JPH10189321A - Amorphous metallic thin film laminated composite sheet - Google Patents
Amorphous metallic thin film laminated composite sheetInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、アモルファス金属
薄膜積層複合シートに関するものである。更に詳しく述
べるならば、本発明は、互に平行に配置された複数枚の
アモルファス金属薄膜リボンから形成された複数層のア
モルファス金属薄膜を積層一体化して得られた積層体と
可撓性樹脂被覆層とを含み、前記可撓性樹脂被覆層の少
なくとも1層が、導電性又は半導電性を有するアモルフ
ァス金属薄膜積層複合シートに関するものである。この
積層複合シートは電磁波に対してすぐれたシールド効果
を有する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an amorphous metal thin film laminated composite sheet. More specifically, the present invention relates to a laminate obtained by laminating and integrating a plurality of amorphous metal thin films formed from a plurality of amorphous metal thin film ribbons arranged in parallel with each other, and a flexible resin coating. And at least one layer of the flexible resin coating layer has conductivity or semi-conductivity. This laminated composite sheet has an excellent shielding effect against electromagnetic waves.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年エレクトロニクス機器の発達および
普及に伴い、これらの機器および、磁気記録体などを、
静電気、および電磁波の悪影響から保護することが必要
になり、この保護材料として、シート材料、例えば、被
覆用シート材料および包装用シート材料の需要が大きく
なってきている。2. Description of the Related Art With the development and spread of electronic devices in recent years, these devices and magnetic recording media have been
It is necessary to protect against the adverse effects of static electricity and electromagnetic waves, and the demand for sheet materials such as coating sheet materials and packaging sheet materials as protection materials is increasing.
【0003】従来エレクトロニクス機器を静電気の影響
から保護するために、カーボン粉末、カーボン繊維、金
属箔、又は金属粉末を含有する導電性材料を含む導電性
シートが用いられている。しかし、このような従来の導
電性シートは、エレクトロニクス機器を電磁波の影響か
ら保護する目的には十分に効果があるとは云えないもの
である。例えば、MRI(核磁気共鳴診断装置)などに
おいては、外部の電磁波によって強い障害を受けやす
く、このためMRIは厚さ2cmの鉄板でシールドされて
いる。このような厚いシールド材料を用いると、装置の
重量が極めて大きなものとなり、かつ、その製作や加工
に困難を生ずる。更に、上記鉄板シールドの最も重大な
欠点は、鉄板自身が磁気を帯び易いという点にある。Conventionally, in order to protect electronic devices from the effects of static electricity, a conductive sheet containing a conductive material containing carbon powder, carbon fiber, metal foil, or metal powder has been used. However, such a conventional conductive sheet cannot be said to be sufficiently effective for the purpose of protecting electronic devices from the influence of electromagnetic waves. For example, in an MRI (nuclear magnetic resonance diagnostic apparatus) or the like, a strong obstacle is easily received by an external electromagnetic wave. Therefore, the MRI is shielded by an iron plate having a thickness of 2 cm. When such a thick shielding material is used, the weight of the device becomes extremely large, and it is difficult to manufacture and process the device. Further, the most serious disadvantage of the iron plate shield is that the iron plate itself tends to be magnetized.
【0004】上記のような従来の電磁波シールド材料の
欠点を解消するためにアモルファス金属の利用が試みら
れた。アモルファス金属は、すぐれた電磁波に対するシ
ールド効果を有し、かつ負荷を除くと、直ちにもとの状
態に復帰し、磁気を帯びることがないという利点を有し
ている。[0004] In order to solve the above-mentioned drawbacks of the conventional electromagnetic wave shielding material, an attempt has been made to use an amorphous metal. Amorphous metal has an excellent shielding effect against electromagnetic waves, and has an advantage that when a load is removed, it immediately returns to its original state and does not take on magnetism.
【0005】しかしながら、アモルファス金属は、従来
の電磁波シールド材料(例えば鉄板)に対し、下記のよ
うな問題点を有している。 (イ)一般にアモルファス金属材料の厚さは、100μ
m以下(市販アモルファス金属薄膜の大部分は50μm
以下の厚さを有する)に限定され、これ以上の厚さを有
するアモルファス金属材料を得ることが困難である。[0005] However, amorphous metals have the following problems as compared with conventional electromagnetic wave shielding materials (for example, iron plates). (A) Generally, the thickness of the amorphous metal material is 100 μm.
m or less (most of the commercially available amorphous metal thin films are 50 μm
It is difficult to obtain an amorphous metal material having a thickness greater than the above.
【0006】(ロ)一般に、アモルファス金属材料は1
00mm以下の幅(最も一般には20mm以下)で供給され
ており、これ以上に広い幅を有するものを入手すること
が困難である。 (ハ)従って、広幅の、かつかなりの厚さ、例えば、1
00μmより大きな厚さを有するアモルファス金属材料
を得ることは困難である。 (ニ)アモルファス金属材料は引裂強度などの機械的強
度が低く折損しやすい。(B) Generally, the amorphous metal material is 1
It is supplied in a width of less than 00 mm (most commonly less than 20 mm), and it is difficult to obtain one with a width wider than this. (C) Therefore, a wide and considerable thickness, for example, 1
It is difficult to obtain an amorphous metal material having a thickness greater than 00 μm. (D) The amorphous metal material has low mechanical strength such as tear strength and is easily broken.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、アモルファ
ス金属薄膜リボンを用いて電磁波シールド性に優れ、機
械的強度が高く、耐久性のすぐれたアモルファス金属薄
膜積層複合シートを提供しようとするものである。An object of the present invention is to provide an amorphous metal thin film laminated composite sheet having excellent electromagnetic wave shielding properties, high mechanical strength and excellent durability using an amorphous metal thin film ribbon. is there.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明のアモルファス金
属薄膜積層複合シートは、互に平行に配置された複数の
アモルファス金属薄膜リボンを含んでなる複数のアモル
ファス金属薄膜を積層してなる少なくとも1個の積層体
と、この積層体に積層されており、かつ可撓性樹脂を主
成分として含む少なくとも1個の被覆層とを含み、前記
可撓性樹脂被覆層の少なくとも1層が導電性又は半導電
性を有することを特徴とするものである。According to the present invention, there is provided an amorphous metal thin film laminated composite sheet comprising at least one amorphous metal thin film comprising a plurality of amorphous metal thin film ribbons arranged in parallel with each other. And at least one coating layer laminated on the multilayer body and containing a flexible resin as a main component, wherein at least one of the flexible resin coating layers is conductive or semiconductive. It is characterized by having conductivity.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】最近アモルファス金属を、その特
性に基いて、種々の用途に使用することが試みられてい
る。一般にアモルファス金属薄膜は、幅:2.54〜1
0.16cmのリボン状材料として供給されており、その
幅の拡大に関しては近い将来、幅:20.32cmの小幅
シートが、供給されることが期待されている程度であ
る。また、供給されているアモルファス金属薄膜は、一
般に5〜50μmの厚さを有するもので、極く稀に10
0μm程度の厚さを有するものがあるに過ぎない。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Attempts have recently been made to use amorphous metals for various applications based on their properties. Generally, an amorphous metal thin film has a width of 2.54-1.
