JPH10249566A - レーザ加工方法および装置 - Google Patents
レーザ加工方法および装置Info
- Publication number
- JPH10249566A JPH10249566A JP9055058A JP5505897A JPH10249566A JP H10249566 A JPH10249566 A JP H10249566A JP 9055058 A JP9055058 A JP 9055058A JP 5505897 A JP5505897 A JP 5505897A JP H10249566 A JPH10249566 A JP H10249566A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- laser
- nozzle
- laser processing
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノズル中心と照射光軸軸心との調整を自動的
に行うことにより、レーザ加工装置の自動化を図り、人
体にレーザビームを照射してしまう等の危険性をなく
す。 【解決手段】 レーザ発振器３から発振されたレーザビ
ームＬＢをレーザ加工ヘッド９内に備えた集光レンズ１
３により集光せしめてレーザ加工ヘッドの先端に備えら
れているノズル１９からワークＷに照射してレーザ加工
を行うレーザ加工装置１である。レーザ加工ヘッドに備
えられた光電変換素子でなるセンサ２７により、レーザ
ビームの軸心の輝度を検出し、この検出された輝度のデ
ータと予めレーザビームの軸心がノズルの中心にあると
きの設定輝度を比較してノズル穴２１の中心と照射光軸
軸心１５のズレを判断する。このズレのデータに基づい
てノズル１９の中心と照射光軸軸心位置とを合わせるべ
くアクチュエータ２３によりノズル１９を人の判断に基
づくことなく自動的に移動調整する。
に行うことにより、レーザ加工装置の自動化を図り、人
体にレーザビームを照射してしまう等の危険性をなく
す。 【解決手段】 レーザ発振器３から発振されたレーザビ
ームＬＢをレーザ加工ヘッド９内に備えた集光レンズ１
３により集光せしめてレーザ加工ヘッドの先端に備えら
れているノズル１９からワークＷに照射してレーザ加工
を行うレーザ加工装置１である。レーザ加工ヘッドに備
えられた光電変換素子でなるセンサ２７により、レーザ
ビームの軸心の輝度を検出し、この検出された輝度のデ
ータと予めレーザビームの軸心がノズルの中心にあると
きの設定輝度を比較してノズル穴２１の中心と照射光軸
軸心１５のズレを判断する。このズレのデータに基づい
てノズル１９の中心と照射光軸軸心位置とを合わせるべ
くアクチュエータ２３によりノズル１９を人の判断に基
づくことなく自動的に移動調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工方法お
よび装置に関し、特にレーザビームの軸心とノズル穴の
中心とのズレを検出し、このズレを自動的に調整するレ
ーザ加工方法および装置に関する。
よび装置に関し、特にレーザビームの軸心とノズル穴の
中心とのズレを検出し、このズレを自動的に調整するレ
ーザ加工方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザ加工装置においては、レー
ザ発振器から出力されたレーザビームＬＢをベンドミラ
ーで変向し、図９に示されているように、レーザ加工ヘ
ッド１０１内に備えられた集光レンズ１０３を用いて集
束するものであり、この集光されたレーザビームＬＢの
高密度エネルギとアシストガスとをワークに照射して切
断、穿孔、溶接等のレーザ加工が行われる。
ザ発振器から出力されたレーザビームＬＢをベンドミラ
ーで変向し、図９に示されているように、レーザ加工ヘ
ッド１０１内に備えられた集光レンズ１０３を用いて集
束するものであり、この集光されたレーザビームＬＢの
高密度エネルギとアシストガスとをワークに照射して切
断、穿孔、溶接等のレーザ加工が行われる。
【０００３】安定したレーザ加工を行うためには、レー
ザビームＬＢが前記レーザ加工ヘッド１０３の下端に設
けられたノズル１０５の先端のノズル穴の中心位置から
出射されるように導かれる必要があるが、このレーザビ
ームＬＢの軸心とノズル穴の中心との位置関係がズレて
いると、レーザ加工に異方性が発生し、安定した加工を
行うことが困難である。そのために、レーザ加工ヘッド
１０１にはレーザビームＬＢの軸心にノズル穴の中心を
合わせるためにノズル１０５を移動調整すべく複数のア
ジャスト機構１０７が備えられている。
ザビームＬＢが前記レーザ加工ヘッド１０３の下端に設
けられたノズル１０５の先端のノズル穴の中心位置から
出射されるように導かれる必要があるが、このレーザビ
ームＬＢの軸心とノズル穴の中心との位置関係がズレて
いると、レーザ加工に異方性が発生し、安定した加工を
行うことが困難である。そのために、レーザ加工ヘッド
１０１にはレーザビームＬＢの軸心にノズル穴の中心を
合わせるためにノズル１０５を移動調整すべく複数のア
ジャスト機構１０７が備えられている。
【０００４】ノズル穴の中心とレーザビームＬＢの軸心
とのズレは、ワークにレーザビームＬＢを照射したとき
に発生するスパッタの飛ぶ方向や、ノズル１０５の先端
部に粘着テープ等を貼り付けておき、レーザビームＬＢ
を出射したときにあいた穴とノズル１０５の位置関係を
観察し、この状況を判断し調整する。
とのズレは、ワークにレーザビームＬＢを照射したとき
に発生するスパッタの飛ぶ方向や、ノズル１０５の先端
部に粘着テープ等を貼り付けておき、レーザビームＬＢ
を出射したときにあいた穴とノズル１０５の位置関係を
観察し、この状況を判断し調整する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のレー
ザ加工装置においては、集光レンズ１０３やノズル１０
５等の交換を行うと、レーザビームＬＢとノズル１０５
の中心とを調整する必要があり、この調整には必ず作業
者による判断が必要となるので、煩わしさと手間がかか
るという問題点に加えて、レーザ加工装置の自動化を図
る上で自動化対応のネックとなるという問題点があっ
た。
ザ加工装置においては、集光レンズ１０３やノズル１０
５等の交換を行うと、レーザビームＬＢとノズル１０５
の中心とを調整する必要があり、この調整には必ず作業
者による判断が必要となるので、煩わしさと手間がかか
るという問題点に加えて、レーザ加工装置の自動化を図
る上で自動化対応のネックとなるという問題点があっ
た。
【０００６】また、ノズル１０５の中心とレーザビーム
ＬＢの軸心とのズレを確認する際に、レーザ加工ヘッド
１０１の近辺にてレーザビームＬＢの照射を行ったり、
ノズル１０５の先端部に粘着テープを貼り付ける必要が
あるために、このとき人体にレーザビームＬＢを照射し
てしまう可能性があるので危険であるという問題点があ
った。
ＬＢの軸心とのズレを確認する際に、レーザ加工ヘッド
１０１の近辺にてレーザビームＬＢの照射を行ったり、
ノズル１０５の先端部に粘着テープを貼り付ける必要が
あるために、このとき人体にレーザビームＬＢを照射し
てしまう可能性があるので危険であるという問題点があ
った。
【０００７】本発明は叙上の課題を解決するためになさ
れたもので、その目的は、ノズルの中心とレーザビーム
の軸心との調整を自動的に行うことにより、レーザ加工
装置の自動化に対応し、人間による危険な作業をなくす
るようにしたレーザ加工方法および装置にある。
れたもので、その目的は、ノズルの中心とレーザビーム
の軸心との調整を自動的に行うことにより、レーザ加工
装置の自動化に対応し、人間による危険な作業をなくす
るようにしたレーザ加工方法および装置にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明のレーザ加工方法は、レーザ
発振器から発振されたレーザビームをベンドミラーを介
して変向し、このレーザビームをレーザ加工ヘッド内に
備えた集光レンズにより集光せしめて前記レーザ加工ヘ
ッドの先端に備えられているノズルからワークに照射し
てレーザ加工を行うレーザ加工方法において、前記レー
ザ加工ヘッドに備えられた光電変換素子からなるセンサ
により、レーザビームの軸心の輝度を検出し、この検出
された輝度のデータと予めレーザビームの軸心がノズル
の中心にあるときの設定輝度を比較し、検出された輝度
を前記設定輝度に合わせるべく前記ノズルの位置又はベ
ンドミラーの傾きを自動的に移動調整することを特徴と
するものである。
に請求項１によるこの発明のレーザ加工方法は、レーザ
発振器から発振されたレーザビームをベンドミラーを介
して変向し、このレーザビームをレーザ加工ヘッド内に
備えた集光レンズにより集光せしめて前記レーザ加工ヘ
ッドの先端に備えられているノズルからワークに照射し
てレーザ加工を行うレーザ加工方法において、前記レー
ザ加工ヘッドに備えられた光電変換素子からなるセンサ
により、レーザビームの軸心の輝度を検出し、この検出
された輝度のデータと予めレーザビームの軸心がノズル
の中心にあるときの設定輝度を比較し、検出された輝度
を前記設定輝度に合わせるべく前記ノズルの位置又はベ
ンドミラーの傾きを自動的に移動調整することを特徴と
するものである。
【０００９】したがって、レーザビームの軸心がノズル
穴の中心に位置するときとズレが生じているときは、レ
ーザビームの軸心の輝度に差が生じるので、センサによ
り検出された輝度のデータを予めレーザビームの軸心が
ノズルの中心にあるときの設定輝度に合わせるべくノズ
ルを移動調整することによりノズルの中心がレーザビー
ムの軸心に自動的に合わされる。
穴の中心に位置するときとズレが生じているときは、レ
ーザビームの軸心の輝度に差が生じるので、センサによ
り検出された輝度のデータを予めレーザビームの軸心が
ノズルの中心にあるときの設定輝度に合わせるべくノズ
ルを移動調整することによりノズルの中心がレーザビー
ムの軸心に自動的に合わされる。
【００１０】あるいは、センサにより検出された輝度の
