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JPH10274662A - Method for inspecting liquid crystal display panel and contact probe for inspection - Google Patents

Method for inspecting liquid crystal display panel and contact probe for inspection

Info

Publication number
JPH10274662A
JPH10274662A JP8104097A JP8104097A JPH10274662A JP H10274662 A JPH10274662 A JP H10274662A JP 8104097 A JP8104097 A JP 8104097A JP 8104097 A JP8104097 A JP 8104097A JP H10274662 A JPH10274662 A JP H10274662A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
liquid crystal
crystal display
electrode
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8104097A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Kurakane
崇 倉兼
Kenji Yamauchi
研二 山内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tesec Corp
Original Assignee
Tesec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tesec Corp filed Critical Tesec Corp
Priority to JP8104097A priority Critical patent/JPH10274662A/en
Publication of JPH10274662A publication Critical patent/JPH10274662A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To surelt bring a contact lead into contact with a panel electrode with a simple alignment by forming a plurality of contact leads with a narrower width than the panel electrode of LCD and having elasticity in comb teeth shape in the width direction with a narrower gap than the electrode gaps. SOLUTION: At the end of a transparent electrode 21 of an LCD panel 1, the probe of a contact probe pushing to electrode pads 22 arranged in two rows with a gap of 100 μm in the front and back is constituted as follows. That is, on two folded stainless foils 12 and 14, contact leads 20 with a length of 0.3 mm and width of 15 μm are formed in a comb teeth shape with a 25 μm gap. When the contact lead groups of this probe are pushed along the arrangement direction of the panel electrode 21, one of the contact leads 20 is brought into contact with each electrode pad 22. Therefore, it is not necessary to strictly set the alignment in the width direction and the leads 20 made of stainless steel has proper elasticity and abrasion resistance so that repeated contact to the electrode 21 is possible.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
検査方法およびその検査工程において用いられるコンタ
クトプローブに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a liquid crystal display panel and a contact probe used in the inspection process.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示(LCD)パネルは、二枚のガ
ラス基板に透明電極をストライプ状に形成し、両電極が
互いに直交するように両電極面を10μm程度の間隔を
あけて対面させ、これら二枚のガラス基板の間のギャッ
プに液晶を注入し、互いに直交する透明電極間に電圧を
印可すると両電極の交点が光スイッチとなって画素を構
成するものである。ガラス基板上には、上記透明電極に
信号電圧を入力するパネル電極が矩形の表示部に隣接し
て整列配置されている。LCDパネルの検査工程におい
て、基板上に整列配置されたパネル電極に一括して信号
を入力して行う全点灯表示検査(ベタ画像点灯検査)
は、ドライバICや制御基板を搭載する前に不良を発見
し製造コストを下げるためにも重要である。
2. Description of the Related Art In a liquid crystal display (LCD) panel, transparent electrodes are formed in stripes on two glass substrates, and both electrode surfaces face each other at an interval of about 10 μm so that the electrodes are orthogonal to each other. When a liquid crystal is injected into a gap between these two glass substrates and a voltage is applied between transparent electrodes orthogonal to each other, an intersection of the two electrodes serves as an optical switch to constitute a pixel. On the glass substrate, panel electrodes for inputting a signal voltage to the transparent electrode are arranged adjacent to a rectangular display unit. In the LCD panel inspection process, all lighting display inspection (solid image lighting inspection) is performed by inputting signals to panel electrodes arranged on the substrate at once.
It is also important to find defects before mounting a driver IC or a control board and to reduce manufacturing costs.

【0003】このような全点灯表示検査においては、表
示信号を送るコンタクトプローブの電極をガラス基板上
のパネル電極にコンタクトさせることが必要となる。従
来は、全点灯表示検査を行う際には、図4(a)に示す
ように異方性導電ゴムやフィルム状のフレキシブル基板
(FLEXIBLE PRINT CIRCUIT:FPC)80にパターン形
成した端子列81をLCDパネル1のパネル電極71に
押圧してコンタクトをとるものが主流であった。また図
4(b)に示すプローブカードは、ガラスエポキシ基板
90にタングステン等の微細な芯線91をLCDパネル
1の電極と等ピッチになるように半田付けしたものであ
る。各線芯の遊端は微細に研磨加工されており、導電パ
ターンを形成した多数の芯線91(ワイヤピンブロック
という)をLCDパネル1の上記パネル上に配列された
電極に押圧してプロービングするものである。FPCや
プローブカードによるプロービングは、端子列数が多ピ
ン化・狭ピッチ化されていない場合には有効でる。
[0003] In such a full lighting display inspection, it is necessary to make an electrode of a contact probe for sending a display signal contact a panel electrode on a glass substrate. Conventionally, when performing a full lighting display inspection, as shown in FIG. 4 (a), a terminal array 81 patterned on an anisotropic conductive rubber or a flexible substrate (FLEXIBLE PRINT CIRCUIT: FPC) 80 is used as an LCD. The mainstream is to press the panel electrode 71 of the panel 1 to make contact. The probe card shown in FIG. 4B is obtained by soldering a fine core wire 91 made of tungsten or the like to a glass epoxy substrate 90 so as to be at the same pitch as the electrodes of the LCD panel 1. The free end of each wire core is finely polished, and a large number of wires 91 (referred to as a wire pin block) on which a conductive pattern is formed are pressed against the electrodes arranged on the LCD panel 1 to perform probing. is there. Probing using an FPC or a probe card is effective when the number of terminal rows is not increased and the pitch is not narrowed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、液晶表
示パネルが大画面化・高精細度化するのに伴い、基板上
に配列される電極数が大幅に増大するとともにパネル電
極の微細化・狭ピッチ化(例えば電極端子幅50μm、
電極ピッチ100μm)する傾向にある。これに対しF
PCやプローブカードなどの従来の技術は、端子列や芯
線がパネル上に配列された電極と1対1でコンタクトし
てプロービングするものであるため、大画面化・高精細
度化が進むLCDパネルに対してはコンタクトプローブ
の前後左右のアライメントをとることが困難となり、そ
の結果、全点灯表示検査用のコンタクトプローブがLC
Dパネルの電極の多ピン化狭ピッチ化に対応することが
むずかしくなってきている。特に従来主流であったFP
Cを押圧するコンタクトプローブには、多ピン化狭ピッ
チ化が進むにつれて接触抵抗値があがったり接触不良を
起こしたりしてコンタクトの信頼性が低下し、精密な検
査には不向きであるという問題があった。
However, as the liquid crystal display panel has a larger screen and higher definition, the number of electrodes arranged on the substrate has been greatly increased, and the panel electrodes have been reduced in size and pitch. (For example, electrode terminal width 50 μm,
(The electrode pitch is 100 μm). On the other hand, F
Conventional technologies, such as PCs and probe cards, use a one-to-one probing method in which terminal rows and core wires are in contact with electrodes arranged on the panel, so that LCD panels with larger screens and higher definition are progressing. It is difficult to align the front, back, left, and right of the contact probe for
It is becoming difficult to cope with the increase in the number of pins and the pitch of the electrodes of the D panel. Especially FP, which was the mainstream in the past
The contact probe that presses C has a problem that as the number of pins increases and the pitch becomes narrower, the contact resistance increases or a contact failure occurs, and the reliability of the contact decreases, which is not suitable for precise inspection. there were.

