JPH10177703A - Magnetic head and its production - Google Patents
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- JPH10177703A JPH10177703A JP35295296A JP35295296A JPH10177703A JP H10177703 A JPH10177703 A JP H10177703A JP 35295296 A JP35295296 A JP 35295296A JP 35295296 A JP35295296 A JP 35295296A JP H10177703 A JPH10177703 A JP H10177703A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
等の磁気記録装置において、媒体に対して情報を記録再
生する磁気ヘッドに関し、特にアンダーシュートを生じ
させることなく高記録密度を実現するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for recording / reproducing information on / from a medium in a magnetic recording apparatus such as a magnetic disk apparatus, and more particularly to a magnetic head which realizes high recording density without causing undershoot. is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、磁気記録装置の記録密度の向上は
著しく、特にコンピュータ用磁気ディスク装置の分野で
は、年率60%で記録密度の増加が進んでいる。図7
は、コンピュータ用磁気ディスク装置に用いられる浮上
型磁気ヘッドの構造を示したものである。2. Description of the Related Art In recent years, the recording density of magnetic recording devices has been remarkably improved, and particularly in the field of magnetic disk devices for computers, the recording density has been increasing at an annual rate of 60%. FIG.
1 shows the structure of a floating magnetic head used in a magnetic disk drive for a computer.
【0003】浮上型磁気ヘッド1は非磁性のスライダ2
と磁気コア3からなり、磁気コア3はスライダ2の2本
の浮上面4、5のうち、浮上面4に形成されたスリット
6中にガラス等でモールド固定されている。磁気コア3
の詳細な構造を図8に示す。A flying magnetic head 1 includes a non-magnetic slider 2
The magnetic core 3 is molded and fixed with glass or the like in a slit 6 formed in the floating surface 4 of the two floating surfaces 4 and 5 of the slider 2. Magnetic core 3
FIG. 8 shows the detailed structure of FIG.
【0004】図8において、酸化物磁性材料よりなる流
出端側のI型のコア半体10(以下Iコアと称する)の
ギャップ対向面上、および酸化物磁性材料よりなる流入
端側のC型のコア半体11(以下Cコアと称する)の斜
面上に金属磁性膜12が形成されている。Iコア10と
Cコア11は磁気ギャップ13を有するようにギャップ
材を介してガラス14により接合されている。また巻線
窓15を通して所定の巻線がIコア10に巻き付けられ
るが図8では省略した。磁気コアの浮上面露出部4aの
近傍に、トラック幅Twを決定するための加工溝16を
浮上面露出部4aに対して平行に形成している。[0004] In FIG. 8, a C-shaped portion on the gap-facing surface of an I-shaped core half 10 (hereinafter referred to as I-core) on the outflow end side made of an oxide magnetic material and on the inflow end side made of an oxide magnetic material are shown. A metal magnetic film 12 is formed on an inclined surface of a core half 11 (hereinafter referred to as a C core). The I core 10 and the C core 11 are joined by a glass 14 via a gap material so as to have a magnetic gap 13. In addition, a predetermined winding is wound around the I-core 10 through the winding window 15, but is omitted in FIG. In the vicinity of the floating surface exposed portion 4a of the magnetic core, a processing groove 16 for determining the track width Tw is formed parallel to the floating surface exposed portion 4a.
【0005】高記録密度化に伴い、高周波動作に適した
磁気ヘッドが求められており、そのためには磁気ヘッド
のインダクタンスを低減する必要がある。即ち、インダ
クタンスの大きな磁気ヘッドでは記録電流の立ち上がり
時間が遅く、このことが記録磁界の遅れを招き、記録媒
体に期待されるビットパターンが形成されず、エラーの
原因となる。[0005] With the increase in recording density, a magnetic head suitable for high-frequency operation has been demanded, and for that purpose, it is necessary to reduce the inductance of the magnetic head. That is, in a magnetic head having a large inductance, the rise time of a recording current is slow, which causes a delay in a recording magnetic field, and a bit pattern expected on a recording medium is not formed, which causes an error.
