JPH1010170A - インピーダンス測定装置 - Google Patents
インピーダンス測定装置Info
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- JPH1010170A JPH1010170A JP16724096A JP16724096A JPH1010170A JP H1010170 A JPH1010170 A JP H1010170A JP 16724096 A JP16724096 A JP 16724096A JP 16724096 A JP16724096 A JP 16724096A JP H1010170 A JPH1010170 A JP H1010170A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】４端子対測定法のインピーダンス測定装置の電
圧測定端子と測定対象及び電流測定端子と測定対象との
間の接触抵抗に、ケーブルの静電容量が負荷になって測
定誤差を生じる。この誤差を除き、高周波で再現性の良
い高精度の測定を実現させる。 【解決手段】Ｈｐ測定端子２０と電圧測定部間をトライ
アキシャル・ケーブル２４で接続する。増幅回路２３の
作用で該ケーブルの中間導体を中心導体と同電位に保
ち、中心導体と中間導体間の静電容量の効果を除去す
る。Ｌｃ測定端子４０の場合も同様に、増幅回路３２の
作用で同軸ケーブル４４及び４５の外部導体を中心導体
と同電位に保つことにより該ケーブルの静電容量の効果
を除去する。
圧測定端子と測定対象及び電流測定端子と測定対象との
間の接触抵抗に、ケーブルの静電容量が負荷になって測
定誤差を生じる。この誤差を除き、高周波で再現性の良
い高精度の測定を実現させる。 【解決手段】Ｈｐ測定端子２０と電圧測定部間をトライ
アキシャル・ケーブル２４で接続する。増幅回路２３の
作用で該ケーブルの中間導体を中心導体と同電位に保
ち、中心導体と中間導体間の静電容量の効果を除去す
る。Ｌｃ測定端子４０の場合も同様に、増幅回路３２の
作用で同軸ケーブル４４及び４５の外部導体を中心導体
と同電位に保つことにより該ケーブルの静電容量の効果
を除去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインピーダンス等の回路
定数や材料の特性を、特に高周波広帯域で測定するイン
ピーダンス測定装置に関する。
定数や材料の特性を、特に高周波広帯域で測定するイン
ピーダンス測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の４端子対インピーダンス測定装置
の基本構成を図３に示す。測定信号源１３の測定電流
が、抵抗１２及び同軸ケーブル１１を経由してＨｃ測定
端子１０から測定対象６０の１つの端子６１へ供給され
る。測定電流は、測定対象６０のもう一方の端子６２か
らＬｃ測定端子４０に流れ、同軸ケーブル４１を経由し
て電流計４２で測定される。
の基本構成を図３に示す。測定信号源１３の測定電流
が、抵抗１２及び同軸ケーブル１１を経由してＨｃ測定
端子１０から測定対象６０の１つの端子６１へ供給され
る。測定電流は、測定対象６０のもう一方の端子６２か
らＬｃ測定端子４０に流れ、同軸ケーブル４１を経由し
て電流計４２で測定される。
【０００３】一方測定対象の端子６２の電位が、Ｌｐ測
定端子３０から同軸ケーブル３１を介して、Ｌｐ増幅回
路３２の反転入力に印加されている。またＬｐ増幅回路
３２の非反転入力は同軸ケーブルの外部導体に接続され
ている。Ｌｐ増幅回路３２の出力が、可変電流源４３を
制御して、測定対象の端子６２の電位を増幅回路３２の
非反転入力の電位に等しくする。すなわち端子６２の電
位が、同軸ケーブルの外部導体の電位に保持される。同
軸ケーブルの外部導体は互いに接続され、その電位はイ
ンピーダンス測定装置のグランド電位である。グランド
電位は、グランド端子６３から外部に出力されている。
定端子３０から同軸ケーブル３１を介して、Ｌｐ増幅回
路３２の反転入力に印加されている。またＬｐ増幅回路
３２の非反転入力は同軸ケーブルの外部導体に接続され
ている。Ｌｐ増幅回路３２の出力が、可変電流源４３を
制御して、測定対象の端子６２の電位を増幅回路３２の
非反転入力の電位に等しくする。すなわち端子６２の電
位が、同軸ケーブルの外部導体の電位に保持される。同
軸ケーブルの外部導体は互いに接続され、その電位はイ
ンピーダンス測定装置のグランド電位である。グランド
電位は、グランド端子６３から外部に出力されている。
【０００４】測定対象６０の端子６１の電位は、Ｈｐ測
定端子２０から同軸ケーブル２１を介して電圧計２２で
測定される。前述のように端子６２の電位がグランド電
位に保たれるので、電圧計２２は測定対象６０の両端に
印加される電圧を測定することになる。したがって該電
圧測定値と電流計４２の測定値の比から所望のインピー
ダンス測定値を求めることができる。
定端子２０から同軸ケーブル２１を介して電圧計２２で
測定される。前述のように端子６２の電位がグランド電