It is supplied as a 0.16 cm ribbon-shaped material, and it is expected that a narrow sheet having a width of 20.32 cm will be supplied in the near future with respect to the expansion of the width. The supplied amorphous metal thin film generally has a thickness of 5 to 50 μm, and very rarely has a thickness of 10 μm.
Some have only a thickness of about 0 μm.
【0010】従来は、上述のようなリボン状、又は小
(細)幅材料は、カードケース、或は小物用包装収納材
料としてのみ使用可能であって、これを100〜300
cmの広幅が要求される被覆シートなどに利用することは
殆んど不可能と考えられていた。Conventionally, the above-mentioned ribbon-shaped or small (small) width material can be used only as a card case or as a packaging and storage material for small articles.
It was thought that it was almost impossible to use it for a covering sheet requiring a wide width of cm.
【0011】本発明の積層複合シートにおいては、アモ
ルファス金属薄膜は、その供給幅のまゝ、または、必要
に応じ、これを所望の幅に接合して使用される。In the laminated composite sheet of the present invention, the amorphous metal thin film is used in the same supply width or, if necessary, by bonding it to a desired width.
【0012】上述のエレクトロニクス機器の保護効果と
は、電磁波シールド手段により電磁波エネルギーを吸収
したり、或は反射したりして、エレクトロニクス機器に
電磁波エネルギーの影響が及ばないようにする効果を云
う。この電磁波シールド手段による電磁波エネルギー減
衰の程度は単位デシベル(dB)で表わされ、電磁波シ
ールド材料としてはこの数値が大きい程減衰効果が大き
く、好ましいことになる。The above-mentioned protection effect of the electronic device means an effect of absorbing or reflecting the electromagnetic wave energy by the electromagnetic wave shielding means so that the electromagnetic wave energy does not affect the electronic device. The degree of attenuation of the electromagnetic wave energy by the electromagnetic wave shielding means is expressed in a unit of decibel (dB), and as the electromagnetic wave shielding material is larger, the attenuation effect is larger and more preferable.
【0013】本発明の積層複合シートにおいて、その電
磁波シールド効果は、それに含まれている金属薄膜のシ
ールド効果にほぼ依存し、一般に、30dB以上である
ことが好ましく、60dB以上であることが更に好まし
く、90dB以上であることがより一層好ましい。In the laminated composite sheet of the present invention, its electromagnetic wave shielding effect substantially depends on the shielding effect of the metal thin film contained therein, and is generally preferably at least 30 dB, more preferably at least 60 dB. , 90 dB or more.
【0014】本発明において有用なアモルファス金属薄
膜としては、一般には鉄を主成分とし、これにホウ素、
珪素、炭素、ニッケル、コバルト、および、モリブデン
などから選ばれた1種以上を添加して得られるアモルフ
ァス合金から選ばれることが好ましい。例えば、アライ
ド社の商品名METGLAS No.2605SC(F
e:81%、B:13.5%、Si:3.5%、C:2
%のアモルファス合金)、No.2605S−2(F
e:78%、B:13%、Si:9%のアモルファス合
金)、No.2605−Co(Fe:87部、B:14
部、Si:1部、Co:18部のアモルファス合金)、
No.2826−MB(Fe:40%、Ni:38%、
Mo:4%、B:18%のアモルファス合金)などを用
いることができる。The amorphous metal thin film useful in the present invention generally comprises iron as a main component,
It is preferable to select from an amorphous alloy obtained by adding at least one selected from silicon, carbon, nickel, cobalt, molybdenum, and the like. For example, Allied's trade name METGLAS No. 2605SC (F
e: 81%, B: 13.5%, Si: 3.5%, C: 2
% Amorphous alloy), No. 2605S-2 (F
e: 78%, B: 13%, Si: 9% amorphous alloy), No. 2605-Co (Fe: 87 parts, B: 14
Parts, Si: 1 part, Co: 18 parts of an amorphous alloy),
No. 2826-MB (Fe: 40%, Ni: 38%,
Mo: 4%, B: 18% amorphous alloy) or the like can be used.
【0015】また、上記の鉄を主成分とする合金系の外
に、コバルトを主成分とする合金系(例えばCo90Zr
10,Co78Si10B12,Co56Cr26C18,CO44Mo
36C 20,Co34Cr28Mo20C18)、ニッケルを主成分
とする合金系(例えばNi90Zr10,Ni78Si
10B12,Ni34Cr24Mo24C18およびその他の金属を
主成分とする合金系(例えばPd80Si20,Cu80Zr
20,Nb50Ni50,Ti50Cu50)等も利用できる。[0015] In addition to the above-mentioned alloys containing iron as a main component,
An alloy system containing cobalt as a main component (for example, Co90Zr
Ten, Co78SiTenB12, Co56Cr26C18, CO44Mo
36C 20, Co34Cr28Mo20C18), Nickel as main component
Alloy system (for example, Ni90ZrTen, Ni78Si
TenB12, Ni34Crtwenty fourMotwenty fourC18And other metals
Alloys (for example, Pd80Si20, Cu80Zr
20, Nb50Ni50, Ti50Cu50) Etc. can also be used.
【0016】また、アモルファス金属薄膜は、その電磁
波シールド性に実質的な影響のない範囲内で、有孔薄膜
であってもよい。The amorphous metal thin film may be a perforated thin film as long as it does not substantially affect the electromagnetic wave shielding property.