データを前記設定輝度に合わせるべくベンドミラーの傾
きを自動的に移動調整されることによりレーザビームの
軸心が変向されてレーザビームの軸心がノズルの中心に
自動的に合わされる。
データを前記設定輝度に合わせるべくベンドミラーの傾
きを自動的に移動調整されることによりレーザビームの
軸心が変向されてレーザビームの軸心がノズルの中心に
自動的に合わされる。
【００１１】請求項２によるこの発明のレーザ加工方法
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工方法におい
て、前記レーザ加工ヘッドに備えられた光電変換素子か
らなるセンサにより、素材を形状加工するときの各加工
位置の輝度の差に基づく異方性を検出し、検出される前
記各加工位置の輝度をほぼ同一にすべく前記ノズルの位
置又はベンドミラーの傾き又は前記レーザ発振器の位置
を自動的に移動調整することを特徴とするものである。
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工方法におい
て、前記レーザ加工ヘッドに備えられた光電変換素子か
らなるセンサにより、素材を形状加工するときの各加工
位置の輝度の差に基づく異方性を検出し、検出される前
記各加工位置の輝度をほぼ同一にすべく前記ノズルの位
置又はベンドミラーの傾き又は前記レーザ発振器の位置
を自動的に移動調整することを特徴とするものである。
【００１２】したがって、レーザビームの軸心がノズル
穴の中心に位置するときはワークの形状加工時に各加工
位置における輝度がほぼ同じであるが、ノズル穴の中心
とレーザビームの軸心とのズレが生じているときは前記
各加工位置における輝度に異方性としての差が生じるの
で、前記各加工位置における輝度をほぼ同じにすべくノ
ズルを移動調整することによりノズルの中心がレーザビ
ームの軸心に自動的に合わされる。
穴の中心に位置するときはワークの形状加工時に各加工
位置における輝度がほぼ同じであるが、ノズル穴の中心
とレーザビームの軸心とのズレが生じているときは前記
各加工位置における輝度に異方性としての差が生じるの
で、前記各加工位置における輝度をほぼ同じにすべくノ
ズルを移動調整することによりノズルの中心がレーザビ
ームの軸心に自動的に合わされる。
【００１３】あるいは、前記各加工位置における輝度を
ほぼ同じにすべくベンドミラーの傾きを自動的に移動調
整されることによりレーザビームの軸心が変向されてレ
ーザビームの軸心がノズルの中心に自動的に合わされ
る。
ほぼ同じにすべくベンドミラーの傾きを自動的に移動調
整されることによりレーザビームの軸心が変向されてレ
ーザビームの軸心がノズルの中心に自動的に合わされ
る。
【００１４】請求項３によるこの発明のレーザ加工方法
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工方法におい
て、前記レーザ加工ヘッドに備えられた撮像手段によ
り、ノズル穴の中心とレーザビームの軸心とのズレを検
出し、この撮像手段で検出された検出信号に基づいてノ
ズルの中心とレーザビームの軸心位置を合わせるべく前
記ノズルの位置又はベンドミラーの傾きを自動的に移動
調整することを特徴とするものである。
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工方法におい
て、前記レーザ加工ヘッドに備えられた撮像手段によ
り、ノズル穴の中心とレーザビームの軸心とのズレを検
出し、この撮像手段で検出された検出信号に基づいてノ
ズルの中心とレーザビームの軸心位置を合わせるべく前
記ノズルの位置又はベンドミラーの傾きを自動的に移動
調整することを特徴とするものである。
【００１５】したがって、撮像手段はノズル穴の中心と
レーザビームの軸心とのズレ量とズレの方向を検出し、
この撮像手段で検出された検出信号に基づいてノズルが
レーザ加工ヘッドに対して自動的に移動されることによ
り、作業者の判断に基づくことなくノズルの中心がレー
ザビームの軸心に自動的に合わされる。
レーザビームの軸心とのズレ量とズレの方向を検出し、
この撮像手段で検出された検出信号に基づいてノズルが
レーザ加工ヘッドに対して自動的に移動されることによ
り、作業者の判断に基づくことなくノズルの中心がレー
ザビームの軸心に自動的に合わされる。
【００１６】あるいは、検出された検出信号に基づいて
ベンドミラーの傾きを自動的に移動調整されることによ
りレーザビームの軸心が変向されてレーザビームの軸心
がノズルの中心に自動的に合わされる。
ベンドミラーの傾きを自動的に移動調整されることによ
りレーザビームの軸心が変向されてレーザビームの軸心
がノズルの中心に自動的に合わされる。
【００１７】したがって、レーザ加工装置の自動化を図
ることが容易になり、また人体にレーザビームを照射し
てしまう等の人体に対する危険性がなくなる。
ることが容易になり、また人体にレーザビームを照射し
てしまう等の人体に対する危険性がなくなる。
【００１８】請求項４によるこの発明のレーザ加工装置
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置におい
て、前記ノズルをレーザビームの軸心にほぼ直交する平
面で自在に移動調整するアクチュエータ、又はレーザビ
ームの軸心を移動すべく前記ベンドミラーの傾きを移動
調整するアクチュエータを設け、前記レーザ加工ヘッド
に備えられてレーザビームの軸心の輝度を検出する光電
変換素子からなるセンサを設け、このセンサで検出され
た輝度のデータと予めレーザビームの軸心がノズルの中
心にあるときの設定輝度を比較し、検出された輝度を前
記設定輝度に合わせるべく前記アクチュエータを作動せ
しめる制御装置を設けてなることを特徴とするものであ
る。
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置におい
て、前記ノズルをレーザビームの軸心にほぼ直交する平
面で自在に移動調整するアクチュエータ、又はレーザビ
ームの軸心を移動すべく前記ベンドミラーの傾きを移動
調整するアクチュエータを設け、前記レーザ加工ヘッド
に備えられてレーザビームの軸心の輝度を検出する光電
変換素子からなるセンサを設け、このセンサで検出され
た輝度のデータと予めレーザビームの軸心がノズルの中
心にあるときの設定輝度を比較し、検出された輝度を前
記設定輝度に合わせるべく前記アクチュエータを作動せ
しめる制御装置を設けてなることを特徴とするものであ
る。
【００１９】したがって、請求項１における作用と同様
であり、制御装置はセンサにより検出された輝度のデー
タを予めレーザビームの軸心がノズルの中心にあるとき
の設定輝度に合わせるべくアクチュエータを作動してノ
ズルを自動的に移動するよう指令を発生する。結果とし
て、作業者の判断に基づくことなくノズルの中心がレー
ザビームの軸心に自動的に合わされ、レーザ加工装置の
自動化を図ることが容易になり、また人体にレーザビー
ムを照射してしまう等の人体に対する危険性がなくな
る。
であり、制御装置はセンサにより検出された輝度のデー
タを予めレーザビームの軸心がノズルの中心にあるとき
の設定輝度に合わせるべくアクチュエータを作動してノ
ズルを自動的に移動するよう指令を発生する。結果とし
て、作業者の判断に基づくことなくノズルの中心がレー
ザビームの軸心に自動的に合わされ、レーザ加工装置の
自動化を図ることが容易になり、また人体にレーザビー
ムを照射してしまう等の人体に対する危険性がなくな
る。
【００２０】あるいは、センサにより検出された輝度の
データを前記設定輝度に合わせるべくアクチュエータを
作動してベンドミラーの傾きを自動的に移動するよう指
令を発生し、レーザビームの軸心が変向されてレーザビ
ームの軸心がノズルの中心に自動的に合わされる。
データを前記設定輝度に合わせるべくアクチュエータを
作動してベンドミラーの傾きを自動的に移動するよう指
令を発生し、レーザビームの軸心が変向されてレーザビ
ームの軸心がノズルの中心に自動的に合わされる。
【００２１】請求項５によるこの発明のレーザ加工装置
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置におい
て、前記ノズルをレーザビームの軸心にほぼ直交する平
面で自在に移動調整するアクチュエータ、又はレーザビ
ームの軸心を移動すべく前記ベンドミラーの傾きを移動
調整するアクチュエータを設け、前記レーザ加工ヘッド
に備えられてレーザビームの軸心の輝度を検出する光電
変換素子からなるセンサを設け、素材を形状加工すると
きの各加工位置の輝度の差に基づく異方性を割出すと共
に前記各加工位置の輝度をほぼ同一にすべく前記アクチ
ュエータを作動せしめる制御装置を設けてなることを特
徴とするものである。
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置におい
て、前記ノズルをレーザビームの軸心にほぼ直交する平
面で自在に移動調整するアクチュエータ、又はレーザビ
ームの軸心を移動すべく前記ベンドミラーの傾きを移動
調整するアクチュエータを設け、前記レーザ加工ヘッド
に備えられてレーザビームの軸心の輝度を検出する光電
変換素子からなるセンサを設け、素材を形状加工すると
きの各加工位置の輝度の差に基づく異方性を割出すと共
に前記各加工位置の輝度をほぼ同一にすべく前記アクチ
ュエータを作動せしめる制御装置を設けてなることを特
徴とするものである。
【００２２】したがって、請求項２における作用と同様
であり、レーザビームの軸心がノズル穴の中心に位置す
るときはワークの形状加工時に各加工位置における輝度
がほぼ同じであるが、ノズル穴の中心とレーザビームの
軸心とのズレが生じているときは前記各加工位置におけ
る輝度に異方性としての差が生じるので、制御装置はセ
ンサにより検出された前記各加工位置における輝度をほ
ぼ同じにすべくアクチュエータを作動してノズルを自動
的に移動するよう指令を発生し、ノズルの中心がレーザ
ビームの軸心に自動的に合わされる。
であり、レーザビームの軸心がノズル穴の中心に位置す
るときはワークの形状加工時に各加工位置における輝度
