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JPH1075991A - Method and device for cleaning object or eliminating contamination by ultraviolet laser beam - Google Patents

Method and device for cleaning object or eliminating contamination by ultraviolet laser beam

Info

Publication number
JPH1075991A
JPH1075991A JP9219528A JP21952897A JPH1075991A JP H1075991 A JPH1075991 A JP H1075991A JP 9219528 A JP9219528 A JP 9219528A JP 21952897 A JP21952897 A JP 21952897A JP H1075991 A JPH1075991 A JP H1075991A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser beam
metal object
impact
plasma
container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9219528A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Jean-Raymond Costes
− レイモン コステ ジャン
Remy Bernhard
レミィ ベルナール
Alain Briand
ブリアン アラン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of JPH1075991A publication Critical patent/JPH1075991A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0035Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
    • B08B7/0042Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like by laser
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21FPROTECTION AGAINST X-RADIATION, GAMMA RADIATION, CORPUSCULAR RADIATION OR PARTICLE BOMBARDMENT; TREATING RADIOACTIVELY CONTAMINATED MATERIAL; DECONTAMINATION ARRANGEMENTS THEREFOR
    • G21F9/00Treating radioactively contaminated material; Decontamination arrangements therefor
    • G21F9/001Decontamination of contaminated objects, apparatus, clothes, food; Preventing contamination thereof
    • G21F9/005Decontamination of the surface of objects by ablation
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21FPROTECTION AGAINST X-RADIATION, GAMMA RADIATION, CORPUSCULAR RADIATION OR PARTICLE BOMBARDMENT; TREATING RADIOACTIVELY CONTAMINATED MATERIAL; DECONTAMINATION ARRANGEMENTS THEREFOR
    • G21F9/00Treating radioactively contaminated material; Decontamination arrangements therefor
    • G21F9/28Treating solids
    • G21F9/30Processing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily, surely and safely clean plastic or metal surfaces or eliminate contaminations without re-contaminating the surface after a processing. SOLUTION: An ultraviolet laser beam 22 emitted by a laser 21 is scanned toward the surface of an object 20 to be processed by mechanical/optical means 30, 31, 32, 41, 51 and 1O, peeling is generated on the object 20 by the impact of the laser beam 22 and the surface of a material itself for constituting the object is eliminated. For stainless steel, it is advantageous when the work is performed by reducing gas, especially inert gas fluoride atmosphere.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線レーザビー
ムを使って物体の表面を清掃または汚染除去するための
方法に関する。それは、上記方法を実施するための装置
にも関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a method for cleaning or decontaminating the surface of an object using an ultraviolet laser beam. It also relates to an apparatus for performing the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】物体の表面を清掃または汚染除去するた
めにレーザビームを使うことは、多くの刊行物に記載さ
れている。これらの刊行物から以下の文書を引用するこ
とができる。
BACKGROUND OF THE INVENTION The use of laser beams to clean or decontaminate the surface of objects has been described in many publications. The following documents can be cited from these publications:

【0003】WO 90/07988は、表面を清掃す
るためにレーザビームを使用することを開示し、清掃作
業中このレーザビームを手動で案内する。レーザビーム
の出力は、ミクロンオーダの波長で数10mW/cm2
のオーダである。この文書が開示する技術は、反復性、
精度の欠如、煩雑性およびある材料についての非効率性
に関する欠点がある。
[0003] WO 90/07988 discloses the use of a laser beam to clean a surface, which is guided manually during the cleaning operation. The output of the laser beam is several tens mW / cm 2 at a wavelength on the order of microns.
Of the order. The technology described in this document is repetitive,
There are disadvantages related to lack of accuracy, complexity and inefficiencies for certain materials.

【0004】FR−A−2525380は、YAGレー
ザが1.06μmの波長で出す光ビームを使う汚染除去
法を記載している。この方法は、放射性元素によって汚
染されている金属物体の表面から酸化物の薄膜を除去す
るために開発された。しかし、この方法は、酸化物層の
素地、即ちこの物体の純粋な金属部を処理するために使
うことができない。その上、レーザビームの効果が本質
的に熱的であり、このためプラスチック物体の汚染除去
に不適当である。実際、このレーザビームは、プラスチ
ック物体の表面溶融を生じ、それが汚染物質を最終的に
プラスチック材料の中に塗込める効果を有する。これ
は、要求されるのと反対の効果である。
[0004] FR-A-2525380 describes a decontamination method using a light beam emitted by a YAG laser at a wavelength of 1.06 μm. This method was developed to remove oxide thin films from the surface of metallic objects that have been contaminated by radioactive elements. However, this method cannot be used to treat the substrate of the oxide layer, ie the pure metal part of the object. Moreover, the effect of the laser beam is inherently thermal, which makes it unsuitable for decontaminating plastic objects. In fact, this laser beam causes a surface melting of the plastic object, which has the effect that contaminants can eventually penetrate into the plastic material. This is the opposite effect that is required.

【0005】FR−A−2700882で、放射性元素
によって汚染された表面の汚染除去は、処理すべき表面
上に液体を維持することが条件である。この液体を使う
ことは、多くの欠点、例えば、この方法の終了後の液体
の除去、を有する。
[0005] In FR-A-2700882, decontamination of surfaces contaminated by radioactive elements is contingent on maintaining a liquid on the surface to be treated. Using this liquid has many disadvantages, such as removal of the liquid after the end of the method.

【0006】FR−A−2707877は、紫外線レー
ザビームと酸素のような反応性ガスを使うことを提案し
ている。実験によると、汚染除去作業中に酸素が存在す
ると処理した金属上に直ちに酸化物層を再形成すること
に繋がることを示した。これらの層が汚染物質を再び閉
込め、それは所望する結果に反する。この文書は、処理
した表面から取出してから放出した粒子の捕獲領域につ
いても触れている。この捕獲領域は、処理した表面から
2〜10mmの間にある。この短い距離がこの方法を実
施するための欠点である。
[0006] FR-A-2707877 proposes to use an ultraviolet laser beam and a reactive gas such as oxygen. Experiments have shown that the presence of oxygen during the decontamination operation immediately leads to the reformation of the oxide layer on the treated metal. These layers retrap the contaminants, which is contrary to the desired result. The document also mentions a capture zone for particles released from the treated surface and released. This capture area is between 2 and 10 mm from the treated surface. This short distance is a disadvantage for implementing this method.

