JPH10269519A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気コアを形成する金属磁性膜の磁気特性を
向上させ。良好な記録再生特性を有する磁気ヘッド及び
その製造方法を提供する。 【解決手段】 磁気ヘッド１は、基板４が基板面と平行
な平行面４Ｂとこの平行面４Ｂから所定の角度をもって
傾斜された傾斜面４Ｃとを有するとともに、磁性層６が
この平行面４Ｂ及び傾斜面４Ｃの上面に形成されるとと
もに、一対の磁気コア半体２，３が傾斜面４Ｃに形成さ
れた磁性層６の端面同士が接合されることにより磁気ギ
ャップを形成するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属磁性膜により
磁路を形成してなる磁気ヘッド及びその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ビデオテープレコーダ等の磁気
記録再生装置においては、画質を向上させるために信号
をデジタル化して記録するデジタル記録が進められてお
り、これに対応して記録の高密度化、記録周波数の高周
波数化がなされている。

【０００３】ところで、磁気記録の高密度化、記録周波
数の高周波数化が進むにつれ、磁気記録再生装置に搭載
される磁気ヘッドには、高周波領域で出力が高く、ノイ
ズが少ないことが要求される。例えば、従来ＶＴＲ用磁
気ヘッドとして多用されているフェライト材に金属磁性
膜を成膜して、捲線を施したいわゆる複合型メタル・イ
ン・ギャップタイプの磁気ヘッドでは、インダクタンス
が大きく、インダクタンス当たりの出力低下のため、高
周波領域で出力が低く、高周波、高密度が必要とされる
デジタル画像記録に充分対応することが難しい。

【０００４】このような状況から、薄膜形成工程で作製
したいわゆる薄膜型の磁気ヘッドが、高周波対応の磁気
ヘッドとして検討されている。

【０００５】この薄膜型の磁気ヘッドは、図１５に示す
ように、金属磁性膜１００を有する一対の磁気コア半体
１０１，１０２を備え、非磁性金属材料１０３を介して
これら一対の磁気コア半体１０１，１０２を接合するこ
とにより形成される。この磁気コア半体１０１，１０２
は、非磁性基板１０４と、この非磁性基板１０４上に形
成された金属磁性膜１００とを備える。この磁気ヘッド
では、一対の磁気コア半体１０１，１０２の接合面にガ
ラス１０５等が充填されている。なお、この磁気ヘッド
には、図示しないが、接合面に薄膜コイルが形成されて
いる。

【０００６】また、この磁気ヘッドにおいて、金属磁性
膜１００は、非磁性基板１０４の一部が切り欠かれてな
る傾斜面１０４Ａ上に形成されており、接合面に対して
所定の角度をもって斜めに形成されている。

【０００７】このように構成された磁気ヘッドでは、一
対の金属磁性膜１００が非磁性金属材料１０３を介して
突き合わされることにより磁気ギャップを形成する。こ
のとき、この磁気ヘッドでは、突き合わされた金属磁性
膜１００間の幅がトラック幅となる。この磁気ヘッドで
は、一対の金属磁性膜１００が磁気コアとなり、磁気記
録媒体に対して記録再生を行うとき、この磁気コアが磁
化される。

【０００８】ところで、この磁気ヘッドにおいて、磁気
コア半体１０１，１０２は、それぞれトラック幅方向に
一列に並んで複数個同時に形成される。磁気コア半体１
０１，１０２は、略平板状の基板に所定の溝加工を施し
た後に金属磁性膜１００を形成し、その後、ガラス１０
５やコイル等を形成することにより製造される。

【０００９】そして、磁気ヘッドは、トラック幅方向に
一列に並んで形成された複数個の磁気コア半体１０１，
１０２を接合し、その後、個々の磁気ヘッドに切り離す
ことにより形成される。

【００１０】このような磁気ヘッドの製造方法におい
て、金属磁性膜１００を形成する際には、図１６に示す
ように、スパッタリング法等の薄膜形成法が用いられ
る。このスパッタリング法では、金属磁性膜１００を構
成する金属磁性材料をターゲット１０６として、このタ
ーゲット１０６に対して平行に基板１０７を配置する。

【００１１】このターゲット１０６からは、いわゆるス
パッタリングされることによって、金属磁性粒子が飛散
する。このとき、金属磁性粒子は、ターゲット１０６の
平面に対して略垂直方向（図１６中矢印で示す。）に飛
散する。

【００１２】また、この基板１０７は、複数個の磁気コ
ア半体１０１，１０２における非磁性基板１０４となる
ものであり、傾斜面１０４Ａに対応する複数個の凸部１
０７Ａを有する。

