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JPH1027499A - 区分化された電気的に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装置 - Google Patents

区分化された電気的に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装置

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JPH1027499A
JPH1027499A JP6617297A JP6617297A JPH1027499A JP H1027499 A JPH1027499 A JP H1027499A JP 6617297 A JP6617297 A JP 6617297A JP 6617297 A JP6617297 A JP 6617297A JP H1027499 A JPH1027499 A JP H1027499A
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memory
redundancy
memory device
electrically erasable
row
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JP6617297A
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ヴィーラ コラード
Marco Dallabora
デーラボーラ マルコ
Caser Fabio Tassan
タッサン カサー ファヴィオ
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SGS Thomson Microelectronics SRL
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Publication date
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    • G11C29/70Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
    • G11C29/78Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
    • G11C29/80Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout
    • G11C29/816Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout for an application-specific layout
    • G11C29/82Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout for an application-specific layout for EEPROMs

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 区分化して電気的に消去及びプログラムでき
る冗長を強化する。 【解決手段】 複数の個別にアドレスできるメモリセク
ターを具え、各メモリセクターは列と行とに配設された
メモリセルのアレイを具え、メモリセルの損傷した行を
置き換えるための冗長メモリセルの冗長行、及び欠陥の
ある行のアドレスを記憶し且つ前記の欠陥のある行がア
ドレスされた場合にそれぞれの冗長行を活性化するため
の冗長制御回路を具える。各メモリセクターは少なくと
も1個のそれぞれ冗長行を具える。冗長制御回路はその
メモリセクターに属する欠陥のある行のアドレスを記憶
するためのそれぞれのメモリセクターと関連する個別に
アドレスできる少なくとも1個のメモリ手段と、そのメ
モリ装置へ供給された現在のアドレスが現在アドレスさ
れたメモリセクターと関連する損傷のある行アドレスと
一致するか否かを認識するためのアドレス認識手段とを
具える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、区分化された電気
的に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メ
モリ装置、特にフラッシュEEPROM(電気消去可能プログ
ラマブル読出し専用メモリ)に関するものである。
【0002】
【従来の技術】EEPROMのような、フラッシュEEPROMは、
電気的に消去できるメモリ装置であることは既知であ
る。しかしながら、フラッシュEEPROMは、紫外線消去可
能EPROM(消去可能なプログラム可能読取り専用記憶装
置)において達成できる一体化密度と比較可能な、より
高い一体化密度(チップの単位面積当たりのメモリセ
ル)により特徴付けられる。この特徴は、一度に単一バ
イトにおけるメモリ装置を消去する可能性に対して、EE
PROMの典型的な特徴を放棄することにより達成され、EP
ROM のような、フラッシュEEPROMは、「大量消去でき
る」装置でありここで消去動作は一度に全部のメモリセ
ルを伴う。
【0003】大量消去特徴の欠点を制限するため及びメ
モリ装置の柔軟性を増加するため、フラッシュEEPROM
(少なくとも大きいメモリサイズを有するフラッシュEE
PROM)は「区分化」され、すなわち、メモリセルのアレ
イが、相互に独立して個別に消去され得る複数のメモリ
セクターに分割される。これらのメモリセクターが独立
なメモリ範囲を形成し、読取の間に、唯一のメモリセク
ターが一度にアドレスされる。
【0004】独立なメモリセクター内のメモリセルのア
レイの配置が、冗長の構造を達成する。
【0005】既知のように、冗長は損傷のあるメモリ素
子を「修復する」ために、メモリ装置内に設けられた回
路と付加的なメモリ素子との複合体であり、冗長によっ
て、損傷の僅かの数しか影響されるメモリ装置が回復さ
れ得ない。
【0006】冗長メモリ素子は、列(冗長列)又は行
(冗長行)に配設された、メモリアレイのメモリセルと
同じメモリセルである。その冗長回路が、少なくとも1
個の欠陥のあるメモリセルが検出されたメモリアレイの
列又は行に対する代用として、所定の冗長列又は冗長行
の選択を制御し、この目的のために、冗長回路が欠陥の
あるメモリセルを含んでいる列又は行のアドレスを記憶