【0007】WO 95/13618は、処理すべき金
属物体の表面を局部的に溶融するためにレーザビームを
使い、この溶融した金属を除去することによって汚染除
去を行う方法を記載している。この方法の欠点は、汚染
除去すべき表面に接触して作業する必要があることであ
る。更に、金属を溶融することは、表面状態を損傷し、
スラグを作り、付近の汚染物質を再び閉込めるので、大
きな欠点である。
[0007] WO 95/13618 describes a method of performing decontamination by using a laser beam to locally melt the surface of a metal object to be treated and removing the molten metal. A disadvantage of this method is that it requires working in contact with the surface to be decontaminated. In addition, melting the metal damages the surface condition,
This is a major drawback because it creates slag and re-contains nearby contaminants.

【0008】この様に、従来技術を使う上述の方法は、
かなりの数の欠点を有する。
[0008] Thus, the above method using the prior art,
It has a number of disadvantages.

【0009】それらは、通常スペクトルの赤外または可
視部分の波長のレーザビームを使用する。従って、それ
らは金属材料の表面溶融を生じ、それが重大な欠点をも
たらす。
They usually use laser beams at wavelengths in the infrared or visible part of the spectrum. Thus, they cause a surface melting of the metallic material, which leads to significant disadvantages.

【0010】そのような技術を手動で実施するときは、
処理すべき表面の走査が不完全である。これは、小さい
未処理の領域を残すことになるか、または繰返し処置段
階を実施することが必要になる。放射能除染に関係する
場合、もう一つの重大な欠点は、スタッフが電離放射線
を浴びる危険があることである。
When implementing such techniques manually,
Incomplete scanning of the surface to be treated. This will either leave a small unprocessed area or it will be necessary to perform repeated treatment steps. Another significant drawback when involved in radioactive decontamination is the risk of staff exposure to ionizing radiation.

【0011】説明した手順の一つは、補強特性を有する
筈の液体の散布と組合わせてレーザビームを使うことに
関係する。水性ではあるが、問題の液体は、塗布、除去
および取扱いが困難である。その上、本発明の発明者が
行った実験によると、各残留液滴の下に微小亀裂ができ
ることを示した。これらの微小亀裂は、表面を多孔質に
し、非常に再汚染されやすい。
One of the procedures described involves the use of a laser beam in combination with the application of a liquid which should have reinforcing properties. Although aqueous, the liquid in question is difficult to apply, remove and handle. In addition, experiments performed by the inventors of the present invention have shown that microcracks can form under each remaining droplet. These microcracks make the surface porous and are very susceptible to recontamination.

【0012】レーザビームの衝撃によって発生するプラ
ズマ熱またはレーザの衝撃によって生ずる表面剥離は、
酸素のような反応性ガスの使用と組合さって、直ちに非
常に顕著な表面の再酸化を起す。そのような再酸化は、
再汚染を生じかねない。
The surface peeling caused by the plasma heat generated by the laser beam impact or the laser impact,
Combined with the use of a reactive gas such as oxygen, a very pronounced reoxidation of the surface occurs immediately. Such re-oxidation
May cause recontamination.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術の
全ての欠点を克服することを意図している。本発明者
は、かなりの数の調査を行い、それが思いがけずプラス
チックまたは金属表面の遠隔汚染除去または清掃を行う
ための方法をもたらした。この方法は、容易に自動化で
き、事情に依っては、処理すべき表面の最終状態に有利
な、例えば、再酸化することなくこの表面を研磨するた
めの、ガスを付加をしてもよい。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to overcome all disadvantages of the prior art. The inventor has performed a considerable number of investigations, which have unexpectedly led to methods for remote decontamination or cleaning of plastic or metal surfaces. The method can be easily automated and, depending on the circumstances, may be supplemented with a gas which favors the final condition of the surface to be treated, for example for polishing this surface without re-oxidation.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】従って本発明は、紫外線
レーザビームの衝撃を使う、金属物体の表面を清掃また
は汚染除去するための方法に於いて、この金属物体を構
成する材料に依存して、紫外線レーザービームが金属物
体に剥離を起し、この剥離がこの物体それ自体を構成す
る材料の表面除去を含むように選んだ条件で紫外線レー
ザビームを使うことを特徴とする方法に関する。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention is a method for cleaning or decontaminating the surface of a metal object using the impact of an ultraviolet laser beam, depending on the material comprising the metal object. A method wherein the ultraviolet laser beam causes exfoliation of the metal object, using the ultraviolet laser beam under conditions selected to include surface removal of the material comprising the object itself.

【0015】もし、上記金属物体の表面に酸化物の層が
できたら、上記作業条件は、この酸化物を蒸発し、およ
びプラズマを生じ、それがこの物体それ自体を構成する
材料の表面除去をするようになっている。
If a layer of oxide forms on the surface of the metal object, the operating conditions evaporate the oxide and produce a plasma, which results in the surface removal of the material comprising the object itself. It is supposed to.

【0016】事情に依っては、これらの作業条件が、こ
のレーザビームが上記金属物体へ与える衝撃がこの金属
物体を構成する材料に対して不活性である不活性ガスの
雰囲気、例えばアルゴン雰囲気の中で起るということを
含むのが有利かも知れない。
Depending on the circumstances, these operating conditions are such that the impact of the laser beam on the metal object is an inert gas atmosphere, for example an argon atmosphere, which is inert to the material constituting the metal object. It may be advantageous to include what happens in.