【0005】また、微細な芯線をパネル電極と同一ピッ
チで多数本並べたプローブカードは、タングステン等の
金属ワイヤをパネル電極に接触する方の遊端を研磨加工
したうえで狭ピッチの電極パッドに対向してミクロンの
オーダーで並べなければならないため、特に多ピン化狭
ピッチ化が進むにつれてその製造に高度な技術が必要と
なり、大量生産が困難である。したがって、コンタクト
プローブが高価なものとなってしまうという問題があっ
た。さらに、微細に加工した多数の芯線を配列したプロ
ーブは外部からの力に弱く容易に精度が破壊されてしま
うため取り扱いが難しいという欠点があった。
In a probe card in which a number of fine core wires are arranged at the same pitch as a panel electrode, a metal wire such as tungsten is polished at its free end in contact with the panel electrode, and is then formed on a narrow pitch electrode pad. Since they must be arranged in opposition on the order of microns, especially as the number of pins increases and the pitch decreases, advanced technology is required for their manufacture, and mass production is difficult. Therefore, there is a problem that the contact probe becomes expensive. Further, there is a drawback that a probe in which a large number of finely processed core wires are arranged is weak to an external force and the accuracy is easily destroyed, so that handling is difficult.

【0006】また、LCDの大画面化・高精細度化に伴
い、ガラス基板上の電極パッドにドライバなどのICチ
ップを直接搭載するいわゆるチップオングラス(CHIP O
N GLASS:COG)実装方式が採用されるようになってい
る。COG実装方式において電極パッドは奇数ラインの
電極パッドと偶数ラインの電極パッドとが極小ピッチで
千鳥に並んでいるのが通常であり、従来のコンタクトプ
ローブではこのような配列の電極パッドに対してプロー
ブ間の絶縁を保ちつつ確実かつ均一に接触させることは
困難であった。
In addition, with the increase in the screen size and definition of the LCD, a so-called chip-on-glass (CHIP) in which an IC chip such as a driver is directly mounted on an electrode pad on a glass substrate.
(NGLASS: COG) mounting method is being adopted. In the COG mounting method, the electrode pads of the odd-numbered lines and the electrode pads of the even-numbered lines are usually arranged in a zigzag pattern at a very small pitch. It has been difficult to make sure and uniform contact while maintaining insulation between them.

【0007】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、大画面化・高精細度化したL
CDに対応した全点灯検査方法を提供するとともに、多
ピン化狭ピッチ化したLCDパネルのパネル電極に対し
ても簡単なアライメントで確実にコンタクトが得られる
コンタクトプローブを安価に提供することにある。ま
た、本発明は千鳥に配列された電極パッドにも対応した
COG実装方式LCDパネルの全点灯表示検査用のコン
タクトプローブを提供することを目的とする。
[0007] The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a large screen and high definition L.
It is an object of the present invention to provide an all-lighting inspection method corresponding to a CD and to provide a low-cost contact probe capable of reliably obtaining a contact with a simple alignment even with a panel electrode of a multi-pin, narrow-pitch LCD panel. It is another object of the present invention to provide a contact probe for full lighting display inspection of a COG mounting type LCD panel which also supports electrode pads arranged in a staggered manner.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに請求項1に記載された液晶表示パネル検査方法は、
液晶表示パネルの基板上に矩形の表示部に隣接して整列
配置された複数の電極を有するゲートおよびソースにそ
れぞれ一括して電圧を供給し前記液晶表示パネルを点灯
させる液晶表示パネル検査方法において、前記電極の幅
よりも狭い幅でかつ弾性を有する複数のコンタクトリー
ドを前記電極の間隔よりも小さい間隔で幅方向に櫛歯状
に形成し各コンタクトリードの一端を共通に接続した導
体片を接触子とし、前記複数のコンタクトリードが前記
基板に対して90°未満の所定の角度で前記複数の電極
に接触するように前記接触子を前記複数の電極に押圧し
電圧を供給することを特徴とする。本発明は、複数のコ
ンタクトリードを備えた接触子を押圧することによっ
て、導体片に形成された微細なコンタクトリード群によ
ってLCDパネルの基板上に整列配置された複数の電極
とコンタクトを図るので、電極とコンタクトリードを1
対1でコンタクトさせていた従来の技術とは異なり、電
極の配列方向の微妙なアライメントを調整する必要がな
く、基板上に整列配置された複数の電極のピッチに左右
されることなく検査ができる。また、弾性を有するコン
タクトリードを所定の角度をもって押圧することによ
り、基板上に整列配置された電極と確実にコンタクトを
とって一括して電圧を供給することができる。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a liquid crystal display panel.
A liquid crystal display panel inspection method for simultaneously supplying voltages to a gate and a source having a plurality of electrodes arranged and arranged adjacent to a rectangular display portion on a substrate of the liquid crystal display panel and lighting the liquid crystal display panel, A plurality of contact leads having a width smaller than the width of the electrode and having elasticity are formed in a comb-like shape in a width direction at an interval smaller than the interval between the electrodes, and a conductor piece having one end of each contact lead connected in common is contacted. And pressing the contact to the plurality of electrodes so that the plurality of contact leads contact the plurality of electrodes at a predetermined angle of less than 90 ° with respect to the substrate to supply a voltage. I do. The present invention aims to contact a plurality of electrodes aligned on a substrate of an LCD panel by a group of fine contact leads formed on a conductor piece by pressing a contact having a plurality of contact leads. One electrode and one contact lead
Unlike the conventional technology in which one-to-one contact is made, there is no need to adjust delicate alignment in the electrode arrangement direction, and inspection can be performed without being affected by the pitch of a plurality of electrodes arranged on the substrate. . In addition, by pressing the contact lead having elasticity at a predetermined angle, it is possible to reliably contact the electrodes arranged on the substrate and supply the voltage collectively.