するので、欠陥のある列又は行が(読取又はプログラミ
ングの間に)アクセスされた場合に、それらが選択され
ず、且つ対応する冗長メモリ素子が選択される。冗長列
又は行による欠陥のある列及び行の機能的代用は、メモ
リ装置の工場内試験の間に実行され、且つエンドユーザ
に対して普通は明瞭である。
【0007】メモリ装置における冗長の準備はチップ面
積による費用を明らかに有し、設けられるべき冗長メモ
リ素子(冗長列又は行)の数は、製造工程の欠陥性と回
復され得る欠陥のあるメモリ装置の数とを考慮して、全
部の生産高に基づいて評価されねばならない。
【0008】先に述べたように、フラッシュEEPROM内の
独立なメモリセクターの存在は、冗長構造に影響する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】前述の技術の現在到達
水準において、区分化された電気的に消去及びプログラ
ムできるより多くの冗長を有する不揮発性メモリ装置を
提供することが、本発明の目的である。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明によると、そのよ
うな目的は、複数の個別にアドレスできるメモリセクタ
ーを具えている、区分化された電気的に消去及びプログ
ラムできる不揮発性メモリ装置によって達成され、各メ
モリセクターは、列及び行に配設されたメモリセルのア
レイと、メモリセルの欠陥のある行を置き換えるための
冗長メモリセルの冗長行、及び欠陥のある行のアドレス
を記憶し、且つ前記の欠陥のある行がアドレスされた場
合にそれぞれの冗長行を活性化するための冗長制御回路
を具えており、各メモリセクターが少なくとも1個のそ
れぞれの冗長行を具えること、及び前記の冗長制御回路
が、各メモリセクターに対して個別に、そのメモリセク
ターに属する欠陥のある行のアドレスを記憶するための
それぞれのメモリセクターに各々1個が関連する個別に
アドレスできるメモリ位置を具えている少なくとも1個
のメモリ手段と、そのメモリ装置へ供給される現在のア
ドレスが現在アドレスされたメモリセクターと関連する
前記のメモリ位置のうちのアドレスされた1個内に記憶
された欠陥のある行アドレスと一致するかどうかを認識
するために前記のメモリ手段と関連するアドレス認識手
段とを具えていることを特徴としている。
【0011】本発明のおかげで、所定のメモリセクター
に属する欠陥のある行を、そのメモリ装置の他のメモリ
セクターから独立して、前記のセクターに関連する冗長
行と置き換えることが可能である。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明のこれらの及びその他の特
徴及び利点が、添付の図面に制限されない例として記載
された、特定の実施例の以下の詳細な記載から明らかに
されるであろう。
【0013】図1を参照して、本発明によるフラッシュ
EEPROM(電気消去可能プログラマブル読み出し専用メモ
リ)が、複数(図示の例では8個)の独立な、個別に消
去できるメモリセクターS1〜S8を具えて示されている。
このメモリセクターS1〜S8は等しい大きさを有し得る
が、それらは同様に相互に異なる大きさを有し得る。例
えばフラッシュEEPROMが8個の出力データ線を有する4
メガビット装置(すなわち、 512キロバイトメモリ)で
あり、且つ前記のメモリセクターS1〜S8が等しい大きさ
を有すると仮定すると、各メモリセクターは 512キロビ
ットの大きさを有する。
【0014】メモリセクターS1〜S8は2個の部分、すな
わち左側 S1L〜S8L 及び右側 S1R〜S8R に分割される。
以下にもっと良く説明されるように、各メモリセクター
の各側は、列(ワード線) WL0〜WL255 と行(ビット
線)との交差点に置かれた 256キロ個のメモリセルを含
んでいる。各メモリセクターの各側に関連して、 256個
のうちの1個のワード線を選択するためにそれぞれの列
復号器RDが利用できる。各側が各側の列復号器を有する
二つの側へのメモリセクターの分割は、メモリ装置のア
クセスタイムの許容できない増大を生じないで、充分に
短いワード線の長さを維持することを許容する。
【0015】各メモリセクターS1〜S8は同じ大きさ(64
キロビット)の8個の部分D1〜D8に分割され、各部分は
メモリ装置のそれぞれの出力データ線に対して保持され
たメモリ空間に対応している。各メモリセクターの左側
S1L〜S8L は、8個の出力データ線の4個の最小桁のビ
ットに対応する最初の4個の部分D1〜D4を含み、そのメ
モリセクターの右側 S1R〜S8R は8個の出力データ線の
4個の最上位ビットに対応する残りの4個の部分D5〜D8
を含んでいる。
【0016】所定のメモリセクターSk(k=1〜8)の
一部分Di(i=1〜8)の構造を詳細に示している、図
2においてわかるように、各部分Diは 256個のビット線
BL0〜BL255 を含んでいる。メモリセルMCは、それぞれ
のワード線( 256個のワード線 WL0〜WL255 のうちの1
個)へ接続された制御ゲート電極と、それぞれのビット
線( 256個のビット線 BL0〜BL255 のうちの1個)へ接
続されたドレイン電極と、(大地と消去電圧源1との間
で切り換えられ得る)切換可能なソース線へメモリセク
ターSkの全部の他のメモリセルMCのソース電極と一緒に
接続されたソース電極とを各々が有する、浮遊ゲート M
OS(酸化金属半導体)トランジスタにより表現されてい
る。各部分Diの内側に、ビット線 BL0〜BL255 は4個の
群に一緒に群分けされ、各群はそれぞれの第2レベルの
ビット線B1〜B64 へ結合されており、それぞれの第1レ
ベル選択信号YO0K〜YO3Kにより駆動される第1レベル選
択トランジスタ2が各群内の1個のビット線 BL0〜BL25
5 の選択を許容するので、選択されたビット線 BL0〜BL
255 がそれぞれの第2レベルビット線B1〜B64 へ電気的
に接続され得る。図1においてわかるように、所定のメ
モリセクターSk所定の部分Diの第2レベルビット線B1〜
B64 は、他のメモリセクターの全部の部分Diと共通であ
る。8個の行復号器CDi(i=1〜8)のアレイ(所定の
行復号器CDiは全部の8個のメモリセクターS1〜S8の部
分Diと関連している)が、64個の第2レベルビット線B1
〜B64 を単一線Li(i=1〜8)に多重化する、64個の
第2レベルビット線B1〜B64 のうちの1個を選択するこ
とを許す。図2に示されたように、第2レベルビット線
B1〜B64 は8個の群に一緒に群分けされる。各行復号器