がほぼ同じであるが、ノズル穴の中心とレーザビームの
軸心とのズレが生じているときは前記各加工位置におけ
る輝度に異方性としての差が生じるので、制御装置はセ
ンサにより検出された前記各加工位置における輝度をほ
ぼ同じにすべくアクチュエータを作動してノズルを自動
的に移動するよう指令を発生し、ノズルの中心がレーザ
ビームの軸心に自動的に合わされる。
【００２３】あるいは、前記各加工位置における輝度を
ほぼ同じにすべくアクチュエータを作動してベンドミラ
ーの傾きを自動的に移動するよう指令を発生し、レーザ
ビームの軸心が変向されてレーザビームの軸心がノズル
の中心に自動的に合わされる。
ほぼ同じにすべくアクチュエータを作動してベンドミラ
ーの傾きを自動的に移動するよう指令を発生し、レーザ
ビームの軸心が変向されてレーザビームの軸心がノズル
の中心に自動的に合わされる。
【００２４】請求項６によるこの発明のレーザ加工装置
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置におい
て、前記ノズルをレーザビームの軸心にほぼ直交する平
面で自在に移動調整するアクチュエータ、又はレーザビ
ームの軸心を移動すべく前記ベンドミラーの傾きを移動
調整するアクチュエータを設け、前記レーザ加工ヘッド
に備えられてレーザビームの軸心を検出する撮像手段を
設け、この撮像手段で検出した検出信号に基づいてノズ
ルの中心とレーザビームの軸心位置を合わせるべく前記
アクチュエータを作動せしめる制御装置を設けてなるこ
とを特徴とするものである。
は、レーザ発振器から発振されたレーザビームをベンド
ミラーを介して変向し、このレーザビームをレーザ加工
ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せしめて前記レ
ーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズルからワー
クに照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置におい
て、前記ノズルをレーザビームの軸心にほぼ直交する平
面で自在に移動調整するアクチュエータ、又はレーザビ
ームの軸心を移動すべく前記ベンドミラーの傾きを移動
調整するアクチュエータを設け、前記レーザ加工ヘッド
に備えられてレーザビームの軸心を検出する撮像手段を
設け、この撮像手段で検出した検出信号に基づいてノズ
ルの中心とレーザビームの軸心位置を合わせるべく前記
アクチュエータを作動せしめる制御装置を設けてなるこ
とを特徴とするものである。
【００２５】したがって、請求項３における作用と同様
であり、撮像手段はノズル穴の中心とレーザビームの軸
心とのズレ量とズレの方向を検出し、制御装置は前記撮
像手段で検出された検出信号に基づいてアクチュエータ
を作動してノズルが移動するよう指令を発生し、作業者
の判断に基づくことなくノズルの中心がレーザビームの
軸心に自動的に合わされる。
であり、撮像手段はノズル穴の中心とレーザビームの軸
心とのズレ量とズレの方向を検出し、制御装置は前記撮
像手段で検出された検出信号に基づいてアクチュエータ
を作動してノズルが移動するよう指令を発生し、作業者
の判断に基づくことなくノズルの中心がレーザビームの
軸心に自動的に合わされる。
【００２６】あるいは、制御装置は検出された検出信号
に基づいてアクチュエータを作動してベンドミラーの傾
きを移動するよう指令を発生し、レーザビームの軸心が
変向されてレーザビームの軸心がノズルの中心に自動的
に合わされる。
に基づいてアクチュエータを作動してベンドミラーの傾
きを移動するよう指令を発生し、レーザビームの軸心が
変向されてレーザビームの軸心がノズルの中心に自動的
に合わされる。
【００２７】したがって、レーザ加工装置の自動化を図
ることが容易になり、また人体にレーザビームを照射し
てしまう等の人体に対する危険性がなくなる。
ることが容易になり、また人体にレーザビームを照射し
てしまう等の人体に対する危険性がなくなる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、本発明のレーザ加工方法お
よび装置の実施の形態について、図面を参照して説明す
る。
よび装置の実施の形態について、図面を参照して説明す
る。
【００２９】図８を参照するに、本実施の形態の例に係
わる例えばレーザ加工機１はレーザビームＬＢを発振す
るレーザ発振器３を内蔵し、このレーザ発振器３で発振
されたレーザビームＬＢは強度調整装置５を経てレーザ
ビーム案内照射部７の先端部に備えられたレーザ加工ヘ
ッド９の部分においてベンドミラー１１を介して垂直下
方向へ反射される。このレーザビームＬＢはレーザ加工
ヘッド９の内部に設けられた焦光レンズ１３で集光され
る。この集光されたレーザビームＬＢの照射光軸軸心１
５に対して、例えば数値制御のワーク移送位置決め装置
１７（ワーク搬送装置）で移送位置決めされたワークＷ
上に、レーザビームＬＢの焦点を結ばせて、所望の形状
に切断するなどのレーザ加工が行なわれる。
わる例えばレーザ加工機１はレーザビームＬＢを発振す
るレーザ発振器３を内蔵し、このレーザ発振器３で発振
されたレーザビームＬＢは強度調整装置５を経てレーザ
ビーム案内照射部７の先端部に備えられたレーザ加工ヘ
ッド９の部分においてベンドミラー１１を介して垂直下
方向へ反射される。このレーザビームＬＢはレーザ加工
ヘッド９の内部に設けられた焦光レンズ１３で集光され
る。この集光されたレーザビームＬＢの照射光軸軸心１
５に対して、例えば数値制御のワーク移送位置決め装置
１７（ワーク搬送装置）で移送位置決めされたワークＷ
上に、レーザビームＬＢの焦点を結ばせて、所望の形状
に切断するなどのレーザ加工が行なわれる。
【００３０】前記レーザ加工ヘッド９の先端部には、図
１に示されるようにノズル１９が設けられ、このノズル
１９の先端のノズル穴２１から前記レーザビームＬＢが
下方のワークＷに向けて出射される。
１に示されるようにノズル１９が設けられ、このノズル
１９の先端のノズル穴２１から前記レーザビームＬＢが
下方のワークＷに向けて出射される。
【００３１】前記ノズル１９にはレーザ加工ヘッド９と
の相対的な位置関係を調整するためのアクチュエータと
してのピエゾアクチュエータ２３が設けられており、こ
のピエゾアクチュエータ２３により前記ノズル１９は照
射光軸軸心１５（レーザビームＬＢの軸心）にほぼ直交
する平面で、図１において紙面に垂直方向のＸ軸および
図１において左右方向のY 軸方向に位置決め調整移動自
在に設けられている。なお、前記ピエゾアクチュエータ
２３は後述する制御装置２５に電気的に接続されてい
る。
の相対的な位置関係を調整するためのアクチュエータと
してのピエゾアクチュエータ２３が設けられており、こ
のピエゾアクチュエータ２３により前記ノズル１９は照
射光軸軸心１５（レーザビームＬＢの軸心）にほぼ直交
する平面で、図１において紙面に垂直方向のＸ軸および
図１において左右方向のY 軸方向に位置決め調整移動自
在に設けられている。なお、前記ピエゾアクチュエータ
２３は後述する制御装置２５に電気的に接続されてい
る。
【００３２】なお、前記ノズル１９を位置決め調整移動
する手段としては上記のピエゾアクチュエータ２３に限
定されず、サーボモータやステッピングモータ等の他の
アクチュエータを用いることもできる。
する手段としては上記のピエゾアクチュエータ２３に限
定されず、サーボモータやステッピングモータ等の他の
アクチュエータを用いることもできる。
【００３３】ノズル穴２１の中心からの照射光軸軸心１
５のズレは、例えば図２のように表れる。このノズル穴
２１の中心と照射光軸軸心１５とのズレを検出するため
に、この実施の形態の例では、光電変換素子からなるフ
ォトダイオードをセンサ２７として用い、このセンサ２
７がレーザ加工ヘッド９の内部に設けられている。
５のズレは、例えば図２のように表れる。このノズル穴
２１の中心と照射光軸軸心１５とのズレを検出するため
に、この実施の形態の例では、光電変換素子からなるフ
ォトダイオードをセンサ２７として用い、このセンサ２
７がレーザ加工ヘッド９の内部に設けられている。
【００３４】また、前記フォトダイオード２９で検出し
た検出信号をＡＤ変換するＡＤ変換装置３１が設けられ
ており、このＡＤ変換装置３１は制御装置２５に電気的
に接続されている。
た検出信号をＡＤ変換するＡＤ変換装置３１が設けられ
ており、このＡＤ変換装置３１は制御装置２５に電気的
に接続されている。
【００３５】前記フォトダイオード２９はノズル穴２１
の中心と照射光軸軸心１５とのズレを直接的に検出する
ものではなく、レーザ加工時にワークＷから発生するス
パッタの輝度を検出するもの、換言すればレーザビーム
ＬＢの軸心の輝度を検出するもので、輝度の違いによっ
て間接的にノズル穴２１の中心と照射光軸軸心１５との
ズレを検出するものである。
の中心と照射光軸軸心１５とのズレを直接的に検出する
ものではなく、レーザ加工時にワークＷから発生するス
パッタの輝度を検出するもの、換言すればレーザビーム
ＬＢの軸心の輝度を検出するもので、輝度の違いによっ
て間接的にノズル穴２１の中心と照射光軸軸心１５との
ズレを検出するものである。
【００３６】より詳しくは、例えば図３に示されるよう
にノズル穴２１の中心と照射光軸軸心１５をずらした状
態で、ワークＷを四角形状に経路Ａ〜経路Ｄの順に切断
すると、前記フォトダイオード２９で検出される実際の
輝度は、図４に示されるようにＡＤ変換装置３１により
電圧レベルに変換され、各経路Ａ〜Ｄ毎に電圧レベルに
差が生じてくる。これはノズル穴２１の中心が照射光軸
軸心１５からズレが生じている場合に発生する異方性で
あり、ノズル穴２１の中心と照射光軸軸心１５が合って
いる状態で加工した場合は各経路Ａ〜Ｄの輝度の差は少
ないものである。
にノズル穴２１の中心と照射光軸軸心１５をずらした状
態で、ワークＷを四角形状に経路Ａ〜経路Ｄの順に切断
すると、前記フォトダイオード２９で検出される実際の
輝度は、図４に示されるようにＡＤ変換装置３１により
