力された正規アドレスと、前記第1の記憶手段に
記憶された冗長アドレスとの差を演算する減算器を備
え、前記減算器の演算結果がゼロとなったとき、若しく
は前記減算器の演算結果が前記第2の記憶手段に記憶さ
れた差と一致したときに、前記冗長信号を生成する。
According to a third aspect of the present invention, the determining means includes a subtractor for calculating a difference between the input normal address and the redundant address stored in the first storage means, The redundant signal is generated when the result of the operation becomes zero or when the result of the operation of the subtractor matches the difference stored in the second storage means.

【0015】(作用)請求項1,2に記載の発明によれ
ば、判定手段は、入力された正規アドレスが第1の記憶
手段に記憶された冗長アドレスと一致した場合、若しく
は入力された正規アドレスと第1の記憶手段に記憶され
た冗長アドレスの差が第2の記憶手段に記憶された差と
一致した場合には、不良セルを選択する正規アドレスが
入力されたと判定して冗長動作に切り換える。従って、
不連続なアドレス、若しくは連続なアドレスであって2
つのビットが異なるアドレスを有した場合であっても、
1つの冗長回路にて同時に冗長することができる。その
結果、1つの冗長回路及び冗長セルアレイ、即ち1つの
ブロックで冗長できることから、冗長救済の柔軟性を向
上することができ、その救済率を向上することができ
る。
(Operation) According to the first and second aspects of the present invention, the determining means determines whether the input normal address matches the redundant address stored in the first storage means or the input normal address. If the difference between the address and the redundant address stored in the first storage means matches the difference stored in the second storage means, it is determined that a normal address for selecting a defective cell has been input and the redundant operation is started. Switch. Therefore,
Non-contiguous address or continuous address and 2
Even if two bits have different addresses,
Redundancy can be made simultaneously by one redundant circuit. As a result, since one redundant circuit and one redundant cell array, that is, one block can perform redundancy, the flexibility of the redundancy repair can be improved, and the repair rate can be improved.

【0016】請求項3に記載の発明によれば、判定手段
におけるアドレスの一致・不一致の判定は、その減算器
にて行われる。従って、判定手段におけるアドレスの比
較判定を容易に行うことができる。
According to the third aspect of the present invention, the judgment of the coincidence / mismatch of the addresses by the judging means is performed by the subtracter. Therefore, it is possible to easily perform the address comparison judgment by the judgment means.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明をDRAMに具体化
した一実施の形態を図2〜図5に従って説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention embodied in a DRAM will be described below with reference to FIGS.

【0018】図2は、DRAMの概要を示す。外部から
入力される行アドレス信号XADは、行アドレスバッフ
ァ1を介して行デコーダ2に入力される。また、外部か
ら入力される列アドレス信号YADは、列アドレスバッ
ファ3を介して列デコーダ4に入力される。
FIG. 2 shows an outline of the DRAM. An externally input row address signal XAD is input to a row decoder 2 via a row address buffer 1. A column address signal YAD input from the outside is input to the column decoder 4 via the column address buffer 3.

【0019】行デコーダ2は、前記行アドレス信号XA
Dに基づいてワード線選択信号selを生成してワード
ドライバ(WD)5に出力し、ワードドライバ5はワー
ド線選択信号selに基づいて、メモリセルアレイ6に
おける通常セルアレイ6a内のいずれか1本のワード線
WLをHレベルに引き上げる。尚、本実施の形態では、
図6に示すように、メモリセルアレイ6内の物理的に連
続した4つの通常セル列C1〜C4に対して、それぞれ
行アドレスのアドレス情報が、XAD(i)、XAD
(i+2)、XAD(i+1)、XAD(i+3)と不
連続に割り当てられている。
The row decoder 2 receives the row address signal XA
D, generates a word line selection signal sel and outputs it to a word driver (WD) 5. The word driver 5 selects one of the normal cell arrays 6a in the memory cell array 6 based on the word line selection signal sel. The word line WL is raised to the H level. In the present embodiment,
As shown in FIG. 6, for four physically continuous normal cell columns C1 to C4 in the memory cell array 6, the address information of the row address is XAD (i) and XAD (i), respectively.
(I + 2), XAD (i + 1), and XAD (i + 3) are discontinuously allocated.

【0020】前記列デコーダ4は、前記列アドレス信号
YADに基づいてコラム選択信号をセンスアンプ7に出
力する。そして、コラム選択信号に基づいて選択される
ビット線BLと、前記ワードドライバ5により選択され
たワード線WLとにより、通常セルアレイ6a内のいず
れか1つの記憶セルが選択される。
The column decoder 4 outputs a column selection signal to the sense amplifier 7 based on the column address signal YAD. Then, one of the storage cells in the normal cell array 6a is selected by the bit line BL selected based on the column selection signal and the word line WL selected by the word driver 5.

【0021】前記センスアンプ7はI/Oバッファ8に
接続され、I/Oバッファ8には入出力端子DQが接続
される。そして、セル情報の書き込み動作時には、外部
から入出力端子DQに入力される書き込みデータがI/
Oバッファ8及びセンスアンプ7を介して、選択された
記憶セルに書き込まれる。
The sense amplifier 7 is connected to an I / O buffer 8, and an input / output terminal DQ is connected to the I / O buffer 8. At the time of the cell information write operation, the write data externally input to the input / output terminal DQ is I / O
The data is written to the selected memory cell via the O buffer 8 and the sense amplifier 7.

【0022】また、セル情報の読み出し動作時には、選
択された記憶セルから読み出されたセル情報がセンスア
ンプ7及びI/Oバッファ8に入力され、そのI/Oバ
ッファ8から入出力端子DQに読み出しデータが出力さ
れる。
At the time of reading the cell information, the cell information read from the selected storage cell is input to the sense amplifier 7 and the I / O buffer 8, and from the I / O buffer 8 to the input / output terminal DQ. Read data is output.

【0023】前記行アドレス信号XADは、前記行アド
レスバッファ1を介して冗長回路9に入力される。冗長
回路9には、動作試験により発見された通常セルアレイ
6a内の不良セルに対応した正規アドレスが冗長アドレ
スとして記憶される。この冗長回路9は、複数個(図2
では1個のみ図示)備えられる。
The row address signal XAD is input to the redundancy circuit 9 via the row address buffer 1. In the redundant circuit 9, a normal address corresponding to a defective cell in the normal cell array 6a found by the operation test is stored as a redundant address. This redundant circuit 9 has a plurality (see FIG. 2).
Only one is shown).

