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JPH10236824A - Titania-zirconia multiple oxide fine powder and its production - Google Patents

Titania-zirconia multiple oxide fine powder and its production

Info

Publication number
JPH10236824A
JPH10236824A JP9059892A JP5989297A JPH10236824A JP H10236824 A JPH10236824 A JP H10236824A JP 9059892 A JP9059892 A JP 9059892A JP 5989297 A JP5989297 A JP 5989297A JP H10236824 A JPH10236824 A JP H10236824A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acid
fine powder
composite oxide
oxide fine
zirconium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9059892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Omori
将弘 大森
Katsutoshi Tamura
克俊 田村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Holdings Corp
Original Assignee
Showa Denko KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Showa Denko KK filed Critical Showa Denko KK
Priority to JP9059892A priority Critical patent/JPH10236824A/en
Publication of JPH10236824A publication Critical patent/JPH10236824A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a TiO2 -ZrO2 multiple oxide fine powder of uniform composition useful as the intermediate material of a dielectric, etc., and having a large specific surface. SOLUTION: This fine powder consists of the fine grain of Tix Zr1-x O2 (0<x<1) as a solid soln. of TiO2 -ZrO2 and has >=15m<2> /g specific surface. The fine powder is produced by adding alcohol or alcohol, water and a carboxylic acid to the soluble salts of titanium and zirconium which are dissolved, heating the soln. obtained to form a gel, heat-treating the gel at 400-900 deg.C and then crushing the gel.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高性能誘電体材料
として有用な、例えばチタン酸ジルコン酸バリウム、チ
タン酸ジルコン酸鉛等の中間材料である均一で微細なチ
タニア(TiO2)−ジルコニア(ZrO2 )系複合酸
化物微粉末及びその製造法に関する。
The present invention relates to a uniform and fine titania (TiO 2 ) -zirconia (intermediate material such as barium zirconate titanate or lead zirconate titanate) useful as a high performance dielectric material. The present invention relates to a ZrO 2 ) -based composite oxide fine powder and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】誘電性電子セラミックスとしてチタン酸
ジルコン酸のBa塩(BaTix Zr1-x3 )や鉛塩
(PbTix Zr1-x3 )などが知られている。これ
らの化合物を製造する方法として鉛塩の場合、特開平2
−243565ではPbOとTix Zr1-x2 を混合
し、加熱反応させた後粉砕して粉末としている。この特
許ではTix Zr1-x2 は四塩化チタン水溶液と硝酸
ジルコニルの混合溶液にアンモニアを加えてスラリーを
生成させ、これを濾過、乾燥した後、900〜1100
℃で熱処理し、放冷後粉砕することにより製造してい
る。その他TiO2 とZrO2 の粉末を混合し、高温で
熱処理する方法も知られている。
Including Ba salts of zirconate titanate (BaTi x Zr 1-x O 3) and lead salt (PbTi x Zr 1-x O 3) is known as the Related Art Dielectric electronic ceramics. As a method for producing these compounds, in the case of a lead salt, a method disclosed in
In -243565, PbO and Ti x Zr 1 -x O 2 are mixed, heated and reacted, and then pulverized to a powder. In this patent, Ti x Zr 1 -x O 2 is prepared by adding ammonia to a mixed solution of an aqueous solution of titanium tetrachloride and zirconyl nitrate to form a slurry, filtering and drying the slurry, and then drying the slurry.
It is manufactured by heat treatment at ℃, cooling and pulverization. In addition, a method of mixing TiO 2 and ZrO 2 powders and performing heat treatment at a high temperature is also known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】TiO2 とZrO2
混合粉末を用いる方法ではTiO2 とZrO2 が均一に
固溶した複合酸化物を形成させることが難しく、また均
一にするための熱処理温度も高温を必要とするので、生
成する複合酸化物の粒子が成長し、そのために中間材料
として望ましい微細な粒子が得られない。この点上記の
特許の方法はTiO2 とZrO2 はある程度十分に固溶
し、またその粒径も0.05〜0.1μmであり、かな
り微細なものが得られている。しかしながら、それでも
均一な結晶にするための熱処理温度が900〜1100
℃と高いので十分に微細ではなく、また粒子の表面形状
等に由来する比表面積も十分大きなものではない。本発
明はセラミックス誘電体の中間材料として有用なTiO
2 とZrO2 が固溶し、かつ粒径が微細で比表面積の大
きな複合酸化物微粉末を提供することを目的とする。
[SUMMARY OF THE INVENTION] TiO 2 and it is difficult to form a composite oxide TiO 2 and ZrO 2 are uniformly dissolved in the method of using a mixed powder of ZrO 2, also the heat treatment temperature for equalizing Also, high temperature is required, so that the particles of the composite oxide to be formed grow, so that fine particles desirable as an intermediate material cannot be obtained. The method of this point above patents TiO 2 and ZrO 2 is somewhat enough solid solution, also is its particle size is also 0.05 to 0.1 [mu] m, are fairly fine can not be obtained. However, the heat treatment temperature for obtaining a uniform crystal is still 900 to 1100.
Since the temperature is as high as ° C., the particles are not sufficiently fine, and the specific surface area derived from the surface shape and the like of the particles is not sufficiently large. The present invention relates to a TiO useful as an intermediate material of a ceramic dielectric.
It is an object of the present invention to provide a composite oxide fine powder in which 2 and ZrO 2 form a solid solution, have a small particle size and a large specific surface area.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題解決の
ため鋭意研究した結果開発したもので、その基本は以下
の構成からなる。 1)TiO2 とZrO2 が固溶したTix Zr1-x2
(0<x<1)の微粒子からなり、その比表面積が15
2 /g以上であるTiO2 −ZrO2 系複合酸化物微
粉末。 2)チタニウムとジルコニウムの可溶性塩にアルコール
又はアルコールと水及びカルボン酸を加え溶解し、得ら
れた溶液を加熱してゲルを形成し、このゲルを500〜
900℃で熱処理することを特徴とするTiO2 −Zr
2 系複合酸化物微粉末の製造法。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been developed as a result of intensive research to solve the above-mentioned problems, and its basic structure is as follows. 1) Ti x Zr 1-x O 2 in which TiO 2 and ZrO 2 form a solid solution
(0 <x <1) having a specific surface area of 15
A TiO 2 -ZrO 2 -based composite oxide fine powder having a m 2 / g or more. 2) Alcohol or alcohol, water and carboxylic acid are added to and dissolved in a soluble salt of titanium and zirconium, and the resulting solution is heated to form a gel.
TiO 2 -Zr characterized by heat treatment at 900 ° C.
A method for producing an O 2 -based composite oxide fine powder.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】本発明の複合酸化物微粉末はTi
2 とZrO2 が均一に固溶し、Tix Zr1-x2
形成している。この化合物を形成していることはX線回
折装置で単純な1種類のピークが得られることで確認で
きる。その結晶構造は一般的にはアナターゼ型である。
X線回折によれば、例えばTiO2 が過剰な場合、Ti
2 の結晶構造のピークがZrO2 の固溶により低角度
側にシフトしたピークのみが現れ、単一化合物(固溶
体)であることがわかる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The composite oxide fine powder of the present invention is Ti
O 2 and ZrO 2 are uniformly dissolved to form Ti x Zr 1-x O 2 . The formation of this compound can be confirmed by the fact that a single kind of peak is obtained with an X-ray diffractometer. Its crystal structure is generally of the anatase type.
According to X-ray diffraction, for example, when TiO 2 is excessive, Ti
Only the peak of the crystal structure of O 2 shifted to the lower angle side due to the solid solution of ZrO 2 appears, indicating that it is a single compound (solid solution).