CDi は、第2レベル選択信号 YN0〜YN7(全部のメモリセ
クターに対して共通)により駆動され且つ8個の各群内
で第2レベルビット線B1〜B64 のうちの一つの選択を許
容する8個の第2レベル選択トランジスタ3の8群を具
え、且つ第3レベル選択信号 YM0〜YM7(また全部のメモ
リセクターに共通である) により駆動され且つ8個の第
2レベルビット線B1〜B64 の8群のうちの1個の選択を
許容する8個の第3レベル選択トランジスタ4を具えて
いる。
【0017】各行復号器CDi がそれぞれのセンス増幅器
SAi(i=1〜8) へ供給し、且つ各センス増幅器SAi は
今度はそれぞれの出力データ線Oi(i=1〜8)を駆動
するそれぞれの出力バッファOBi(i=1〜8) へ供給す
る。
【0018】第1レベル選択信号YO0k〜YO3k(k=1〜
8)と、第2レベル選択信号 YN0〜YN7 、及び第3レベ
ル選択信号 YM0〜YM7 は、アドレス信号バスADD により
供給される復号回路9により発生される。第1レベル選
択信号と、第2レベル選択信号、及び第3レベル選択信
号の発生は、後ほど更に詳細に説明されるだろう。
【0019】このメモリ装置が読取又はプログラムモー
ドでアクセスされた場合には、8ビット線が同時に選択
されるはずで、1ビット線は現在アドレスされているメ
モリセクターの8個の部分D1〜D8のうちの各々1個に対
するものである。
【0020】図2に更に示されているように、各メモリ
セクターSkの各部分Diに関連して、4行の冗長メモリセ
ルRMC(冗長ビット線RBL0〜RBL3)は、メモリセルMCと同
じである。4個の第1レベル選択信号YO0K〜YO3Kにより
駆動される、4個の第1レベル冗長選択トランジスタ2R
は、第2レベル冗長ビット線RBi(i=1〜8)へ選択さ
れた冗長ビット線を電気的に接続する、4個の冗長ビッ
ト線RBL0〜RBL3のうちの1個の選択を許し、所定のメモ
リセクターの所定の部分Diの第2レベル冗長ビット線RB
i は他のメモリセクターの全部の部分Diと共通である。
行復号器CDi において、(全部のメモリセクターに共通
な)第2レベル冗長選択信号YRにより駆動される第2レ
ベル冗長選択トランジスタ4Rが、その部分Diと関連する
センス増幅器SAi へ第2レベル冗長ビット線RBi を電気
的に接続することを許す。付随的に、冗長メモリセルRM
C がメモリセクターSkの共通ソース線SLK へ接続された
ソース電極を有しないことは注意されねばならない。
【0021】図3はビット線の物理的構造と第2レベル
ビット線とを図式的に示している。ビット線 BL0〜BL22
5 及び冗長ビット線RBL0〜RBL3は、各部分Diに対して局
部的であり(すなわち、所定のセクターの所定の部分Di
のビット線と冗長ビット線とは、他のメモリセクターの
部分Diのビット線と冗長ビット線と物理的に異なってい
る)、且つ例えば第1レベル相互接続層のストリップに
よって形成されている(例えば、二重金属層製造過程に
おいては、それらは第1レベル金属層のストリップによ
り形成される)。所定のメモリセクターの所定の部分Di
の第2レベルビット線B1〜B64 及び第2レベル冗長ビッ
ト線RBi は、他のメモリセクターの全部の部分Diと代わ
りに共通であり、且つ例えば第2レベル相互接続層のス
トリップによって形成されている(二重金属層過程にお
いては、それらは第2レベル金属層のストリップにより
形成される)。
【0022】図4はメモリセクターの内側の冗長ビット
線の物理的配置を図式的に図解している。この図におい
ては、メモリセクターの左側のみが示されており、右側
は対称である。16個の冗長ビット線(メモリセクターの
左側において4個の部分D1〜D4のうちの各々1個に対し
て4個の局部的冗長ビット線RBL0〜RBL3)が各メモリセ
クターS1〜S8の部分D2とD3との間に置かれている。全体
として、 256個の冗長ビット線がこのメモリ装置内に設
けられている。
【0023】図5は、フラッシュEEPROM内に一体化され
た冗長制御回路を図式的に示している。この回路は4個
のメモリバンクCAM1〜CAM4を具えているコンテントアド
レッサブルメモリ(Content Addressable Memory ; CA
M)を具えている。第1メモリバンクCAM1は各メモリセ
クターSkの各部分Di内の冗長ビット線RBL0と関連してお
り、同様に、第2、第3及び第4メモリバンクCAM2〜CA
M4はそれぞれ冗長ビット線RBL1〜RBL3と関連している。
各メモリバンクCAM1〜CAM4は、8個のそれぞれのCAM 列
選択信号 CR1〜CR8 によって個別にアドレスできる、8
個のCAM 列(CAMメモリ位置)を具えている。各CAM 列は
9個のメモリ素子を具え、最初の8個のメモリ素子 AB0
〜AB7 はメモリセクターの部分Diの 256個のビット線 B
L0〜BL255の間の欠陥のあるビット線のアドレスに対応
する8ビットディジタルコードを記憶することができ、
一方9番目のメモリ素子GB(いわゆる「保護ビット」)
は欠陥のあるビット線アドレスがメモリ素子 AB0〜AB7
内に記憶される信号に対してプログラムされる。各CAM
列はそれぞれのメモリセクターと関連し、例えば、各メ
モリバンクCAM1〜CAM4の第1CAM 列は第1メモリセクタ
ーS1に関連し、以下同様であり、以下にもっと良く説明
されるように、所定のCAM 列は対応するメモリセクター
がアドレスされた場合に読み取られる。この方法におい
ては、現在アドレスされているメモリセクターの現在ア
ドレスされているビット線が欠陥のあるビット線である
場合は、アドレスされたメモリセクターに属する冗長ビ
ット線によりその欠陥のあるビット線を置き換えること
が可能であり、しかも欠陥のあるビット線と同じアドレ
スを有する他のメモリセクターに属するビット線は冗長
ビット線により置き換えられず、これがより大きい数の
欠陥を修復することを許容する。
【0024】各メモリバンクCAM1〜CAM4内の9個のメモ
リ素子 AB0〜AB7 とGBとのうちの各々1個が、それぞれ
のメモリ素子の内容を読み取るためにそれぞれの感知回
路5と関連しており、もっと詳細に言えば、8個のCAM
列に属している全部のメモリ素子AB0 は、独特の感知回
路5に関連しており、且つ同じことが他のメモリ素子AB
0〜AB7 とGBとに対しても真を保持する。保護ビットGB
と関連する感知回路5の出力端子を除いて、各感知回路
5の出力端子が、他の入力がアドレス信号バスADD のそ
れぞれのアドレス信号A0〜A7であるそれぞれの2入力排
他的論理和ゲート6へ供給し、アドレス信号A0〜A7が現
