JPH10247614A - 処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ポンプ圧等の検出精度への影響を小さくし，
かつ一個の圧力計でフィルタの目詰りを検出する。 【解決手段】 処理液供給管路８上に，処理液９を圧送
するポンプ１，フィルター３，流量制御弁４をこの順に
設けた処理装置において，ポンプ１とフィルター３間に
圧力計２を設ける。圧送終了直後の圧力計２の低下量か
らフィルター３の目詰りの程度を検出する。また，一つ
のフィルター３を選択できる管路切り換え回路８を介し
て複数のフィルター３を並列に接続する。目詰りを生じ
たフィルター３を処理液供給管路８から切り離し他のフ
ィルター３に流路を切り換える。装置を停止することな
くフィルターの交換ができ，装置のスループットが向上
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエーハ等の
被処理体にレジスト等の処理液を供給して，レジスト塗
布等の処理をする処理装置に関する。

【０００２】被処理体に処理液を供給して処理する装
置，例えば半導体ウエーハのレジスト塗布装置では，処
理液中の異物を除去するため，処理液供給管路の途中に
フィルターを介設する。しかし，フィルターは使用中に
容易に目詰りを起こし，その後に処理した被処理体が不
良品となる事故を招来し易い。このため，フィルターの
目詰りを検出し，フィルターを交換する必要がある。そ
こで，フィルターの目詰りを確実にかつ簡易に検出し，
さらにフィルターの交換のための処理装置の運転停止時
間を短時間とすることができる処理装置が要望されてい
る。

【０００３】

【従来の技術】従来の処理装置では，フィルターの前後
の処理液圧力を測定して，その圧力差からフィルターの
目詰りを検出している。以下，レジスト塗布装置を例
に，従来の処理装置を説明する。

【０００４】図７は従来例処理装置構成図であり，レジ
スト塗布装置の主要な構成を表している。図７を参照し
て，被処理体７であるウエーハは，回転機構１２により
垂直軸回りに回転駆動される回転台１１上に水平に載置
される。この被処理体７の直上に吐出口６が設けられ，
吐出口６から間欠的に吐出される処理液９たるレジスト
が回転する被処理体７上に供給されて塗布される。な
お，吐出後のレジストの漏れを防止するため，吐出口６
近くにサックバック５が設けられる。

【０００５】処理液保存容器１３内に保存された処理液
９は，処理液保存容器１３と吐出口６とを接続する処理
液供給管路８を通り，処理液供給管路８に介設されたポ
ンプ１により圧送されて吐出口６まで輸送され被処理体
上に供給される。また，ポンプ１と吐出口との間に流量
制御弁４が設けられる。通常，ポンプ１と流量制御弁４
とは同期して作動し，ポンプ１が作動する吐出期間は流
量制御弁４が開放され，ポンプ１停止期間は流量制御弁
４が閉鎖される。

【０００６】フィルター３は，ポンプ１と流量制御弁４
の間の処理液供給管路８に介設される。また，フィルタ
ー３の出入口に処理液供給管路８内の処理液圧力を測定
する２つの圧力計２ａ，２ｂが設けられる。２つの圧力
計２ａ，２ｂの出力は，差圧検出器１０ａにより比較さ
れ，フィルター３の出入口間の差圧が求められる。

【０００７】図８は，処理液供給管路内圧力の変化を表
す図であり，吐出期間前後においてフィルター３の出入
口に設けられた圧力計が示す処理液圧力を表している。
図８を参照して，図中ハで示す圧送制御信号が吐出期間
２４（図中，Ｈレベルの期間として表されている。）に
ある間，ポンプ１が作動しかつ流量制御弁４が開放さ
れ，フィルター３に処理液９が流れるため，フィルター
３の入口側の圧力計２ａが示す圧力（図中イで示し
た。）とフィルター３の出口側の圧力計２ｂが示す圧力
（図中ロで示した。）との間にフィルター３の目詰りの
程度に応じた大きさの差圧Ｐが生ずる。従来の処理装置
は，この吐出期間２４の差圧を測定することで，フィル
ター３の目詰りを検出していた。

【０００８】しかし，２個の圧力計２ａ，２ｂを用いる
ことから，２個の圧力計の調整を確実にする必要があり
手間がかかる。この調整が不十分では精密な差圧を測定
することができないからである。また，圧力計の設置の
費用が２個分かかりコスト高になる。