【0006】本発明の複合体Tix Zr1-x2 におい
てxは0より大きく、1より小さい値であるが、好まし
くは0.6〜0.9、さらに好ましくは0.65〜0.
85である。本発明の複合酸化物粉末は、微細な粒子か
らなり、かつ比表面積が大きい粒子表面形状をしてい
る。具体的には15m2 /g以上の比表面積を有してい
る。その上限は製法上の制約から80m2 /g程度であ
る。粒子の大きさは平均粒径で50nm以下が好まし
い。このように微細にして比表面積が大きいことから、
この複合酸化物をBaO、PbO等と反応させる場合に
反応性が高く、かつ均一組成のBaTix Zr1-x3
等が得られる。
In the composite Ti x Zr 1 -x O 2 of the present invention, x is a value larger than 0 and smaller than 1, preferably 0.6 to 0.9, more preferably 0.65 to 0.
85. The composite oxide powder of the present invention is formed of fine particles and has a particle surface shape having a large specific surface area. Specifically, it has a specific surface area of 15 m 2 / g or more. The upper limit is about 80 m 2 / g due to restrictions on the production method. The average size of the particles is preferably 50 nm or less. Because of such a fine and large specific surface area,
BaO The composite oxide, BaTi x of high reactivity, and uniform composition is reacted with PbO like Zr 1-x O 3
Etc. are obtained.