【0017】このレーザビームが還元状態で上記物体へ
衝撃を与えることも有利かも知れない。これらの還元状
態は、この不活性ガス雰囲気に対して少なくとも一つの
適当な添加剤が存在することによって得てもよい。
It may also be advantageous for the laser beam to impact the object in a reduced state. These reduced states may be obtained by the presence of at least one suitable additive to the inert gas atmosphere.

【0018】本発明は、紫外線レーザビームの衝撃を使
うことによって容器の内面を清掃または汚染除去するた
めの装置に於いて、物体を構成する材料に依存して、こ
の物体に剥離を起し、この剥離がこの物体それ自体を構
成する材料の表面除去を含むように選んだ条件で上記紫
外線レーザビームを出すレーザ、このレーザビームを上
記内面へ伝達しおよびこのレーザビームをこの容器の内
面の領域に導くための鏡を含む手段、並びに上記内面の
剥離から生ずる材料を除去するための手段を含み、これ
らの鏡が、制御装置の作用の下で、清掃または汚染除去
すべき全表面を走査するように配置されていることを特
徴とする装置にも関する。
The present invention is directed to an apparatus for cleaning or decontaminating the interior surface of a container by using the impact of an ultraviolet laser beam, wherein, depending on the material of which the object is made, the object is subject to delamination, A laser that emits the ultraviolet laser beam under conditions selected to include surface removal of the material that constitutes the object itself, transmitting the laser beam to the interior surface and directing the laser beam to an area of the interior surface of the container. And means for removing material resulting from delamination of said inner surface, said mirrors, under the action of the control device, scan all surfaces to be cleaned or decontaminated. Apparatus characterized in that they are arranged as described above.

【0019】本発明の他の特徴および利点は、以下の説
明から更によく理解できるだろう。この説明は、非限定
的で、添付の図面を参照する。
[0019] Other features and advantages of the present invention will be better understood from the following description. This description is non-limiting and refers to the accompanying drawings.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】この発明は、紫外線、即ち、10
nm〜400nmの間の波長のレーザビームを使用す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
A laser beam with a wavelength between 400 nm and 400 nm is used.

【0021】図1に示す実験用装置は、28nsのパル
スで308nmの波長の光のビームを出すXeClレー
ザ1を使用する。この型のレーザは、現在入手できる最
も強力なものの一つ、即ち、250Hzラムダフィジー
ク(Lambda Physik)400mJである。
The experimental apparatus shown in FIG. 1 uses an XeCl laser 1 that emits a beam of light having a wavelength of 308 nm with a pulse of 28 ns. This type of laser is one of the most powerful ones currently available, namely a 250 Hz Lambda Physik 400 mJ.

【0022】図1の装置は、直接像伝達技術を使ってレ
ーザビームを導く。レーザビーム2を最初に鏡3で反射
してから第1集束レンズ4に通し;次に鏡5および6に
よって順次反射してから第2集束レンズ7(焦点距離
0.5m)を通して、保護容器9の内部に配置した目標
物8に到達させる。ビデオカメラ10を使ってレーザビ
ーム2が目標物8に与える衝撃を監視する。
The apparatus of FIG. 1 directs a laser beam using direct image transfer techniques. The laser beam 2 is first reflected by the mirror 3 and then passes through the first focusing lens 4; then is reflected by the mirrors 5 and 6 sequentially and then through the second focusing lens 7 (focal length 0.5 m) and into the protective container 9 To the target object 8 arranged inside. The video camera 10 monitors the impact of the laser beam 2 on the target 8.

【0023】この装置を使って、目標物で測定したレー
ザビームの出力は、パルス当り300mJである。鏡5
と6は、回転してレーザビーム2をこの目標物の全表面
に向けることができる。
The output of the laser beam measured at the target using this apparatus is 300 mJ per pulse. Mirror 5
And 6 can rotate to direct the laser beam 2 to the entire surface of this target.

【0024】次に、本の発明の方法を使った、三つの異
なる材料の処理を説明する。これらの例を使えば、本発
明を他の材料に適用しようと思う当業者は、特別な発明
性を示す必要なしに利用できる技術を使うテストをする
だけでよいだろう。これらのテストが、任意の与えられ
た材料に対して、目標物の表面で必要なレーザビームの
出力定格および本発明を実施するために必要な最適条件
についての情報を与えるだろう。
Next, the processing of three different materials using the method of the present invention will be described. Using these examples, those skilled in the art who intend to apply the present invention to other materials will only need to test using available technology without having to show special inventiveness. These tests will give, for any given material, information on the required laser beam power rating at the surface of the target and the optimal conditions required to practice the invention.

【0025】例I 最初の例は、プラスチック被膜、この例ではエポキシ塗
料、の処理に関する。
EXAMPLE I The first example concerns the treatment of a plastic coating, in this case an epoxy paint.

【0026】単一紫外光子の力が電子準位を有機結合の
解離限界に近いかそれより大きく励起するに十分であ
る。このプロセスは、光化学的で、熱的効果が弱い。
The power of a single ultraviolet photon is sufficient to excite an electronic level at or near the dissociation limit of an organic bond. This process is photochemical and has poor thermal effects.

【0027】0.5J/cm2 で被膜は剥がれず;従っ
てこの値が剥離限界である。0.7J/cm2 で剥離が
効きだし、1.8J/cm2 で最大効率に至る。250
Hzの反復発射率で、30μmの深さに対し、0.5m
2 /hの剥離速度を達成することができる。レーザビー
ムの入射角の45°までの変動は、剥離効率にほとんど
影響を与えないことにも注意すべきである。
At 0.5 J / cm 2 , the coating does not peel off; therefore, this value is the peeling limit. 0.7 J / cm 2 in out effectiveness peeling, leading to maximum efficiency in the 1.8 J / cm 2. 250
Hz repetition rate, 0.5 m for a depth of 30 μm
A peel rate of 2 / h can be achieved. It should also be noted that variations in the angle of incidence of the laser beam up to 45 ° have little effect on stripping efficiency.

【0028】プラスチック材料に対して、レーザビーム
の最大出力定格は、それ以上ではプラスチックが溶けま
たは燃え始めるものである。
For plastic materials, the maximum power rating of the laser beam is above which the plastic begins to melt or burn.