【0006】これを解決するためにインダクタンスを低
減する必要があり、図9に示したように、金属磁性膜1
2と非磁性体101のIコアを磁気コアに用いた磁気ヘ
ッド(以下Iコア非磁性ヘッドと称す)の開発がなされ
た。これにより磁気ヘッドのインダクタンスを大幅に低
減できた。In order to solve this problem, it is necessary to reduce the inductance. As shown in FIG.
2 and a magnetic head using an I-core of the non-magnetic body 101 as a magnetic core (hereinafter referred to as an I-core non-magnetic head) has been developed. As a result, the inductance of the magnetic head was significantly reduced.
【0007】また、高記録密度化に伴い非線形磁化遷移
シフト(Non Linear Transition
Sift;以下省略してNLTSと称す)という現象
が問題となっている。このNLTSとはディジタル信号
の記録において、記録される信号が本来記録すべき位置
からずれてしまう現象である。これを解決する手段とし
ては、前記のインダクタンス低減も効果があるが、さら
に有力な手段としては、記録磁界の勾配を向上させる方
法がある。[0007] Also, with the increase in recording density, non-linear magnetization transition shift (Non Linear Transition) has been proposed.
Shift (hereinafter abbreviated as NLTS) is a problem. The NLTS is a phenomenon in which a signal to be recorded is shifted from a position to be originally recorded in recording of a digital signal. As a means for solving this, the above-described inductance reduction is also effective, but as a more effective means, there is a method for improving the gradient of the recording magnetic field.
【0008】これを実現するため、図10に示したよう
に前記浮上型磁気ヘッド1のIコア10において、酸化
物磁性材料の浮上面側の一部分、即ちIコア浮上面先端
部17を切り欠いた、もしくは非磁性体にした浮上型磁
気ヘッド(以下Iコア先端非磁性ヘッドと称す)の開発
がなされた。これにより、NLTSを低減することがで
きた。In order to realize this, as shown in FIG. 10, in the I-core 10 of the flying magnetic head 1, a part of the oxide magnetic material on the floating surface side, that is, the tip 17 of the I-core floating surface is cut out. A floating magnetic head (hereinafter referred to as an I-core tip non-magnetic head) made of a non-magnetic material has been developed. Thereby, NLTS could be reduced.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
Iコア非磁性ヘッド及びIコア先端非磁性ヘッドにおい
ては、Iコア側の浮上面に露出する磁性膜が金属磁性膜
だけとなるため、この金属磁性膜のエッジ部に磁束が集
中して、薄膜ヘッド等に見られるアンダーシュートの問
題が起こる。即ち、孤立再生波形の主ピークの近傍にア
ンダーシュートが発生し、隣接する孤立再生波形に影響
を及ぼすことから、エラーの原因となる。ここでエッジ
部とは反ギャップ側の面と浮上面側の面からなる部分を
いう。However, in the above-described I-core non-magnetic head and I-core tip non-magnetic head, the magnetic film exposed on the air-bearing surface on the I-core side is only a metal magnetic film. The magnetic flux concentrates on the edge of the magnetic film, causing a problem of undershoot seen in a thin film head or the like. That is, an undershoot occurs near the main peak of the isolated reproduction waveform, which affects an adjacent isolated reproduction waveform, thereby causing an error. Here, the edge portion means a portion composed of a surface on the side opposite to the gap and a surface on the floating surface side.
【0010】本発明は疑似ギャップとして機能していた
前記金属磁性膜のエッジ部への磁束の集中を緩和して、
再生波形におけるアンダーシュートを低減することを目
的とする。According to the present invention, the concentration of magnetic flux on the edge portion of the metal magnetic film functioning as a pseudo gap is reduced,
An object is to reduce undershoot in a reproduction waveform.
【0011】[0011]
(1)本発明は、磁気ギャップを挟んで一対のコア半体
が対向して配置され、前記コア半体の対向部に金属磁性
膜が成膜されたメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッド
であって、片方のコア半体を非磁性体として、前記金属
磁性膜の前記片方のコアと接する側の面に切り欠きまた
は凹部を設けることにより、再生波形のアンダーシュー
トを低減する。(1) The present invention relates to a metal-in-gap type magnetic head in which a pair of core halves are arranged to face each other with a magnetic gap therebetween, and a metal magnetic film is formed on an opposing portion of the core halves. The one half of the core is made of a non-magnetic material, and a cutout or a concave portion is provided on the surface of the metal magnetic film on the side in contact with the one core, thereby reducing the undershoot of the reproduced waveform.