【0007】次に製造法について説明する。原料として
はチタニウム塩とジルコニウム塩の可溶性塩を用いる。
チタニウム塩としては四塩化チタン、硫酸チタン、チタ
ンアルコキシドが好ましく、またジルコニウム塩として
はオキシ硝酸ジルコニウム、オキシ塩化ジルコニウム、
四塩化ジルコニウムが好ましい。これらのチタニウム塩
とジルコニウム塩を混合し、これにアルコールとカルボ
ン酸を加える。また、さらに水を加えることもできる。
この場合溶液においてアルコールあるいは水を含むアル
コールは可溶性塩を溶解する溶媒となり、またカルボン
酸は可溶性塩と作用し、錯体等の化合物が生成すると考
えられる。可溶性塩にアルコールとカルボン酸を添加す
る順序は特に制限はなくアルコールに塩を加えて溶解
し、次いでカルボン酸を加えてもよく、またアルコール
とカルボン酸の混合溶液に可溶性塩を加えてもよい。チ
タニウム塩とジルコニウム塩の混合割合は目的とするT
x Zr1-x3 のxに合わせて定めればよい。
Next, the manufacturing method will be described. As a raw material, a soluble salt of a titanium salt and a zirconium salt is used.
As the titanium salt, titanium tetrachloride, titanium sulfate, titanium alkoxide is preferable, and as the zirconium salt, zirconium oxynitrate, zirconium oxychloride,
Zirconium tetrachloride is preferred. These titanium salts and zirconium salts are mixed, and alcohol and carboxylic acid are added thereto. Further, water can be further added.
In this case, it is considered that alcohol or alcohol containing water becomes a solvent for dissolving the soluble salt in the solution, and carboxylic acid acts with the soluble salt to form a compound such as a complex. The order of adding the alcohol and the carboxylic acid to the soluble salt is not particularly limited, and the salt may be added to the alcohol and dissolved, and then the carboxylic acid may be added, or the soluble salt may be added to a mixed solution of the alcohol and the carboxylic acid. . The mixing ratio of the titanium salt and the zirconium salt depends on the desired T
i x Zr may be determined in accordance with the 1-x O 3 of x.

【0008】アルコールは1価アルコール、多価アルコ
ールを使用することができるが、メタノール、エタノー
ル、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、エ
チレングリコール、1,3−プロパンジオール、1,2
−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,3
−ブタンジオール、1,2−ブタンジオール、2,3−
ブタンジオールが好ましい。これらは1種あるいは2種
以上を混合して用いることができる。カルボン酸はクエ
ン酸、リンゴ酸、酒石酸、乳酸、グリコール酸、トリカ
ルバリル酸、コハク酸、シュウ酸、マレイン酸、マロン
酸、アクリル酸、酢酸のうち少なくとも1種を用いるの
が好ましい。
As the alcohol, a monohydric alcohol or a polyhydric alcohol can be used, and methanol, ethanol, propanol, isopropanol, butanol, ethylene glycol, 1,3-propanediol, 1,2
-Propanediol, 1,4-butanediol, 1,3
-Butanediol, 1,2-butanediol, 2,3-
Butanediol is preferred. These can be used alone or in combination of two or more. As the carboxylic acid, it is preferable to use at least one of citric acid, malic acid, tartaric acid, lactic acid, glycolic acid, tricarballylic acid, succinic acid, oxalic acid, maleic acid, malonic acid, acrylic acid and acetic acid.