【0029】例II 第2の例では、目標物は、表面が自然に酸化した銅の塊
である。
EXAMPLE II In a second example, the target is a copper mass with a naturally oxidized surface.

【0030】この酸化物層は、紫外線を非常によく吸収
するので、十分に強力なレーザビーム(2J/cm2
がこの銅酸化物層を気化し、プラズマを形成する。プラ
ズマ光発光の分析を使ってそれが作られた材料を構成す
る元素を決めることができる。
Since this oxide layer absorbs ultraviolet light very well, a sufficiently powerful laser beam ( 2 J / cm 2 )
Vaporizes this copper oxide layer and forms a plasma. Analysis of plasma light emission can be used to determine the elements that make up the material from which it is made.

【0031】図2のグラフの曲線11は、レーザの最初
の2発の発光スペクトルを示す。この曲線の510.5
5nm、515.32nmおよび521.82nmの三
つのピークは、実際に、正に剥離した領域からの銅原子
の放出に対応する。
Curve 11 in the graph of FIG. 2 shows the emission spectra of the first two shots of the laser. 510.5 of this curve
The three peaks at 5 nm, 515.32 nm and 521.82 nm actually correspond to the emission of copper atoms from the positively stripped area.

【0032】3発目のレーザに始って、発光スペクトル
(図2のグラフの曲線12)は、最早プラズマが作られ
ないのでもう銅が放出されず、金属の吸収係数が低いこ
とを示す。プラズマを再発するためには、かなり高いレ
ーザ光束を要する。
Beginning with the third laser, the emission spectrum (curve 12 in the graph of FIG. 2) shows that no more plasma is created and no more copper is emitted and the metal has a low absorption coefficient. In order for the plasma to recur, a fairly high laser beam is required.

【0033】従って、酸化銅の塊を剥がして素地だけに
するには、たった2発のパルスしか要らないので、本発
明によるプロセスは非常に効率がよく、且つ高度に選択
的である。
Thus, the process according to the invention is very efficient and highly selective, since only two pulses are required to strip the copper oxide mass and leave it alone.

【0034】プラズマ形成中は音響信号を出すことに気
付いた。従って、レーザビームと酸化した表面が相互作
用している間、最初の2発に対して音響信号を記録して
もよい。3発目のレーザは、非常に低い音響信号を出
す。
It was noted that an acoustic signal was emitted during plasma formation. Thus, while the laser beam interacts with the oxidized surface, an acoustic signal may be recorded for the first two shots. The third laser emits a very low acoustic signal.

【0035】例III 第3の例は、目標物は重量で72%の鉄、18%のクロ
ームおよび10%のニッケルからなるFe/Cr/Ni
ステンレス鋼の塊である。エージングによって、この鋼
上に厚さ数10ミクロンの酸化物層ができている。この
種の目標物を汚染除去するためには、最初にエージング
中にできた酸化物層を破壊することが不可欠であること
が分っている。
EXAMPLE III In a third example, the target is Fe / Cr / Ni consisting of 72% iron, 18% chromium and 10% nickel by weight.
It is a lump of stainless steel. Due to aging, an oxide layer having a thickness of several tens of microns is formed on the steel. In order to decontaminate such targets, it has been found that it is essential to destroy the oxide layer initially formed during aging.

【0036】2J/cm2 の光束が長さ約8mmの非常
に明るいプラズマを出しながら、この酸化物層を容易に
気化する。このプラズマの突然の膨張が同時にバーンと
いう音を出す。
The oxide layer is easily vaporized with a luminous flux of 2 J / cm 2 emitting a very bright plasma of about 8 mm in length. The sudden expansion of this plasma simultaneously makes a bang.

【0037】この酸化物層を完全に除去するためには、
数発で十分であり、この観点からこのプロセスが非常に
効率のよいことを示す。その後に、剥離して光沢のある
金属素地上に3J/cm2 で照射してもプラズマまたは
バーンという音を発生することにはならない。しかし、
原子力施設の解体の一部としての汚染除去は、金属素地
それ自体から材料除去せずには達成できない、高い除染
係数を課す。同時に、金属表面を溶かし、処理した表面
を再酸化させないように注意しないと、両プロセスが汚
染要因物を閉込めることになる。この議論は、ステンレ
ス鋼に必要なよい作業条件を正確に定義することに繋が
る。
In order to completely remove this oxide layer,
A few shots are sufficient, indicating that this process is very efficient from this point of view. After that, even if it is peeled off and irradiated on a shiny metal substrate at 3 J / cm 2 , it does not generate the sound of plasma or burn. But,
Decontamination as part of the demolition of nuclear facilities imposes high decontamination factors that cannot be achieved without material removal from the metal substrate itself. At the same time, care must be taken not to melt the metal surface and re-oxidize the treated surface, and both processes will trap contaminants. This discussion leads to precisely defining the good working conditions required for stainless steel.

【0038】もし、実際に、鋼の塊の表面のレーザ照射
を空気雰囲気中で続け、一旦酸化物層を除去してしまう
と、短期間の照射で処理した表面が黒化すること、およ
び長期間の照射が黒化を増すだけでなく、金属とその酸
化物の間の熱応力が異なるために、外観を煉瓦酸化物構
造にすることも分るだろう。この新しい酸化物層は、レ
ーザ光子を吸収し、続く剥離を遮蔽する効果があるの
で、望ましくなく;汚染粒子を閉込め、除染係数を下
げ、それによって表面状態を劣化する傾向もある。
If laser irradiation of the surface of the steel ingot is actually continued in an air atmosphere and the oxide layer is removed once, the surface treated by irradiation for a short period of time becomes black, and Not only will the irradiation of the period increase the darkening, but also the appearance of the brick oxide structure due to the different thermal stresses between the metal and its oxides. This new oxide layer is undesirable because it has the effect of absorbing laser photons and shielding subsequent delamination; it also tends to trap contaminant particles, reduce the decontamination factor and thereby degrade the surface condition.

