JPH1048144A - ガラス基板検査装置 - Google Patents
ガラス基板検査装置Info
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- JPH1048144A JPH1048144A JP21779096A JP21779096A JPH1048144A JP H1048144 A JPH1048144 A JP H1048144A JP 21779096 A JP21779096 A JP 21779096A JP 21779096 A JP21779096 A JP 21779096A JP H1048144 A JPH1048144 A JP H1048144A
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- light
- glass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 切断工程を経たガラス基板上に残存する微小
ガラス屑を高い信頼性で検出することができるガラス基
板検査装置を提供する。 【解決手段】 線状照射光源と光検出器を備え、線状照
射光源からガラス基板に対して低角度で線状照射された
検査光のうちガラス基板上において反射された散乱光を
光検出器で受光し、その信号を画像信号として処理し、
その強度分布から所定量以上の散乱光が生じている箇所
を検出することにより、微小ガラス屑を検出するような
構成とした。
ガラス屑を高い信頼性で検出することができるガラス基
板検査装置を提供する。 【解決手段】 線状照射光源と光検出器を備え、線状照
射光源からガラス基板に対して低角度で線状照射された
検査光のうちガラス基板上において反射された散乱光を
光検出器で受光し、その信号を画像信号として処理し、
その強度分布から所定量以上の散乱光が生じている箇所
を検出することにより、微小ガラス屑を検出するような
構成とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス基板検査装置
に係り、特に切断工程を経たガラス基板上に残存する微
小ガラス屑を検出するためのガラス基板検査装置に関す
る。
に係り、特に切断工程を経たガラス基板上に残存する微
小ガラス屑を検出するためのガラス基板検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、フラットディスプレイとして、モ
ノクロあるいはカラーの液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）が
使用されている。カラーの液晶ディスプレイには、３原
色の制御を行うためにアクティブマトリックス方式およ
び単純マトリックス方式とがあり、いずれの方式におい
てもカラーフィルタが用いられている。そして、液晶デ
ィスプレイは、構成画素部を３原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）と
し、液晶の電気的スイッチングにより３原色の各光の透
過を制御してカラー表示が行われる。
ノクロあるいはカラーの液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）が
使用されている。カラーの液晶ディスプレイには、３原
色の制御を行うためにアクティブマトリックス方式およ
び単純マトリックス方式とがあり、いずれの方式におい
てもカラーフィルタが用いられている。そして、液晶デ
ィスプレイは、構成画素部を３原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）と
し、液晶の電気的スイッチングにより３原色の各光の透
過を制御してカラー表示が行われる。
【０００３】このカラーフィルタは、例えば、透明基板
上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色パターンからなる着色層、各画
素の境界部分に位置するブラックマトリックス、保護層
および透明電極層からなるカラーフィルタ層を備えてい
る。このようなカラーフィルタは、染色基材をガラス基
板上に塗布し、フォトマスクを介して露光・現像して形
成したパターンを染色する染色法、感光性レジスト内に
予め着色顔料を分散させておき、フォトマスクを介して
露光・現像する顔料分散法、印刷インキで各色を印刷す
る印刷法、および、基板上にパターンニングされた透明
電極を使用して電着により各色の着色層を形成する電着
法等により形成することができる。
上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色パターンからなる着色層、各画
素の境界部分に位置するブラックマトリックス、保護層
および透明電極層からなるカラーフィルタ層を備えてい
る。このようなカラーフィルタは、染色基材をガラス基
板上に塗布し、フォトマスクを介して露光・現像して形
成したパターンを染色する染色法、感光性レジスト内に
予め着色顔料を分散させておき、フォトマスクを介して
露光・現像する顔料分散法、印刷インキで各色を印刷す
る印刷法、および、基板上にパターンニングされた透明
電極を使用して電着により各色の着色層を形成する電着
