JPH10195689A - 微細孔明き金属箔の製造方法 - Google Patents
微細孔明き金属箔の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微細な孔を有し、2つの面の表面粗さが同様
な電解金属箔の製造方法を提供する。 【解決手段】 表面粗さがRzで0.8μm以下であ
り、表面がTi及びその合金、ステンレス鋼、Cr及び
その合金、Crメッキ鋼より選択される陰極と金属イオ
ンを含有する電解液に浸漬されている陽極間に電流を流
し、陰極表面に金属箔層を形成した後、金属箔層を剥離
することにより、微細で均一に分布した孔を有し、かつ
両面が粗面となっている電解金属箔を製造する。
な電解金属箔の製造方法を提供する。 【解決手段】 表面粗さがRzで0.8μm以下であ
り、表面がTi及びその合金、ステンレス鋼、Cr及び
その合金、Crメッキ鋼より選択される陰極と金属イオ
ンを含有する電解液に浸漬されている陽極間に電流を流
し、陰極表面に金属箔層を形成した後、金属箔層を剥離
することにより、微細で均一に分布した孔を有し、かつ
両面が粗面となっている電解金属箔を製造する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は微細な孔を有する金
属箔であり、フィルター、印刷用スクリーン、電磁波遮
蔽用シート、二次電池用電極などに関するものである。
属箔であり、フィルター、印刷用スクリーン、電磁波遮
蔽用シート、二次電池用電極などに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、孔明き金属箔として、(1)所定
のパターンで多数の孔を有する金属箔、(2)パターン
はないが三次元的な空間が存在する高開孔率の金属箔、
(3)微細な孔が高密度に存在する金属箔が報告されて
いる。 (1)所定パターンで多数の孔を有する金属箔を製造す
る方法として、(A)無孔の圧延金属箔あるいは電解金
属箔をエッチングやパンチング、ドリリングなどの方法
によって孔を形成する方法。(B)絶縁基体上にフォト
レジスト等の絶縁基材で非メッキパターンを形成後、電
解金属箔を得る方法。(C)導電、基体上にフォトレジ
スト等の絶縁基材で非メッキパターンを形成後、電解金
属箔を得る方法。(D)導電基体に凹部を設け、凹部の
中に絶縁材料を充填し、非メッキパターンを形成後、電
解金属箔を得る方法等がある。そして、これらは主にフ
ィルター、印刷用スクリーン等に使用されている。 (2)また、三次元的高開孔率の金属箔としてはニッケ
ル発泡体があり、これは主に電池用電極に使用されてい
る。これは、発泡ウレタンに導電処理を施した後、電気
ニッケルメッキをし、熱処理を施し、製造される。 (3)微細な孔が高密度に存在する金属箔は特開平8−
236120号等に開示さており、二次電池用となって
いる。これは、陰極に陽極酸化処理を施した後、電気メ
ッキをし、銅あるいはニッケルの多孔質電解金属箔を製
造する。
のパターンで多数の孔を有する金属箔、(2)パターン
はないが三次元的な空間が存在する高開孔率の金属箔、
(3)微細な孔が高密度に存在する金属箔が報告されて
いる。 (1)所定パターンで多数の孔を有する金属箔を製造す
る方法として、(A)無孔の圧延金属箔あるいは電解金
属箔をエッチングやパンチング、ドリリングなどの方法
によって孔を形成する方法。(B)絶縁基体上にフォト
レジスト等の絶縁基材で非メッキパターンを形成後、電
解金属箔を得る方法。(C)導電、基体上にフォトレジ
スト等の絶縁基材で非メッキパターンを形成後、電解金
属箔を得る方法。(D)導電基体に凹部を設け、凹部の
中に絶縁材料を充填し、非メッキパターンを形成後、電
解金属箔を得る方法等がある。そして、これらは主にフ
ィルター、印刷用スクリーン等に使用されている。 (2)また、三次元的高開孔率の金属箔としてはニッケ
ル発泡体があり、これは主に電池用電極に使用されてい
る。これは、発泡ウレタンに導電処理を施した後、電気
ニッケルメッキをし、熱処理を施し、製造される。 (3)微細な孔が高密度に存在する金属箔は特開平8−
236120号等に開示さており、二次電池用となって
いる。これは、陰極に陽極酸化処理を施した後、電気メ
ッキをし、銅あるいはニッケルの多孔質電解金属箔を製
造する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】(1)の方法は工程が
多くコストが高くつき、大量に製造できない欠点、ある
いはエッチング廃液処理の問題などの欠点がある。
(2)の方法は工程が多く、薄いものができない欠点が
ある。(3)の方法は工程も簡素で大量に製造できる可
能性があるが、箔の陰極面側の表面(S面)とその反対
側の表面(M面)の表面粗度が大きく違う欠点を有して
いる。本発明は上述の課題を解決するため、本発明者ら
が、電解箔の製造方法の応用検討を行い、エッチング液
の廃液の問題、工程の増加やコストの上昇などの問題を