【0024】前記冗長回路9は、入力された前記行アド
レス信号XADが不良セルに対応する正規アドレスと冗
長アドレスとが一致した判定すると、例えばHレベルの
冗長信号JGを出力し、冗長ワードドライバ(RWD)
10を活性化させるとともに、前記ワードドライバ5を
非活性状態にする。
When the input row address signal XAD determines that the normal address corresponding to the defective cell coincides with the redundant address, the redundant circuit 9 outputs, for example, an H-level redundant signal JG and outputs a redundant word driver (G). RWD)
10 is activated and the word driver 5 is deactivated.

【0025】前記冗長ワードドライバ10は前記冗長回
路9と同数だけ備えられ、各冗長ワードドライバ10に
は2本の冗長ワード線RWL0,RWL1及び冗長セル
で一組となる冗長セルアレイ6bが接続される。即ち、
冗長回路9及び冗長ワードドライバ10は、通常メモリ
セル6aの2本のワード線WLを同時に冗長ワード線R
WL0,RWL1に置き換える。
The redundant word drivers 10 are provided in the same number as the redundant circuits 9, and each redundant word driver 10 is connected to two redundant word lines RWL0, RWL1 and a redundant cell array 6b which is a set of redundant cells. . That is,
The redundant circuit 9 and the redundant word driver 10 simultaneously connect the two word lines WL of the normal memory cell 6a to the redundant word line R.
Replace with WL0 and RWL1.

【0026】また、前記冗長回路9は、記憶した冗長ア
ドレスに基づいて、前記冗長ワードドライバ10が2本
の冗長ワード線RWL0,RWL1のうち1本を選択す
るために冗長ワード線選択信号Rsel0,Rsel1
のいずれかを例えばHレベルに切り換える。
In addition, the redundant circuit 9 generates a redundant word line selection signal Rsel0, Rsel0, so that the redundant word driver 10 selects one of the two redundant word lines RWL0, RWL1 based on the stored redundant address. Rsel1
Is switched to, for example, the H level.

【0027】そして、冗長ワードドライバ10は、前記
冗長回路9から入力されるいずれかの冗長ワード線選択
信号Rsel0,Rsel1に基づいて1本の冗長ワー
ド線RWL0(RWL1)を選択し、選択された冗長ワ
ード線RWL0(RWL1)と、コラム選択信号に基づ
いて選択されるビット線BLとにより、冗長セルアレイ
6b内の記憶セルが前記不良セルに代わり選択される。
The redundant word driver 10 selects one redundant word line RWL0 (RWL1) based on one of the redundant word line selection signals Rsel0 and Rsel1 input from the redundant circuit 9, and selects the selected redundant word line RWL0 (RWL1). By the redundant word line RWL0 (RWL1) and the bit line BL selected based on the column selection signal, a memory cell in the redundant cell array 6b is selected instead of the defective cell.

【0028】図3は、前記冗長回路9を示す。冗長回路
9は、冗長アドレス判定回路11と、第1及び第2のR
OM12,13とから構成される。冗長アドレス判定回
路11には、前記行アドレスバッファ1を介して行アド
レス信号XADが入力される。
FIG. 3 shows the redundant circuit 9. The redundancy circuit 9 includes a redundancy address determination circuit 11 and first and second R
OM12 and OM13. The row address signal XAD is input to the redundant address determination circuit 11 via the row address buffer 1.

【0029】第1のROM12には、動作試験により発
見された通常セルアレイ6a内の不良セルに対応した正
規アドレスが冗長アドレスとして記憶される。即ち、第
1のROM12には、冗長アドレスのアドレス情報RO
M(i)が記憶されるとともに、冗長回路9の使用状態
を示す冗長許可信号ROMj(例えばHレベル)を出力
するための情報が記憶される。
In the first ROM 12, a normal address corresponding to a defective cell in the normal cell array 6a found by an operation test is stored as a redundant address. That is, the first ROM 12 stores the address information RO of the redundant address.
M (i) is stored, and information for outputting a redundancy permission signal ROMj (for example, H level) indicating the use state of the redundancy circuit 9 is stored.

【0030】また、前記第2のROM13は、上記とは
別のワード線WL上の不良セルに対応した正規アドレス
と、前記不良セルに対応したアドレスとの差が記憶され
る。ここで、本実施の形態のメモリセルアレイ6は物理
的に連続した4つの通常セル列C1〜C4のアドレスの
差が最大でも「2」であることから、この第2のROM
13は2ビットの情報を記憶可能に構成される。そのた
め、第2のROM13は、差が「1」〜「3」の間にお
いて記憶可能である。
The second ROM 13 stores a difference between a normal address corresponding to a defective cell on a different word line WL and an address corresponding to the defective cell. Here, in the memory cell array 6 of the present embodiment, since the difference between the addresses of four physically continuous normal cell columns C1 to C4 is "2" at the maximum, the second ROM
Reference numeral 13 is configured to be able to store 2-bit information. Therefore, the second ROM 13 can store the difference between “1” and “3”.

【0031】また、本実施の形態では、物理的に連続す
る通常セル列に同時に不良セルが生じた場合に、その小
さい方のアドレスが冗長アドレスとして第1のROM1
2に記憶され、第2のROM13にはその小さい方のア
ドレスとの差が記憶される。
In this embodiment, when a defective cell is simultaneously generated in a physically continuous normal cell row, the smaller address is used as a redundant address in the first ROM 1.
2 and the second ROM 13 stores the difference from the smaller address.

