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JPH10233415A - Application device for soldering flux for conductive ball - Google Patents

Application device for soldering flux for conductive ball

Info

Publication number
JPH10233415A
JPH10233415A JP3458797A JP3458797A JPH10233415A JP H10233415 A JPH10233415 A JP H10233415A JP 3458797 A JP3458797 A JP 3458797A JP 3458797 A JP3458797 A JP 3458797A JP H10233415 A JPH10233415 A JP H10233415A
Authority
JP
Japan
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flux
mask
work
conductive ball
electrode
Prior art date
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Application number
JP3458797A
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Japanese (ja)
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JP3255071B2 (en
Inventor
Seiji Sakami
省二 酒見
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP03458797A priority Critical patent/JP3255071B2/en
Publication of JPH10233415A publication Critical patent/JPH10233415A/en
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3478Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3489Composition of fluxes; Methods of application thereof; Other methods of activating the contact surfaces

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an application device for soldering flux for a conductive ball which can apply extremely than flux on an electrode of a work piece. SOLUTION: A mask 14 is provided above a transporting channel 12 of a work piece 11. Flux is sprayed with a sprayer 20 above the mask 14, so that the extremely thin flux is applied on the work piece 11 through an opening part 15 of the mask 14. Then, the flux on the top surface of the mask 14 is wiped with a cleaning tape 35 of a cleaning unit 30. The work piece 11 on which the flux is applied is further transported through the transporting channel 12, and a conductive ball is mounted on an electrode with a suction head, and then it is sent to a heating furnace, and the conductive ball is soldered.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、バンプ付き電子部
品の製造工程で用いられる導電性ボールの半田付け用フ
ラックスの塗布装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for applying a flux for soldering conductive balls used in a process of manufacturing electronic parts with bumps.

【0002】[0002]

【従来の技術】フリップチップやBGA(Ball G
rid Array)などのバンプ付き電子部品を製造
する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用い
る方法が知られている。この方法は、チップや基板など
のワークの電極上にフラックスを塗布した後、この電極
上に導電性ボールを搭載し、加熱炉で加熱して導電性ボ
ールを電極上に半田付けするものである。従来、ワーク
の電極上にフラックスを塗布する方法としては、スクリ
ーン印刷法や転写ピン法が用いられていた。
2. Description of the Related Art A flip chip or a BGA (Ball G
2. Description of the Related Art As a method for manufacturing an electronic component with a bump such as a lid array, a method using a conductive ball such as a solder ball is known. In this method, after a flux is applied on an electrode of a work such as a chip or a substrate, a conductive ball is mounted on the electrode and heated in a heating furnace to solder the conductive ball on the electrode. . Conventionally, a screen printing method or a transfer pin method has been used as a method of applying a flux on an electrode of a work.

【0003】図5は、従来の導電性ボールが搭載された
チップの側面図である。チップ1の上面には電極2が形
成されている。3はレジスト膜である。電極2上にスク
リーン印刷法によりフラックス4が塗布した後、導電性
ボール5が搭載される。
FIG. 5 is a side view of a chip on which a conventional conductive ball is mounted. The electrode 2 is formed on the upper surface of the chip 1. 3 is a resist film. After the flux 4 is applied to the electrodes 2 by a screen printing method, the conductive balls 5 are mounted.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】近年、導電性ボール5
はサイズが小さくなっており、直径が0.1mm程度の
ものもあらわれている。このようにサイズの小さな導電
性ボール5を搭載する場合、フラックス4の塗布量を少
なくし、フラックス4はごく薄く電極2上に塗布する必
要がある。
Recently, conductive balls 5 have been used.
Are smaller in size, and some have a diameter of about 0.1 mm. When the conductive balls 5 having such a small size are mounted, it is necessary to reduce the amount of application of the flux 4 and apply the flux 4 to the electrode 2 extremely thinly.