法等により形成することができる。
【０００４】上述のようないずれの方法により製造され
るカラーフィルタも、製造コストの低減の要求から製造
段階での多面付化が進んでいる。そして、多面付で製造
されたカラーフィルタは、各々のカラーフィルタに分割
するために切断工程においてガラス基板の切断が行われ
る。
るカラーフィルタも、製造コストの低減の要求から製造
段階での多面付化が進んでいる。そして、多面付で製造
されたカラーフィルタは、各々のカラーフィルタに分割
するために切断工程においてガラス基板の切断が行われ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ガラス基板の
切断工程ではカレットと呼ばれる微小ガラス屑が発生し
てガラス基板に付着し、このカレットがガラス基板上の
カラーフィルタに付着した場合、かなり微小であっても
モジュール組み立て時に悪影響を及ぼし、液晶ディスプ
レイの画像品質を損なうおそれがある。
切断工程ではカレットと呼ばれる微小ガラス屑が発生し
てガラス基板に付着し、このカレットがガラス基板上の
カラーフィルタに付着した場合、かなり微小であっても
モジュール組み立て時に悪影響を及ぼし、液晶ディスプ
レイの画像品質を損なうおそれがある。
【０００６】このため、ガラス基板の切断工程を経たカ
ラーフィルタは、ガラス基板上のカレットの有無を検出
することが要求されている。
ラーフィルタは、ガラス基板上のカレットの有無を検出
することが要求されている。
【０００７】しかしながら、従来の反射光学系を用いた
検査装置では、上記のようなガラス基板上の微小なカレ
ットの検出が困難であったり、また、微小なカレットの
検出は可能であっても、カラーフィルタの品質に悪影響
を及ぼさないような高さの低い突起までも検出してしま
い、的確なカレット検出が行えないという問題があっ
た。
検査装置では、上記のようなガラス基板上の微小なカレ
ットの検出が困難であったり、また、微小なカレットの
検出は可能であっても、カラーフィルタの品質に悪影響
を及ぼさないような高さの低い突起までも検出してしま
い、的確なカレット検出が行えないという問題があっ
た。
【０００８】本発明は、上述のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、切断工程を経たガラス基板上に残存す
る微小ガラス屑を高い信頼性で検出することができるガ
ラス基板検査装置を提供することを目的とする。
れたものであり、切断工程を経たガラス基板上に残存す
る微小ガラス屑を高い信頼性で検出することができるガ
ラス基板検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明はガラス基板に対して低角度で検査光
を線状照射する線状照射光源、該線状照射光源からガラ
ス基板に照射された検査光のうちガラス基板上において
散乱された散乱光を検出するための光検出器とを備える
ような構成とした。
るために、本発明はガラス基板に対して低角度で検査光
を線状照射する線状照射光源、該線状照射光源からガラ
ス基板に照射された検査光のうちガラス基板上において
散乱された散乱光を検出するための光検出器とを備える
ような構成とした。
【００１０】また、本発明のガラス基板検査装置は、前
記線状照射光源をガラス基板に対して０°〜３０°の範
囲で検査光の線状照射が可能であるような構成とした。
記線状照射光源をガラス基板に対して０°〜３０°の範
囲で検査光の線状照射が可能であるような構成とした。
【００１１】また、本発明のガラス基板検査装置は、前
記線状照射光源として、例えば、レーザ、ハロゲンラン
プ等を用いることができる。
記線状照射光源として、例えば、レーザ、ハロゲンラン
プ等を用いることができる。
【００１２】さらに、本発明のガラス基板検査装置は、
前記光検出器をＣＣＤラインセンサとするような構成と
した。
前記光検出器をＣＣＤラインセンサとするような構成と
した。
【００１３】上記のような本発明において、線状照射光
源から低角度でガラス基板に対して線状照射された検査
光は、ガラス基板上に存在する微小ガラス屑に当たると
散乱を生じ、この散乱光を光検出器により受光し、その
信号を処理することにより微小ガラス屑を検出する。
源から低角度でガラス基板に対して線状照射された検査
光は、ガラス基板上に存在する微小ガラス屑に当たると
散乱を生じ、この散乱光を光検出器により受光し、その
信号を処理することにより微小ガラス屑を検出する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施形態に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１５】図１は本発明のガラス基板検査装置の一例
を説明するための概略構成図である。図１に示されるガ
ラス基板検査装置１は、被検査体であるガラス基板Ｓを
搬送するための搬送部２、この搬送部２上を搬送される
ガラス基板Ｓに対して低角度で検査光を線状照射するた
めの線状照射光源３、ガラス基板Ｓに存在する微小ガラ
ス屑に当たって散乱された散乱光を検出するための光検
出器４、この光検出器４からの画像信号からガラス基板
上の微小ガラス屑の存在位置を表示する検査処理部５、