【0032】従って、例えば、図6に示す通常セル列C
1,C2に同時に不良セルが生じた場合、第1のROM
12には行アドレスのアドレス情報XAD(i)が記憶
され、第2のROM13には通常セル列C1,C2のア
ドレスの差「2」が記憶される。また、通常セル列C
2,C3に同時に不良セルが生じた場合、第1のROM
12には行アドレスのアドレス情報XAD(i+1)が
記憶され、第2のROM13には通常セル列C2,C3
のアドレスの差「1」が記憶される。さらに、通常セル
列C3,C4に同時に不良セルが生じた場合、第1のR
OM12には行アドレスのアドレス情報XAD(i+
1)が記憶され、第2のROM13には通常セル列C
3,C4のアドレスの差「2」が記憶される。
Therefore, for example, the normal cell row C shown in FIG.
1 and C2, the first ROM
12 stores the address information XAD (i) of the row address, and the second ROM 13 stores the difference "2" between the addresses of the normal cell columns C1 and C2. Also, the normal cell row C
2 and C3, the first ROM
12 stores the address information XAD (i + 1) of the row address, and the second ROM 13 stores the normal cell columns C2 and C3.
Is stored as the address difference "1". Further, when defective cells occur simultaneously in the normal cell columns C3 and C4, the first R
The OM 12 has address information XAD (i +
1) is stored in the second ROM 13 and the normal cell row C
The difference "2" between the addresses 3 and C4 is stored.

【0033】冗長アドレス判定回路11は、第1のRO
M12に記憶された冗長許可信号ROMj及び冗長アド
レスのアドレス情報ROM(i)と、第2のROM13
に記憶された前記冗長アドレスの差とによって、前記冗
長信号JGをワードドライバ5及び冗長ワードドライバ
10に出力するとともに、冗長ワード線選択信号Rse
l0,Rsel1を出力する。
The redundant address judging circuit 11 outputs the first RO
An address information ROM (i) of the redundancy permission signal ROMj and the redundancy address stored in the M12;
And outputs the redundant signal JG to the word driver 5 and the redundant word driver 10 and the redundant word line selection signal Rse.
10 and Rsel1 are output.

【0034】図4は、前記冗長回路9の具体的構成を示
す。前記冗長回路9の冗長アドレス判定回路11は、行
アドレス信号XAD(XAD0〜XADi)のビット数
と同数の全加算器FA0〜FAiを備える。
FIG. 4 shows a specific configuration of the redundant circuit 9. The redundant address determination circuit 11 of the redundant circuit 9 includes the same number of full adders FA0 to FAi as the number of bits of the row address signal XAD (XAD0 to XADi).

【0035】全加算器FA0〜FAiの入力端子Xに
は、最下位ビットに対応した全加算器FA0から最上位
ビットに対応した全加算器FAiに向かって、前記行ア
ドレス信号XADの各ビットXAD0〜XADiが下位
ビットから順にそれぞれ入力される。
The input terminals X of the full adders FA0 to FAi are connected to each bit XAD0 of the row address signal XAD from the full adder FA0 corresponding to the least significant bit to the full adder FAi corresponding to the most significant bit. To XADi are input in order from the lower bit.

【0036】全加算器FA0〜FAiの入力端子Yに
は、上記と同様に全加算器FA0から全加算器FAiに
向かって、前記第1のROMに記憶された冗長アドレス
の各ビットROM0〜ROMiが下位ビットから順にイ
ンバータ回路14により反転されてそれぞれ入力され
る。
The input terminals Y of the full adders FA0 to FAi are connected to the respective bits ROM0 to ROMi of the redundant address stored in the first ROM from the full adder FA0 to the full adder FAi in the same manner as described above. Are inverted by the inverter circuit 14 in order from the lower bit and input.

【0037】最下位ビットに対応する全加算器FA0の
入力端子Zには、Hレベルの信号が常に入力される。全
加算器FA0〜FAi−1のキャリー端子Cから出力さ
れる各出力信号C0〜Ci−1は、上位ビットに対応す
る全加算器FA1〜FAiの入力端子Zにそれぞれ入力
される。尚、最上位ビットに対応する全加算器FAiの
キャリー端子Cは、オープン端子である。
An H level signal is always input to the input terminal Z of the full adder FA0 corresponding to the least significant bit. Output signals C0 to Ci-1 output from carry terminals C of full adders FA0 to FAi-1 are input to input terminals Z of full adders FA1 to FAi corresponding to the upper bits, respectively. The carry terminal C of the full adder FAi corresponding to the most significant bit is an open terminal.

【0038】このように構成した全加算器FA0〜FA
iは、行アドレス信号XADの各ビットXAD0〜XA
Diと、反転された冗長アドレスの各ビットROM0〜
ROMiとを加算する。即ち、全加算器FA0〜FAi
及びインバータ回路14により減算器が構成され、行ア
ドレス信号XADの各ビットXAD0〜XADiから、
冗長アドレスの各ビットROM0〜ROMiを減算す
る。
The full adders FA0 to FA configured as described above
i is each bit XAD0 to XA of the row address signal XAD.
Di and each bit ROM0 of the inverted redundant address.
ROMi is added. That is, full adders FA0 to FAi
And an inverter circuit 14, which constitutes a subtractor. From each bit XAD0 to XADi of the row address signal XAD,
The bits ROM0 to ROMi of the redundant address are subtracted.

【0039】従って、行アドレス信号XADの各ビット
XAD0〜XADiが、第1のROM12に記憶された
冗長アドレスの各ビットROM0〜ROMiと一致、即
ち減算の結果がゼロの場合、全加算器FA0〜FAiは
出力端子SからともにLレベルの出力信号S0〜Siを
出力する。
Accordingly, when each bit XAD0 to XADi of the row address signal XAD matches each bit ROM0 to ROMi of the redundant address stored in the first ROM 12, that is, when the result of the subtraction is zero, the full adders FA0 to XADi FAi outputs L-level output signals S0 to Si from output terminal S.

【0040】また、行アドレス信号XADの各ビットX
AD0〜XADiが第1のROM12に記憶された冗長
アドレスの各ビットROM0〜ROMiより「1」大き
い、即ち減算の結果が「1」の場合、全加算器FA0の
みがHレベルの出力信号S0を出力する。
Each bit X of row address signal XAD
When AD0 to XADi is greater than each bit ROM0 to ROMi of the redundant address stored in the first ROM 12 by "1", that is, when the subtraction result is "1", only the full adder FA0 outputs the H level output signal S0. Output.

【0041】また、行アドレス信号XADの各ビットX
AD0〜XADiが第1のROM12に記憶された冗長
アドレスの各ビットROM0〜ROMiより「2」大き
い、即ち減算の結果が「2」の場合、全加算器FA1の
みがHレベルの出力信号S1を出力する。
Each bit X of the row address signal XAD is
When AD0 to XADi is larger than each bit ROM0 to ROMi of the redundant address stored in the first ROM 12 by "2", that is, when the subtraction result is "2", only the full adder FA1 outputs the H level output signal S1. Output.