生じることなく工程が簡素で大量生産が可能であり、S
面とM面の表面粗さが同様でかつ、微細な孔を有する電
解金属箔を製造する方法を提供することにある。
多くコストが高くつき、大量に製造できない欠点、ある
いはエッチング廃液処理の問題などの欠点がある。
(2)の方法は工程が多く、薄いものができない欠点が
ある。(3)の方法は工程も簡素で大量に製造できる可
能性があるが、箔の陰極面側の表面(S面)とその反対
側の表面(M面)の表面粗度が大きく違う欠点を有して
いる。本発明は上述の課題を解決するため、本発明者ら
が、電解箔の製造方法の応用検討を行い、エッチング液
の廃液の問題、工程の増加やコストの上昇などの問題を
生じることなく工程が簡素で大量生産が可能であり、S
面とM面の表面粗さが同様でかつ、微細な孔を有する電
解金属箔を製造する方法を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明はすなわち、電解
箔を製造する方法において、金属イオンを含有する電解
液に浸漬されている陽極と表面粗さがRzで0.8μm
以下であるTi及びその合金、ステンレス鋼、Cr及び
その合金、Crメッキ鋼より選択される陰極の間に、電
流を流し、陰極表面に金属薄膜を形成した後、金属層を
剥離することによって得られる微細穴明き金属箔の製造
方法。本発明は微細孔明き電解金属箔の製造方法に関し
ており、電解金属箔の製造方法を主に適用する。ここで
電解金属箔の製造方法について述べる。電解金属箔は一
般にTi、ステンレス、Cr、Crメッキ鋼などででき
た回転ドラムと金属イオンを含有する電解液に浸漬して
いる陽極との間に電流を流すことにより、回転陰極ドラ
ム表面に金属の薄膜を形成した後、回転陰極ドラム表面
より金属箔層を剥離し、コイル状に巻き取ることにより
得られる。この様にして得られた金属箔には二つの異な
った表面があり、一つはメッキ液に接した成長面(M面
と呼ぶ)であり、もう一つは陰極に接した光沢面(S面
と呼ぶ)である。M面は艶消し状の外観であり、S面は
陰極面のレプリカとなっており、半光沢又は金属光沢を
有した外観でその表面粗さは陰極表面と同程度である。
上記工程によって製造された電解金属箔は重大欠陥の一
つであるピンホールが発生する場合がある。このピンホ
ールは陰極表面の酸化薄膜に起因して発生するため、陰
極表面は定期的又は連続的に研磨パッド等により研磨さ
れる。通常、研磨された陰極の表面形状は均一に粗れて
おり、半光沢又は金属光沢である。その表面粗さはRz
で1〜3μmであり、該陰極より得られた電解金属箔は
箔の厚みにもよるがM面粗さがRzで3〜15μmであ
り、そのS面粗さはRzで1〜3μmである。
箔を製造する方法において、金属イオンを含有する電解
液に浸漬されている陽極と表面粗さがRzで0.8μm
以下であるTi及びその合金、ステンレス鋼、Cr及び
その合金、Crメッキ鋼より選択される陰極の間に、電
流を流し、陰極表面に金属薄膜を形成した後、金属層を
剥離することによって得られる微細穴明き金属箔の製造
方法。本発明は微細孔明き電解金属箔の製造方法に関し
ており、電解金属箔の製造方法を主に適用する。ここで
電解金属箔の製造方法について述べる。電解金属箔は一
般にTi、ステンレス、Cr、Crメッキ鋼などででき
た回転ドラムと金属イオンを含有する電解液に浸漬して
いる陽極との間に電流を流すことにより、回転陰極ドラ
ム表面に金属の薄膜を形成した後、回転陰極ドラム表面
より金属箔層を剥離し、コイル状に巻き取ることにより
得られる。この様にして得られた金属箔には二つの異な
った表面があり、一つはメッキ液に接した成長面(M面
と呼ぶ)であり、もう一つは陰極に接した光沢面(S面
と呼ぶ)である。M面は艶消し状の外観であり、S面は
陰極面のレプリカとなっており、半光沢又は金属光沢を
有した外観でその表面粗さは陰極表面と同程度である。
上記工程によって製造された電解金属箔は重大欠陥の一
つであるピンホールが発生する場合がある。このピンホ
ールは陰極表面の酸化薄膜に起因して発生するため、陰
極表面は定期的又は連続的に研磨パッド等により研磨さ
れる。通常、研磨された陰極の表面形状は均一に粗れて
おり、半光沢又は金属光沢である。その表面粗さはRz
で1〜3μmであり、該陰極より得られた電解金属箔は
箔の厚みにもよるがM面粗さがRzで3〜15μmであ
り、そのS面粗さはRzで1〜3μmである。
【0005】本発明者等は、この陰極表面の粗さに着目
し、種々の表面粗さに研磨した陰極を用いて鋭意検討を
行った結果、表面粗さが、Rzで0.8μm以下の陰極
を用いて電解析出させることにより、M面粗さRz3〜
20μm、S面粗さRz3〜15μmというM面とS面
の粗さが同様で且つ、微細な孔明き電解金属箔が得られ
ることを見い出し、また、陰極表面粗さRzが0.8μ
m以上では孔の明いた電解金属箔が得られても、その穴
は不均一で数も非常に少ないかあるいは無孔の電解金属
箔しか得られないことを見い出した。陰極表面粗さの滑