【０００９】かかる欠点を解決すべく，１個の圧力計を
用いてフィルターの目詰りを検出する方法が考案され
た。この方法では，一個の圧力計で吐出期間におけるポ
ンプ内の圧力又はフィルターの入口の圧力を測定し，測
定された圧力が予め測定され記憶されているフィルター
が目詰りをおこしたときの圧力を超えたことで目詰りを
検出する。従って，一個の圧力計で目詰りを検出するこ
とができる。しかし，ポンプ内ないしフィルター入口の
圧力は，ポンプの動作速度等により変動する。このた
め，ポンプの調整毎にフィルターが目詰りをおこしたと
きの圧力を再度測定し記憶させねばならず，多大の時間
と手間を要する。

【００１０】さらに，上述した従来の処理装置では，目
詰りを起こしたフィルターを交換するため処理装置を停
止しなければならず，処理装置のスループット低下を招
来している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
処理装置では，吐出期間におけるフィルターの入口と出
口との圧力を２個の圧力計を用いて測定し，その差圧か
らフィルターの目詰りを検出するため，２個の圧力計間
の調整に手間と時間を要しかつ装置が高価になるという
問題があった。

【００１２】また，ポンプ内又はフィルター入口の圧力
を一個の圧力計により測定してフィルターの目詰りを検
出する方法は，ポンプの調整毎に目詰り状態の圧力を再
度測定しなければならず，多大の手間と時間を必要とす
るという問題がある。

【００１３】さらに，従来の処理装置では，目詰りをお
こしたフィルターの交換のため処理装置を停止しなけれ
ばならず，処理装置のスループットが低下するという問
題がある。

【００１４】本発明は，フィルター入口の圧力の吐出期
間終了直後の変化量からフィルターの目詰りを検出する
ことにより，ポンプ調整時の再測定が不要な一個の圧力
計を用いたフィルターの目詰りを検出する処理装置を提
供することを目的とし，さらにフィルター交換時の装置
停止期間を短縮した処理装置を提供することを目的とし
ている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】図１は本発明の第一実施
形態例構成図，図５は本発明の第二実施形態例構成図で
あり，処理装置の処理液供給手段の主要な構成を表して
いる。

【００１６】上記課題を解決するために，本発明の第一
の構成は，図１を参照して，被処理体７に処理液９を供
給する吐出口６と，処理液保存容器１３から該吐出口６
へ該処理液９を輸送する処理液供給管路８と，該処理液
供給管路８に介設されて該処理液供給管路８の該吐出口
６方向に該処理液９を圧送するポンプ１と，該ポンプ１
と該吐出口６との間の該処理液供給管路８に介設された
フィルター３と，該フィルター３と該吐出口６との間の
該処理液供給管路８に介設された流量制御弁４とを備え
た処理装置において，該ポンプ１と該フィルター３との
間の該処理液供給管路８に設けられ，該処理液供給管路
８内の該処理液９の圧力を測定する圧力計２と，該処理
液９の圧送終了信号２１ｂを受けて，該ポンプ１を停止
させる停止信号２２ｂ及び該流量制御弁４を閉鎖させる
閉鎖信号２３ｂをそれぞれ該ポンプ１及び該流量制御弁
４に送信するコントローラ１５と，該圧力計２の出力を
観測して，該圧送終了信号２１ｂの受信直後に発生する
該圧力の低下量が，予め設定された設定圧力を超えたと
きにフィルター３の目詰り警報２０を発生する圧力計測
部１０とを有することを特徴として構成し，第二の構成
は，第一の構成の処理装置において，並列に接続された
複数の該フィルター３のなかから任意に選択された一つ
の該フィルター３ａ，３ｂに，該処理液９の流路を切り
換える管路切り換え回路１６を備え，該目詰り警報２０
を受けて，該管路切り換え回路１６を切り換えることを
特徴として構成する。

【００１７】本発明の発明者は，フィルター入口の処理
液供給管路内圧力が，処理液の吐出期間経過直後に低下
する現象を見いだし，この圧力の低下量がフィルターの
目詰りの程度に対応することを確認した。なお，この圧
力低下は，吐出期間経過後の短時間，例えば吐出期間終
了時から０．２〜０．８秒以内に生ずるもので，フィル
ターの目詰りが無いときに吐出期間終了時から数秒間続
く緩やかな圧力低下とは明確に識別される。本発明はか
かる事実に基づき考案された。