【0009】本発明にかかる液晶表示パネル検査方法に
おいては、基板上に矩形の表示部に隣接して整列配置さ
れた電極に押圧される接触子は複数のコンタクトリード
を形成した一枚の導体片から構成されていてもよいが、
請求項2に記載された液晶表示パネル検査方法は、複数
のコンタクトリードを櫛歯状に形成した上記導体片を絶
縁体からなるスペーサを挟んで前記コンタクトリードの
方向をそろえて複数層に重ね合わせて構成された接触子
を前記複数の電極に押圧し電圧を供給することを特徴と
する。コンタクトリードを櫛歯状に形成した導体片を複
数枚重ねることにより、基板上に矩形の表示部に隣接し
て整列配置された電極とのコンタクトをより確実にとる
ことができる。また、絶縁体からなるスペーサを間に挟
むことによって導体片間に適当な間隔を設け、これによ
って、たとえば千鳥状に複数列にわたって形成された電
極のそれぞれに一括して電圧を供給することができる。
In the method for inspecting a liquid crystal display panel according to the present invention, a contact pressed by an electrode arranged adjacent to a rectangular display portion on a substrate is a single conductor piece having a plurality of contact leads formed thereon. May be composed of
The method of inspecting a liquid crystal display panel according to claim 2, wherein the conductor pieces each having a plurality of contact leads formed in a comb shape are overlapped with a plurality of layers by aligning the direction of the contact leads with a spacer made of an insulator interposed therebetween. The contact configured as described above is pressed against the plurality of electrodes to supply a voltage. By laminating a plurality of conductor pieces each having a contact lead formed in a comb-like shape, it is possible to more reliably make contact with electrodes arranged and arranged adjacent to a rectangular display portion on the substrate. In addition, an appropriate interval is provided between the conductor pieces by sandwiching a spacer made of an insulator therebetween, so that a voltage can be supplied collectively to each of the electrodes formed in a plurality of rows in a staggered manner, for example. .

【0010】また、請求項3に記載された発明は、液晶
表示パネルの基板上に矩形の表示部に隣接して整列配置
された複数の電極に押圧する接触子を備えた液晶表示パ
ネル検査用コンタクトプローブにおいて、前記接触子
は、前記電極の幅よりも狭い幅でかつ弾性を有する複数
のコンタクトリードが前記電極の間隔よりも小さい間隔
で幅方向に櫛歯状に形成されて各コンタクトリードの一
端が共通に接続された導体片で構成され、前記コンタク
トリードが前記基板に対して90°未満の所定の角度を
保つように保持されていることを特徴とする。ここで幅
方向に櫛歯状に形成された複数のコンタクトリードは、
同一平面上において並列配置され、かつ基板上に整列配
置された電極と接触する端部とは反対側の端部が共通に
接続されている。また、上記コンタクトリードは弾性を
有しかつ基板に対して所定の角度をもって押圧されるこ
とにより、基板上に整列配置された電極とより確実にコ
ンタクトを図ることができ、上記導体片を介して一括し
て電圧を供給することができる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided an inspection method for a liquid crystal display panel having a contact for pressing a plurality of electrodes arranged adjacent to a rectangular display portion on a substrate of the liquid crystal display panel. In the contact probe, the contact is formed such that a plurality of contact leads having a width smaller than the width of the electrode and having elasticity are formed in a comb shape in a width direction at an interval smaller than the interval between the electrodes, and One end is formed of a conductor piece commonly connected, and the contact lead is held so as to keep a predetermined angle of less than 90 ° with respect to the substrate. Here, the plurality of contact leads formed in a comb shape in the width direction are:
The ends opposite to the ends in contact with the electrodes arranged in parallel on the same plane and arranged on the substrate are commonly connected. Further, the contact lead has elasticity and is pressed at a predetermined angle with respect to the substrate, thereby making it possible to more reliably make contact with the electrodes arranged on the substrate and through the conductor piece. Voltage can be supplied collectively.

