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JPH10177718A - Magnetic disk, magnetic disk device and formation of substrate for magnetic disk - Google Patents

Magnetic disk, magnetic disk device and formation of substrate for magnetic disk

Info

Publication number
JPH10177718A
JPH10177718A JP33592196A JP33592196A JPH10177718A JP H10177718 A JPH10177718 A JP H10177718A JP 33592196 A JP33592196 A JP 33592196A JP 33592196 A JP33592196 A JP 33592196A JP H10177718 A JPH10177718 A JP H10177718A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic disk
head slider
flying height
magnetic
height reference
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33592196A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Osami Morita
修身 森田
Hiroko Kamoshita
裕子 鴨下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP33592196A priority Critical patent/JPH10177718A/en
Publication of JPH10177718A publication Critical patent/JPH10177718A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify manufacturing processes and to reduce the cost by forming an area to be in contact with a head slider into a pattern of projecting put arrays and also making a floating amt. reference plane of this contact area higher than that of an information area. SOLUTION: The substrate for the magnetic disk 3 can be produced by injection molding using a stamper applied to an optical disk, etc., and in the case of a flat type magnetic disk, a CSS zone 3a can be formed with the pit arrays at the same time that the shape of the substrate for the magnetic disk is formed. Then, in the case of a discrete type magnetic disk, a CSS zone 3a can be formed with the pit arrays at the same time that the shape of the substrate of the magnetic disk is formed, while projecting and recessed parts of a data zone 3b can also be formed. Consequently, the magnetic disk 3 having the CSS zone 3a can be produced in the same number of processes as a magnetic disk without a CSS zone 3a.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、磁気記録方式に
よって情報を記録再生する磁気ディスク及びその磁気デ
ィスクを用いた磁気ディスク装置及びその磁気ディスク
の磁気ディスク用基板の成形方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk for recording and reproducing information by a magnetic recording method, a magnetic disk device using the magnetic disk, and a method of forming a magnetic disk substrate of the magnetic disk.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスクの高密度化は年々スピード
を増しており、近年においては60%/年の増加率で進
められている。この高密度化は、磁気ヘッドとしてMR
ヘッドを採用したり、磁気ディスクの磁性媒体材料を改
良することによって可能であるが、その他に、磁気ディ
スクと磁気ヘッドとの距離(スペイシング)を小さくす
ること、例えば50nmを切るような値とすることによ
っても可能である。このようなスペイシングを達成する
ためには、磁気ディスクの表面をそのスペイシング以下
の表面粗さ、例えば鏡面にする必要がある。ところが、
通常の磁気ディスク装置では、そのスタート時とストッ
プ時に磁気ディスクと磁気ヘッドが搭載されているヘッ
ドスライダとが接触状態にある、いわゆるCSS(コン
タクトスタートストップ)を採用しているため、磁気デ
ィスクの表面を鏡面にすると磁気ディスクとヘッドスラ
イダの真接触面積が増大し、スティクションを起こして
しまう。
2. Description of the Related Art The density of magnetic disks has been increasing year by year, and has recently been increasing at a rate of 60% / year. This increase in density is due to the MR head
This is possible by adopting a head or improving the material of the magnetic medium of the magnetic disk. In addition, the distance (spacing) between the magnetic disk and the magnetic head is reduced, for example, a value smaller than 50 nm. This is also possible. In order to achieve such spacing, the surface of the magnetic disk must have a surface roughness less than the spacing, for example, a mirror surface. However,
A normal magnetic disk device employs a so-called CSS (contact start / stop) in which the magnetic disk and the head slider on which the magnetic head is mounted are in contact with each other at the time of start and stop. When a mirror surface is used, the true contact area between the magnetic disk and the head slider increases, causing stiction.

【0003】この磁気ディスクの鏡面化とCSSとを両
立させるため、近年の磁気ディスク装置では磁気ディス
クに情報記録領域(データゾーン)の他に磁気ディスク
と磁気ヘッドが搭載されているヘッドスライダとが接触
する接触領域(CSSゾーン)を設けている。即ち、デ
ータの読み書きを行うデータゾーンは鏡面化し、ヘッド
スライダが接触するCSSゾーンはスティクションが起
こらない程度に粗面化(テクスチャ)することにより、
磁気ディスクの鏡面化とCSSとを両立させている。こ
のテクスチャ方法としては、CSSゾーンにおける磁気
ディスク用基板表面を研磨テープで研磨する研磨法を用
いるのが一般的である。
In order to achieve both the mirror finishing of the magnetic disk and CSS, a recent magnetic disk device has a magnetic disk and a head slider on which a magnetic head is mounted in addition to an information recording area (data zone). A contact area (CSS zone) for contact is provided. That is, the data zone in which data is read / written is mirror-finished, and the CSS zone in contact with the head slider is roughened (textured) so that stiction does not occur.
The mirroring of the magnetic disk and CSS are compatible. As a texturing method, a polishing method of polishing the surface of the magnetic disk substrate in the CSS zone with a polishing tape is generally used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、この方法を
用いると、データゾーンの平均高さ面(浮上量基準面)
よりCSSゾーンの平均高さ面(浮上量基準面)が低く
なる。従って、CSSゾーンでは浮上しているヘッドス
ライダが、CSSゾーンからデータゾーンに移動する際
に傾いたり、極端な場合にはクラッシュすることがある
という欠点がある。この欠点を解決するために、CSS
ゾーンにおける磁気ディスク用基板表面をデータゾーン
における磁気ディスク用基板表面よりも予め高くしてお
き、研磨後にCSSゾーンの平均高さ面(浮上量基準
面)とデータゾーンの平均高さ面(浮上量基準面)を揃
える方法が提案されている。
However, when this method is used, the average height plane (flying height reference plane) of the data zone is used.
The average height plane (flying height reference plane) of the CSS zone is lower. Therefore, there is a disadvantage that the head slider flying in the CSS zone may be inclined when moving from the CSS zone to the data zone, or may crash in an extreme case. To solve this drawback, CSS
The surface of the magnetic disk substrate in the zone is made higher in advance than the surface of the magnetic disk substrate in the data zone, and after polishing, the average height surface of the CSS zone (flying height reference surface) and the average height surface of the data zone (flying height) A method of aligning the reference plane has been proposed.

【0005】ところが、この方法では、CSSゾーンを
形成する際に、CSSゾーン以外の部分をレジスト等で
一旦覆い、スパッタ等によりCSSゾーンのみに膜を付
着させ、その後にレジスト等を剥離しなければならない
ので、工程が繁雑になり、量産には不適である。そこ
で、磁気ディスク用基板をアルミニウムで形成し、CS
Sゾーンにおける磁気ディスク用基板表面にレーザ光を
照射してクレータ状の凸部を形成する方法が提案されて
いる(”Laser Texturing for l
ow−fly−height media”,R.Ra
njan,J.Appl.Phys.69(8),15
April 1991参照)。この方法では、凸部の
密度を調節することにより、CSSゾーンの平均高さ面
(浮上量基準面)とデータゾーンの平均高さ面(浮上量
基準面)との差を調節できるので、CSSゾーンからデ
ータゾーンへのヘッドスライダの移動も何ら障害なく行
うことが可能となる。
However, in this method, when a CSS zone is formed, a portion other than the CSS zone is once covered with a resist or the like, a film is adhered only to the CSS zone by sputtering or the like, and then the resist or the like is removed. This makes the process complicated and unsuitable for mass production. Therefore, the magnetic disk substrate is formed of aluminum and CS
A method has been proposed in which a crater-shaped convex portion is formed by irradiating the surface of a magnetic disk substrate in the S zone with a laser beam ("Laser Texturing for All").
ow-fly-height media ", R. Ra
njan, J .; Appl. Phys. 69 (8), 15
April 1991). In this method, the difference between the average height plane (flying height reference plane) of the CSS zone and the average height plane (flying height reference plane) of the data zone can be adjusted by adjusting the density of the protrusions. The movement of the head slider from the zone to the data zone can be performed without any obstacle.