【0009】各原料の添加比率については、溶媒と可溶
性塩との比はモル比が1:1〜100:1が好ましい。
可溶性塩に対する溶媒の比が1未満では溶媒が少なくな
り過ぎて完全に可溶性塩が溶解しなくなる。一方、10
0を越えると重合反応が長時間におよぶため好ましくな
い。また、可溶性塩とカルボン酸との比はモル比で1:
0.1〜1:10が好ましい。この比が0.1未満では
十分な添加効果が得られず、可溶性塩が錯体化等しな
い。一方、10を越えると逆に錯体等の反応生成物が塩
として沈澱することもあり好ましくない。混合溶媒に水
を加える場合は50モル%以下が好ましい。その理由は
水の量が多くなると重合反応が脱水縮重合反応であるた
め、重合反応の進行が妨げられるからである。
Regarding the addition ratio of each raw material, the molar ratio of the solvent to the soluble salt is preferably 1: 1 to 100: 1.
When the ratio of the solvent to the soluble salt is less than 1, the amount of the solvent becomes too small to completely dissolve the soluble salt. On the other hand, 10
Exceeding 0 is not preferable because the polymerization reaction takes a long time. The ratio between the soluble salt and the carboxylic acid is 1: 1:
0.1 to 1:10 is preferred. If this ratio is less than 0.1, a sufficient effect cannot be obtained, and the soluble salt does not complex. On the other hand, if it exceeds 10, the reaction product such as a complex may precipitate as a salt, which is not preferable. When water is added to the mixed solvent, the content is preferably 50 mol% or less. The reason is that when the amount of water is large, the polymerization reaction is a dehydration-condensation polymerization reaction, so that the progress of the polymerization reaction is hindered.

【0010】この混合溶液をマントルヒーター、ホット
プレートなどで加熱することにより重合反応を行う。反
応温度は反応時間によっても変わるが、80〜180℃
が適当であり、好ましくは120〜160℃で2〜10
時間である。反応終了後未反応の溶媒を加熱して除去し
濃縮することにより透明なゲルが得られる。次に得られ
た透明ゲルを熱処理する。熱処理装置は通常の電気炉を
用いることができ、その処理雰囲気は有機成分を除去し
うる酸化性雰囲気であればよく、空気、酸素富化空気な
どでよい。処理温度は400℃以上900℃以下が好ま
しい。400℃未満であると有機成分が生成物中に残留
するので好ましくなく、900℃を越えると前述したよ
うに生成物粒子同士が焼結して成長し、比表面積が増大
してしまう。昇温速度はできるだけ早いほうがよく、1
0〜100℃/minが好ましい。焼成後は適当な粉砕
機を用いて、塊状体である生成物の粒度を揃えて製品と
する。
[0010] The polymerization reaction is carried out by heating the mixed solution with a mantle heater, a hot plate or the like. The reaction temperature varies depending on the reaction time,
Is suitable, and preferably 2 to 10 at 120 to 160 ° C.
Time. After completion of the reaction, the unreacted solvent is removed by heating and concentrated to obtain a transparent gel. Next, the obtained transparent gel is heat-treated. An ordinary electric furnace can be used as the heat treatment apparatus, and the treatment atmosphere may be an oxidizing atmosphere capable of removing organic components, and may be air, oxygen-enriched air, or the like. The processing temperature is preferably from 400 ° C to 900 ° C. If the temperature is lower than 400 ° C., the organic component remains in the product, which is not preferable. If the temperature is higher than 900 ° C., the product particles are sintered and grow as described above, and the specific surface area increases. The heating rate should be as fast as possible.
0-100 degreeC / min is preferable. After calcination, the product, which is a lump, is made uniform using a suitable pulverizer to obtain a product.

【0011】本発明により均一で微細な複合酸化物がで
きる理由は明らかではないが、可溶性塩の錯体等の形成
段階で均一化したゲルとしていること、これを短時間で
熱分解することで均一性を保ったまま酸化物となると考
えられる。
The reason why a uniform and fine composite oxide can be produced by the present invention is not clear, but it is necessary to form a gel which is homogenized at the stage of forming a complex of a soluble salt, etc. It is considered that the oxide is formed while maintaining the property.

【0012】[0012]

【実施例】以下実施例により具体的に説明する。実施例
の反応に用いた還流冷却器付き反応槽を図1に示す。図
において1が混合溶液2を充填した反応槽でこれに還流
冷却器3が設置されている。4は撹拌機、5は温度計、
6は反応槽を加熱するための装置である。
The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. FIG. 1 shows a reaction vessel with a reflux condenser used for the reaction of the example. In the figure, reference numeral 1 denotes a reaction tank filled with a mixed solution 2 and a reflux condenser 3 is provided therein. 4 is a stirrer, 5 is a thermometer,
6 is a device for heating the reaction tank.