【００１３】金属磁性膜１００を形成する際には、ター
ゲット１０６と基板１０７とを略平行となるように配置
してスパッタリングしている。上述したように、ターゲ
ット１０６からは、金属磁性粒子が飛散して基板１０７
上に堆積する。その後、所定の膜厚となるまで金属磁性
粒子を堆積させ、金属磁性膜１００を形成する。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この磁気ヘ
ッドにおいて、磁気コアを構成する金属磁性膜１００と
しては、その磁気特性、特に、透磁率が良好であること
が好ましい。スパッタリング法を用いて形成された磁性
層において、透磁率は、飛散する金属磁性粒子の堆積方
向に依存している。そこで、金属磁性粒子の堆積方向と
透磁率との関係を、図１７に模式的に示すような実験装
置を用いて測定した。

【００１５】この実験装置では、実験用ターゲット１１
０に対する実験用基板１１１の角度（図１７中θで示
す。）を様々な値に変化させ、実験用基板１１１に金属
磁性膜を形成した。このとき、実験用ターゲット１１０
としては、センダスト材料を用い、金属磁性膜としてセ
ンダスト膜を形成した。そして、このように様々な角度
θで形成されたセンダスト膜の透磁率を測定した。この
ように測定された角度θと透磁率との関係を図１８に示
す。

【００１６】この図１８から明らかなように、θ＝０゜
のとき、最も高い透磁率を示めす。しかし、θ＝２０゜
のとき、透磁率はθ＝０゜のときよりも半減してしま
う。また、θ＝４０゜のときには、透磁率はさらに低減
してしまう。このように、金属磁性粒子の堆積方向と透
磁率とには、密接な関係があり、実験用基板１１１に対
して垂直方向に堆積することが高い透磁率を得ることに
なる。

【００１７】上述した磁気ヘッドにおいて、上述したよ
うなスパッタリング法では、ターゲット１０６に対して
基板１０７を略平行に配置していた。この場合には、傾
斜面１０４Ａに対応する凸部１０７Ａの斜面にスパッタ
リングされてなる部分が磁気ヘッドにおける金属磁性膜
１００となる。すなわち、金属磁性膜１００は、ターゲ
ット１０６に対して斜めに対向することとなり、金属磁
性粒子が斜め方向に堆積して形成されることとなる。し
たがって、従来の磁気ヘッドでは、金属磁性膜１００の
透磁率が良好なものとはいえず、電磁変換特性が悪いと
いった問題点があった。

【００１８】これを解決するために、図１９に示すよう
に、基板１０７をターゲット１０６に対して斜めに配置
することが考えられれる。具体的には、磁気ヘッドにお
ける傾斜面１０４Ａに対応する凸部１０７Ａの斜面を、
ターゲット１０６に対して平行となるように配置するの
である。これによって、磁気コアを形成する金属磁性膜
１００は、金属磁性粒子が垂直方向に堆積したものとな
り、透磁率が向上したものとなる。

【００１９】しかしながら、図１９に示すように基板１
０７を配置した場合、複数個の凸部１０７Ａのそれぞれ
がターゲット１０６に対して異なる距離で対向すること
となる。ターゲットからの距離が異なるいうことは、形
成される金属磁性膜１００の厚みが凸部１０７Ａによっ
て異なることになる。金属磁性膜１００の厚みは、磁気
ヘッドにおけるトラック幅寸法になるために、厳密に制
御される必要があるとともに全て等しくする必要があ
る。

【００２０】しかしながら、図１９に示したような場
合、ターゲット１０６に対して基板１０７が斜めに配置
されているために、全ての金属磁性膜１００を均一な膜
厚とすることは不可能であった。また、大量生産を目的
として、特に、基板１０７の大きさを大きくした場合、
基板１０７の両端部において、ターゲット１０６との距
離の差がより大きくなってしまう。このため、この手法
では、比較的大きな基板１０７を用いることはできず、
生産性が悪くなってしまう。

【００２１】そこで、本発明は、上述した従来の磁気ヘ
ッド及びその製造方法の問題点を解決して、磁気コアを
形成する金属磁性膜の磁気特性を向上させ。良好な記録
再生特性を有する磁気ヘッド及びその製造方法を提供す
ることを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成した
本発明に係る磁気ヘッドは、基板と、この基板上に形成
された磁性層とを有する一対の磁気コア半体が、非磁性
体を介して該磁性層同士が対向するように突き合わされ
て磁気ギャップを形成する磁気ヘッドにおいて、上記基
板が基板面と平行な平行面とこの平行面から所定の角度
をもって傾斜された傾斜面とを有するとともに、上記磁
性層がこの平行面及び傾斜面の上面に形成されるととも
に、一対の磁気コア半体が上記傾斜面に形成された磁性
層の端面同士が接合されることにより磁気ギャップを形
成するものである。

【００２３】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッドでは、基板に対して平行に形成された平行面に形
成された磁性層が良好な磁気特性を有する。この磁気ヘ
ッドでは、良好な磁気特性を有する磁性層により磁気コ
アが形成される。このため、磁気ヘッドは、磁気コアの
電磁変換特性が向上したものとなるために、良好な記録
再生特性を示すものとなる。