【0006】ところが、磁気ディスクのCSSゾーンに
凸部を形成する場合、レーザ光を透過させない金属等の
不透明な磁気ディスク用基板から成る磁気ディスクに適
用することはできるが、レーザ光が透過するようなガラ
スや樹脂等の透明な磁気ディスク用基板から成る磁気デ
ィスクに適用するときは、以下の3方式のいずれかを採
る必要がある。第1の方式は、レーザ光の強度を大きく
する方式である。磁気ディスク用基板の光透過率が大き
いので、レーザ発振器のレーザ光の強度を大きくして、
磁気ディスク用基板に対するレーザ光の吸収率を向上さ
せ、凸部形成に十分なエネルギを供給する方式である。
However, when a convex portion is formed in a CSS zone of a magnetic disk, it can be applied to a magnetic disk composed of an opaque magnetic disk substrate made of metal or the like which does not transmit laser light. When applied to a magnetic disk made of a transparent magnetic disk substrate made of a transparent glass, resin, or the like, it is necessary to adopt one of the following three methods. The first method is to increase the intensity of laser light. Since the light transmittance of the magnetic disk substrate is large, the intensity of the laser light of the laser oscillator is increased,
This is a method in which the absorptance of laser light to the magnetic disk substrate is improved and sufficient energy is supplied to form the projections.

【0007】第2の方式は、レーザ光の発振波長を可視
光の波長よりも短くする方式である。図12は樹脂材料
の光透過率の波長依存性を示す図であり、光ディスクに
使われることもあるAPO(Amorphous Po
ly Olefin)系樹脂、CD(コンパクトディス
ク)に使われているPC(Poly Carbonat
e)、ビデオディスクに使われているPMMA(Pol
y Metyl Meta Acrylate)の3種
類について調べた。可視光の波長領域(400nm〜7
00nm)や、それよりも長い波長領域では、どの樹脂
においても透過率は90%以上であるが、可視光の波長
領域よりも短い波長領域においては透過率は急激に低下
する。そのため、レーザ発振器のレーザ光の発振波長を
可視光の波長よりも短くして、磁気ディスク用基板に対
するレーザ光の吸収率を向上させ、凸部形成に十分なエ
ネルギを供給する方式である。第3の方式は、磁気ディ
スク用基板表面を不透明にする方式である。磁気ディス
ク用基板上にレーザ光を透過させない不透明な膜等を被
着させて、磁気ディスク用基板に対するレーザ光の吸収
率を向上させ、凸部形成に十分なエネルギを供給する方
式である。
A second method is to make the oscillation wavelength of laser light shorter than the wavelength of visible light. FIG. 12 is a diagram showing the wavelength dependence of the light transmittance of a resin material. APO (Amorphous Po) which is sometimes used for an optical disc is shown.
PC (Poly Carbonat) used for ly olefin (resin) resin and CD (compact disc)
e), PMMA (Pol
y Methyl Meta Acrylate). Visible light wavelength range (400 nm to 7
00 nm) or longer, the transmittance is 90% or more in any resin, but the transmittance sharply decreases in the wavelength region shorter than the visible light wavelength region. For this reason, the laser beam emitted from the laser oscillator has a shorter oscillation wavelength than the wavelength of visible light, thereby improving the absorptivity of the laser beam to the magnetic disk substrate, and supplying sufficient energy for forming the projections. A third method is to make the surface of the magnetic disk substrate opaque. In this method, an opaque film or the like that does not transmit laser light is applied on the magnetic disk substrate to improve the absorptance of the laser light with respect to the magnetic disk substrate, and to supply sufficient energy for forming the protrusions.

【0008】しかしながら、第1の方式では、高出力の
レーザ発振器が必要となるが、このレーザ発振器は一般
的に高価であるので、磁気ディスク作成装置自体も高価
なものになるという問題があった。第2の方式では、可
視光の波長よりも短い波長のレーザ発振器が必要となる
が、このレーザ発振器も一般的に高価であるので、同様
に磁気ディスク作成装置自体が高価なものになるという
問題があった。また、第3の方式では、レーザ発振器の
他に、磁気ディスク用基板に不透明な膜を被着させる装
置が必要となるので、磁気ディスク作成装置自体が高価
なものになり、また磁気ディスク用基板に不透明な膜を
被着させる工程が追加されるので、工程が複雑になり、
コスト高になるという問題があった。
However, the first method requires a high-output laser oscillator. However, since this laser oscillator is generally expensive, there has been a problem that the magnetic disk producing apparatus itself is also expensive. . In the second method, a laser oscillator having a wavelength shorter than the wavelength of visible light is required. However, since this laser oscillator is also generally expensive, there is a problem that the magnetic disk making device itself is also expensive. was there. In addition, the third method requires a device for depositing an opaque film on the magnetic disk substrate in addition to the laser oscillator, so that the magnetic disk producing device itself becomes expensive, and the magnetic disk substrate is expensive. The process is complicated because an additional step of applying an opaque film to the
There was a problem that the cost was high.

【0009】この発明は、上述した事情から成されたも
のであり、適切なヘッドスライダの接触領域を有し、か
つ簡単な工程で安価に作成できる磁気ディスク及びその
磁気ディスクを用いた磁気ディスク装置及びその磁気デ
ィスクの磁気ディスク用基板の成形方法を提供すること
を目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has a magnetic disk which has an appropriate head slider contact area and can be manufactured at a low cost by a simple process, and a magnetic disk drive using the magnetic disk. And a method for forming a magnetic disk substrate of the magnetic disk.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
あっては、表面上を浮上するヘッドスライダに搭載され
た磁気ヘッドにより情報が記録再生される磁気ディスク
にて、前記ヘッドスライダの接触する領域を凸形状のピ
ット列となるように、かつその接触領域の浮上量基準面
を情報記録領域の浮上量基準面より高くなるように、内
周部若しくは外周部の表面上に形成することにより達成
される。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetic disk on which information is recorded and reproduced by a magnetic head mounted on a head slider floating on the surface. Formed on the inner or outer peripheral surface so that the area to be formed is a convex pit row and the flying height reference plane of the contact area is higher than the flying height reference plane of the information recording area. Is achieved by

【0011】上記構成によれば、適切なヘッドスライダ
の接触領域を有しているので、ヘッドスライダが接触領
域から情報記録領域に移動する際の傾き等を防止するこ
とができる。
According to the above configuration, since the head slider has an appropriate contact area with the head slider, it is possible to prevent the head slider from tilting when moving from the contact area to the information recording area.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施形態は、この発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発
明の範囲は、以下の説明において、特にこの発明を限定
する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるもの
ではない。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiment described below is a preferred specific example of the present invention,
Although various technically preferable limits are given, the scope of the present invention is not limited to these embodiments unless otherwise specified in the following description.

【0013】図1は、この発明の磁気ディスク装置の第
1の実施形態であるハードディスク装置の構成例を示す
斜視図である。このハードディスク装置1は、アルミニ
ウム合金等により形成された筐体2の平面部の裏側にス
ピンドルモータ9が配設されていると共に、このスピン
ドルモータ9によって角速度一定で回転駆動される磁気
ディスク3が備えられている。さらに、この筐体2に
は、アーム4がピボット4aの周りに揺動可能に取り付
けられている。このアーム4の一端には、ボイスコイル
5が取り付けられ、またこのアーム4の他端には、ヘッ
ドスライダ6が取り付けられている。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk drive which is a first embodiment of the magnetic disk drive of the present invention. The hard disk drive 1 is provided with a spindle motor 9 disposed behind a plane portion of a housing 2 formed of an aluminum alloy or the like, and a magnetic disk 3 driven to rotate at a constant angular velocity by the spindle motor 9. Have been. Further, an arm 4 is swingably attached to the housing 2 around a pivot 4a. A voice coil 5 is attached to one end of the arm 4, and a head slider 6 is attached to the other end of the arm 4.