【0005】しかしながら従来のフラックスの塗布方法
では電極2上にフラックスをごく薄く塗布することは困
難であった。この結果、加熱炉で加熱する際などに導電
性ボール5はフラックス4中を流動し、電極2上から離
れてしまいやすいという問題点があった。図5におい
て、鎖線で示す導電性ボール5は、矢印方向へ流動して
電極2上から離れたものを示している。
However, it is difficult to apply the flux on the electrode 2 very thinly by the conventional flux application method. As a result, there is a problem that the conductive balls 5 flow in the flux 4 when heated in a heating furnace or the like, and are easily separated from the electrodes 2. In FIG. 5, a conductive ball 5 indicated by a chain line flows in the direction of the arrow and is separated from the electrode 2.

【0006】したがって本発明は、ワークの電極上にフ
ラックスをごく薄く塗布することができる導電性ボール
の半田付け用フラックスの塗布装置を提供することを目
的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an apparatus for applying a flux for soldering a conductive ball, which can apply a very thin flux on an electrode of a work.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の導電性ボールの
半田付け用フラックスの塗布装置は、ワークの搬送路
と、この搬送路の上方に配設されたマスクと、このマス
クに開口された開口部の上方に配設されてノズルからフ
ラックスを霧状に噴出し開口部を通してワークに塗布す
る噴霧器と、マスクの上面に付着したフラックスを拭き
取るクリーニングユニットを備えた。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, there is provided an apparatus for applying a flux for soldering a conductive ball, comprising a work transfer path, a mask disposed above the transfer path, and an opening formed in the mask. A sprayer was provided above the opening to spray the flux from the nozzle in a mist and applied to the work through the opening, and a cleaning unit to wipe off the flux attached to the upper surface of the mask was provided.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】上記構成の本発明によれば、噴霧
器からフラックスを噴出させてワークの電極上にごく薄
く塗布することができる。またマスクの上面には噴霧器
から噴出されたフラックスが付着するが、付着したフラ
ックスをクリーニングユニットで拭き取ることによりマ
スクをきれいに保持し、かつフラックスが開口部からワ
ーク上にぼた落ちするのを防止できる。
According to the present invention having the above-described structure, a flux can be ejected from a sprayer to apply a very thin coating on an electrode of a work. The flux ejected from the sprayer adheres to the upper surface of the mask, but the attached flux is wiped off by the cleaning unit to keep the mask clean and prevent the flux from dripping onto the work from the opening. .

【0009】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図1は、本発明の一実施の形態の導電性ボ
ールの搭載装置の平面図、図2は同フラックスの塗布装
置の側面図、図3は同フラックスの塗布装置の噴霧器の
断面図、図4は同導電性ボールが搭載されたワークの側
面図である。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a conductive ball mounting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the flux coating device, FIG. 3 is a cross-sectional view of a sprayer of the flux coating device, and FIG. FIG. 2 is a side view of a work on which the conductive ball is mounted.

【0010】まず、図1を参照して導電性ボールの搭載
装置の全体構造を説明する。11はワークであり、搬送
路12に沿って右方へ搬送される。13は搬送路12を
保持するフレーム、Aはワーク11上面のフラックスが
塗布される塗布エリアである。搬送路12の上流側の上
方にはマスク14が配設されている。マスク14の中央
にはワーク11の搬送方向に直交する方向に横長の開口
部15が開口されており、開口部15の上方には噴霧器
20が配設されている(図2も参照)。マスク14の手
前にはワーク検出用のセンサ16が設けられている。セ
ンサ16がワーク11を検出すると、その検出信号は制
御部17へ送られ、制御部17は噴霧器20に駆動指令
を出力する。
First, the overall structure of the conductive ball mounting device will be described with reference to FIG. Reference numeral 11 denotes a work, which is conveyed rightward along a conveyance path 12. Reference numeral 13 denotes a frame that holds the transport path 12, and A denotes an application area on the upper surface of the work 11 where the flux is applied. A mask 14 is provided above the transport path 12 on the upstream side. At the center of the mask 14, a horizontally long opening 15 is opened in a direction orthogonal to the direction of transport of the work 11, and a sprayer 20 is disposed above the opening 15 (see also FIG. 2). A work detection sensor 16 is provided in front of the mask 14. When the sensor 16 detects the work 11, a detection signal is sent to the control unit 17, and the control unit 17 outputs a drive command to the sprayer 20.