【0012】(2)また、本発明は(1)の磁気ヘッド
において、前記片方のコア半体の少なくとも浮上面に露
出する部分を非磁性体として、残部を磁性体とする。(2) According to the present invention, in the magnetic head of (1), at least a portion of the one half of the core exposed at the air bearing surface is a non-magnetic material, and the remaining portion is a magnetic material.
【0013】(3)また、本発明は(1)の磁気ヘッド
において、前記片方のコア半体を磁性体として、少なく
とも前記片方のコアの浮上面に露出する部分を除去す
る。(3) According to the present invention, in the magnetic head according to (1), at least a portion of the one core half that is exposed to the floating surface of the one core is removed by using the half core as a magnetic material.
【0014】(4)本発明は、(1)、(2)、(3)
のいずれかの磁気ヘッドにおいて、前記切り欠きまたは
前記凹部を設ける代わりに、前記金属磁性膜より透磁率
の低い変質領域または非磁性領域を設ける。(4) The present invention provides (1), (2) and (3)
In any one of the magnetic heads, instead of providing the notch or the concave portion, an altered region or a nonmagnetic region having a lower magnetic permeability than the metal magnetic film is provided.
【0015】(5)本発明は(1)、(2)、(3)、
(4)のいずれかの磁気ヘッドにおいて、前記切り欠き
または前記凹部、あるいは前記変質領域または前記非磁
性領域が少なくとも一つ以上あり、これらのトラック幅
方向の長さの総和を、トラック幅の70%以上且つ10
0%以下とする。(5) The present invention provides (1), (2), (3),
In any one of the magnetic heads of (4), there is at least one of the notch or the concave portion, the altered region or the non-magnetic region, and the sum of the lengths in the track width direction is defined as 70% of the track width. % Or more and 10
0% or less.
【0016】(6)本発明は(1)、(2)、(3)、
(4)いずれかに記載の前記切り欠きまたは前記凹部ま
たは前記変質領域または前記非磁性領域を形成するため
に、レーザー装置と、前記レーザー装置により照射する
領域を規定するマスクとを用いて、前記金属磁性膜にレ
ーザー照射する。(6) The present invention provides (1), (2), (3),
(4) using a laser device and a mask that defines a region to be irradiated by the laser device to form the notch or the concave portion or the altered region or the nonmagnetic region according to any of the above. Laser irradiation is performed on the metal magnetic film.
【0017】ここで、上記本発明の作用を以下に述べ
る。金属磁性膜の反ギャップ側のエッジ部に磁束が集中
するのは、金属磁性膜とIコアの境界で透磁率が急変す
るためである。この急変を緩和するには浮上面側からみ
て、金属磁性膜と金属磁性膜より透磁率を低くした部分
が重なるような構造を前記境界近傍に設ける。そこで前
記金属磁性膜のエッジ部を除去したり、前記エッジ部の
透磁率を低下させたりすることにより、前記透磁率の変
化を緩やかにして、再生波形におけるアンダーシュート
を低減できる。また、金属磁性膜より透磁率を低くする
部分は、必ずしも金属磁性膜の一部である必要はなく、
Iコアの一部であって金属磁性膜側に突出する形態であ
ってもよい。Here, the operation of the present invention will be described below. The magnetic flux concentrates on the edge of the metal magnetic film on the side opposite to the gap because the magnetic permeability changes suddenly at the boundary between the metal magnetic film and the I core. In order to alleviate this sudden change, a structure is provided near the boundary where the metal magnetic film and a portion having a lower magnetic permeability than the metal magnetic film overlap when viewed from the air bearing surface side. Therefore, by removing the edge portion of the metal magnetic film or decreasing the magnetic permeability of the edge portion, the change in the magnetic permeability is moderated, and the undershoot in the reproduced waveform can be reduced. Also, the portion having a lower magnetic permeability than the metal magnetic film does not necessarily need to be a part of the metal magnetic film,
A form that is part of the I core and protrudes toward the metal magnetic film may be used.