【0014】筐体2上には、ボイスコイル5を挟持する
ように、マグネット7a、7bが取り付けられている。
ボイスコイル5及びマグネット7a、7bにより、ボイ
スコイルモータ7が形成されている。ヘッドスライダ6
は、その下面の両側にエアベアリングサーフェイスとし
て作用するレールが形成されていると共に、これらのレ
ールの先端側にはテーパ部が形成されている。そして、
一方のレールの後端面には磁気ヘッド8が搭載されてい
る。
[0014] Magnets 7a and 7b are mounted on the housing 2 so as to hold the voice coil 5 therebetween.
A voice coil motor 7 is formed by the voice coil 5 and the magnets 7a and 7b. Head slider 6
Are formed on both sides of the lower surface thereof with rails acting as air bearing surfaces, and tapered portions are formed on the tip side of these rails. And
A magnetic head 8 is mounted on the rear end surface of one of the rails.

【0015】このような構成において、スピンドルモー
タ9が駆動されると、磁気ディスク3は角速度一定で回
転する。そして、磁気ディスク3の回転に伴ってヘッド
スライダ6のレールの先端側のテーパ部から空気が流入
すると、この空気はレールに沿って流れ込む。そして、
この空気がレールの後端側から流出すると、ヘッドスラ
イダ6は浮揚力を受けて磁気ディスク3の表面から微小
間隔(浮上量)をもって浮上走行することになる。即
ち、ヘッドスライダ6は、磁気ディスク3の表面との間
隙が走行方向に対して先端側から後端側に向かって小さ
くなっていくことによる圧力の増加により浮上すること
になる。
In such a configuration, when the spindle motor 9 is driven, the magnetic disk 3 rotates at a constant angular velocity. Then, when air flows in from the tapered portion on the tip end side of the rail of the head slider 6 with the rotation of the magnetic disk 3, the air flows along the rail. And
When this air flows out from the rear end side of the rail, the head slider 6 flies at a minute interval (floating amount) from the surface of the magnetic disk 3 due to the levitating force. That is, the head slider 6 flies due to an increase in pressure due to the gap between the head slider 6 and the surface of the magnetic disk 3 decreasing from the leading end toward the trailing end in the running direction.

【0016】そして、ボイスコイル5に外部から電流が
供給されると、アーム4は、マグネット7a、7bの磁
界と、このボイスコイル5に流れる電流とによって生ず
る力に基づいて、ピボット4aの周りを回動する。これ
により、アーム4の他端に取り付けられたヘッドスライ
ダ6は、磁気ディスク3の回転に伴って、その表面上で
浮上走行しながら磁気ディスク3の実質的に半径方向に
移動する。従って、このヘッドスライダ6に搭載された
磁気ヘッド8は、磁気ディスク3に対してシーク動作す
る。
When a current is externally supplied to the voice coil 5, the arm 4 moves around the pivot 4a based on the magnetic field of the magnets 7a and 7b and the force generated by the current flowing through the voice coil 5. Rotate. As a result, the head slider 6 attached to the other end of the arm 4 moves substantially in the radial direction of the magnetic disk 3 while flying above the surface of the magnetic disk 3 as the magnetic disk 3 rotates. Therefore, the magnetic head 8 mounted on the head slider 6 performs a seek operation on the magnetic disk 3.

【0017】図2は、この発明の磁気ディスクの実施形
態を示す斜視図である。この磁気ディスク3は、樹脂製
の磁気ディスク用基板が用いられており、内周側に円環
状にCSSゾーン3aが設けられ、CSSゾーン3aの
外周側にデータゾーン3bが設けられている。CSSゾ
ーン3aには、図3に示すような矩形状のピットが形成
されている。また、データゾーン3bは、ピットの底部
と同等の高さで平滑(フラット)に形成されているか、
あるいはピットの頂部と凸部の頂部が同等の高さの凹凸
(ディスクリート)が形成されている。尚、CSSゾー
ン3aは、磁気ディスク用基板の外周側に円環状に設け
ても良い。また、ピットの形状は、円柱状等任意に選択
することが可能である。
FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of the magnetic disk of the present invention. The magnetic disk 3 uses a magnetic disk substrate made of resin, and has a ring-shaped CSS zone 3a on the inner circumference side and a data zone 3b on the outer circumference side of the CSS zone 3a. Rectangular pits as shown in FIG. 3 are formed in the CSS zone 3a. Whether the data zone 3b is formed to be smooth (flat) at the same height as the bottom of the pit,
Alternatively, irregularities (discrete) having the same height at the top of the pit and the top of the projection are formed. The CSS zone 3a may be provided in an annular shape on the outer peripheral side of the magnetic disk substrate. The shape of the pit can be arbitrarily selected, such as a column shape.

【0018】このような磁気ディスク3の磁気ディスク
用基板は、光ディスク等で使用するスタンパを用いた射
出成形法により作成することができ、フラット型の磁気
ディスクの場合は磁気ディスク用基板の形状を成形する
際に、同時にCSSゾーン3aにピット列を形成するこ
とが可能である。また、ディスクリート型の磁気ディス
クの場合は磁気ディスク用基板の形状を成形する際に、
同時にCSSゾーン3aにピット列を形成することが可
能であると共に、データゾーン3bの凹凸を形成するこ
とが可能である。従って、CSSゾーン3aが無い磁気
ディスクと同じ工程数で、工程が複雑になったり、コス
トが高くなったりせずにCSSゾーン3aを有する磁気
ディスク3を作成することができる。また、1枚のスタ
ンパから多数の磁気ディスク用基板を作成することが可
能であるため、テクスチャのばらつきがほとんど無く、
1枚毎に行うテクスチャの検査や管理という工程を省略
することができる。
The magnetic disk substrate of the magnetic disk 3 can be formed by an injection molding method using a stamper used for an optical disk or the like. In the case of a flat magnetic disk, the shape of the magnetic disk substrate is changed. At the time of molding, it is possible to form a pit row in the CSS zone 3a at the same time. Also, in the case of a discrete type magnetic disk, when forming the shape of the magnetic disk substrate,
At the same time, it is possible to form a pit row in the CSS zone 3a and to form irregularities in the data zone 3b. Therefore, the magnetic disk 3 having the CSS zone 3a can be manufactured with the same number of processes as the magnetic disk without the CSS zone 3a without complicating the process or increasing the cost. Further, since a large number of magnetic disk substrates can be formed from one stamper, there is almost no variation in texture.
The step of inspecting and managing the texture performed for each sheet can be omitted.