【００２４】一方、上述した問題点を解決した本発明に
係る磁気ヘッドの製造方法は、基板と、この基板上に形
成された磁性層とを有する一対の磁気コア半体が、非磁
性体を介して該磁性層同士が対向するように突き合わさ
れて磁気ギャップを形成する磁気ヘッドの製造方法であ
って、上記基板を、基板面と平行な平行面とこの平行面
からから所定の角度をもって傾斜された傾斜面と有する
ように形成し、上記磁性層を成膜する際の成膜方向が上
記平行面に対して直交する方向となるように上記磁性層
を形成し、上記傾斜面に形成された上記磁性層の端面同
士を突き合わせることにより磁気ギャップを形成するも
のである。

【００２５】以上のような本発明に係る磁気ヘッドの製
造方法によれば、平行面が成膜方向に対して直行してい
るため、平行面には良好な磁気特性を有する磁性膜を形
成することができる。そして、製造される磁気ヘッドで
は、この磁性層が磁気コアを形成している。したがっ
て、この手法は、良好な電磁変換特性を有する磁気コア
を備えた磁気ヘッドを製造することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気ヘッド及
びその製造方法の実施の形態を図面を参照にしながら詳
細に説明する。

【００２７】本発明に係る磁気ヘッド１は、図１及び図
２に示すように、一対の磁気コア半体２，３が非磁性材
料からなるギャップ材Ｇを介して接合されて構成されて
いる。一対の磁気コア半体２，３は、非磁性基板４と、
この非磁性基板４上に形成された金属磁性膜６とからそ
れぞれ構成されている。また、一対の磁気コア半体２、
３は、少なくとも一方に励磁用又は誘導起電圧検出用の
コイル７が形成されてなる。この磁気ヘッド１におい
て、金属磁性膜６は、一対の磁気コア半体２，３がギャ
ップ材Ｇを介して接合面２Ａ，３Ａで接合された状態で
磁気コアを形成する。この磁気ヘッド１は、磁気コア半
体２，３が接合した状態で図１中矢印Ａで示した方向に
磁気記録媒体が摺動することによって、磁気記録媒体に
記録された信号磁界を再生又は信号磁界を磁気記録媒体
に記録する。

【００２８】また、この磁気ヘッド１は、磁気記録媒体
との接触面積を調節するために、当たり幅規制溝８が形
成されている。この当たり幅規制溝８は、磁気記録媒体
の摺動方向Ａと平行に、磁気ヘッド１の両側面に形成さ
れている。また、この磁気ヘッドでは、磁気記録媒体と
の当たり状態を調節するため、磁気記録媒体の摺動面が
円弧状とされる。

【００２９】この磁気ヘッド１において、金属磁性膜６
は、非磁性基板４の凸部４Ａ上に薄膜形成されている。
この非磁性基板４の凸部４Ａは、接合面２Ａ，３Ａと平
行となるように形成された平行面４Ｂと、この平行面４
Ｂの一方の端部に形成された傾斜面４Ｃとを有する。

【００３０】そして、この磁気ヘッド１は、この凸部４
Ａの平行面４Ｂ及び傾斜面４Ｃ上に金属磁性膜６を有し
ている。したがって、この金属磁性膜６は、平行面４Ｂ
上に形成された平行部６Ａと傾斜面４Ｃに形成された傾
斜部６Ｂとから構成されることになる。また、この金属
磁性膜６は、傾斜部６Ｂの高さの略中心に、コイル７が
形成されたコイル形成溝６Ｃを有している。このため、
金属磁性膜６は、磁気コア半体２，３の接合面２Ａ，３
Ａに前後方向に分断されて露出する前部突合せ面１０及
び後部突合せ面１１を有することとなる。

【００３１】そして、この磁気ヘッド１では、一方の磁
気コア半体２と他方の磁気コア半体３とを傾斜部６Ｂの
端面同士が対向するように接合している。これにより、
一対の前部突合せ面１０が磁気ギャップを構成し、後部
突合せ面１１がバックギャップを構成する。

【００３２】また、この磁気ヘッド１において、金属磁
性膜６は、非磁性層を介して３層の金属磁性層が積層さ
れるように構成されている。なお、本発明に係る磁気ヘ
ッドは、本実施の形態に示すような３層の金属磁性層が
積層されるような構成に限定されない。すなわち、本発
明に係る磁気ヘッドは、例えば、単層の金属磁性薄膜を
有するものであっても良く、また、数十層の金属磁性薄
膜を有するものであっても良い。