【0011】このような接触子は、導体片を機械的に加
工して櫛歯状のコンタクトリードを形成してもよいが、
多ピン化狭ピッチ化した電極に対応するにはエッチング
によって形成することが望ましい。このときエッチング
はドライエッチングおよび化学エッチングを含むものと
する。または、複数のコンタクトリードをレーザー光線
や放電加工によって櫛歯状に形成してもよい。また、接
触子に用いる導体片の材質は弾性を有するとともに磨耗
に強いことが望ましい。たとえばステンレスやニッケル
−コバルト(Ni−Co)系合金を用いることができ
る。このように接触子を構成することにより、芯線を多
数並べていた従来技術と異なって短期間での大量生産が
可能となり、低い製造コストでコンタクトプローブを提
供することができる。また構造が簡単であるので壊れに
くく、接触子を構成する導体片を交換できるなど、メン
テナンスが容易なコンタクトプローブを提供することが
できる。
In such a contact, a comb-shaped contact lead may be formed by mechanically processing a conductor piece.
It is desirable to form the electrodes by etching in order to cope with multi-pin and narrow-pitch electrodes. At this time, the etching includes dry etching and chemical etching. Alternatively, a plurality of contact leads may be formed in a comb shape by laser beam or electric discharge machining. It is desirable that the material of the conductor piece used for the contactor has elasticity and is resistant to abrasion. For example, stainless steel or a nickel-cobalt (Ni-Co) alloy can be used. By configuring the contact in this way, unlike the prior art in which a large number of core wires are arranged, mass production can be performed in a short period of time, and a contact probe can be provided at a low manufacturing cost. Further, the contact probe can be provided which is easy to maintain because it has a simple structure and is not easily broken, and a conductor piece constituting the contact can be replaced.

【0012】本発明にかかるコンタクトプローブの接触
子は、コンタクトリードを形成した1枚の導体片から構
成されていてもよいが、請求項4に記載されたコンタク
トプローブは、接触子を前記複数のコンタクトリードを
櫛歯状に形成した上記導体片を絶縁体からなるスペーサ
を挟んで複数層に重ね合わせて構成したことを特徴とす
る。コンタクトリードを櫛歯状に形成した導体片を複数
枚重ねることにより、基板上に矩形の表示部に隣接して
整列配置された電極とのコンタクトをより確実にとるこ
とができる。また、絶縁体からなるスペーサを間に挟む
ことによって導体片間に適当な間隔を設けることによ
り、これによって、COG実装方式の基板上に千鳥に形
成された電極にも一括して電圧を供給することができ
る。しかも上記導体片は絶縁体によって電気的に絶縁さ
れているので、基板上に複数列にわたって整列配置され
た電極に同一の信号を供給することはいうまでもなく、
各列ごとに異なる電圧を供給することも可能である。
The contact of the contact probe according to the present invention may be constituted by a single conductor piece on which a contact lead is formed. The present invention is characterized in that the above-mentioned conductor pieces having contact leads formed in a comb tooth shape are laminated in a plurality of layers with a spacer made of an insulator interposed therebetween. By laminating a plurality of conductor pieces each having a contact lead formed in a comb-like shape, it is possible to more reliably make contact with electrodes arranged and arranged adjacent to a rectangular display portion on the substrate. In addition, by providing an appropriate interval between the conductor pieces by sandwiching a spacer made of an insulator, a voltage is simultaneously supplied to the electrodes formed in a staggered manner on the COG mounting type substrate. be able to. Moreover, since the conductor piece is electrically insulated by the insulator, it goes without saying that the same signal is supplied to the electrodes arranged in a plurality of rows on the substrate.
It is also possible to supply a different voltage for each column.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1は、本発明にかかるコ
ンタクトプローブの構造を示す図である。コンタクトプ
ローブの接触子は、絶縁体からなるスペーサ13を挟ん
で重ね合わされた二枚のステンレス箔12,14から構
成されている。このステンレス箔12,14の一端に
は、後述するように、LDCのパネル電極(図1には図
示せず)の幅よりも狭い幅を有する複数のコンタクトリ
ードが前記パネル電極の間隔よりも小さい間隔で櫛歯状
に形成され、コンタクトリード群12a,14aを形成
している。なお、本実施の形態においてはコンタクトリ
ードに適度の弾性を持たせるために、ステンレス箔1
2,14の厚さは約15μmである。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a structure of a contact probe according to the present invention. The contact of the contact probe is composed of two stainless steel foils 12 and 14 stacked with a spacer 13 made of an insulator therebetween. At one end of each of the stainless steel foils 12 and 14, a plurality of contact leads having a width smaller than the width of a panel electrode (not shown in FIG. 1) of the LDC are smaller than the interval between the panel electrodes, as described later. It is formed in a comb shape at intervals and forms contact lead groups 12a and 14a. In this embodiment, the stainless steel foil 1 is used to make the contact leads have appropriate elasticity.
The thickness of 2, 14 is about 15 μm.

【0014】この二枚のステンレス箔12,14は、ス
ペーサ13を挟んだうえ樹脂製のプローブ押さえ11と
サポートプレート15とによってコンタクトリード群1
2a,14aが露出するように挟まれて固定される。サ
ポートプレート15はプローブホルダ16上にビスによ
ってR=45°の角度で固定されており、このサポート
プレート15から露出したステンレス箔12,14のコ
ンタクトリード群12a,14aはLCDパネルの基板
と所定の角度をもってパネル電極に押圧されるようにな
っている。
The two stainless steel foils 12 and 14 hold a spacer 13 therebetween and a contact lead group 1 formed by a resin probe holder 11 and a support plate 15.
2a and 14a are sandwiched and fixed so as to be exposed. The support plate 15 is fixed on the probe holder 16 by screws at an angle of R = 45 °, and the contact lead groups 12a and 14a of the stainless steel foils 12 and 14 exposed from the support plate 15 are fixed to the LCD panel substrate and a predetermined position. The panel electrode is pressed at an angle.

【0015】またサポートプレート15はプリント基板
用コネクタ17に差し込まれる構造になっており、この
ターミナル17a,17bを介して図1には図示しない
外部電源装置からステンレス箔12,14に信号電圧が
供給されるようになっている。このとき、コンタクトリ
ード群12a,14aと逆に位置しサポートプレート1
5上において延在するステンレス箔12、14の他端1
2b,14bは、それぞれプリント基板用コネクタ17
に設けられたターミナル17a,17bと電気的に接続
されてリード線として作用する。
The support plate 15 is structured to be inserted into the connector 17 for a printed circuit board. A signal voltage is supplied to the stainless steel foils 12 and 14 from the external power supply (not shown in FIG. 1) through the terminals 17a and 17b. It is supposed to be. At this time, the support plate 1 is positioned opposite to the contact lead groups 12a and 14a.
5, the other end 1 of the stainless steel foils 12, 14 extending on
2b and 14b are printed circuit board connectors 17 respectively.
Are electrically connected to the terminals 17a and 17b provided on the terminal and function as lead wires.