【0019】ここで、従来のスタンパは全面にわたって
平滑であるが、この実施形態の磁気ディスク3を作成す
るためのスタンパは、ピット列が形成されるCSSゾー
ン3aに対応する位置に凹状の窪みが形成されている。
但し、この凹状の窪みを形成したからといって、凹状の
窪みを形成しない領域の表面を荒らすようなことはない
ので、このスタンパにより作成した磁気ディスク3のデ
ータゾーン3bにおいてスペイシングを小さくすること
を妨げるようなことはない。この凹状の窪みの深さを調
整したり、凹状の窪みの密度、例えば幅を変化させるこ
とにより、CSSゾーン3aに形成されるピット列の平
均高さ、即ち浮上量基準面を自由に調節することが可能
である。尚、この実施形態では、樹脂を射出成形して磁
気ディスク用基板としたが、例えばガラスや柔らかい金
属等を型押し成形して磁気ディスク用基板としても良
い。
Here, the conventional stamper is smooth over the entire surface, but the stamper for producing the magnetic disk 3 of this embodiment has a concave recess at a position corresponding to the CSS zone 3a where the pit row is formed. Is formed.
However, since the formation of the concave depression does not roughen the surface of the region where the concave depression is not formed, the spacing should be reduced in the data zone 3b of the magnetic disk 3 created by the stamper. There is nothing to hinder. The average height of the pit rows formed in the CSS zone 3a, that is, the flying height reference surface, can be freely adjusted by adjusting the depth of the concave depression or changing the density, for example, the width of the concave depression. It is possible. In this embodiment, the magnetic disk substrate is formed by injection-molding a resin. However, the magnetic disk substrate may be formed by, for example, stamping and molding glass or soft metal.

【0020】図4は、この発明の磁気ディスクの第2の
実施形態であるフラット型の磁気ディスク3のCSSゾ
ーン3aからデータゾーン3bにかけての詳細例を示す
断面側面図である。CSSゾーン3aのピットは、磁気
ディスク3の内周側から外周側に向かうにしたがって、
徐々に変化するように形成されている。即ち、CSSゾ
ーン3aに形成されたピットの凹部の深さと、データゾ
ーン3bの面の高さが同一であって、ピットの凸部の高
さは、CSSゾーン3aの所定半径位置までは一定で、
そこからデータゾーン3bに近づくにしたがって徐々に
低くなるように形成されている。この例では、CSSゾ
ーン3aに形成されたピットの凸部の最高値は、データ
ゾーン3bの面を0としたとき50nmである。また、
CSSゾーン3aに形成されたピットの凸部と凹部の幅
の比率は2:1である。従って、CSSゾーン3aに形
成されたピット列及びデータゾーン3bの面の平均高
さ、即ち浮上量基準面は、CSSゾーン3aの所定半径
位置までは44nmであったものが、そこからデータゾ
ーン3bに近づくにしたがって徐々に低くなり、データ
ゾーン3bで0となる。
FIG. 4 is a sectional side view showing a detailed example from the CSS zone 3a to the data zone 3b of the flat type magnetic disk 3 according to the second embodiment of the present invention. The pits in the CSS zone 3a move from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the magnetic disk 3,
It is formed to change gradually. That is, the depth of the concave portion of the pit formed in the CSS zone 3a is the same as the height of the surface of the data zone 3b, and the height of the convex portion of the pit is constant up to a predetermined radial position of the CSS zone 3a. ,
It is formed so as to gradually decrease as it approaches the data zone 3b from there. In this example, the maximum value of the convex portion of the pit formed in the CSS zone 3a is 50 nm when the surface of the data zone 3b is 0. Also,
The ratio of the width of the convex portion to the concave portion of the pit formed in the CSS zone 3a is 2: 1. Therefore, the average height of the pit row formed in the CSS zone 3a and the surface of the data zone 3b, that is, the flying height reference surface is 44 nm up to the predetermined radius position of the CSS zone 3a, but the data zone 3b , Gradually decreases, and becomes 0 in the data zone 3b.

【0021】このような構成としたのは、例えばピット
をCSSゾーン3aの全域で同一高さとなるように形成
した場合、ヘッドスライダ6の浮上量がCSSゾーン3
aとデータゾーン3bの境界で急激に変化し、データの
記録再生に悪影響を及ぼしたりヘッドスライダ6がピッ
トに衝突したりするので、これを防止するためである。
この例では、ヘッドスライダ6の浮上量は、CSSゾー
ン3aの所定半径位置までは94nmであったものが、
そこからデータゾーン3bに近づくにしたがって徐々に
低くなり、データゾーン3bで50nmとなるので、デ
ータの記録再生に悪影響を及ぼすことはなく、またヘッ
ドスライダ6がピットに衝突したりすることもない。
Such a structure is employed, for example, when the pits are formed so as to have the same height over the entire area of the CSS zone 3a, the flying height of the head slider 6 is limited to the CSS zone 3a.
This is to prevent abrupt changes at the boundary between the data zone 3a and the data zone 3b, which adversely affect the recording and reproduction of data and cause the head slider 6 to collide with pits.
In this example, the flying height of the head slider 6 was 94 nm up to a predetermined radius position of the CSS zone 3a.
From there, it gradually decreases as approaching the data zone 3b and becomes 50 nm in the data zone 3b, so that there is no adverse effect on data recording / reproduction, and the head slider 6 does not collide with the pit.

【0022】尚、上述した実施形態では、ピットの凸部
と凹部の幅の比率を一定とし、ピットの凸部の高さを変
化させてCSSゾーン3aの浮上量基準面をデータゾー
ン3bの浮上量基準面より高くなるようにしたが、これ
に限定されるものではなく、例えばピットの凸部の高さ
を一定とし、ピットの凸部と凹部の幅の比率を変化、例
えば凸部の幅を徐々に狭く、凹部の幅を徐々に広くして
CSSゾーン3aの浮上量基準面をデータゾーン3bの
浮上量基準面より高くなるようにしても良い。また、こ
れらを組み合わせてCSSゾーン3aの浮上量基準面を
データゾーン3bの浮上量基準面より高くなるようにし
ても良い。
In the above-described embodiment, the flying height reference surface of the CSS zone 3a is changed to the flying height of the data zone 3b by keeping the ratio of the width of the convex portion to the concave portion of the pit constant and changing the height of the convex portion of the pit. Although it was made to be higher than the quantity reference plane, the present invention is not limited to this.For example, the height of the convex portion of the pit is constant, and the ratio of the width of the convex portion to the concave portion of the pit is changed, for example, the width of the convex portion. May be gradually narrowed and the width of the concave portion is gradually widened so that the flying height reference surface of the CSS zone 3a is higher than the flying height reference surface of the data zone 3b. Also, by combining these, the flying height reference surface of the CSS zone 3a may be higher than the flying height reference surface of the data zone 3b.

【0023】図5は、この発明の磁気ディスクの第3の
実施形態であるディスクリート型の磁気ディスク3のC
SSゾーン3aからデータゾーン3bにかけての詳細例
を示す断面側面図である。CSSゾーン3aのピット
は、磁気ディスク3の内周側から外周側に向かうにした
がって、徐々に変化するように形成されている。即ち、
CSSゾーン3aに形成されたピットの凸部の高さと、
データゾーン3bに形成された凸部の高さが同一であっ
て、ピットの凹部の深さは、CSSゾーン3aの所定半
径位置までは一定で、そこからデータゾーン3bに近づ
くにしたがって徐々に深くなるように形成されている。
この例では、CSSゾーン3aに形成されたピットの凹
部の深さの最小値を0としたとき、データゾーン3bに
形成された凹部の深さの最大値は200nmである。ま
た、CSSゾーン3aに形成されたピットの凸部と凹部
の幅の比率及びデータゾーン3bに形成された凸部と凹
部の幅の比率は2:1である。従って、CSSゾーン3
aに形成されたピット列及びデータゾーン3bに形成さ
れた凹凸部の平均高さ、即ち浮上量基準面は、CSSゾ
ーン3aの所定半径位置までは44nmであったもの
が、そこからデータゾーン3bに近づくにしたがって徐
々に低くなり、データゾーン3bで30nmとなる。
FIG. 5 shows a third embodiment of a magnetic disk according to the present invention.
FIG. 4 is a sectional side view showing a detailed example from an SS zone 3a to a data zone 3b. The pits of the CSS zone 3a are formed so as to gradually change from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the magnetic disk 3. That is,
The height of the pits formed in the CSS zone 3a;
The height of the convex portion formed in the data zone 3b is the same, and the depth of the concave portion of the pit is constant up to a predetermined radial position of the CSS zone 3a, and gradually becomes deeper as approaching the data zone 3b therefrom. It is formed so that it becomes.
In this example, when the minimum value of the depth of the concave portion of the pit formed in the CSS zone 3a is 0, the maximum value of the depth of the concave portion formed in the data zone 3b is 200 nm. In addition, the ratio of the width of the convex portion to the concave portion of the pit formed in the CSS zone 3a and the ratio of the width of the convex portion to the concave portion of the data zone 3b are 2: 1. Therefore, CSS zone 3
The average height of the pit rows formed in the data zone 3a and the irregularities formed in the data zone 3b, that is, the flying height reference surface was 44 nm up to a predetermined radius position of the CSS zone 3a, but the data zone 3b , Gradually decreases, and reaches 30 nm in the data zone 3b.