【0017】これらのアモルファス金属薄膜は、前述の
ようにリボン又は細幅シートの形状で供給されるので、
本発明の積層複合シートに、これらを使用するとき、複
数のリボン状、又は、細幅シート状のアモルファス金属
薄膜を互に平行に配列して、広幅薄膜とするか、また
は、必要によりそれらの対向する側縁部を導電性接着剤
又は半田により接合して、所望の幅を有する広幅薄膜と
する。複数のリボンから広幅薄膜を作成するとき、リボ
ンは、得られる積層体の長手軸方向に平行に伸びるよう
に配置されてもよいが、これに直角な方向に伸びるよう
に配置されていると更に好ましい。また、アモルファス
金属薄膜は、アモルファス金属の粉末を利用して形成し
てもよい。Since these amorphous metal thin films are supplied in the form of a ribbon or a narrow sheet as described above,
When these are used in the laminated composite sheet of the present invention, a plurality of ribbon-shaped or thin sheet-shaped amorphous metal thin films are arranged in parallel with each other to form a wide thin film or, if necessary, The opposite side edges are joined by a conductive adhesive or solder to form a wide thin film having a desired width. When forming a wide thin film from a plurality of ribbons, the ribbons may be arranged so as to extend parallel to the longitudinal axis direction of the obtained laminate, but if they are arranged so as to extend in a direction perpendicular to this, preferable. Further, the amorphous metal thin film may be formed by using amorphous metal powder.
【0018】アモルファス金属薄膜は電界に対するシー
ルド効果を有するが、特に磁界に対しすぐれたシールド
効果を有している。Although the amorphous metal thin film has a shielding effect against an electric field, it has a particularly excellent shielding effect against a magnetic field.
【0019】本発明の積層複合シートにおいてアモルフ
ァス金属薄膜は、アモルファス金属薄膜単独から形成さ
れたものであってもよいし、或は、アモルファス金属薄
膜からなる基体と、その少なくとも一面を被覆している
導電性金属メッキ層とからなるものであってもよい。メ
ッキ用導電性金属としては、例えば銅、ニッケル、コバ
ルト、鉄、アルミニウム、金、銀、錫、亜鉛およびこれ
らから選ばれた2種以上の合金などを用いることができ
る。このようにして、アモルファス金属薄膜からなる基
体の少なくとも一面上に導電性金属をメッキすると、得
られるアモルファス金属薄膜は前記磁界シールド性に、
メッキ層による電界シールド性が加算され、アモルファ
ス金属薄膜全体として、低周波から高周波までの広範囲
の電磁波に対して、すぐれたシールド効果を示すことが
できる。また、導電性金属メッキ層は、アモルファス金
属薄膜の半田接合性を向上させ、アモルファス金属薄膜
リボンから、広幅薄膜の形成を容易にする効果もある。In the laminated composite sheet of the present invention, the amorphous metal thin film may be formed solely from the amorphous metal thin film, or may cover at least one surface of a substrate made of the amorphous metal thin film. It may be composed of a conductive metal plating layer. As the conductive metal for plating, for example, copper, nickel, cobalt, iron, aluminum, gold, silver, tin, zinc, and two or more alloys selected from these can be used. In this way, when the conductive metal is plated on at least one surface of the substrate made of the amorphous metal thin film, the obtained amorphous metal thin film has the magnetic field shielding property,
The electric field shielding property of the plating layer is added, so that the entire amorphous metal thin film can exhibit an excellent shielding effect against a wide range of electromagnetic waves from low frequency to high frequency. Further, the conductive metal plating layer has an effect of improving the solder bonding property of the amorphous metal thin film and facilitating the formation of a wide thin film from the amorphous metal thin film ribbon.
【0020】また、アモルファス金属薄膜中に含まれる
導電性金属メッキ層は、0.1μm以上の厚さを有する
ことが好ましく、0.1〜5μm程度の厚さを有するこ
とがより好ましい。またアモルファス金属薄膜又はその
金属メッキ層表面に、防錆剤その他の薄い保護膜を形成
してもよい。The conductive metal plating layer contained in the amorphous metal thin film preferably has a thickness of 0.1 μm or more, and more preferably has a thickness of about 0.1 to 5 μm. Further, a rust preventive or other thin protective film may be formed on the surface of the amorphous metal thin film or the metal plating layer.
【0021】アモルファス金属薄膜は前述のようにそれ
ぞれ5〜50μmの厚さを有するものであるが、本発明
の積層複合シートに含まれるアモルファス金属薄膜積層
体は全体として50μm以上の厚さを有することが好ま
しく、100〜5,000μmの厚さを有することがよ
り好ましい。このために、本発明に用いられるアモルフ
ァス金属薄膜積層体においては好ましくは2〜200枚
のアモルファス金属薄膜が厚さ方向に積層一体化されて
いる。積層複合シートのシールド効果を強化し、安定化
させるためには、多数のアモルファス金属薄膜を積層す
ることが望ましい。すなわち、アモルファス金属薄膜を
広く大きな面積に接合して使用する場合、面積が大きく
なればなる程、シールド効果に不均一を生じ、効果が低
下し、或は不安定になるおそれがある。このような問題
点を解消し、安定したシールド効果を得るためには、多
数の薄膜を積層することが望ましい。The amorphous metal thin film has a thickness of 5 to 50 μm as described above, but the amorphous metal thin film laminate included in the laminated composite sheet of the present invention has a thickness of 50 μm or more as a whole. And more preferably a thickness of 100 to 5,000 μm. For this purpose, in the amorphous metal thin film laminate used in the present invention, preferably two to 200 amorphous metal thin films are laminated and integrated in the thickness direction. In order to enhance and stabilize the shielding effect of the laminated composite sheet, it is desirable to laminate a large number of amorphous metal thin films. That is, when an amorphous metal thin film is used by bonding it to a large area, the shielding effect becomes more nonuniform as the area becomes larger, and the effect may decrease or become unstable. In order to solve such a problem and obtain a stable shielding effect, it is desirable to stack a large number of thin films.
【0022】本発明に用いられるアモルファス金属薄膜
積層体は、少なくとも1個のメッキ層付きアモルファス
金属薄膜と、少なくとも1個のメッキ層を有しないアモ
ルファス金属薄膜とを含むものであってもよい。このよ
うにアモルファス金属薄膜の一部からメッキ層を省略す
ることにより製品コストを低下させながら、所要の電磁
波シールド性を得ることができる。The amorphous metal thin film laminate used in the present invention may include at least one amorphous metal thin film with a plating layer and an amorphous metal thin film having no at least one plating layer. As described above, by omitting the plating layer from a part of the amorphous metal thin film, required electromagnetic wave shielding properties can be obtained while lowering the product cost.