【0016】ステンレス箔12,14の一端に櫛歯状に
形成されたコンタクトリード群12a,14aを、LC
Dパネルのパネル電極と共に図2に示す。図2は、上述
の接触子が基板上の電極に押圧されている様子を示す模
式図である。図2においてLCDパネルの基板1上には
ITO(Indium Tin Oxide:In2O3-SnO2)からなる複数
の透明電極21が幅方向に50μm間隔で並列に形成さ
れている。LCDパネルはストライプ状に形成された透
明電極が互いに交差するように2枚の基板を対向させる
ことにより透明電極がXYのマトリクスを構成してい
る。パネル基板1の図2には図示しない表示部に隣接す
る位置に透明電極21の端部には幅50μmの電極パッ
ド22が形成されている。これらの電極パッド22は前
後に100μmの間隔をあけて2列を形成するように千
鳥に整列配置されている。
A contact lead group 12a, 14a formed in a comb shape at one end of the stainless steel foils 12, 14 is
It is shown in FIG. 2 together with the panel electrodes of the D panel. FIG. 2 is a schematic diagram showing a state in which the above-mentioned contact is pressed against an electrode on a substrate. In FIG. 2, on a substrate 1 of an LCD panel, a plurality of transparent electrodes 21 made of ITO (Indium Tin Oxide: In2O3-SnO2) are formed in parallel at 50 μm intervals in the width direction. In the LCD panel, the transparent electrodes form an XY matrix by opposing two substrates so that the transparent electrodes formed in stripes cross each other. An electrode pad 22 having a width of 50 μm is formed at an end of the transparent electrode 21 at a position adjacent to a display unit (not shown in FIG. 2) of the panel substrate 1. These electrode pads 22 are arranged in a zigzag pattern so as to form two rows at an interval of 100 μm before and after.

【0017】これに対し、コンタクトプローブのパネル
基板1に押圧される部分、すなわちコンタクトリード群
12a,14aは、図2に示すように、ステンレス箔1
2,14に長さ0.3mm、幅15μmのコンタクトリ
ード20を25μmの間隔で(10μmの間隙をおい
て)櫛歯状に形成することによって構成される。ここ
で、ステンレス箔12,14のそれぞれの幅方向に櫛歯
状に形成されたコンタクトリード20は、同一平面上に
おいて並列配置されて、かつ基板1上に整列配置された
電極と接触する端部とは反対側の端部が共通に接続され
ている。なお、ステンレス箔12,14は厚さ15μm
を有することでコンタクトリードに適度の弾性と耐磨耗
性を持たせている。このようなコンタクトリード20を
多数櫛歯状に形成し、コンタクトリード群12a,14
aを構成するには、たとえばステンレス箔12,14を
化学エッチングすればよい。さらに耐磨耗性を向上させ
るために、コンタクトリード形成後に硬質金メッキを施
しても良い。
On the other hand, the portions of the contact probes pressed by the panel substrate 1, that is, the contact lead groups 12a and 14a are, as shown in FIG.
2, 14 are formed by forming contact leads 20 having a length of 0.3 mm and a width of 15 μm in a comb shape at intervals of 25 μm (with a gap of 10 μm). Here, the contact leads 20 formed in a comb-like shape in the width direction of each of the stainless steel foils 12 and 14 are arranged in parallel on the same plane and are in contact with the electrodes arranged on the substrate 1. And the other end is commonly connected. The stainless steel foils 12 and 14 have a thickness of 15 μm.
The contact leads have appropriate elasticity and abrasion resistance. A large number of such contact leads 20 are formed in a comb shape, and the contact lead groups 12a and 14a are formed.
In order to form a, for example, the stainless steel foils 12 and 14 may be chemically etched. In order to further improve the wear resistance, hard gold plating may be performed after the formation of the contact leads.

【0018】本実施の形態に係るコンタクトプローブに
よれば、このようなコンタクトリード群12a,14a
を有する接触子を電極の配列方向に沿って押圧すること
により、配列された電極パッド22の各々には櫛歯状に
形成されたコンタクトリード20のうちいずれかが接触
することになる。したがって、幅方向のアライメントを
厳密に取る必要がない。しかも、ステンレスからなるコ
ンタクトリードは適度の弾性を有しかつ耐磨耗性を有す
ることから、確実にしかも繰り返し電極とのコンタクト
を図ることができる。
According to the contact probe according to the present embodiment, such contact lead groups 12a and 14a
Is pressed in the direction in which the electrodes are arranged, so that one of the comb-shaped contact leads 20 comes into contact with each of the arranged electrode pads 22. Therefore, it is not necessary to strictly align in the width direction. In addition, since the contact lead made of stainless steel has appropriate elasticity and abrasion resistance, it is possible to reliably and repeatedly contact the electrode.

【0019】また、図2には図示しないスペーサ13
(図1参照)の厚さを適当に選ぶことにより、2枚のス
テンレス片12,14に形成されたコンタクトリード群
12a,14aは、約100μmの間隔をもって基板上
に押圧される。これによって全点灯検査を行う際に、千
鳥に整列配置された電極に対しても一括して電圧を供給
することができる。さらに、プリント基板用コネクタ7
に設けられたターミナル17a,17b(図1参照)を
介して異なる電圧を入力することにより、千鳥に配列さ
れた電極の列ごとに異なる信号を入力することも可能で
ある。
A spacer 13 not shown in FIG.
By appropriately selecting the thickness (see FIG. 1), the contact lead groups 12a and 14a formed on the two stainless steel pieces 12 and 14 are pressed onto the substrate at intervals of about 100 μm. Thus, when performing the full lighting inspection, it is possible to collectively supply the voltage to the electrodes arranged in a staggered manner. Further, the printed circuit board connector 7
By inputting different voltages through the terminals 17a and 17b (see FIG. 1) provided in the first and second terminals, it is also possible to input different signals for each row of the electrodes arranged in a staggered manner.