【００１８】本発明の第一の構成では，図１を参照し
て，処理液保存容器１３と吐出口６とを接続する処理液
供給管路８に，ポンプ１，圧力計２，フィルター３及び
流量制御弁４がこの順に設けられる。さらに，吐出期間
の終了を伝える圧送終了信号２１ｂを受けたコントロー
ラ１５は，ポンプ１に停止信号２２ｂを，流量制御弁４
に閉鎖信号２３ｂを送信して，ポンプ１を停止しかつ流
量制御弁４を閉じ，処理液９の吐出動作を終了させる。
なお，圧送終了信号２１ｂはコントローラ１５の内部で
発生させてもよく，また外部の制御機器から送信するこ
ともできる。

【００１９】他方，圧送終了信号２１ｂは圧力計測部１
０にも送信される。圧力計測部１０は，圧力計２の出力
を観測し，圧送終了信号２１ｂの受信直後の所定期間内
に生ずる圧力低下を測定する。この所定期間は，既述し
たフィルターの目詰りに起因する圧力低下が十分に観測
できる程度に長く，他方フィルターの目詰りが無いとき
に吐出期間終了時から数秒間続く緩やかな圧力低下と区
別できる程度に短くなくてはならない。通常この所定期
間は実験的に定めることができ，吐出機構又は処理液に
依存するが，例えばレジスト塗布装置では０．２〜１秒
程度である。

【００２０】さらに，圧力計測部１０は，圧送終了信号
２１ｂの受信直後の圧力低下量が予め与えられている設
定圧力を超えたときにフィルター３の目詰りが検知され
たと認識し，目詰り警報２０を発生する。この目詰り警
報２０に基づいて，必要な操作，例えばフィルターの交
換，被処理体の搬送ががなされる。ここで，予め与えら
れている設定圧力は，フィルター３の交換が必要な程度
に目詰りを起こした場合に観測される吐出期間経過直後
に低下する圧力とし，実験的に求めることができる。

【００２１】本構成では，フィルターの目詰りを検出す
るために，吐出期間経過後の短期間の圧力変化を観測す
れば足りる。従って，ポンプの調整等により吐出期間の
圧力が変動しても，圧力変化を圧力の絶対値で規格化
し，この規格化した圧力変化を設定圧力と比較すること
でフィルターの目詰りの程度を正確に評価することがで
きる。従って，圧力の絶対値を測定する必要はなく，圧
力計の精密な調整を必要としない。さらに，圧力が変動
しても規格化された設定圧力はあまり変化しないから，
初めに設定圧力を求めた後はポンプの調整ごとに設定圧
力を再度実験的に求める必要がない。また，本構成では
一個の圧力計を設置することで足り，複数の圧力計間の
調整も不要であり，かつ処理装置が安価に製造できる。

【００２２】本発明の第二の構成では，図５を参照し
て，複数のフィルター３ａ，３ｂが切り換え回路１６を
介して並列に接続される。切り換え回路１６は，複数の
フィルター３ａ，３ｂの中から選択された一つのフィル
ター３ａに処理液９を送出する。そして，目詰り警報２
０を受信すると切り換え回路は切り換わり，それまで使
用していない他のフィルター３ｂに処理液９を送出す
る。

【００２３】本構成では，フィルターが目詰りを起こす
と自動的に他のフィルターに切り換わるため，処理装置
を停止する必要がない。また，目詰りを生じたフィルタ
ーは切り換え回路により処理液が圧送されている処理液
供給管路から切り離されるため，処理装置を運転した状
態で交換することができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】本発明の第一実施形態例は，半導
体ウエーハを被処理体とし，レジストを処理液とする処
理装置，即ちレジスト塗布装置に関する。

【００２５】図１を参照して，被処理体７たるウエーハ
は，回転機構１２により垂直軸回りに回転駆動される回
転台１１上に水平に載置される。被処理体７の直上に吐
出口６が設けられ，吐出口６近くにサックバック５が設
けられる。処理液保存容器１３と吐出口６とは処理液供
給管路８により接続され，処理液保存容器１３内の処理
液９は処理液供給管路８に介設されたポンプ１により吐
出口６まで圧送される。処理液保存容器１３内圧力はガ
ス供給管１４を通して一定圧に保持される。流量制御弁
４がポンプ１と吐出口との間に設けられる。以上の構成
は既述の従来例と同様である。