らかさには限定はないが、研磨に係わる労力およびコス
トを考えると実用的でないのでその下限はRz0.01
μmとすることが好ましい。本発明法により得られる金
属箔は孔の数が約 10〜 300個/mm2 、大きさが約
0.1〜100μm径である。形状は不定型で不規則
である。本発明において使用する電解装置の陽極及び電
解液は電解金属箔の製造に一般的に使用されているもの
でよい。例えば電解装置としては図aに示す構造を有す
るもの、陽極としてPbや白金属の不溶性電極、電解液
としては電解銅箔を製造する場合は硫酸銅(五水塩)2
00〜350g/l、硫酸50〜250g/lに添加剤
を少量加えた一般的な硫酸酸性浴、また電解ニッケル箔
を製造する場合は一般的なワット浴やスルファミン酸浴
が例示できる。
し、種々の表面粗さに研磨した陰極を用いて鋭意検討を
行った結果、表面粗さが、Rzで0.8μm以下の陰極
を用いて電解析出させることにより、M面粗さRz3〜
20μm、S面粗さRz3〜15μmというM面とS面
の粗さが同様で且つ、微細な孔明き電解金属箔が得られ
ることを見い出し、また、陰極表面粗さRzが0.8μ
m以上では孔の明いた電解金属箔が得られても、その穴
は不均一で数も非常に少ないかあるいは無孔の電解金属
箔しか得られないことを見い出した。陰極表面粗さの滑
らかさには限定はないが、研磨に係わる労力およびコス
トを考えると実用的でないのでその下限はRz0.01
μmとすることが好ましい。本発明法により得られる金
属箔は孔の数が約 10〜 300個/mm2 、大きさが約
0.1〜100μm径である。形状は不定型で不規則
である。本発明において使用する電解装置の陽極及び電
解液は電解金属箔の製造に一般的に使用されているもの
でよい。例えば電解装置としては図aに示す構造を有す
るもの、陽極としてPbや白金属の不溶性電極、電解液
としては電解銅箔を製造する場合は硫酸銅(五水塩)2
00〜350g/l、硫酸50〜250g/lに添加剤
を少量加えた一般的な硫酸酸性浴、また電解ニッケル箔
を製造する場合は一般的なワット浴やスルファミン酸浴
が例示できる。
【0006】また、陰極の材質はTi及びその合金、ス
テンレス、Cr及びその合金、Crメッキ鋼などが例示
できる。さらに陰極表面を研磨し、表面粗さをRzで
0.8μm以下に整面する方法についても特に規定はな
く、一般的に行われている研磨方法でよい。例えば、エ
メリー研磨紙や耐水研磨紙、ナイロン不織布にアルミナ
やシリコンカーバイドの研磨砥粒を含浸させた研磨パッ
ド及びアルミナ粉などを用いた機械的研磨方法あるいは
化学的研磨方法などが例示できる。このようにして得ら
れた電解金属箔は、フィルター、電磁波遮蔽用シート、
あるいは二次電池用電極等に利用できる。また接着力を
要求される用途については、公知の方法で片面、又は両
面を粗面化処理してもよい。例えば銅箔であれば特公昭
45−34245号、特公昭50−40109号等多く
の方法がある。
テンレス、Cr及びその合金、Crメッキ鋼などが例示
できる。さらに陰極表面を研磨し、表面粗さをRzで
0.8μm以下に整面する方法についても特に規定はな
く、一般的に行われている研磨方法でよい。例えば、エ
メリー研磨紙や耐水研磨紙、ナイロン不織布にアルミナ
やシリコンカーバイドの研磨砥粒を含浸させた研磨パッ
ド及びアルミナ粉などを用いた機械的研磨方法あるいは
化学的研磨方法などが例示できる。このようにして得ら
れた電解金属箔は、フィルター、電磁波遮蔽用シート、
あるいは二次電池用電極等に利用できる。また接着力を
要求される用途については、公知の方法で片面、又は両
面を粗面化処理してもよい。例えば銅箔であれば特公昭
45−34245号、特公昭50−40109号等多く
の方法がある。
【0007】
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例について述べる。 実施例(1) アルミナ粉により(Rz)0.70μmの表面粗さに研
磨したチタン陰極を用いて、電解液として硫酸銅 (五水
塩) 250g/l,硫酸100g/l,ニカワ2pp
m,Clイオン50ppmを含む液を用いて、液温40
°C,電流密度10A/dm2 で厚さ18μmの電解銅
箔を製造した。この銅箔を目視および顕微鏡による外観
形状観察を行った結果調べたところ、孔径 0.1〜 2
0μm、孔数100〜300個/mm2 、また表面粗さは
RzでM面13μm、S面9μmであった。
磨したチタン陰極を用いて、電解液として硫酸銅 (五水
塩) 250g/l,硫酸100g/l,ニカワ2pp
m,Clイオン50ppmを含む液を用いて、液温40
°C,電流密度10A/dm2 で厚さ18μmの電解銅
箔を製造した。この銅箔を目視および顕微鏡による外観
形状観察を行った結果調べたところ、孔径 0.1〜 2
0μm、孔数100〜300個/mm2 、また表面粗さは
RzでM面13μm、S面9μmであった。
【0009】実施例 (2) アルミナ粉により(Rz)0.05μmの表面粗さに研
