JPH10122931A - Cryogenic liquid level gauge - Google Patents
Cryogenic liquid level gaugeInfo
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- JPH10122931A JPH10122931A JP27278196A JP27278196A JPH10122931A JP H10122931 A JPH10122931 A JP H10122931A JP 27278196 A JP27278196 A JP 27278196A JP 27278196 A JP27278196 A JP 27278196A JP H10122931 A JPH10122931 A JP H10122931A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】極低温冷媒への熱侵入量が少なく、安価で信頼
性の高い極低温用液位計を提供する。
【解決手段】取り付けフランジ11bにより真空断熱容
器に固定された測定子と、計測線10bに接続された計
測器9bとからなり、測定子は、高熱伝導率、良電導性
の金属製低温側リード24aと、この一端および他端に
設置されたN型熱電素子22aおよびP型熱電素子18
と、これら熱電素子の対面に設置された高熱伝導率、良
電導性の金属製常温側リード20aと、これらの2個の
常温側リード20aを接続する良電導性の金属製接続リ
ード19とにより閉ループ構成とし、前記熱電素子の両
端部に設置された常温側温度素子21および低温側温度
素子23により検出した温度差を計測器9bで液位に換
算する。
(57) [Problem] To provide an inexpensive and highly reliable liquid level meter for cryogenic use with a small amount of heat entering a cryogenic refrigerant. A measuring element fixed to a vacuum insulated container by a mounting flange and a measuring instrument connected to a measuring line, the measuring element is a metal low-temperature lead having high thermal conductivity and good electrical conductivity. 24a, an N-type thermoelectric element 22a and a P-type thermoelectric element 18 installed at one end and the other end thereof.
And a high-thermal-conductivity, good-conductivity metal room-temperature-side lead 20a installed on the opposite side of these thermoelectric elements, and a good-conductivity metal connection lead 19 for connecting these two room-temperature-side leads 20a. The temperature difference detected by the normal temperature element 21 and the low temperature element 23 installed at both ends of the thermoelectric element is converted into a liquid level by the measuring instrument 9b.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、真空断熱容器内
の液体ヘリウム容器等に注入した液体ヘリウム等の極低
温冷媒の液位を、熱電素子及び温度計を用いて測定する
極低温用液位計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cryogenic liquid level for measuring the liquid level of a cryogenic refrigerant such as liquid helium injected into a liquid helium container or the like in a vacuum insulated container using a thermoelectric element and a thermometer. About the total.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に超電導コイルは、液体ヘリウム等
の極低温冷媒によって冷却されることにより超電導状態
に保持される。従って、超電導コイルは通常真空断熱容
器内の液体ヘリウム容器に注入された液体ヘリウムに浸
漬され収納される。この超電導コイルを励磁するために
は、真空断熱容器に電流リードを組み込み、外部の電源
と接続して励磁電流を通電する必要がある。このとき、
電流リードは常温部と極低温部とを連結することになる
ので、この電流リードを介して極低温部への熱侵入量が
多いと、高価な液体ヘリウムを多量に消費することにな
る。従って、電流リードで発生するジュール発熱を抑制
するとともに、気化した低温のヘリウムガスを流して侵
入熱を抑える方法が採られている。2. Description of the Related Art Generally, a superconducting coil is maintained in a superconducting state by being cooled by a cryogenic refrigerant such as liquid helium. Therefore, the superconducting coil is usually immersed and stored in the liquid helium injected into the liquid helium container in the vacuum insulated container. In order to excite the superconducting coil, it is necessary to incorporate a current lead into the vacuum insulated container and connect an external power supply to supply an exciting current. At this time,
Since the current lead connects the normal temperature part and the cryogenic part, if a large amount of heat enters the cryogenic part via the current lead, a large amount of expensive liquid helium will be consumed. Therefore, a method has been adopted in which Joule heat generated in the current lead is suppressed, and heat intrusion is suppressed by flowing vaporized low-temperature helium gas.