【0023】多数のアモルファス金属薄膜を積層し接着
する場合、接着剤又は粘着剤が、得られる積層体中に局
部的に厚さの異なる部分を形成することがないように、
接着剤又は粘着剤を積層体中にほゞ均一に分布させ、そ
れによって厚さ、風合の均一性を維持することが好まし
い。When a large number of amorphous metal thin films are laminated and adhered, an adhesive or a pressure-sensitive adhesive should be formed so as not to locally form portions having different thicknesses in the obtained laminate.
It is preferred that the adhesive or pressure-sensitive adhesive be distributed almost uniformly throughout the laminate, thereby maintaining uniformity in thickness and feel.
【0024】接着剤又は粘着剤は、積層された複数のア
モルファス金属薄膜を電気的に互に連結させるために、
導電性、又は半導電性であることが好ましく、更にそれ
が防錆性を有することができる。このような接着剤、又
は粘着剤の種類には格別の限定はなく使用目的に応じ
て、既存のものから任意に選択して使用することができ
る。例えば、使用環境に応じて耐寒性の高いもの、或は
耐熱性の高いものなどを選択して使用すればよい。The adhesive or pressure-sensitive adhesive is used to electrically connect a plurality of laminated amorphous metal thin films to each other.
It is preferably conductive or semi-conductive, and it can have rustproofing properties. There is no particular limitation on the type of the adhesive or the pressure-sensitive adhesive, and any one of existing adhesives or pressure-sensitive adhesives can be used according to the purpose of use. For example, a material having high cold resistance or a material having high heat resistance may be selected and used depending on the use environment.
【0025】積層体中における複数のアモルファス金属
薄膜は互に接着剤又は粘着剤により接着又は粘着されて
いる。この接着又は粘着において互に上下に隣接し、重
なり合うアモルファス金属薄膜の全面に接着剤又は粘着
剤が塗布固着される。The plurality of amorphous metal thin films in the laminate are adhered or adhered to each other by an adhesive or a pressure-sensitive adhesive. In this bonding or adhesion, an adhesive or a pressure-sensitive adhesive is applied and fixed to the entire surface of the amorphous metal thin film which is vertically adjacent to each other and overlaps.
【0026】本発明のアモルファス金属薄膜積層複合シ
ートは、複数のアモルファス金属薄膜を積層してなる少
なくとも1個の積層体と、この積層体に積層されてお
り、かつ可撓性樹脂を主成分として含む少なくとも1個
の被覆層とを含むものである。このような可撓性樹脂被
覆層は、複数のアモルファス金属薄膜積層体の間に形成
されていてもよく、また任意の間隔をおいて形成されて
いてもよく、或は積層体の少なくとも一つの最外表面上
に配置されていてもよい。The amorphous metal thin film laminated composite sheet of the present invention has at least one laminate formed by laminating a plurality of amorphous metal thin films, and is laminated on the laminate and contains a flexible resin as a main component. And at least one coating layer. Such a flexible resin coating layer may be formed between a plurality of amorphous metal thin film laminates, may be formed at an arbitrary interval, or at least one of the laminates It may be located on the outermost surface.
【0027】この可撓性樹脂被覆層の少なくとも1層は
導電性又は半導電性である。複数のアモルファス金属薄
膜積層体の間に導電性又は半導電性可撓性樹脂被覆層が
設けられると、複数のメッキされた又はメッキされてい
ないアモルファス金属薄膜積層体の全体が導電性となり
好ましい結果が得られる。特に、メッキしていないアモ
ルファス金属薄膜が用いられる場合、積層体間に導電性
又は半導電性可撓性樹脂被覆層を設けることにより、磁
界シールド性とともに電界シールド性も改善され、性能
の良好な積層複合シートが得られる。At least one of the flexible resin coating layers is conductive or semiconductive. When the conductive or semiconductive flexible resin coating layer is provided between the plurality of amorphous metal thin film laminates, the whole of the plurality of plated or unplated amorphous metal thin film laminates becomes conductive, which is a preferable result. Is obtained. In particular, when an unplated amorphous metal thin film is used, by providing a conductive or semiconductive flexible resin coating layer between the laminates, the electric field shielding property as well as the magnetic field shielding property is improved, and the performance is improved. A laminated composite sheet is obtained.
【0028】上記可撓性樹脂被覆層の少なくとも1層
が、可撓性樹脂からなるフィルム、又はシートを貼着す
ることにより形成されていてもよく、このようなフィル
ム又はシートは多孔質であってもよく、或は非多孔質で
あってもよい。At least one of the flexible resin coating layers may be formed by sticking a film or sheet made of a flexible resin, and such a film or sheet is porous. Or it may be non-porous.
【0029】可撓性樹脂被覆層は、本発明の積層複合シ
ートに、所望の柔軟性、圧縮弾性、および衝撃や押圧に
対する緩衝性、耐破断性などを与えることができる。す
なわち、積層複合シートに屈曲などの外力が作用したと
き、この可撓性樹脂被覆層が、変形することによってこ
の外力を吸収し、アモルファス金属薄膜の伸びおよび圧
縮を少なくし、これによってアモルファス金属薄膜の裂
断や折損を防止し、かつ永久変形(折れ目の形成)を防
止するという緩衝作用を発揮する。このような積層複合
シートは、核磁気共鳴診断装置(MRI)などの磁界シ
ールドシート、エレクトロニクス機器の被覆シート、包
装収納用シート、床シート、壁シート、或は建築用シー
ト等として有用なものである。The flexible resin coating layer can provide the laminated composite sheet of the present invention with desired flexibility, compressive elasticity, buffering properties against impact or pressure, resistance to rupture, and the like. That is, when an external force such as bending acts on the laminated composite sheet, the flexible resin coating layer absorbs the external force by deforming, thereby reducing the elongation and compression of the amorphous metal thin film. And has a cushioning effect of preventing permanent deformation (formation of a fold). Such a laminated composite sheet is useful as a magnetic field shielding sheet such as a nuclear magnetic resonance diagnostic apparatus (MRI), a covering sheet for electronic equipment, a sheet for packaging and storage, a floor sheet, a wall sheet, or a building sheet. is there.