磨したステンレス鋼陰極を用いて、実施例1と同じ条件
で厚さ18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を実施
例(1) と同様に調べたところ、孔径 0.1〜 10μm
、孔数 50〜150個/mm2、また表面粗さはRzでM
面12μm、S面10μmであった。
磨したステンレス鋼陰極を用いて、実施例1と同じ条件
で厚さ18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を実施
例(1) と同様に調べたところ、孔径 0.1〜 10μm
、孔数 50〜150個/mm2、また表面粗さはRzでM
面12μm、S面10μmであった。
【0010】実施例 (3) アルミナ粉により(Rz)0.73μmの表面粗さに研
磨したクロム陰極を用いて、実施例1と同じ条件で厚さ
18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を実施例(1)
と同様に調べたところ、孔径 0.1〜 10μm、孔数
10〜 100個/mm2、また表面粗さはRzでM面12
μm、S面8μmであった。
磨したクロム陰極を用いて、実施例1と同じ条件で厚さ
18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を実施例(1)
と同様に調べたところ、孔径 0.1〜 10μm、孔数
10〜 100個/mm2、また表面粗さはRzでM面12
μm、S面8μmであった。
【0011】実施例 (4) アルミナ粉により(Rz)0.45μmの表面粗さに研
磨したクロムめっき陰極を用いて、実施例1と同じ条件
で厚さ18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を実施
例(1) と同様に調べたところ、孔径0.1 〜 10μ
m、孔数 20〜150個/mm2、また表面粗さはRzで
M面15μm、S面12μmであった。
磨したクロムめっき陰極を用いて、実施例1と同じ条件
で厚さ18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を実施
例(1) と同様に調べたところ、孔径0.1 〜 10μ
m、孔数 20〜150個/mm2、また表面粗さはRzで
M面15μm、S面12μmであった。
【0012】実施例 (5) アルミナ粉により(Rz)0.24μmの表面粗さに研
磨したクロム陰極を用いて、電解液として硫酸ニッケル
250g/l,ホウ酸40g/lを含む液を用いて、液
温55°C、電流密度5A/dm2 で厚さ18μmの電
解ニッケル箔を製造した。このニッケル箔を実施例(1)
と同様に調べたところ、孔径 0.1〜10μm、孔数
10〜100個/mm2、また表面粗さはRzでM面5μ
m、S面3μmであった。
磨したクロム陰極を用いて、電解液として硫酸ニッケル
250g/l,ホウ酸40g/lを含む液を用いて、液
温55°C、電流密度5A/dm2 で厚さ18μmの電
解ニッケル箔を製造した。このニッケル箔を実施例(1)
と同様に調べたところ、孔径 0.1〜10μm、孔数
10〜100個/mm2、また表面粗さはRzでM面5μ
m、S面3μmであった。
【0013】
比較例(1) アルミナ粉により(Rz)0.88μmの表面粗さに研
磨したチタン陰極を用いて、実施例1と同じ条件で厚さ
18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を実施例(1)
と同様に調べたところ、孔径0.1〜50μm 、孔数
0〜 5個/mm2、また表面粗さはRzM面12μm、S
面7μmであった。
磨したチタン陰極を用いて、実施例1と同じ条件で厚さ
18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を実施例(1)
と同様に調べたところ、孔径0.1〜50μm 、孔数
0〜 5個/mm2、また表面粗さはRzM面12μm、S
面7μmであった。
【0014】比較例(2) #1500耐水研磨紙により(Rz)1.52μmの表
面粗さに研磨したチタン陰極を用いて、実施例1と同じ
条件で厚さ18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を
実施例(1) と同様に調べたところ、無孔であり、表面粗
さはRzでM面7μm、S面3μmであった。
面粗さに研磨したチタン陰極を用いて、実施例1と同じ
条件で厚さ18μmの電解銅箔を製造した。この銅箔を
実施例(1) と同様に調べたところ、無孔であり、表面粗
さはRzでM面7μm、S面3μmであった。
【0015】
【発明の効果】以上述べたように本発明は、工程が簡素
で大量生産が可能であり、S面とM面の表面粗さが同様
でかつ、微細な孔を有する電解金属箔が製造できる。
で大量生産が可能であり、S面とM面の表面粗さが同様
でかつ、微細な孔を有する電解金属箔が製造できる。
【図1】電解金属箔の製造装置を示す概略図である。