および、画像表示装置６とを備えている。
を説明するための概略構成図である。図１に示されるガ
ラス基板検査装置１は、被検査体であるガラス基板Ｓを
搬送するための搬送部２、この搬送部２上を搬送される
ガラス基板Ｓに対して低角度で検査光を線状照射するた
めの線状照射光源３、ガラス基板Ｓに存在する微小ガラ
ス屑に当たって散乱された散乱光を検出するための光検
出器４、この光検出器４からの画像信号からガラス基板
上の微小ガラス屑の存在位置を表示する検査処理部５、
および、画像表示装置６とを備えている。
【００１６】搬送部２はガラス基板Ｓを一定の速度で搬
送するためのものであり、図示例のような搬送ベルト２
ａを駆動するための複数の搬送コロ２ｂを備えたコロ搬
送装置の他に、ステージ搬送装置、ロボット搬送装置、
コンベア搬送装置等とすることができ、ガラス基板を使
用した製造ラインを考慮して適宜選択することができ
る。また、ガラス基板Ｓに搬送ムラの影響が及ぶことを
防止するために、搬送部２にエンコーダを取り付け、光
検出器４の入力と同期をとるようにしてもよい。このよ
うな搬送部２によるガラス基板Ｓの搬送速度は、例え
ば、０．５〜１０ｍ／分程度の範囲で設定することがで
きる。
送するためのものであり、図示例のような搬送ベルト２
ａを駆動するための複数の搬送コロ２ｂを備えたコロ搬
送装置の他に、ステージ搬送装置、ロボット搬送装置、
コンベア搬送装置等とすることができ、ガラス基板を使
用した製造ラインを考慮して適宜選択することができ
る。また、ガラス基板Ｓに搬送ムラの影響が及ぶことを
防止するために、搬送部２にエンコーダを取り付け、光
検出器４の入力と同期をとるようにしてもよい。このよ
うな搬送部２によるガラス基板Ｓの搬送速度は、例え
ば、０．５〜１０ｍ／分程度の範囲で設定することがで
きる。
【００１７】線状照射光源３は、ガラス基板Ｓに対して
低角度で検査光を線状照射するためのものであり、ガラ
ス基板Ｓに対する照射角度θ1 は０°〜３０°、好まし
くは１０°〜３０°の範囲で設定することができる。照
射角度θ1 が３０°を超えると、ガラス基板Ｓの表面か
らの散乱光の強度が強くなり、これにより、検出信号の
Ｓ／Ｎ比が悪くなり好ましくない。線状照射光源３は、
レーザ、キセノンランプ、ハロゲンランプ、高周波蛍光
灯、メタルハライドランプ等を使用することができる。
低角度で検査光を線状照射するためのものであり、ガラ
ス基板Ｓに対する照射角度θ1 は０°〜３０°、好まし
くは１０°〜３０°の範囲で設定することができる。照
射角度θ1 が３０°を超えると、ガラス基板Ｓの表面か
らの散乱光の強度が強くなり、これにより、検出信号の
Ｓ／Ｎ比が悪くなり好ましくない。線状照射光源３は、
レーザ、キセノンランプ、ハロゲンランプ、高周波蛍光
灯、メタルハライドランプ等を使用することができる。
【００１８】図２は、このような線状照射光源３とガラ
ス基板Ｓとの位置関係を示す平面図であり、図３は同じ
く斜視図である。この図２および図３に示されるよう
に、線状照射光源３はガラス基板Ｓの幅よりも長い幅を
有するライン状光源であり、通常、ガラス基板Ｓの搬送
方向（矢印Ａ方向）に対して軸方向が直角となるように
配設される。この線状照射光源３には、上記光源から出
射された光を線状の検査光Ｌにするためのスリットが軸
方向に平行に設けられている。このスリットの開口幅
は、使用する光源により適宜設定することができるが、
例えば、３〜１０ｍｍの範囲とすることができる。ま
た、本発明では、アクリル導光板を使用し、ハロゲンラ
ンプ等の光源からアクリル導光板の短辺に光を入射さ
せ、アクリル導光板の長辺から平行光を出射することに
より、線状の検査光Ｌをガラス基板Ｓに照射することも
できる。
ス基板Ｓとの位置関係を示す平面図であり、図３は同じ
く斜視図である。この図２および図３に示されるよう
に、線状照射光源３はガラス基板Ｓの幅よりも長い幅を
有するライン状光源であり、通常、ガラス基板Ｓの搬送
方向（矢印Ａ方向）に対して軸方向が直角となるように
配設される。この線状照射光源３には、上記光源から出
射された光を線状の検査光Ｌにするためのスリットが軸
方向に平行に設けられている。このスリットの開口幅
は、使用する光源により適宜設定することができるが、
例えば、３〜１０ｍｍの範囲とすることができる。ま
た、本発明では、アクリル導光板を使用し、ハロゲンラ
ンプ等の光源からアクリル導光板の短辺に光を入射さ
せ、アクリル導光板の長辺から平行光を出射することに
より、線状の検査光Ｌをガラス基板Ｓに照射することも
できる。
【００１９】光検出器４は、ガラス基板Ｓに照射された
線状の検査光Ｌのうち、ガラス基板Ｓ上に存在する微小
ガラス屑に照射されて散乱を生じた検査光を検出するた
めのものであり、例えば、ＣＣＤラインセンサ、光電子
倍増管、ＣＣＤエリアセンサ等を使用することができ
る。図示例では、この光検出器４はガラス基板Ｓに対す
る角度θ2 がほぼ垂直となるように配設されているが、
本発明では、これに限定されるものではなく、ガラス基
板Ｓに対する角度θ2 が７０°〜１１０°の範囲となる
ように光検出器４を設置することができる。
線状の検査光Ｌのうち、ガラス基板Ｓ上に存在する微小
ガラス屑に照射されて散乱を生じた検査光を検出するた