【0024】このような構成としたのは、例えばピット
をCSSゾーン3aの全域で同一深さとなるように形成
した場合、ヘッドスライダ6の浮上量がCSSゾーン3
aとデータゾーン3bの境界で急激に変化し、データの
記録再生に悪影響を及ぼしたりヘッドスライダ6がピッ
トに衝突したりするので、これを防止するためである。
この例では、ヘッドスライダ6の浮上量は、CSSゾー
ン3aの所定半径位置までは94nmであったものが、
そこからデータゾーン3bに近づくにしたがって徐々に
低くなり、データゾーン3bで30nmとなるので、デ
ータの記録再生に悪影響を及ぼすことはなく、またヘッ
ドスライダ6がピットに衝突したりすることもない。
The reason why such a structure is adopted is that, for example, when the pits are formed so as to have the same depth over the entire area of the CSS zone 3a, the flying height of the head slider 6 is reduced.
This is to prevent abrupt changes at the boundary between the data zone 3a and the data zone 3b, which adversely affect the recording and reproduction of data and cause the head slider 6 to collide with pits.
In this example, the flying height of the head slider 6 was 94 nm up to a predetermined radius position of the CSS zone 3a.
From there, it gradually decreases as approaching the data zone 3b, and becomes 30 nm in the data zone 3b. Therefore, there is no adverse effect on data recording / reproduction, and the head slider 6 does not collide with the pit.

【0025】尚、上述した実施形態では、ピットの凸部
と凹部の幅の比率を一定とし、ピットの凹部の深さを変
化させてCSSゾーン3aの浮上量基準面をデータゾー
ン3bの浮上量基準面より高くなるようにしたが、これ
に限定されるものではなく、例えばピットの凹部の深さ
を一定とし、ピットの凸部と凹部の幅の比率を変化、例
えば凸部の幅を徐々に狭く、凹部の幅を徐々に広くして
CSSゾーン3aの浮上量基準面をデータゾーン3bの
浮上量基準面より高くなるようにしても良い。また、こ
れらの組み合わせてCSSゾーン3aの浮上量基準面を
データゾーン3bの浮上量基準面より高くなるようにし
ても良い。
In the above-described embodiment, the flying height reference surface of the CSS zone 3a is changed by changing the depth of the recessed portion of the pit while keeping the ratio of the width of the projected portion to the recessed portion of the pit constant. Although it was made to be higher than the reference plane, it is not limited to this.For example, the depth of the concave portion of the pit is kept constant, the ratio of the width of the convex portion to the concave portion of the pit is changed, for example, the width of the convex portion is gradually increased. And the width of the recess is gradually widened so that the flying height reference surface of the CSS zone 3a is higher than the flying height reference surface of the data zone 3b. In addition, the flying height reference surface of the CSS zone 3a may be higher than the flying height reference surface of the data zone 3b in combination with the above.

【0026】上述した磁気ディスク3の磁気ディスク用
基板を作成するためのスタンパの作成工程について図6
及び図7を参照して説明する。先ず、円板状のガラス原
盤20の表面にレジスト21をスピンコート法等により
塗布する。このガラス原盤20の表面は鏡面に仕上げら
れているので、塗布したレジスト21の表面もガラス原
盤20の表面性を反映して鏡面となる(図6(A))。
レジスト21を塗布した後、レジスト21の表面に磁気
ディスク3に形成するピットのパターンをレーザ発振器
22を用いて描画する。その際、レジスト21がポジ型
レジストであれば、レーザ光Lが照射された箇所が現像
した際に流れ落ちるので、ピットとなる箇所にはレーザ
光Lを照射せず、ピット以外の箇所にレーザ光Lを照射
するようにしてパターンを描画する(図6(B))。
FIG. 6 shows a stamper forming process for forming the magnetic disk substrate of the magnetic disk 3 described above.
This will be described with reference to FIG. First, a resist 21 is applied to the surface of a disk-shaped glass master 20 by spin coating or the like. Since the surface of the glass master 20 is mirror-finished, the surface of the applied resist 21 also has a mirror surface reflecting the surface properties of the glass master 20 (FIG. 6A).
After applying the resist 21, a pattern of pits to be formed on the magnetic disk 3 is drawn on the surface of the resist 21 by using a laser oscillator 22. At this time, if the resist 21 is a positive type resist, the portion irradiated with the laser beam L flows down upon development, so that the pit portion is not irradiated with the laser beam L, and the portion other than the pit is not irradiated with the laser beam L. A pattern is drawn by irradiating L (FIG. 6B).

【0027】ピットのパターンを描画した後、レジスト
21を現像する。これにより、レーザ光Lが照射されて
いない箇所のレジスト21が残る(図6(C))。レジ
スト21を現像した後、ガラス原盤20の表面にNi
(ニッケル)を無電解メッキする(図7(D))。さら
に、この無電解メッキ層23の表面にNiを電解メッキ
する(図7(E))。これにより、ガラス原盤20の表
面にNiが堆積して無電解メッキ層23及び電解メッキ
層24で成るスタンパの原形ができる。ここで、無電解
メッキと電解メッキを行う理由は以下の通りである。無
電解メッキは、堆積速度は遅いが、メッキ工程中にメッ
キ浴に泡が発生しないので、欠陥のないメッキ層を形成
することができる。一方、電解メッキは、堆積速度は速
いが、メッキ工程中にメッキ浴に泡が発生するため、泡
がメッキ層に巻き込まれ欠陥ができる可能性がある。そ
こで、先ず、スタンパとして使用する際の表面転写性を
良好なものとするために、工数が掛かっても欠陥の無い
無電解メッキ層23を形成しておき、次に、スタンパと
して使用する際の成形圧力に耐えうるような厚さとする
ために、欠陥が有っても工数の掛からない電解メッキ層
24を形成する。
After drawing the pit pattern, the resist 21 is developed. As a result, the resist 21 at a portion where the laser beam L has not been irradiated remains (FIG. 6C). After the resist 21 is developed, the surface of the glass master 20 is coated with Ni.
(Nickel) is electrolessly plated (FIG. 7D). Further, Ni is electrolytically plated on the surface of the electroless plating layer 23 (FIG. 7E). As a result, Ni is deposited on the surface of the glass master 20 to form a stamper composed of the electroless plating layer 23 and the electrolytic plating layer 24. Here, the reason for performing the electroless plating and the electrolytic plating is as follows. Electroless plating has a low deposition rate, but since no bubbles are generated in the plating bath during the plating step, a plating layer having no defects can be formed. On the other hand, in the electrolytic plating, although the deposition rate is high, bubbles are generated in the plating bath during the plating process, so that the bubbles may be involved in the plating layer and defects may occur. Therefore, first, in order to improve the surface transferability when used as a stamper, the electroless plating layer 23 having no defect even if the man-hour is taken is formed, and then the electroless plating layer 23 when used as a stamper is formed. In order to have a thickness that can withstand the molding pressure, the electrolytic plating layer 24 is formed without any man-hour even if there is a defect.