【0003】このように超電導コイルの冷却には、一般
的に液体ヘリウム等の極低温冷媒を使用するが、真空断
熱容器は通常ステンレス鋼等で製作されているため、内
部に注入されている極低温冷媒の液面の位置を外部より
見ることが出来ない。そこで、従来この液位を測定する
方法として、超電導線式、半導体式、静電容量式、浮き
子式、圧力式、音響式、光学式、ゲージ式等が考案され
ている。この中で一般的に使用されている方式として超
電導線式がある。[0003] As described above, a cryogenic refrigerant such as liquid helium is generally used for cooling the superconducting coil. However, since the vacuum insulated container is usually made of stainless steel or the like, the cryogenic refrigerant injected into the inside is used. The position of the liquid level of the low-temperature refrigerant cannot be seen from outside. Therefore, conventionally, as a method of measuring the liquid level, a superconducting wire type, a semiconductor type, a capacitance type, a float type, a pressure type, an acoustic type, an optical type, a gauge type and the like have been devised. Among them, a superconducting wire type is generally used.
【0004】図5は、超電導コイルに接続された電流リ
ードと超電導線式液位計とを含む超電導装置の模式図で
ある。図5において、電流リード3は、一端に電流リー
ド常温端子1を他端に電流リード低温端子4を備え、電
流リード取り付けフランジ2により真空断熱容器5に保
持されている。また、電流リード常温端子1には、図示
されていない外部電源からの接続導体が接続され、電流
リード低温端子4は、真空断熱容器5に内蔵された液体
ヘリウム容器6の内部の液体ヘリウム7に浸漬された超
電導コイル8に接続されている。超電導線式液位計は、
測定子12および計測器9aからなり、これらは計測線
10aにより接続されている。測定子12は取り付けフ
ランジ11aにより真空断熱容器5または液体ヘリウム
容器6に固定され、その測定部は液体ヘリウム7に浸漬
されている。FIG. 5 is a schematic diagram of a superconducting device including a current lead connected to a superconducting coil and a superconducting wire type liquid level meter. In FIG. 5, a current lead 3 has a current lead room temperature terminal 1 at one end and a current lead low temperature terminal 4 at the other end, and is held in a vacuum insulated container 5 by a current lead mounting flange 2. A connection conductor from an external power supply (not shown) is connected to the current lead normal temperature terminal 1, and the current lead low temperature terminal 4 is connected to the liquid helium 7 inside the liquid helium container 6 built in the vacuum heat insulating container 5. It is connected to the immersed superconducting coil 8. Superconducting wire type liquid level meter
It comprises a tracing stylus 12 and a measuring instrument 9a, which are connected by a measuring line 10a. The measuring element 12 is fixed to the vacuum insulated container 5 or the liquid helium container 6 by the mounting flange 11a, and its measuring part is immersed in the liquid helium 7.
【0005】図6は、従来の超電導線式液位計の基本構
成図である。図6において、測定子12は超電導線であ
って、液体ヘリウム容器6に注入された液体ヘリウム7
に浸漬されており、計測用電源14、可変抵抗15およ
び電流計16を用いて測定子12に最適電流を流し、電
圧計13を用いて4端子法で測定した測定子12の抵抗
値から、液体ヘリウム7の液位を測定する。FIG. 6 is a basic configuration diagram of a conventional superconducting wire type liquid level meter. In FIG. 6, a probe 12 is a superconducting wire, and a liquid helium 7 injected into a liquid helium container 6.
, The optimum current is applied to the probe 12 using the measuring power source 14, the variable resistor 15, and the ammeter 16, and the resistance value of the probe 12 measured by the four-terminal method using the voltmeter 13 is The liquid level of the liquid helium 7 is measured.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】この超電導線式液位計
は、連続的に計測ができ、小型で構造が簡単であるが、
液体ヘリウムへの熱侵入量が多いため液体ヘリウムの蒸
発損失が大きく、また磁場印加時には測定誤差も大きく
なる。従って、この発明の目的は、極低温冷媒への熱侵
入量が少なく、安価で信頼性の高い極低温用液位計を提
供することにある。This superconducting wire type liquid level meter can measure continuously, is small and has a simple structure.