1 電解金属箔 2 電解槽 3 電解液 4 陽極 5 陰極ドラム 5a 陰極ドラム5の露出表面 6 隙間 7 液供給口
Claims (2)
- 【請求項1】 金属イオンを含有する電解液に浸漬され
ている陽極と表面粗さがRzで0.8μm 以下である陰
極の間に、電流を流し、陰極表面に金属薄膜を形成した
後、金属層を剥離することによって得られることを特徴
とする微細孔明き金属箔の製造方法。 - 【請求項2】 陰極の表面がTi及びその合金、ステン
レス鋼、Cr及びその合金、Crメッキ鋼より選択され
る請求項1に記載の微細孔明き金属箔の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8349269A JPH10195689A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 微細孔明き金属箔の製造方法 |
GB9727198A GB2320724A (en) | 1996-12-27 | 1997-12-23 | Method for producing metal foil by electroforming |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8349269A JPH10195689A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 微細孔明き金属箔の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10195689A true JPH10195689A (ja) | 1998-07-28 |
Family
ID=18402628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8349269A Pending JPH10195689A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 微細孔明き金属箔の製造方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10195689A (ja) |
GB (1) | GB2320724A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3262558B2 (ja) * | 1998-09-14 | 2002-03-04 | 三井金属鉱業株式会社 | 多孔質銅箔およびその用途ならびにその製造方法 |
KR100356404B1 (en) * | 2000-03-04 | 2002-10-19 | Nmctek Co Ltd | Method and apparatus for eliminating specified hazardous substance in water using electric field |
WO2004051768A1 (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-17 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | 非水電解液二次電池用負極及びその製造方法並びに非水電解液二次電池 |
JP2006202635A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Furukawa Circuit Foil Kk | リチウム2次電池電極用銅箔およびその銅箔の製造方法、その銅箔を用いたリチウム2次電池用電極およびリチウム2次電池 |
WO2011067957A1 (ja) | 2009-12-04 | 2011-06-09 | 三井金属鉱業株式会社 | 多孔質金属箔およびその製造方法 |
US8980438B2 (en) | 2011-04-08 | 2015-03-17 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Porous metal foil and production method therefor |
JP2016526514A (ja) * | 2013-06-18 | 2016-09-05 | エル エス エムトロン リミテッドLS Mtron Ltd. | 薄膜フィルムの巻取り装置及びそれを用いた巻取り方法 |
US9512527B2 (en) | 2011-01-13 | 2016-12-06 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Reinforced porous metal foil and process for production thereof |
US9595719B2 (en) | 2011-04-08 | 2017-03-14 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Composite metal foil and production method therefor |
JP2018166059A (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | Tdk株式会社 | リチウム二次電池用集電体及びリチウム二次電池 |
CN114175300A (zh) * | 2019-05-27 | 2022-03-11 | 阿迪奥尼克斯以色列有限公司 | 用于电池电极的电化学产生的三维结构 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100365849C (zh) * | 2002-11-29 | 2008-01-30 | 三井金属矿业株式会社 | 非水电解液二次电池用负极及其制造方法以及非水电解液二次电池 |
SG11201504860PA (en) * | 2012-12-21 | 2015-07-30 | Agency Science Tech & Res | Porous metallic membrane |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS502250B1 (ja) * | 1970-10-23 | 1975-01-24 | ||
US3930962A (en) * | 1975-02-21 | 1976-01-06 | Kennecott Copper Corporation | Process and apparatus for producing thin copper foils on a molybdenum or tzm alloy drum |
US3963587A (en) * | 1975-05-19 | 1976-06-15 | Xerox Corporation | Process for electroforming nickel foils |
US4290858A (en) * | 1980-09-23 | 1981-09-22 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Process for forming a nickel foil with controlled and predetermined permeability to hydrogen |
US4529486A (en) * | 1984-01-06 | 1985-07-16 | Olin Corporation | Anode for continuous electroforming of metal foil |
GB8509669D0 (en) * | 1985-04-16 | 1985-05-22 | Berger P | Mother-blanks matrix-plates |
ATE92544T1 (de) * | 1985-12-24 | 1993-08-15 | Gould Inc | Verfahren und vorrichtung zur elektroplattierung eines kupferblattes. |
US5181770A (en) * | 1989-04-19 | 1993-01-26 | Olin Corporation | Surface topography optimization through control of chloride concentration in electroformed copper foil |
US4976826A (en) * | 1990-02-16 | 1990-12-11 | Furukawa Circuit Foil Co., Ltd. | Method of making electrodeposited copper foil |
US5431803A (en) * | 1990-05-30 | 1995-07-11 | Gould Electronics Inc. | Electrodeposited copper foil and process for making same |
US5326455A (en) * | 1990-12-19 | 1994-07-05 | Nikko Gould Foil Co., Ltd. | Method of producing electrolytic copper foil and apparatus for producing same |
JP3124848B2 (ja) * | 1992-11-11 | 2001-01-15 | ペルメレック電極株式会社 | 金属箔の電解による製造方法 |
US5360525A (en) * | 1993-03-16 | 1994-11-01 | United Foils Inc. | Apparatus for making metal foil |