【0028】最後に、無電解メッキ層23及び電解メッ
キ層24をガラス原盤20から剥離してスタンパ25と
する(図7(F))。以上のスタンパの作成工程からも
分かるように、ガラス原盤20上のレジスト21の残留
箇所が、CSSゾーン3aのピット列の形成箇所とな
る。また、データゾーン3bは、ガラス原盤20の表面
性がレジスト21を介さず直接反映される箇所となるの
で、データゾーン3bの表面粗度はガラス原盤20の表
面粗度とほぼ同じであるRa=0.5mm程度の値とな
る。
Finally, the electroless plating layer 23 and the electroplating layer 24 are separated from the glass master 20 to form a stamper 25 (FIG. 7F). As can be seen from the stamper forming process described above, the remaining portions of the resist 21 on the glass master 20 become the pit row forming portions of the CSS zone 3a. Further, since the data zone 3b is a place where the surface properties of the glass master 20 are directly reflected without passing through the resist 21, the surface roughness of the data zone 3b is almost the same as the surface roughness of the glass master 20 Ra = The value is about 0.5 mm.

【0029】このようにして作成したスタンパ25を用
いた磁気ディスク用基板の射出成形工程について図9を
参照して説明する。ここで、磁気ディスク用基板の形状
は、例えば外径65mm、内径20mm、厚さ1.2m
mの円盤状である。磁気ディスク用基板の樹脂材料とし
ては、例えばAPO(Amorphus PolyOr
efin)系樹脂が用いられる。また、射出成形機は、
例えば図8に示すように、固定金型26と可動金型27
を備えている。固定金型26の一端面には、スタンパ2
5が取り付けられ樹脂が充填されるキャビティ28が設
けられている。さらに、固定金型26の他端面からキャ
ビティ28の中央に貫通し、キャビティ28内に樹脂を
導くためのゲートが設けられている。可動金型27に
は、磁気ディスク用基板のセンター穴となる部分を切断
するためのカッタ29が備えられている。
The injection molding process of the magnetic disk substrate using the stamper 25 thus prepared will be described with reference to FIG. Here, the shape of the magnetic disk substrate is, for example, an outer diameter of 65 mm, an inner diameter of 20 mm, and a thickness of 1.2 m.
m disk shape. As the resin material of the magnetic disk substrate, for example, APO (Amorphus PolyOr)
efin) resin is used. In addition, the injection molding machine
For example, as shown in FIG.
It has. A stamper 2 is provided on one end surface of the fixed mold 26.
5 is provided and a cavity 28 filled with resin is provided. Further, a gate is provided that penetrates from the other end surface of the fixed mold 26 to the center of the cavity 28 and guides the resin into the cavity 28. The movable mold 27 is provided with a cutter 29 for cutting a portion to be a center hole of the magnetic disk substrate.

【0030】先ず、キャビティ28の壁面にスタンパ2
5を取り付け、可動金型27を移動させてキャビティ2
8を閉じる(図9(A))。そして、ゲートを介してキ
ャビティ28内に樹脂30を充填する(図9(B))。
樹脂30を充填した後、カッタ29をキャビティ28内
に突出させて樹脂30の内径を切断する(図9
(C))。次に、樹脂30を冷却して固化させ(図9
(D))、カッタ29を可動金型27内に戻すと共に可
動金型27を移動させてキャビティ28を開く(図9
(E))。最後に、キャビティ28内から磁気ディスク
用基板31及びスプルー(カッタ29により切断された
樹脂30の内径の部分)を取り出し、磁気ディスク用基
板31を次の工程に搬送し、スプルーを廃棄する(図9
(F))。尚、この例では、スタンパ25を固定金型2
6のみに取り付けたが、可動金型27にも取り付けて射
出成形する場合の工程は上記工程と基本的に同じであ
る。
First, the stamper 2 is mounted on the wall of the cavity 28.
5 and move the movable mold 27 to the cavity 2.
8 is closed (FIG. 9A). Then, the resin 30 is filled into the cavity 28 through the gate (FIG. 9B).
After filling the resin 30, the cutter 29 is projected into the cavity 28 to cut the inner diameter of the resin 30 (FIG. 9).
(C)). Next, the resin 30 is cooled and solidified (FIG. 9).
(D)), the cutter 29 is returned into the movable mold 27, and the movable mold 27 is moved to open the cavity 28 (FIG. 9).
(E)). Finally, the magnetic disk substrate 31 and the sprue (portion of the inner diameter of the resin 30 cut by the cutter 29) are taken out of the cavity 28, the magnetic disk substrate 31 is transported to the next step, and the sprue is discarded (FIG. 9
(F)). In this example, the stamper 25 is connected to the fixed mold 2.
6, the process for injection molding by attaching to the movable mold 27 is basically the same as the above process.

【0031】以上より得られる磁気ディスク用基板31
により作成した磁気ディスク3を用いて、CSSテスタ
によりCSSテストを行った。使用したヘッドスライダ
は通常のTPC(Transverse Pressu
re Control)スライダを、サスペンションは
タイプ19を用いた。このヘッドスライダの大きさはナ
ノスライダであり、長さ2mm、幅1.6mm、厚さ
0.43mmである。磁気ディスク3を3600rpm
で回転させたとき、CSSテスト開始時のヘッドスライ
ダと磁気ディスク3の動摩擦係数は0.2、CSSテス
ト20,000回終了時のヘッドスライダと磁気ディス
ク3の動摩擦係数は0.3であり、CSSテスト開始時
と20,000回終了時の動摩擦係数の値がほぼ同じと
いう良好なCSS特性が得られた。尚、磁気ディスクの
形状等は種々の変形変更が可能である。
The magnetic disk substrate 31 obtained as described above
Was performed by a CSS tester using the magnetic disk 3 prepared by the above method. The used head slider is a normal TPC (Transverse Pressu).
re Control) slider and type 19 suspension. The size of this head slider is a nano-slider, 2 mm in length, 1.6 mm in width, and 0.43 mm in thickness. 3600 rpm magnetic disk 3
When the CSS test was started, the dynamic friction coefficient between the head slider and the magnetic disk 3 at the start of the CSS test was 0.2, and the dynamic friction coefficient between the head slider and the magnetic disk 3 at the end of the 20,000 CSS tests was 0.3. Good CSS characteristics were obtained in which the values of the coefficient of dynamic friction at the start of the CSS test and at the end of the 20,000 tests were almost the same. Incidentally, the shape and the like of the magnetic disk can be variously changed and changed.