Since the amount of heat entering the liquid helium is large, the evaporation loss of the liquid helium is large, and the measurement error increases when a magnetic field is applied. Accordingly, an object of the present invention is to provide an inexpensive and highly reliable liquid level meter for cryogenic use with a small amount of heat entering a cryogenic refrigerant.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、真空断熱容器内の液体ヘリウム
容器等に注入された液体ヘリウム等の極低温冷媒の液位
を測定する極低温用液位計であって、取り付けフランジ
により真空断熱容器に固定された測定子と、計測線によ
り測定子に接続された計測器とからなり、前記測定子
は、熱伝導率が高く良電導性を有する金属例えば銅から
なるU字型の低温側リードと、該低温側リードの一端に
設置されたN型熱電素子と、前記低温側リードの他端に
設置されたP型熱電素子と、これらの前記熱電素子の対
面に設置された熱伝導率が高く良電導性を有する金属例
えば銅からなる常温側リードと、これらの2個の前記常
温側リードを接続する良電導性金属例えば銅からなる接
続リードとにより閉ループ構成とし、前記熱電素子のど
ちらか一方または両方の熱電素子の両端部に設置された
温度素子等の温度計を有する構成とする。According to the present invention, there is provided a cryogenic refrigerant for measuring a liquid level of a cryogenic refrigerant such as liquid helium injected into a liquid helium container or the like in a vacuum insulated container. A level gauge, comprising a measuring element fixed to a vacuum insulated container by a mounting flange and a measuring instrument connected to the measuring element by a measuring wire, wherein the measuring element has a high thermal conductivity and a good electrical conductivity. A U-shaped low-temperature lead made of metal such as copper, an N-type thermoelectric element installed at one end of the low-temperature lead, and a P-type thermoelectric element installed at the other end of the low-temperature lead. A normal-temperature-side lead made of a metal having high thermal conductivity and good electrical conductivity, for example, copper, and a good-conductive metal for connecting these two normal-temperature-side leads, for example, copper, installed on the opposite surface of the thermoelectric element. Closed by connecting lead And-loop configuration, a configuration having a thermometer temperature element or the like which is installed either at both ends of one or both of the thermoelectric element of the thermoelectric elements.
【0008】この構成において、液体ヘリウム容器に液
体ヘリウムを注入すると、低温側リードの接液部が冷却
される。伝導により低温側リードが冷却されると、熱電
素子を挟んで常温側リードとの間に温度差が生じる。こ
の温度差は、熱電素子から液体ヘリウムの液面までの距
離に応じて変化し、液体ヘリウムを注入するにつれてこ
の温度差は大きくなる。従って、この温度差を測定する
ことにより液体ヘリウムの液位がわかる。また熱電素子
は、熱伝導率が低く測定による発熱もない。このよう
に、熱電素子両端の温度差を液位に換算することによ
り、安価で信頼性が高く、極低温冷媒への熱侵入量が少
ない液位計を提供することができる。In this configuration, when liquid helium is injected into the liquid helium container, the liquid contact part of the low-temperature side lead is cooled. When the low-temperature side lead is cooled by conduction, a temperature difference is generated between the low-temperature side lead and the room-temperature side lead across the thermoelectric element. This temperature difference changes according to the distance from the thermoelectric element to the liquid level of liquid helium, and the temperature difference increases as liquid helium is injected. Therefore, the level of the liquid helium can be determined by measuring the temperature difference. Further, the thermoelectric element has a low thermal conductivity and does not generate heat due to measurement. As described above, by converting the temperature difference between both ends of the thermoelectric element into a liquid level, it is possible to provide a liquid level meter that is inexpensive, has high reliability, and has a small amount of heat entering the cryogenic refrigerant.
【0009】また、2個の常温側リードと接続リードと
を一体化して構造を簡素化することにより、安価で信頼
性が高く、極低温冷媒への熱侵入量が少ない液位計を提
供することができる。また、2個の常温側リードと接続
リードと取り付けフランジとを一体化して構造を簡素化
することにより、さらに安価で信頼性が高く、極低温冷
媒への熱侵入量が少ない液位計を提供することができ
る。In addition, the present invention provides a liquid level gauge which is inexpensive, has high reliability, and has a small amount of heat penetrating into the cryogenic refrigerant by simplifying the structure by integrating the two normal temperature side leads and the connection lead. be able to. In addition, by integrating the two normal-temperature side leads, the connection lead, and the mounting flange to simplify the structure, a liquid level gauge is provided that is more inexpensive, has higher reliability, and has less heat penetration into the cryogenic refrigerant. can do.