【0013】(実施例1)図1に示したような還流冷却
器付きのガラスフラスコにエチレングリコール2モル
(384g)を入れ、これに無水クエン酸0.5モル
(31g)を溶解させた後、四塩化チタン0.8モル
(152g)とオキシ塩化ジルコニウム8水和物0.2
モル(65g)を添加して約60℃に加熱して完全に溶
解させる。これをマントルヒーターで120℃に保持し
て、エチレングリコールとクエン酸を重合させる。約6
時間保持した後、該溶液をビーカーに移してさらに約1
60℃で保持することで、未反応のエチレングリコール
を蒸発させ透明なゲルを得る。さらに約2時間保持し
て、液量を約1/5程度になってからビーカーを空気雰
囲気中350℃の電気炉内で、有機成分を分解させ固形
物として取り出す。この固形物をめのう乳鉢で十分に粉
砕してから空気雰囲気中700℃の電気炉内で2時間保
持することで完全に有機成分を分解させて目的とする微
粉体を得た。
Example 1 2 mol (384 g) of ethylene glycol was placed in a glass flask equipped with a reflux condenser as shown in FIG. 1, and 0.5 mol (31 g) of anhydrous citric acid was dissolved therein. , 0.8 mol (152 g) of titanium tetrachloride and 0.2 mol of zirconium oxychloride octahydrate
Add mole (65 g) and heat to about 60 ° C. to completely dissolve. This is maintained at 120 ° C. by a mantle heater to polymerize ethylene glycol and citric acid. About 6
After holding for a period of time, the solution was transferred to a beaker and
By maintaining at 60 ° C., unreacted ethylene glycol is evaporated to obtain a transparent gel. After holding the solution for about 2 hours and reducing the liquid volume to about 1/5, the organic component is decomposed in a beaker in an electric furnace at 350 ° C. in an air atmosphere to be taken out as a solid. The solid was sufficiently pulverized in an agate mortar and then kept in an electric furnace at 700 ° C. for 2 hours in an air atmosphere to completely decompose organic components to obtain a desired fine powder.

【0014】この微粉体の比表面積をBET法で測定し
たところ25m2 /gであった。また、走査型電子顕微
鏡(SEM)で観察した結果を図2に示した。図より該
粉体は1次粒子の平均粒子径が50nmと非常に微細で
あることが明らかとなった。さらにX線回折装置による
該粉体の同定を図3に示した。図よりこの粉体はアナタ
ーゼ型の酸化チタンが低角度側にシフトしたピークのみ
が得られ、このことは該粉体が均一化していることを示
している。
The specific surface area of the fine powder measured by the BET method was 25 m 2 / g. FIG. 2 shows the results of observation with a scanning electron microscope (SEM). It is clear from the figure that the powder has a very fine primary particle having an average particle diameter of 50 nm. FIG. 3 shows the identification of the powder by an X-ray diffraction apparatus. From the figure, only a peak in which the anatase type titanium oxide was shifted to the lower angle side was obtained from this powder, which indicates that the powder was uniform.

【0015】(実施例2)実施例1においてクエン酸を
リンゴ酸、エチレングリコールをイソプロパノールに変
えた以外は実施例1と同様にして目的とする微粉体を得
た。この微粉体の比表面積をBET法で測定したところ
60m2 /gであった。また、走査型電子顕微鏡(SE
M)で観察した結果、1次粒子の平均粒子径が25nm
と非常に微細であることが明らかとなった。さらにX線
回折装置で該粉体の同定を行ったところアナターゼ型の
酸化チタンが低角度側にシフトしたピークのみが得ら
れ、このことは該粉体が均一化していることを示してい
る。
Example 2 A desired fine powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that malic acid was used for citric acid and isopropanol was used for ethylene glycol. When the specific surface area of this fine powder was measured by the BET method, it was 60 m 2 / g. Scanning electron microscope (SE
M), the average particle size of the primary particles was 25 nm.
It became clear that it was very fine. Further, when the powder was identified by an X-ray diffractometer, only a peak in which anatase type titanium oxide was shifted to a lower angle side was obtained, indicating that the powder was homogenized.