【0039】これらの現象を克服するために一連の実験
をした。これらの実験は、この鋼の多数のサンプルを使
い、表面の分析をXPS光電子分光法およびイオンボン
バードを使って実施した。この分析法は、サンプルを数
nm/min(この実験では2nm/min)の速度で
擦り、処理したサンプルの深い物理化学的構造を識別で
きるようにする。
A series of experiments were performed to overcome these phenomena. In these experiments, a large number of samples of this steel were used and surface analysis was performed using XPS photoelectron spectroscopy and ion bombardment. This method rubs the sample at a rate of a few nm / min (2 nm / min in this experiment) so that the deep physicochemical structure of the processed sample can be identified.

【0040】未処理のサンプル(即ち、その最初の酸化
物層を保持するもの)に始り、種々の条件で処理したサ
ンプルに続いて、幾つかのサンプルをこれらの技術を使
って調べた。
Several samples were examined using these techniques, starting with the untreated sample (ie, retaining the original oxide layer), followed by the samples treated under various conditions.

【0041】未処理のサンプルは、次のように構成され
ている:0.13μmの深さまでは、鉄とクロームが主
として酸化物として存在し、一方ニッケルはその金属状
態にある。このサンプルの組成は、0.13μmの深さ
を超えると一定のままで、鉄酸化物が存在する。0.4
8μmの深さで測定したFe、CrおよびNi相対濃度
は、重量でそれぞれ70.9%、21.9%および7.
2%である。使用した技術の測定精度を考慮すれば、こ
れらの値は、このサンプルの認証組成、即ち重量で72
%、18%および10%とよく一致する。
The untreated sample is constructed as follows: At a depth of 0.13 μm, iron and chromium are mainly present as oxides, while nickel is in its metallic state. The composition of this sample remains constant over a depth of 0.13 μm, with iron oxide present. 0.4
The relative concentrations of Fe, Cr and Ni measured at a depth of 8 μm are 70.9%, 21.9% and 7.
2%. Given the measurement accuracy of the technique used, these values are the certified composition of this sample, ie, 72% by weight.
%, 18% and 10%.

【0042】上に説明した様に空気中で処理したサンプ
ルは、次のように構成されている:1.1μmの深さま
で、少量の金属ニッケルを別にして、このサンプルは、
殆ど全て酸素と金属酸化物からなる。1.3μmの深さ
で、金属鉄に対する鉄酸化物の比は、まだ約50%であ
る。従って、酸化物と酸素の改質が存在する。
The sample treated in air as described above is composed as follows: up to a depth of 1.1 μm, apart from a small amount of metallic nickel, this sample is:
Almost all consist of oxygen and metal oxides. At a depth of 1.3 μm, the ratio of iron oxide to metallic iron is still about 50%. Therefore, there is an oxide and oxygen reforming.

【0043】アルゴンの中で処理したサンプルの組成
は、0.4μmの深さまで大体正しい、即ち、重量で鉄
70%、クローム20%およびニッケル11%である。
このサンプルの表面とこの深さの間は、酸素が空気中で
の照射に対するより薄いが存在し続ける。
The composition of the sample treated in argon is approximately correct to a depth of 0.4 μm, ie 70% iron, 20% chromium and 11% nickel by weight.
Between the surface of the sample and this depth, oxygen continues to be thinner for irradiation in air.

【0044】アルコールが存在する下でアルゴン中で処
理したサンプルは、数分の分析後に正しい基本組成が得
られ、酸素濃度が非常に低いので、非常にきれいな表面
を示す。
Samples treated in argon in the presence of alcohol show a very clean surface, since after a few minutes of analysis the correct base composition is obtained and the oxygen concentration is very low.

【0045】従って、本発明による剥離を不活性ガスの
中で実施することが非常に有利であり、そのガスの中で
もアルゴンが最も便利である。窒素は、窒化を起すこと
があるので、避けるべきである。現在の汚染除去の条件
下では酸素を完全に排除することが困難であるので、添
加剤を使用することによって達成される還元状態で作業
するのが好ましい。例えば、純アルゴンのジェットを極
少量の水素(容積で4%未満)またはエタノール、低分
子量の糖若しくはポリアルコールのような炭化水素化合
物を含むアルゴンで置換えることができる。これらの状
況で、表面が再炭化する危険は、例えば、次のように、
現場で発生する一酸化炭素の存在によって減少する: CH3 −CH2 −OH→CO+CH4 +H2
It is therefore very advantageous to carry out the stripping according to the invention in an inert gas, of which argon is the most convenient. Nitrogen should be avoided because it can cause nitridation. It is preferable to work in the reduced state achieved by using additives, since it is difficult to completely eliminate oxygen under current decontamination conditions. For example, a jet of pure argon can be replaced with very little hydrogen (less than 4% by volume) or argon containing ethanol, low molecular weight sugars or hydrocarbon compounds such as polyalcohols. In these situations, the danger of recarbonization of the surface is, for example, as follows:
Decreased by the presence of carbon monoxide generated in situ: CH 3 —CH 2 —OH → CO + CH 4 + H 2

【0046】そのような添加剤を使用することで、レー
ザビームによる照射後にきれいな研磨面を作ることがで
きる。小さく、非常に有効なフィルタに閉込めた希薄な
エーロゾルは、色が薄茶から非常に深い黒まで変る。
By using such an additive, a clean polished surface can be formed after irradiation with a laser beam. A dilute aerosol trapped in a small, very effective filter changes color from light brown to very deep black.

【0047】作業者に危険を与えない弗化物添加剤、例
えば六弗化硫黄またはフレオンを使うことによっても、
興味ある結果が得られている。酸素を弗素のようなより
強力な酸化体で置換えることにより、揮発性金属化合物
もプラズマ内にできるかも知れない。SF6 が存在する
と、剥離が動力学的により迅速であることが分った。
The use of non-hazardous fluoride additives, such as sulfur hexafluoride or Freon,
Interesting results have been obtained. By replacing oxygen with a stronger oxidant such as fluorine, volatile metal compounds may also be created in the plasma. When SF 6 is present, peeling was found to be faster by kinetic.

