JPH10308429A - 無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システム
において、移載作業の確実化と作業時間の短縮化とを図
る。 【構成】半導体ウエハを収容するキャリア（２）の所定
の箇所に移載位置補正用マーク（ｍ）が付され、キャリ
ア（２）をウエハ処理装置（１）から無軌道移動ロボッ
ト（１０）に移載する際は、キャリア（２）に付された
移載位置補正用マーク（ｍ）がアーム（１２）の先端部
に取付けられたカメラ（１４）で読取られ、上記移載時
の位置の補正が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造プロセ
スにおいて各ウエハ処理装置間でキャリアを搬送する無
軌道移動ロボットを用いた自動搬送システムに関するも
ので、特にウエハ処理装置にキャリアを降ろす際の作業
時間の短縮と作業の確実化とを図った自動搬送システム
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造プロセスでは、処理対
象の半導体ウエハを収容するキャリアを各ウエハ処理装
置間で搬送する無軌道移動ロボットを用いる自動搬送シ
ステムが利用されている。このような自動搬送システム
では、無軌道走行する移動ロボットの位置決め精度が十
分ではないため、キャリアの移載を行なおうとするウエ
ハ処理装置の前で停止したのち移載を開始する前に、現
在位置を所定の移載位置に合致するように補正する作業
が必要になる。

【０００３】従来、このような移載位置の補正作業は、
ウエハ処理装置上の所定の箇所に付された移載位置補正
用マークを、無軌道移載ロボットのアームの先端部に取
付けたカメラで読取って所定の移載位置とのズレ量を検
出し、このズレ量がゼロになるように現在位置を補正す
ることにより行われる。

【０００４】上記移載位置の補正を伴う移載作業を、ウ
エハ処理装置側から移動ロボット側にキャリアを移載す
る場合を例に取って更に具体的に説明すると、図３に示
すように、（Ａ）移動ロボットの台車１１がウエハ処理
装置１の前の待機位置に停止し、（Ｂ）移動ロボットの
アーム１２の先端のチャック１３に設置したカメラ１４
でウエハ処理装置１上の所定の箇所に付された移載位置
補正マークＭを読取りこの読取りの結果から台車１１の
所定の移載位置までのずれ量を認識し、（Ｃ）台車１１
の移載位置までのずれ量だけ現在位置を補正したのちウ
エハ処理装置１上の所定の箇所に載置されているキャリ
ア２をチャック１３で掬い、（Ｄ）台車１１上の所定の
位置にキャリア２を降ろし、（Ｅ）元の待機位置に復帰
する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の無軌道移動
ロボットを用いた自動搬送システムでは、ウエハ処理装
置上の移載位置補正用マークを無軌道移動ロボットに取
付けたカメラで認識したのち、このウエハ処理装置上の
キャリアの掬い動作を開始している。このため、ウエハ
処理装置上のキャリアの載置位置がずれていると、キャ
リアの掬い作業が不良になるという問題がある。また、
カメラで移載位置補正用マークの識別し移載位置の補正
してから移載作業を開始しているため、移載作業に時間
がかかるという問題もある。

【０００６】従って、本発明の目的は、この種の無軌道
移動ロボットを用いた自動搬送システムにおいて、移載
作業の確実化と作業時間の短縮化とを図ることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記従来技術の課題を解
決する本発明の無軌道移動ロボットを用いた自動搬送シ
ステムによれば、キャリアの所定の箇所に移載位置補正
用マークが付され、このキャリアをウエハ処理装置側か
ら無軌道移動ロボット側に移載する際は、このキャリア
に付された移載位置補正用マークがカメラで読取られ、
所定の移載位置の確認と補正とが行われる。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の好適な実施の形態によれ
ば、ウエハ処理装置の所定の箇所に移載位置補正用マー
クが付され、キャリアを無軌道移動ロボットからウエハ
処理装置に移載する際は、ウエハ処理装置上に付された
移載位置補正用マークがカメラで読取られ移載位置の確
認と補正とが行われる。本発明の更に好適な実施の形態
によれば、上記カメラはアーム先端のチャックに取付け
られている。以下、本発明を実施例と共に更に詳細に説
明する。