【0020】なお、本実施の形態では、接触子の材質に
にステンレスを用いた例について説明したが、ステンレ
スに代えてNi−Co系合金を用いても良い。また、本
実施の形態においてコンタクトプローブは櫛歯状にコン
タクトリードを形成した二枚のステンレス片12,14
をスペーサ13を挟んで重ね合わせることによって接触
子を構成しているが、これをコンタクトリードを櫛歯状
に形成した一枚のステンレス箔にコンタクトリード群を
形成したものをもって接触子を構成してもよいことは言
うまでもない。
In this embodiment, an example in which stainless steel is used as the material of the contactor has been described, but a Ni—Co alloy may be used instead of stainless steel. In the present embodiment, the contact probe is a pair of stainless steel pieces 12 and 14 having comb-shaped contact leads.
Are arranged on top of each other with the spacer 13 interposed therebetween. A contact is formed by forming a contact lead group on a single piece of stainless steel foil in which contact leads are formed in a comb shape. Needless to say, it is good.

【0021】次に本発明の第2の実施の形態として上述
のコンタクトプローブを用いたLCDパネルの検査方法
について図3を参照して説明する。図3においてLCD
パネル1の表示部31は、二枚のガラス基板にITOか
らなる透明電極をストライプ状に形成し、両電極が互い
に直交するように両電極面を10μm程度の間隔をあけ
て対面させ、これら二枚のガラス基板の間のギャップに
液晶を注入し、互いに直交する透明電極の交点が光スイ
ッチとなってマトリクス状に画素を構成したものであ
る。この表示部31に隣接してLCDパネル1の基板上
には、表示部31の透明電極に信号電圧を入力するゲー
ト電極32と二つのソース電極33,34が形成されて
いる。ここでゲート電極32とソース電極33,34
は、図2に示したように上記透明電極と電気的に接続さ
れた多数の電極パッドが千鳥に整列配置されたものであ
る。
Next, as a second embodiment of the present invention, a method for inspecting an LCD panel using the above-described contact probe will be described with reference to FIG. LCD in FIG.
The display unit 31 of the panel 1 has transparent electrodes made of ITO formed in stripes on two glass substrates, and the two electrode surfaces face each other at an interval of about 10 μm so that the two electrodes are orthogonal to each other. Liquid crystal is injected into the gap between the glass substrates, and the intersections of the transparent electrodes orthogonal to each other constitute optical switches to form pixels in a matrix. A gate electrode 32 for inputting a signal voltage to a transparent electrode of the display unit 31 and two source electrodes 33 and 34 are formed on the substrate of the LCD panel 1 adjacent to the display unit 31. Here, the gate electrode 32 and the source electrodes 33, 34
As shown in FIG. 2, a large number of electrode pads electrically connected to the transparent electrode are arranged in a zigzag pattern.

【0022】図3において3つのコンタクトプローブ
4,5,6は、図2に示したように複数のコンタクトリ
ードを櫛歯状に形成した二枚のステンレス箔を、図1に
示すようにスペーサ13を挟んで重ね合わされて構成さ
れた接触子を備えている。ただし、図3においては図1
に示したプリント基板用コネクタは省略した。ここで各
コンタクトリードの幅はゲート電極32、ソース電極3
3,34を構成する個々の電極パッドの幅よりも狭く、
またコンタクトリードのピッチは各電極の電極パッドの
ピッチよりも狭くなるように形成されている。このと
き、接触子を構成する二枚のステンレス箔のギャップを
千鳥に配列された電極パッドの間隔に対応させるため、
二枚のステンレス箔の間にスペーサとして挿入するスペ
ーサ13(図1参照)の厚さはゲート用のコンタクトプ
ローブとソース用のコンタクトプローブとでは異なって
いてもよい。
In FIG. 3, three contact probes 4, 5, and 6 are made of two stainless steel foils each having a plurality of contact leads formed in a comb shape as shown in FIG. 2, and a spacer 13 as shown in FIG. Are provided so as to overlap with each other. However, in FIG.
The printed circuit board connector shown in FIG. Here, the width of each contact lead is the gate electrode 32, the source electrode 3
Smaller than the width of the individual electrode pads constituting
The pitch of the contact leads is formed to be narrower than the pitch of the electrode pads of each electrode. At this time, in order to make the gap between the two stainless steel foils constituting the contact correspond to the interval between the electrode pads arranged in a staggered manner,
The thickness of the spacer 13 (see FIG. 1) inserted between the two stainless steel foils as a spacer may be different between the gate contact probe and the source contact probe.

【0023】なお、図3には図示しないが、これらコン
タクトプローブ2,3,4のプローブホルダをLCDパ
ネル1を取り囲む枠に固定してもよい。このときコンタ
クトプローブ2,3,4の接触子の幅をゲート電極1
1、ソース電極12,13の幅よりも十分長く構成する
ことにより、幅方向、すなわち左右方向のアライメント
を省略することができる。さらにコンタクトプローブ
2,3,4のプローブホルダ416,516,616を
マイクロメータを介して上記枠に固定し、このマイクロ
メータで前後方向の微調整ができるようにしてもよい。
Although not shown in FIG. 3, the probe holders of the contact probes 2, 3 and 4 may be fixed to a frame surrounding the LCD panel 1. At this time, the width of the contacts of the contact probes 2, 3, and 4 is set to the gate electrode 1
1. By making the width sufficiently longer than the width of the source electrodes 12 and 13, alignment in the width direction, that is, the left-right direction can be omitted. Further, the probe holders 416, 516, and 616 of the contact probes 2, 3, and 4 may be fixed to the frame via a micrometer so that fine adjustment in the front-rear direction can be performed with the micrometer.