【００２６】図４は本発明の第一実施形態例ポンプ概念
図であり，本発明の第一及び第二実施形態例の処理装置
に使用したポンプを表している。図４を参照して，ポン
プ１はベローズ２６とエアーアクチュエータ２７とを主
要部として構成される。ベローズ２６はエアーアクチュ
エータ２７のピストン２７ａにより伸縮され，処理液９
を入口２６ａから吸引し，出口２６ｂから圧送する。な
お，入口２６ａ及び出口２６ｂは処理液供給管路８に接
続されている。エアーアクチュエータ２７は，コントロ
ーラ１５から送信されるコントロール信号２７ｃにより
制御される弁を通してエア入口から供給されるエアによ
り作動する。

【００２７】フィルター３は，図１を参照して，ポンプ
１と流量制御弁４との間に介設される。フィルター３と
ポンプ１との間の圧力，即ちフィルター３の入口側の処
理液供給管路８内の圧力を測定する圧力計２が設けられ
る。圧力計測部１０は，圧力計２が指示する処理液供給
管路８内圧力と圧力計測部１０の内部に予め記憶されて
いる設定圧力とを比較する。

【００２８】コントローラ１５は，処理装置全体のシー
ケンスを制御する電子回路を主要部とし，マイクロプロ
セッサ，記憶装置及び入出力回路の他，ポンプ１等の機
器制御に必要な周辺回路を含み構成される。このコント
ローラ１５は，その内部でシーケンスプログラムに従い
処理液吐出期間を画定する圧送制御信号２１を作成す
る。圧送制御信号２１は，吐出期間を表す信号，例えば
吐出期間継続する高レベルの電気信号と，吐出期間以外
の期間は処理液の吐出停止期間を表す信号，例えば低レ
ベルの電気信号とからなり，吐出停止期間を表す信号か
ら吐出期間を表す信号への移行を圧送開始信号２１ａと
し，吐出期間を表す信号から吐出停止期間を表す信号へ
の移行を圧送終了信号２１ｂとして構成される。処理装
置の各部はこれらの信号に基づいてコントローラ１５に
より制御される。

【００２９】以下，本第一実施形態例に係るレジスト塗
布装置の動作を説明する。図１を参照して，先ず，被処
理体７を回転台１１上に載置されたことを確認した後，
コントローラは圧送開始信号２１ａを生成し，この圧送
開始信号２１ａをトリガとして作動信号２２ａ及び開放
信号２３ａを生成する。なお，圧送開始信号２１ａ生成
後の圧送制御信号２１は吐出期間を表示する。作動信号
２２ａはポンプ制御信号２２としてポンプ１に送信さ
れ，これを受信したポンプ１は圧送動作を開始する。開
放信号２３ａは弁制御信号２３として流量制御弁４に送
信され，これを受信した流量制御弁４は処理液供給管路
８を開く。その結果，処理液９は処理液供給管路８内を
圧送され，吐出口から被処理体７上に供給される。

【００３０】圧送開始信号２１ａ発生時から吐出期間を
経過すると，圧送制御信号２１は吐出停止期間を表示す
る信号に移行し，圧送終了信号２１ｂが発生する。コン
トローラ１５は，圧送終了信号２１ｂをトリガとして閉
鎖信号２３ｂ及び停止信号２２ｂを発生し，それぞれ弁
制御信号２３として流量制御弁４及びポンプ制御信号と
してポンプ１に送信する。閉鎖信号２３ｂを受信した流
量制御弁４は，処理液供給管路８を閉じ処理液９の被処
理体７への供給を停止する。停止信号２２ｂを受信した
ポンプ１は停止し，処理液９の圧送を停止する。さらに
コントローラ１５は圧送終了信号２１ｂを圧力計測部１
０に送信し，これを受信した圧力計測部１０は吐出期間
終了後の圧力低下量の測定を開始する。次に圧力計測部
１０の動作を説明する。

【００３１】図６は本発明の第一実施形態例圧力変動を
表す図であり，圧力計により観測されたフィルター入口
側の処理液供給管路内圧力の吐出期間経過時前後の変動
を表している。図６（ａ）はフィルター３の目詰りがな
い場合の圧力変動を，図６（ｃ）はフィルター３の交換
を必要とする程度の目詰りが発生している場合の圧力変
動を，及び図（ｂ）はフィルター３の目詰りの程度が図
６（ａ）と（ｂ）との中間の場合の圧力変動を表してい
る。

