JPH10221010A - 干渉計装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被検体からの反射光量の調整を容易かつ低コ
ストで実現することができ、しかもコントラストが最大
となる良好な干渉縞が得られるようにする。 【解決手段】 光源光であるレーザ光を直線偏光に変換
する偏光板１１、ハーフミラー１４、基準板１５、被検
体１６、ＴＶカメラ２５等を設け、上記基準板１５と上
記被検体１６との間に、可動偏光板１７を回転可能に配
置し、この可動偏光板１７の回転によって透過光量を変
化させ、被検体１６からの反射光量を調整する。この可
動偏光板１７は、僅かに傾けて配置することが好まし
く、また上記被検体１６の反射率に一致する可動偏光板
１５の回転位置が判断できる反射率目盛を付す。更に、
上記可動偏光板１７の透過波面収差を測定し、被検面デ
ータに対し補正することが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基準板及び被検体
からの反射光により生じる干渉縞をフィゾー型干渉計等
を利用して観察・解析する干渉計装置で、基準板と被検
体の反射率を合せるための構成に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８には、従来のフィゾー型の干渉計装
置の構成が示されており、図示されるように、レーザ光
を透過させるハーフ（半透過）ミラー１、コリメータレ
ンズ２が配置され、このコリメータレンズ２の後側に、
基準板３、そして被検体４が配置される。一方、ハーフ
ミラー１を介し被検面をＴＶカメラ６の撮像面に結像す
るための結像レンズが配置される。

【０００３】このような構成によれば、ハーフミラー１
を通過したレーザ光は、一部が基準板３の基準面（後
面）３Ａで反射され（参照光となる）、また被検体４の
表面でも反射されることになり、これらの反射光により
干渉縞が生じる。これらの反射光は、ハーフミラー１を
介してＴＶカメラ６へ入射され、このＴＶカメラ６で捉
えられた干渉縞はモニタ等に映し出されて観察され、或
いは解析用データとして利用される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の干渉計装置では、コントラストの高い干渉縞を得る
ために、干渉縞を形成する段階で両者の光の強度が等し
くなるように、上記基準板３の反射率を被検体４の反射
率を合せることが必要となることから、両者の反射率合
せが煩雑となり、最適な状態の干渉縞の観察ができない
場合も生じるという問題があった。そこで、一般的に
は、高、中、低の反射率の被検体４に対応して、基準板
３も高、中、低の反射率のものを用意し、又は低反射率
の基準板３を使用して、基準板３と被検体４の間にＮＤ
フィルターや減衰板等を入れることにより、この基準板
３と被検体４から反射する光量を合せることが行われ
る。

【０００５】しかし、ある特定の反射率の被検体につい
ては、コントラストが最大になるような良好な干渉縞が
得られるが、反射率が異なるにつれ、必ずしも良好な干
渉縞が得られなくなる。しかも、上記前者の解決方法で
は、高価な基準板３を３種類用意しているにも拘わら
ず、更に異なる反射率の基準板３を多数枚用意しなけれ
ばならない。また、後者の解決方法では、反射率の異な
る各種のＮＤフィルターや減衰板が必要となる。従っ
て、両者共に、コストがかかると共に、取付け、取外し
等の煩わしい作業が伴うことになる。

【０００６】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、被検体の反射率により基準板や減
衰板を交換することなく、コントラストが最大となる良
好な干渉縞が得られる干渉計装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１請求項に係る発明は、光源光を基準板及び被検
体に与え、この基準板及び被検体の各面の光反射で干渉
縞を形成する干渉計装置において、上記光源光を直線偏
光へ変換する偏光変換手段又は直線偏光の光源を用い
て、上記基準板及び被検体へ直線偏光の光を出射する光
源部と、上記基準板と上記被検体との間の光路中に回転
可能に配置され、この回転によって透過光量を変化させ
る可動偏光板とを備え、上記可動偏光板を回転させるこ
とにより、上記被検体から反射してくる光量を調整可能
としたこと特徴とする。第２請求項に係る発明は、上記
可動偏光板を、透過光軸と直交する面に対し僅かに傾け
て配置したことを特徴とする。第３請求項に係る発明
は、上記可動偏光板の透過波面収差を測定し、この可動
偏光板の回転位置に対応して上記透過波面収差を補正す
ることを特徴とする。第４請求項に係る発明は、上記基
準板からの反射光と上記被検体からの反射光から形成す
る干渉縞を撮像する撮像素子を、上記可動偏光板の回転
に応じて回転させることにより、この可動偏光板の透過
波面収差による測定誤差を補正することを特徴とする。
第５請求項に係る発明は、上記可動偏光板を上記基準板
が保持される基準板ホルダー又は上記被検体が保持され
る試料保持部へ取り付けたことを特徴とする。第６請求
項に係る発明は、被検体面の反射率に一致する可動偏光
板の回転位置が判断できる反射率目盛を付したことを特
徴とする。

