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JPH10107356A - 偏光制御素子および固体レーザー - Google Patents

偏光制御素子および固体レーザー

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JPH10107356A
JPH10107356A JP8258935A JP25893596A JPH10107356A JP H10107356 A JPH10107356 A JP H10107356A JP 8258935 A JP8258935 A JP 8258935A JP 25893596 A JP25893596 A JP 25893596A JP H10107356 A JPH10107356 A JP H10107356A
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control element
polarization control
crystal
laser
polarization
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JP8258935A
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Akinori Harada
明憲 原田
Chiaki Goto
千秋 後藤
Hiroaki Hiuga
浩彰 日向
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Priority to US08/940,974 priority patent/US6028869A/en
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 直線偏光した単一縦モードのレーザービーム
を発生させることができ、かつ、温度変化に対する出力
安定性が高い固体レーザーを得る。 【解決手段】 固体レーザー媒質であるNd:YAG結
晶13の端面13aと共振器ミラー14とで構成される共振器
内に、複屈折性を有する結晶がアングル・カットされて
なり、かつファブリー・ペロー型のエタロンとしての機
能を有するようにその厚さおよび端面反射率が調整され
ている偏光制御素子15を配置する。そしてこの偏光制御
素子15の厚さを、偏光の向きが相直交する2つのレーザ
ー発振モードのそれぞれに対する選択波長が相異なるよ
うに設定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、直線偏光した単一
縦モードのレーザービームを得るための偏光制御素子に
関するものである。
【0002】また本発明は、偏光制御素子を共振器内に
備えて、直線偏光した単一縦モードのレーザービームを
発生させる固体レーザーに関するものである。
【0003】
【従来の技術】例えば特開昭62−189783号に示
されるように、ネオジウムなどの希土類が添加された固
体レーザー結晶を半導体レーザー等によってポンピング
する固体レーザーが公知となっている。またこの種の固
体レーザーにおいては、より短波長のレーザービームを
得るために、その共振器内に非線形光学材料の結晶を配
置して、固体レーザービームを第2高調波等に波長変換
することも広く行なわれている。
【0004】ところで、上述のような固体レーザーに対
しては、その他の種類のレーザー装置と同様、直線偏光
のレーザービームや、直線偏光でかつ単一縦モードのレ
ーザービームを発生させたいという要求がある。しか
し、固体レーザー媒質としてYAGのように光学的に等
方な結晶を使用する場合は、そのままでは直線偏光した
レーザービームを得ることはできない。そこでそのよう
な場合、従来は、直線偏光したレーザービームを得るた
めに共振器内に偏光制御用ブリュスター板を配置した
り、また直線偏光でかつ単一縦モードのレーザービーム
を得るために共振器内にブリュスター板とエタロンを配
置する等の手法が採用されていた。
【0005】ところが上記のブリュスター板は、光学研
磨面の面精度の不完全性、光学研磨面のブリュスター角
からの僅かなずれ、さらにはその表面および内部におけ
る散乱のために、大きな共振器挿入ロスを招くことが認