めのものであり、例えば、ＣＣＤラインセンサ、光電子
倍増管、ＣＣＤエリアセンサ等を使用することができ
る。図示例では、この光検出器４はガラス基板Ｓに対す
る角度θ2 がほぼ垂直となるように配設されているが、
本発明では、これに限定されるものではなく、ガラス基
板Ｓに対する角度θ2 が７０°〜１１０°の範囲となる
ように光検出器４を設置することができる。
【００２０】検査処理部５は、光検出器４からの画像信
号を電気的に処理して、散乱光の強度分布から微小ガラ
ス屑のある箇所を所定量以上の散乱光が生じている箇所
として検出するものである。この検査処理部５として
は、微分処理、コンボリュージョン、統計処理等のモジ
ュールを備えた公知の装置を使用することができる。
号を電気的に処理して、散乱光の強度分布から微小ガラ
ス屑のある箇所を所定量以上の散乱光が生じている箇所
として検出するものである。この検査処理部５として
は、微分処理、コンボリュージョン、統計処理等のモジ
ュールを備えた公知の装置を使用することができる。
【００２１】このような本発明のガラス基板検査装置１
では、図１の矢印Ａ方向に搬送されているガラス基板Ｓ
に対して線状照射光源３から低角度θ1 で線状照射され
た検査光Ｌが、ガラス基板Ｓ上に存在する微小ガラス屑
に当たると散乱を生じ、この散乱光が光検出器４で検出
されてガラス基板Ｓ上の微小ガラス屑が検出されるとと
もに、例えば、カラーフィルタが形成されたガラス基板
では、カラーフィルタの品質に悪影響を及ぼさないよう
な突起の検出が極めて少なく、ガラス基板上に存在する
欠陥としての微小ガラス屑を高い信頼性で検出すること
ができる。そして、光検査器４からの画像信号を検査処
理部５で電気的に処理して散乱光の強度分布を求め、所
定量以上の散乱光が生じている箇所を微小ガラス屑のあ
る箇所として検出する。検出された微小ガラス屑の存在
位置は、検査処理部５に接続された画像表示装置６によ
って表示することができる。
では、図１の矢印Ａ方向に搬送されているガラス基板Ｓ
に対して線状照射光源３から低角度θ1 で線状照射され
た検査光Ｌが、ガラス基板Ｓ上に存在する微小ガラス屑
に当たると散乱を生じ、この散乱光が光検出器４で検出
されてガラス基板Ｓ上の微小ガラス屑が検出されるとと
もに、例えば、カラーフィルタが形成されたガラス基板
では、カラーフィルタの品質に悪影響を及ぼさないよう
な突起の検出が極めて少なく、ガラス基板上に存在する
欠陥としての微小ガラス屑を高い信頼性で検出すること
ができる。そして、光検査器４からの画像信号を検査処
理部５で電気的に処理して散乱光の強度分布を求め、所
定量以上の散乱光が生じている箇所を微小ガラス屑のあ
る箇所として検出する。検出された微小ガラス屑の存在
位置は、検査処理部５に接続された画像表示装置６によ
って表示することができる。
【００２２】尚、上述のガラス基板検査装置１では、ガ
ラス基板Ｓを搬送部２によって搬送しながら、搬送され
るガラス基板Ｓに対して線状照射光源３から低角度で検
査光を線状照射し、反射された散乱光を光検出器４にて
検出するものであるが、本発明のガラス基板検査装置は
これに限定されるものではない。例えば、ガラス基板Ｓ
を固定載置し、線状照射光源３および光検出器４を所定
の位置関係を維持した状態で一体としてガラス基板Ｓに
対し移動可能とし、移動する線状照射光源３からガラス
基板Ｓに対して低角度で検査光を線状照射し、反射され
た散乱光を光検出器４にて検出するものであってもよ
い。
ラス基板Ｓを搬送部２によって搬送しながら、搬送され
るガラス基板Ｓに対して線状照射光源３から低角度で検
査光を線状照射し、反射された散乱光を光検出器４にて
検出するものであるが、本発明のガラス基板検査装置は
これに限定されるものではない。例えば、ガラス基板Ｓ
を固定載置し、線状照射光源３および光検出器４を所定
の位置関係を維持した状態で一体としてガラス基板Ｓに
対し移動可能とし、移動する線状照射光源３からガラス
基板Ｓに対して低角度で検査光を線状照射し、反射され
た散乱光を光検出器４にて検出するものであってもよ
い。
【００２３】
【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
明する。
【００２４】まず、コーニング（株）製７０５９ガラス
（厚み０．７ｍｍ）からなるガラス基板上に顔料分散法
によりＲ，Ｇ，Ｂの各着色パターンからなる着色層、各
画素の境界部分にブラックマトリックスを形成し、カラ
ーフィルタが４面付けされたガラス基板を作製した。
（厚み０．７ｍｍ）からなるガラス基板上に顔料分散法
によりＲ，Ｇ，Ｂの各着色パターンからなる着色層、各
画素の境界部分にブラックマトリックスを形成し、カラ
ーフィルタが４面付けされたガラス基板を作製した。
【００２５】次に、このガラス基板の切断予定箇所にブ
レードカッターを用いて切り込みを形成し、その後、こ
の切り込み形成箇所でガラス基板を折り曲げて切断する
ことにより４分割とし、カラーフィルタが形成された個
々のガラス基板を得た。尚、このガラス基板上には、平
均粒径１０μｍのガラス屑（カレット大）、平均粒径５
μｍのガラス屑（カレット中）、平均粒径２μｍのガラ
ス屑（カレット小）が存在することを実体顕微鏡により
予め観察して確認した。また、ガラス基板には、カラー