【0042】さらに、行アドレス信号XADの各ビット
XAD0〜XADiが第1のROM12に記憶された冗
長アドレスの各ビットROM0〜ROMiより「3」大
きい、即ち減算の結果が「3」の場合、全加算器FA
0,FA1がともにHレベルの出力信号S0,S1を出
力する。
Further, when each bit XAD0 to XADi of the row address signal XAD is larger than each bit ROM0 to ROMi of the redundant address stored in the first ROM 12 by "3", that is, when the result of the subtraction is "3", Adder FA
0 and FA1 both output H-level output signals S0 and S1.

【0043】そして、行アドレス信号XADの各ビット
XAD0〜XADiが第1のROM12に記憶された冗
長アドレスの各ビットROM0〜ROMiより「1」〜
「3」大きいとき以外に不一致となる場合、下位3ビッ
ト以上の全加算器FA2〜FAiのうち少なくとも1つ
が、Hレベルの出力信号S2〜Siを出力する。
The bits XAD0 to XADi of the row address signal XAD are "1" to "0" from the bits ROM0 to ROMi of the redundant address stored in the first ROM 12.
If there is a mismatch except when it is greater than "3", at least one of the full adders FA2 to FAi of lower three bits or more outputs the output signals S2 to Si at the H level.

【0044】前記全加算器FA0〜FAiの出力端子S
からの出力信号S0〜Siは、NOR回路15aに入力
される。また、下位2ビットの全加算器FA0,FA1
を除いた全加算器FA2〜FAiの出力端子Sから出力
される出力信号S2〜Siは、NOR回路15bに入力
される。下位2ビットの全加算器FA0,FA1の出力
端子Sから出力される出力信号S0,S1は、それぞれ
EOR回路16a,16bを介して前記NOR回路15
bに入力される。
Output terminals S of the full adders FA0 to FAi
Are input to the NOR circuit 15a. Also, the lower 2 bits full adders FA0, FA1
The output signals S2 to Si output from the output terminals S of the full adders FA2 to FAi except for the above are input to the NOR circuit 15b. Output signals S0 and S1 output from the output terminals S of the lower two-bit full adders FA0 and FA1 are supplied to the NOR circuit 15 via EOR circuits 16a and 16b, respectively.
b.

【0045】また、前記第2のROM13は、2ビット
に対応したヒューズf0,f1を備える。そして、前記
EOR回路16aの入力端子は、2つのインバータ回路
よりなるラッチ回路17a及び抵抗Rを介して電源VCC
に接続されるとともに、該ラッチ回路17a及びヒュー
ズf0を介してグランドGNDに接続される。
The second ROM 13 has fuses f0 and f1 corresponding to two bits. The input terminal of the EOR circuit 16a is connected to a power supply VCC via a latch circuit 17a composed of two inverter circuits and a resistor R.
, And to the ground GND via the latch circuit 17a and the fuse f0.

【0046】前記EOR回路16bの他方の入力端子
は、2つのインバータ回路よりなるラッチ回路17b及
び抵抗Rを介して電源VCCに接続されるとともに、該ラ
ッチ回路17b及びヒューズf1を介してグランドGN
Dに接続される。
The other input terminal of the EOR circuit 16b is connected to the power supply VCC through a latch circuit 17b composed of two inverter circuits and a resistor R, and is connected to the ground GN through the latch circuit 17b and fuse f1.
D is connected.

【0047】因みに、本実施の形態の第2のROM13
では、ヒューズf1のみが切断されると、冗長アドレス
に対する差が「1」であることが記憶され、ヒューズf
0のみが切断されると冗長アドレスに対する差が「2」
であることが記憶され、ヒューズf0,f1がともに切
断されると冗長アドレスに対する差が「3」であること
が記憶されることになる。
Incidentally, the second ROM 13 of the present embodiment
When only the fuse f1 is cut, the fact that the difference with respect to the redundant address is "1" is stored, and
When only 0 is disconnected, the difference with respect to the redundant address is “2”.
Is stored, and when the fuses f0 and f1 are both blown, it is stored that the difference with respect to the redundant address is "3".

【0048】前記NOR回路15a,15bの出力信号
は、OR回路18の入力端子にそれぞれ出力される。O
R回路18の出力信号は、NAND回路19に入力され
る。NAND回路19の他方の入力端子には、前記第1
のROMに記憶された情報に基づいた冗長許可信号RO
Mjが入力される。そして、NAND回路19は、NO
R回路15の出力信号と冗長許可信号ROMjとによっ
て、前記冗長信号JGを生成する。尚、前記冗長回路9
が未使用のとき、Lレベルの冗長許可信号ROMjが入
力されることから、NAND回路19はLレベルの冗長
信号JGを出力する。
The output signals of the NOR circuits 15a and 15b are output to input terminals of an OR circuit 18, respectively. O
The output signal of the R circuit 18 is input to the NAND circuit 19. The other input terminal of the NAND circuit 19 is connected to the first input terminal.
Enable signal RO based on the information stored in the ROM
Mj is input. The NAND circuit 19 outputs NO
The redundancy signal JG is generated by the output signal of the R circuit 15 and the redundancy permission signal ROMj. The redundant circuit 9
Is unused, the L-level redundancy permission signal ROMj is input, so that the NAND circuit 19 outputs an L-level redundancy signal JG.

【0049】また、前記NOR回路15a,15bの出
力信号は、前記冗長ワードドライバ10に冗長ワード線
選択信号Rsel0,Rsel1としてそれぞれ出力さ
れる。
The output signals of the NOR circuits 15a and 15b are output to the redundant word driver 10 as redundant word line selection signals Rsel0 and Rsel1, respectively.

【0050】図5は、前記冗長ワードドライバ(RW
D)10の具体的構成を示す。冗長ワードドライバ10
は、2つのAND回路20,21で構成される。AND
回路20は、一方の入力端子に前記NOR回路15aの
出力信号、即ち冗長ワード線選択信号Rsel0が入力
され、他方の入力端子に前記冗長信号JGが入力され
る。そして、AND回路20の出力端子は、一方の冗長
ワード線RWL0に接続される。
FIG. 5 shows the redundant word driver (RW
D) A specific configuration of 10 is shown. Redundant word driver 10
Is composed of two AND circuits 20 and 21. AND
The output signal of the NOR circuit 15a, that is, the redundant word line selection signal Rsel0 is input to one input terminal of the circuit 20, and the redundant signal JG is input to the other input terminal. The output terminal of the AND circuit 20 is connected to one redundant word line RWL0.