【００３３】この磁気コア半体２，３において、非磁性
基板４は、例えば、ＭｎＯ−ＮｉＯ系の非磁性材料から
なるが、これに限定されず、チタン酸カルシウム、チタ
ン酸バリウム、酸化ジルコニウム（ジルコニア）、アル
ミナ、アルミナチタンカーバイド、ＳｉＯ₂ 、Ｚｎフェ
ライト、結晶化ガラス、高硬度ガラス等からなるもので
あればよい。また、金属磁性膜６は、例えば、Ｆｅ−Ａ
ｌ−Ｓｉ合金（センダスト）等の金属磁性材料からなる
が、これに限定されず、Ｆｅ−Ａｌ合金、Ｆｅ−Ｓｉ−
Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ−
Ｒｕ合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｇｅ合
金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇｅ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ合
金、Ｆｅ−Ｎｉ合金等の結晶質合金からなるものであれ
ばよい。あるいは、金属磁性膜６は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ
のうちの１以上の元素とＰ，Ｃ，Ｂ，Ｓｉのうちの１以
上の元素とからなる合金、またはこれを主成分としＡ
ｌ，Ｇｅ，Ｂｅ，Ｓｎ，Ｉｎ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，
Ｃｒ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂ等を含んだ合金等に代表される
メタル−メタロイド系アモルファス合金や、Ｃｏ，Ｈ
ｆ，Ｚｒ等の遷移金属と希土類元素を主成分とするメタ
ル−メタル系アモルファス合金等の非晶質合金からなる
ようなものであってもよい。

【００３４】さらに、この磁気ヘッド１では、一対の磁
気コア半体２，３にコイル７がそれぞれ形成されてい
る。このコイル７は、一対の磁気コア半体２，３の接合
面２Ａ，３Ａにコイル形成用凹部１２が形成されてお
り、そのコイル形成用凹部１２内に薄膜形成される。こ
のコイル７は、その中心側の一方端部７Ａがコイル接続
用端子１３と接続されている。そして、コイル７は、コ
イル接続用端子１３を基端部として、後部突合せ面１１
を略中心として円を描くように形成される。

【００３５】この一対の磁気コア半体２，３に形成され
るコイル接続用端子１３は、コイル形成用凹部１２内に
形成されており、コイル７の略中心部とされ、後部突合
せ面１１の近傍に形成されている。また、このコイル接
続用端子１３は、一対の磁気コア半体２，３の接合面２
Ａ，３Ａと面一となるようにそれぞれ高さ調節されて形
成されている。そして、この磁気ヘッド１において、一
対の磁気コア半体２，３が接合されると、一対のコイル
接続用端子１３も接合されることとなる。これにより、
この磁気ヘッド１では、一対の磁気コア半体２，３が接
合されると、一対のコイル７が電気的に接続されること
となる。

【００３６】なお、この磁気ヘッド１では、一対の磁気
コア半体２，３を接合する際、詳細を後述する金属拡散
接合が用いられる。この場合、接合面２Ａ，３Ａは、金
等の非磁性導電材料がそれぞれ成膜され、突き合わされ
る。これにより、一対の前部突合せ面１０は、この非磁
性導電材料を介して突き合わされて磁気ギャップを形成
する。すなわち、この磁気ヘッド１では、上述したギャ
ップ材Ｇとして、金属拡散接合の際に用いられる非磁性
導電材料が使用される。

【００３７】また、コイル７の反対側の他方端部は、磁
気ギャップとは反対側へ引き出されている。そして、こ
のコイル７の他方端部は、外部接続用端子１４と接続さ
れている。この外部接続用端子１４は、一対の磁気コア
半体２，３の幅方向に所定の深さ寸法で穿設された端子
溝１５内に、銅等の導電材料が埋設されて構成されてい
る。そして、これら外部接続用端子１４は、磁気ヘッド
１の側面に露出することにより外部とコイル７とを電気
的に接続することができる。これら一対の外部接続用端
子１４は、一対の磁気コア半体２，３を接合した際に短
絡を発生させないように、一対の磁気コア半体２，３に
おける高さが異なる位置にそれぞれ形成されている。

【００３８】以上のように構成された本実施の形態に係
る磁気ヘッド１では、磁気記録媒体に対して信号を記録
する又は信号磁界を再生する際、上述した一対の金属磁
性膜６が接合されてなる磁気コアに磁束が流れる。

【００３９】具体的には、この磁気ヘッド１を用いて磁
気記録媒体に記録された磁気信号を再生する際には、磁
気記録媒体からの信号磁界が磁気ギャップ周辺に印加さ
れる。そして、印加される信号磁界の方向が変化するこ
とによって、磁気コアに流れる磁束の方向が変化する。
その結果、磁気ヘッド１では、電磁誘導が起こり、コイ
ル７に所定の電流が流れる。

【００４０】また、この磁気ヘッド１を用いて磁気記録
媒体に磁気信号を記録する際には、コイル７に対して所
定の電流が供給される。そして、この磁気ヘッド１で
は、コイル７から発生する磁界により磁気コアに所定の
磁束が流れる。これにより、この磁気ヘッド１では、磁
気ギャップを挟んで漏れ磁界を発生する。磁気ヘッド１
は、この漏れ磁界を磁気記録媒体に印加することにより
磁気信号を記録する。