在の行アドレス信号を運ぶ。各排他的論理和ゲート6
は、関連するコンテントアドレッサブルメモリバンクの
それぞれのメモリ素子 AB0〜AB7 の内容を、行アドレス
信号A0〜A7のうちの1個の論理状態と比較する。排他的
論理和ゲート6の出力と保護ビットGBと関連する感知回
路5の出力とは、出力 RS0〜RS3 が残りの3個のメモリ
バンクCAM1〜CAM4と関連する他の3個の論理積ゲート7
の出力と一緒に、行復号回路9と4入力論理和ゲート12
とへ供給する9入力論理積ゲート7へ供給される。論理
和ゲート12の出力が第2レベル冗長選択信号YRを形成
し、且つまた行復号回路9へ供給する。選択されたCAM
列のメモリ素子 AB0〜AB7 内に記憶されたディジタルコ
ードが行アドレス信号A0〜A7の現在の論理形態と一致す
る場合、及び選択されたCAM 列の保護ビットGBがプログ
ラムされた場合のみ、所定の論理積ゲート7の出力は高
である。
【0025】このメモリ装置へ現在供給されたアドレス
が、コンテントアドレッサブルメモリ内に記憶された欠
陥のあるアドレスと一致するかどうかを認識するための
回路を、感知回路5、排他的論理和ゲート6及び論理積
ゲート7が、一緒に形成している。
【0026】図6はメモリ素子 AB0〜AB7 又はGBのうち
の一つ、及びそれぞれの感知回路5の構造を詳細に示し
ている。図からわかるように、各メモリ素子 AB0〜AB7
又はGBは、CAM 列選択信号 CR1〜CR8 のうちのそれぞれ
の1個を供給される制御入力端子13A, 13Bと、プログラ
ミング電圧WRA, WRBを供給されるプログラミング入力端
子14A, 14B、及び感知回路5へ供給する読取出力端子15
A, 15Bを有する2個のメモリセル10A, 10Bを具えてい
る。メモリセル10A, 10Bの読取出力端子15A, 15Bは、2
個の位相反転器I1, I2を具える双安定ラッチのそれぞれ
の入力端子へ、それぞれの電圧制限トランジスタ11A, 1
1Bを通して結合されている。そのラッチの出力端子16は
それぞれの排他的論理和ゲート6へ供給され、又は、保
護ビットGBの場合には、それぞれの論理積ゲート7へ直
接に供給される。電圧制限トランジスタ11A, 11Bのゲー
ト電極は、ソフトの書込誤りを防止するために、約1Vに
メモリセルの読取出力端子15A, 15B上の電圧を制限する
ほぼ2Vのバイアス電圧VBによりバイアスされる。
【0027】図7はメモリセル10A, 10Bうちの1個の詳
細な回路図である。このメモリセルは5個の浮遊ゲート
MOS(酸化金属半導体)トランジスタM1〜M5を具えてい
る。最初の4個の浮遊ゲートMOS トランジスタM1〜M4
は、大地へ接続されたソース電極と、読取出力端子15A,
15Bへ接続されたドレイン電極及びメモリセル10A, 10B
の制御入力端子13A, 13Bへ接続された制御ゲート電極を
有し、並列に接続され、5番目の浮遊ゲートMOS トラン
ジスタは、大地へ接続されたソース電極、プログラミン
グ入力端子14A, 14Bへ接続されたドレイン電極及びメモ
リセル10A, 10Bの制御入力端子13A, 13Bへ接続された制
御ゲート電極を有している。これら5個のトランジスタ
M1〜M5は互いに短絡された浮遊ゲートを有している。最
初の4個の浮遊ゲートMOS トランジスタM1〜M4は、高い
感知電流を与えるためにメモリセル10A, 10Bの読取の間
に、同時に活性化され、一方第5の浮遊ゲートMOS トラ
ンジスタはメモリセル10A, 10Bのプログラミングの間に
使用され、5個のトランジスタM1〜M5は互いに短絡され
た浮遊ゲートを有するので、トランジスタM5のチャネル
内に発生される熱電子流が5個のトランジスタM1〜M5を
同時に全部プログラムする。このメモリセルをプログラ
ムするために必要なプログラミング電流は単一の浮遊ゲ
ート MOSトランジスタのプログラミング電流とほぼ等し
いが、感知電流は同じバイアス条件において単一の浮遊
ゲート MOSトランジスタの感知電流の4倍とほぼ等し
い。
【0028】図8は、メモリ素子 AB0〜AB7 のメモリセ
ル 10A〜10B をプログラミングするための、プログラミ
ング回路の回路図である。このプログラミング回路は2
個の他のPチャネルMOSFET(酸化金属半導体電界効果ト
ランジスタ)18A, 18Bへプログラミング電圧VPG (約5
〜6V)の供給を可能にするための、プログラムイネー
ブル信号PEにより制御されるPチャネルMOSFET 17 を具
えている。MOSFET 18Aは行アドレス信号A0〜A7のうちの
一つにより制御され、一方MOSFET 18Bは前記の行アドレ
ス信号A0〜A7の相補信号より制御される。MOSFET 18Aの
ドレインはメモリセル10A のプログラミング入力端子14
A へ接続され、一方MOSFET 18Bのドレインはメモリセル
10B のプログラミング入力端子14B へ接続されている。
【0029】図9は行復号回路9の構造を図式的に示し
ている。この回路は行アドレス信号A5〜A7を供給され且
つ8個の第3レベル選択信号 YM0〜YM7 を発生する第1
復号器19を具え、アドレス信号A5〜A7の特定の論理形態
に依存して、第3レベル選択信号 YM0〜YM7 のうちの1
個だけが活性化される。信号YRが活性である場合に、ア
ドレス信号A5〜A7の状態とは無関係に、この第1復号器
19は第3レベル選択信号 YM0〜YM7 のいずれか1個の活
性化を抑制するために信号YRをも供給される。第2復号
器20はアドレス信号A2〜A4を供給され、且つ8個の第2
レベル選択信号YN0〜YN7 を発生し、これらの信号 YN0
〜YN7 のうちの1個だけが、アドレス信号A2〜A4の状態
に依存して活性化される。第3復号器21は残りの行アド
レス信号A0, A1及び8個のメモリセクター選択信号 SS1
〜SS8 を供給され、且つ第1レベル選択信号YO0K〜YO3K
(k=1〜8)の8個の群を発生する。セクター選択信
号SS1〜SS8 は、これもアドレス信号バスADD により供
給される、もう一つの復号器22により発生され、且つア
ドレス信号ADD の特定の論理形態に従って、セクター選
択信号 SSk (k=1〜8)のうちの1個が活性化され
る。セクター選択信号SSk のうちの所定の1個の活性化
が、アドレス信号A0, A1の形態に従って、群kの4個の
信号YO0K〜YO3Kのうちのそれぞれ1個の活性化を許容
し、他の群の全部の他の第1レベル選択信号YO0K〜YO3K
は活性化されない。第3復号器21は信号YR及び冗長選択
信号 RS0〜RS3 をも供給され、信号YRが活性な場合に