【0016】(比較例1)酸化チタン(和光純薬製 9
9.9%)79.8gと酸化ジルコニウム(和光純薬製
99.9%)123.2gとをジルコニアビーズを用
いたボールミル中で2時間撹拌し、ろ過・乾燥後めのう
乳鉢を用いて十分に粉砕してから、空気雰囲気中700
℃の電気炉内で10時間保持して目的とする粉体を得
た。この微粉体の比表面積をBET法で測定したところ
20m2 /gであり、走査型電子顕微鏡(SEM)で観
察した結果より該粉体は1次粒子の平均粒子径が60n
mと微細であることが明らかとなった。しかしながらX
線回折装置で該粉体の同定を行ったところアナターゼ型
の酸化チタンと酸化ジルコニウムとの2種のピークのみ
が観察された。このことは該粉体が単なる混合物である
ことを示している。
Comparative Example 1 Titanium oxide (9 manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
9.9%) and 73.2 g of zirconium oxide (99.9%, manufactured by Wako Pure Chemical Industries) were stirred for 2 hours in a ball mill using zirconia beads, and then sufficiently filtered and dried using agate mortar. After crushing, 700 in air atmosphere
It was kept in an electric furnace at a temperature of 10 ° C. for 10 hours to obtain a target powder. The specific surface area of this fine powder was measured by the BET method and found to be 20 m 2 / g. From the result of observation with a scanning electron microscope (SEM), the powder had an average primary particle diameter of 60 n.
It was found that the particle size was as fine as m. However X
When the powder was identified by a line diffraction apparatus, only two peaks of anatase type titanium oxide and zirconium oxide were observed. This indicates that the powder is merely a mixture.

【0017】(比較例2)熱処理の条件を1400℃、
10時間とした以外は比較例1と同様にして目的とする
粉体を得た。X線回折装置により該粉体の同定を行った
ところ実施例1と同じくアナターゼ型の酸化チタンが低
角度側にシフトしたピークのみが得られ、該粉体が均一
化したことを示しているが、この微粉体の比表面積をB
ET法で測定したところ10m2 /gであり、また走査
型電子顕微鏡(SEM)で観察した結果より該粉体は1
次粒子の平均粒子径が900nmと非常に大きく、粒子
が焼結していることが明らかとなった。
(Comparative Example 2) The conditions of the heat treatment were 1400 ° C.
Except for 10 hours, the same procedure as in Comparative Example 1 was performed to obtain a target powder. When the powder was identified by an X-ray diffractometer, only a peak in which anatase-type titanium oxide was shifted to a lower angle side was obtained as in Example 1, indicating that the powder was homogenized. , The specific surface area of this fine powder
When measured by the ET method, it was 10 m 2 / g. From the result of observation with a scanning electron microscope (SEM), the powder was found to be 1 m 2 / g.
The average particle diameter of the secondary particles was very large at 900 nm, and it was clear that the particles were sintered.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明により、均一で微細な比表面積1
5m2 /g以上のTiO2 −ZrO2系複合酸化物が得
られる。これを用いて高温固相法によってBaO等と反
応させることにより従来より低い温度において微細で均
一組成のチタン酸ジルコン酸バリウム等が得られる。
According to the present invention, a uniform and fine specific surface area of 1
A TiO 2 -ZrO 2 -based composite oxide of 5 m 2 / g or more is obtained. By using this and reacting with BaO or the like by a high-temperature solid-phase method, barium zirconate titanate or the like having a fine and uniform composition can be obtained at a lower temperature than conventional.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明における反応に用いた還流冷却器付き反
応槽である。
FIG. 1 shows a reaction vessel with a reflux condenser used for the reaction in the present invention.

【図2】実施例1により得られたTiO2 −ZrO2
複合酸化物の走査型電子顕微鏡写真(5万倍)である。
FIG. 2 is a scanning electron micrograph (magnification: 50,000) of the TiO 2 -ZrO 2 -based composite oxide obtained in Example 1.