【0030】本発明に用いられる可撓性樹脂としては、
天然ゴム、ネオプレンゴム、クロロプレンゴム、シリコ
ーンゴム、ハイパロンその他の合成ゴム、またはPVC
樹脂、エチレン−酢酸ビニルコポリマー(EVA)樹
脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹
脂、ポリエチレン(PE)樹脂、ポリプロピレン(P
P)樹脂、ポリエステル樹脂、フッ素含有樹脂その他の
合成樹脂を用いることができる。このような樹脂材料
は、また、良好な防水性を有し、得られる積層複合シー
トに所望の防水性並びに難燃性や機械的強度を与えるこ
とができる。可撓性樹脂被覆層は、0.05mm以上の、
より好ましくは0.05〜1.0mmの厚さを有すること
が好ましく、また導電性物質を含んでいることが好まし
い。The flexible resin used in the present invention includes:
Natural rubber, neoprene rubber, chloroprene rubber, silicone rubber, Hypalon or other synthetic rubber, or PVC
Resin, ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA) resin, acrylic resin, silicone resin, polyurethane resin, polyethylene (PE) resin, polypropylene (P
P) Resins, polyester resins, fluorine-containing resins and other synthetic resins can be used. Such a resin material also has good waterproofness, and can impart desired waterproofness, flame retardancy, and mechanical strength to the obtained laminated composite sheet. The flexible resin coating layer is 0.05 mm or more,
More preferably, it has a thickness of 0.05 to 1.0 mm, and preferably contains a conductive substance.
【0031】これらの可撓性樹脂被覆層は、上記の如き
ゴム又は樹脂のフィルム、溶液、ペースト又はストレー
トなどを用い、公知の方法、例えば、トッピング、カレ
ンダリング、コーティング、ディッピングなどの方法に
よって、アモルファス金属薄膜積層体の表面上に形成す
ることができる。これらのゴム又は樹脂中には、可塑
剤、安定剤、着色剤、紫外線吸収剤などや他の機能付与
剤、例えば防炎剤、難燃化剤などが含まれていてもよ
い。These flexible resin coating layers are formed by a known method such as topping, calendering, coating, dipping, etc. using the above-mentioned rubber or resin film, solution, paste or straight. It can be formed on the surface of the amorphous metal thin film laminate. These rubbers or resins may contain plasticizers, stabilizers, coloring agents, ultraviolet absorbers and the like, and other function-imparting agents such as flame retardants and flame retardants.
【0032】従来、金属箔の表面に対し、防錆、および
腐食防止の目的で1〜10μm程度の厚さの樹脂層を形
成することが知られているが、本発明の積層複合シート
においては、可撓性樹脂被覆層は一般に50μm以上の
厚さに形成され、この厚さは、好ましくは50〜500
0μmであり、更に好ましくは100〜3000μmで
あり、より一層好ましくは200〜2000μmであ
る。また、本発明に用いられる可撓性樹脂被覆層は、上
記の厚さを有していても使用上十分な可撓性を示すこと
ができる。Conventionally, it has been known to form a resin layer having a thickness of about 1 to 10 μm on the surface of a metal foil for the purpose of rust prevention and corrosion prevention. The flexible resin coating layer is generally formed to a thickness of 50 μm or more, and the thickness is preferably 50 to 500 μm.
0 μm, more preferably 100-3000 μm, even more preferably 200-2000 μm. Further, the flexible resin coating layer used in the present invention can exhibit sufficient flexibility in use even if it has the above-mentioned thickness.
【0033】本発明の積層複合シートにおいて、その最
外表面上に、可撓性樹脂被覆層の少なくとも1層が配置
されていることが好ましい。さらにこの最外可撓性樹脂
被覆層が、可撓・防水性重合体からなる基礎層と、この
基礎層の上に形成され、防汚・耐候性重合体からなる表
面層とを含んでなるものであることが好ましい。In the laminated composite sheet of the present invention, it is preferable that at least one flexible resin coating layer is disposed on the outermost surface. Further, the outermost flexible resin coating layer includes a base layer made of a flexible and waterproof polymer and a surface layer formed on the base layer and made of an antifouling and weather resistant polymer. Preferably, it is
【0034】本発明に用いられる防汚・耐候性重合体と
しては、弗素含有樹脂およびアクリル樹脂を用いること
ができる。すなわち防汚・耐候性重合体表面層は、基礎
層上に、弗素含有樹脂、又は、アクリル樹脂からなるフ
ィルムを貼着することによって形成される。As the antifouling and weather-resistant polymer used in the present invention, a fluorine-containing resin and an acrylic resin can be used. That is, the antifouling / weatherproof polymer surface layer is formed by sticking a film made of a fluorine-containing resin or an acrylic resin on the base layer.
【0035】一般に弗素含有樹脂は、難燃性かつ防汚・
耐候性であるが、通常のプラスチック接着剤になじまな
いためそのままでは、基礎層の表面に貼着することは困
難である。そこで、弗素含有樹脂フィルムの表面をプラ
イマー処理、コロナ放電又は低温プラズマ処理等を施し
て、これをできるだけ接着容易化活性化することによ
り、例えばポリ塩化ビニル、ポリエポキシ、ポリアクリ
ル、およびポリエステル樹脂などの接着剤との親和性を
増加せしめている。通常上記の処理によって、弗素含有
樹脂フィルムの表面部分について活性化が行われること
となる。このために、例えば100〜200V、40〜
100μF、短絡電流1〜2Aの条件でコロナ放電処理
が行われる。かかる放電処理により、弗素含有樹脂フィ
ルムに所望の接着能が与えられるが、本発明に用いられ
る弗素含有樹脂フィルムの表面処理はこれに限定される
ものではなく、他の表面処理等により同等以上の効果を
奏するものであればよい。Generally, fluorine-containing resins are flame-retardant and stain-proof.
Although it is weather resistant, it is difficult to adhere to the surface of the base layer as it is because it is not compatible with ordinary plastic adhesives. Therefore, the surface of the fluorine-containing resin film is subjected to a primer treatment, a corona discharge or a low-temperature plasma treatment, etc., and the adhesion is activated as much as possible. For example, polyvinyl chloride, polyepoxy, polyacryl, polyester resin, etc. Has increased affinity with the adhesive. Normally, the surface treatment of the fluorine-containing resin film is activated by the above treatment. For this purpose, for example, 100-200 V, 40-
Corona discharge treatment is performed under the conditions of 100 μF and a short circuit current of 1 to 2 A. Such a discharge treatment gives the fluorine-containing resin film a desired adhesive ability. However, the surface treatment of the fluorine-containing resin film used in the present invention is not limited to this, and is equal to or better than another surface treatment. Any effect can be used.