【０００９】

【実施例】図１の（Ａ）から（Ｅ）までは、本発明の一
実施例の無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システム
において、キャリアをウエハ処理装置側から掬って無軌
道移動ロボット側に移載する際の作業手順を示してい
る。

【００１０】始めに、図１の（Ａ）を参照すれば、ウエ
ハ処理装置１上の所定の箇所には処理済みのウエハを収
容したキャリア２が載置されており、このキャリア２の
所定の箇所に、移載位置補正用マークｍが付されてい
る。無軌道移動ロボット１０は、台車１１と、この台車
１１から鉛直方向と水平方向のそれぞれに延長されるア
ーム１２と、このアーム１２の先端部に取付けられたチ
ャック１３と、このチャック１３に取付けられたカメラ
１４とを備えている。

【００１１】まず、図１の（Ａ）に示すように、無軌道
移動ロボット１０の台車１１がウエハ処理装置１の前方
の待機位置に停止する。続いて、（Ｂ）に示すように、
アーム１２の先端のチャック１３に取付けられたカメラ
１４で、ウエハ処理装置１上に載置されたキャリア２の
所定の箇所に付された移載位置補正用マークｍが読取ら
れ、この読取り結果から所定の移載位置までのずれ量が
認識される。

【００１２】続いて、（Ｃ）に示すように、移動ロボッ
トの所定の移載位置までのずれ量だけ現在位置が補正さ
れる。上記ズレ量の認識とズレ量の補正は、台車の位置
１１を固定した状態でアーム１２を伸縮させてズレ量を
認識し、次に台車１１を移動させるという具合に、認識
の段階と補正の段階とを分離して行ってよいが、アーム
１２の長さを固定した状態で、マークｍをカメラの視野
内の所定の箇所に捉えるように台車１１を移動させなが
ら行うこともできる。

【００１３】上述のようにして、所定の移載位置への位
置決めが終了すると、ウエハ処理装置１上の所定の箇所
に載置されているキャリア２がチャック１３で掬われ
る。最後に、（Ｄ）に示すように、ウエハ処理装置１か
ら掬われたキャリア２が台車１１上の所定の位置に降ろ
されたのち、（Ｅ）に示すように、元の待機位置に復帰
する。

【００１４】図２の（Ａ）から（Ｅ）までは、上記実施
例の無軌道移動ロボット１０を用いた自動搬送システム
において、キャリア２を無軌道移動ロボット１０側から
掬ってウエハ処理装置１側に移載する際の作業手順を示
している。

【００１５】まず、図２の（Ａ）に示すように、無軌道
移動ロボット１０の台車１１がウエハ処理装置１の前方
の待機位置に停止する。続いて、（Ｂ）に示すように、
アーム１２の先端のチャック１３に設置したカメラ１４
によって、ウエハ処理装置１上の所定の箇所に付された
移載位置補正用マークＭが読取られ、この読取り結果か
ら所定の移載位置までのずれ量が認識される。

【００１６】続いて、（Ｃ）に示すように、移動ロボッ
トの移載位置のずれ量だけ現在位置が修正されたのち、
台車１１上の所定の箇所に載置されている処理対象のウ
エハを収容しているキャリア２がチャック１３で掬われ
る。次に、（Ｄ）に示すように、台車１１から掬われた
キャリア２がウエハ処理装置１上の所定の位置に降ろさ
れたのち、（Ｅ）に示すように、元の待機位置に復帰す
る。

【００１７】以上、説明の便宜上、図１の実施例におい
て、チャック１３で挟持しようとするキャリア２の中央
部分に移載位置補正用マークｍを付加する構成を例示し
た。この例では、カメラ１４でマークｍを確認し移載位
置を補正したのち、アーム１２を水平方向に伸縮させて
チャック１３でキャリア２を挟持する必要があり、作業
時間が長引く。これに対して、チャック１３によるキャ
リア２の挟持箇所と、カメラ１４で確認するマークｍの
付加箇所を適当にずらしておくことにより、移載位置の
補正が終了した段階で、アーム１２の水平方向への伸縮
を更に行うことなく、直ちにチャック１３によるキャリ
アの挟持が可能になり、作業時間が短縮される。