【図3】本発明のTiO2 −ZrO2 系複合酸化物及び
TiO2 (アナターゼ)のX線回折図である。
FIG. 3 is an X-ray diffraction diagram of the TiO 2 -ZrO 2 -based composite oxide and TiO 2 (anatase) of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 反応槽 2 混合溶液 3 還流冷却器 4 撹拌機 5 温度計 6 加熱装置 Reference Signs List 1 reaction tank 2 mixed solution 3 reflux cooler 4 stirrer 5 thermometer 6 heating device

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 チタニアとジルコニアが固溶したTix
Zr1-x2 (0<x<1)の微粒子からなり、その比
表面積が15m2 /g以上であるチタニア−ジルコニア
系複合酸化物微粉末。
1. Ti x in which titania and zirconia form a solid solution
A titania-zirconia composite oxide fine powder comprising fine particles of Zr 1-x O 2 (0 <x <1) and having a specific surface area of 15 m 2 / g or more.
【請求項2】 xの値が0.6〜0.9である請求項1
記載の複合酸化物微粉末。
2. The value of x is 0.6 to 0.9.
The composite oxide fine powder as described above.
【請求項3】 微粒子の平均粒子径が50nm以下であ
る請求項1又は2記載の複合酸化物微粉末。
3. The composite oxide fine powder according to claim 1, wherein the fine particles have an average particle diameter of 50 nm or less.
【請求項4】 チタニウムとジルコニウムの可溶性塩に
アルコール又はアルコールと水及びカルボン酸を加え溶
解し、得られた溶液を加熱してゲルを形成し、このゲル
を400〜900℃で熱処理することを特徴とするチタ
ニア−ジルコニア系複合酸化物微粉末の製造法。
4. Dissolving a soluble salt of titanium and zirconium by adding alcohol or alcohol, water and carboxylic acid, heating the resulting solution to form a gel, and subjecting the gel to heat treatment at 400 to 900 ° C. A method for producing a titania-zirconia-based composite oxide fine powder, which is characterized in that:
【請求項5】 アルコールがメタノール、エタノール、
プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレ
ングリコール、1,3−プロパンジオール、1,2−プ
ロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,3−ブ
タンジオール、1,2−ブタンジオール、2,3−ブタ
ンジオールのうち少なくとも1種である請求項4に記載
の複合酸化物微粉末の製造法。
5. The method according to claim 1, wherein the alcohol is methanol, ethanol,
Propanol, isopropanol, butanol, ethylene glycol, 1,3-propanediol, 1,2-propanediol, 1,4-butanediol, 1,3-butanediol, 1,2-butanediol, 2,3-butanediol The method for producing a composite oxide fine powder according to claim 4, which is at least one of the following.
【請求項6】 チタンの可溶性塩が四塩化チタン、硫酸
チタン、チタンアルコキシドのうち少なくとも1種であ
る請求項4又は5に記載の複合酸化物微粉末の製造法。
6. The method according to claim 4, wherein the soluble salt of titanium is at least one of titanium tetrachloride, titanium sulfate and titanium alkoxide.
【請求項7】 ジルコニウムの可溶性塩がオキシ硝酸ジ
コニウム、オキシ塩化ジルコニウム又は四塩化ジルコニ
ウムのうち少なくとも1種である請求項4〜6に記載の
複合酸化物微粉末の製造法。
7. The method for producing a composite oxide fine powder according to claim 4, wherein the soluble salt of zirconium is at least one of zirconium oxynitrate, zirconium oxychloride and zirconium tetrachloride.
【請求項8】 カルボン酸がクエン酸、リンゴ酸、酒石
酸、乳酸、グリコール酸、トリカルバリル酸、コハク
酸、シュウ酸、マレイン酸、マロン酸、アクリル酸、酢
酸のうち少なくとも1種である請求項4〜7に記載の複
合酸化物微粉末の製造法。
8. The method according to claim 1, wherein the carboxylic acid is at least one of citric acid, malic acid, tartaric acid, lactic acid, glycolic acid, tricarballylic acid, succinic acid, oxalic acid, maleic acid, malonic acid, acrylic acid and acetic acid. 8. The method for producing a composite oxide fine powder according to 4 to 7.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2000046154A1 (en) * 1999-02-04 2000-08-10 Japan Science And Technology Corporation Process for producing anatase titania or composite oxide containing anatase titania
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KR100916129B1 (en) 2008-03-20 2009-09-08 재단법인서울대학교산학협력재단 Nickel catalyst supported on zirconia-titania composite metal oxide, preparation method thereof, and hydrogen production method by autothermal reforming reaction of ethanol using the catalyst

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