は、選択されたセクターkに対応する第1レベル選択信
号YO0K〜YO3Kのうちの1個の活性化はアドレス信号A0,
A1に依存せず、それぞれ冗長選択信号 RS0〜RS3 に依存
する。
【0030】所定のメモリセクターの所定の部分Diにお
いて欠陥のあるビット線が前記の部分Diと関連する4個
の冗長ビット線RBL0〜RBL3のうちの1個により置き換え
られた場合に、同じ分配がしかも欠陥のあるビット線の
同じアドレスを有するメモリセクターの他の部分に属す
る全部のビット線に対して起こり、言い換えれば、欠陥
のあるビット線の冗長は、欠陥のあるビット線が見ださ
れる部分Diから独立ではないことは注意されねばならな
い。
【0031】図10はフラッシュEEPROMに対してなされ
る冗長動作を選択するための回路を図式的に示してい
る。一つの2動作モードは信号Mにより選択される。第
1冗長モードにおいては、4個のコンテントアドレッサ
ブルメモリバンクCAM1〜CAM4の8個のCAM 列全部へのア
クセスが可能にされ、CAM 列選択信号CR1 はセクター選
択信号SS1 に対応し、CAM 列選択信号CR2 はセクター選
択信号SS2 に対応し、以下同様である。現在アドレスさ
れているセクターがS1である場合には、第1CAM列がア
ドレスされ、現在アドレスされているセクターがS2であ
る場合には、第2CAM 列がアドレスされ、以下同様であ
る。この冗長モードにおいては、4個以上の欠陥のある
ビット線が各メモリセクター内に存在しない場合には、
このメモリ装置内に設けられた 256個の冗長ビット線
が、最大で32個の欠陥のあるビット線を修復することを
許容する。各メモリバンクCAM1〜CAM4の8個のメモリ位
置全部が使用されるので、これが可能にされて、それに
より各メモリセクター毎に4個の欠陥のあるビット線ア
ドレスがコンテントアドレッサブルメモリ内に記憶され
得て、そのような置き換えを他のセクターにおいて起こ
させることなく、所定のメモリセクター内の欠陥のある
ビット線が置き換えられ得る。
【0032】第2冗長モードにおいては、4個のメモリ
バンクのうちの第1CAM 列のみがアクセスされ得て、4
個の欠陥のあるビット線アドレスのみがコンテントアド
レッサブルメモリ内に記憶され得る。この冗長モードに
おいては、そのメモリ装置内に設けられた 256個の冗長
ビット線が、最大で4個の欠陥のあるビット線を、それ
が見つかった時はいつでも、修復することを許容する。
所定のメモリセクターの欠陥のあるビット線が前記のメ
モリセクターに属する冗長ビット線により置き換えられ
た場合には、同じ置き換えが他のメモリセクターに属す
るが、欠陥のあるビット線の同じアドレスを有する全部
のビット線に対して行われる。言い換えれば、他のセク
ターの冗長ビット線と無関係に所定のセクターの冗長ビ
ット線を使用することは不可能である。
【0033】二つの冗長モードのうちの一方の選択は、
そのメモリ装置の工場内試験の間に行われる。たとえ第
1冗長モードがより多くの数の欠陥が修復されることを
許容するとしても、第1冗長モードはメモリ装置の読取
アクセス時間の延長を生じ、実際には、アドレスの遷移
が、所定のメモリセクター内の欠陥のあるビット線か
ら、もう一つのメモリセクター内のもう一つの欠陥のあ
るビット線へ行われた場合に、冗長制御回路の感知回路
5の整定を待つことが必要であり、すなわち、コンテン
トアドレッサブルメモリ位置の内容の読取が動的に実行
される。コンテントアドレッサブルメモリ位置は決して
変化しないので、コンテントアドレッサブルメモリの内
容がメモリ装置の出力増加において読み取られ、且つ出
力増加においてのみ整定するために、冗長制御回路の感
知回路5を待つことが必要であるから、第2冗長モード
はこの欠点を示さない。
【0034】二つの冗長モードのいずれか一方の選択
は、メモリ装置内に見だされる欠陥のあるビット線の数
に依存し、この数が4よりも大きい場合には、第1冗長
モードが力を与えられ、一方この数が4より小さいか又
は等しい場合には、第2冗長モードが選択される。
【0035】本発明による冗長制御回路が第1冗長モー
ドで動作される場合に、本発明による冗長制御回路が、
たとえメモリ装置チップ内の冗長制御回路により占有さ
れる面積が4個の欠陥のあるビット線のみを修復するこ
とができる冗長制御回路により占有されるはずの面積と
ほとんど等しいとしても、32個までの欠陥のあるビット
線を修復することを許容することを明白にすることは重
要である。
【0036】実際には、本発明の冗長制御回路において
は、このメモリ装置へ供給される現在のアドレスと欠陥
のあるアドレスとの間の一致を認識するために4個の回
路だけが設けられる(各メモリバンクCAM1〜CAM4に関連
する回路5、6及び7の4個の群)。チップ面積のこの
節約が欠陥のあるアドレスを記憶するためのコンテント
アドレッサブルメモリの使用のおかげで可能にされる。
慣習的な冗長制御回路においては、感知回路5、排他的
論理和ゲート6及び論理積ゲート7の各群が唯一の欠陥
のあるアドレスを記憶できる単一のそれぞれのメモリレ
ジスタと関連して、本発明による冗長制御回路において
は、代わりに、感知回路5、排他的論理和ゲート6及び
論理積ゲート7の各群は欠陥のあるアドレスを各々1個
が記憶できる8個のコンテントアドレッサブルメモリ列
に関連し、これが感知回路5、排他的論理和ゲート6及
び論理積ゲート7の各群が、単一の欠陥のあるアドレス
の代わりに、8個の欠陥のあるアドレスを認識できるこ
とを意味している。コンテントアドレッサブルメモリの
内容の感知が、アドレスされるセクター変化の度毎に動
的に実行されるので、メモリ装置の読取アクセス時間の
僅かな増加により唯一の欠点が表現され、しかしなが
ら、慣習的な構成が用いられた場合には、8倍大きいチ
ップ面積が必要であろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による冗長を有する区分化されたフラッ
シュEEPROMの図式的ブロック図である。
【図2】図1のフラッシュEEPROMの行復号アーキテクチ
ャの図式的ブロック図である。
【図3】図2に示された行復号アーキテクチャの図式的
な物理的構造を示している。
【図4】図1に示されたフラッシュEEPROMの部分の図式
的な物理的レイアウトである。
【図5】図1に示されたフラッシュEEPROMの冗長制御回
路を示している。
【図6】図5の冗長制御回路の詳細を示している。
【図7】冗長制御回路のメモリセルを示している。
【図8】図7のメモリセルのためのプログラミング回路
を示している。