【００４１】上述したように、この磁気ヘッド１では、
磁気信号を記録再生する際、磁気コアに所定の磁束が流
れる。そして、磁気ヘッド１では、記録再生時における
電磁変換特性を向上させることが記録再生特性を向上さ
せることとなる。

【００４２】ところで、この磁気ヘッド１は、金属磁性
膜６が平行部６Ａを有し、この一対の金属磁性膜６をギ
ャップ材を介して突き合わせることにより磁気コアを形
成している。この金属磁性膜６は、詳細を後述するが、
スパッタリング法等の薄膜形成法を用いて形成されてい
る。このとき、金属磁性膜６は、平行面４Ｂに対して垂
直な方向から薄膜形成される。このため、金属磁性膜６
の平行部６Ａは、良好な磁気特性、特に、高い透磁率を
有するものとなる。

【００４３】これによって、この磁気ヘッド１では、磁
気コアの電磁変換特性が向上したものとなる。これに対
して、従来の技術の欄に述べたような磁気ヘッドの場
合、磁気コアを形成する金属磁性膜が平行部６Ａを有さ
ないような構成となっているため、磁気コア全体の透磁
率が比較的低い。このため、従来の磁気ヘッドでは、磁
気コアの電磁変換特性が良好でなく、記録再生特性が良
好なものとはならない。

【００４４】そこで、図３に示すように、上述した本実
施の形態に示した磁気ヘッド１と従来の磁気ヘッドとの
出力を測定して比較した。この図３から明らかなよう
に、本実施の形態に示した磁気ヘッドは、信号の周波数
に依存することなく、いかなる周波数においても従来の
磁気ヘッドよりも良好な記録再生特性を示した。

【００４５】次に、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
を図面を参照にして詳細に説明する。ここでは、上述し
た磁気ヘッド１を製造する際の製造方法を説明する。

【００４６】本実施の形態に係る磁気ヘッド１は、複数
個の磁気コア半体２，３が同一基板上に形成される。そ
して、磁気ヘッド１は、この基板を一対貼り合わせ、個
々の磁気ヘッド１に切り離すことにより形成される。

【００４７】先ず、この磁気ヘッド１を製造するには、
図４に示すように、略平板状の基板２１を用意する。こ
の基板２１は、磁気ヘッド１の非磁性基板４となるもの
であり、例えば、ＭｎＯ−ＮｉＯ等の非磁性材料からな
る。この基板２１は、例えば、厚み寸法が約２ｍｍとさ
れ、長さ寸法及び幅寸法が約３０ｍｍとされてなる。

【００４８】次に、図５に示すように、上述した基板２
１の一方側面２１Ａに対して第１の溝加工を施す。この
第１の溝加工では、その一方側面２１Ａに対して、砥石
等により、第１の磁気コア形成溝２３と第２の磁気コア
形成溝２４とを互い違いに平行に形成する。この第１の
磁気コア形成溝２３は、基板２１の一方側面２１Ａに凸
条部２３Ａを形成するためのものである。また、第２の
磁気コア形成溝２４は、凸条部２３Ａ上に形成され、傾
斜面２４Ａ及び平行面２４Ｂを形成するためのものであ
る。

【００４９】ここで、第１の磁気コア形成溝２３は、そ
の溝形状に限定されず、凸条部２３Ａを形成できる溝形
状であれば良い。そして、このとき、第１の磁気コア形
成溝２３は、その深さ寸法が３０μｍであり、幅寸法が
３００μｍであることが好ましい。

【００５０】また、第２の磁気コア形成溝２４は、傾斜
面２４Ａの傾斜角が、例えば４５゜となるように、傾斜
面２４Ａ及び平行面２４Ｂを形成する。ここで形成され
る傾斜面２４Ａは、基板平面に対して２５〜６０゜程度
の傾斜角が好ましいが、疑似ギャップやトラック幅精度
を考慮すると３５〜５０゜程度の傾斜角がより好まし
い。また、ここで、この第２の磁気コア形成溝２４は、
その深さ寸法が１０μｍであり、幅寸法が１５０μｍで
あることが好ましい。

【００５１】次に、図６に示すように、基板２１の平行
面２４Ｂが形成された面に対して、上述したような材料
からなる金属磁性膜６が成膜される。この成膜工程で
は、例えば、スパッタリング法が用いられる。このスパ
ッタリング法では、上述したような金属磁性膜６を構成
する金属磁性材料をターゲットとして、金属磁性粒子を
飛散させて基板２１の一方側面２１Ａ上に成膜する。