電圧レベルに変換され、各経路Ａ〜Ｄ毎に電圧レベルに
差が生じてくる。これはノズル穴２１の中心が照射光軸
軸心１５からズレが生じている場合に発生する異方性で
あり、ノズル穴２１の中心と照射光軸軸心１５が合って
いる状態で加工した場合は各経路Ａ〜Ｄの輝度の差は少
ないものである。
【００３７】以上の性質を利用して、前記制御装置で
は、予め照射光軸軸心１５がノズル穴２１の中心に合っ
ている正常位置における設定輝度が、ワークＷの材質お
よび板厚毎に制御装置２５の入力装置３３および表示装
置３５により記憶装置３７に入力されており、この設定
輝度と前記フォトダイオード２９で検出されたレーザビ
ームの軸心の輝度とを比較判断装置３９により比較し
て、検出された輝度のデータを予め記憶されている前記
設定輝度に近づけるべく前記ピエゾアクチュエータ２３
を作動し、ノズル１９を移動するよう指令を発生する。
は、予め照射光軸軸心１５がノズル穴２１の中心に合っ
ている正常位置における設定輝度が、ワークＷの材質お
よび板厚毎に制御装置２５の入力装置３３および表示装
置３５により記憶装置３７に入力されており、この設定
輝度と前記フォトダイオード２９で検出されたレーザビ
ームの軸心の輝度とを比較判断装置３９により比較し
て、検出された輝度のデータを予め記憶されている前記
設定輝度に近づけるべく前記ピエゾアクチュエータ２３
を作動し、ノズル１９を移動するよう指令を発生する。
【００３８】上記の経路Ａ〜経路Ｄまでの実際に検出さ
れた輝度がＡＤ変換装置３１により電圧レベルに変換さ
れて制御装置２５に入力されると、制御装置２５では変
換された電圧レベルを予め記憶装置３７に記憶されてい
る設定輝度（ワークＷの材質および板厚に該当するも
の）つまり設定電圧に近づけるように複数の前記ピエゾ
アクチュエータ２３を作動するよう指令を発生する。
れた輝度がＡＤ変換装置３１により電圧レベルに変換さ
れて制御装置２５に入力されると、制御装置２５では変
換された電圧レベルを予め記憶装置３７に記憶されてい
る設定輝度（ワークＷの材質および板厚に該当するも
の）つまり設定電圧に近づけるように複数の前記ピエゾ
アクチュエータ２３を作動するよう指令を発生する。
【００３９】また、例えば、図２のように照射光軸軸心
１５がノズル２１の中心からＸ軸方向で距離Ｘ1 ，Ｙ軸
方向で距離Ｙ1 だけズレが生じているときは、制御装置
２５が設定電圧に対する各経路Ａ〜経路Ｄの電圧レベル
の差の大小によりズレの量と方向を判断して複数の前記
ピエゾアクチュエータ２３に指令を発し、ノズル２１は
図２においてＸ軸の上方向に距離Ｘ1 、およびＹ軸の左
方向に距離Ｙ1 だけ移動される。
１５がノズル２１の中心からＸ軸方向で距離Ｘ1 ，Ｙ軸
方向で距離Ｙ1 だけズレが生じているときは、制御装置
２５が設定電圧に対する各経路Ａ〜経路Ｄの電圧レベル
の差の大小によりズレの量と方向を判断して複数の前記
ピエゾアクチュエータ２３に指令を発し、ノズル２１は
図２においてＸ軸の上方向に距離Ｘ1 、およびＹ軸の左
方向に距離Ｙ1 だけ移動される。
【００４０】なお、制御装置２５としては、ワークＷの
材質および板厚毎に正常な状態での輝度のデータを設定
輝度として入力することをしないで、単に前述した経路
Ａ〜経路Ｄまでの検出された電圧レベルをほぼ同一にな
るように、各経路Ａ〜経路Ｄ間の電圧レベルの差の大小
によりズレの量と方向を判断してピエゾアクチュエータ
２３を作動してノズル１９の位置を移動調整することも
できる。
材質および板厚毎に正常な状態での輝度のデータを設定
輝度として入力することをしないで、単に前述した経路
Ａ〜経路Ｄまでの検出された電圧レベルをほぼ同一にな
るように、各経路Ａ〜経路Ｄ間の電圧レベルの差の大小
によりズレの量と方向を判断してピエゾアクチュエータ
２３を作動してノズル１９の位置を移動調整することも
できる。
【００４１】なお、ワークＷを加工する形状としては、
前述した実施の形態の例では四角形状を例にとって説明
したが、円形状やスリット形状および他の形状の場合で
あっても同様にノズル１９の位置を移動調整できる。
前述した実施の形態の例では四角形状を例にとって説明
したが、円形状やスリット形状および他の形状の場合で
あっても同様にノズル１９の位置を移動調整できる。
【００４２】次に、他の２番目の実施の形態の例につい
て、図５を参照して前述した１番目の実施の形態の例と
同様の部分は省略して説明する。
て、図５を参照して前述した１番目の実施の形態の例と
同様の部分は省略して説明する。
【００４３】１番目の実施の形態の例ではフォトダイオ
ード２９等の光電変換素子からなるセンサ２７を用いた
が、この２番目の実施の形態の例ではＣＣＤカメラ４１
等の撮像手段を用い、この撮像手段と照度確保のための
光源体４３をレーザ加工ヘッド９内に設置する。
ード２９等の光電変換素子からなるセンサ２７を用いた
が、この２番目の実施の形態の例ではＣＣＤカメラ４１
等の撮像手段を用い、この撮像手段と照度確保のための
光源体４３をレーザ加工ヘッド９内に設置する。
【００４４】前記ＣＣＤカメラ４１はワークＷへのレー
ザビームＬＢを照射して得たピアス穴とノズル穴２１と
の画像を取得するものである。前記ＣＣＤカメラ４１は
当該ＣＣＤカメラ４１にて取得した画像を処理する画像
処理装置４５に電気的に接続され、この画像処理装置４
５はプログラムコントローラ等のＮＣ制御装置２５ａに
接続されている。
ザビームＬＢを照射して得たピアス穴とノズル穴２１と
の画像を取得するものである。前記ＣＣＤカメラ４１は
当該ＣＣＤカメラ４１にて取得した画像を処理する画像
処理装置４５に電気的に接続され、この画像処理装置４
５はプログラムコントローラ等のＮＣ制御装置２５ａに
接続されている。
【００４５】なお、前記ＮＣ制御装置２５ａは、１番目
の実施の形態の例の制御装置２５と同様にノズル１９を
位置決め移動調整せしめるピエゾアクチュエータ２３に
接続されている。
の実施の形態の例の制御装置２５と同様にノズル１９を
位置決め移動調整せしめるピエゾアクチュエータ２３に
接続されている。
【００４６】したがって、図６を参照するに、上記の構
成により、レーザ加工装置１を運転して鋼材あるいはプ
ラスチック板、粘着テープ等の素材にレーザビームＬＢ
を照射してピアス穴を形成する（ステップＳ１）。
成により、レーザ加工装置１を運転して鋼材あるいはプ
ラスチック板、粘着テープ等の素材にレーザビームＬＢ
を照射してピアス穴を形成する（ステップＳ１）。
【００４７】このピアス穴を形成直後に、レーザ加工ヘ
ッド９内の光源体４３を使用してＣＣＤカメラ４１にて
ノズル穴２１と前記ピアス穴との位置関係の画像を取得
する（ステップＳ２）。
ッド９内の光源体４３を使用してＣＣＤカメラ４１にて
ノズル穴２１と前記ピアス穴との位置関係の画像を取得
する（ステップＳ２）。
【００４８】この画像を前記画像処理装置４５で処理
し、前記ピアス穴とノズル穴２１の中心とのズレ量が前
記ＮＣ制御装置２５ａで演算される（ステップＳ３）。
し、前記ピアス穴とノズル穴２１の中心とのズレ量が前
記ＮＣ制御装置２５ａで演算される（ステップＳ３）。
【００４９】この演算されたズレ量の分だけ、ピエゾア
クチュエータ２３を作動させるようＮＣ制御装置２５ａ
からピエゾアクチュエータ２３へ指令が送られ、前記ピ
アス穴の中心にノズル穴２１の中心が位置するようにノ
ズル１９が移動する（ステップＳ４）。
クチュエータ２３を作動させるようＮＣ制御装置２５ａ
からピエゾアクチュエータ２３へ指令が送られ、前記ピ
アス穴の中心にノズル穴２１の中心が位置するようにノ
ズル１９が移動する（ステップＳ４）。
【００５０】上記のステップＳ２〜ステップＳ４の動作
を、前記ピアス穴とノズル穴２１の中心とのズレ量が予
めＮＣ制御装置２５ａに設定した許容値以下になるまで
繰り返され、ノズル１９の移動調整が完了する。
を、前記ピアス穴とノズル穴２１の中心とのズレ量が予
めＮＣ制御装置２５ａに設定した許容値以下になるまで
繰り返され、ノズル１９の移動調整が完了する。
【００５１】次に、さらに別の３番目の実施の形態の例
について、図７を参照して前述した実施の形態の例と同
様の部分は省略して説明する。
について、図７を参照して前述した実施の形態の例と同
様の部分は省略して説明する。
【００５２】この３番目の実施の形態の例では、レーザ
発振器３から発振されたレーザビームＬＢを２つの第１
ベンドミラー４７および第２ベンドミラー４９により変
更した後に集光レンズ１３にて集光してワークＷに照射
するレーザ加工装置１で説明する。
発振器３から発振されたレーザビームＬＢを２つの第１
ベンドミラー４７および第２ベンドミラー４９により変
更した後に集光レンズ１３にて集光してワークＷに照射
するレーザ加工装置１で説明する。
【００５３】ノズル穴２１の中心と照射光軸軸心１５と
のズレを検出するためのセンサ２７としては、２番目の
実施の形態の例と同様にＣＣＤカメラ４１を用い、この
ＣＣＤカメラ４１で映像できる照度確保のための光源体
４３と前記ＣＣＤカメラ４１がレーザ加工ヘッド９内に
設置されている。
のズレを検出するためのセンサ２７としては、２番目の
実施の形態の例と同様にＣＣＤカメラ４１を用い、この
ＣＣＤカメラ４１で映像できる照度確保のための光源体
４３と前記ＣＣＤカメラ４１がレーザ加工ヘッド９内に
設置されている。
【００５４】前記ＣＣＤカメラ４１は２番目の実施の形
態の例の制御装置２５と同様に画像処理装置４５に電気
的に接続され、この画像処理装置４５はプログラムコン
トローラ等のＮＣ制御装置２５ａに接続されている。
態の例の制御装置２５と同様に画像処理装置４５に電気
的に接続され、この画像処理装置４５はプログラムコン
トローラ等のＮＣ制御装置２５ａに接続されている。
【００５５】前記第１ベンドミラー４７および第２ベン
ドミラー４９にはそれぞれ、各ベンドミラー４７、４９
の傾き角度を変更してレーザビームＬＢの光路を変向す
るためのピエゾアクチュエータ５１が２個づつ取り付け
られている。これらの各ピエゾアクチュエータ５１は前
記照射光軸軸心１５を移動すべく各ベンドミラー４７、
４９を位置決め移動調整せしめるように前記ＮＣ制御装