【0051】AND回路21は、一方の入力端子に前記
NOR回路15bの出力信号、即ち冗長ワード線選択信
号Rsel1が入力され、他方の入力端子に前記冗長信
号JGが入力される。そして、AND回路21の出力端
子は、他方の冗長ワード線RWL1に接続される。
The output signal of the NOR circuit 15b, that is, the redundant word line selection signal Rsel1 is input to one input terminal of the AND circuit 21, and the redundant signal JG is input to the other input terminal. The output terminal of the AND circuit 21 is connected to the other redundant word line RWL1.

【0052】尚、冗長回路9が未使用のとき、冗長信号
JGはLレベルに固定されることから、AND回路2
0,21は、冗長ワード線RWL0,RWL1を非活性
状態(Lレベル)のまま保持する。
When the redundant circuit 9 is not used, the redundant signal JG is fixed at L level.
0 and 21 hold the redundant word lines RWL0 and RWL1 in an inactive state (L level).

【0053】このように構成された冗長回路9では、図
6に示すように、仮に物理的に隣接した通常セル列C
1,C2に対してともに不良が発生したとき、第1のR
OM12には、通常セル列C1のアドレス情報XAD
(i)が冗長アドレスのアドレス情報ROM(i)とし
て記憶される。また、第2のROM13には、差「2」
が記憶される。
In the redundant circuit 9 configured as described above, as shown in FIG.
1 and C2, the first R
OM12 has address information XAD of normal cell column C1.
(I) is stored as the address information ROM (i) of the redundant address. The second ROM 13 stores the difference “2”.
Is stored.

【0054】即ち、図4に示す第2の第2のROM13
は、冗長アドレスに対する差「2」を記憶すべくヒュー
ズf0のみが切断される。すると、EOR回路16aに
はラッチ回路17aからLレベルの信号が入力されるこ
とになるとともに、EOR回路16bにはラッチ回路1
7bからHレベルの信号が入力されることになる。
That is, the second second ROM 13 shown in FIG.
In the above, only the fuse f0 is blown to store the difference “2” with respect to the redundant address. Then, an L-level signal is input from the latch circuit 17a to the EOR circuit 16a, and the latch circuit 1 is input to the EOR circuit 16b.
An H-level signal is input from 7b.

【0055】(通常セル列C1のアドレスが入力された
場合)この場合では、今入力された行アドレス信号XA
Dの各ビットXAD0〜XADiが、第1のROM12
に記憶された冗長アドレスの各ビットROM0〜ROM
iと一致する。従って、冗長アドレス判定回路11は、
減算結果がゼロとなることから、その全加算器FA0〜
FAiがともにLレベルの出力信号S0〜Siを出力す
る。すると、NOR回路15aは、Hレベルの出力信
号、即ちHレベルの冗長ワード線選択信号Rsel0を
出力する。
(In the case where the address of the normal cell column C1 is input) In this case, the currently input row address signal XA
D are stored in the first ROM 12
Bits ROM0 to ROM of the redundant address stored in the ROM
matches i. Therefore, the redundant address determination circuit 11
Since the subtraction result is zero, the full adders FA0 to FA0
FAi both output L-level output signals S0 to Si. Then, the NOR circuit 15a outputs an H-level output signal, that is, an H-level redundant word line selection signal Rsel0.

【0056】また、このとき、EOR回路16bにはラ
ッチ回路17bからHレベルの信号が入力されることか
ら、該EOR回路16bの出力信号はHレベルとなる。
すると、NOR回路15bは、Lレベルの出力信号、即
ちLレベルの冗長ワード線選択信号Rsel1を出力す
る。
At this time, since an H level signal is input to the EOR circuit 16b from the latch circuit 17b, the output signal of the EOR circuit 16b becomes H level.
Then, the NOR circuit 15b outputs an L-level output signal, that is, an L-level redundant word line selection signal Rsel1.

【0057】従って、OR回路18は、Hレベルの出力
信号をAND回路19に出力する。このAND回路19
にはHレベルの冗長許可信号ROMjが入力されている
ことから、該AND回路19はHレベルの冗長信号JG
を出力する。
Accordingly, the OR circuit 18 outputs an H-level output signal to the AND circuit 19. This AND circuit 19
Is supplied with the H-level redundancy permission signal ROMj, the AND circuit 19 outputs the H-level redundancy signal JG.
Is output.

【0058】即ち、図5において、冗長ワードドライバ
10のAND回路20,21にはHレベルの冗長信号J
Gが入力される。そして、AND回路20は、Hレベル
の前記冗長ワード線選択信号Rsel0に基づいて、冗
長ワード線RWL0を選択すべくHレベルに立ち上げ
る。また、AND回路21は、Lレベルの前記冗長ワー
ド線選択信号Rsel1に基づいて、冗長ワード線RW
L1を非選択状態にすべくLレベルに保持する。
That is, in FIG. 5, the AND circuits 20 and 21 of the redundant word driver 10 apply the H-level redundant signal J.
G is input. Then, based on the H level redundant word line selection signal Rsel0, the AND circuit 20 rises to the H level to select the redundant word line RWL0. Further, the AND circuit 21 generates a redundant word line RW based on the redundant word line selection signal Rsel1 at L level.
L1 is held at the L level so as to be in the non-selected state.

【0059】(通常セル列C2のアドレスが入力された
場合)この場合では、今入力された行アドレス信号XA
Dの各ビットXAD0〜XADiが、第1のROM12
に記憶された冗長アドレスの各ビットROM0〜ROM
iより「2」大きくなる。従って、冗長アドレス判定回
路11は、減算結果が「2」となることから、その全加
算器FA1のみがHレベルの出力信号S1を出力する。
すると、NOR回路15aは、Lレベルの出力信号、即
ちLレベルの冗長ワード線選択信号Rsel0を出力す
る。
(In the case where the address of the normal cell column C2 is input) In this case, the currently input row address signal XA
D are stored in the first ROM 12
Bits ROM0 to ROM of the redundant address stored in the ROM
"2" larger than i. Therefore, in the redundant address determination circuit 11, since the subtraction result is “2”, only the full adder FA1 outputs the output signal S1 at the H level.
Then, the NOR circuit 15a outputs an L-level output signal, that is, an L-level redundant word line selection signal Rsel0.