【0048】これらの有利な条件は、おびただしい数の
潜在的汚染物質、例えばアクチニドに適用できるべきで
ある。
These advantageous conditions should be applicable to numerous potential contaminants, such as actinides.

【0049】汚染除去装置 図3は、汚染除去装置を示す。参照番号20は、汚染除
去すべき密封式容器で;この容器は、任意の形式のボイ
ラー、管状板付き蒸気発生ユニット、等でもよい。
The decontamination apparatus Figure 3 shows a decontamination apparatus. Reference numeral 20 is a sealed container to be decontaminated; this container may be any type of boiler, a steam generating unit with a tubular plate, and the like.

【0050】この装置は、250Hzラムダフィジーク
・エクシプレックス(LambdaPhysik Ex
ciplex)(XeCl)400mJレーザ21を含
む。レーザ21は、光ビーム22を汚染除去すべき容器
の内面に向けるために使用する垂直レーザビーム案内ア
ーム23にこのビームを送る。この装置は、更に、この
レーザビームの運動を制御するためのユニット24およ
びガス制御ワゴン25を含む。
This device is a 250 Hz LambdaPhysik Exiplex.
chip (XeCl) 400 mJ laser 21. The laser 21 directs the light beam 22 to a vertical laser beam guide arm 23 which is used to direct the light beam 22 to the interior surface of the container to be decontaminated. The device further comprises a unit 24 for controlling the movement of the laser beam and a gas control wagon 25.

【0051】図4は、案内アーム23の詳細を示す。こ
のアームは、非常に汚染された領域で作動すべきで、信
頼性が高く、即ち、単純且つ頑丈でなければならない。
これは、この容器の全内面(4πsr)を走査するため
に二つの回転軸しか使わないことを決めたからである。
FIG. 4 shows details of the guide arm 23. This arm should operate in highly contaminated areas and must be reliable, ie simple and robust.
This is because we have decided to use only two axes of rotation to scan the entire inner surface (4πsr) of this container.

【0052】レーザビーム22は、水平にこの装置の上
端に達し、そこで半透明鏡30がそれを案内アーム23
の内部を垂直に方向付け鏡31および32へ送る。鏡3
1および32は、それぞれ二つの同軸管41および51
によって回転されてもよい。
The laser beam 22 reaches the upper end of the device horizontally, where the translucent mirror 30 directs it to the guide arm 23.
Is directed vertically to mirrors 31 and 32. Mirror 3
1 and 32 are two coaxial tubes 41 and 51, respectively.
May be rotated.

【0053】内管41は、垂直部を含み、その上端は容
器20の外側にある。この端のリムは、歯車42であ
り、それがモータ44によって駆動される歯車43と協
働して歯車系を作る。この管の垂直部の下端は、容器2
0内にあり、垂直方向から45°に傾斜した鏡31を担
持する。この管の下端は、小さい部分45によって水平
に伸びている。この小さい部分45は、小さい90°の
エルボ管55を担持し、それは部分45に関して自由に
回転する。小さい管55は、鏡32を担持し、それは垂
直方向から45°に傾斜し、鏡31に向いて配置されて
いる。
The inner tube 41 includes a vertical portion, the upper end of which is outside the container 20. The rim at this end is a gear 42, which cooperates with a gear 43 driven by a motor 44 to create a gear system. The lower end of the vertical part of this tube is
It carries a mirror 31 which lies within 0 and is inclined at 45 ° from the vertical. The lower end of this tube extends horizontally with a small portion 45. This small part 45 carries a small 90 ° elbow 55, which is free to rotate with respect to the part 45. The small tube 55 carries a mirror 32, which is inclined at 45 ° from the vertical and is arranged facing the mirror 31.

【0054】外管51の上端のリムは、歯車52であ
り、それがモータ54によって駆動される歯車53と係
合して、歯車系を作る。管51の下端も歯車56である
縁を有し、それが管55と一体である歯車57と整合的
に作用する。
The rim at the upper end of the outer tube 51 is a gear 52, which engages a gear 53 driven by a motor 54 to create a gear system. The lower end of the tube 51 also has a rim which is a gear 56, which acts in coordination with a gear 57 which is integral with the tube 55.

【0055】それで、モータ44および54は、容器2
0の外側に配置されている。案内アーム23は、予め装
置60によって突刺された、容器20のドームに支えら
れている。装置60は、Oリング61が取付けられてい
て、それがこの容器20のドームの密封シールとなる。
グランド62も設けられていて、外管51を自由に回転
できるようにする。管41と51の間に配置されたグラ
ンド58は、上記管が互いに自由に回転することを保証
する。
Therefore, the motors 44 and 54
0. The guide arm 23 is supported by a dome of the container 20 pierced by the device 60 in advance. The device 60 has an O-ring 61 mounted thereon, which provides a hermetic seal for the dome of the container 20.
A gland 62 is also provided to allow the outer tube 51 to rotate freely. A gland 58 arranged between the tubes 41 and 51 ensures that the tubes rotate freely with respect to each other.

【0056】レーザ21が発するレーザビーム22は、
案内アーム23の内部の半透明鏡30によって鏡31の
方向に反射され、それを鏡31が鏡32の方へ反射し、
そこでこのビームが再び反射されて集束レンズ70の方
へ向う。
The laser beam 22 emitted from the laser 21 is
The light is reflected in the direction of the mirror 31 by the translucent mirror 30 inside the guide arm 23, and the mirror 31 reflects the light toward the mirror 32,
This beam is then reflected back to the focusing lens 70.

【0057】プラズマ放射は騒音を発するので、酸化物
層の除去を監視するために、容器のドーム上にマイクロ
フォンを配置するのが有利である。
Since the plasma radiation is noisy, it is advantageous to place a microphone on the dome of the container to monitor the removal of the oxide layer.

【0058】鏡30が半透明であるので、ビデオカメラ
75を案内アーム23の上に置いて、レーザビームが容
器の壁に与える衝撃を同じ光路に沿って観察する。処理
面近くで放射されるプラズマからの光も同じ光路に沿っ
て送り、分光光度分析する。従って、この表面からどの
イオンを除去し、プラズマ中に存在するかを決めること
ができる。
Since the mirror 30 is translucent, the video camera 75 is placed on the guide arm 23 to observe the impact of the laser beam on the container wall along the same optical path. Light from the plasma emitted near the processing surface is also sent along the same optical path for spectrophotometric analysis. Therefore, it is possible to determine which ions are removed from this surface and which are present in the plasma.

【0059】制御ユニット24(図3参照)は、ステッ
ピングモータの制御モジュール、種々の電源ユニットお
よびコネクタを含む。これらの制御モジュールとこのプ
ロセスの実施を管理するマイクロコンピュータの間の信
号交換は、RS232Cシリアルリンクを介して行って
もよい。これらのモジュール間の対話は、電磁的外乱を
受け難い、予め取り決めたディジタル通信プロトコール
を使って行う。処理すべき面のレーザビームによる走査
を、この装置の制御コンピュータに予めプログラムされ
た3次元画像と結合してもよい。
The control unit 24 (see FIG. 3) includes a stepping motor control module, various power supply units and connectors. Signal exchange between these control modules and the microcomputer that manages the implementation of this process may take place over an RS232C serial link. Interaction between these modules is performed using a predetermined digital communication protocol that is not easily affected by electromagnetic disturbance. The scanning of the surface to be processed by the laser beam may be combined with a three-dimensional image preprogrammed in the control computer of the device.

【0060】ガス制御ワゴン25は、噴射すべきガス、
例えばアルゴン、の瓶、および上に説明したような添加
剤を含む。このガスをノズルによってレーザ被曝領域に
導く。それは二つの流量調節ポンプも含み、その一つ
は、電磁フィルタおよび高性能フィルタを通す微粉濾過
後に雰囲気ガスを再循環させる。再循環したガスは、レ
ンズ70を吹払うためにも使う。第2のポンプは、放射
能除染の分野で知られた技術を使って容器20を負圧に
保つ。
The gas control wagon 25 controls the gas to be injected,
For example, a bottle of argon, and additives as described above. This gas is guided to the laser exposure area by the nozzle. It also includes two flow control pumps, one of which recirculates atmospheric gas after fine filtration through an electromagnetic filter and a high performance filter. The recirculated gas is also used to blow off the lens 70. The second pump keeps container 20 at a negative pressure using techniques known in the art of radioactive decontamination.

【0061】この装置は、本発明による方法を自動的
に、従って運転員に迷惑を掛けることなく実施するため
に使うことができる。それは、監視および雰囲気ガスの
濾過も行う。
This device can be used to carry out the method according to the invention automatically and thus without disturbing the operator. It also performs monitoring and filtering of atmospheric gases.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のために使用する実験装置の概要図であ
る。
FIG. 1 is a schematic diagram of an experimental apparatus used for the present invention.

【図2】レーザビームによって酸化した銅表面上に作ら
れたプラズマの発光スペクトルを示す。
FIG. 2 shows the emission spectrum of a plasma created on a copper surface oxidized by a laser beam.

【図3】容器の汚染除去をするために本発明の原理を使
用する装置を示す。
FIG. 3 illustrates an apparatus that uses the principles of the present invention to decontaminate containers.

【図4】図3に示す装置の詳細図である。FIG. 4 is a detailed view of the apparatus shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 紫外線レーザビーム 8 金属物体 20 金属物体 21 レーザ 22 紫外線レーザビーム 30 鏡 31 鏡 32 鏡 41 同軸管 51 同軸管 75 観察カメラ 2 Ultraviolet laser beam 8 Metal object 20 Metal object 21 Laser 22 Ultraviolet laser beam 30 Mirror 31 Mirror 32 Mirror 41 Coaxial tube 51 Coaxial tube 75 Observation camera