【0036】弗素含有樹脂フィルムを構成する樹脂とし
ては、エチレンの水素原子の1個以上が弗素原子と置換
されている単量体から合成される各種のポリフルオルエ
チレン、例えば、ポリテトラフルオルエチレン、又は一
部塩素を含む各種のポリフルオルクロルエチレン、例え
ばポリトリフルオルクロルエチレン等があるが、このほ
かポリ弗化ビニル、ポリ弗化ビニリデン、ポリジクロル
ジフルオルエチレン、その他も包含される。フィルムの
厚みは、一般に0.001mm〜0.5mm、好ましくは5
〜50μm程度であるが、耐候性・防汚性並びに耐久性
の目的を達成するものであれば、より厚く、又は、より
薄くすることができ特に限定はない。また、弗素含有樹
脂フィルムには、他の樹脂、例えばMMA等が混合又は
貼着複合される等混用されていても本発明の目的を達成
するものであれば差支えない。本発明に使用される弗素
含有樹脂フィルムの市販品としては、テドラーフィルム
(デュポン社の商標)、アフレックスフィルム(旭硝子
社の商標)、KFCフィルム(呉羽化学工業社の商標)
等がある。Examples of the resin constituting the fluorine-containing resin film include various polyfluoroethylenes synthesized from monomers in which one or more hydrogen atoms of ethylene are substituted with fluorine atoms, for example, polytetrafluoroethylene. And various polychloroethylenes partially containing chlorine, for example, polytrifluorochloroethylene, and the like, but also includes polyvinyl fluoride, polyvinylidene fluoride, polydichlorodifluoroethylene, and the like. The thickness of the film is generally 0.001 mm to 0.5 mm, preferably 5 mm.
Although it is about 50 μm, it can be made thicker or thinner as long as it achieves the purpose of weather resistance, stain resistance and durability, and there is no particular limitation. The fluorine-containing resin film may be mixed with another resin, for example, MMA or the like by mixing or adhering, as long as the object of the present invention is achieved. Commercially available fluorine-containing resin films used in the present invention include Tedlar film (trademark of DuPont), Aflex film (trademark of Asahi Glass Co., Ltd.), and KFC film (trademark of Kureha Chemical Industry Co., Ltd.)
Etc.
【0037】本発明において、表面が実質的に平滑なフ
ィルム状の弗素含有樹脂が、基礎層の上面に貼着される
のが好ましいが、弗素含有樹脂溶液、又はエマルジョン
等を塗布する方法もある。本発明に用いられる弗素含有
樹脂フィルムは、100kg/cm2 以上の引張り強度を有
することが好ましい。In the present invention, it is preferable that the fluorine-containing resin in the form of a film having a substantially smooth surface is adhered to the upper surface of the base layer, but there is also a method of applying a fluorine-containing resin solution or an emulsion. . The fluorine-containing resin film used in the present invention preferably has a tensile strength of 100 kg / cm 2 or more.
【0038】本発明において防汚・耐候性重合体表面層
は、ポリアクリル樹脂によって形成されてもよい。この
ために一般にはアクリル樹脂フィルムを用いるが、アク
リル樹脂の溶液又は、エマルジョンを、基礎層の上に塗
布し乾燥する方法を用いてもよい。In the present invention, the antifouling / weather-resistant polymer surface layer may be formed of a polyacryl resin. For this purpose, an acrylic resin film is generally used, but a method of applying a solution or emulsion of an acrylic resin on the base layer and drying may be used.
【0039】本発明に用いられるアクリル樹脂フィルム
は、100kg/cm2 以上の引張り強度を有することが好
ましく、1〜50g/m2 、好ましくは3〜30g/m
2 の重量、又は、3μm以上(通常は3〜50μm)
の、更に好ましくは4〜30μmの厚さを有するもので
あることが好ましい。The acrylic resin film used in the present invention preferably has a tensile strength of 100 kg / cm 2 or more, and 1 to 50 g / m 2 , preferably 3 to 30 g / m 2 .
Weight of 2 , or 3 μm or more (usually 3 to 50 μm)
More preferably, it has a thickness of 4 to 30 μm.
【0040】本発明に適用されるアクリル樹脂フィルム
は、Tダイ法又はインフレーション法、その他いずれの
方法で製造されたものでもよい。また、延伸フィルム、
未延伸フィルムのいずれでもよいが、フィルムの伸度は
100〜300%程度のものが好ましい。また、前述の
ように厚みは通常3〜50μm程度であるが、十分な耐
候性・防汚性を達成するならば多少厚く又は薄くしても
よい。フィルム素材は、ポリアルキルメタクリレート系
フィルム、例えばメチルメタクリレート、エチルメタク
リレート、プロピルメタクリレート、ブチルメタクリレ
ート等を主材料とするもの、又は、アクリレート、酢酸
ビニル、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、メ
タクリロニトリル等のホモモノマー又はコモノマーを成
分とするホモポリマー又はコポリマーをフィルム状に成
型したものがよい。かかるフィルムは基礎層の表面に接
着剤を用いて接着するか又はその他の方法により貼着さ
れる。The acrylic resin film applied to the present invention may be manufactured by a T-die method, an inflation method, or any other method. Also, stretched film,
Although any of unstretched films may be used, the elongation of the film is preferably about 100 to 300%. As described above, the thickness is usually about 3 to 50 μm, but may be slightly thicker or thinner if sufficient weather resistance and antifouling property are achieved. The film material is a polyalkyl methacrylate-based film, for example, a material mainly composed of methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, or the like, or a homomonomer such as acrylate, vinyl acetate, vinyl chloride, styrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, or the like. Alternatively, a homopolymer or copolymer containing a comonomer as a component is preferably formed into a film. Such a film is adhered to the surface of the base layer using an adhesive or attached by other methods.
【0041】本発明において、可撓・防水性重合体基礎
層上に形成される防汚・耐候性重合体表面層は、上述の
ような弗素含有樹脂およびアクリル樹脂の他に、ポリ弗
化ビニリデン樹脂層とアクリル樹脂層との積層体、又は
ポリ弗化ビニリデン樹脂層と、アクリル樹脂層と、ポリ
塩化ビニル樹脂層との積層体(KFCフィルム)からな
るものであってもよい。これら積層体においては、ポリ
弗化ビニリデン樹脂層の厚さは2〜3μm、アクリル樹
脂層の厚さは2〜4μmおよび、ポリ塩化ビニル樹脂層
の厚さは40〜45μmであることが好ましい。In the present invention, the antifouling / weatherproof polymer surface layer formed on the flexible / waterproof polymer base layer is made of polyvinylidene fluoride in addition to the above-mentioned fluorine-containing resin and acrylic resin. A laminate of a resin layer and an acrylic resin layer, or a laminate of a polyvinylidene fluoride resin layer, an acrylic resin layer, and a polyvinyl chloride resin layer (KFC film) may be used. In these laminates, the polyvinylidene fluoride resin layer preferably has a thickness of 2 to 3 μm, the acrylic resin layer has a thickness of 2 to 4 μm, and the polyvinyl chloride resin layer has a thickness of 40 to 45 μm.