【0060】また、このとき、EOR回路16bにはラ
ッチ回路17bからHレベルの信号が入力されることか
ら、該EOR回路16bの出力信号はLレベルとなる。
EOR回路16bの出力信号がLレベルとなるというこ
とは、即ち、冗長アドレス判定回路11の減算結果と、
第2のROM13に記憶された差とが一致することを意
味している。すると、NOR回路15bは、Hレベルの
出力信号、即ちHレベルの冗長ワード線選択信号Rse
l1を出力する。
At this time, since the H level signal is input from the latch circuit 17b to the EOR circuit 16b, the output signal of the EOR circuit 16b becomes L level.
The fact that the output signal of the EOR circuit 16b becomes L level means that the subtraction result of the redundant address determination circuit 11 is:
This means that the difference stored in the second ROM 13 matches. Then, the NOR circuit 15b outputs an H-level output signal, that is, an H-level redundant word line selection signal Rse.
11 is output.

【0061】従って、OR回路18は、Hレベルの出力
信号をAND回路19に出力する。このAND回路19
にはHレベルの冗長許可信号ROMjが入力されている
ことから、該AND回路19はHレベルの冗長信号JG
を出力する。
Accordingly, the OR circuit 18 outputs an H level output signal to the AND circuit 19. This AND circuit 19
Is supplied with the H-level redundancy permission signal ROMj, the AND circuit 19 outputs the H-level redundancy signal JG.
Is output.

【0062】即ち、図5において、冗長ワードドライバ
10のAND回路20,21にはHレベルの冗長信号J
Gが入力される。そして、AND回路20は、Lレベル
の前記冗長ワード線選択信号Rsel0に基づいて、冗
長ワード線RWL0を非選択状態にすべくLレベルに保
持する。また、AND回路21は、Lレベルの前記冗長
ワード線選択信号Rsel1に基づいて、冗長ワード線
RWL1を選択すべくHレベルに立ち上げる。
That is, in FIG. 5, the H-level redundant signal J is supplied to the AND circuits 20 and 21 of the redundant word driver 10.
G is input. Then, the AND circuit 20 holds the redundant word line RWL0 at the L level so as to be in a non-selected state based on the redundant word line selection signal Rsel0 at the L level. Further, the AND circuit 21 rises to H level to select the redundant word line RWL1 based on the L level of the redundant word line selection signal Rsel1.

【0063】(通常セル列C1,C2以外のアドレスが
入力された場合)この場合では、今入力された行アドレ
ス信号XADの各ビットXAD0〜XADiが、第1の
ROM12に記憶された冗長アドレスの各ビットROM
0〜ROMiとの差が「2」以外となる。従って、冗長
アドレス判定回路11は、全加算器FA0若しくは全加
算器FA2〜FAiのうち少なくとも1つがHレベルの
出力信号S0,S2〜Siを出力する。すると、NOR
回路15a,15bは、ともにLレベルの出力信号をO
R回路18に出力する。
(In the case where an address other than the normal cell columns C1 and C2 is input) In this case, the bits XAD0 to XADi of the currently input row address signal XAD correspond to the redundant address stored in the first ROM 12. Each bit ROM
The difference from 0 to ROMi is other than “2”. Therefore, in the redundant address determination circuit 11, at least one of the full adders FA0 or the full adders FA2 to FAi outputs the output signals S0, S2 to Si at the H level. Then, NOR
Circuits 15a and 15b both output L-level output signals to O
Output to the R circuit 18.

【0064】従って、OR回路18は、Lレベルの出力
信号をAND回路19に出力する。このAND回路19
は、冗長許可信号ROMjに関係なく、Lレベルの冗長
信号JGを出力する。
Therefore, the OR circuit 18 outputs an L-level output signal to the AND circuit 19. This AND circuit 19
Outputs an L-level redundancy signal JG regardless of the redundancy permission signal ROMj.

【0065】即ち、図5において、冗長ワードドライバ
10のAND回路20,21にはLレベルの冗長信号J
Gが入力されることから、AND回路20,21は、冗
長ワード線RWL0,RWL1をともに非選択状態にす
べくLレベルに保持する。
That is, in FIG. 5, the L level redundant signal J is applied to the AND circuits 20 and 21 of the redundant word driver 10.
Since G is input, the AND circuits 20 and 21 hold the redundant word lines RWL0 and RWL1 at the L level in order to make both of them unselected.

【0066】このようにして、前記冗長回路9は、図6
に示すように、物理的に隣接した通常セル列C1,C2
に対してともに不良が発生した場合であって、該通常セ
ル列C1,C2に対応した行アドレス信号XADのアド
レス情報XAD(i),XAD(i+2)が不連続であ
っても1つの冗長回路9にて冗長可能である。
As described above, the redundant circuit 9 is configured as shown in FIG.
As shown in FIG. 3, physically adjacent normal cell columns C1, C2
, And even if the address information XAD (i) and XAD (i + 2) of the row address signal XAD corresponding to the normal cell columns C1 and C2 are discontinuous, one redundant circuit 9 enables redundancy.

【0067】そして、本実施の形態の冗長回路9は、行
アドレス信号XADの差が「1」又は「3」において
も、それぞれの差に応じて各ヒューズf0,f1を組み
合わせて切断することで、上記した差が「2」のときと
同様に1つの冗長回路9にて冗長可能である。即ち、本
実施の形態では、連続する通常セル列が連続なアドレス
であって2つのビットが異なるアドレスであっても、差
が「1」であることから、同様に1つの冗長回路9にて
冗長することができる。従って、行アドレス信号XAD
が不連続なアドレス、若しくは連続なアドレスであって
2つのビットが異なるアドレスを有した場合であって
も、その差が「1」〜「3」までの間においては、1つ
の冗長回路及び冗長セルアレイ、即ち1つのブロックで
冗長することができる。
The redundancy circuit 9 of the present embodiment cuts the fuses f0 and f1 in combination according to the difference between the row address signals XAD even when the difference between the row address signals XAD is "1" or "3". In the same manner as in the case where the difference is “2”, redundancy can be performed by one redundant circuit 9. That is, in the present embodiment, even if the continuous normal cell row is a continuous address and the two bits are different addresses, the difference is “1”. Can be redundant. Therefore, the row address signal XAD
Is a discontinuous address or a continuous address and two bits have different addresses, but if the difference is between "1" and "3", one redundant circuit and one redundant The cell array, that is, one block can be made redundant.