【図9】行選択信号を発生するための回路の概略図であ
る。
【図10】二つの冗長動作モードのうちの一方を選択す
るための回路を図式的に示している。
【符号の説明】
1 消去電圧源 2 第1レベル選択トランジスタ 2R 第1レベル冗長選択トランジスタ 3 第2レベル選択トランジスタ 4 第3レベル選択トランジスタ 4R 第2レベル冗長選択トランジスタ 5 感知回路 6 2入力排他的論理和ゲート 7 9入力論理積ゲート 9 行復号回路 10A, 10B メモリセル 11A, 11B 電圧制限トランジスタ 12 4入力論理和ゲート 13A, 13B 制御入力端子 14A, 14B プログラミング入力端子 15A, 15B 読取出力端子 16 ラッチの出力端子 17 PチャネルMOSFET 18A, 18B PチャネルMOSFET 19 第1復号器 20 第2復号器 21 第3復号器 22 もう一つの復号器 A0〜A7 アドレス信号 AB0〜AB7 メモリ素子 ADD アドレス信号バス B1〜B64 第2レベルのビット線 BL0〜BL255 ビット線 CAM1〜CAM4 メモリバンク CDi(i=1〜8)行復号器 CR1〜CR8 メモリバンク列選択信号 Di(i=1〜8)各メモリセクターの部分 GB 9番目のメモリ素子(いわゆる「保護ビット」) I1, I2 位相反転器 Li(i=1〜8)単一線 M 信号 M1〜M5 浮遊ゲート MOSトランジスタ MC メモリセル Oi(i=1〜8) 出力データ線 OBi(i=1〜8) 出力バッファ PE プログラムイネーブル信号 RBi(i=1〜8)第2レベル冗長ビット線 RBL0〜RBL3 冗長ビット線 RD 列復号器 RMC 冗長メモリセル RS0〜RS3 出力 S1〜S8 メモリセクター S1L〜S8L メモリセクターの左側部分 S1R〜S8R メモリセクターの右側部分 SAi (i=1〜8)センス増幅器 SLK メモリセクターの共通ソース線 SSk(k=1〜8) セクター選択信号 VB バイアス電圧 VPG プログラミング電圧 WL0〜WL255 列(ワード線) WRA, WRB プログラミング電圧 YM0〜YM7 第3レベル選択信号 YN0〜YN7 第2レベル選択信号 YO0K〜YO3K(k=1〜8) 第1レベル選択信号 YR 第2レベル冗長選択信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マルコ デーラボーラ イタリア国 ミラノ 20080 カルピアー ノ ヴィア ローマ 7 (72)発明者 ファヴィオ タッサン カサー イタリア国 20148 ミラノ ヴィア マ ザーレンチ 27

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の個別にアドレスできるメモリセク
    ター(S1〜S8)を具えている、区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる不揮発性メモリ装置であって、
    各メモリセクターは、列(WL0〜WL255)及び行(BL0〜BL25
    5)に配設されたメモリセル(MC)のアレイと、メモリセ
    ルの欠陥のある行を置き換えるための冗長メモリセル(R
    MC) の冗長行(RBL0〜RBL3)、及び欠陥のある行のアド
    レスを記憶し、且つ前記の欠陥のある行がアドレスされ
    た場合にそれぞれの冗長行を活性化するための冗長制御
    回路(CAM1〜CAM4, 5〜7,12)を具えている区分化さ
    れた電気的に消去及びプログラムできる不揮発性メモリ
    装置において、 各メモリセクターが少なくとも1個のそれぞれの冗長行
    (RBL0〜RBL3)を具えること、及び前記の冗長制御回路
    が、各メモリセクターに対して個別に、そのメモリセク
    ターに属する欠陥のある行のアドレスを記憶するための
    それぞれのメモリセクターに各々1個が関連する個別に
    アドレスできるメモリ位置を具えている少なくとも1個
    のメモリ手段(CAM1〜CAM4)と、そのメモリ装置へ供給
    される現在のアドレスが現在アドレスされたメモリセク
    ターと関連する前記のメモリ位置のうちのアドレスされ
    た1個内に記憶された欠陥のある行アドレスと一致する
    かどうかを認識するために、前記のメモリ手段と関連す
    るアドレス認識手段(5,6,7)とを具えていること
    を特徴とする、区分化された電気的に消去及びプログラ
    ムできる冗長を有する不揮発性メモリ装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置において、前記の少なくとも1個のメモリ手段(CAM1
    〜CAM4)がコンテントアドレッサブルメモリのバンクで
    あることを特徴とする、区分化された電気的に消去及び
    プログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装置。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置において、関連するメモリセクター(S1〜S8)がアド
    レスされた場合に、少なくとも1個のメモリ手段(CAM1
    〜CAM4)の前記のメモリ位置のうちの1個を個別にアド
    レスするための手段を具えていることを特徴とする、区
    分化された電気的に消去及びプログラムできる冗長を有
    する不揮発性メモリ装置。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置において、前記のアドレス認識手段(5,6,7)
    が、メモリ手段の前記のメモリ位置のうちのアドレスさ
    れた1個内に記憶された欠陥のある行アドレスを読み取
    るための感知手段(5)と、前記メモリ装置へ供給され
    た現在のアドレスを前記のメモリ手段のアドレスされた
    メモリ位置内に記憶された欠陥のある行アドレスと比較
    するための前記の感知手段(5)により供給される比較
    器手段(6)とを具えていることを特徴とする、区分化
    された電気的に消去及びプログラムできる冗長を有する
    不揮発性メモリ装置。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置において、前記のアドレス認識手段(5,6,7)
    が、メモリ手段のアドレスされたメモリ位置の内容が前
    記メモリ装置へ供給された現在のアドレスと一致した場