【0010】また、測定子の外周に、熱伝導率の低い金
属例えばステンレスからなり、通液用及びガス抜き用の
貫通孔をあけた、測定子保護用の保護ケースを設置する
ことにより、取り扱い性を向上するとともに、液体ヘリ
ウムの注入時に生じる擾乱を抑制し、安価で信頼性が高
く、極低温冷媒への熱侵入量が少ない液位計を提供する
ことができる。In addition, a protective case for protecting the probe is provided on the outer periphery of the probe, which is made of a metal having a low thermal conductivity, for example, stainless steel, and has a through hole for liquid passage and gas release. A liquid level meter which improves the performance and suppresses disturbance generated at the time of injecting liquid helium, is inexpensive, has high reliability, and has a small amount of heat penetrating into the cryogenic refrigerant can be provided.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を用
いて説明する。図1は、本発明の第1の実施例である測
定子の縦断面図である。本実施例の極低温用液位計と従
来の液位計との差は、熱電素子からなる測定子にある。
従来例においては、超電導線に通電し4端子法を用いて
抵抗値を測定することにより液位を求めていた。これに
対して本実施例では、熱伝導率が高く良電導性を有する
金属例えば銅からなるU字形の低温側リード24aと、
その低温側リード24aの一端にN型熱電素子22aを
他端にP型熱電素子18をそれぞれ設置し、これらの熱
電素子の対面に設置した熱伝導率が高く良電導性を有す
る金属例えば銅からなる常温側リード20aと、これら
の2個の常温側リード20aを接続する良電導性金属例
えば銅の接続リード19とにより閉ループを構成する。
そしてN型熱電素子22aまたはP型熱電素子18のど
ちらか一方または両方の熱電素子の常温側に設置した常
温側温度素子21と、低温側に設置した低温側温度素子
23を用いて、常温側温度素子21と低温側温度素子2
3との温度差を計測線10bを介して計測器9bに入力
し、計測器9bにより液位に換算する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a tracing stylus according to a first embodiment of the present invention. The difference between the cryogenic liquid level meter of the present embodiment and the conventional liquid level meter lies in the measuring element composed of a thermoelectric element.
In the conventional example, the liquid level was obtained by applying a current to the superconducting wire and measuring the resistance value using a four-terminal method. On the other hand, in the present embodiment, a U-shaped low-temperature side lead 24a made of a metal having high thermal conductivity and good electrical conductivity, for example, copper,
An N-type thermoelectric element 22a is provided at one end of the low-temperature side lead 24a, and a P-type thermoelectric element 18 is provided at the other end, and a metal having high thermal conductivity and good conductivity, such as copper, is provided on the opposite side of these thermoelectric elements. A closed loop is formed by the normal temperature side lead 20a and the connection lead 19 made of a highly conductive metal such as copper for connecting the two normal temperature side leads 20a.
Then, using the room temperature element 21 installed on the room temperature side of one or both of the N-type thermoelectric element 22a and the P-type thermoelectric element 18 and the low temperature side element 23 installed on the low temperature side, the room temperature side is used. Temperature element 21 and low temperature element 2
3 is input to the measuring device 9b via the measuring line 10b, and converted into a liquid level by the measuring device 9b.
【0012】図2は、本発明の第2の実施例である測定
子の縦断面図である。図2においては、極低温用液位計
の測定子を構成している2個の常温側リードおよび接続
リードと、取り付けフランジとを一体化して常温側リー
ド20bとし、構造を簡単化している。図3は、本発明
の第3の実施例である測定子の縦断面図である。図3に
おいては、N型熱電素子22bとP型熱電素子18と低
温側リード24cとを同心円上に設置することにより、
省スペース化を行っている。また、低温側リード24c
は通液用およびガス抜き用の貫通孔25を有している。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a tracing stylus according to a second embodiment of the present invention. In FIG. 2, two normal-temperature-side leads and connection leads constituting a measuring element of the cryogenic liquid level meter and a mounting flange are integrated into a normal-temperature-side lead 20b to simplify the structure. FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a tracing stylus according to a third embodiment of the present invention. In FIG. 3, the N-type thermoelectric element 22b, the P-type thermoelectric element 18, and the low-temperature side lead 24c are arranged concentrically,
Saves space. Also, the low temperature side lead 24c
Has a through hole 25 for liquid passage and gas release.