【0068】上記したように、本実施の形態では、以下
に示す作用効果がある。 (1)本実施の形態の冗長回路9は、物理的に隣接する
通常セル列C1,C2に同時に不良セルが生じ、該セル
列C1,C2のアドレスの差が「2」であっても、同時
に1つの冗長回路9及び冗長ワードドライバ10にて冗
長することができる。従って、無用な冗長回路及び冗長
ワードドライバ等を使用することなく冗長できるため、
冗長救済率を向上することができる。
As described above, this embodiment has the following operation and effects. (1) In the redundant circuit 9 of the present embodiment, even if a defective cell is simultaneously generated in the physically adjacent normal cell columns C1 and C2 and the address difference between the cell columns C1 and C2 is "2", At the same time, redundancy can be achieved by one redundant circuit 9 and one redundant word driver 10. Therefore, since redundancy can be performed without using unnecessary redundant circuits and redundant word drivers, etc.,
The redundancy rescue rate can be improved.

【0069】(2)しかも、第2のROM13の各ヒュ
ーズf0,f1を組み合わせて切断することで、差が
「1」〜「3」までの間において、自由に設定して記憶
することができる。従って、冗長救済の柔軟性を向上す
ることができる。
(2) In addition, by combining and cutting the fuses f0 and f1 of the second ROM 13, it is possible to freely set and store the difference between "1" and "3". . Therefore, the flexibility of the redundancy relief can be improved.

【0070】(3)冗長アドレス判定回路11には、全
加算器FA0〜FAiよりなる減算器を備えている。従
って、冗長アドレス判定回路11におけるアドレスの比
較を容易に行うことができる。
(3) The redundant address determination circuit 11 includes a subtractor composed of full adders FA0 to FAi. Therefore, comparison of addresses in the redundant address determination circuit 11 can be easily performed.

【0071】尚、本発明は前記実施の形態の他、以下の
態様で実施するようにしてもよい。 ○上記実施の形態では、1つの冗長回路9にて制御する
冗長ワードドライバ10に2本の冗長ワード線RWL
0,RWL1を接続する構成としたが、3本以上の冗長
ワード線を接続するように構成してもよい。この場合、
仮に3本の冗長ワード線とした場合に、第1のROM1
2に記憶された冗長アドレスとの差を2つ記憶する必要
があるので、NOR回路15a,15bに並列にNOR
回路を設けて、それに伴いEOR回路、ラッチ回路、ヒ
ューズ等を新たに設ける必要がある。即ち、図4に示す
一点鎖線で囲まれた部分を、適宜変更する必要がある。
The present invention may be embodied in the following modes in addition to the above embodiment. In the above embodiment, two redundant word lines RWL are added to the redundant word driver 10 controlled by one redundant circuit 9.
Although 0 and RWL1 are connected, three or more redundant word lines may be connected. in this case,
If there are three redundant word lines, the first ROM 1
It is necessary to store two differences from the redundant address stored in the NOR circuits 15a and 15b in parallel with the NOR circuits 15a and 15b.
It is necessary to provide a circuit and newly provide an EOR circuit, a latch circuit, a fuse, and the like. That is, it is necessary to appropriately change the portion surrounded by the alternate long and short dash line shown in FIG.

【0072】○上記実施の形態では、下位2ビットの全
加算器FA0,FA1の各出力端子SにEOR回路16
a,16bをそれぞれ接続し、ヒューズf0,f1の切
断の有無にて、冗長アドレスとの差を「1」〜「3」ま
で記憶するようにしたが、EOR回路16a,16bを
全ビットの全加算器FA0〜FAiの出力端子Sのいず
れかに接続し、冗長アドレスとの差を変更してもよい。
また、EOR回路、ヒューズ等を適宜増加し、3ビット
以上の冗長アドレスとの差を記憶するように変更しても
よい。
In the above embodiment, the EOR circuit 16 is connected to each output terminal S of the full adders FA0 and FA1 of lower 2 bits.
a and 16b are connected to each other, and the difference from the redundant address is stored from "1" to "3" depending on whether or not the fuses f0 and f1 are cut. However, the EOR circuits 16a and 16b store all of the bits. The difference from the redundant address may be changed by connecting to any one of the output terminals S of the adders FA0 to FAi.
In addition, the number of EOR circuits, fuses, and the like may be increased as appropriate, and a change may be made to store a difference from a redundant address of 3 bits or more.

【0073】○上記実施の形態では、第2のROM13
をラッチ回路17、ヒューズf0,f1、抵抗Rで構成
したが、上記と同様に動作できれば、構成はこれに限定
されるものではない。
In the above embodiment, the second ROM 13
Is composed of the latch circuit 17, the fuses f0 and f1, and the resistor R, but the configuration is not limited to this as long as the operation can be performed in the same manner as above.

【0074】○上記実施の形態では、第1のROM12
には最小のアドレスを冗長アドレスとして記憶し、第2
のROM13には最小のアドレスとの差を記憶するよう
にしたが、これに限定されず、例えば第1のROM12
には最大のアドレスを冗長アドレスとして記憶し、第2
のROM13には最大のアドレスとの差を記憶するよう
にしてもよい。
In the above embodiment, the first ROM 12
Stores the minimum address as a redundant address in the second
Although the difference from the smallest address is stored in the ROM 13 of the first embodiment, the present invention is not limited to this.
Stores the maximum address as a redundant address,
ROM 13 may store the difference from the maximum address.

【0075】○上記実施の形態では、全加算器FA0〜
FAi及びインバータ回路14により減算器を構成した
が、同様にアドレスの差が検出できれば、回路構成はこ
れに限定されるものではない。
In the above embodiment, the full adders FA0 to FA0
Although the subtractor is configured by the FAi and the inverter circuit 14, the circuit configuration is not limited to this, as long as the difference between the addresses can be detected.