められている。またエタロンもブリュスター板ほどでは
ないが、その表面および内部における散乱のために共振
器挿入ロスを招く。このようにして大きな共振器挿入ロ
スが生じると、固体レーザーの発振効率が低下してしま
う。
【0006】また、特に共振器内にブリュスター板とエ
タロンとが配置される場合は、これら2つの光学素子の
部品コスト、調整コストが高くつき、ひいては固体レー
ザーのコストアップにつながる。
【0007】このような問題を解決できる偏光制御素子
として、特開平6−130328号に示されるものが知
られている。この偏光制御素子は、複屈折性を有する結
晶がいわゆるアングル・カット、すなわちその光学軸に
対して光入、出射端面が角度をなすようにカットされ、
かつ、ファブリー・ペロー型のエタロンとして機能する
ように該結晶の厚さおよび端面反射率が調整されてなる
ものである。
【0008】この偏光制御素子に光が入射すると、その
常光線と異常光線とが分離される。そこでこの偏光制御
素子をレーザー共振器内に配しておくと、共振器ミラー
の位置に応じて、これら2つの光線のうちの一方のみが
選択されて発振する。それにより、共振器から出射する
レーザービームは直線偏光したものとなる。またその
際、エタロンとしても機能するこの素子により発振波長
が選択されて、レーザービームが単一縦モード化され
る。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】この複屈折性結晶から
なる偏光制御素子は、先に述べたブリュスター板と比較
すると共振器挿入ロスが小さいので、この偏光制御素子
を備えた固体レーザーは発振効率が高いものとなり得
る。
【0010】しかしその半面この偏光制御素子を備えた
固体レーザーにおいては、共振器ミラーの位置を調整し
て、直線偏光で単一縦モード、単一横モード発振させた
とき、その温度(共振器温度や、ポンピング源としての
半導体レーザー等の温度)が変化すると、ある温度領域
で、本来の偏光方向と直交する方向に偏光した高次横モ
ードが発振することがある。
【0011】この高次横モードが発振すると、直線偏光
特性が劣化し、また特にレーザービームを光波長変換素
子によって波長変換する場合は、波長変換波の出力が低
下してしまう。
【0012】そこで本発明は、レーザービームを直線偏
光させ、かつ単一縦モード、単一横モード化するために
使用されたとき、温度変化によって高次横モードが発振
することを防止できる偏光制御素子を提供することを目
的とするものである。
【0013】また本発明は、直線偏光でかつ単一縦モー
ドのレーザービームを発生させることができ、また共振
器挿入ロスが極力抑えられて発振効率が高く、その上、
広い温度範囲において直線偏光特性、出力安定性の高い
固体レーザーを提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明による偏光制御素
子は、前述したように複屈折性を有する結晶がアングル
・カットされ、かつファブリー・ペロー型のエタロンと
して機能するようにその厚さおよび端面反射率が調整さ
れてなる偏光制御素子において、複屈折性を有する結晶
の厚さが、偏光の向きが相直交する2つのレーザー発振
モードのそれぞれに対する選択波長が相異なるように設
定されていることを特徴とするものである。
【0015】また本発明による固体レーザーは、上記構
成の偏光制御素子が共振器内に配置されていることを特
徴とするものである。
【0016】
【発明の効果】上記の複屈折性結晶からなる偏光制御素
子を固体レーザーの共振器内に配したとき、レーザービ
ームの偏光状態および縦モードが制御される仕組みは、
先に述べた通りである。
【0017】そして、上記結晶の厚さが、偏光の向きが
相直交する2つのレーザー発振モードのそれぞれに対す
る選択波長が相異なるように設定されていると、つまり
例えば、常光に対してはレーザーの利得ピークに合致す
るように結晶厚さが設定されていると、その場合は異常
光に対するエタロン・ロスが大きくなる。これにより異
常光の発振が抑制されるので、温度変化によって高次横
モードが発振することがなくなり、広い温度範囲におい
て直線偏光特性、出力安定性の高いレーザーが得られる
ようになる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明の1つの実