フィルタの品質に悪影響を及ぼさないような突起を、感
光性材料を塗布した直後に微小異物を付着させることに
より形成した。
レードカッターを用いて切り込みを形成し、その後、こ
の切り込み形成箇所でガラス基板を折り曲げて切断する
ことにより４分割とし、カラーフィルタが形成された個
々のガラス基板を得た。尚、このガラス基板上には、平
均粒径１０μｍのガラス屑（カレット大）、平均粒径５
μｍのガラス屑（カレット中）、平均粒径２μｍのガラ
ス屑（カレット小）が存在することを実体顕微鏡により
予め観察して確認した。また、ガラス基板には、カラー
フィルタの品質に悪影響を及ぼさないような突起を、感
光性材料を塗布した直後に微小異物を付着させることに
より形成した。
【００２６】このガラス基板を、図１に示されるような
本発明のガラス基板検査装置の搬送部によってカラーフ
ィルタ層を上にした状態で搬送し、下記の条件でガラス
基板の検査を行い、その結果を下記の表１に示した。
本発明のガラス基板検査装置の搬送部によってカラーフ
ィルタ層を上にした状態で搬送し、下記の条件でガラス
基板の検査を行い、その結果を下記の表１に示した。
【００２７】 検査条件 ・線状照射光源：ハロゲンライン状照明（スリット開口幅８ｍｍ） （日本ピーアイ（株）製ＰＤＬ−Ｔ−７５０ＵＤ） ・光検出器 ：ＣＣＤラインセンサ （ＮＥＤ（株）製ＦＴＨ２０４８Ｂ） ・ガラス基板搬送速度 ：２．４ｍ／分 ・検査光照射角度θ1 ：０°、１０°、２０°、３０°、４０°の５種 ・光検出器設置角度θ2 ：９０° 一方、従来の検査装置として、光源に開口部が広い高周
波蛍光灯を用い、ガラス基板からの角度を６０°とした
他は、上記と同様の装置を用いて下記の条件でガラス基
板の検査を行い、その結果を下記の表１に示した。
波蛍光灯を用い、ガラス基板からの角度を６０°とした
他は、上記と同様の装置を用いて下記の条件でガラス基
板の検査を行い、その結果を下記の表１に示した。
【００２８】 検査条件 ・照射光源 ：高周波蛍光灯（スリット開口幅５０ｍｍ） （京都電機器（株）製ＬＳＴ−３０） ・光検出器 ：ＣＣＤラインセンサ （ＮＥＤ（株）製ＦＴＨ２０４８Ｂ） ・ガラス基板搬送速度 ：２．４ｍ／分 ・検査光照射角度θ1 ：６０° ・光検出器設置角度θ2 ：６０°
【００２９】
【表１】 表１から明らかなように、本発明のガラス基板検査装置
では、検査光照射角度θ1 が０°〜３０°の範囲でガラ
ス基板上に存在する微小ガラス屑（カレット大、中、
小）を高いＳ／Ｎ比で確実に検出することでき、また、
カラーフィルタの品質に悪影響を及ぼさないような突起
は検出しないものであった。ただし、検査光照射角度θ
1 が４０°の場合は、カレット小の検出が不可能であ
り、ガラス基板に対する検査光照射角度θ1 は０°〜３
０°の範囲が最も好ましいことが確認された。
では、検査光照射角度θ1 が０°〜３０°の範囲でガラ
ス基板上に存在する微小ガラス屑（カレット大、中、
小）を高いＳ／Ｎ比で確実に検出することでき、また、
カラーフィルタの品質に悪影響を及ぼさないような突起
は検出しないものであった。ただし、検査光照射角度θ
1 が４０°の場合は、カレット小の検出が不可能であ
り、ガラス基板に対する検査光照射角度θ1 は０°〜３
０°の範囲が最も好ましいことが確認された。
【００３０】これに対して、従来の検査装置では、照射
面が広範囲にわたっているため、背景部からの乱反射光
が強くなり、微小ガラス屑からの反射光を感度よく検出
することができず、カレット中およびカレット小の検出
が不可能であった。
面が広範囲にわたっているため、背景部からの乱反射光
が強くなり、微小ガラス屑からの反射光を感度よく検出
することができず、カレット中およびカレット小の検出
が不可能であった。
【００３１】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば線
状照射光源と光検出器を備え、線状照射光源からガラス
基板に対して低角度で線状照射された検査光は、ガラス
基板上に存在する微小ガラス屑に当たると散乱を生じ、
この散乱光が光検出器で検出されてガラス基板上の微小
ガラス屑が検出され、なおかつ、カラーフィルタの品質
に悪影響を及ぼさないような突起の検出が極めて少な
く、ガラス基板上に残存する微小ガラス屑を高い信頼性
で検出することができる。
状照射光源と光検出器を備え、線状照射光源からガラス
基板に対して低角度で線状照射された検査光は、ガラス
基板上に存在する微小ガラス屑に当たると散乱を生じ、
この散乱光が光検出器で検出されてガラス基板上の微小
ガラス屑が検出され、なおかつ、カラーフィルタの品質
に悪影響を及ぼさないような突起の検出が極めて少な
く、ガラス基板上に残存する微小ガラス屑を高い信頼性
で検出することができる。
【図１】本発明のガラス基板検査装置の一例を説明する
ための概略構成図である。
ための概略構成図である。
【図２】図１に示されるガラス基板検査装置の線状照射
光源とガラス基板との位置関係を示す平面図である。
光源とガラス基板との位置関係を示す平面図である。
【図３】図１に示されるガラス基板検査装置の線状照射
光源とガラス基板との位置関係を示す斜視図である。
光源とガラス基板との位置関係を示す斜視図である。