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 紫外線レーザビーム(2、22)の衝撃
を使う、金属物体(8、20)の表面を清掃または汚染
除去するための方法に於いて、前記金属物体を構成する
材料に依存して、前記紫外線レーザービームが該金属物
体に剥離を起し、該剥離が該金属物体それ自体を構成す
る材料の表面除去を含むように選んだ条件で該紫外線レ
ーザービームを使うことを特徴とする方法。
1. A method for cleaning or decontaminating a surface of a metal object (8, 20) using the impact of an ultraviolet laser beam (2, 22) depending on the material comprising said metal object. Wherein the ultraviolet laser beam causes exfoliation of the metal object, and the ultraviolet laser beam is used under conditions selected such that the exfoliation includes surface removal of a material constituting the metal object itself. Method.
【請求項2】 請求項1による方法に於いて、前記金属
物体の表面に酸化物の層が形成されていて、前記作業条
件は、前記酸化物を蒸発し、およびプラズマを生じ、そ
れが前記金属物体それ自体を構成する材料の表面除去を
するようになっていることを特徴とする方法。
2. The method according to claim 1, wherein an oxide layer is formed on the surface of the metal object, the operating conditions evaporating the oxide and producing a plasma, which A method comprising removing a surface of a material constituting a metal object itself.
【請求項3】 銅物体を清掃または汚染除去するために
請求項2による方法を適用する際に、前記レーザビーム
の出力が2J/cm2 のオーダであることを特徴とする
方法。
3. The method according to claim 2, wherein the power of the laser beam is of the order of 2 J / cm 2 when applying the method according to claim 2 for cleaning or decontaminating copper objects.
【請求項4】 請求項2による方法に於いて、前記作業
条件の中に、前記レーザビームが前記金属物体へ与える
衝撃が該金属物体を構成する材料に対して不活性である
不活性ガスの雰囲気中で起るという事実を含むことを特
徴とする方法。
4. The method according to claim 2, wherein, during the working conditions, the impact of the laser beam on the metal object is an inert gas which is inert with respect to the material comprising the metal object. A method characterized by including the fact that it occurs in an atmosphere.
【請求項5】 請求項4による方法に於いて、前記不活
性ガスがアルゴンであることを特徴とする方法。
5. The method according to claim 4, wherein said inert gas is argon.
【請求項6】 請求項4または請求項5による方法に於
いて、前記作業条件の中に、前記レーザビームが前記金
属物体へ与える衝撃が還元状態または水素若しくは炭化
水素化合物から成るガスの添加の下で起るという事実を
含むことを特徴とする方法。
6. The method according to claim 4, wherein, during the working conditions, the impact of the laser beam on the metal object is in the reduced state or the addition of a gas comprising hydrogen or a hydrocarbon compound. A method characterized by including the fact that it occurs below.
【請求項7】 請求項6による方法に於いて、前記還元
状態を前記不活性ガス雰囲気中に少なくとも一つの適当
な添加剤が存在することによって得ることを特徴とする
方法。
7. The method according to claim 6, wherein said reducing state is obtained by the presence of at least one suitable additive in said inert gas atmosphere.
【請求項8】 請求項7による方法に於いて、前記添加
剤が弗化化合物であり、該化合物が、レーザビームの作
用の下で、金属原子を蒸発し、前記金属物体を強く浸蝕
することを特徴とする方法。
8. The method according to claim 7, wherein said additive is a fluorinated compound, said compound evaporating metal atoms and eroding said metal object under the action of a laser beam. A method characterized by the following.
【請求項9】 ステンレス鋼物体の清掃または汚染除去
に請求項6から請求項8までの何れか1項による方法を
適用する際に、前記レーザビームの出力が2J/cm2
以上のオーダであることを特徴とする方法。
9. The method according to claim 6, wherein the laser beam output is 2 J / cm 2 when applying the method according to claim 6 to cleaning or decontamination of a stainless steel object.
A method characterized by the above order.
【請求項10】 紫外線レーザビームの衝撃を使うこと
によって容器(20)の内面を清掃または汚染除去する
ための装置に於いて、物体を構成する材料に依存して、
該物体に剥離を起し、該剥離が該物体それ自体を構成す
る材料の表面除去を含むように選んだ条件で前記紫外線
レーザビーム(22)を出すレーザ(21)、前記レー
ザビームを前記内面へ伝達しおよび該レーザビーム(2
2)を前記容器(20)の内面の領域に導くための鏡
(30、31、32)を含む手段、並びに前記内面の剥
離から生ずる材料を除去するための手段を含み、前記鏡
(30、31、32)が、制御装置の作用の下で、清掃
または汚染除去すべき全表面を走査するように配置され
ていることを特徴とする装置。
10. An apparatus for cleaning or decontaminating the interior surface of a container (20) by using the impact of an ultraviolet laser beam, depending on the material comprising the object,
A laser (21) that emits the ultraviolet laser beam (22) under conditions selected to cause exfoliation of the object and to include surface removal of the material comprising the object itself; To the laser beam (2
2) means including a mirror (30, 31, 32) for guiding the inner surface area of the container (20), and means for removing material resulting from delamination of the inner surface, wherein the mirror (30, 31, 32) are arranged to scan, under the action of the control device, all surfaces to be cleaned or decontaminated.
【請求項11】 請求項10による装置に於いて、前記
レーザビームを前記内面へ伝達する手段が二つの鏡(3
1、32)および二つの同軸管(41、51)から成
り、前記各同軸管(41、51)が、前記容器を貫通
し、それらの軸上で回転でき、前記鏡(31、32)の
うちの一つを動かすことを特徴とする装置。
11. The apparatus according to claim 10, wherein the means for transmitting the laser beam to the inner surface comprises two mirrors (3).
1, 32) and two coaxial tubes (41, 51), each of said coaxial tubes (41, 51) penetrating said container and being rotatable on their axis, and of said mirror (31, 32). A device characterized by moving one of them.
【請求項12】 請求項10または請求項11による装
置に於いて、前記レーザビーム(22)の衝撃を受ける
前記容器の内面に不活性ガスを噴射するための手段も含
むことを特徴とする装置。
12. Apparatus according to claim 10 or 11, further comprising means for injecting an inert gas onto the inner surface of the container which is impacted by the laser beam (22). .
【請求項13】 請求項10から請求項12までの何れ
か1項による装置に於いて、前記レーザビーム(22)
の衝撃を受ける前記容器の内面に還元添加剤を噴射する
ための手段も含むことを特徴とする装置。
13. An apparatus according to claim 10, wherein said laser beam (22).
A means for injecting a reducing additive onto the inner surface of the container which is subjected to the impact of (i).
【請求項14】 請求項10から請求項13までの何れ
か1項による装置に於いて、清掃または汚染除去した面
の画像を観察カメラ(75)へ伝達するための手段も含
むことを特徴とする装置。
14. The apparatus according to claim 10, further comprising means for transmitting an image of the cleaned or decontaminated surface to an observation camera (75). Equipment to do.
【請求項15】 請求項10から請求項14までの何れ
か1項による装置に於いて、前記レーザビーム(22)
が前記内面(20)に与える衝撃がプラズマを生成する
とき、該プラズマからの光を分光光度分析装置へ伝達す
るための手段を備えることを特徴とする装置。
15. An apparatus according to claim 10, wherein the laser beam (22).
A means for transmitting light from said plasma to a spectrophotometric analyzer when the impact on said inner surface (20) produces a plasma.
【請求項16】 請求項10から請求項15までの何れ
か1項による装置に於いて、前記レーザビーム(22)
が前記内面(20)に与える衝撃がプラズマを生成する
とき、該プラズマの生成を報知するために音響センサを
備えることを特徴とする装置。
16. An apparatus according to claim 10, wherein said laser beam (22).
An acoustic sensor for notifying the generation of plasma when an impact applied to the inner surface (20) generates plasma.
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