【0018】さらに本発明では、前記低透磁率領域また
は凹部等を形成するのに、レーザーを用いる。前記金属
磁性膜のエッジ部にレーザーを照射することにより、前
記金属磁性膜のエッジ部の温度が局部的に上昇する。そ
のため、金属磁性膜は局部的に変質され、もしくは一部
がレーザーにより除去される。従って、前記金属磁性膜
エッジ部の透磁率をレーザー照射されていない部分より
低下させるか,もしくは完全に非磁性体にすることがで
きる。Further, in the present invention, a laser is used to form the low magnetic permeability region or the concave portion. By irradiating the laser to the edge of the metal magnetic film, the temperature of the edge of the metal magnetic film locally rises. Therefore, the metal magnetic film is locally deteriorated or partially removed by a laser. Therefore, the magnetic permeability of the edge portion of the metal magnetic film can be made lower than that of the portion not irradiated with the laser, or can be made completely non-magnetic.
【0019】よって、再生時に従来は疑似ギャップとし
て機能していた前記金属磁性膜エッジ部で磁束が集中す
ることがなくなり、再生波形におけるアンダーシュート
を低減できる。また、レーザーを用いることで、安価な
装置で生産性の良いアンダーシュート対策が可能とな
り、さらに、前記レーザーを照射する領域をマスクを用
いて規定することにより、高精度で再現性の良い製造プ
ロセスとすることができる。Therefore, at the time of reproduction, the magnetic flux does not concentrate at the edge of the metal magnetic film, which has conventionally functioned as a pseudo gap, and the undershoot in the reproduced waveform can be reduced. In addition, by using a laser, it is possible to take measures against undershoot with good productivity with an inexpensive device, and furthermore, by using a mask to define an area to be irradiated with the laser, a manufacturing process with high accuracy and good reproducibility is performed. It can be.
【0020】前記金属磁性膜エッジ部の変質領域もしく
は凹部等は、トラック幅の全体に及んでいなくてもアン
ダーシュート低減に効果はある。ただし、そのような場
合は前記金属磁性膜エッジ部における前記変質領域、前
記非磁性領域、前記切り欠き、または前記凹部等のトラ
ック幅方向の長さがトラック幅の70%以上かつ100
%以下であることが望ましい。これにより、前記金属磁
性膜エッジ部の疑似ギャップとしての機能を大幅に低減
でき、アンダーシュートを低減できる。The altered region or the concave portion at the edge portion of the metal magnetic film is effective in reducing the undershoot even if it does not cover the entire track width. However, in such a case, the length in the track width direction of the altered region, the non-magnetic region, the notch, or the recess at the edge of the metal magnetic film is 70% or more of the track width and 100%.
% Is desirable. Thereby, the function as a pseudo gap at the edge of the metal magnetic film can be significantly reduced, and undershoot can be reduced.
【0021】また、前記変質領域や凹部等が複数設けら
れている場合は、これらの複数の変質領域または凹部等
のトラック幅方向の長さの総和が70%以上かつ100
%以下であればよい。In the case where a plurality of altered regions or concave portions are provided, the total length of the plurality of altered regions or concave portions in the track width direction is 70% or more and 100% or more.
% Or less.
【0022】[0022]
【発明の実施の形態】本発明を実施例により詳細に説明
する。第1の実施例として、図1に本発明のIコア非磁
性ヘッドにおけるギャップ近傍の構造を示す。金属磁性
膜12と非磁性体101のIコアにおいて、金属磁性膜
12のエッジ部18に変質領域または非磁性領域を設け
る。ここで、変質領域とは金属磁性膜12の本来の透磁
率よりも低い透磁率を有する領域をいう。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to embodiments. As a first embodiment, FIG. 1 shows a structure near a gap in an I-core non-magnetic head of the present invention. In the I-core of the metal magnetic film 12 and the non-magnetic material 101, an altered region or a non-magnetic region is provided at the edge 18 of the metal magnetic film 12. Here, the altered region refers to a region having a magnetic permeability lower than the original magnetic permeability of the metal magnetic film 12.