    合に、メモリ手段(CAM1〜CAM4)と関連するそれぞれの
    冗長選択信号(RS0〜RS3)を活性化するための手段(7)
    を具え、前記冗長選択信号がアドレスされたメモリセク
    ター(S1〜S8)内の少なくとも1個の冗長行(RBL0〜RB
    L3)の選択を制御することを特徴とする、区分化された
    電気的に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発
    性メモリ装置。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置において、各メモリセクター(S1〜S8)が複数のそれ
    ぞれの冗長行(RBL0〜RBL3)を具えていること、及び前
    記の冗長制御回路(CAM1〜CAM4, 5〜7,12)が、各々
    1個が各メモリセクター内のそれぞれの冗長行と関連す
    るそれぞれ複数の前記のメモリ手段(CAM1〜CAM4)と各
    々1個がそれぞれのメモリ手段と関連するそれぞれ複数
    のアドレス認識手段(5,6,7)とを具えていること
    を特徴とする、区分化された電気的に消去及びプログラ
    ムできる冗長を有する不揮発性メモリ装置。
  7. 【請求項7】 請求項6記載の区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置において、前記複数のメモリ手段の各メモリ手段(CA
    M1〜CAM4)が、コンテントアドレッサブルメモリのバン
    クであることを特徴とする、区分化された電気的に消去
    及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置。
  8. 【請求項8】 請求項7記載の区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置において、前記の冗長制御回路が2個の冗長モードの
    うちの一方を選択するための冗長モード選択手段を具
    え、第1冗長モードは前記の複数のメモリ手段(CAM1〜
    CAM4)の各々の全部のメモリ位置が対応するメモリセク
    ター(S1〜S8)がアドレスされた場合に個別にアドレス
    できることを許すので、各メモリ位置が前記のメモリ手
    段の他のメモリ位置内に記憶された他のメモリセクター
    に属する欠陥のある行のアドレスから独立して前記のメ
    モリ位置に関連するメモリセクターに属する欠陥のある
    行のアドレスを記憶でき、第2冗長モードは前記の複数
    のメモリ手段の各々の唯一のメモリ位置がメモリセクタ
    ー(S1〜S8)のいずれか一つの欠陥のある行のアドレス
    を記憶するためにアドレスできることを許すことを特徴
    とする、区分化された電気的に消去及びプログラムでき
    る冗長を有する不揮発性メモリ装置。
  9. 【請求項9】 請求項8記載の区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置において、前記複数のメモリ手段(CAM1〜CAM4)の各
    々の各メモリ位置が前記メモリ装置の行アドレス信号
    (A0〜A7)の数と対応する多数のアドレスメモリ素子(A
    B0〜AB7)を具えている複数のメモリ素子(AB0〜AB7, GB)
    を具え、且つ別のメモリ素子(GB)が欠陥のある行が前
    記のメモリ位置のアドレスメモリ素子(AB0〜AB7)内に記
    憶されることを信号で知らせることを特徴とする、区分
    化された電気的に消去及びプログラムできる冗長を有す
    る不揮発性メモリ装置。
  10. 【請求項10】 請求項9記載の区分化された電気的に
    消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ
    装置において、各々メモリ素子(AB0 〜AB7,GB)が相補
    状態にプログラムされるのに適した2個のメモリセル
    (10A, 10B)を具え、各メモリセル(10A, 10B)が、制
    御入力端子(13A, 13B)、プログラム入力端子(14A, 1
    4B)及び読取出力端子(15A, 15B)を有することを特徴
    とする、区分化された電気的に消去及びプログラムでき
    る冗長を有する不揮発性メモリ装置。
  11. 【請求項11】 請求項10記載の区分化された電気的
    に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモ
    リ装置において、前記メモリセル(10A, 10B)の各々が、
    少なくとも1個のプログラム浮遊ゲート酸化金属半導体
    トランジスタ(M5) と複数の並列接続された読取浮遊ゲ
    ート酸化金属半導体トランジスタ(M1〜M4)とを具え、
    プログラムトランジスタ(M5)はメモリセル(10A, 10B)
    の前記プログラム入力端子(14A, 14B)へ結合されたプ
    ログラム入力端子と、読取トランジスタ(M1〜M4)の制
    御入力端子と一緒に、メモリセル(10A, 10B)の制御入
    力端子(13A, 13B)へ結合された制御入力端子とを有
    し、読取トランジスタ(M1〜M4)はメモリセル(10A, 1
    0B)の読取出力端子へ結合された読取出力端子を有し、
    プログラムトランジスタ(M5) は読取トランジスタ(M1
    〜M4)の浮遊ゲートへ電気的に接続さた浮遊ゲートを有
    することを特徴とする、区分化された電気的に消去及び
    プログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装置。
  12. 【請求項12】 請求項11記載の区分化された電気的
    に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモ
    リ装置において、前記冗長制御回路がメモリ手段(CAM1
    〜CAM4)の各メモリ位置のメモリ素子(AB0〜AB7, GB)の
    メモリセル(10A, 10B)をプログラミングするためのプ
    ログラム回路(17, 18A, 18B)を具えていることを特徴
    とする、区分化された電気的に消去及びプログラムでき
    る冗長を有する不揮発性メモリ装置。
  13. 【請求項13】 請求項12記載の区分化された電気的