【符号の説明】 １…ガラス基板検査装置 ２…搬送部 ３…線状照射光源 ４…光検出器 ５…検査処理部 ６…画像表示装置 Ｓ…ガラス基板
Claims (4)
- 【請求項１】 ガラス基板に対して低角度で検査光を線
状照射する線状照射光源、該線状照射光源からガラス基
板に照射された検査光のうちガラス基板上において散乱
された散乱光を検出するための光検出器とを備えること
を特徴とするガラス基板検査装置。 - 【請求項２】 前記線状照射光源は、ガラス基板に対し
て０°〜３０°の範囲で検査光を線状照射可能であるこ
とを特徴とする請求項１に記載のガラス基板検査装置。 - 【請求項３】 前記線状照射光源は、レーザおよびハロ
ゲンランプのいずれかであることを特徴とする請求項１
または請求項２に記載のガラス基板検査装置。 - 【請求項４】 前記光検出器は、ＣＣＤラインセンサで
あることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか
に記載のガラス基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21779096A JPH1048144A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ガラス基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21779096A JPH1048144A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ガラス基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048144A true JPH1048144A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16709774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21779096A Pending JPH1048144A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ガラス基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048144A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001201462A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 透明材料または透明材料で包まれた物体の検査装置及び検査方法 |
| JP2001311693A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Nitto Kogyo Co Ltd | 検査装置 |
| JP2005201887A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-28 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | ガラス基板の検査方法及び検査装置、並びに表示用パネルの製造方法 |
| JP2006194755A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| JP2006300663A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Asahi Glass Co Ltd | 欠点検出システム |
| KR100713638B1 (ko) * | 2000-03-16 | 2007-05-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 글래스 기판 이송장치 및 방법 |
| CN100356137C (zh) * | 2004-10-20 | 2007-12-19 | 力特光电科技股份有限公司 | 在线自动测量光学薄板翘曲的方法以及装置 |
| JP2008203280A (ja) * | 2001-09-21 | 2008-09-04 | Olympus Corp | 欠陥検査装置 |
| KR100876257B1 (ko) * | 2002-07-08 | 2008-12-26 | 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤 | 광학적 측정 방법 및 그 장치 |
| JP2009036715A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
| JP2010127738A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ表面検査機 |
| WO2017169242A1 (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | セーレン株式会社 | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 |