【００３２】図６を参照して，圧力計測部１０は，圧送
制御信号２１の吐出期間２４表示から吐出停止期間２５
表示への変化を圧送終了信号２１ｂとして受信し，圧送
終了信号２１ｂ受信時ｔ₁ から予め長さが定められた測
定期間が経過する時ｔ₂ までの間一定の時間間隔で圧力
計２の出力のサンプリングを開始する。この測定期間ｔ
₁ 〜ｔ₂ の長さｔ₂ −ｔ₁ は，例えば０．２秒〜１．０
秒とする。図６（ａ）を参照して，フィルターの目詰り
に起因しない圧力の低下は通常は数秒〜十数秒間を要す
るから，かかる短い測定期間の間に生ずる圧力低下ΔＰ
は極めて小さく，通常は無視できる。これに対してフィ
ルターの目詰りがある場合の圧力低下は，図６（ｂ）及
び（ｃ）を参照して，この測定期間内にほぼ終了する。
従って，この程度の測定期間とすることで，フィルター
の目詰りに起因する圧力低下のみを分離して測定するこ
とができる。

【００３３】圧力低下量の測定は，測定期間ｔ₁ 〜ｔ₂
内に測定された圧力の最大値と最小値との差として求め
られる。この差を求めるには，圧力変動量を求める方法
として一般的に使用される方法を適用することができ
る。例えば，圧送終了信号２１ｂにより開始された圧力
の最初のサンプリング値を記憶し，その記憶値を順次そ
の後のサンプリング値と比較し，記憶値を大きい値に置
き換えることで圧力の最大値が求まる。また，最初のサ
ンプリング値を他の記憶装置に記憶し，その記憶値を小
さい値に置き換えることで圧力の最小値が求まる。

【００３４】測定期間の終了後，圧力の最大値と圧力の
最小値の差を圧力の最大値で正規化した圧力低下量〔Δ
Ｐ〕を求め，この〔ΔＰ〕が予め記憶されている設定圧
力を超えたとき目詰りが検出されたとして目詰り警報２
０を出力する。なお，設定圧力はフィルターの交換が必
要となる目詰り状態にあるときの圧力低下量を実験的に
求め，上記と同様に正規化した値を用いる。

【００３５】目詰り警報を受けたコントローラは，図１
を参照して，回転機構１２の作動を中止すると共に被処
理体７を所定の位置に収容する。同時に，警報ランプを
点灯し操作員にフィルター３交換の必要を知らせる。そ
の後，シーケンスを停止し，待機状態に入る。通常，フ
ィルター３交換後にコントローラは再起動され，その後
の処理が続行される。

【００３６】図２は本発明の第一実施形態例ウエーハ搬
送図，図３は本発明の第一実施形態例他のウエーハ搬送
図であり，ウエーハの収容位置及び収容されたウエーハ
の方位を平面図により表している。図２を参照して，被
処理体７であるウエーハはカセットに収容され，セッテ
ング部３１に装着される。次に，一枚の被処理体７が塗
布部３２の回転台１１上に搬送され，レジスト（処理液
９）を上面に供給された後，目詰り警報が出力されない
ときはスピン塗布される。次に，この目詰り警報が出力
されず正常処理された被処理体７ａは，乾燥部３３で乾
燥され，さらに収容部３４のカセットに収容される。レ
ジスト（処理液９）を上面に供給された後，目詰り警報
が出力されたときはスピン塗布が中止され，この目詰り
警報が出力されたときの被処理体７ｂは，異常処理被処
理体７ｂ（図２及び図３中に破線で表示している。）と
して異常時収納部３５に収容される。図３の処理装置で
は，図２の装置の異常時収納部３５を設けず，収容部３
４に正常に処理された被処理体７ａと異常処理被処理体
７ｂとを収容する。このとき，異常処理被処理体７ｂは
１８０度回転して収容されるので，収容部３４に収納さ
れた異常処理被処理体７ｂのオリエンテーション・ファ
セットの位置は正常処理された被処理体７ａとは逆にな
り，両者を容易に識別できる。

【００３７】本発明の第二実施形態例は，フィルター３
を除いて第一実施例と同様の構成である。図５を参照し
て，本実施形態例では２個のフィルター３ａ，３ｂが並
列に設けられる。各フィルター３ａ，３ｂの出入口には
管路切り換え回路１６が挿入され，この管路切り換え回
路１６により選択された一方のフィルター３ａにのみ処
理液が圧送される。他方のフィルター３ｂは処理液供給
管路８から切り離されている。従って，目詰り警報２０
が出力されないときは，処理液９はこの一方のフィルタ
ー３ａにより濾過される。