【0042】一般にアモルファス金属薄膜の引裂き強さ
は殆んど0に等しい程低く、低い負荷で容易に裂断す
る。またこのようなアモルファス金属薄膜は引張り強さ
においても比較的弱く、かつ、強度のバラツキが大き
い。例えば厚さ25μmのアモルファス金属薄膜の引張
り強さをJIS−L−1096(1979).「一般織
物試験方法」の6.12、引張り強さ及び伸び率6.1
2.1(1)A法(ストリップ法)に準拠し、幅:3c
m、把み間隔:20cm、引張りスピード:200mm/分
での条件で測定すると、その引張り強さは、65〜12
5kg/3cm、平均100kg/3cm程度の比較的弱いもの
であり、また測定値にバラツキが大きい、また、アモル
ファス金属薄膜は、一般に幅の狭いリボン状で提供され
ているので、これらを平行に配列してシート状にする
と、たとえ、これらを、その対向している側縁部で、半
田により、或は接着剤で接合しても、このシートの横方
向の引張り強さは不十分であり、しかもそのバラツキが
大きいという問題がある。そこで、包装用、被覆用に使
用される場合、或は局部的に摩擦されたり、局部的に外
力が作用する用途に用いられる場合においても、本発明
の積層複合シートは、可撓性樹脂被覆層により補強され
ているため十分な実用性を有している。In general, the tear strength of an amorphous metal thin film is so low that it is almost equal to 0, and the amorphous metal thin film easily tears at a low load. Further, such an amorphous metal thin film has a relatively low tensile strength and a large variation in strength. For example, the tensile strength of an amorphous metal thin film having a thickness of 25 μm is measured according to JIS-L-1096 (1979). 6.12 "Tensile strength and elongation 6.1" of "General woven fabric test method"
2.1 (1) Width: 3c according to the A method (strip method)
m, gripping interval: 20 cm, tensile speed: 200 mm / min.
It is relatively weak at 5 kg / 3 cm, average of about 100 kg / 3 cm, and the measured values vary widely. Since amorphous metal thin films are generally provided in a narrow ribbon shape, they are arranged in parallel. When they are made into a sheet, even if they are joined by soldering or adhesive at their opposite side edges, the tensile strength in the lateral direction of this sheet is insufficient, Moreover, there is a problem that the variation is large. Therefore, the laminated composite sheet of the present invention can be applied to a flexible resin coating even when it is used for packaging or coating, or when it is used for an application where local friction is applied or an external force acts locally. It has sufficient practicality because it is reinforced by layers.
【0043】本発明の積層複合シートにおいて、可撓性
樹脂被覆層は、壁紙シートを構成する壁紙状シート層で
あってもよい。この場合、得られる積層複合シートは電
磁波シールド性壁紙として有用である。本発明の積層複
合シートにおいて、その最外表面の少なくとも1つが、
可撓性樹脂被覆層により被覆されていてもよい。In the laminated composite sheet of the present invention, the flexible resin coating layer may be a wallpaper-like sheet layer constituting a wallpaper sheet. In this case, the obtained laminated composite sheet is useful as an electromagnetic wave shielding wallpaper. In the laminated composite sheet of the present invention, at least one of its outermost surfaces has
It may be covered with a flexible resin coating layer.
【0044】[0044]
【実施例】以下に本発明のアモルファス金属薄膜積層複
合シートを実施例により更に説明する。実施例1 アモルファス合金(Fe:81%、B:13.5%、S
i:3.5%、C:2%、商標:METGLAS N
o.2605SC、アライド社製、幅7.62cm、厚さ
25μm)のリボン状体の全表面に、厚さ1μmの銅メ
ッキを施した。このアモルファス金属薄膜リボンを13
枚並列し、それぞれの側縁部を半田接合して幅約95cm
の広幅薄膜を作成した。このようにして作成した3枚の
メッキ層付きアモルファス金属薄膜を積層し、対向する
薄膜の一つの全面に導電性を有するドータイトFE−1
02(藤倉化成社製、Ag−Cu含有、電磁波シールド
用アクリル系樹脂接着剤、体積抵抗:10-4Ω−cm)を
塗布し、これらを接着するとともに可撓性樹脂被覆層を
形成した。EXAMPLES The amorphous metal thin film laminated composite sheet of the present invention will be further described below with reference to examples. Example 1 Amorphous alloy (81% Fe, 13.5% B, S
i: 3.5%, C: 2%, trademark: METGLAS N
o. 1605 μm thick copper plating was applied to the entire surface of a 2605SC, Allied, 7.62 cm wide, 25 μm thick ribbon. This amorphous metal thin film ribbon is
Approximately 95cm in width with each side edge soldered together
Was prepared. The thus formed three sheets of the amorphous metal thin film with a plating layer are laminated, and the entire surface of one of the opposed thin films has a conductive DOTITE FE-1.
02 (manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd., containing Ag-Cu, acrylic resin adhesive for electromagnetic wave shielding, volume resistance: 10 -4 Ω-cm), and these were adhered and a flexible resin coating layer was formed.
【0045】上記のアモルファス金属薄膜積層体の一面
の全面上に、KFCフィルム(商標;呉羽化学工業
(株))をそのポリ塩化ビニル層がアモルファス金属薄
膜積層体上に接着するように貼着した。他の一面上に、
PVCフィルムを貼着した。得られた積層複合シート
は、50dBの電磁波シールド性を示し屋外用電磁波シ
ールド性シートハウスの膜体として好適なものであっ
た。A KFC film (trademark; Kureha Chemical Industry Co., Ltd.) was attached on the entire surface of the above-mentioned amorphous metal thin film laminate so that the polyvinyl chloride layer was adhered to the amorphous metal thin film laminate. . On the other side,
A PVC film was stuck. The obtained laminated composite sheet showed an electromagnetic wave shielding property of 50 dB, and was suitable as a film body of an outdoor electromagnetic wave shielding sheet house.