【0032】図10は、この発明の磁気ディスク装置の
第2の実施形態であるハードディスク装置の構成例の主
要部を示す平面図であり、図1に示すハードディスク装
置1と同一構成箇所は同一符号を付す。また、図11
(A)は、A−A断面側面図、同図(B)は、B−B断
面側面図である。このハードディスク装置は、磁気ディ
スク3のCSSゾーン3aでのヘッドスライダ6の浮上
量がデータゾーン3bでのヘッドスライダ6の浮上量よ
り極端に大きくなる場合に、CSSゾーン3aでのヘッ
ドスライダ6の浮上量、即ち浮上量基準面とデータゾー
ン3bでのヘッドスライダ6の浮上量、即ち浮上量基準
面との差を小さく、あるいは同一にすることができる装
置である。アーム4にはアームディンプル11が設けら
れている。また、ヘッドスライダ6がCSSゾーン3a
に位置しているときのアームディンプル11の位置に対
向する上カバー10の位置には、上蓋ディンプル10a
が設けられている。そして、アーム4とピボット4aと
の間には、スポンジ若しくはバネ等の弾性体12が配置
されている。
FIG. 10 is a plan view showing a main part of a configuration example of a hard disk device according to a second embodiment of the magnetic disk device of the present invention. The same components as those of the hard disk device 1 shown in FIG. Is attached. FIG.
(A) is an AA sectional side view, and (B) is a BB sectional side view. This hard disk device, when the flying height of the head slider 6 in the CSS zone 3a of the magnetic disk 3 becomes extremely larger than the flying height of the head slider 6 in the data zone 3b, causes the flying of the head slider 6 in the CSS zone 3a. This device can reduce or equalize the amount, that is, the flying height of the head slider 6 in the data zone 3b, that is, the difference between the flying height reference surface and the data zone 3b. The arm 4 has an arm dimple 11. Also, the head slider 6 is moved to the CSS zone 3a.
In the position of the upper cover 10 facing the position of the arm dimple 11 when it is located at
Is provided. An elastic body 12 such as a sponge or a spring is arranged between the arm 4 and the pivot 4a.

【0033】このような構成において、ヘッドスライダ
6がCSSゾーン3aに位置しているときは、アームデ
ィンプル11と上蓋ディンプル10aとが接触している
ため、アーム4は負荷が掛かって強制的に押し下げられ
る。尚、このとき弾性体12は圧縮されている。従っ
て、ヘッドスライダ6は、所定の浮上量に抑制されて浮
上する。そして、ヘッドスライダ6がデータゾーン3b
に位置しているときは、アームディンプル11は上蓋デ
ィンプル10aから開放されているので、弾性体12が
復元し、アーム4は負荷が除かれて押し上げられる。従
って、ヘッドスライダ6は、所定の浮上量で浮上する。
このような負荷手段を設けることにより、ヘッドスライ
ダ6がCSSゾーン3aからデータゾーン3bに移動す
る際のヘッドスライダ6の浮上量の変化を小さく、ある
いは無くすことができる。
In such a configuration, when the head slider 6 is located in the CSS zone 3a, the arm 4 is forced down by a load because the arm dimple 11 and the upper cover dimple 10a are in contact with each other. Can be At this time, the elastic body 12 is compressed. Therefore, the head slider 6 flies while being suppressed to a predetermined flying height. Then, the head slider 6 is moved to the data zone 3b.
, The arm dimple 11 is released from the upper lid dimple 10a, so that the elastic body 12 is restored, and the arm 4 is pushed up with the load removed. Therefore, the head slider 6 flies at a predetermined flying height.
By providing such a load means, a change in the flying height of the head slider 6 when the head slider 6 moves from the CSS zone 3a to the data zone 3b can be reduced or eliminated.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、工程
が複雑になったり、また、コストが高くなったりするこ
となく、ヘッドスライダの接触領域の浮上量基準面と情
報記録領域の浮上量基準面の差を極力小さく設定するこ
とが可能となる。
As described above, according to the present invention, the flying height reference surface of the contact area of the head slider and the flying of the information recording area can be reduced without complicating the process and increasing the cost. The difference between the quantity reference planes can be set as small as possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の磁気ディスク装置の第1の実施形態
であるハードディスク装置の構成例を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk drive which is a first embodiment of a magnetic disk drive according to the present invention.

【図2】この発明の磁気ディスクの実施形態を示す斜視
図。
FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of the magnetic disk of the present invention.

【図3】図2の磁気ディスクに形成されるピットの一例
を示す斜視図。
FIG. 3 is an exemplary perspective view showing an example of pits formed on the magnetic disk of FIG. 2;

【図4】この発明の磁気ディスクの第2の実施形態の主
要部を示す断面側面図。
FIG. 4 is a sectional side view showing a main part of a second embodiment of the magnetic disk of the present invention.

【図5】この発明の磁気ディスクの第3の実施形態の主
要部を示す断面側面図。
FIG. 5 is a sectional side view showing a main part of a third embodiment of the magnetic disk of the present invention.

【図6】この発明の磁気ディスクの実施形態の磁気ディ
スク用基板を作成するためのスタンパの作成工程を示す
第1の図。
FIG. 6 is a first view showing a step of forming a stamper for forming a magnetic disk substrate according to an embodiment of the magnetic disk of the present invention.

【図7】この発明の磁気ディスクの実施形態の磁気ディ
スク用基板を作成するためのスタンパの作成工程を示す
第2の図。
FIG. 7 is a second view showing a step of forming a stamper for forming a magnetic disk substrate according to the embodiment of the magnetic disk of the present invention;

【図8】この発明の磁気ディスクの実施形態を作成する
ための成形部の一例を示す断面側面図。
FIG. 8 is a cross-sectional side view showing an example of a molded part for producing an embodiment of the magnetic disk of the present invention.

【図9】この発明の磁気ディスクの実施形態を作成する
ための成形工程を示す断面側面図。
FIG. 9 is a cross-sectional side view showing a molding step for producing an embodiment of the magnetic disk of the present invention.

【図10】この発明の磁気ディスク装置の第2の実施形
態であるハードディスク装置の構成例を示す平面図。
FIG. 10 is a plan view showing a configuration example of a hard disk drive which is a second embodiment of the magnetic disk drive of the present invention.

【図11】図10のA−A断面側面図及びB−B断面側
面図。
11 is a sectional side view taken along the line AA and a sectional view taken along the line BB of FIG. 10;

【図12】樹脂における光の透過率と光の波長との関係
を示す図。
FIG. 12 is a diagram showing a relationship between light transmittance and wavelength of light in a resin.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・ハードディスク装置、2・・・筐体、3・・・
磁気ディスク、3a・・・CSSゾーン、3b・・・デ
ータゾーン、3c・・・ピット、4・・・アーム、4a
・・・ピボット、5・・・ボイスコイル、6・・・ヘッ
ドスライダ、7・・・ボイスコイルモータ、7a、7b
・・・マグネット、8・・・磁気ヘッド、9・・・モー
タ、10a・・・上蓋ディンプル、11・・・アームデ
ィンプル、12・・・弾性体、20・・・ガラス原盤、
21・・・レジスト、22・・・レーザ発振器、23・
・・無電解メッキ層、24・・・電解メッキ層、25・
・・スタンパ、26・・・固定金型、27・・・可動金
型、28・・・キャビティ、29・・・カッタ、30・
・・樹脂
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Hard disk device, 2 ... Housing, 3 ...
Magnetic disk, 3a CSS zone, 3b data zone, 3c pit, 4 arm, 4a
... Pivot, 5 ... Voice coil, 6 ... Head slider, 7 ... Voice coil motor, 7a, 7b
... magnet, 8 ... magnetic head, 9 ... motor, 10a ... upper cover dimple, 11 ... arm dimple, 12 ... elastic body, 20 ... glass master,
21: resist, 22: laser oscillator, 23
..Electroless plating layers, 24 ... electrolytic plating layers, 25
..Stamper, 26 ... fixed mold, 27 ... movable mold, 28 ... cavity, 29 ... cutter, 30 ...
··resin