【0011】マスク14の側方にはクリーニングユニッ
ト30が設けられている。次に、クリーニングユニット
30について説明する。図1および図2において、31
はフレームであり、その後部にはガイドローラ32、3
3が軸着され、その前部には接地ローラ34が軸着され
ている。ガイドローラ32、33と接地ローラ34には
クリーニングテープ35が調帯されている。このクリー
ニングユニット30は、図示しない可動テーブルによ
り、前進後退動作や上下動作を行う。図2において、矢
印a、b、c、dは、この前進動作や上下動作により、
接地ローラ34がマスク14上で移動する軌跡を示して
いる。
A cleaning unit 30 is provided beside the mask 14. Next, the cleaning unit 30 will be described. In FIG. 1 and FIG.
Denotes a frame, and guide rollers 32, 3
A grounding roller 34 is mounted on the front of the vehicle. A cleaning tape 35 is adjusted between the guide rollers 32 and 33 and the ground roller 34. The cleaning unit 30 performs forward and backward operations and up and down operations by a movable table (not shown). In FIG. 2, arrows a, b, c, and d indicate the forward movement and the vertical movement.
The trajectory of the ground roller 34 moving on the mask 14 is shown.

【0012】次に、図3を参照して噴霧器20の構造を
説明する。21は本体ケースであり、上ケース21aと
下ケース21bをねじ部22で着脱自在に結合して成っ
ている。本体ケース21の中央にはノズル23が立設さ
れている。ノズル23の下端部23aは下ケース21b
の下方へ延出している。
Next, the structure of the atomizer 20 will be described with reference to FIG. Reference numeral 21 denotes a main body case, which is formed by detachably connecting an upper case 21a and a lower case 21b with a screw portion 22. A nozzle 23 is provided upright at the center of the main body case 21. The lower end 23a of the nozzle 23 is a lower case 21b.
Extends downward.

【0013】ノズル23の下部にはつば部24が形成さ
れており、つば部24は下ケース21bの底面に設けら
れたシール25上に接地している。またノズル23はブ
ロック26にねじ部27で螺着されている。つば部24
とブロック26の間には超音波振動子28が設けられて
いる。超音波振動子28はコード29で駆動回路39に
接続されている。したがって超音波振動子28が駆動す
ると、ノズル23は超音波振動し、ノズル23に送られ
てきたフラックスは霧化してノズル23の下端部23a
から霧状に噴出する(矢印イを参照)。
A flange 24 is formed below the nozzle 23, and the flange 24 is grounded on a seal 25 provided on the bottom surface of the lower case 21b. The nozzle 23 is screwed to the block 26 with a screw portion 27. Collar 24
Between the block and the block 26, an ultrasonic transducer 28 is provided. The ultrasonic transducer 28 is connected to a drive circuit 39 by a cord 29. Therefore, when the ultrasonic vibrator 28 is driven, the nozzle 23 ultrasonically vibrates, and the flux sent to the nozzle 23 is atomized and the lower end 23 a
From the mist (see arrow A).