【0024】図3に示す3つのコンタクトプローブ4,
5,6を用いてLDC1の全点灯表示検査を行うには次
のようにする。まず、上述のコンタクトプローブ4,
5,6のコンタクトリード群40,50,60のアライ
メントを調整し、LCDパネル1上の各パネル電極3
2,33,34に押圧する。このとき、コンタクトプロ
ーブ4,5,6は櫛歯状に形成されたコンタクトリード
群40,50,60によって電極パッドとのコンタクト
をとるので、横方向(幅方向)のアライメントを厳密に
調整する必要はない。なお、ソース電極33,34に対
して1個のコンタクトプローブを押圧してもよいが、本
実施の形態に示すように、2個のコンタクトプローブ
5,6を独立して押圧することによって、仮にLCDパ
ネル1の基板が反っていた場合でも確実にコンタクトを
図ることができる。
The three contact probes 4 shown in FIG.
In order to perform the full lighting display inspection of the LDC 1 using the steps 5 and 6, the following is performed. First, the contact probe 4 described above
The alignment of the contact lead groups 40, 50, 60 of 5, 6 is adjusted, and each panel electrode 3 on the LCD panel 1 is adjusted.
2, 33, 34. At this time, since the contact probes 4, 5, and 6 make contact with the electrode pads by the contact lead groups 40, 50, and 60 formed in a comb shape, it is necessary to strictly adjust the lateral (width) alignment. There is no. Note that one contact probe may be pressed against the source electrodes 33 and 34, but as shown in the present embodiment, if the two contact probes 5 and 6 are pressed independently, Even if the substrate of the LCD panel 1 is warped, the contact can be reliably established.

【0025】接触子を押圧したならば、ゲート電極用の
コンタクトプローブ4とソース電極用のコンタクトプロ
ーブ5,6の間に外部電源装置から直流電圧を印加す
る。具体的には各コンタクトプローブ4,5,6のステ
ンレス箔412aと412b,512aと512b,6
12aと612bを介してコンタクトリード群40,5
0,60に一括して入力電圧を印加し、ゲート電極32
とソース電極33,34との間に直流電圧を供給し、L
CDパネル1を点灯させ検査を行う。このとき二つのソ
ース電極用コンタクトプローブ3,4には同じ電圧を同
時に供給することによって全点灯試験を行っても良い
が、片方ずつ電圧を入力することによってLCDパネル
1の片側のみを点灯させるようにしても良いことは言う
までもない。また、本実施の形態においてはゲート電極
とソース電極の間に直流電圧を供給するとして説明した
が、これを交流電圧であってもよい。
When the contact is pressed, a DC voltage is applied from an external power supply between the contact probe 4 for the gate electrode and the contact probes 5 and 6 for the source electrode. Specifically, the stainless steel foils 412a and 412b, 512a and 512b, 6 of the contact probes 4, 5, and 6
Contact lead groups 40, 5 via 12a and 612b
The input voltage is applied to the gate electrodes 32 at a time.
And a source electrode 33, 34 to supply a DC voltage,
The CD panel 1 is turned on for inspection. At this time, the full lighting test may be performed by supplying the same voltage to the two source electrode contact probes 3 and 4 at the same time. However, only one side of the LCD panel 1 is lit by inputting the voltage one by one. Needless to say, this is acceptable. Further, in this embodiment, a DC voltage is supplied between the gate electrode and the source electrode. However, this may be an AC voltage.

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明によれば、LCDパネルの基板上
に矩形の表示部に隣接して整列配置された電極の幅より
も狭い幅でかつ弾性を有する複数のコンタクトリードを
前記電極の間隔よりも小さい間隔で幅方向に櫛歯状に形
成した導体片を接触子として前記電極に押圧し電圧を供
給するので、様々なピッチや大きさの電極に対して確実
にかつ容易にコンタクトをとることができる。特に、コ
ンタクトリード群によって基板上の電極と接触を図るの
で横方向のアライメントを必要がなくなり、微細化・狭
ピッチ化が進んだLCDパネルの点灯検査の精度と能率
を向上させることができる。
According to the present invention, a plurality of resilient contact leads having a width smaller than the width of the electrodes arranged adjacent to the rectangular display portion on the substrate of the LCD panel and having elasticity are provided. Since a voltage is applied to the electrodes by pressing the conductor pieces formed in a comb-like shape in the width direction at smaller intervals as contacts, the electrodes can be reliably and easily contacted with electrodes having various pitches and sizes. be able to. In particular, since the contact leads make contact with the electrodes on the substrate, there is no need for lateral alignment, and the accuracy and efficiency of lighting inspection of an LCD panel with finer and narrower pitches can be improved.

【0027】また、本発明にかかるコンタクトプローブ
においては、エッチング等の技術を用いることにより簡
単に櫛歯状のコンタクトリード群を導体片に形成するこ
とができる。この様に接触子の製造に高度な技術を必要
としないことから製造が簡単となり、LCDパネル検査
用コンタクトプローブの単価を下げることができる。ま
た、簡単な構造を有することから丈夫でメンテナンスが
簡単のコンタクトプローブを提供することができる。
In the contact probe according to the present invention, a comb-shaped contact lead group can be easily formed on a conductor piece by using a technique such as etching. As described above, since no advanced technology is required for manufacturing the contact, the manufacturing is simplified, and the unit price of the LCD panel inspection contact probe can be reduced. Further, a contact probe having a simple structure and being durable and easy to maintain can be provided.