【００３８】管路切り換え回路１６は，目詰り警報２０
を受信すると目詰りを起こした一方のフィルター３ａへ
の処理液流路を遮断し，同時に残りの他のフィルター３
ｂに処理液流路を切り換える。このとき，異常処理され
た被処理体の処置は第一実施形態例と同様になされる。
その後コントローラは自動的に再起動し，異常処理され
た被処理体に続く次の被処理体は，正常に処理される。
目詰りを起こしたフィルター３ａは処理液供給管路８か
ら切り離されているから，処理装置を運転した状態で新
品と交換することができる。従って，この実施形態例で
は，フィルター交換のために処理装置を停止する必要が
なく，スループットを高くすることができる。

【００３９】

【発明の効果】上述したように本発明によれば，フィル
ターの目詰りを処理液吐出期間経過直後の圧力低下を測
定することで検出するので，一つの圧力計を用いてポン
プ送出圧等の変動の影響を受けることなくフィルターの
目詰りを検出することができ，検出精度が高くかつ安価
な処理装置を提供することができる。また，目詰り発生
時及びフィルター交換時に装置の運転停止を必要としな
いので，スループットの高い処理装置を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第一実施形態例構成図

【図２】 本発明の第一実施形態例ウエーハ搬送図

【図３】 本発明の第一実施形態例他のウエーハ搬送図

【図４】 本発明の第一実施形態例ポンプ概念図

【図５】 本発明の第二実施形態例構成図

【図６】 本発明の第一実施例圧力変動を表す図

【図７】 従来例処理装置概念図

【図８】 処理液供給管路内圧力の変化を表す図

【符号の説明】

１ ポンプ ２，２ａ，２ｂ 圧力計 ３，３ａ，３ｂ フィルター ４ 流量制御弁 ５ サックバック ６ 吐出口 ７，７ａ，７ｂ 被処理体 ８ 処理液供給管路 ９ 処理液 １０ 圧力計測部 １０ａ 差圧検出器 １１ 回転台 １２ 回転機構 １３ 処理液保存容器 １４ ガス供給管 １５ コントローラ １６ 管路切り換え回路 ２０ 目詰り警報 ２１ 圧送制御信号 ２１ａ 圧送開始信号 ２１ｂ 圧送終了信号 ２２ ポンプ制御信号 ２２ａ 作動信号 ２２ｂ 停止信号 ２３ 弁制御信号 ２３ａ 開放信号 ２３ｂ 閉鎖信号 ２４ 吐出期間 ２５ 吐出停止期間 ２６ ベローズ ２７ エアーアクチュエータ ３１ セッテング部 ３２ 塗布部 ３３ 乾燥部 ３４ 収容部 ３５ 異常時収納部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理体に処理液を供給する吐出口と，
   処理液保存容器から該吐出口へ該処理液を輸送する処理
   液供給管路と，該処理液供給管路に介設されて該処理液
   供給管路の該吐出口方向に該処理液を圧送するポンプ
   と，該ポンプと該吐出口との間の該処理液供給管路に介
   設されたフィルターと，該フィルターと該吐出口との間
   の該処理液供給管路に介設された流量制御弁とを備えた
   処理装置において，該ポンプと該フィルターとの間の該
   処理液供給管路に設けられ，該処理液供給管路内の該処
   理液の圧力を測定する圧力計と，該処理液の圧送終了信
   号を受けて，該ポンプを停止させる停止信号及び該流量
   制御弁を閉鎖させる閉鎖信号をそれぞれ該ポンプ及び該
   流量制御弁に送信するコントローラと，該圧力計の出力
   を観測して，該圧送終了信号の受信直後に発生する該圧
   力の低下量が，予め設定された設定圧力を超えたときに
   フィルターの目詰り警報を発生する圧力計測部とを有す
   ることを特徴とする処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の処理装置において，並列
   に接続された複数の該フィルターのなかから任意に選択
   された一つの該フィルターに，該処理液の流路を切り換
   える管路切り換え回路を備え，該目詰り警報を受けて，
   該管路切り換え回路を切り換えることを特徴とする処理
   装置。