【0046】[0046]
【発明の効果】本発明の積層複合シートは、互に平行に
配置された複数のアモルファス金属薄膜を積層してなる
アモルファス金属薄膜積層体を含むものであるが、実用
上十分な柔軟性、屈曲性、強度、衝撃緩衝性、防汚性、
耐候性および好ましい作業性を有し、更に、すぐれた電
磁波シールド性を有し、電磁波シールド性の被覆、又
は、包装シート、敷物、或は壁紙シートなどとして有用
なものである。また、本発明の積層複合シートは上記用
途における中間体製品又は完成製品のいづれに組み合わ
せて使用することもできる。The laminated composite sheet of the present invention includes an amorphous metal thin film laminate obtained by laminating a plurality of amorphous metal thin films arranged in parallel with each other. Strength, shock buffering, antifouling,
It has weather resistance and favorable workability, has excellent electromagnetic wave shielding properties, and is useful as an electromagnetic wave shielding coating or as a packaging sheet, rug, or wallpaper sheet. Further, the laminated composite sheet of the present invention can be used in combination with any of intermediate products or finished products in the above-mentioned applications.
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H05B 6/76 H05B 6/76 Z Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI H05B 6/76 H05B 6/76 Z
Claims (15)
ス金属薄膜リボンを含んでなる複数のアモルファス金属
薄膜を積層してなる少なくとも1個の積層体と、この積
層体に積層されており、かつ可撓性樹脂を主成分として
含む少なくとも1個の被覆層とを含み、前記可撓性樹脂
被覆層の少なくとも1層が導電性又は半導電性であるこ
とを特徴とするアモルファス金属薄膜積層複合シート。At least one laminated body formed by laminating a plurality of amorphous metal thin films including a plurality of amorphous metal thin film ribbons arranged in parallel with each other, and laminated on the laminated body, and An amorphous metal thin film laminated composite sheet comprising at least one coating layer containing a flexible resin as a main component, wherein at least one of the flexible resin coating layers is conductive or semiconductive. .
モルファス金属薄膜積層体の間に形成されている、請求
項1に記載の積層複合シート。2. The laminated composite sheet according to claim 1, wherein the flexible resin coating layer is formed between a plurality of the amorphous metal thin film laminates.
ス金属薄膜積層体の少なくとも1つの最外表面上に配置
されている、請求項1に記載の積層複合シート。3. The laminated composite sheet according to claim 1, wherein the flexible resin coating layer is disposed on at least one outermost surface of the amorphous metal thin film laminate.
の厚さを有する、請求項1に記載の積層複合シート。4. The laminated composite sheet according to claim 1, wherein the flexible resin coating layer has a thickness of 50 μm or more.
薄膜が互に接着剤又は粘着剤により接着一体化されてい
る、請求項1に記載の積層複合シート。5. The laminated composite sheet according to claim 1, wherein the plurality of laminated amorphous metal thin films are bonded and integrated with each other by an adhesive or a pressure-sensitive adhesive.
導電性を有する、請求項5に記載の積層複合シート。6. The laminated composite sheet according to claim 5, wherein the adhesive or the pressure-sensitive adhesive has conductivity or semi-conductivity.
少なくとも1個のアモルファス金属薄膜が、このアモル
ファス金属薄膜と、その少なくとも一面上に形成され、
かつ少なくとも1種の導電性金属からなるメッキ層とを
含むものである、請求項1に記載の積層複合シート。7. The semiconductor device according to claim 7, wherein
At least one amorphous metal thin film is formed on the amorphous metal thin film and at least one surface thereof;
The laminated composite sheet according to claim 1, further comprising a plating layer made of at least one kind of conductive metal.
なくとも1個のメッキ層付きアモルファス金属薄膜と、
少なくとも1個のメッキ層を有しないアモルファス金属
薄膜とを含む、請求項1に記載の積層複合シート。8. The amorphous metal thin film laminate, comprising: at least one amorphous metal thin film with a plating layer;
The laminated composite sheet according to claim 1, comprising: an amorphous metal thin film having no at least one plating layer.
ル、コバルト、鉄、アルミニウム、金、銀、錫、亜鉛お
よび上記金属から選ばれた少なくとも1種を含む合金か
ら選ばれた少なくとも1種を含んでなる、請求項7又は
8に記載の積層複合シート。9. The conductive metal plating layer is at least one selected from copper, nickel, cobalt, iron, aluminum, gold, silver, tin, zinc, and an alloy containing at least one selected from the above metals. The laminated composite sheet according to claim 7, comprising:
その長手側縁部において、互に導電性接着剤又は半田に
より接合され、所望の幅を有する1体の薄膜に形成され
ている、請求項1に記載の積層複合シート。10. The amorphous metal thin film ribbon,
The laminated composite sheet according to claim 1, wherein the longitudinal side edges are joined to each other by a conductive adhesive or solder to form a single thin film having a desired width.
その長手側縁部において、互に接着剤又は粘着剤により
接合され、所望の幅を有する一体の薄膜に形成されてい
る、請求項1に記載の積層複合シート。11. The amorphous metal thin film ribbon,
2. The laminated composite sheet according to claim 1, wherein the longitudinal side edges are joined to each other by an adhesive or a pressure-sensitive adhesive to form an integral thin film having a desired width.
Co,Ni,Pd,Cu,NbおよびTiから選ばれた
少なくとも1員からなる主成分と、B,Si,C,C
o,Ni,Cr,Zr,Nb,Cu,Ti,およびMo
から選ばれた少なくとも1員からなり、但し、前記主成
分に含まれる金属を含まない添加成分とを含んでなる、
請求項1に記載の積層複合シート。12. The method according to claim 12, wherein the amorphous metal thin film is Fe,
A main component consisting of at least one member selected from the group consisting of Co, Ni, Pd, Cu, Nb and Ti, and B, Si, C, C
o, Ni, Cr, Zr, Nb, Cu, Ti, and Mo
Consisting of at least one member selected from the group consisting of:
The laminated composite sheet according to claim 1.
々が、5〜100μmの厚さを有する、請求項1に記載
の積層複合シート。13. The laminated composite sheet according to claim 1, wherein each of the amorphous metal thin film ribbons has a thickness of 5 to 100 μm.
0〜5,000μmの合計厚さを有する、請求項1に記
載の積層複合シート。14. The method according to claim 14, wherein the amorphous metal thin film laminate
The laminated composite sheet according to claim 1, having a total thickness of 0 to 5,000 m.
m以上の厚さを有する、請求項7〜9のいずれか1項に
記載の積層複合シート。15. The conductive metal plating layer has a thickness of 0.1 μm.
The laminated composite sheet according to any one of claims 7 to 9, having a thickness of at least m.
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- 1997-11-28 JP JP9328535A patent/JP2845864B2/en not_active Expired - Fee Related
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