    に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモ
    リ装置において、前記プログラム回路 (17,18A, 18B)
    が各メモリセル(10A, 10B)のプログラム入力端子を、
    前記のメモリ素子(AB0〜AB7, GB)と関連する行アドレス
    信号(A0〜A7)の論理状態に従って、プログラミング電
    圧(VPG) へ選択的に結合するための手段(17, 18A, 18
    B)を具えていることを特徴とする、区分化された電気
    的に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メ
    モリ装置。
  14. 【請求項14】 請求項7記載の区分化された電気的に
    消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ
    装置において、現在アドレスされているメモリセクター
    (S1〜S8)に属する1個の行(BL0〜BL255)を選択するた
    めの、行選択手段(2,3,4)、及びアドレスされた
    メモリセクター(S1〜S8)に属する欠陥のある行(BL0〜
    BL255)の代わりに、現在アドレスされたメモリセクター
    (S1〜S8)に属する1個の冗長行(RBL0〜RBL3)を選択
    するための冗長行選択手段(2R,4R)を具え、前記の欠陥
    のある行のアドレスは前記のメモリ手段(CAM1〜CAM4)
    のアドレスされたメモリセクターに関連するメモリ位置
    に記憶されていることを特徴とする、区分化された電気
    的に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メ
    モリ装置。
  15. 【請求項15】 請求項14記載の区分化された電気的
    に消去及びプログラムができる冗長を有する不揮発性メ
    モリ装置において、各メモリセクター(S1〜S8)内で前
    記の行(BL0〜BL255)が全部のメモリセクター(S1〜S8)
    に共通なそれぞれの第2レベル行(B1〜B64)へ結合され
    た行の群に一緒に群分けされること、及び各メモリセク
    ター(S1〜S8)内で冗長行(RBL0〜RBL3)が全部のメモ
    リセクター(S1〜S8)に共通な第2レベル冗長行(RBi)
    へ結合されることを特徴とする区分化された電気的に消
    去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装
    置。
  16. 【請求項16】 請求項15記載の区分化された電気的
    に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモ
    リ装置において、前記の行選択手段が各群の行に対して
    1個の行をそれぞれの第2レベル行(B1〜B64)へ選択的
    に結合するために各メモリセクター(S1〜S8)に関連す
    る第1レベル選択手段(2)と、第2レベル行(B1〜B6
    4)の1個を選択するための全部のメモリセクター(S1〜
    S8)に共通な第2レベル行選択手段(3,4)とを具え
    ること、及び前記の冗長行選択手段(2R, 4R)が1個の
    冗長行(RBL0〜RBL3)を第2レベル冗長行(RBi)へ選択
    的に結合するために各メモリセクター(S1〜S8)に関連
    する第1レベル冗長選択手段(2R)と、第2レベル行
    (B1〜B64)の代わりに第2レベル冗長行(RBi)を選択す
    るために全部のメモリセクター(S1〜S8)に共通な第2
    レベル冗長選択手段(4R)とを具えていることを特徴と
    する区分化された電気的に消去及びプログラムできる冗
    長を有する不揮発性メモリ装置。
  17. 【請求項17】 請求項16記載の区分化された電気的
    に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモ
    リ装置において、前記の冗長制御回路が前記の第1レベ
    ル冗長選択手段(2R)、及び前記の第2レベル冗長選択
    手段(4R)の活性化を制御し、且つ欠陥のある行がアド
    レスされた場合には前記の第2レベル行選択手段(3,
    4)の活性化を防止することを特徴とする区分化された
    電気的に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発
    性メモリ装置。
  18. 【請求項18】 請求項17記載の区分化された電気的
    に消去及びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモ
    リ装置において、冗長制御回路が各メモリ手段(CAM1〜
    CAM4)に関連する少なくとも1個の冗長選択信号(RS0〜
    RS3)が活性化された場合に前記の第2レベル冗長選択手
    段(4R)を活性化するための手段(12)を具え、前記の冗
    長選択信号(RS0〜RS3)が第1レベル冗長選択手段(2R)
    を活性化し、且つ活性化された場合に前記第2レベル行
    選択手段(3,4)の活性化を防止することを特徴とす
    る区分化された電気的に消去及びプログラムできる冗長
    を有する不揮発性メモリ装置。
  19. 【請求項19】 請求項18記載の区分化された電気的
    に消去及びプログラムができる冗長を有する不揮発性メ
    モリ装置において、各メモリセクター(S1〜S8)内の前
    記の行(BL0〜BL255)が、第1レベル相互接続層のストリ
    ップにより物理的に形成され、且つ全部のメモリセクタ
    ーに共通な前記の第2レベル行(B1〜B64)が、第2レベ
    ル相互接続層のストリップにより物理的に形成されるこ
    と、及び各メモリセクター内の前記の冗長行(RBL0〜RB
    L3)が第1レベル相互接続層のストリップにより物理的
    に形成され、且つ前記の第2レベル行(B1〜B64)と全部
    のメモリセクターに共通な第2レベル冗長行(RBi)とが
    第2レベル相互接続層のストリップにより物理的に形成
    されることをを特徴とする区分化された電気的に消去及
    びプログラムできる冗長を有する不揮発性メモリ装置。
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