置２５ａに接続されている。
ドミラー４９にはそれぞれ、各ベンドミラー４７、４９
の傾き角度を変更してレーザビームＬＢの光路を変向す
るためのピエゾアクチュエータ５１が２個づつ取り付け
られている。これらの各ピエゾアクチュエータ５１は前
記照射光軸軸心１５を移動すべく各ベンドミラー４７、
４９を位置決め移動調整せしめるように前記ＮＣ制御装
置２５ａに接続されている。
【００５６】なお、第１ベンドミラー４７および第２ベ
ンドミラー４９の２つのベンドミラーを使用してレーザ
ビームＬＢの光路を調整する理由は、集光レンズ１３に
入射するレーザビームＬＢの角度を常に垂直状態に保つ
ためである。もし、レーザビームＬＢが集光レンズ１３
に対して角度をもって入射すると、集光レンズ１３の集
光効率が悪くなる。
ンドミラー４９の２つのベンドミラーを使用してレーザ
ビームＬＢの光路を調整する理由は、集光レンズ１３に
入射するレーザビームＬＢの角度を常に垂直状態に保つ
ためである。もし、レーザビームＬＢが集光レンズ１３
に対して角度をもって入射すると、集光レンズ１３の集
光効率が悪くなる。
【００５７】なお、上述した３番目の実施の形態の例の
動作は、２番目の実施の形態の例のステップＳ１〜ステ
ップＳ４とほぼ同様である。ただし、ＮＣ制御装置２５
ａは第１ベンドミラー４７および第２ベンドミラー４９
の傾き角度を調整すべく各ピエゾアクチュエータ５１を
作動するよう指令を発生し、他は２番目の実施の形態の
例のステップと同様に行われる。
動作は、２番目の実施の形態の例のステップＳ１〜ステ
ップＳ４とほぼ同様である。ただし、ＮＣ制御装置２５
ａは第１ベンドミラー４７および第２ベンドミラー４９
の傾き角度を調整すべく各ピエゾアクチュエータ５１を
作動するよう指令を発生し、他は２番目の実施の形態の
例のステップと同様に行われる。
【００５８】なお、この発明は前述した実施の形態の例
に限定されることなく、適宜な変更を行うことによりそ
の他の態様で実施し得るものである。
に限定されることなく、適宜な変更を行うことによりそ
の他の態様で実施し得るものである。
【００５９】また、上述した実施の形態の例では、フォ
トダイオード等のセンサ２７やＣＣＤカメラ等の撮像手
段の設置場所がレーザ加工ヘッド９の内部であったが、
ノズル穴２１の中心と照射光軸軸心１５とのズレを検出
可能であればレーザ加工ヘッド９の外部に設置しても構
わない。
トダイオード等のセンサ２７やＣＣＤカメラ等の撮像手
段の設置場所がレーザ加工ヘッド９の内部であったが、
ノズル穴２１の中心と照射光軸軸心１５とのズレを検出
可能であればレーザ加工ヘッド９の外部に設置しても構
わない。
【００６０】
【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態から理解
されるように、請求項１の発明によれば、レーザビーム
の軸心がノズル穴の中心に位置するときとズレが生じて
いるときは、レーザビームの軸心の輝度に差が生じるの
で、センサにより検出された輝度のデータを予めレーザ
ビームの軸心がノズルの中心にあるときの設定輝度に合
わせるべくノズルを移動調整することによりノズルの中
心をレーザビームの軸心に自動的に合わすことができ
る。
されるように、請求項１の発明によれば、レーザビーム
の軸心がノズル穴の中心に位置するときとズレが生じて
いるときは、レーザビームの軸心の輝度に差が生じるの
で、センサにより検出された輝度のデータを予めレーザ
ビームの軸心がノズルの中心にあるときの設定輝度に合
わせるべくノズルを移動調整することによりノズルの中
心をレーザビームの軸心に自動的に合わすことができ
る。
【００６１】あるいは、センサにより検出された輝度の
データを前記設定輝度に合わせるべくベンドミラーの傾
きを自動的に移動調整されることによりレーザビームの
軸心が変向されてレーザビームの軸心をノズルの中心に
自動的に合わすことができる。
データを前記設定輝度に合わせるべくベンドミラーの傾
きを自動的に移動調整されることによりレーザビームの
軸心が変向されてレーザビームの軸心をノズルの中心に
自動的に合わすことができる。
【００６２】請求項２の発明によれば、レーザビームの
軸心がノズル穴の中心に位置するときはワークの形状加
工時に各加工位置における輝度がほぼ同じであるが、ノ
ズル穴の中心とレーザビームの軸心とのズレが生じてい
るときは前記各加工位置における輝度に異方性としての
差が生じるので、前記各加工位置における輝度をほぼ同
じにすべくノズルを移動調整することによりノズルの中
心をレーザビームの軸心に自動的に合わすことができ
る。
軸心がノズル穴の中心に位置するときはワークの形状加
工時に各加工位置における輝度がほぼ同じであるが、ノ
ズル穴の中心とレーザビームの軸心とのズレが生じてい
るときは前記各加工位置における輝度に異方性としての
差が生じるので、前記各加工位置における輝度をほぼ同
じにすべくノズルを移動調整することによりノズルの中
心をレーザビームの軸心に自動的に合わすことができ
る。
【００６３】あるいは、前記各加工位置における輝度を
ほぼ同じにすべくベンドミラーの傾きを自動的に移動調
整されることによりレーザビームの軸心が変向されてレ
ーザビームの軸心をノズルの中心に自動的に合わすこと
ができる。
ほぼ同じにすべくベンドミラーの傾きを自動的に移動調
整されることによりレーザビームの軸心が変向されてレ
ーザビームの軸心をノズルの中心に自動的に合わすこと
ができる。
【００６４】請求項３の発明によれば、撮像手段はノズ
ル穴の中心とレーザビームの軸心とのズレ量とズレの方
向を検出し、この撮像手段で検出された検出信号に基づ
いてノズルがレーザ加工ヘッドに対して自動的に移動さ
れることにより、作業者の判断に基づくことなくノズル
の中心をレーザビームの軸心に自動的に合わすことがで
きる。
ル穴の中心とレーザビームの軸心とのズレ量とズレの方
向を検出し、この撮像手段で検出された検出信号に基づ
いてノズルがレーザ加工ヘッドに対して自動的に移動さ
れることにより、作業者の判断に基づくことなくノズル
の中心をレーザビームの軸心に自動的に合わすことがで
きる。
【００６５】あるいは、検出された検出信号に基づいて
ベンドミラーの傾きを自動的に移動調整されることによ
りレーザビームの軸心が変向されてレーザビームの軸心
をノズルの中心に自動的に合わすことができ、レーザ加
工装置の自動化を図ることが容易になり、また人体にレ
ーザビームを照射してしまう等の人体に対する危険性を
なくすことができる。
ベンドミラーの傾きを自動的に移動調整されることによ
りレーザビームの軸心が変向されてレーザビームの軸心
をノズルの中心に自動的に合わすことができ、レーザ加
工装置の自動化を図ることが容易になり、また人体にレ
ーザビームを照射してしまう等の人体に対する危険性を
なくすことができる。
【００６６】請求項４の発明によれば、請求項１におけ
る効果と同様であり、制御装置はセンサにより検出され
た輝度のデータを予めレーザビームの軸心がノズルの中
心にあるときの設定輝度に合わせるべくアクチュエータ
を作動してノズルを自動的に移動するよう指令を発生す
る。ノズルの中心をレーザビームの軸心に自動的に合わ
すことができ、レーザ加工装置の自動化を図ることが容
易になり、また人体にレーザビームを照射してしまう等
の人体に対する危険性をなくすことができる。
る効果と同様であり、制御装置はセンサにより検出され
た輝度のデータを予めレーザビームの軸心がノズルの中
心にあるときの設定輝度に合わせるべくアクチュエータ
を作動してノズルを自動的に移動するよう指令を発生す
る。ノズルの中心をレーザビームの軸心に自動的に合わ
すことができ、レーザ加工装置の自動化を図ることが容
易になり、また人体にレーザビームを照射してしまう等
の人体に対する危険性をなくすことができる。
【００６７】あるいは、センサにより検出された輝度の
データを前記設定輝度に合わせるべくアクチュエータを
作動してベンドミラーの傾きを自動的に移動するよう指
令を発生し、レーザビームの軸心が変向されてレーザビ
ームの軸心をノズルの中心に自動的に合わすことができ
る。
データを前記設定輝度に合わせるべくアクチュエータを
作動してベンドミラーの傾きを自動的に移動するよう指
令を発生し、レーザビームの軸心が変向されてレーザビ
ームの軸心をノズルの中心に自動的に合わすことができ
る。
【００６８】請求項５の発明によれば、請求項２におけ
る効果と同様であり、レーザビームの軸心がノズル穴の
中心に位置するときはワークの形状加工時に各加工位置
における輝度がほぼ同じであるが、ノズル穴の中心とレ
ーザビームの軸心とのズレが生じているときは前記各加
工位置における輝度に異方性としての差が生じるので、
制御装置はセンサにより検出された前記各加工位置にお
ける輝度をほぼ同じにすべくアクチュエータを作動して
ノズルを自動的に移動するよう指令を発生し、ノズルの
中心をレーザビームの軸心に自動的に合わすことができ
る。
る効果と同様であり、レーザビームの軸心がノズル穴の
中心に位置するときはワークの形状加工時に各加工位置
における輝度がほぼ同じであるが、ノズル穴の中心とレ
ーザビームの軸心とのズレが生じているときは前記各加
工位置における輝度に異方性としての差が生じるので、
制御装置はセンサにより検出された前記各加工位置にお
ける輝度をほぼ同じにすべくアクチュエータを作動して
ノズルを自動的に移動するよう指令を発生し、ノズルの
中心をレーザビームの軸心に自動的に合わすことができ
る。
【００６９】あるいは、前記各加工位置における輝度を
ほぼ同じにすべくアクチュエータを作動してベンドミラ
ーの傾きを自動的に移動するよう指令を発生し、レーザ
ビームの軸心が変向されてレーザビームの軸心をノズル
の中心に自動的に合わすことができる。
ほぼ同じにすべくアクチュエータを作動してベンドミラ
ーの傾きを自動的に移動するよう指令を発生し、レーザ
ビームの軸心が変向されてレーザビームの軸心をノズル
の中心に自動的に合わすことができる。
【００７０】請求項６の発明によれば、請求項３におけ
る効果と同様であり、撮像手段はノズル穴の中心とレー
ザビームの軸心とのズレ量とズレの方向を検出し、制御
