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JPH1079550A - Solid laser device of exciting semiconductor laser - Google Patents

Solid laser device of exciting semiconductor laser

Info

Publication number
JPH1079550A
JPH1079550A JP8233257A JP23325796A JPH1079550A JP H1079550 A JPH1079550 A JP H1079550A JP 8233257 A JP8233257 A JP 8233257A JP 23325796 A JP23325796 A JP 23325796A JP H1079550 A JPH1079550 A JP H1079550A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
laser light
medium
mirror
laser beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8233257A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Sakurai
努 櫻井
Nobutaka Asada
信孝 麻田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP8233257A priority Critical patent/JPH1079550A/en
Publication of JPH1079550A publication Critical patent/JPH1079550A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a solid laser device which is capable of supplying a laser beam of high quality and high power by a method, wherein a plurality of laser beam generating sections of edge surface exciting type are provided, and a second mirror is provided at the intersection of the optical axes of the laser beams emitted from the beam generating sections. SOLUTION: Laser beam generating sections 7, each composed of a laser medium 2, a semiconductor laser 1 which excites the laser medium 2 on its optical axis, and a first mirror 5 high in reflectance to a laser beam emitted from the laser medium 2 are provided. A Q switch device 3 which turns a laser beam emitted from the laser medium 2 into giant pulses and a nonlinear optical crystal 4 which multiplies a laser beam of giant pulses in wavelength are provided. Furthermore, a second mirror 6 which is high in transmittance to a laser beam multiplied in wavelength and high in reflectance to a laser beam emitted from the laser medium 2 is provided at an irntersection of the optical axes of the laser beam generating sections 7, so as to make the axes of reflected laser beams coincide with the optical axes of the other laser beam generating sections 7 respectively.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体レーザを励
起光源に用いた固体レーザ装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state laser device using a semiconductor laser as an excitation light source.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、半導体レーザを励起光源に用い
たレーザ装置は、得られるレーザ光の光軸上に配置した
レーザ媒質に対し、その光軸上に配置した半導体レーザ
からレーザ媒質の端面に向けてレーザ光を照射する端面
励起方式と、得られるレーザ光の光軸上に配置したレー
ザ媒質に対し、その側方に配置した半導体レーザからレ
ーザ媒質の光軸に向けてレーザ光を照射する側面励起方
式とがある。
2. Description of the Related Art For example, in a laser device using a semiconductor laser as an excitation light source, a laser medium arranged on the optical axis of the obtained laser beam is moved from the semiconductor laser arranged on the optical axis to the end face of the laser medium. An end-pumping method of irradiating laser light toward the laser beam, and irradiating the laser medium on the optical axis of the obtained laser light from the semiconductor laser arranged on the side thereof toward the optical axis of the laser medium There is a side excitation method.