【００５２】このとき、金属磁性粒子の飛散方向は、平
行面２４Ｂに対して略垂直方向となっている。すなわ
ち、平行面２４Ｂには、略垂直方向から飛散してきた金
属磁性粒子が堆積することにより金属磁性膜６の平行部
６Ａが形成されることになる。そして、傾斜面２４Ａに
は、斜め方向から飛散してきた金属磁性粒子が堆積する
ことにより金属磁性膜６の傾斜部６Ｂが形成されること
になる。

【００５３】また、このスパッタリングでは、平行面２
４Ｂに対して略垂直な方向に金属磁性粒子を飛散させて
いるため、基板２１の一方側面２１Ａとターゲットとが
略平行となるように設置されている。これにより、この
手法では、複数条に形成された平行面２４Ｂがターゲッ
トに対してそれぞれ略々同一の距離を有している。した
がって、この手法によれば、複数条に形成された平行面
２４Ｂ上には、スパッタリングにより略々均一な膜厚の
金属磁性膜６が形成されることとなる。このとき、金属
磁性膜６は、非磁性層を介して３層の金属磁性材料が積
層されてなるように成膜される。この成膜工程は、例え
ばマグネトロンスパッタリング法等のＰＶＤ法又はＣＶ
Ｄ法等により行われてもよい。

【００５４】また、金属磁性膜６は、複数層の金属磁性
層を有するものに限定されず、単数層の金属磁性層から
なるような構成であってもよい。

【００５５】本実施の形態において、金属磁性膜６は、
複数層からなるような場合、例えば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ
合金（センダスト）５μｍ上にアルミナ０．１５μｍが
交互に積層され、３層のＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金層を有す
るような構成とした。また、金属磁性膜６が複数層から
なる場合、非磁性層としては、アルミナ、ＳｉＯ₂及び
ＳｉＯ等の材料が単独又は混合して用いられる。この非
磁性層の膜厚は、隣接して配される金属磁性層間の絶縁
を取れる程度が必要である。

【００５６】次に、図７に示すように、金属磁性膜６が
形成された面に対して第１の磁気コア形成溝２３と略直
交する方向に第２の溝加工を施す。この第２の溝加工で
は、所望の大きさの磁気コアに分離するために形成され
る分離溝２６と、この分離溝２６により分離された各磁
気コアにコイル形成用凹部を形成するための巻線溝２７
とが形成される。

【００５７】ここで、分離溝２６は、磁気コアを基板２
１上で前後方向に磁気的に分離して各磁気コアを形成
し、各磁気コアに閉磁路を構成するための溝である。こ
の分離溝２６は、図７の例示では２本形成されている
が、形成される磁気コア半体２，３の列の数だけ設ける
必要がある。また、この分離溝２６は、前後方向に並ん
で配される各磁気コアを磁気的に分離するため、金属磁
性膜６が完全に切断される程度の深さ寸法を有するよう
に形成される必要がある。具体的には、分離溝２６は、
平行面２４Ｂより２０μｍ深く、すなわち、３０μｍの
深さ寸法とされる。このように、この手法では、金属磁
性膜６を完全に切断するための分離溝２６が、従来の磁
気ヘッドを製造するときと比較すると浅く形成されてい
る。このため、この手法では、分離溝２６を形成するた
めに要する時間を短縮することができるとともに、分離
溝２６を形成するために使用する砥石の寿命を延ばすこ
とができる。

【００５８】一方、巻線溝２７は、前部突合せ面１０と
後部突合せ面１１とを有する磁気コアを形成し、コイル
形成用凹部１２を形成するために、金属磁性膜６を切断
しない程度の深さ寸法で形成される必要がある。巻線溝
２７は、その形状が前部突合せ面１０及びバックギャッ
プ１１の長さ寸法に応じて決定されるが、ここでは、幅
寸法が約１４０μｍ程度とされ、前部突合せ面１０の長
さ寸法が約３００μｍとなり、後部突合せ面１１の長さ
寸法が約８５μｍとなるように形成される。なお、この
巻線溝２７は、金属磁性膜６を切断することのない程度
の深さ寸法でよいが、深すぎると磁路長が大きくなって
磁束伝達の効率が低下する虞れがある。また、巻線溝２
７は、その深さ寸法が後述する工程で形成されるコイル
７の厚み寸法に依存するが、ここでは、例えば約７μｍ
とした。さらに、この巻線溝２７は、その形状が限定さ
れるものではないが、ここでは、例えば前部突合せ面９
側の側面を約４５゜の傾斜面２７Ａとする。これによ
り、この金属磁性膜６は、前部突合せ面９側に磁束が集
中する構造となることによって、感度が向上したものと
なる。

【００５９】次に、図８に示すように、上述したように
第１の磁気コア形成溝２３、第２の磁気コア形成溝２
４、分離溝２６及び巻線溝２７が形成された基板２１の
一主面に対して溶融した低融点ガラス２９を充填させ
る。そして、低融点ガラス２９が充填された一主面に対
して表面平坦化処理を施す。この手法では、上述したよ
うに、分離溝２６等の深さ寸法が比較的浅いため、この
低融点ガラス２９の量が少なくて済む。したがって、こ
の手法は、低融点ガラス２９を削減することができるた
めに生産性が向上したものといえる。また、これら溝に
対して充填する低融点ガラス２９の量を削減するという
ことは、低融点ガラス２９内に発生する泡の発生を抑え
ることとなり、耐食性を向上させることもできる。