【００１８】また、カメラ１４をアーム１２の先端部の
チャック１３に取付ける構成を例示した。しかしなが
ら、上記チャックによる挟持作業とカメラによる確認作
業とが干渉を避けるうえで、チャック１３がキャリア２
を保持した状態でもカメラ１４の視野が遮られないよう
に、チャック１３を避けたアーム１２の先端にカメラ１
４を直接取付ける構成を採用することもできる。

【００１９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、キャリアの所定の箇所に移載位置補正用マークが
付され、このキャリアをウエハ処理装置側からロボット
側に移載する際は、このキャリアに付された移載位置補
正用マークがカメラで読取られ移載位置の確認と補正と
が行われる構成であるから、キャリアのウエハ処理装置
上への載置位置がずれた場合でも移載作業が確実になる
という効果が奏される。

【００２０】また、キャリアをウエハ処理装置側から移
動ロボット側に移載する場合には、チャックによるキャ
リアの挟持箇所と、カメラで確認する移載位置補正用マ
ークの付加箇所を適当にずらしておく構成を採用するこ
とにより、移載位置の補正が終了した段階でアームの水
平方向への伸縮を更に行うことなく、直ちにチャックに
よるキャリアの挟持が可能になる。この場合、移載位置
補正用マークをウエハ処理装置に付しておく従来システ
ムに比べて移載の作業時間が短縮されるという利点もあ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の無軌道移動ロボットを用い
た自動搬送システムにおいて、処理済みのウエハを収容
しているキャリアをウエハ処理装置側から掬って無軌道
移動ロボット側に移載する際の作業手順を示す図であ
る。

【図２】上記実施例の自動搬送システムにおいて、処理
対象のウエハを収容しているキャリアを無軌道移動ロボ
ット側から掬ってウエハ処理装置側に移載する際の作業
手順を示す図である。

【図３】従来の無軌道移動ロボットを用いた自動搬送シ
ステムにおいて、処理済みのウエハを収容しているキャ
リアをウエハ処理装置側から掬って無軌道移動ロボット
側に移載する際の作業手順を示す図である。

【符号の説明】

１ ウエハ処理装置 ２ ウエハを収容したキャリア １０ 無軌道移動ロボット １１ 台車 １２ アーム １３ チャック １４ カメラ ｍ キャリアの所定箇所に付された移載位置補正用マ
ーク Ｍ ウエハ処理装置の所定箇所に付された移載位置補
正用マーク

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】無軌道移動ロボットのアームの先端部にチ
   ャックとカメラを取付けておき、このカメラで移載位置
   補正用マークを読取って移載時の位置を補正したのち、
   半導体ウエハを収容するキャリアを前記チャックで保持
   し開放することにより、ウエハ処理装置との間の前記キ
   ャリアの移載を行う自動搬送システムにおいて、 前記キャリアの所定の箇所に前記移載位置補正用マーク
   を付しておき、 前記キャリアを前記ウエハ処理装置から前記無軌道移動
   ロボットに移載する際は、前記キャリアに付された前記
   移載位置補正用マークを前記カメラで読取って前記移載
   時の位置を補正することを特徴とする無軌道移動ロボッ
   トを用いた自動搬送システム。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記ウエハ処理装置の所定の箇所に移載位置補正用マー
   クを付しておき、 前記キャリアを前記無軌道移動ロボットから前記ウエハ
   処理装置に移載する際は、前記ウエハ処理装置上に付さ
   れた前記移載位置補正用マークを前記カメラで読取って
   前記移載時の位置を補正することを特徴とする無軌道移
   動ロボットを用いた自動搬送システム。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において、 前記カメラは前記チャックによるうキャリアの保持作業
   と干渉しない前記アームの先端部に取付けられたことを
   特徴とする無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システ
   ム。