【0023】図9を用いて図1に係るIコア非磁性ヘッ
ドの磁気コアの構成を説明する。図9は、Cコア11の
酸化物磁性材料としてMnZnフェライト単結晶を用
い、Iコア101の非磁性体には結晶化ガラスを用い
る。このようにIコア101を非磁性体で構成すること
で、磁気コアのインダクタンスを大幅に低減できる。金
属磁性膜12としては、FeTaNCr微結晶膜を用い
る。金属磁性膜12の膜厚は、Iコア側を7.8μm、
Cコア側を5μmとした。また、トラック幅Twは4μ
mとする。The configuration of the magnetic core of the I-core non-magnetic head shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. FIG. 9 uses a MnZn ferrite single crystal as the oxide magnetic material of the C core 11 and crystallized glass as the non-magnetic material of the I core 101. By configuring the I core 101 with a non-magnetic material in this way, the inductance of the magnetic core can be significantly reduced. As the metal magnetic film 12, a FeTaNCr microcrystalline film is used. The thickness of the metal magnetic film 12 is 7.8 μm on the I core side,
The C core side was 5 μm. The track width Tw is 4 μm.
m.
【0024】図2に図1に係る本発明のIコア非磁性ヘ
ッドの出力信号の孤立波再生波形を示す。また比較のた
めに、図12に図8に係る従来のIコア非磁性ヘッドの
出力信号の孤立波再生波形を示す。測定条件はともに、
巻線数33ターン、周波数25.4MHz、媒体保磁力
1900Oe、媒体周速10m/s、浮上量は40nm
である。FIG. 2 shows a solitary wave reproduction waveform of an output signal of the I-core non-magnetic head of the present invention shown in FIG. For comparison, FIG. 12 shows a solitary wave reproduction waveform of an output signal of the conventional I-core non-magnetic head shown in FIG. The measurement conditions are both
33 turns, frequency 25.4 MHz, medium coercive force 1900 Oe, medium peripheral speed 10 m / s, flying height 40 nm
It is.
【0025】図12を見ると、中央にメインピーク20
があるが、そのすぐ左側にメインピークと同方向(プラ
ス方向とする)の小さなピークが認められる。メインピ
ークの右側の少し離れた箇所に、メインピークと逆方向
(マイナス方向)の小さなピークが認められる。このマ
イナス方向の小さなピークが中央のメインピークに対す
るアンダーシュート21である。Referring to FIG. 12, the main peak 20 is located at the center.
However, a small peak in the same direction (plus direction) as the main peak is observed immediately to the left. A small peak in the opposite direction (minus direction) to the main peak is recognized at a position slightly distant to the right of the main peak. This small peak in the minus direction is the undershoot 21 with respect to the central main peak.
【0026】因みに、メインピーク20のすぐ左側にピ
ークは、隣のメインピーク(マイナス方向)に対するア
ンダーシュートである。中央のメインピーク20とアン
ダーシュート21の発生する位置を媒体周速より距離に
換算すると、ギャップ13よりIコア側に7.8μmの
箇所であり、Iコア側の前記金属磁性膜エッジ部18と
一致する。即ち、前記金属磁性膜エッジ部18が疑似ギ
ャップとして働き、アンダーシュートを発生させている
ことが分かる。一方、図2を見ると本発明によりアンダ
ーシュートはほぼ解消される。Incidentally, the peak immediately to the left of the main peak 20 is an undershoot with respect to the adjacent main peak (minus direction). When the position where the central main peak 20 and the undershoot 21 occur is converted into a distance based on the peripheral speed of the medium, the position is 7.8 μm on the I core side from the gap 13. Matches. That is, it can be seen that the edge portion 18 of the metal magnetic film functions as a pseudo gap and generates an undershoot. On the other hand, referring to FIG. 2, undershoot is substantially eliminated by the present invention.