【００６０】次に、図９に示すように、砥石等を用いて
研削加工することにより端子溝３０を形成する。この端
子溝３０は、上述した分離溝２６の直上に位置するよう
に形成され、その幅寸法が約２００μｍとされ、深さ寸
法が約１００μｍとされてなる。そして、この端子溝３
０内にＣｕ等の良導体をメッキ法等により充填する。そ
の後、平坦化処理を行う。この端子溝３０に充填された
Ｃｕ等の良導体は、上述した磁気ヘッド１における外部
接続用端子１４となるものである。

【００６１】次に、図１０に示すように、コイル７が薄
膜形成されるコイル形成用凹部１２を形成する。このコ
イル形成用凹部１２は、後部突合せ面１１を略中心とす
る略矩形状として、後部突合せ面１１を除く部分をエッ
チングすることにより形成される。また、このコイル形
成用凹部１２は、その一端から端子溝３０に達する溝１
２Ａを有している。

【００６２】次に、図１１に示すように、コイル形成用
凹部１２内にコイル７を薄膜形成する。このコイル７
は、後部突合せ面１１の近傍を一方端部７Ａとした円を
描くように、多数回巻回された形状を有する。また、こ
のコイル７は、コイル形成用凹部１２の一端に形成され
た溝１２Ａ内に引き出され、他方端部７Ｂが端子溝３０
に充填された良導体からなる外部接続用端子１４と電気
的に接続される。

【００６３】このコイル７を形成する際には、先ず、フ
ォトレジストにより上述したようなコイル形状をパター
ニングする。次に、コイル形成用凹部１２にＣｕ等の良
導体を鍍金等の手法によって、約３μｍ程度の厚みとな
るように薄膜形成する。そして、フォトレジストを除去
することによって、パターニングされたコイル形状とさ
れるコイル７を形成することができる。なお、このコイ
ル７を形成するに際して、上述した鍍金法だけでなく、
スパッタリング法や蒸着法等を用いることができる。

【００６４】次に、図１２に示すように、コイル７の一
方端部７Ａにコイル接続用端子１３を形成する。このコ
イル接続用端子１３は、後部突合せ面１１の近傍にある
コイル７の一方端部７Ａ上に形成される。コイル接続用
端子１３は、良導体材料からなり、一対の磁気コア半体
２，３の接合面２Ａ，３Ａと略々等しい高さ寸法を有し
ている。

【００６５】次に、コイル７を外気との接触から保護す
るための保護層（図示せず。）を形成する。この保護層
は、上述したコイル７を形成したコイル形成用凹部１２
を埋め込むように形成される。その後、保護層が形成さ
れた表面に対して平坦化処理を行う。この平坦化処理で
は、前部突合せ面１０、後部突合せ面１１及びコイル接
続用端子１３が外方へ露出するまで行われる。

【００６６】次に、図１３に示すように、磁気コア半体
２，３が平行に複数列形成された基板を、一方の磁気コ
ア半体２と他方の磁気コア半体３とがそれぞれ一列毎と
なるように切断し、コイル７が形成された面が対向する
ように金属拡散接合により接合する。この金属拡散接合
には、非磁性金属材料、例えば、金が用いられる。した
がって、この金を前部突合せ面１０間に成膜して金属拡
散接合を行うことによって、磁気ギャップを形成する。

【００６７】次に、図１４に示すように、磁気ヘッドブ
ロック３２を個々の磁気ヘッド１に分離する。このと
き、磁気ヘッドブロック３２は、図１４中Ｂ−Ｂ線で示
す部分で切断される。

【００６８】これにより、前部突合せ面１０間に磁気ギ
ャップを有する磁気ヘッド１が形成される。そして、図
示しないが、この磁気ヘッド１の媒体摺動面に対して表
面が円筒形を呈するように研磨加工が施される。また、
磁気記録媒体との当たり特性が良好なものとなるため
に、媒体摺動面に対して当たり規制溝８を形成する。こ
の当たり規制溝８は、磁気記録媒体の摺動方向に対して
略平行となるように形成され、磁気記録媒体との摩擦を
規制している。

【００６９】以上のような本発明に係る磁気ヘッドの製
造方法では、平行部６Ａを、金属磁性粒子が平行面２３
Ｂ上に垂直方向に堆積することで形成している。このた
め、この平行部６Ａは、の透磁率が高い値をしめす。し
たがって、この手法によれば、金属磁性膜６全体として
も透磁率が向上したものとなり、電磁変換特性に優れた
磁気コアを形成することができる。言い換えると、この
手法によれば、優れた記録再生特性を有する磁気ヘッド
を製造することができる。