| CN110455828A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-11-15 | 蚌埠中光电科技有限公司 | 一种大尺寸tft基板玻璃无损微波纹度检测方法 |
| WO2019239502A1 (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | 株式会社エフケー光学研究所 | 異物検査装置及び異物検査方法 |
-
1996
- 1996-07-31 JP JP21779096A patent/JPH1048144A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001201462A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 透明材料または透明材料で包まれた物体の検査装置及び検査方法 |
| KR100713638B1 (ko) * | 2000-03-16 | 2007-05-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 글래스 기판 이송장치 및 방법 |
| JP2001311693A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Nitto Kogyo Co Ltd | 検査装置 |
| JP2008203280A (ja) * | 2001-09-21 | 2008-09-04 | Olympus Corp | 欠陥検査装置 |
| KR100876257B1 (ko) * | 2002-07-08 | 2008-12-26 | 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤 | 광학적 측정 방법 및 그 장치 |
| JP4662424B2 (ja) * | 2003-12-16 | 2011-03-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ガラス基板の検査方法及び検査装置、並びに表示用パネルの製造方法 |
| JP2005201887A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-28 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | ガラス基板の検査方法及び検査装置、並びに表示用パネルの製造方法 |
| CN100356137C (zh) * | 2004-10-20 | 2007-12-19 | 力特光电科技股份有限公司 | 在线自动测量光学薄板翘曲的方法以及装置 |
| JP2006194755A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| JP2006300663A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Asahi Glass Co Ltd | 欠点検出システム |
| JP2009036715A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
| JP2010127738A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ表面検査機 |
| WO2017169242A1 (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | セーレン株式会社 | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 |
| JPWO2017169242A1 (ja) * | 2016-03-28 | 2019-02-14 | セーレン株式会社 | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 |
| WO2019239502A1 (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | 株式会社エフケー光学研究所 | 異物検査装置及び異物検査方法 |
| CN112262313A (zh) * | 2018-06-12 | 2021-01-22 | Fk光学研究所股份有限公司 | 异物检查装置及异物检查方法 |
| JPWO2019239502A1 (ja) * | 2018-06-12 | 2021-03-11 | 株式会社 エフケー光学研究所 | 異物検査装置及び異物検査方法 |
| TWI734992B (zh) * | 2018-06-12 | 2021-08-01 | 日商Ｆｋ光學研究所股份有限公司 | 異物檢查裝置及異物檢查方法 |
| CN110455828A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-11-15 | 蚌埠中光电科技有限公司 | 一种大尺寸tft基板玻璃无损微波纹度检测方法 |
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