【0027】また、図1に係る前記金属磁性膜エッジ部
18の透磁率を低下させる方法として、前記金属磁性膜
エッジ部18にレーザーを照射し、局部的に温度を上昇
させる方法を用いる。特に、金属磁性膜として用いてい
るFeTaNCr微結晶膜は、スパッタ直後はアモルフ
ァス状態であるが、これを最適な熱処理温度でアニール
することで微結晶化し、軟磁気特性、即ち、透磁率を向
上させている。従って、最適温度以上の温度を加えるこ
とにより、透磁率は容易に低下する。As a method of lowering the magnetic permeability of the metal magnetic film edge 18 shown in FIG. 1, a method of irradiating a laser to the metal magnetic film edge 18 to locally raise the temperature is used. In particular, the FeTaNCr microcrystalline film used as a metal magnetic film is in an amorphous state immediately after sputtering, but is microcrystallized by annealing this at an optimal heat treatment temperature, thereby improving soft magnetic properties, that is, improving magnetic permeability. ing. Therefore, by applying a temperature higher than the optimum temperature, the magnetic permeability is easily reduced.
【0028】[0028]
【表1】 [Table 1]
【0029】本発明では表1に示すパルスレーザー用い
る。前記レーザーをレンズで集光し、さらにマスクを用
いてヘッド浮上面上に長さ4μm、幅1μmのスポット
を形成できる様にした。しかる後に同スポットを前記磁
気ヘッドの前記金属磁性膜エッジ部18に一致させ、レ
ーザーを照射することにより図1に示すように前記金属
磁性膜エッジ部18に透磁率を低下させた変質領域を形
成する。In the present invention, pulse lasers shown in Table 1 are used. The laser was condensed by a lens, and a spot having a length of 4 μm and a width of 1 μm was formed on the head flying surface using a mask. Thereafter, the spot is made coincident with the edge portion 18 of the metal magnetic film of the magnetic head, and a deteriorated region having reduced magnetic permeability is formed on the edge portion 18 of the metal magnetic film as shown in FIG. 1 by irradiating a laser. I do.
【0030】第2の実施例として、図3に本発明のIコ
ア非磁性ヘッドにおけるギャップ近傍の構造を示す。金
属磁性膜12と非磁性体10からなるIコアにおいて、
金属磁性膜12のエッジ部に切り欠きまたは凹部を設け
る。この切り欠きまたは凹部は第1の実施例とほぼ同様
の効果をもたらし、図3に示すようにレーザー照射によ
り金属磁性膜のエッジ部を除去する。即ち、浮上面側に
凹部を形成しても第1実施形態と同様にアンダーシュー
ト低減の効果が認めらる。As a second embodiment, FIG. 3 shows a structure near a gap in an I-core non-magnetic head of the present invention. In the I core composed of the metal magnetic film 12 and the non-magnetic material 10,
A notch or recess is provided at the edge of the metal magnetic film 12. This notch or recess has substantially the same effect as in the first embodiment, and the edge of the metal magnetic film is removed by laser irradiation as shown in FIG. That is, even when the concave portion is formed on the air bearing surface side, the effect of reducing the undershoot is recognized as in the first embodiment.
【0031】第3実施例について説明する。第1及び第
2の実施例ではレーザー照射による変質領域もしくは凹
部等が、トラック幅全体に渡っていたが、図4に示すよ
うにトラック幅全体に及んでいなくてもアンダーシュー
ト低減の効果はある。但し、その場合、第1及び第2実
施例と同等の効果を得るためには、変質領域もしくは凹
部等の前記金属磁性膜エッジ部での長さaが、トラック
幅Twの70%以上を占めることが必要である。A third embodiment will be described. In the first and second embodiments, the altered region or the concave portion caused by the laser irradiation extends over the entire track width. However, as shown in FIG. is there. However, in this case, in order to obtain the same effect as in the first and second embodiments, the length a at the edge portion of the metal magnetic film such as the altered region or the concave portion occupies 70% or more of the track width Tw. It is necessary.
【0032】第4および第5実施例について説明する。
マスクの変更により図5および図6に示した領域へのレ
ーザー照射が可能となる。この場合、変質領域もしくは
凹部等の前記金属磁性膜エッジ部での長さの総和aが、
トラック幅Twの70%以上を占めることにより、アン
ダーシュートが大幅に低減される。The fourth and fifth embodiments will be described.