JP2754157B2 (ja) * | 1994-03-31 | 1998-05-20 | 三井金属鉱業株式会社 | プリント配線板用電解銅箔の製造方法 |
-
1996
- 1996-12-27 JP JP8349269A patent/JPH10195689A/ja active Pending
-
1997
- 1997-12-23 GB GB9727198A patent/GB2320724A/en not_active Withdrawn
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3262558B2 (ja) * | 1998-09-14 | 2002-03-04 | 三井金属鉱業株式会社 | 多孔質銅箔およびその用途ならびにその製造方法 |
KR100356404B1 (en) * | 2000-03-04 | 2002-10-19 | Nmctek Co Ltd | Method and apparatus for eliminating specified hazardous substance in water using electric field |
WO2004051768A1 (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-17 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | 非水電解液二次電池用負極及びその製造方法並びに非水電解液二次電池 |
US7811709B2 (en) | 2002-11-29 | 2010-10-12 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Negative electrode for nonaqueous secondary battery, process of producing the negative electrode, and nonaqueous secondary battery |
JP2006202635A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Furukawa Circuit Foil Kk | リチウム2次電池電極用銅箔およびその銅箔の製造方法、その銅箔を用いたリチウム2次電池用電極およびリチウム2次電池 |
US8497026B2 (en) | 2009-12-04 | 2013-07-30 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Porous metal foil and production method therefor |
WO2011067957A1 (ja) | 2009-12-04 | 2011-06-09 | 三井金属鉱業株式会社 | 多孔質金属箔およびその製造方法 |
US9512527B2 (en) | 2011-01-13 | 2016-12-06 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Reinforced porous metal foil and process for production thereof |
US8980438B2 (en) | 2011-04-08 | 2015-03-17 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Porous metal foil and production method therefor |
US9595719B2 (en) | 2011-04-08 | 2017-03-14 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Composite metal foil and production method therefor |
JP2016526514A (ja) * | 2013-06-18 | 2016-09-05 | エル エス エムトロン リミテッドLS Mtron Ltd. | 薄膜フィルムの巻取り装置及びそれを用いた巻取り方法 |
JP2018166059A (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | Tdk株式会社 | リチウム二次電池用集電体及びリチウム二次電池 |
CN114175300A (zh) * | 2019-05-27 | 2022-03-11 | 阿迪奥尼克斯以色列有限公司 | 用于电池电极的电化学产生的三维结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB9727198D0 (en) | 1998-02-25 |
GB2320724A (en) | 1998-07-01 |
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