装置は前記撮像手段で検出された検出信号に基づいてア
クチュエータを作動してノズルが移動するよう指令を発
生し、作業者の判断に基づくことなくノズルの中心をレ
ーザビームの軸心に自動的に合わすことができる。
る効果と同様であり、撮像手段はノズル穴の中心とレー
ザビームの軸心とのズレ量とズレの方向を検出し、制御
装置は前記撮像手段で検出された検出信号に基づいてア
クチュエータを作動してノズルが移動するよう指令を発
生し、作業者の判断に基づくことなくノズルの中心をレ
ーザビームの軸心に自動的に合わすことができる。
【００７１】あるいは、制御装置は検出された検出信号
に基づいてアクチュエータを作動してベンドミラーの傾
きを移動するよう指令を発生し、レーザビームの軸心が
変向されてレーザビームの軸心をノズルの中心に自動的
に合わすことができ、レーザ加工装置の自動化を図るこ
とが容易になり、また人体にレーザビームを照射してし
まう等の人体に対する危険性がなくすことができる。
に基づいてアクチュエータを作動してベンドミラーの傾
きを移動するよう指令を発生し、レーザビームの軸心が
変向されてレーザビームの軸心をノズルの中心に自動的
に合わすことができ、レーザ加工装置の自動化を図るこ
とが容易になり、また人体にレーザビームを照射してし
まう等の人体に対する危険性がなくすことができる。
【図１】本発明の実施の形態の例を示すもので、レーザ
加工ヘッドの先端部分を拡大した概略図である。
加工ヘッドの先端部分を拡大した概略図である。
【図２】本発明の実施の形態の例を示すもので、ノズル
穴と照射光軸軸心との位置関係を示す概略図である。
穴と照射光軸軸心との位置関係を示す概略図である。
【図３】本発明の実施の形態の例を示すもので、実験的
に材料をレーザ加工する形状の一例を示す斜視図であ
る。
に材料をレーザ加工する形状の一例を示す斜視図であ
る。
【図４】図３のレーザ加工の形状に基づく経路Ａ〜経路
Ｄ間の電圧レベルを示すものである。
Ｄ間の電圧レベルを示すものである。
【図５】本発明の２番目の実施の形態の例を示すもの
で、レーザ加工ヘッドの先端部分を拡大した概略図であ
る。
で、レーザ加工ヘッドの先端部分を拡大した概略図であ
る。
【図６】本発明の２番目の実施の形態の例におけるフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図７】本発明の３番目の実施の形態の例を示すもの
で、レーザ加工ヘッドの先端部分を拡大した概略図であ
る。
で、レーザ加工ヘッドの先端部分を拡大した概略図であ
る。
【図８】本発明の実施の形態の例に係わるレーザ加工装
置の全体正面図である。
置の全体正面図である。
【図９】従来例のレーザ加工ヘッドの下端に備えられて
いるノズルを移動調整するアジャスト機構を設けたレー
ザ加工ヘッドの正面図である。
いるノズルを移動調整するアジャスト機構を設けたレー
ザ加工ヘッドの正面図である。
１ レーザ加工装置 ３ レーザ発振器 ９ レーザ加工ヘッド １１ ベンドミラー １３ 焦光レンズ １５ 照射光軸軸心 １９ ノズル ２１ ノズル穴 ２３ ピエゾアクチュエータ（アクチュエータ） ２５ 制御装置 ２７ センサ ２９ フォトダイオード ３７ 記憶装置 ３９ 比較判断装置
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ発振器から発振されたレーザビー
ムをベンドミラーを介して変向し、このレーザビームを
レーザ加工ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せし
めて前記レーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズ
ルからワークに照射してレーザ加工を行うレーザ加工方
法において、 前記レーザ加工ヘッドに備えられた光電変換素子からな
るセンサにより、レーザビームの軸心の輝度を検出し、
この検出された輝度のデータと予めレーザビームの軸心
がノズルの中心にあるときの設定輝度とを比較し、検出
された輝度を前記設定輝度に合わせるべく前記ノズルの
位置又はベンドミラーの傾きを自動的に移動調整するこ
とを特徴とするレーザ加工方法。 - 【請求項２】 レーザ発振器から発振されたレーザビー
ムをベンドミラーを介して変向し、このレーザビームを
レーザ加工ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せし
めて前記レーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズ
ルからワークに照射してレーザ加工を行うレーザ加工方
法において、 前記レーザ加工ヘッドに備えられた光電変換素子からな
るセンサにより、素材を形状加工するときの各加工位置
の輝度の差に基づく異方性を検出し、検出される前記各
加工位置の輝度をほぼ同一にすべく前記ノズルの位置又
はベンドミラーの傾きを自動的に移動調整することを特
徴とするレーザ加工方法。 - 【請求項３】 レーザ発振器から発振されたレーザビー
ムをベンドミラーを介して変向し、このレーザビームを
レーザ加工ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せし
めて前記レーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズ
ルからワークに照射してレーザ加工を行うレーザ加工方
法において、 前記レーザ加工ヘッドに備えられた撮像手段により、ノ
ズル穴の中心とレーザビームの軸心とのズレを検出し、
この撮像手段で検出された検出信号に基づいてノズルの
中心とレーザビームの軸心位置を合わせるべく前記ノズ
ルの位置又はベンドミラーの傾きを自動的に移動調整す
ることを特徴とするレーザ加工方法。 - 【請求項４】 レーザ発振器から発振されたレーザビー
ムをベンドミラーを介して変向し、このレーザビームを
レーザ加工ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せし
めて前記レーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズ
ルからワークに照射してレーザ加工を行うレーザ加工装
置において、 前記ノズルをレーザビームの軸心にほぼ直交する平面で
自在に移動調整するアクチュエータ、又はレーザビーム
の軸心を移動すべく前記ベンドミラーの傾きを移動調整
するアクチュエータを設け、前記レーザ加工ヘッドに備
えられてレーザビームの軸心の輝度を検出する光電変換
素子からなるセンサを設け、このセンサで検出された輝
度のデータと予めレーザビームの軸心がノズルの中心に
あるときの設定輝度を比較し、検出された輝度を前記設
定輝度に合わせるべく前記アクチュエータを作動せしめ
る制御装置を設けてなることを特徴とするレーザ加工装
置。 - 【請求項５】 レーザ発振器から発振されたレーザビー
ムをベンドミラーを介して変向し、このレーザビームを
レーザ加工ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せし
めて前記レーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズ
ルからワークに照射してレーザ加工を行うレーザ加工装
置において、 前記ノズルをレーザビームの軸心にほぼ直交する平面で
自在に移動調整するアクチュエータ、又はレーザビーム
の軸心を移動すべく前記ベンドミラーの傾きを移動調整
するアクチュエータを設け、前記レーザ加工ヘッドに備
えられてレーザビームの軸心の輝度を検出する光電変換
素子からなるセンサを設け、素材を形状加工するときの
各加工位置の輝度の差に基づく異方性を割出すと共に前
記各加工位置の輝度をほぼ同一にすべく前記アクチュエ
ータを作動せしめる制御装置を設けてなることを特徴と
するレーザ加工装置。 - 【請求項６】 レーザ発振器から発振されたレーザビー
ムをベンドミラーを介して変向し、このレーザビームを
レーザ加工ヘッド内に備えた集光レンズにより集光せし
めて前記レーザ加工ヘッドの先端に備えられているノズ
ルからワークに照射してレーザ加工を行うレーザ加工装
置において、 前記ノズルをレーザビームの軸心にほぼ直交する平面で
自在に移動調整するアクチュエータ、又はレーザビーム
の軸心を移動すべく前記ベンドミラーの傾きを移動調整
するアクチュエータを設け、前記レーザ加工ヘッドに備
えられてレーザビームの軸心を検出する撮像手段を設
け、この撮像手段で検出した検出信号に基づいてノズル
の中心とレーザビームの軸心位置を合わせるべく前記ア
クチュエータを作動せしめる制御装置を設けてなること
を特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05505897A JP3761657B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | レーザ加工方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05505897A JP3761657B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | レーザ加工方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10249566A true JPH10249566A (ja) | 1998-09-22 |
| JP3761657B2 JP3761657B2 (ja) | 2006-03-29 |
Family