By changing the mask, laser irradiation to the regions shown in FIGS. 5 and 6 becomes possible. In this case, the sum a of the lengths at the edge portions of the metal magnetic film such as the altered region or the concave portion is:
By occupying 70% or more of the track width Tw, undershoot is greatly reduced.
【0033】また、上記実施例に示すギャップ近傍の構
造を図10に示すIコア先端非磁性ヘッドに設けること
によってもアンダーシュートが大幅に低減される。Further, by providing the structure near the gap shown in the above embodiment in the non-magnetic head at the tip of the I-core shown in FIG. 10, undershoot is greatly reduced.
【0034】[0034]
【発明の効果】以上詳述して明らかな如く、メタル・イ
ン・ギャップ型の磁気ヘッドにおいて、金属磁性膜の非
磁性体側のエッジ付近にレーザー照射により変質した領
域もしくは凹部等を設けることで、その透磁率を十分に
低下させまたは非磁性にすることができ、孤立波再生波
形にアンダーシュートを生じさせることなく、インダク
タンスの低減及びNLTSの低減を可能にすると共に、高記
録密度、高速転送速度で使用する小型磁気ディスク装置
に好適な磁気ヘッドを提供することが可能である。As will be apparent from the above description, in a metal-in-gap type magnetic head, a region or a recess or the like which is deteriorated by laser irradiation is provided near the edge of the non-magnetic material side of the metal magnetic film. Its permeability can be sufficiently reduced or made non-magnetic, reducing the inductance and NLTS without causing undershoot in the solitary wave reproduction waveform, and at the same time, high recording density and high transfer rate It is possible to provide a magnetic head suitable for a small-sized magnetic disk device used in the present invention.
【図1】本発明による第1実施例を示す磁気ヘッドのギ
ャップ近傍の平面図および断面図FIG. 1 is a plan view and a cross-sectional view of a magnetic head showing a first embodiment according to the present invention in the vicinity of a gap.
【図2】本発明の第1実施例による磁気ヘッドの出力信
号の孤立波再生波形を示すオシロ波形FIG. 2 is an oscilloscope waveform showing a solitary wave reproduction waveform of an output signal of a magnetic head according to a first embodiment of the present invention;
【図3】本発明の第2実施例を示す磁気ヘッドのギャッ
プ近傍の平面図および断面図FIG. 3 is a plan view and a cross-sectional view of the vicinity of a gap of a magnetic head according to a second embodiment of the present invention.
【図4】本発明の第3実施例を示すのギャップ近傍の平
面図および断面図FIG. 4 is a plan view and a sectional view showing the vicinity of a gap according to a third embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第4実施例を示すのギャップ近傍の平
面図FIG. 5 is a plan view showing the vicinity of a gap according to a fourth embodiment of the present invention.
【図6】本発明の第5実施例を示すのギャップ近傍の平
面図FIG. 6 is a plan view showing the vicinity of a gap according to a fifth embodiment of the present invention.
【図7】従来の浮上型磁気ヘッド斜視図FIG. 7 is a perspective view of a conventional floating magnetic head.
【図8】従来の浮上型磁気ヘッドの斜視図FIG. 8 is a perspective view of a conventional floating magnetic head.
【図9】従来のIコア非磁性ヘッドの斜視図FIG. 9 is a perspective view of a conventional I-core non-magnetic head.
【図10】従来のIコア先端非磁性ヘッドの斜視図FIG. 10 is a perspective view of a conventional I-core non-magnetic head.
【図11】従来のIコア非磁性ヘッドのギャップ近傍の
平面図および断面図FIG. 11 is a plan view and a sectional view showing the vicinity of a gap of a conventional I-core non-magnetic head.
【図12】従来のIコア非磁性ヘッドの出力信号の孤立
波再生波形を示すオシロ波形FIG. 12 is an oscilloscope waveform showing a solitary wave reproduction waveform of an output signal of a conventional I-core non-magnetic head.
1 浮上型磁気ヘッド、 2 スライダー、 3 磁気コア、 4 5 浮上面、 4a 磁気コアの浮上面露出部、 6 スリット、 10 Iコア、 11 Cコア、 12 金属磁性膜、 13 ギャップ、 14 ガラス、 15 巻線窓、 16 トラック幅決め加工溝、 17 Iコア浮上面先端部、 18 Iコア側金属磁性膜エッジ部、 20 メインピーク、 21 アンダーシュート 101 非磁性体Iコア Reference Signs List 1 floating magnetic head, 2 slider, 3 magnetic core, 45 floating surface, 4a floating surface exposed portion of magnetic core, 6 slit, 10 I core, 11 C core, 12 metal magnetic film, 13 gap, 14 glass, 15 Winding window, 16 Track width determining groove, 17 I core floating surface tip, 18 I core side metal magnetic film edge, 20 main peak, 21 undershoot 101 Nonmagnetic I core
Claims (6)
向して配置され、前記コア半体の対向部に金属磁性膜が
成膜されたメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッドであ
って、片方のコア半体を非磁性体として、前記金属磁性
膜の前記片方のコアと接する側の面に切り欠きまたは凹
部を有することを特徴とする磁気ヘッド。1. A metal-in-gap type magnetic head in which a pair of core halves are arranged to face each other with a magnetic gap therebetween, and a metal magnetic film is formed on an opposing portion of the core halves. A magnetic head, characterized in that one half of a core is made of a non-magnetic material, and the metal magnetic film has a cutout or a concave portion on a surface in contact with the one core.
記片方のコア半体の少なくとも浮上面に露出する部分を
非磁性体として、残部を磁性体とすることを特徴とする
磁気ヘッド。2. The magnetic head according to claim 1, wherein at least a portion of the one half of the core that is exposed to the air bearing surface is a non-magnetic material, and a remaining portion is a magnetic material.
記片方のコア半体を磁性体として、少なくとも前記片方
のコアの浮上面に露出する部分を除去することを特徴と
する磁気ヘッド。3. The magnetic head according to claim 1, wherein the one core half is made of a magnetic material, and at least a portion of the one core exposed on the air bearing surface is removed.
ヘッドにおいて、前記切り欠きまたは前記凹部を設ける
代わりに、前記金属磁性膜より透磁率の低い変質領域ま
たは非磁性領域を設けたことを特徴とする磁気ヘッド。4. The magnetic head according to claim 1, wherein an altered region or a non-magnetic region having a lower magnetic permeability than the metal magnetic film is provided instead of providing the notch or the concave portion. A magnetic head, characterized in that:
切り欠きまたは前記凹部、あるいは請求項4に記載の前
記変質領域または前記非磁性領域が少なくとも一つ以上
あり、前記切り欠きまたは前記凹部、あるいは前記変質
領域または前記非磁性領域のトラック幅方向の長さの総
和が、トラック幅の70%以上且つ100%以下である
ことを特徴とする磁気ヘッド。5. The notch according to claim 1, wherein the notch or the concave portion according to claim 1, or the altered region or the non-magnetic region according to claim 4 is at least one. Alternatively, a total sum of lengths in the track width direction of the concave portion, the altered region, or the nonmagnetic region is 70% or more and 100% or less of the track width.
載の磁気ヘッドにおいて、前記切り欠きまたは前記凹部
または前記変質領域または前記非磁性領域を形成する方
法として、レーザー装置と、前記レーザー装置により照
射する領域を規定するマスクとを用いて、前記金属磁性
膜にレーザー照射することを特徴とする磁気ヘッド製造
方法。6. A magnetic head according to claim 1, wherein said notch, said concave portion, said altered region or said non-magnetic region is formed by a laser device. And a method for irradiating the metal magnetic film with a laser using a mask that defines an area to be irradiated by the laser device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35295296A JPH10177703A (en) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Magnetic head and its production |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35295296A JPH10177703A (en) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Magnetic head and its production |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10177703A true JPH10177703A (en) | 1998-06-30 |
Family
ID=18427582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35295296A Withdrawn JPH10177703A (en) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Magnetic head and its production |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10177703A (en) |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP35295296A patent/JPH10177703A/en not_active Withdrawn
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