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面上を浮上するヘッドスライダに搭載
された磁気ヘッドにより情報が記録再生される磁気ディ
スクであって、 前記ヘッドスライダの接触する領域が凸形状のピット列
となるように、かつその接触領域の浮上量基準面が情報
記録領域の浮上量基準面より高くなるように、内周部若
しくは外周部の表面上に形成されていることを特徴とす
る磁気ディスク。
1. A magnetic disk on which information is recorded / reproduced by a magnetic head mounted on a head slider flying above a surface, wherein a region in contact with the head slider is a convex pit row, and A magnetic disk formed on the inner or outer peripheral surface such that the flying height reference surface of the contact area is higher than the flying height reference surface of the information recording area.
【請求項2】 前記ピット列の幅を変化させることによ
り、前記接触領域の浮上量基準面を情報記録領域の浮上
量基準面より高くなるようにした請求項1に記載の磁気
ディスク。
2. The magnetic disk according to claim 1, wherein the flying height reference plane of the contact area is higher than the flying height reference plane of the information recording area by changing the width of the pit row.
【請求項3】 前記ピット列の深さを変化させることに
より、前記接触領域の浮上量基準面を情報記録領域の浮
上量基準面より高くなるようにした請求項1に記載の磁
気ディスク。
3. The magnetic disk according to claim 1, wherein the flying height reference plane of the contact area is higher than the flying height reference plane of the information recording area by changing the depth of the pit row.
【請求項4】 前記接触領域が、透明な磁気ディスク用
基板に形成されている請求項1に記載の磁気ディスク。
4. The magnetic disk according to claim 1, wherein the contact area is formed on a transparent magnetic disk substrate.
【請求項5】 磁気ヘッドが搭載されたヘッドスライダ
を有する磁気ヘッド装置と、 前記ヘッドスライダの接触する領域が凸形状のピット列
となるように、かつその接触領域の浮上量基準面が情報
記録領域の浮上量基準面より高くなるように、内周部若
しくは外周部の表面上に形成されており、表面上を浮上
する前記ヘッドスライダに搭載された磁気ヘッドにより
前記情報記録領域にて情報が記録再生される磁気ディス
クとを備えたことを特徴とする磁気ディスク装置。
5. A magnetic head device having a head slider on which a magnetic head is mounted, wherein a contact area of the head slider is a convex pit row, and a flying height reference surface of the contact area is information recording. Information is formed in the information recording area by a magnetic head mounted on the head slider flying above the surface, being formed on the surface of the inner or outer periphery so as to be higher than the flying height reference plane of the area. A magnetic disk device comprising: a magnetic disk on which recording and reproduction are performed.
【請求項6】 表面上を浮上するヘッドスライダに搭載
された磁気ヘッドにより情報が記録再生される磁気ディ
スクの磁気ディスク用基板を成形する際に、同時に、そ
の内周部若しくは外周部の表面上に、前記ヘッドスライ
ダの接触する領域を凸形状のピット列となるように、か
つその接触領域の浮上量基準面を情報記録領域の浮上量
基準面より高くなるように形成することを特徴とする磁
気ディスク用基板の成形方法。
6. When forming a magnetic disk substrate of a magnetic disk on which information is recorded / reproduced by a magnetic head mounted on a head slider flying above the surface, simultaneously with the formation of the surface of the inner peripheral portion or outer peripheral portion thereof. Preferably, the contact area of the head slider is formed as a convex pit row, and the flying height reference surface of the contact area is formed higher than the flying height reference surface of the information recording area. A method for forming a magnetic disk substrate.
【請求項7】 表面上を浮上するヘッドスライダに搭載
された磁気ヘッドにより情報が記録再生される磁気ディ
スクであって、 前記ヘッドスライダの接触する領域が凸形状のピット列
となるように、かつその接触領域の浮上量基準面が前記
情報記録領域に近づくに従って徐々に低くなるように、
内周部若しくは外周部の表面上に形成されていることを
特徴とする磁気ディスク。
7. A magnetic disk on which information is recorded / reproduced by a magnetic head mounted on a head slider flying above the surface, wherein a contact area of the head slider is a convex pit row, and As the flying height reference surface of the contact area gradually decreases as approaching the information recording area,
A magnetic disk formed on the surface of an inner peripheral portion or an outer peripheral portion.
【請求項8】 前記ピット列の幅を変化させることによ
り、前記接触領域の浮上量基準面を情報記録領域に近づ
くに従って徐々に低くなるようにした請求項7に記載の
磁気ディスク。
8. The magnetic disk according to claim 7, wherein by changing the width of the pit row, the flying height reference surface of the contact area gradually decreases as approaching the information recording area.
【請求項9】 前記ピット列の深さを変化させることに
より、前記接触領域の浮上量基準面を情報記録領域に近
づくに従って徐々に低くなるようにした請求項7に記載
の磁気ディスク。
9. The magnetic disk according to claim 7, wherein the flying height reference surface of the contact area gradually decreases as the depth approaches the information recording area by changing the depth of the pit row.
【請求項10】 前記接触領域が、透明な磁気ディスク
用基板に形成されている請求項7に記載の磁気ディス
ク。
10. The magnetic disk according to claim 7, wherein the contact area is formed on a transparent magnetic disk substrate.
【請求項11】 磁気ヘッドが搭載されたヘッドスライ
ダを有する磁気ヘッド装置と、 前記ヘッドスライダの接触する領域が凸形状のピット列
となるように、かつその接触領域の浮上量基準面が情報
記録領域に近づくに従って徐々に低くなるように、内周
部若しくは外周部の表面上に形成されており、表面上を
浮上する前記ヘッドスライダに搭載された磁気ヘッドに
より前記情報記録領域にて情報が記録再生される磁気デ
ィスクとを備えたことを特徴とする磁気ディスク装置。
11. A magnetic head device having a head slider on which a magnetic head is mounted, wherein a contact area of the head slider is a convex pit row, and a flying height reference surface of the contact area is information recording. Information is recorded in the information recording area by a magnetic head mounted on the head slider, which is formed on the surface of the inner peripheral portion or the outer peripheral portion so as to gradually decrease as approaching the area, and floats on the surface. A magnetic disk drive comprising: a magnetic disk to be reproduced.
【請求項12】 表面上を浮上するヘッドスライダに搭
載された磁気ヘッドにより情報が記録再生される磁気デ
ィスクの磁気ディスク用基板を成形する際に、同時に、
その内周部若しくは外周部の表面上に、前記ヘッドスラ
イダの接触する領域を凸形状のピット列となるように、
かつその接触領域の浮上量基準面を情報記録領域に近づ
くに従って徐々に低くなるように形成することを特徴と
する磁気ディスク用基板の成形方法。
12. When forming a magnetic disk substrate of a magnetic disk on which information is recorded and reproduced by a magnetic head mounted on a head slider flying above the surface,
On the surface of the inner peripheral portion or the outer peripheral portion, a region in contact with the head slider becomes a convex pit row,
A method for forming a magnetic disk substrate, wherein the flying height reference surface of the contact area is formed so as to gradually decrease as approaching the information recording area.
【請求項13】 磁気ヘッドが搭載されたヘッドスライ
ダを有する磁気ヘッド装置と、 表面上を浮上する前記ヘッドスライダに搭載された磁気
ヘッドにより情報が記録再生される領域が形成されてい
ると共に、その内周部若しくは外周部の表面上に前記ヘ
ッドスライダの接触する領域が形成されている磁気ディ
スクと、 前記ヘッドスライダが前記接触領域上を浮上する際は負
荷を掛け、前記ヘッドスライダが前記情報記録領域を浮
上する際は負荷を除く負荷手段とを備えたことを特徴と
する磁気ディスク装置。
13. A magnetic head device having a head slider on which a magnetic head is mounted, and a region in which information is recorded and reproduced by a magnetic head mounted on the head slider floating on a surface is formed. A magnetic disk in which a region where the head slider comes into contact is formed on the surface of an inner peripheral portion or an outer peripheral portion; and a load is applied when the head slider flies over the contact region, and the head slider records the information. A magnetic disk drive comprising a load means for removing a load when flying over an area.
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