【0013】図4は、本発明の第4の実施例である測定
子の縦断面図である。図4においては、測定子の外周に
熱伝導率の低い金属例えばステンレスからなる、通液用
およびガス抜き用の貫通孔25のあいた、測定子を保護
するための保護ケース26を設置しているFIG. 4 is a longitudinal sectional view of a probe according to a fourth embodiment of the present invention. In FIG. 4, a protective case 26 for protecting the probe is provided on the outer periphery of the probe, which is made of a metal having a low thermal conductivity, such as stainless steel, and has a through hole 25 for liquid passage and gas release.
【0014】[0014]
【発明の効果】本発明は前述のように、測定子の構成要
素の1部である熱電素子の両端部に設置した温度素子等
の温度計を用いて、常温側温度素子と低温側温度素子と
の温度差を測定し、液体ヘリウムの液位に換算している
ので、測定子による発熱がなく、また熱伝導率の低い熱
電素子を使用しているため、外部から極低温冷媒への熱
侵入量も少なくなり、安価で信頼性の高い液位計を提供
することができる。As described above, according to the present invention, a normal temperature element and a low temperature element are used by using thermometers such as temperature elements installed at both ends of a thermoelectric element which is a part of a measuring element. Is measured and converted to the liquid level of liquid helium, so there is no heat generated by the probe, and since a thermoelectric element with low thermal conductivity is used, heat from the outside to the cryogenic refrigerant The amount of intrusion is reduced, and an inexpensive and highly reliable liquid level meter can be provided.
【0015】また、測定子を構成している2個の常温側
リードと接続リードとを一体化し構造を簡素化すること
により、安価で信頼性の高い、極低温冷媒への熱侵入量
の少ない液位計を提供することができる。また、測定子
を構成している2個の常温側リードおよび接続リード
と、取り付けフランジとを一体化し構造を簡素化するこ
とにより、さらに安価で信頼性の高い、極低温冷媒への
熱侵入量の少ない液位計を提供することができる。In addition, by integrating the two normal-temperature side leads and the connection leads constituting the tracing stylus to simplify the structure, it is inexpensive, highly reliable, and has a small amount of heat entering the cryogenic refrigerant. A level gauge can be provided. In addition, by integrating the two normal temperature side leads and the connection leads constituting the probe and the mounting flange to simplify the structure, the amount of heat infiltration into the cryogenic refrigerant, which is cheaper and more reliable, is improved. Level can be provided.
【0016】また、測定子の外周に熱伝導率の低い金属
例えばステンレスからなる、通液用およびガス抜き用の
貫通孔のあいた、測定子を保護するための保護ケースを
設置することにより、取り扱い性が向上するとともに、
液体ヘリウムの注入時に生じる擾乱を抑制し、安価で信
頼性の高い、極低温冷媒への熱侵入量の少ない液位計を
提供することができる。Further, by handling a protective case for protecting the probe, which is made of a metal having a low thermal conductivity, for example, stainless steel and has a through-hole for liquid passage and gas release, is provided around the probe. Performance is improved,
It is possible to provide an inexpensive and highly reliable liquid level meter with a small amount of heat penetrating into the cryogenic refrigerant, which suppresses disturbance generated when liquid helium is injected.
【図1】この発明の第1の実施例を示す測定子の縦断面
図。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a tracing stylus showing a first embodiment of the present invention.
【図2】この発明の第2の実施例を示す測定子の縦断面
図。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a tracing stylus showing a second embodiment of the present invention.
【図3】この発明の第3の実施例を示す測定子の縦断面
図。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a tracing stylus showing a third embodiment of the present invention.
【図4】この発明の第4の実施例を示す測定子の縦断面
図。FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a tracing stylus showing a fourth embodiment of the present invention.
【図5】一般的な超電導装置の模式図。FIG. 5 is a schematic view of a general superconducting device.
【図6】従来の超電導線式液位計の基本構成図。FIG. 6 is a basic configuration diagram of a conventional superconducting wire type liquid level meter.