ID=12988088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05505897A Expired - Fee Related JP3761657B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | レーザ加工方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3761657B2 (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1033199A2 (en) * | 1999-03-02 | 2000-09-06 | Institutet För Verkstadsteknisk Forskning | Arrangement relating to a laserbeam |
| WO2003061895A1 (en) * | 2002-01-21 | 2003-07-31 | Permanova Lasersystem Ab | Means for visualizing the laser beam in a laser machining system |
| EP1728581A1 (de) * | 2005-05-31 | 2006-12-06 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Laserbearbeitungsmaschine mit Laserbearbeitungsdüsenjustierung zum Ausrichten des Laserstrahles mit der Laserbearbeitungsdüsenbohrung |
| JP2011115806A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2012000619A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| EP2409808A1 (de) * | 2010-07-22 | 2012-01-25 | Bystronic Laser AG | Laserbearbeitungsmaschine |
| WO2012101533A1 (de) | 2011-01-27 | 2012-08-02 | Bystronic Laser Ag | Laserbearbeitungsmaschine, insbesondere laserschneidmaschine, sowie verfahren zum zentrieren eines insbesondere fokussierten laserstrahles |
| JP2012223772A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2013202678A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Mitsubishi Electric Corp | 制御装置、レンズ駆動システムおよびレーザ加工装置 |
| JP2015009263A (ja) * | 2013-07-01 | 2015-01-19 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ光軸調整方法 |
| EP2894004A1 (de) * | 2014-01-08 | 2015-07-15 | Bystronic Laser AG | Laserbearbeitungsvorrichtung mit einer Kamera und einem angetriebenen Spiegel |
| US9289852B2 (en) | 2011-01-27 | 2016-03-22 | Bystronic Laser Ag | Laser processing machine, laser cutting machine, and method for adjusting a focused laser beam |
| US9839975B2 (en) | 2013-12-12 | 2017-12-12 | Bystronic Laser Ag | Method for configuring a laser machining machine |
| WO2019176294A1 (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工機におけるノズル芯出し装置及びノズル芯出し方法 |
| JP2019171431A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工装置の調整方法 |
| CN111082291A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-04-28 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种用于穿孔的监测装置及光纤激光器 |
| CN112692428A (zh) * | 2019-10-23 | 2021-04-23 | Nps株式会社 | 激光装置 |
| JP2021534001A (ja) * | 2018-08-17 | 2021-12-09 | プレシテック ゲーエムベーハー ウント ツェーオー カーゲー | レーザ加工システム及びレーザ加工システムの方法 |
| WO2023222251A1 (de) * | 2022-05-18 | 2023-11-23 | Dmg Mori Additive Gmbh | Analysevorrichtung zur zustandsüberwachung eines schutzglases einer fertigungsanlage und fertigungsanlage für ein additives fertigungsverfahren |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10953492B2 (en) * | 2017-09-19 | 2021-03-23 | Raytheon Technologies Corporation | Method and apparatus for auto-aligning of a process gas jet nozzle and laser machining beam |
| JP6945244B2 (ja) * | 2019-07-10 | 2021-10-06 | 株式会社片岡製作所 | レーザ処理装置 |
| WO2021005865A1 (ja) * | 2019-07-10 | 2021-01-14 | 株式会社片岡製作所 | レーザ処理装置 |
-
1997
- 1997-03-10 JP JP05505897A patent/JP3761657B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1033199A2 (en) * | 1999-03-02 | 2000-09-06 | Institutet För Verkstadsteknisk Forskning | Arrangement relating to a laserbeam |
| EP1033199A3 (en) * | 1999-03-02 | 2001-12-12 | Institutet För Verkstadsteknisk Forskning | Arrangement relating to a laserbeam |
| WO2003061895A1 (en) * | 2002-01-21 | 2003-07-31 | Permanova Lasersystem Ab | Means for visualizing the laser beam in a laser machining system |
| EP1728581A1 (de) * | 2005-05-31 | 2006-12-06 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Laserbearbeitungsmaschine mit Laserbearbeitungsdüsenjustierung zum Ausrichten des Laserstrahles mit der Laserbearbeitungsdüsenbohrung |
| WO2006128663A1 (de) * | 2005-05-31 | 2006-12-07 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Laserbearbeitungsmaschine mit laserbearbeitungsdüsenjustierung zum ausrichten des laserstrahles mit der laserbearbeitungsdüsenbohrung |
| JP2011115806A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2012000619A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| US9937590B2 (en) | 2010-07-22 | 2018-04-10 | Bystronic Laser Ag | Laser processing machine |
| CN103003021A (zh) * | 2010-07-22 | 2013-03-27 | 百超激光股份公司 | 激光加工机 |
| WO2012011072A1 (en) | 2010-07-22 | 2012-01-26 | Bystronic Laser Ag | Laser processing machine |
| EP2409808A1 (de) * | 2010-07-22 | 2012-01-25 | Bystronic Laser AG | Laserbearbeitungsmaschine |
| US9289852B2 (en) | 2011-01-27 | 2016-03-22 | Bystronic Laser Ag | Laser processing machine, laser cutting machine, and method for adjusting a focused laser beam |