【0014】次に、図1を参照して導電性ボールの搭載
部の構造を参照する。40は吸着ヘッドであり、移動テ
ーブル41に保持されている。吸着ヘッド40の下面に
は、導電性ボールを真空吸着する吸着孔が多数形成され
ている。搬送路12の側方には容器42が設けられてお
り、容器42内には導電性ボール43が大量に貯溜され
ている。吸着ヘッド40、容器42の上方へ移動し、そ
こで上下動作を行ってその下面の吸着孔に導電性ボール
43を真空吸着してピックアップする。次いで吸着ヘッ
ド40はワーク11の上方へ移動し、そこで再度上下動
作を行って、導電性ボール43をワーク11の電極上に
搭載する。図4において、11aはワーク11の上面の
電極、18はレジスト膜、19は噴霧器20で塗布され
たフラックスである。また図1において、44は搬送路
12に設けられたワーク検出用のセンサ、45はワーク
11を導電性ボール43の搭載位置で停止させるための
ストッパであるシリンダである。
Next, the structure of the mounting portion of the conductive ball will be described with reference to FIG. Reference numeral 40 denotes a suction head, which is held on a moving table 41. On the lower surface of the suction head 40, a large number of suction holes for vacuum-sucking the conductive balls are formed. A container 42 is provided on the side of the transport path 12, and a large amount of conductive balls 43 are stored in the container 42. The suction head 40 is moved above the container 42, and is moved up and down to pick up the conductive ball 43 by vacuum suction in the suction hole on the lower surface thereof. Next, the suction head 40 moves above the work 11, and performs vertical movement there again to mount the conductive balls 43 on the electrodes of the work 11. 4, reference numeral 11a denotes an electrode on the upper surface of the work 11, reference numeral 18 denotes a resist film, and reference numeral 19 denotes a flux applied by the sprayer 20. In FIG. 1, reference numeral 44 denotes a work detection sensor provided in the transport path 12, and reference numeral 45 denotes a cylinder serving as a stopper for stopping the work 11 at a position where the conductive balls 43 are mounted.

【0015】この導電性ボールの搭載装置は上記のよう
な構成より成り、次に全体の動作を説明する。図1にお
いて、ワーク11は搬送路12を右方へ搬送される。セ
ンサ16がワーク11を検出すると、噴霧器20は駆動
を開始し、ノズル23からフラックス19を霧状に噴出
してワーク11に塗布する。そしてワーク11が開口部
15の下方を通過すると、噴霧器20はフラックス19
の噴出を停止し、次のワーク11が搬送されてくるまで
待機する。このようにして、ワーク11の上面の塗布エ
リアAにフラックス19が塗布される。
This conductive ball mounting apparatus has the above-described configuration, and the entire operation will be described next. In FIG. 1, a workpiece 11 is transported rightward along a transport path 12. When the sensor 16 detects the work 11, the sprayer 20 starts driving, and sprays the flux 19 from the nozzle 23 in a mist state to apply the flux 19 to the work 11. Then, when the work 11 passes below the opening 15, the sprayer 20 becomes the flux 19
Is stopped, and the process waits until the next work 11 is conveyed. Thus, the flux 19 is applied to the application area A on the upper surface of the work 11.

【0016】次いでワーク11は右方へ搬送され、シリ
ンダ45のロッドに当って停止する。そこで吸着ヘッド
40は容器42に貯溜された導電性ボール43をワーク
11の電極11a上に搭載する(図4)。次にワーク1
1は加熱炉(図外)へ送られ、加熱処理されて導電性ボ
ール43は電極11a上に半田付けされる。この場合、
フラックス19は噴霧器20でごく薄くワーク11上に
塗布されているので、導電性ボール43が流動して電極
11a上から離れることはなく、電極11a上に確実に
半田付けされる。
Next, the work 11 is conveyed rightward and hits the rod of the cylinder 45 and stops. Then, the suction head 40 mounts the conductive balls 43 stored in the container 42 on the electrodes 11a of the work 11 (FIG. 4). Next, work 1
1 is sent to a heating furnace (not shown) and is subjected to a heat treatment, so that the conductive balls 43 are soldered on the electrodes 11a. in this case,
Since the flux 19 is applied to the work 11 very thinly by the sprayer 20, the conductive ball 43 does not flow and separate from the electrode 11a, and is securely soldered on the electrode 11a.