施形態によるレーザーダイオードポンピング固体レーザ
ーを示すものである。このレーザーダイオードポンピン
グ固体レーザーは、ポンピング光としてのレーザービー
ム10を発する半導体レーザー11と、発散光である上記レ
ーザービーム10を集束させる集光レンズ12と、ネオジウ
ム(Nd)がドーピングされた固体レーザー媒質である
YAG結晶(以下、Nd:YAG結晶と称する)13と、
このNd:YAG結晶13の前方側(図中右方側)に配さ
れた共振器ミラー14と、この共振器ミラー14とNd:Y
AG結晶13との間に配された偏光制御素子15と、この偏
光制御素子15とNd:YAG結晶13との間に配された光
波長変換素子20とからなる。
【0019】以上の各要素は、図示しない共通の筐体に
マウントされて一体化されている。また後述のようにN
d:YAG結晶13と共振器ミラー14とで固体レーザーの
共振器が構成されるが、この共振器部分と半導体レーザ
ー11は、図示しないペルチェ素子と温調回路とにより所
定温度に保たれる。
【0020】半導体レーザー11としては、波長809 nm
のレーザービーム10を発する出力400 mWのものが用い
られている。またNd:YAG結晶13はNd濃度が1at
m %で、厚さが1mmのものである。このNd:YAG
結晶13は入射したレーザービーム10によってネオジウム
・イオンが励起されて、波長946 nmの光を発する。共
振器ミラー14は、ミラー面14aの曲率半径が20mmのも
のである。光波長変換素子20は一例として、周期ドメイ
ン反転構造を有するLiNbO3 のバルク結晶(結晶長
3mm)からなる。
【0021】一方偏光制御素子15は複屈折性を有する方
解石の結晶からなり、図2に詳しく示す通りその両端面
15a、15bが光学軸に対して46.7°の角度をなす状態に
して、厚さ0.8 mmにカットされている。
【0022】ここでNd:YAG結晶13の両端面13aお
よび13bと、共振器ミラー14のミラー面14aおよび光出
射端面14bと、偏光制御素子15の両端面15aおよび15b
の、以上挙げた波長、Nd:YAG結晶13の別の発振線
1064nm、1300nm、並びに後述の第2高調波波長473
nmに対する反射率あるいは透過率は、適宜のコーティ
ングを施すことにより下表の通りに調整されている。な
おこの表中、Rは反射率を、Tは透過率を示しており、
それらの数値の単位は%である。
【0023】 13a 13b 14a 14b 15a 15b 809nm T≧85 R≦2 − − − − 946nm R≧99.9 R≦0.1 R≧99.9 R≦0.2 R=10 R=10 1064nm T≧30 R≦10 T≧30 R≦10 − − 1300nm T≧70 R≦25 T≧70 R≦25 − − 473nm R≧98 R≦10 T≧93 R≦0.3 R≦1 R≦1 また、光波長変換素子20の両端面20a、20bの反射率
は、以下の通りである。 上記の構成においては、偏光制御素子15の両端面15a、
15b間に波長946 nmの定在波が生じ、この波長946 n
mの光のみがNd:YAG結晶端面13aとミラー面14a
との間で強く共振してレーザービーム16が得られる。こ
のようにして単一縦モード化されたレーザービーム16
は、光波長変換素子20により波長が1/2、すなわち47
3 nmの第2高調波21に変換される。波長946 nmのレ
ーザービーム16は共振器ミラー14のミラー面14aをほと
んど透過せず、その一方波長473 nmの第2高調波21の
一部がこのミラー面14aを透過して、光出射端面14bか
ら出射する。
【0024】このように本実施形態では、偏光制御素子
15の両端面15aおよび15bに適宜のコーティングを施し
て該素子15をファブリー・ペロー型のエタロンとしても
機能させているが、このようなコーティングによらず、
偏光制御素子15を構成する結晶自身のフレネル反射を利
用して同様の機能を得ることも可能である。なお本実施
形態では、Nd:YAG結晶端面13aとミラー面14aと
の間の距離、すなわち共振器長は10mmである。
【0025】また、光学的に等方なNd:YAG結晶13
から出射した波長946 nmのレーザービーム16は、図2
に示すように、複屈折性を有する偏光制御素子15におい
て常光線16Aと異常光線16Bとに分離される。そこで共