【0003】従来例の端面励起方式のレーザ装置の構成
を図2を参照して説明すると、11は半導体レーザ、1
2はレーザ媒質、13はレーザ媒質12から放出される
レーザ光をジャイアントパルスにするQスイッチ素子、
14はジャイアントパルスのレーザ光の波長を逓倍する
非線形光学結晶である。15は半導体レーザ11とレー
ザ媒質12との間に同軸上に配置された第1のミラー
で、レーザ媒質12から放出されるレーザ光に対して高
い反射率を持つ。16は非線形光学結晶14の外側に同
軸上に配置された第2のミラーで、非線形光学結晶14
にて逓倍されたレーザ光に対して高い透過率を持ち、レ
ーザ媒質12から放出されたレーザ光に対して高い反射
率を持つ。
The configuration of a conventional end-pumped laser apparatus will be described with reference to FIG.
2 is a laser medium, 13 is a Q-switch element that makes a laser beam emitted from the laser medium 12 a giant pulse,
Reference numeral 14 denotes a nonlinear optical crystal that multiplies the wavelength of the giant pulse laser beam. Reference numeral 15 denotes a first mirror disposed coaxially between the semiconductor laser 11 and the laser medium 12, and has a high reflectance for laser light emitted from the laser medium 12. Reference numeral 16 denotes a second mirror disposed coaxially outside the nonlinear optical crystal 14,
Has a high transmittance with respect to the laser light multiplied by, and has a high reflectance with respect to the laser light emitted from the laser medium 12.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図2に示す
ような端面励起方式は得られるレーザ光の品質が良く、
得られるレーザ光の発振効率も良い。一方、側面励起方
式は、励起光源である半導体レーザの照射面積を大きく
できるので、高出力のレーザ光が得られる。しかし、端
面励起方式では励起光源である半導体レーザの照射面積
が小さく、高出力化が図れないという問題がある。一
方、側面励起方式では得られるレーザ光の発振効率が悪
く、得られるレーザ光の品質が悪いという問題があっ
た。
By the way, the end face pumping method as shown in FIG. 2 has high quality of the obtained laser light,
The oscillation efficiency of the obtained laser light is also good. On the other hand, in the side-surface pumping method, the irradiation area of the semiconductor laser as the pumping light source can be increased, so that high-output laser light can be obtained. However, the end face pumping method has a problem that the irradiation area of the semiconductor laser which is the pump light source is small and high output cannot be achieved. On the other hand, the side-pumping method has a problem that the oscillation efficiency of the obtained laser light is poor and the quality of the obtained laser light is poor.

【0005】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、品質
が良く、高出力のレーザ光を供給することができる半導
体レーザ励起固体レーザ装置を提供することを目的とし
ている。
An object of the present invention is to provide a semiconductor laser-excited solid-state laser device capable of supplying high-quality laser light with high quality in view of the above-mentioned conventional problems.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の半導体レーザ励
起固体レーザ装置は、レーザ媒質とその光軸上からレー
ザ媒質を励起する半導体レーザと半導体レーザとレーザ
媒質の間に配設されレーザ媒質から放出されたレーザ光
に対して高い反射率を持つ第1のミラーとから構成され
た複数のレーザ光発生部と、レーザ媒質から放出された
レーザ光をジャイアントパルスにするQスイッチ素子
と、ジャイアントパルスのレーザ光の波長を逓倍する非
線形光学結晶と、逓倍されたレーザ光の波長に対して高
い透過率を持ち、レーザ媒質から放出されたレーザ光の
波長に対して高い反射率を持ち、かつ複数のレーザ光発
生部の光軸の交差部に反射光軸が相手側の光軸に一致す
るように配設された第2のミラーとを備えたものであ
り、端面励起方式のレーザ光発生部を複数設けることに
よってレーザ光の品質が良いままで高出力化を図るよう
にしている。
According to the present invention, there is provided a semiconductor laser-excited solid-state laser device comprising: a laser medium; a semiconductor laser for exciting the laser medium from an optical axis thereof; and a laser medium disposed between the semiconductor laser and the laser medium. A plurality of laser light generating sections each including a first mirror having a high reflectance for the emitted laser light, a Q-switch element for making the laser light emitted from the laser medium a giant pulse, and a giant pulse A nonlinear optical crystal that multiplies the wavelength of the laser light, a high transmittance for the wavelength of the multiplied laser light, a high reflectance for the wavelength of the laser light emitted from the laser medium, and a plurality of And a second mirror disposed at the intersection of the optical axes of the laser light generating sections so that the reflected optical axis coincides with the optical axis of the other side. Quality of the laser beam so that remain in increasing the output power of good by providing a plurality of laser light generating portion.

【0007】好適には、第2のミラーは、レーザ媒質か
ら放出されたレーザ光を90°方向に高い反射率で反射
し、かつ逓倍されたレーザ光の波長に対して高い透過率
を持ち、複数のレーザ発生部がL型に配設される。
Preferably, the second mirror reflects the laser light emitted from the laser medium with a high reflectance in the 90 ° direction, and has a high transmittance with respect to the wavelength of the multiplied laser light, A plurality of laser generators are arranged in an L-shape.

【0008】また、第1のミラーをレーザ媒質の半導体
レーザからのレーザ光入射側に形成された蒸着膜にて構
成すると、第1のミラーを簡単かつ安価に構成できる。
また、非線形光学結晶を複数のレーザ光発生部の間の光
路を二等分する位置に配設すると、第1のミラーを凹面
ミラーにて構成してレーザ光を非線形光学結晶で収束さ
せることによって波長変換効率の向上を図る場合に、光
路両端の第1のミラーに同一曲率半径のミラーを用いて
波長変換効率の向上を図ることができる。
Further, when the first mirror is formed of a vapor-deposited film formed on the side of the laser medium on which the laser beam from the semiconductor laser is incident, the first mirror can be simply and inexpensively formed.
In addition, when the nonlinear optical crystal is disposed at a position that bisects the optical path between the plurality of laser light generating units, the first mirror is configured by a concave mirror and the laser light is converged by the nonlinear optical crystal. When improving the wavelength conversion efficiency, it is possible to improve the wavelength conversion efficiency by using mirrors having the same radius of curvature as the first mirrors at both ends of the optical path.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明の半導体レーザ励起
固体レーザ装置の一実施形態を図1を参照しながら説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the semiconductor laser pumped solid-state laser device of the present invention will be described below with reference to FIG.

【0010】図1において、1は半導体レーザ、2はレ
ーザ媒質であり、これら半導体レーザ1とレーザ媒質2
にてレーザ光発生部7が構成されている。また、このレ
ーザ光発生部7の半導体レーザ1とレーザ媒質2との間
には同軸上に、レーザ媒質2から放出されるレーザ光に
対して高い反射率を持つ第1のミラー5が配置されてい
る。そして、1対のレーザ光発生部7が、それらの光軸
を90°の交差角で交差するようにL型に配置されてい
る。レーザ媒質2は、1対のレーザ光発生部7を設けて
いるので、それらの光軸調整が簡単にできるようにその
端面は光軸に対し直角にカットしてある。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a semiconductor laser, and 2 denotes a laser medium.
Constitutes the laser light generator 7. Further, a first mirror 5 having a high reflectance for laser light emitted from the laser medium 2 is disposed coaxially between the semiconductor laser 1 and the laser medium 2 of the laser light generating unit 7. ing. The pair of laser light generators 7 are arranged in an L-shape such that their optical axes intersect at an intersection angle of 90 °. Since the laser medium 2 is provided with a pair of laser light generators 7, the end faces thereof are cut at right angles to the optical axis so that their optical axes can be easily adjusted.

【0011】3は一方のレーザ光発生部7の光軸と同軸
上に配置されたQスイッチ素子で、レーザ媒質2から放
出されるレーザ光をジャイアントパルスにする。4は同
じく一方のレーザ光発生部7の光軸と同軸上に配置され
た非線形光学結晶で、ジャイアントパルスのレーザ光の
波長を逓倍する。この非線形光学結晶4は、両レーザ光
発生部7、7間の光路を二等分する位置に配設され、か
つ両レーザ光発生部7、7における第1のミラー5はレ
ーザ光をこの非線形光学結晶4で収束させるように凹面
ミラーにて構成されている。
Reference numeral 3 denotes a Q-switch element arranged coaxially with the optical axis of one of the laser light generating units 7, which converts the laser light emitted from the laser medium 2 into a giant pulse. Numeral 4 is a non-linear optical crystal arranged coaxially with the optical axis of one of the laser light generating sections 7 for multiplying the wavelength of the giant pulse laser light. The nonlinear optical crystal 4 is disposed at a position that bisects the optical path between the two laser light generators 7, 7, and the first mirror 5 in the two laser light generators 7, 7 converts the laser light into the nonlinear light. The optical crystal 4 is configured by a concave mirror so as to converge.

【0012】6は、複数のレーザ光発生部7の光軸が交
差する位置に、それら両光軸に対して45°傾斜して配
置された第2のミラーで、非線形光学結晶4にて逓倍さ
れたレーザ光に対して高い透過率を持ち、両レーザ光発
生部7のレーザ媒質2から放出されたレーザ光に対して
90°の方向に高い反射率を持っている。
Reference numeral 6 denotes a second mirror arranged at a position where the optical axes of the plurality of laser light generating sections 7 intersect with each other and inclined at 45 ° to both optical axes. It has a high transmittance to the emitted laser light, and has a high reflectance in a 90 ° direction to the laser light emitted from the laser medium 2 of both laser light generators 7.

【0013】以上の構成において、端面励起方式の半導
体レーザ1とレーザ媒質2から成るレーザ光発生部7を
複数設け、非線形光学結晶4にて逓倍されたレーザ光の
波長に対して高い透過率を持ち、レーザ媒質2から放出
されたレーザ光の波長に対して高い反射率を持つ第2の
ミラー6を、両レーザ光発生部7の光軸の交差部に反射
光軸が相手側の光軸に一致するように配設しているの
で、端面励起方式の両レーザ光発生部7にて2段に励起
され、Qスイッチ素子3でジャイアントパルスにされ、
非線形光学結晶4にて波長が逓倍されたレーザ光が出力
され、端面励起方式のレーザ装置の特長であるレーザ光
の品質が良いままで高出力化を図ることができる。ま
た、レーザ媒質2をブリュースターカットしていないの
で、光軸の調整も簡単である。また、第1のミラー5を
凹面ミラーにて構成してレーザ光を非線形光学結晶4に
収束させるように構成すると、波長変換効率を高くする
ことができ、かつ非線形光学結晶4をレーザ光発生部
7、7間の光路を二等分する位置に配置しているので、
同一の曲率半径の第1のミラー5を用いてその効果を得
ることができる。
In the above configuration, a plurality of laser light generating units 7 each comprising an end-pumped semiconductor laser 1 and a laser medium 2 are provided to provide a high transmittance for the wavelength of the laser light multiplied by the nonlinear optical crystal 4. A second mirror 6 having a high reflectance with respect to the wavelength of the laser light emitted from the laser medium 2, and having a reflected optical axis at the intersection of the optical axes of both laser light generating sections 7 with the optical axis of the other side. , The two laser light generators 7 of the end-pumping type are excited in two stages, and are made giant pulses by the Q switch element 3.
Laser light whose wavelength has been multiplied by the nonlinear optical crystal 4 is output, and high output can be achieved while maintaining good laser light quality, which is a feature of the end-pumped laser apparatus. Further, since the laser medium 2 is not Brewster-cut, the adjustment of the optical axis is easy. Further, when the first mirror 5 is formed of a concave mirror so that the laser light is converged on the nonlinear optical crystal 4, the wavelength conversion efficiency can be increased, and the nonlinear optical crystal 4 can be formed by a laser light generating unit. Since the optical path between 7 and 7 is arranged at a position that bisects the optical path,
The effect can be obtained by using the first mirrors 5 having the same radius of curvature.

【0014】なお、上記実施形態では第1のミラー5を
独立したミラーにて構成した例を示したが、レーザ媒質
2の半導体レーザ1からのレーザ光入射側に形成した蒸
着膜にて構成しても良く、レーザ光発生部7をより簡単
な構成にできる。また、レーザ発生部7を一対配設した
例を示したが、3つ以上配設してもよい。
In the above-described embodiment, the first mirror 5 is constituted by an independent mirror. However, the first mirror 5 is constituted by a vapor deposition film formed on the side of the laser medium 2 on which the laser beam from the semiconductor laser 1 is incident. Alternatively, the laser light generator 7 can have a simpler configuration. In addition, although an example in which a pair of laser generators 7 is provided has been described, three or more laser generators 7 may be provided.

【0015】[0015]

【発明の効果】本発明の半導体レーザ励起固体レーザ装
置によれば、以上の説明から明らかなように、複数の端
面励起方式のレーザ光発生部を設けているので、レーザ
光の品質が良いまま、大きなレーザ光出力を得ることが
できる。
According to the semiconductor laser-excited solid-state laser device of the present invention, as is apparent from the above description, a plurality of edge-pumped laser light generating sections are provided, so that the quality of the laser light remains good. And a large laser light output can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の半導体レーザ励起固体レーザ装置の一
実施形態の構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of one embodiment of a semiconductor laser pumped solid-state laser device of the present invention.

【図2】従来例の半導体レーザ励起固体レーザ装置の構
成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram of a conventional semiconductor laser pumped solid-state laser device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体レーザ 2 レーザ媒質 3 Qスイッチ素子 4 非線形光学結晶 5 第1のミラー 6 第2のミラー 7 レーザ光発生部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor laser 2 Laser medium 3 Q switch element 4 Nonlinear optical crystal 5 First mirror 6 Second mirror 7 Laser light generation part

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ媒質とその光軸上からレーザ媒質
を励起する半導体レーザと半導体レーザとレーザ媒質の
間に配設されレーザ媒質から放出されたレーザ光に対し
て高い反射率を持つ第1のミラーとから構成された複数
のレーザ光発生部と、レーザ媒質から放出されたレーザ
光をジャイアントパルスにするQスイッチ素子と、ジャ
イアントパルスのレーザ光の波長を逓倍する非線形光学
結晶と、逓倍されたレーザ光の波長に対して高い透過率
を持ち、レーザ媒質から放出されたレーザ光の波長に対
して高い反射率を持ち、かつ複数のレーザ光発生部の光
軸の交差部に反射光軸が相手側の光軸に一致するように
配設された第2のミラーとを備えたことを特徴とする半
導体レーザ励起固体レーザ装置。
1. A laser medium, a semiconductor laser for exciting the laser medium from the optical axis thereof, and a first laser disposed between the semiconductor laser and the laser medium and having a high reflectance with respect to laser light emitted from the laser medium. A plurality of laser light generating sections each including a mirror, a Q-switch element that converts the laser light emitted from the laser medium into a giant pulse, and a nonlinear optical crystal that doubles the wavelength of the giant pulse laser light. Has a high transmittance with respect to the wavelength of the laser light emitted from the laser medium, has a high reflectance with respect to the wavelength of the laser light emitted from the laser medium, and has a reflected optical axis at the intersection of the optical axes of the plurality of laser light generating sections. And a second mirror disposed so as to coincide with the optical axis of the other party.
【請求項2】 第2のミラーは、レーザ媒質から放出さ
れたレーザ光を90°方向に高い反射率で反射し、かつ
逓倍されたレーザ光の波長に対して高い透過率を持ち、
複数のレーザ発生部はL型に配設された請求項1記載の
半導体レーザ励起固体レーザ装置。
2. The second mirror reflects the laser light emitted from the laser medium at a high reflectance in the 90 ° direction and has a high transmittance with respect to the wavelength of the multiplied laser light.
2. The solid-state laser pumped solid-state laser device according to claim 1, wherein the plurality of laser generators are arranged in an L-shape.
【請求項3】 第1のミラーは、レーザ媒質の半導体レ
ーザからのレーザ光入射側に形成された蒸着膜にて構成
したことを特徴とする請求項1または2記載の半導体レ
ーザ励起固体レーザ装置。
3. The semiconductor laser-excited solid-state laser device according to claim 1, wherein the first mirror is formed of a vapor-deposited film formed on a laser medium incident side of a laser beam from a semiconductor laser of a laser medium. .
【請求項4】 非線形光学結晶を、複数のレーザ光発生
部の間の光路を二等分する位置に配設したことを特徴と
する請求項1または2記載の半導体レーザ励起固体レー
ザ装置。
4. The semiconductor laser-excited solid-state laser device according to claim 1, wherein the nonlinear optical crystal is disposed at a position that bisects an optical path between the plurality of laser light generating units.
JP8233257A 1996-09-03 1996-09-03 Solid laser device of exciting semiconductor laser Pending JPH1079550A (en)

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Cited By (3)

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WO2018194301A1 (en) * 2017-04-19 2018-10-25 (주)이오테크닉스 Laser amplification device
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