【0017】また噴霧器20によるフラックスの塗布が
終了してワーク11がマスク14の下方を通過したなら
ば、図2においてクリーニングユニット30はマスク1
4の上方へ移動し、クリーニングテープ35によりマス
ク14の上面に付着したフラックス19を拭き取り、そ
の後、クリーニングユニット30は図2に示す位置に退
去し、次回のクリーニングのために待機する。なおマス
ク14は、噴霧器20から噴出されたフラックス19が
周辺に飛散するのを防止する。また図1において開口部
15の長手方向の幅をフラックスの塗布エリアAの幅と
等しくしておくことにより、ワーク11を右方へ連続的
に搬送しながら、所定の塗布エリアAにフラックスを塗
布できる。またマスク14上のフラックスをクリーニン
グテープ35で拭き取らないと、フラックスは開口部1
5の縁からワーク11上にぼた落ちする。
When the application of the flux by the sprayer 20 is completed and the work 11 passes below the mask 14, the cleaning unit 30 in FIG.
Then, the cleaning unit 30 moves to the position above the cleaning tape 35 and wipes off the flux 19 adhered to the upper surface of the mask 14 with the cleaning tape 35. Thereafter, the cleaning unit 30 retreats to the position shown in FIG. 2 and stands by for the next cleaning. Note that the mask 14 prevents the flux 19 ejected from the atomizer 20 from scattering around. In FIG. 1, by making the width of the opening 15 in the longitudinal direction equal to the width of the flux application area A, the flux is applied to the predetermined application area A while the workpiece 11 is continuously transported to the right. it can. If the flux on the mask 14 is not wiped off with the cleaning tape 35, the flux
5 falls onto the work 11 from the edge.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明によれば、噴霧器からフラックス
を噴出させてワークの電極上にごく薄く塗布することが
でき、したがってサイズの小さい導電性ボールがフラッ
クス中を流動して電極から離れるのを解消できる。また
マスクを用いることにより噴霧器から噴出したフラック
スが周辺に飛散して周辺を汚すのを防止する。またマス
クの上面には噴霧器から噴出されたフラックスが付着す
るが、付着したフラックスをクリーニングユニットで拭
き取ることによりマスクをきれいに保持し、かつフラッ
クスが開口部からワーク上にぼた落ちするのを防止でき
る。
According to the present invention, it is possible to spray a flux from a sprayer to apply a very thin coating on an electrode of a work, so that a small-sized conductive ball flows through the flux and separates from the electrode. Can be resolved. Further, the use of the mask prevents the flux spouted from the sprayer from scattering to the surroundings and contaminating the surroundings. The flux ejected from the sprayer adheres to the upper surface of the mask, but the attached flux is wiped off by the cleaning unit to keep the mask clean and prevent the flux from dripping onto the work from the opening. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の平面図
FIG. 1 is a plan view of a conductive ball mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態のフラックスの塗布装置
の側面図
FIG. 2 is a side view of a flux coating device according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施の形態のフラックスの塗布装置
の噴霧器の断面図
FIG. 3 is a cross-sectional view of a sprayer of the flux application device according to the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施の形態の導電性ボールが搭載さ
れたワークの側面図
FIG. 4 is a side view of a work on which conductive balls according to one embodiment of the present invention are mounted.

【図5】従来の導電性ボールが搭載されたチップの側面
FIG. 5 is a side view of a conventional chip on which conductive balls are mounted.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 ワーク 11a 電極 12 搬送路 14 マスク 15 開口部 19 フラックス 20 噴霧器 23 ノズル 28 超音波振動子 30 クリーニングユニット 35 クリーニングテープ 40 吸着ヘッド 43 導電性ボール DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Work 11a Electrode 12 Transport path 14 Mask 15 Opening 19 Flux 20 Nebulizer 23 Nozzle 28 Ultrasonic vibrator 30 Cleaning unit 35 Cleaning tape 40 Suction head 43 Conductive ball

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ワークの搬送路と、この搬送路の上方に配
設されたマスクと、このマスクに開口された開口部の上
方に配設されてノズルからフラックスを霧状に噴出し開
口部を通してワークに塗布する噴霧器と、マスクの上面
に付着したフラックスを拭き取るクリーニングユニット
を備えたことを特徴とする導電性ボールの半田付け用フ
ラックスの塗布装置。
1. A work transfer path, a mask disposed above the transfer path, and a nozzle which is disposed above an opening formed in the mask and ejects a flux from a nozzle in a mist form. And a cleaning unit for wiping off the flux adhering to the upper surface of the mask.
JP03458797A 1997-02-19 1997-02-19 Flux coating device for soldering conductive balls Expired - Fee Related JP3255071B2 (en)

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