【0076】○上記実施の形態では、ワード線WL側の
冗長について実施したが、ビット線BL側の冗長につい
て実施してもよい。
In the above embodiment, the redundancy is implemented on the word line WL side, but may be implemented on the bit line BL side.

【0077】[0077]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
ブロック単位で冗長する半導体記憶装置において、冗長
救済率及び冗長救済の柔軟性を向上することができる。
As described in detail above, according to the present invention,
In a semiconductor memory device that is redundant in block units, the redundancy repair ratio and the flexibility of the redundancy repair can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の原理説明図FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention.

【図2】本実施の形態のDRAMの概要を示すブロック
FIG. 2 is a block diagram showing an outline of a DRAM of the embodiment.

【図3】冗長回路を示すブロック図FIG. 3 is a block diagram showing a redundant circuit;

【図4】冗長回路の具体的構成を示す回路図FIG. 4 is a circuit diagram showing a specific configuration of a redundant circuit.

【図5】冗長ワードドライバの具体的構成を示す回路図FIG. 5 is a circuit diagram showing a specific configuration of a redundant word driver.

【図6】メモリセルアレイの通常セル列と行アドレスと
の関係を示す説明図
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a relationship between a normal cell column and a row address of a memory cell array.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 選択回路 2 冗長選択回路 3 冗長回路 4 第1の記憶手段 5 第2の記憶手段 6 判定手段 AD 正規アドレス WL ワード線 BL ビット線 RWL 冗長ワード線 RBL 冗長ビット線 JG 冗長信号 Rsel 冗長ワード線選択信号 1 selection circuit 2 redundancy selection circuit 3 redundancy circuit 4 first storage means 5 second storage means 6 determination means AD normal address WL word line BL bit line RWL redundant word line RBL redundant bit line JG redundant signal Rsel redundant word line selection signal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 仲家 睦哉 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番2 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 (72)発明者 深澤 保夫 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番2 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 (72)発明者 斎藤 修一 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番2 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Mutsuya Nakaya 2-1844-2 Kozoji-cho, Kasugai-shi, Aichi Prefecture Inside Fujitsu VSI Co., Ltd. (72) Yasuo Fukasawa 2-1844-1 Kozoji-cho, Kasugai-shi, Aichi 2 Inside Fujitsu VSI Ltd. (72) Inventor Shuichi Saito 2-1844-2 Kozoji-cho, Kasugai-shi, Aichi Prefecture Inside Fujitsu VSI

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 通常セルアレイ内に備えられる複数のワ
ード線又はビット線のうち、いずれか1本を選択動作す
るとともに、冗長信号の入力に基づいて不活性化される
選択回路と、 前記冗長信号の入力に基づいて活性化され、冗長セルア
レイ内に備えられる複数の冗長ワード線又は冗長ビット
線のうち、冗長選択信号の入力に基づいていずれか1本
を選択動作する冗長選択回路と、 前記通常セルアレイ内の不良セルを選択する正規アドレ
スが入力されたとき、前記選択回路及び冗長選択回路に
冗長信号を出力するとともに、該冗長選択回路に冗長選
択信号を出力する冗長回路とを備え、複数の冗長ワード
線又は冗長ビット線の選択動作を制御する冗長回路単位
で冗長動作を行う半導体記憶装置であって、 前記冗長回路は、 前記不良セルを選択する正規アドレスを冗長アドレスと
して記憶する第1の記憶手段と、 前記不良セルとは別のワード線又はビット線上の不良セ
ルを選択する正規アドレスと前記第1の記憶手段にて記
憶された冗長アドレスの差を記憶する第2の記憶手段
と、 入力された正規アドレスが前記第1の記憶手段に記憶さ
れた冗長アドレスと一致した場合、若しくは入力された
正規アドレスと前記第1の記憶手段に記憶された冗長ア
ドレスの差が前記第2の記憶手段に記憶された差と一致
した場合には、前記冗長信号を生成するとともに、入力
された正規アドレスに基づいて前記冗長選択信号を生成
する判定手段とを備えた半導体記憶装置。
A selector circuit for selecting one of a plurality of word lines or bit lines provided in a normal cell array and inactivating based on a redundant signal input; A redundant selection circuit that is activated based on the input of the redundant cell array and selects one of a plurality of redundant word lines or redundant bit lines provided in the redundant cell array based on a redundant selection signal input; When a normal address for selecting a defective cell in the cell array is input, the redundant circuit outputs a redundant signal to the selecting circuit and the redundant selecting circuit, and outputs a redundant selecting signal to the redundant selecting circuit. A semiconductor memory device performing a redundancy operation in units of a redundancy circuit for controlling a selection operation of a redundancy word line or a redundancy bit line, wherein the redundancy circuit selects the defective cell. Storage means for storing a normal address to be used as a redundant address, a normal address for selecting a defective cell on a word line or a bit line different from the defective cell, and a redundant address stored in the first storage means. And a second storage unit for storing the difference between the normal address and the redundant address stored in the first storage unit, or storing the input normal address and the normal address in the first storage unit. When the difference between the input redundant addresses matches the difference stored in the second storage means, the redundant signal is generated, and the redundant selection signal is generated based on the input normal address. A semiconductor storage device comprising:
【請求項2】 前記通常セルアレイは、物理的に隣接し
て形成された複数の冗長ワード線又は冗長ビット線を選
択するアドレスが不連続に割り当てられた構成である請
求項1に記載の半導体記憶装置。
2. The semiconductor memory according to claim 1, wherein the normal cell array has a configuration in which addresses for selecting a plurality of redundant word lines or redundant bit lines formed physically adjacent to each other are discontinuously assigned. apparatus.
【請求項3】 前記判定手段は、入力された正規アドレ
スと、前記第1の記憶手段に記憶された冗長アドレスと
の差を演算する減算器を備え、前記減算器の演算結果が
ゼロとなったとき、若しくは前記減算器の演算結果が前
記第2の記憶手段に記憶された差と一致したときに、前
記冗長信号を生成するようにした請求項1又は2に記載
の半導体記憶装置。
3. The determining means includes a subtractor for calculating a difference between an input normal address and a redundant address stored in the first storage means, and the result of the subtractor becomes zero. 3. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the redundant signal is generated when the operation result of the subtractor matches a difference stored in the second storage unit. 4.
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