1…電流リード常温端子、2…電流リード取り付けフラ
ンジ、3…電流リード、4…電流リード低温端子、5…
真空断熱容器、6…液体ヘリウム容器、7…液体ヘリウ
ム、8…超電導コイル、9a,9b…計測器、10a,
10b…計測線、11a,11b…取り付けフランジ、
12…測定子、18…P型熱電素子、19…接続リー
ド、20a,20b…常温側リード、21…常温側温度
素子、22a,22b…N型熱電素子、23…低温側温
度素子、24a,24b,24c…低温側リード、25
…貫通孔、26…保護ケース。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Current lead normal temperature terminal, 2 ... Current lead mounting flange, 3 ... Current lead, 4 ... Current lead low temperature terminal, 5 ...
Vacuum insulated container, 6: liquid helium container, 7: liquid helium, 8: superconducting coil, 9a, 9b: measuring instrument, 10a,
10b: measurement line, 11a, 11b: mounting flange,
12: measuring element, 18: P-type thermoelectric element, 19: connection lead, 20a, 20b: normal temperature side lead, 21: normal temperature side temperature element, 22a, 22b: N-type thermoelectric element, 23: low temperature side temperature element, 24a, 24b, 24c: low-temperature side lead, 25
... through-hole, 26 ... protective case.
Claims (4)
入された液体ヘリウム等の極低温冷媒の液位を測定する
極低温用液位計であって、取り付けフランジにより真空
断熱容器に固定された測定子と、計測線により測定子に
接続された計測器とからなり、前記測定子は、熱伝導率
が高く良電導性を有する金属からなるU字型の低温側リ
ードと、前記低温側リードの一端に設置されたN型熱電
素子と、前記低温側リードの他端に設置されたP型熱電
素子と、これらの前記熱電素子の対面に設置された熱伝
導率が高く良電導性を有する金属からなる常温側リード
と、これらの2個の前記常温側リードを接続する良電導
性金属からなる接続リードとにより閉ループ構成とし、
前記熱電素子のどちらか一方または両方の熱電素子の両
端部に設置された温度素子等の温度計を有することを特
徴とする極低温用液位計。1. A cryogenic liquid level meter for measuring the liquid level of a cryogenic refrigerant such as liquid helium injected into a liquid helium container or the like in a vacuum insulated container, which is fixed to the vacuum insulated container by a mounting flange. Measuring element, and a measuring instrument connected to the measuring element by a measuring wire, the measuring element has a U-shaped low-temperature side lead made of a metal having high thermal conductivity and good electrical conductivity, and the low-temperature side An N-type thermoelectric element installed at one end of the lead, a P-type thermoelectric element installed at the other end of the low-temperature side lead, and a high thermal conductivity installed on the opposite surface of these thermoelectric elements to provide high conductivity. A closed-loop configuration comprising a room-temperature-side lead made of a metal having a connection lead made of a highly conductive metal connecting these two room-temperature-side leads,
A cryogenic liquid level meter having a thermometer such as a temperature element installed at both ends of one or both of the thermoelectric elements.
て、2個の常温側リードと接続リードとを一体化したこ
とを特徴とする極低温用液位計。2. The cryogenic liquid level meter according to claim 1, wherein two normal temperature side leads and a connection lead are integrated.
て、2個の常温側リードと接続リードと取り付けフラン
ジとを一体化したことを特徴とする極低温用液位計。3. The cryogenic liquid level meter according to claim 1, wherein two normal temperature side leads, a connection lead, and a mounting flange are integrated.
液位計において、測定子の外周に、熱伝導率の低い金属
からなる、通液用及びガス抜き用の貫通孔のあいた、測
定子保護用の保護ケースを設置したことを特徴とする極
低温用液位計。4. A liquid level meter for cryogenic use according to claim 1, wherein a through hole made of a metal having a low thermal conductivity is provided on the outer periphery of the measuring element. A liquid level meter for cryogenic use, comprising a protective case for protecting a probe.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27278196A JPH10122931A (en) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | Cryogenic liquid level gauge |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27278196A JPH10122931A (en) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | Cryogenic liquid level gauge |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10122931A true JPH10122931A (en) | 1998-05-15 |
Family
ID=17518668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP27278196A Pending JPH10122931A (en) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | Cryogenic liquid level gauge |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10122931A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011153842A (en) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Unimation System Inc | Submergence detection sensor |
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1996
- 1996-10-16 JP JP27278196A patent/JPH10122931A/en active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011153842A (en) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Unimation System Inc | Submergence detection sensor |
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