【００７０】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明に係
る磁気ヘッドでは、磁性層が基板に対して平行になるよ
うに形成された部分を有するために、磁気特性に優れた
磁気コアを有することとなる。したがって、この磁気ヘ
ッドは、記録再生特性に優れたものとなる。

【００７１】また、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
によれば、基板に対して平行な磁性層を形成することが
できる。このため、この手法によれば、優れた電磁変換
特性を有する磁気コアを備える磁気ヘッドを製造するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの分解斜視図である。

【図２】同磁気ヘッドの媒体摺動面の要部斜視図であ
る。

【図３】同時機ヘッドと従来の磁気ヘッドとの出力を比
較した特性図である。

【図４】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための図であり、基板を示す斜視図である。

【図５】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための図であり、第１の溝加工を施した基板の斜視図で
ある。

【図６】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための図であり、金属磁性膜を成膜した基板の斜視図で
ある。

【図７】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための図であり、第２の溝加工を施した基板の斜視図で
ある。

【図８】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための図であり、各溝に低融点ガラスを充填した状態の
基板の斜視図である。

【図９】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための図であり、低融点ガラスに端子溝を形成した基板
の斜視図である。

【図１０】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための図であり、コイル形成用凹部を形成した基板の
要部斜視図である。

【図１１】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための図であり、コイルを形成した基板の要部斜視図
である。

【図１２】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための図であり、コイル接続用端子を形成した基板の
要部斜視図である。

【図１３】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための図であり、磁気コア半体が形成されたブロック
を突き合わせた状態を示す斜視図である。

【図１４】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための図であり、磁気ヘッドブロックの斜視図であ
る。

【図１５】従来の磁気ヘッドの斜視図である。

【図１６】従来の磁気ヘッドの製造方法におけるスパッ
タリング法を模式的に示す概略構成図である。

【図１７】金属磁性粒子の飛散方向と透磁率との関係を
測定するための測定装置の概略構成図である。

【図１８】金属磁性粒子の飛散方向と透磁率との関係を
示す特性図である。

【図１９】従来の磁気ヘッドの製造方法における他のス
パッタリング法を模式的に示す概略構成図である。

【符号の説明】

１ 磁気ヘッド、２，３ 磁気コア半体、４ 非磁性基
板、６ 金属磁性膜、７コイル、８ 当たり幅規制溝、
１０ 前部突合せ面、１１ 後部突合せ面、１２ コイ
ル形成用凹部、１３ コイル接続用端子

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板と、この基板上に形成された磁性層
   とを有する一対の磁気コア半体が、非磁性体を介して該
   磁性層同士が対向するように突き合わされて磁気ギャッ
   プを形成する磁気ヘッドにおいて、 上記基板は、基板面と平行な平行面とこの平行面から所
   定の角度をもって傾斜された傾斜面とを有するととも
   に、上記磁性層は、この平行面及び傾斜面の上面に形成
   されるとともに、一対の磁気コア半体は、上記傾斜面に
   形成された磁性層の端面同士が接合されることにより磁
   気ギャップを形成することを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 上記一対の磁気コア半体の少なくとも一
   方には、上記磁性層を巻回する薄膜コイルが形成されて
   いることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 上記磁性層は、金属磁性薄膜からなるこ
   とを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 上記金属磁性薄膜は、非磁性層を介して
   複数の金属磁性層が積層されてなることを特徴とする請
   求項３記載の磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 基板と、この基板上に形成された磁性層
   とを有する一対の磁気コア半体が、非磁性体を介して該
   磁性層同士が対向するように突き合わされて磁気ギャッ
   プを形成する磁気ヘッドの製造方法において、 上記基板を、基板面と平行な平行面とこの平行面からか
   ら所定の角度をもって傾斜された傾斜面と有するように
   形成し、 上記磁性層を成膜する際の成膜方向が上記平行面に対し
   て直交する方向となるように上記磁性層を形成し、 上記傾斜面に形成された上記磁性層の端面同士を突き合
   わせることにより磁気ギャップを形成することを特徴と
   する磁気ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】 上記一対の磁気コア半体の少なくとも一
   方に、上記磁性層を巻回する薄膜コイルを形成すること
   を特徴とする請求項５記載の磁気ヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】 上記磁性層は、スパッタリング法により
   形成されることを特徴とする請求項５記載の磁気ヘッド
   の製造方法。
8. 【請求項８】 上記磁性層は、金属磁性薄膜からなるこ
   とを特徴とする請求項５記載の磁気ヘッドの製造方法。
9. 【請求項９】 上記金属磁性薄膜は、非磁性層を介して
   複数の金属磁性層が積層されてなることを特徴とする請
   求項８記載の磁気ヘッドの製造方法。