【０００８】上記の構成によれば、例えば偏光板等の偏
光変換手段によって、光源光が直線偏光へ変換され、こ
の直線偏光が基準板、被検体へ出射され、これらの基準
面及び被検面からの反射光により干渉縞が形成される。
この被検面から反射する光量は、上記基準板と被検体の
間に配置された可動偏光板を回転させることによって調
整される。例えば、光源から見て前側に低反射率の基準
板、後側に高反射率の被検体を配置する場合は、上記可
動偏光板により光量を絞ることにより、干渉縞を形成す
る両者の光強度を合せることが可能で、コントラストの
良好な干渉縞を観察することができる。

【０００９】上記の可動偏光板は、光軸に垂直の位置か
ら僅かに傾けて配置すれば、偏光板から直接反射する光
が撮像面にノイズとして影響しないようにすることがで
きる。

【００１０】また、上記可動偏光板に透過波面収差が存
在する場合には、その収差が偏光板の回転に応じて干渉
縞に影響し、測定誤差となる。従って、この透過波面収
差データを予め測定してメモリ等に記憶させ、この収差
を可動偏光板の回転位置に対応して補正することによ
り、偏光板の存在により生じる収差の影響を除去するこ
とができる。そして、上記の透過波面収差を回転させる
補正は、観察のための撮像素子を上記可動偏光板の回転
に応じて回転させることによって補正することも可能で
ある。

【００１１】更に、上記可動偏光板は基準板ホルダーや
試料台等へ回転可能に取り付けることができ、このと
き、可動偏光板の支持部等に反射率目盛を付ければ、被
検体の反射率で可動偏光板の回転位置を測定前に設定す
ることができ、反射率が分っている被検体を測定する場
合、反射率合せの設定が容易となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１乃至図５には、実施形態の第
１例に係る干渉計装置の構成が示されており、まず図１
により全体構成を説明する。図１において、Ｈｅ−Ｎｅ
レーザ１０の出力側に、レーザ光を直線偏光に変換する
偏光板１１が配置され、この偏光板１１の後側に発散レ
ンズＬ1 、ピンホール部１２が配置される。このピンホ
ール部１２の後側には、ハーフ（半透過）ミラー１４が
設けられ、またこのハーフミラー１４の透過光を平行光
束にするためのコリメータレンズＬ2 が配置される。

【００１３】上記コリメータレンズＬ2 の後側に、基準
板１５が配置され、この基準板１５として低反射率（例
えば４％程度）のものが使用される。そして、この基準
板１５の後側に、被検体１６が配置されることになる
が、第１例では、この基準板１５と被検体１６の間に、
回転可能な状態で可動偏光板１７が設けられる。

【００１４】図２には、装置の基準板部に配置した上記
可動偏光板１７が示されている。この基準板部１８で
は、上側の基準板ホルダー１９に緩衝材２０等を介して
上記基準板１５が取り付けられ、下側の偏光板ホルダー
（コントラスト調整リング）２１に上記可動偏光板１７
がスペーサ２２Ａ及び緩衝材２２Ｂを介して取り付けら
れる。そして、上記偏光板ホルダー２１は基準板ホルダ
ー１９に対し回転できるようにネジ結合等で取り付けら
れ、これによって可動偏光板１７が光軸中心に回転し
て、コントラスト調整機能を果たすことになる。

【００１５】このような可動偏光板１７によれば、その
偏光方向が光源側の偏光板１１の偏光面と一致した状態
では、光量減少を最小限として光源光（直線偏光）を通
過させるが、この状態から時計方向又は反時計方向に回
転させると、光透過量が回転量に応じて減少することに
なる。従って、この可動偏光板１７の回転角度を変える
ことにより、被検体１６からの反射してくる光の強度を
調整することができ、これによって、上記基準板１５か
ら反射してくる光の強度に適合させることが可能とな
る。

【００１６】また、上記可動偏光板１７は、図示される
ように基準板部１８の中心軸に垂直な面Ｆに対し、平行
ではなく、スペーサ２２Ａ及び緩衝材２２Ｂの厚みを変
えることにより少し傾けて配置している。即ち、この可
動偏光板１７を上記面Ｆと平行に配置すると、当該偏光
板１７からの直接の反射光が後述する撮像素子へ入射
し、干渉縞像に影響（ノイズ）を与えるので、可動偏光
板１７を垂直面Ｆに対し僅かに傾斜させ、その反射光が
撮像素子へ到達しないようにしている。

【００１７】図１において、上述した可動偏光板１７に
は、当該偏光板１７の回転角度を検出するためのエンコ
ーダ２３が取り付けられ、このエンコーダ２３には、角
度検出器２４が接続される。また、上記ハーフミラー１
４を介し被検面をＴＶカメラ２５の撮像面に結像するた
めの結像レンズＬ3 が配置される。また、このＴＶカメ
ラ２５には、干渉縞を表示するＴＶモニタ２６が接続さ
れると共に、メモリ２７を有するコンピュータ２８と解
析画像等を表示するためのディスプレイ２９が接続され
る。

【００１８】上記のコンピュータ２８は、上記基準板１
５を不図示のピエゾ素子等を用いて光軸方向に僅かに移
動させるような縞走査法等に基づいて、ＴＶカメラ２５
で得られた干渉縞から被検体１６の表面の状態を解析す
ると共に、上記可動偏光板１７の透過波面収差による測
定誤差の補正処理を行う。即ち、この可動偏光板１７は
基準板１５と被検体１６との間に配置されることから、
測定結果は被検体１６の表面の形状に可動偏光板１７の
透過波面収差が加わったものとなる。そこで、実施形態
例では、この可動偏光板１７の透過波面収差を予め測定
しておき、このデータをメモリ２７内に記憶し、その後
に実際の測定値からメモリ２７内の透過波面データを差
し引いて補正することで、測定精度を高めている。

【００１９】この透過波面収差の補正は、上記可動偏光
板１７が固定状態であれば、メモリ２７内のデータを単
純に差し引けばよいが、本発明ではこの可動偏光板１７
を回転させることから、単に差し引いただけでは正確な
測定ができない。そこで、本例では、詳細は後述する
が、透過波面収差のデータも回転させた状態に変換し
て、測定値から差し引く演算を行っている。

【００２０】図３には、上記図２の基準板部１８の外観
が示されており、例えば基準板ホルダー１９の外周に、
４，５，１０（％）等の被検体１６の反射率目盛３１を
付し、偏光板ホルダー（コントラスト調整リング）２１
の外周に、三角指標３２を付すことができる。これによ
れば、観察・解析する被検面の反射率となるように指標
３２を反射率目盛３１に合せることにより、可動偏光板
１７のセット、即ちコントラスト調整が簡単となる。

【００２１】上記の被検面の反射率と回転角度の関係
は、次のようになる。例えば、基準面１５Ａの反射率を
０．０４（低反射基準板）、その他を透過と考え（基準
面１５Ａの反対面は通常反射防止コートが施されてい
る）、透過率０．９６であるとし、上記偏光板１１の偏
光面と可動偏光板１７の偏光面との成す角度をθ、この
角度θが０度のときの可動偏光板１７の透過率をＴ、被
検体１６の反射率をＲとすると、観察（撮像）の時点
で、被検体１６から反射する光の強度と基準面１５Ａか
ら反射する光の強度が等しく、コントラストが良好な干
渉縞が得られるときは、次の数式１が成立する。

【数式１】 （０．９６×ｃｏｓ²θ×Ｔ）² ×Ｒ＝０．０４

【００２２】ここで、可動偏光板１７の上記角度θ＝０
のときの可動偏光板１７での透過光の損失を理想的に０
であるとすると、上記透過率Ｔ＝１（１００％）とな
る。従って、Ｔ＝１とすると、上記数式１は、次の数式
２となる。

【数式２】 θ＝ｃｏｓ^-1（（０．０４÷Ｒ）^1/2÷０．９６）^1/2

【００２３】上記数式２によれば、被検体１６の面の反
射率により角度θを調整すれば、コントラストの良好な
干渉縞が得られることが分かる。例えばＲ＝０．０５の
とき角度θ＝１５度、Ｒ＝０．１のとき角度θ＝３６
度、Ｒ＝０．２のとき角度θ＝４７度、Ｒ＝０．４のと
き角度θ＝５５度、Ｒ＝０．８のとき角度θ＝６１度と
なる。但し、この場合、上記Ｒが０．０４３以下のとき
には、角度θを０度に合せるしかなく、反射率Ｒに対し
ての調整範囲は、約４〜１００％となる。

【００２４】第１例は以上の構成からなり、このような
干渉計装置によれば、レーザ１０から出力されたレーザ
光は、偏光板１１により直線偏光に変換され、この直線
偏光がハーフミラー１４を通過し、コリメータレンズＬ
2 を介して基準板１５へ入射する。また、この基準板１
５を透過した光は、可動偏光板１７を介して被検体１６
の被検面に到達しており、基準面１５Ａ及び被検面から
の反射光がハーフミラー１４で反射され、結像レンズＬ
3 を介してＴＶカメラ２５へ導かれる。従って、上記Ｔ
Ｖカメラ２５では、上記基準面１５Ａと被検体１６の被
検面による光反射により生じた干渉縞が撮像されること
になり、この干渉縞はＴＶモニタ２６に表示されると共
に、コンピュータ２８により干渉縞の解析が行われる。
この解析結果は、ディスプレイ２９に表示される。

【００２５】そして、上記の干渉縞観察では、可動偏光
板１７を回転させることによりコントラストの調整が可
能となる。即ち、上記基準板１５（基準面１５Ａ）とし
て反射率４％のものを使用しているので、４％の反射率
の被検体（被検面）１６を測定する場合は、図３におい
て偏光板ホルダー２１の三角指標３２を中央の４％（θ
＝０）に合せることにより、可動偏光板１７の透過光量
を最大として、基準面１５Ａから反射する光の強度に被
検面から反射してくる光の強度を合せることができる。
これにより、良好なコントラストの干渉縞が観察され
る。

【００２６】ここで、被検面から反射する光は、基準面
１５Ａで再度４％反射されることになるので、厳密には
僅かに被検面から反射する光の強度が少ないが、実用的
に問題となるものではない。これが、上記数式１．２が
近似式となっている理由である。従って、上記基準板１
５に中反射率のもの或いは高反射率のものを使用する場
合は、上記式は成り立たないし、反射率Ｒに対しての調
整範囲が少なくなり実用的でもない。

【００２７】また、当該例では、図４に示す動作により
上記可動偏光板１７の透過波面収差の補正が行われる。
図４において、まずステップ１０１で、可動偏光板１７
の透過波面収差の測定を行うが、この測定は光束の偏光
方向に可動偏光板１７の偏光面を合せ光量を最大とし、
面精度の高い基準被検体（例えばもう一つの基準板）を
被検体１６の位置に配置して行う。このときの透過波面
データを、補正データＷA としてメモリ２７内に記憶
し、この測定時の可動偏光板１７の角度を原点とする。

【００２８】なお、このステップ１０１では、上記可動
偏光板１７を光路内に配置せず、基準板１５と基準被検
体を用いた測定データを上記ＷA から差し引き、このデ
ータを改めて補正データＷA としてもよく、これによれ
ば更に測定精度を高めることができる。即ち、偏光板１
７の透過波面収差を測定する際には、装置の持っている
測定誤差を含めた形で測定されることになり、このよう
な誤差を上記の操作で取り除くことができ、偏光板１７
の透過波面収差のみの量が正確に抽出されることにな
る。

【００２９】次に、ステップ１０２では、被検体１６を
配置して可動偏光板１７を回転させ、干渉縞のコントラ
ストが良好となる位置にセットし、ステップ１０３で、
被検体１６の面測定を行い、この測定データをＷB とす
る。

【００３０】次のステップ１０４では、回転した可動偏
光板１７の角度をエンコーダ２３から検出し、上記の補
正データＷA をこの回転角度分だけ回転させ、回転位置
の補正データＷAθを求める。即ち、可動偏光板１７の
回転中心に一致する透過波面データＷA の点を座標中心
として回転させ、このデータを回転角度での補正データ
ＷAθとする。通常、画像データから得られる測定デー
タはＸＹ座標系であることから、この補正データＷAθ
としては、回転したときの近傍のデータを使用する等の
工夫が必要となる。そして、ステップ１０５では、被検
面形状の算出がＷB −ＷAθ＝ＷX で行われる。なお、
面精度については、最小自乗法による傾き補正が行われ
ることは周知の通りである。

【００３１】図５は、上記の透過波面収差の補正の概念
を示したもので、図５（Ａ）に示されるように、上記ス
テップ１０１では、光束の偏光面Ｈ1 と可動偏光板１７
の偏光面Ｈ2 が水平軸（Ｘ軸）に一致しており、例えば
可動偏光板１７の回転中心Ｏから１５度の線上に補正点
データｗａ（ＷA の中の一点）が存在するものとする。
そして、図５（Ｂ）に示されるように、可動偏光板１７
が３０度（θ）回転して良好な干渉縞のコントラストが
得られたとすると、この３０度の角度での補正点データ
ｗａθ（ＷAθの中の一点）が上記ステップ１０４で得
られる。従って、ステップ１０５ではこの補正点データ
ｗａθが被検面データＷB から差し引かれ、偏光板１７
の透過波面収差が補正される。

【００３２】図６には、実施形態の第２例が示されてお
り、この第２例は上記の透過波面収差を補正するために
撮像素子を回転させるようにしたものである。即ち、上
記可動偏光板１７の回転に対応させて撮像素子を回転さ
せれば、この可動偏光板１７の透過波面収差データの回
転をなくすことができる。そこで、この第２例では、Ｔ
Ｖカメラ２５を回転可能に支持し、モータ３４、ギヤ３
５Ａ，３５Ｂ等で回転駆動するように構成し、またエン
コーダ３６及び角度検出器３７でＴＶカメラ２５の回転
角度を検出する。

【００３３】このような第２例によれば、可動偏光板１
７の回転角度と同一の角度だけＴＶカメラ２５を透過波
面収差の回転方向へ回転させることにより、撮像面にお
ける透過波面収差の回転をなくすことができる。従っ
て、上記図４のステップ１０１で求めた補正データＷA
を被検面データＷB から差し引くだけで、透過波面収差
が補正され、精度のよい測定が可能となる。

【００３４】図７には、実施形態の第３例が示されてお
り、この第３例は可動偏光板を試料台（被検体台）側へ
取り付けたものである。図示されるように、被検体１６
を載せる試料台３９は、バネ４０及び水平位置調整ネジ
４１を伴って試料台支持部４２内に配置されており、上
記試料台３９は上記水平位置調整ネジ４１によって水平
に維持され、また傾き調整が可能となっている。

【００３５】そして、上記試料台支持部４２に、ネジ結
合等により回転自在に偏光板ホルダー（コントラスト調
整リング）４４が取り付けられ、この偏光板ホルダー４
４内に、スペーサ４５Ａ及び緩衝材４５Ｂを介して可動
偏光板１７が設けられる。この可動偏光板１７の場合
も、図２の場合と同様に、光軸に垂直な面Ｆに対し斜め
となるように配置される。このような第３例によって
も、第１例と同様に、被検体１５の反射光量を調整する
ことができ、良好なコントラストの干渉縞を観察するこ
とが可能となる。なお、この場合も、被検体１６の反射
率目盛を上記支持部４２の外周に付すことができる。

【００３６】上記実施形態例では、被検体１６の反射率
目盛で可動偏光板１７をセットするようにしたが、反射
率に対応した回転角を直接セットすることもできる。即
ち、被検体１６の反射率に対する上記可動偏光板１７の
回転角テーブルをメモリ内に格納したり、又は反射率か
ら回転角を求める演算プログラムを用いたりして、被検
体１６の反射率を入力することにより、可動偏光板１７
の回転角を求める。そして、手動又は自動にて、算出さ
れた回転角に可動偏光板１７をセットすればよい。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、第１請求項に係る
発明によれば、直線偏光の光を光源として用い、可動偏
光板を回転させることにより、被検体から反射する光量
を調整するようにしたので、従来のように、被検体の反
射率に応じて基準板を取り替える必要がなく、干渉縞の
連続的なコントラスト調整が可能となる。従って、反射
率の異なる多種の被検体であっても、基準面から反射し
てくる光の強度に被検面から反射してくる光の強度を容
易に合せることができ、コントラストの良好な干渉縞を
観察することが可能となる。しかも、従来に比べ低コス
トでコントラストの調整が可能となる。

【００３８】また、被検体において反射コート等の表面
処理を行う場合があるが、この場合では、表面処理前後
の面状態の測定が同一装置、同一の基準板で実施できる
ので、表面処理前後の違いを評価するのに有効となると
いう利点もある。

【００３９】第２請求項に係る発明によれば、上記可動
偏光板を、透過光軸と直交する面に対し僅かに傾けて配
置したので、偏光板表面からの反射光が観察像にノイズ
として影響せず、良好な干渉縞が得られる。

【００４０】第３及び第４請求項に係る発明によれば、
上記可動偏光板の回転する透過波面収差を補正するよう
にしたので、偏光板の存在により生じる収差の影響を除
去することが可能となる。

【００４１】第６請求項に係る発明によれば、被検体の
反射率目盛を付すようにしたので、上記可動偏光板を反
射率目盛に合せるだけで、干渉縞のコントラストの調整
が容易に行えるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の第１例に係る干渉計装置
［図（Ａ）］及び可動偏光板［図（Ｂ）］の構成を示す
図である。

【図２】第１例の基準板部での可動偏光板の配置状態を
示す断面図である。

【図３】図２の基準板部の外周の構成を示す外観図であ
る。

【図４】第１例での透過波面収差補正の動作を示すフロ
ーチャートである。

【図５】第１例の透過波面収差補正の概念を示す説明図
である。

【図６】実施形態の第２例の構成を示す図である。

【図７】実施形態の第３例の構成を示す断面図である。

【図８】従来の干渉計装置の概略構成を示す図である。

【符号の説明】

１，１４ … ハーフミラー、 ３，１５ … 基準板、 ４，１６ … 被検体、 １１ … 偏光板、 １７ … 可動偏光板、 １９ … 基準板ホルダー、 ２１ … 偏光板ホルダー、 ２３，３６ … エンコーダ、 ２４，３７ … 角度検出器、 ２５ … ＴＶカメラ、 ２７ … メモリ、 ２８ … コンピュータ、 ３１ … 反射率目盛、 ３９ … 試料台。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源光を基準板及び被検体に与え、この
   基準板及び被検体の各面の光反射で干渉縞を形成する干
   渉計装置において、 上記光源光を直線偏光へ変換する偏光変換手段又は直線
   偏光の光源を用いて、上記基準板及び被検体へ直線偏光
   の光を出射する光源部と、 上記基準板と上記被検体との間の光路中に回転可能に配
   置され、この回転によって透過光量を変化させる可動偏
   光板とを備え、 上記可動偏光板を回転させることにより、上記被検体か
   ら反射してくる光量を調整可能としたことを特徴とする
   干渉計装置。
2. 【請求項２】 上記可動偏光板を、透過光軸と直交する
   面に対し僅かに傾けて配置したことを特徴とする上記第
   １請求項記載の干渉計装置。
3. 【請求項３】 上記可動偏光板の透過波面収差を測定
   し、この可動偏光板の回転位置に対応して上記透過波面
   収差を補正することを特徴とする上記第１又は第２請求
   項記載の干渉計装置。
4. 【請求項４】 上記基準板からの反射光と上記被検体か
   らの反射光から形成する干渉縞を撮像する撮像素子を、
   上記可動偏光板の回転に応じて回転させることにより、
   この可動偏光板の透過波面収差による測定誤差を補正す
   ることを特徴とする上記第１又は第２請求項記載の干渉
   計装置。
5. 【請求項５】 上記可動偏光板を上記基準板が保持され
   る基準板ホルダー又は上記被検体が保持される試料保持
   部へ取り付けたことを特徴とする上記第１乃至第４請求
   項記載の干渉計装置。
6. 【請求項６】 上記被検体面の反射率に一致する可動偏
   光板の回転位置が判断できる反射率目盛を付したことを
   特徴とする上記第１乃至第５請求項記載の干渉計装置。