振器ミラー14を、これら常光線16Aと異常光線16Bの分
離方向に適当に位置調整することにより、常光線16Aと
異常光線16Bの一方のみを発振させることができる。こ
のようにしてレーザービーム16は、直線偏光したものと
なる。
【0026】上記レーザービーム16を波長変換して得ら
れた第2高調波21も直線偏光で、かつ単一縦モードであ
ることが確認され、その出力は6mWである。この第2
高調波出力は、偏光制御素子15に代えて従来のようにブ
リュスター板とエタロンとを配置した場合の出力に比べ
て、約2倍と高いものである。
【0027】なお上記の構成において、周期ドメイン反
転構造を有するLiNbO3 結晶からなる光波長変換素
子20の非線形光学定数d33を利用する場合は、基本波と
しての波長946 nmのレーザービーム16の直線偏光方向
をLiNbO3 結晶のz軸方向と一致させる必要があ
る。そこで、図1に示すように光波長変換素子20および
偏光制御素子15が配置される場合は、常光線のみが発振
するように共振器ミラー14を位置調節すればよい。
【0028】ここで一般的に、複屈折性を有する結晶の
光学軸と入射光のなす角度をθ、常光線と異常光線との
なす角度をρ、結晶の常光線、異常光線に対する屈折率
をそれぞれno 、ne とすると、
【0029】
【数1】
【0030】であり、したがって結晶の厚さがtのとき
の常光線と異常光線の分離幅dは、
【0031】
【数2】
【0032】となる。この分離幅dは大きい方が好まし
い。
【0033】偏光制御素子15を構成する方解石は、他の
複屈折性結晶と比較して屈折率そのものが低い上に、複
屈折性(屈折率no とne との差)も大きい。そのた
め、上記分離幅dが大きく取れるので、本発明の偏光制
御素子を構成する上で極めて好適な材料であると言え
る。
【0034】一般に、複屈折性を有する結晶の屈折率楕
円体は下記の式で与えられる。なおこの式においてneo
は、z軸とx(y)軸との中間的な方向についての屈折
率である。
【0035】
【数3】
【0036】偏光制御性を得るために本例では、方解石
をその劈開面を利用して、図2に示すようにθ=46.7°
でアングル・カットして偏光制御素子15とする。方解石
の波長946 nmに対する屈折率はno =1.6448、ne
1.4806であるから、この場合の屈折率neoは(数3)式
よりneo=1.5514となる。
【0037】一方、エタロンの厚さtと選択波長の関係
は、屈折率no を感じる方向(以下これをno 方向とい
う)の偏光と、屈折率neoを感じる方向(以下これをn
eo方向という)の偏光に関してそれぞれ、 no 方向偏光: 2no t=mo λo ……(4) neo方向偏光: 2neot=meoλeo ……(5) ただしmo とmeoは整数、λo とλeoは選択波長とな
る。
【0038】946 nm発振のYAGレーザーにおいて、
第2エタロンモードが発振しないようにするには、エタ
ロンのFSR(Free Spectral Range )を基本的にYA
Gの利得幅0.8 nmと同等の0.8 nmとする必要があ
る。偏光制御素子15をこのようにFSR=0.8 nmのエ
タロンとし、それを方解石から作成する場合、エタロン
厚さ(偏光制御素子15の厚さ)は350 μm付近の値とな
る。
【0039】このとき、上記(4)、(5)式から定ま
るエタロン選択波長λo 、λeoが図3のように互いに一
致するエタロン厚さは、約5μm周期で344 μm、349
μm、354 μmとなる。
【0040】これに対して、5μm周期の半周期の2.5
μmずれた346.5 μm、351.5 μm、356.5 μmのエタ
ロン厚さであれば、図4に示すようにエタロン選択波長
λo、λeoがFSR=0.8 nmの1/2の0.4 nmだけ
互いにずれる状態となる。この状態を得るために本実施
形態においては、偏光制御素子15の厚さを一例として35
1.5 μmに設定してあるが、それに限らず356.5 μmあ
るいは346.5 μmとしてもよい。
【0041】ここで、従来装置のようにエタロン選択波
長λo 、λeoが互いに一致する場合(図3の状態)に
は、ある温調温度下で光波長変換素子20の周期ドメイン
反転構造と位相整合する偏光方向(no 方向)と直交す
る偏光方向(neo方向)の高次横モードが発振し、前者