| WO2012101533A1 (de) | 2011-01-27 | 2012-08-02 | Bystronic Laser Ag | Laserbearbeitungsmaschine, insbesondere laserschneidmaschine, sowie verfahren zum zentrieren eines insbesondere fokussierten laserstrahles |
| US9296067B2 (en) | 2011-01-27 | 2016-03-29 | Bystronic Laser Ag | Laser processing machine, in particular laser cutting machine, and method for centering a laser beam, in particular a focused laser beam |
| JP2012223772A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2013202678A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Mitsubishi Electric Corp | 制御装置、レンズ駆動システムおよびレーザ加工装置 |
| JP2015009263A (ja) * | 2013-07-01 | 2015-01-19 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ光軸調整方法 |
| US9839975B2 (en) | 2013-12-12 | 2017-12-12 | Bystronic Laser Ag | Method for configuring a laser machining machine |
| EP2894004A1 (de) * | 2014-01-08 | 2015-07-15 | Bystronic Laser AG | Laserbearbeitungsvorrichtung mit einer Kamera und einem angetriebenen Spiegel |
| WO2019176294A1 (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工機におけるノズル芯出し装置及びノズル芯出し方法 |
| JP2019155403A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工機におけるノズル芯出し装置及びノズル芯出し方法 |
| JP2019171431A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工装置の調整方法 |
| JP2021534001A (ja) * | 2018-08-17 | 2021-12-09 | プレシテック ゲーエムベーハー ウント ツェーオー カーゲー | レーザ加工システム及びレーザ加工システムの方法 |
| CN112692428A (zh) * | 2019-10-23 | 2021-04-23 | Nps株式会社 | 激光装置 |
| CN111082291A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-04-28 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种用于穿孔的监测装置及光纤激光器 |
| CN111082291B (zh) * | 2019-11-19 | 2021-11-09 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种用于穿孔的监测装置及光纤激光器 |
| WO2023222251A1 (de) * | 2022-05-18 | 2023-11-23 | Dmg Mori Additive Gmbh | Analysevorrichtung zur zustandsüberwachung eines schutzglases einer fertigungsanlage und fertigungsanlage für ein additives fertigungsverfahren |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3761657B2 (ja) | 2006-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3761657B2 (ja) | レーザ加工方法および装置 | |
| JP5114874B2 (ja) | レーザ溶接方法およびレーザ溶接装置 | |
| US8716622B2 (en) | Apparatus and method for performing laser welding operations | |
| US20110290780A1 (en) | Apparatus Having Scanner Lens for Material Processing by way of Laser | |
| JP2008194729A (ja) | 小型デバイスの製造方法、レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
| JP4020099B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
| JPH06252485A (ja) | レーザ加工機 | |
| US20060226128A1 (en) | Laser welding method and laser welding robot | |
| US20240116122A1 (en) | A method for optimising a machining time of a laser machining process, method for carrying out a laser machining process on a workpiece, and laser machining system designed for carrying out this process | |
| JP2728358B2 (ja) | レーザ加工機のノズルのセンタリング方法及び装置 | |
| WO2022209929A1 (ja) | レーザ加工ヘッド及びレーザ加工システム | |
| JP5577927B2 (ja) | レーザー加工検知システム | |
| WO2013133197A1 (ja) | 溶接ロボット及び溶接ロボットのギャップ調整方法 | |
| JP2000084689A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH1058175A (ja) | レーザ加工装置の光軸の較正方法 | |
| KR101941417B1 (ko) | 레이저 용접부에 있어서의 구멍 검출 방법 및 레이저 용접 장치 | |
| JP2023120682A (ja) | レーザ溶接装置及びレーザ光の照射位置ずれの補正方法 | |
| JP2006346741A (ja) | レーザ溶接方法 | |
| JP2010046679A (ja) | レーザ溶接品質検査方法及び装置 | |
| JP4127614B2 (ja) | レーザ溶接装置および溶接方法 | |
| JPH04187393A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2016055345A (ja) | カメラ位置調整装置、溶接ロボットシステムおよびカメラ位置調整方法 | |
| JPH02303692A (ja) | レーザ加工機 | |
| KR20230078117A (ko) | 레이저 빔 중심 검출 장치 | |
| WO2023157883A1 (ja) | レーザ溶接装置及びレーザ光の照射位置ずれの補正方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040226 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050531 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050727 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060104 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060111 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100120 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100120 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110120 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120120 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120120 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130120 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130120 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140120 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |