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JPH10197603A - Semiconductor integrated circuit and inspection method therefor - Google Patents

Semiconductor integrated circuit and inspection method therefor

Info

Publication number
JPH10197603A
JPH10197603A JP9002020A JP202097A JPH10197603A JP H10197603 A JPH10197603 A JP H10197603A JP 9002020 A JP9002020 A JP 9002020A JP 202097 A JP202097 A JP 202097A JP H10197603 A JPH10197603 A JP H10197603A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scan
semiconductor integrated
integrated circuit
scan chain
chain
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9002020A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Osamu Ichikawa
市川  修
Mitsuho Ota
光保 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP9002020A priority Critical patent/JPH10197603A/en
Publication of JPH10197603A publication Critical patent/JPH10197603A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a scan design semiconductor integrated circuit in which power consumption is reduced at the time of scan test. SOLUTION: A sequential circuit 41 comprises scan chain groups 31, 32 each comprising one or more scan chain. At the time of inspection, a scan control section 51 supplies the scan chain groups 31, 32 selectively with clocks of shift operation.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、スキャン設計され
た半導体集積回路およびこの回路における検査方法、特
に検査時における省電力化に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scan-designed semiconductor integrated circuit and an inspection method for this circuit, and more particularly to power saving at the time of inspection.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体集積回路の消費電力を増大させる
要因として、回路中のクロック、フリップフロップの動
作によるものが挙げられる。このため、使用されていな
い機能ブロックへのクロック供給を止め、同時に動作し
ているブロックを削減することで、半導体集積回路の省
電力化が図られている。
2. Description of the Related Art Factors that increase the power consumption of a semiconductor integrated circuit include the clock and flip-flop operation in the circuit. For this reason, the power supply of the semiconductor integrated circuit is reduced by stopping the clock supply to the unused function blocks and reducing the number of blocks operating at the same time.

【0003】一方、製造された半導体集積回路に故障が
無いかどうか検査する方法として、予め作成しておいた
テストデータを入力した際に、所定の出力が得られるか
どうかで判別する方法が広く知られている。この際、回
路中のフリップフロップの値を、外部から設定または観
測し易くするために、フリップフロップの一部または全
部をスキャンフリップフロップに置き換える、いわゆる
スキャン設計が行なわれる。
On the other hand, as a method of inspecting a manufactured semiconductor integrated circuit for a failure, there is widely used a method of determining whether a predetermined output is obtained when inputting test data prepared in advance. Are known. At this time, so-called scan design is performed in which a part or all of the flip-flops are replaced with scan flip-flops in order to easily set or observe the values of the flip-flops in the circuit from the outside.

【0004】図6に従来のスキャンチェーンを用いた半
導体集積回路の一例を示す。スキャンフリップフロップ
11〜14は、スキャンチェーン33を構成し、クロッ
ク生成部90から生成されるクロック91によって、ス
キャンイン10からテストデータがスキャンインされ、
スキャンアウト30からスキャンアウトされる。
FIG. 6 shows an example of a conventional semiconductor integrated circuit using a scan chain. The scan flip-flops 11 to 14 constitute a scan chain 33, and test data is scanned in from a scan-in 10 by a clock 91 generated from a clock generation unit 90,
Scan out is performed from scan out 30.

【0005】また、スキャンフリップフロップ21〜2
4は、スキャンチェーン34を構成し、クロック生成部
90から生成されるクロック92によって、スキャンイ
ン20からテストデータがスキャンインされ、スキャン
アウト40からスキャンアウトされる。
Also, scan flip-flops 21 to 2
4 constitutes the scan chain 34, and the test data is scanned in from the scan-in 20 and scanned out from the scan-out 40 by the clock 92 generated from the clock generator 90.

【0006】例えば、スキャンイン10からテストデー
タ1010が与えられ、スキャンイン20からテストデ
ータ0011が与えられると、これらのテストデータの
値は、それぞれ同時に、各々のスキャンチェーンを構成
するスキャンフリップフロップに設定される。スキャン
チェーン33を構成するスキャンフリップフロップ11
〜14は、スキャンフリップフロップ11から14にそ
れぞれ順に1、0、1、0の値が設定され、同時にスキ
ャンチェーン34を構成するスキャンフリップフロップ
21〜24に対して、スキャンフリップフロップ21か
ら24にそれぞれ、順に0、0、1、1の値が設定され
る。
For example, when test data 1010 is provided from scan-in 10 and test data 0011 is provided from scan-in 20, the values of these test data are simultaneously applied to the scan flip-flops constituting each scan chain. Is set. Scan flip-flop 11 constituting scan chain 33
14, the values of 1, 0, 1, and 0 are sequentially set in the scan flip-flops 11 to 14, respectively. At the same time, the scan flip-flops 21 to 24 forming the scan chain 34 are set to the scan flip-flops 21 to 24, respectively. The values of 0, 0, 1, and 1 are set in order, respectively.

【0007】また、テストデータが与えられる前にスキ
ャンフリップフロップに格納されていた値は、スキャン
アウトから順番に出力される。
[0007] The values stored in the scan flip-flops before the test data is supplied are sequentially output from the scan-out.

【0008】このように従来のスキャンチェーンを用い
た半導体集積回路では、検査時に各々のスキャンチェー
ンに対して、一斉にクロックを動かし、テストデータの
スキャンイン、スキャンアウトが行われている。
As described above, in a conventional semiconductor integrated circuit using a scan chain, a clock is simultaneously operated for each scan chain at the time of inspection, and scan-in and scan-out of test data are performed.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】スキャン設計がなされ
た半導体集積回路では、検査時に回路中のクロックが一
斉に動き、すべてのスキャンフリップフロップが同時に
動作するために、検査時における回路の消費電力が大き
くなる。
In a semiconductor integrated circuit with a scan design, clocks in the circuit move at the same time at the time of inspection and all the scan flip-flops operate simultaneously, so that the power consumption of the circuit at the time of inspection is reduced. growing.

【0010】使用されていない機能ブロックのクロック
を止めることによって、省電力化がなされている半導体
集積回路に対して、上記のようなスキャンテスト方法を
適用すると、通常動作以上の電力を消費することとな
り、回路が誤動作したり、最悪の場合には回路が破壊さ
れる恐れがある等の問題点があった。
When the above-described scan test method is applied to a semiconductor integrated circuit whose power is saved by stopping the clock of an unused functional block, power more than normal operation is consumed. Thus, there is a problem that the circuit may malfunction or the circuit may be damaged in the worst case.

【0011】また、電源線を太くすることで一斉に動作
させることも可能であるが、その場合、回路面積が大き
くなる問題点がある。
Although it is possible to operate all at once by making the power supply line thicker, there is a problem that the circuit area becomes large.

【0012】上記問題点に鑑み、本発明は、スキャン設
計された半導体集積回路において、検査時の消費電力を
低く抑えることを目的とする。
In view of the above problems, it is an object of the present invention to reduce power consumption during inspection in a scan-designed semiconductor integrated circuit.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明は、回路中のスキャンチェーンを、複数のス
キャンチェーングループにグループ化し、検査時には、
スキャンチェーングループ毎に選択的にシフト動作のク
ロックを供給することで、同時に動作するスキャンフリ
ップフロップの数を削減することを特徴とする。
In order to solve this problem, the present invention groups scan chains in a circuit into a plurality of scan chain groups.
By selectively supplying a shift operation clock for each scan chain group, the number of scan flip-flops that operate simultaneously can be reduced.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0015】(実施の形態1)図1は本発明の実施の形
態1における半導体集積回路の構成を示す図である。同
図に示すように、順序回路部41において、スキャンチ
ェーングループ31とスキャンチェーングループ32を
定義する。
(First Embodiment) FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a semiconductor integrated circuit according to a first embodiment of the present invention. As shown in the figure, a scan chain group 31 and a scan chain group 32 are defined in the sequential circuit unit 41.

【0016】スキャンチェーングループ31は、スキャ
ンチェーン35とスキャンチェーン36から成り、スキ
ャンチェーングループ32は、スキャンチェーン37と
スキャンチェーン38から成る。
The scan chain group 31 includes a scan chain 35 and a scan chain 36, and the scan chain group 32 includes a scan chain 37 and a scan chain 38.

【0017】スキャンチェーン35は、スキャンフリッ
プフロップ13、14で構成される。同様に、スキャン
チェーン36はスキャンフリップフロップ11と12
で、スキャンチェーン37はスキャンフリップ23と2
4で、スキャンチェーン38はスキャンフリップフロッ
プ21と22で構成される。
The scan chain 35 includes scan flip-flops 13 and 14. Similarly, the scan chain 36 includes the scan flip-flops 11 and 12
The scan chain 37 is connected to the scan flips 23 and 2
At 4, the scan chain 38 is composed of scan flip-flops 21 and 22.

【0018】スキャン制御部51は、検査時において、
スキャンチェーングループ31、32のそれぞれに選択
的にシフト動作のクロックを供給する。
At the time of inspection, the scan control unit 51
A clock for a shift operation is selectively supplied to each of the scan chain groups 31 and 32.

【0019】以上の様に構成された本実施形態の半導体
集積回路における検査の手順を、図2に示すフローチャ
ートに沿って説明する。
An inspection procedure in the semiconductor integrated circuit of the present embodiment configured as described above will be described with reference to a flowchart shown in FIG.

【0020】まず、ステップST11において、テスト
データのスキャンイン処理が完了していないスキャンチ
ェーンが回路中に存在するか否かを判断する。
First, in step ST11, it is determined whether or not a scan chain in which scan-in processing of test data has not been completed exists in the circuit.

【0021】存在すれば、ステップST12に進み、存
在しなければステップST14に進む。
If there is, the process proceeds to step ST12. If not, the process proceeds to step ST14.

【0022】ここでは、まだ1つのスキャンチェーンも
処理していないので、ステップST12に進む。
Here, since one scan chain has not been processed yet, the process proceeds to step ST12.

【0023】ステップST12では、回路中のスキャン
チェーングループの一つにテストクロックを与え、テス
トデータのスキャンイン処理を行う。
In step ST12, a test clock is applied to one of the scan chain groups in the circuit, and scan-in processing of test data is performed.

【0024】ここでは、スキャンチェーングループ31
を選択したものとする。スキャン制御部51は、スキャ
ンチェーングループ31を構成するスキャンチェーン3
5および36に対してのみ、シフト動作のクロックを供
給する。
Here, the scan chain group 31
It is assumed that has been selected. The scan control unit 51 scans the scan chains 3 forming the scan chain group 31.
A clock for the shift operation is supplied only to 5 and 36.

【0025】これによって、スキャンチェーン35、3
6には、それぞれスキャンイン1、2からテストデータ
がスキャンイン処理され、スキャンフリップフロップ1
1〜14に値が設定される。
Thus, the scan chains 35, 3
6, test data are scanned in from scan-in 1 and scan-in 2 respectively, and scan flip-flop 1
Values are set to 1 to 14.

【0026】次に、ステップST13において、ステッ
プST12でスキャンイン処理が完了したスキャンチェ
ーングループに対するテストクロックを止めることで、
スキャンチェーングループに含まれるスキャンチェーン
を構成するすべてのスキャンフリップフロップの値を保
持する。
Next, in step ST13, by stopping the test clock for the scan chain group for which the scan-in processing has been completed in step ST12,
Holds the values of all the scan flip-flops constituting the scan chains included in the scan chain group.

【0027】本実施形態では、スキャンフリップフロッ
プ11〜14の値の設定が完了すれば、スキャン制御部
51からの、スキャンチェーングループ31に対するシ
フト動作のクロックの供給が止まり、スキャンフリップ
フロップ11〜14のスキャンフリップフロップの値が
保持される。
In this embodiment, when the setting of the values of the scan flip-flops 11 to 14 is completed, the supply of the clock of the shift operation to the scan chain group 31 from the scan control unit 51 is stopped, and the scan flip-flops 11 to 14 are stopped. Are held.

【0028】これら、図2のステップST11〜ステッ
プST13までを、回路中の全てのスキャンチェーング
ループに対してテストデータがスキャンイン処理される
まで繰り返し行う。
Steps ST11 to ST13 of FIG. 2 are repeated until test data is scanned in for all scan chain groups in the circuit.

【0029】再びステップST11において、テストデ
ータのスキャンイン処理が完了していないスキャンチェ
ーングループが存在するかどうか判断する。本実施形態
では、スキャンチェーングループ32に対するスキャン
イン処理が完了していないので、ステップST12に進
む。
In step ST11, it is determined whether there is any scan chain group for which the scan-in processing of the test data has not been completed. In the present embodiment, since the scan-in process for the scan chain group 32 has not been completed, the process proceeds to step ST12.

【0030】ステップST12では、スキャンチェーン
グループ32を構成するスキャンチェーン37、38に
対してのみ、スキャン制御部51からシフト動作のクロ
ックが供給される。これによって、スキャンイン3、4
からテストデータがスキャンイン処理され、スキャンフ
リップフロップ21〜24に値が設定される。
In step ST12, only the scan chains 37 and 38 constituting the scan chain group 32 are supplied with a shift operation clock from the scan control unit 51. Thus, scan-in 3, 4
Are subjected to scan-in processing, and values are set in the scan flip-flops 21 to 24.

【0031】次にステップST13において、スキャン
チェーングループ32に対するシフト動作のクロック供
給を止めることで、スキャンチェーン37、38を構成
するスキャンフリップに設定された値が保持される。
Next, in step ST13, by stopping the clock supply of the shift operation to the scan chain group 32, the value set in the scan flips constituting the scan chains 37 and 38 is held.

【0032】これで回路中の全てのスキャンチェーング
ループに対してテストデータがスキャンイン処理された
ことになるので、ステップST11からステップST1
4に進む。
This means that the test data has been scanned in for all the scan chain groups in the circuit.
Proceed to 4.

【0033】ステップST14では、スキャンイン処理
が完了した全てのスキャンチェーングループについて、
一つのスキャンチェーングループ毎に順々にスキャンア
ウト処理を行う。
In step ST14, for all scan chain groups for which scan-in processing has been completed,
Scan-out processing is sequentially performed for each scan chain group.

【0034】まず、スキャンチェーングループ31に対
して、スキャン制御部51からシフト動作のクロックを
供給してスキャンアウト処理を行ない、スキャンアウト
5、6からテスト結果のデータを観測する。次にスキャ
ングループ32に対して同様にスキャンアウト処理を行
ない、スキャンアウト7、8でテスト結果のデータを観
測する。
First, a scan operation clock is supplied from the scan control unit 51 to the scan chain group 31 to perform a scan-out process, and the test result data is observed from the scan-outs 5 and 6. Next, a scan-out process is similarly performed on the scan group 32, and data of test results is observed in scan-outs 7 and 8.

【0035】次に、ステップST15において、そのま
ま検査を終了するか、ステップST11に戻るかを判断
する。終了と判断されると、検査が終了する。
Next, in step ST15, it is determined whether the inspection is to be ended as it is or to return to step ST11. If it is determined that the test has been completed, the inspection ends.

【0036】上述のように、本実施形態によれば、一つ
のスキャンチェーングループごとに順々にテストデータ
のスキャンイン処理、スキャンアウト処理を行うこと
で、同時に動作する回路中のスキャンフリップフロップ
の数、クロックを減少させ、検査時の消費電力を抑制す
ることができる。
As described above, according to the present embodiment, the scan-in process and the scan-out process of the test data are sequentially performed for each scan chain group, so that the scan flip-flops in the circuit operating at the same time. The number and clocks can be reduced, and power consumption during inspection can be suppressed.

【0037】また、検査時の消費電力に合わせて電源線
を太くする必要がないため、回路面積の増加を抑えるこ
とが可能となる。
Further, since it is not necessary to make the power supply line thicker in accordance with the power consumption at the time of inspection, it is possible to suppress an increase in circuit area.

【0038】なお、本実施形態では、テストデータのス
キャンイン処理、スキャンアウト処理は全てのスキャン
チェーングループについて行う検査方法を説明したが、
半導体回路内に仮定された故障を検出するために必要な
スキャンチェーングループに対してのみ、テストデータ
のスキャンイン処理、スキャンアウト処理を行った場合
でも、本実施形態と同様の効果が得られる。
In this embodiment, the inspection method in which the scan-in process and the scan-out process of the test data are performed for all the scan chain groups has been described.
Even when the scan-in process and the scan-out process of the test data are performed only on the scan chain group necessary for detecting the fault assumed in the semiconductor circuit, the same effect as the present embodiment can be obtained.

【0039】(実施の形態2)図3は本発明の実施の形
態2における半導体集積回路の構成を示す図である。図
3において、第1の実施形態における図1の半導体集積
回路と同様の部分については同じ番号を付し、説明を省
略する。
(Embodiment 2) FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a semiconductor integrated circuit according to Embodiment 2 of the present invention. 3, the same parts as those of the semiconductor integrated circuit of FIG. 1 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0040】データ制御部52は、スキャンチェーン3
5とスキャンチェーン37のスキャンインピンを外部入
力ピンであるスキャンイン61に、スキャンアウトピン
を外部入力ピンであるスキャンアウト63に、それぞれ
論理的に接続する。
The data control unit 52 includes the scan chain 3
5 and the scan chain 37 are logically connected to a scan-in 61, which is an external input pin, and a scan-out pin, to a scan-out 63, which is an external input pin.

【0041】また、データ制御部52は、スキャンチェ
ーン36とスキャンチェーン38のスキャンインピンを
外部入力ピンであるスキャンイン62に、スキャンアウ
トピンを外部入力ピンであるスキャンアウト64に論理
的に接続する。
The data control unit 52 logically connects the scan-in pins of the scan chains 36 and 38 to the scan-in 62, which is an external input pin, and the scan-out pin, to the scan-out 64, which is an external input pin. .

【0042】以上の様に構成された半導体集積回路にお
いて、実施の形態1と同様に図2に示すフローチャート
に沿ってスキャンイン処理、スキャンアウト処理を行な
う。
In the semiconductor integrated circuit configured as described above, scan-in processing and scan-out processing are performed in accordance with the flowchart shown in FIG. 2 as in the first embodiment.

【0043】テストデータのスキャンインおよびスキャ
ンアウトはスキャングループ毎に順に行われるため、異
なるスキャングループのスキャンチェーン35およびス
キャンチェーン37のスキャンチェーンには同時にスキ
ャンインおよびスキャンアウトされることがない。
Since scan-in and scan-out of test data are performed sequentially for each scan group, scan-in and scan-out of the scan chains 35 and 37 in different scan groups are not performed simultaneously.

【0044】よって、これらのスキャンチェーンのスキ
ャンインピンおよびスキャンアウトピンは共有して、そ
れぞれスキャンイン61、スキャンアウト63を利用す
ることができる。
Therefore, the scan-in pin and the scan-out pin of these scan chains can be shared and the scan-in 61 and the scan-out 63 can be used, respectively.

【0045】また、同様に、スキャンチェーン36およ
びスキャンチェーン38のスキャンチェーンには同時に
スキャンインおよびスキャンアウトされることがないの
で、これらのスキャンチェーンのスキャンインピンおよ
びスキャンアウトピンは共有して、それぞれスキャンイ
ン62、スキャンアウト64を利用することができる。
Similarly, since the scan chains of the scan chains 36 and 38 are not simultaneously scanned in and scanned out, the scan in pins and the scan out pins of these scan chains are shared, respectively. Scan-in 62 and scan-out 64 can be used.

【0046】このように、異なるスキャンチェーングル
ープのスキャンインピン同士、異なるスキャンチェーン
グループのスキャンアウトピン同士を共有して使用する
ことで、回路の外部入出力ピンの数を少なくすることが
可能である。
As described above, the number of external input / output pins of the circuit can be reduced by sharing the scan-in pins of different scan chain groups and the scan-out pins of different scan chain groups. .

【0047】なお、本実施形態では、データ制御部52
にはネットの分岐を利用したが、図4に示すように、デ
ータ制御部52に出力ピンを選択する選択回路71、7
2を設けても、本実施形態と同様の効果が得られる。
In this embodiment, the data control unit 52
Uses the branching of the net, but as shown in FIG.
2, the same effect as in the present embodiment can be obtained.

【0048】(実施の形態3)図5は、本発明の第3の
実施の形態における半導体集積回路の構成を示す図であ
る。同図において、図1と同じ部分については同一の番
号を付し、説明を省略する。
(Embodiment 3) FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a semiconductor integrated circuit according to a third embodiment of the present invention. In the figure, the same parts as those in FIG.

【0049】データ制御部52は、スキャンチェーン3
5のスキャンアウトピンとスキャンチェーン37のスキ
ャンインピンを共通のスキャンインアウト81に、スキ
ャンチェーン36のスキャンアウトピンとスキャンチェ
ーン38のスキャンインピンを共通のスキャンインアウ
ト82に、スキャンチェーン35のスキャンインピンと
スキャンチェーン37のスキャンアウトピンを共通のス
キャンインアウト83に、スキャンチェーン36のスキ
ャンインピンとスキャンチェーン38のスキャンアウト
ピンを共通のスキャンインアウト84に、それぞれ入出
力切替え回路55、56、57、58を介して、論理的
に接続する。
The data control unit 52 is provided with the scan chain 3
5, the scan-in pin of the scan chain 37 is connected to the common scan-in / out 81, the scan-out pin of the scan chain 36 and the scan-in pin of the scan chain 38 are connected to the common scan-in / out 82, and the scan-in pin of the scan chain 35 and the scan-in The input / output switching circuits 55, 56, 57, and 58 respectively connect the scan-out pin of the chain 37 to the common scan-in / out 83, and the scan-in pin of the scan chain 36 and the scan-out-pin of the scan chain 38 to the common scan-in / out 84. Are logically connected via.

【0050】テストデータのスキャンインおよびスキャ
ンアウトはスキャングループごとに順に行われるため、
異なるスキャングループのスキャンチェーン35のスキ
ャンアウトと、スキャンチェーチェーン37のスキャン
インは同時起こらない。
Since scan-in and scan-out of test data are sequentially performed for each scan group,
Scan-out of the scan chains 35 of different scan groups and scan-in of the scan chain 37 do not occur simultaneously.

【0051】従って、入出力切り替え回路55を介して
これらの出力および入力を適宜切り替えることで、一つ
の入出力ピンスキャンインアウト81で兼用することが
可能となる。
Therefore, by appropriately switching these outputs and inputs through the input / output switching circuit 55, one input / output pin scan-in / out 81 can be shared.

【0052】同様に、スキャンチェーン36のスキャン
アウトとスキャンチェーチェーン38のスキャンイン、
スキャンチェーン35のスキャンインとスキャンチェー
チェーン37のスキャンアウト、およびスキャンチェー
ン36のスキャンインとスキャンチェーチェーン38の
スキャンアウトを、1つの入出力ピンで共有して使用す
ることが可能である。
Similarly, the scan-out of the scan chain 36 and the scan-in of the scan chain 38,
The scan-in of the scan chain 35 and the scan-out of the scan chain 37, and the scan-in of the scan chain 36 and the scan-out of the scan chain 38 can be shared by one input / output pin.

【0053】このように、異なるスキャンチェーングル
ープのスキャンインピンとスキャンアウトピンとを共有
して使用することで、回路の外部入出力ピンの数を少な
くすることが可能である。
As described above, the number of external input / output pins of the circuit can be reduced by using the scan-in pins and the scan-out pins of different scan chain groups in common.

【0054】[0054]

【発明の効果】以上のように、本発明は、スキャンチェ
ーングループ毎に順々にテストデータのスキャンイン、
スキャンアウトを行うことで、同時に動作する回路中の
スキャンフリップフロップの数、クロックを減少させ、
検査時の消費電力を抑制することが可能とである。ま
た、検査時の消費電力を低く抑えることができるため、
電源線を細くすることが可能となり、回路面積を削減す
ることができる。
As described above, according to the present invention, scan-in of test data is sequentially performed for each scan chain group.
By performing scan-out, the number of scan flip-flops in the circuit that operates simultaneously and the clock are reduced,
It is possible to suppress power consumption during inspection. Also, power consumption during inspection can be kept low,
The power supply line can be made thinner, and the circuit area can be reduced.

【0055】更に、スキャンイン、スキャンアウトをス
キャンチェーングループごとに順に行う際に、同時に使
用されないスキャンチェーンの外部入出力ピンを共有す
ることで、外部ピン数の増加を防ぐことができる。
Furthermore, when scan-in and scan-out are sequentially performed for each scan chain group, the number of external pins can be prevented by sharing external input / output pins of scan chains that are not used at the same time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施形態における半導体集積回路の構成
FIG. 1 is a configuration diagram of a semiconductor integrated circuit according to a first embodiment;

【図2】第1の実施形態における検査の手順を示すフロ
ーチャート
FIG. 2 is a flowchart showing an inspection procedure according to the first embodiment;

【図3】第2の実施形態における半導体集積回路の構成
FIG. 3 is a configuration diagram of a semiconductor integrated circuit according to a second embodiment.

【図4】第2の実施形態におけるデータ制御部の別の構
成例を示す図
FIG. 4 is a diagram illustrating another configuration example of a data control unit according to the second embodiment;

【図5】第3の実施形態における半導体集積回路の構成
FIG. 5 is a configuration diagram of a semiconductor integrated circuit according to a third embodiment;

【図6】従来のスキャンチェーンを用いた半導体集積回
路の構成図
FIG. 6 is a configuration diagram of a semiconductor integrated circuit using a conventional scan chain.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 スキャンイン 2 スキャンイン 3 スキャンイン 4 スキャンイン 5 スキャンアウト 6 スキャンアウト 7 スキャンアウト 8 スキャンアウト 11 スキャンフリップフロップ 12 スキャンフリップフロップ 13 スキャンフリップフロップ 14 スキャンフリップフロップ 21 スキャンフリップフロップ 22 スキャンフリップフロップ 23 スキャンフリップフロップ 24 スキャンフリップフロップ 31 スキャンチェーングループ 32 スキャンチェーングループ 35 スキャンチェーン 36 スキャンチェーン 37 スキャンチェーン 38 スキャンチェーン 41 順序回路部 51 スキャン制御部 1 scan-in 2 scan-in 3 scan-in 4 scan-in 5 scan-out 6 scan-out 7 scan-out 8 scan-out 11 scan flip-flop 12 scan flip-flop 13 scan flip-flop 14 scan flip-flop 21 scan flip-flop 22 scan flip-flop 23 scan Flip-flop 24 Scan flip-flop 31 Scan chain group 32 Scan chain group 35 Scan chain 36 Scan chain 37 Scan chain 38 Scan chain 41 Sequential circuit unit 51 Scan control unit

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のスキャンチェーンを備えた半導体
集積回路において、前記各スキャンチェーンに対して選
択的にシフト動作のクロックを供給することを特徴とす
る半導体集積回路。
1. A semiconductor integrated circuit having a plurality of scan chains, wherein a clock for a shift operation is selectively supplied to each scan chain.
【請求項2】 順序回路部と、スキャン制御部とを備
え、 前記順序回路部は、複数のスキャンチェーングループを
有し、 前記各スキャンチェーングループは、1つ以上のスキャ
ンチェーンから構成され、 前記スキャン制御部は、前記各スキャンチェーングルー
プに対してシフト動作のクロックを選択的に供給可能に
構成されたことを特徴とする半導体集積回路。
2. The apparatus according to claim 1, further comprising a sequential circuit unit and a scan control unit, wherein the sequential circuit unit has a plurality of scan chain groups, and each of the scan chain groups includes one or more scan chains. A semiconductor integrated circuit, wherein the scan control unit is configured to be capable of selectively supplying a shift operation clock to each of the scan chain groups.
【請求項3】 請求項2記載の半導体集積回路における
回路の検査方法であって、 検査時において、各スキャンチェーングループに対して
選択的にシフト動作のクロックを供給するとともに、ス
キャンチェーンを構成するスキャンフリップフロップへ
の値の設定またはスキャンフリップの値の読み出しを行
なうことを特徴とする半導体集積回路の検査方法。
3. The method for inspecting a circuit in a semiconductor integrated circuit according to claim 2, wherein at the time of inspection, a clock for a shift operation is selectively supplied to each scan chain group and a scan chain is formed. A method for testing a semiconductor integrated circuit, comprising setting a value to a scan flip-flop or reading a value of a scan flip-flop.
【請求項4】 異なるスキャンチェーングループに属す
る複数のスキャンチェーンの、スキャンインピンまたは
スキャンアウトピンに対応する外部ピンと、 前記複数のスキャンチェーンのうち、現在スキャン制御
部によって選択的にシフト動作のクロックが供給されて
いるスキャンチェーンのスキャンアウトピンと、前記外
部ピンとを論理的に接続するデータ制御部とを備えたこ
とを特徴とする請求項2記載の半導体集積回路。
4. An external pin corresponding to a scan-in pin or a scan-out pin of a plurality of scan chains belonging to different scan chain groups, and a clock of a shift operation selectively selected by a current scan control unit among the plurality of scan chains. 3. The semiconductor integrated circuit according to claim 2, further comprising a data control unit that logically connects the scan-out pin of the supplied scan chain and the external pin.
【請求項5】 同時にシフト動作のクロックが供給され
ることのないスキャンチェーン同士で、スキャンインま
たはスキャンアウトのための外部ピンを共有するよう構
成された請求項1記載の半導体集積回路。
5. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein scan chains to which a clock for a shift operation is not simultaneously supplied share external pins for scan-in or scan-out.
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