【0028】また、特に請求項2または請求項4に記載
された発明によれば、複数のコンタクトリードを櫛歯状
に形成した導体片を絶縁体からなるスペーサを挟んで複
数層に重ね合わせて構成された接触子を基板上に矩形の
表示部に隣接して整列配置された電極に押圧するので、
たとえば千鳥のように複数列にわたって配列された電極
に対しても一括して電圧を供給することができる。
According to the second or fourth aspect of the invention, a plurality of contact leads are formed in a comb-like shape by superposing a plurality of conductor pieces in a plurality of layers with a spacer made of an insulator interposed therebetween. Since the configured contact is pressed against the electrodes arranged on the substrate adjacent to the rectangular display unit,
For example, a voltage can be collectively supplied to electrodes arranged in a plurality of rows like a staggered pattern.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の第1の実施の形態に係るコンタクト
プローブの構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a contact probe according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 上記コンタクトプローブの接触子がLCDパ
ネル基板上の電極に押圧されている様子を示す模式図で
ある。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a state in which a contact of the contact probe is pressed against an electrode on an LCD panel substrate.

【図3】 本発明の第2の実施の形態に係るLCDパネ
ルの検査方法を説明する図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining an LCD panel inspection method according to a second embodiment of the present invention.

【図4】 従来の技術を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…液晶表示(LCD)パネル、11…プローブ押さ
え、12,14…ステンレス箔、12a,14a…コン
タクトリード群、13…スペーサ、15…サポートプレ
ート、16…プローブホルダ、17…プリント基板用コ
ネクタ、20…コンタクトリード、21…透明電極、2
2…電極パッド、31…表示部、32…ゲート電極、3
3,34…ソース電極、4,5,6…コンタクトプロー
ブ、40,50,60…コンタクトリード群、412
a,412b,512a,512b,612a,612
b…ステンレス箔、416,516,616…プローブ
ホルダ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal display (LCD) panel, 11 ... Probe holding, 12, 14 ... Stainless steel foil, 12a, 14a ... Contact lead group, 13 ... Spacer, 15 ... Support plate, 16 ... Probe holder, 17 ... Connector for printed circuit board, Reference numeral 20: contact lead, 21: transparent electrode, 2
2 ... electrode pad, 31 ... display part, 32 ... gate electrode, 3
3, 34: source electrode, 4, 5, 6: contact probe, 40, 50, 60: contact lead group, 412
a, 412b, 512a, 512b, 612a, 612
b: stainless steel foil, 416, 516, 616: probe holder.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶表示パネルの基板上に矩形の表示部
に隣接して整列配置された複数の電極を有するゲートお
よびソースにそれぞれ一括して電圧を供給し前記液晶表
示パネルを点灯させる液晶表示パネル検査方法におい
て、 前記電極の幅よりも狭い幅でかつ弾性を有する複数のコ
ンタクトリードを前記電極の間隔よりも小さい間隔で幅
方向に櫛歯状に形成し各コンタクトリードの一端を共通
に接続した導体片を接触子とし、 前記複数のコンタクトリードが前記基板に対して90°
未満の所定の角度をもって前記複数の電極に接触するよ
うに前記接触子を前記複数の電極に押圧し電圧を供給す
ることを特徴とする液晶表示パネル検査方法。
1. A liquid crystal display in which a voltage is collectively supplied to a gate and a source having a plurality of electrodes arranged and arranged adjacent to a rectangular display portion on a substrate of the liquid crystal display panel, and the liquid crystal display panel is turned on. In the panel inspection method, in the panel inspection method, a plurality of contact leads having a width smaller than the width of the electrode and having elasticity are formed in a comb-like shape in a width direction at an interval smaller than the interval between the electrodes, and one end of each contact lead is commonly connected. The plurality of contact leads are 90 ° with respect to the substrate.
A liquid crystal display panel inspection method, wherein a voltage is supplied by pressing the contact to the plurality of electrodes so as to contact the plurality of electrodes at a predetermined angle less than.
【請求項2】 請求項1に記載された液晶表示パネル検
査方法において、 前記接触子は、 前記導体片を絶縁体からなるスペーサを挟んで前記コン
タクトリードの方向をそろえて複数層に重ね合わせて構
成されたことを特徴とする液晶表示パネル検査方法。
2. The method for inspecting a liquid crystal display panel according to claim 1, wherein the contact is formed by stacking the conductor pieces in a plurality of layers by aligning the direction of the contact lead with a spacer made of an insulator interposed therebetween. A method for inspecting a liquid crystal display panel, comprising:
【請求項3】 液晶表示パネルの基板上に矩形の表示部
に隣接して整列配置された複数の電極に押圧する接触子
を備えた液晶表示パネル検査用コンタクトプローブにお
いて、 前記接触子は、 前記電極の幅よりも狭い幅でかつ弾性を有する複数のコ
ンタクトリードが前記電極の間隔よりも小さい間隔で幅
方向に櫛歯状に形成されて各コンタクトリードの一端が
共通に接続された導体片で構成され、 前記コンタクトリードが前記基板に対して90°未満の
所定の角度を保つように保持されていることを特徴とす
る液晶表示パネル検査用コンタクトプローブ。
3. A liquid crystal display panel inspection contact probe comprising a contact for pressing a plurality of electrodes arranged adjacent to a rectangular display portion on a substrate of the liquid crystal display panel, wherein the contact comprises: A plurality of contact leads having a width smaller than the width of the electrodes and having elasticity are formed in a comb-like shape in the width direction at intervals smaller than the interval between the electrodes, and one end of each contact lead is a conductor piece connected in common. A contact probe for inspecting a liquid crystal display panel, wherein the contact lead is held so as to keep a predetermined angle of less than 90 ° with respect to the substrate.
【請求項4】 請求項3に記載された液晶表示パネル検
査用コンタクトプローブにおいて、 前記接触子は、 前記導体片を絶縁体からなるスペーサを挟んで前記コン
タクトリードの方向をそろえて複数層に重ね合わせて構
成されたことを特徴とする液晶表示パネル検査用コンタ
クトプローブ。
4. The contact probe for inspecting a liquid crystal display panel according to claim 3, wherein the contact is formed by stacking the conductor pieces in a plurality of layers by aligning the direction of the contact lead with a spacer made of an insulator interposed therebetween. A contact probe for inspecting a liquid crystal display panel, wherein the contact probe is configured in combination.
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