の偏光方向を有する発振光つまり常光線16Aのパワーが
低下する。このため、温調温度に対する第2高調波出力
特性は、図5に概略を示すように不安定な状態となる。
【0042】それに対して本発明の場合、すなわちエタ
ロン選択波長λo 、λeoが相異なる場合(図4の状態)
は、no 方向の偏光についての選択波長λo がYAGの
利得ピークに合致するようにエタロンを選択して単一縦
モード化を図ると、λeo方向の偏光に対するエタロン選
択波長ではYAGの利得が外れて、この偏光の発振が抑
圧され、常にno 方向の偏光つまり常光線16Aのみが発
振するようになる。そこでこの場合は図6に概略を示す
ように、温調温度が変化しても第2高調波の出力は安定
する。
【0043】上述したように、946 nm発振のYAGレ
ーザーにおいて、第2エタロンモードが発振しないよう
にするには、エタロンのFSRを、基本的にYAGの利
得幅0.8 nmと同等の0.8 nmとする必要がある。この
ときneo方向とno 方向のエタロン選択波長の差は、最
大でFSR0.8 nmの50%つまり0.4 nmまでとること
ができる(図4の場合に相当)。ただし、neo方向とn
o 方向のエタロン選択波長の差が少なくとも0.2 nm
(FSR0.8 nmの25%)とれれば、neo方向に対する
YAGの利得が半分以下となり、neo方向の発振を十分
に抑圧することができる。
【0044】なお本発明の偏光制御素子を形成する材料
としては、以上挙げた方解石の他、LiNbO3 、ルチ
ル、水晶、YVO4 等も使用可能であり、特に波長変換
も可能な非線形光学効果を示す材料としてはKTiOP
4 (KTP)、KNbO3、LiNbO3 さらにはL
iTaO3 等が使用可能である。
【0045】また以上、レーザー結晶としてNd:YA
G結晶を用いた946 nm発振の波長変換レーザーについ
て述べたが、Nd:YAG結晶を用いた別の発振線、例
えば1064nm、1300nmの発振線についても、同様にし
て単一縦モード化および偏光制御を行ない、その上で温
度変化に対する出力安定化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一つの実施形態である固体レーザーを
示す側面図
【図2】図1の固体レーザーに用いられた偏光制御素子
を詳しく示す側面図
【図3】従来装置における固体レーザーの利得とエタロ
ン選択波長との関係を示すグラフ
【図4】図1の装置における固体レーザーの利得とエタ
ロン選択波長との関係を示すグラフ
【図5】従来装置におけるレーザー出力と温度との概略
関係を示すグラフ
【図6】図1の装置におけるレーザー出力と温度との概
略関係を示すグラフ
【符号の説明】
10 レーザービーム(ポンピング光) 11 半導体レーザー 12 集光レンズ 13 Nd:YAG結晶 14 共振器ミラー 15 偏光制御素子 16 固体レーザービーム 16A 常光線 16B 異常光線 20 光波長変換素子 21 第2高調波

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複屈折性を有する結晶が、その光学軸に
    対して光入、出射端面が角度をなすようにカットされ、
    かつファブリー・ペロー型のエタロンとして機能するよ
    うにその厚さおよび端面反射率が調整されてなり、レー
    ザーの偏光方向および縦モードを制御する偏光制御素子
    において、 前記結晶の厚さが、偏光の向きが相直交する2つのレー
    ザー発振モードのそれぞれに対する選択波長が相異なる
    ように設定されていることを特徴とする偏光制御素子。
  2. 【請求項2】 前記2つのレーザー発振モードのそれぞ
    れに対する選択波長の差が、エタロンのFSR(Free S
    pectral Range )の25%以上あることを特徴とする請
    求項1記載の偏光制御素子。
  3. 【請求項3】 前記結晶が方解石の結晶であることを特
    徴とする請求項1または2記載の偏光制御素子。
  4. 【請求項4】 請求項1、2または3記載の偏光制御素
    子が共振器内に配置されていることを特徴とする固体レ
    ーザー。
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