位に保たれるので、電圧計２２は測定対象６０の両端に
印加される電圧を測定することになる。したがって該電
圧測定値と電流計４２の測定値の比から所望のインピー
ダンス測定値を求めることができる。
【０００５】４端子対測定法は、４つの測定端子の接触
抵抗の影響を受けないすぐれた測定方法である。しかし
測定周波数が高くなると、Ｈｐ測定端子２０の同軸ケー
ブル２１及びＬｃ測定端子４０の同軸ケーブル４１の中
心導体と外部導体間の静電容量と接触抵抗が測定誤差を
発生させる。
抵抗の影響を受けないすぐれた測定方法である。しかし
測定周波数が高くなると、Ｈｐ測定端子２０の同軸ケー
ブル２１及びＬｃ測定端子４０の同軸ケーブル４１の中
心導体と外部導体間の静電容量と接触抵抗が測定誤差を
発生させる。
【０００６】図４に、測定対象の端子６１とＨｐ測定端
子２０との接触抵抗２７及び同軸ケーブル２１の静電容
量２８が構成する等価回路を示し、これらが電圧測定に
誤差を与えることを以下に述べる。以後、この静電容量
のインピーダンスを「ケーブルのシャントインピーダン
ス」と呼ぶことにする。
子２０との接触抵抗２７及び同軸ケーブル２１の静電容
量２８が構成する等価回路を示し、これらが電圧測定に
誤差を与えることを以下に述べる。以後、この静電容量
のインピーダンスを「ケーブルのシャントインピーダン
ス」と呼ぶことにする。
【０００７】周波数が低いときは同軸ケーブルのシャン
トインピーダンス２８が十分高く、Ｈｐ測定端子２０と
測定対象の端子６１間の接触抵抗２７で電圧２２の読み
が降下する事はない。ところが周波数が高くなるにつれ
ケーブルのシャントインピーダンス２８は低くなり、こ
れと接触抵抗２７の間で分圧が生じる。この分圧によっ
て、電圧計２２の電圧測定に誤差を生じる。
トインピーダンス２８が十分高く、Ｈｐ測定端子２０と
測定対象の端子６１間の接触抵抗２７で電圧２２の読み
が降下する事はない。ところが周波数が高くなるにつれ
ケーブルのシャントインピーダンス２８は低くなり、こ
れと接触抵抗２７の間で分圧が生じる。この分圧によっ
て、電圧計２２の電圧測定に誤差を生じる。
【０００８】図５に、測定対象の端子６２とＬｃ測定端
子４０との接触抵抗５３及び同軸ケーブル４１の静電容
量（シャントインピーダンス）５４が構成する等価回路
を示し、これらが電流測定に誤差を与えることを以下に
述べる。接触抵抗５３は、測定対象の端子６２とＬｃ端
子４０間に電位を発生させるため、この電位差をケーブ
ルのシャントインピーダンスで除した電流がシャントイ
ンピーダンス５４に流れる。この電流が、測定対象の電
流に重畳して電流計４２に流れるので、測定誤差を生じ
る。
子４０との接触抵抗５３及び同軸ケーブル４１の静電容
量（シャントインピーダンス）５４が構成する等価回路
を示し、これらが電流測定に誤差を与えることを以下に
述べる。接触抵抗５３は、測定対象の端子６２とＬｃ端
子４０間に電位を発生させるため、この電位差をケーブ
ルのシャントインピーダンスで除した電流がシャントイ
ンピーダンス５４に流れる。この電流が、測定対象の電
流に重畳して電流計４２に流れるので、測定誤差を生じ
る。
【０００９】測定周波数が高くなるほど同軸ケーブルの
静電容量によるシャントインピーダンスが低下するた
め、従来の４端子対法では高い周波数になるほど接触抵
抗の影響が大きくなって、測定誤差が増大する。しかも
接触抵抗は再現性がないため、この誤差を補正で取り除
くことはできない。
静電容量によるシャントインピーダンスが低下するた
め、従来の４端子対法では高い周波数になるほど接触抵
抗の影響が大きくなって、測定誤差が増大する。しかも
接触抵抗は再現性がないため、この誤差を補正で取り除
くことはできない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】インピーダンス測定装
置の４端子対の測定端子と測定対象との間の接触抵抗に
測定ケーブルの静電容量が負荷になって測定誤差を生じ
る。この測定誤差を取り除き、高周波で再現性の良い高
精度の測定を実現させる事が本件のねらいである。
置の４端子対の測定端子と測定対象との間の接触抵抗に
測定ケーブルの静電容量が負荷になって測定誤差を生じ
る。この測定誤差を取り除き、高周波で再現性の良い高
精度の測定を実現させる事が本件のねらいである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】Ｈｐ測定端子と電圧測定
部との間を２重シールド構造のケーブルで接続する。増
幅回路の作用により該ケーブルの中間導体を中心導体と
同電位に保ち、中心導体と中間導体間の静電容量の効果
を除去する。Ｌｃ測定端子と電流測定部との間は、同軸
ケーブル２本並列の外側にシールド導体を有する２重シ
ールド構造のケーブルで接続する。増幅回路の作用によ
り該ケーブルの中間導体（同軸ケーブルの外部導体）を
中心導体と同電位に保ち、該ケーブルの静電容量の効果
を除去する。
部との間を２重シールド構造のケーブルで接続する。増
幅回路の作用により該ケーブルの中間導体を中心導体と
同電位に保ち、中心導体と中間導体間の静電容量の効果
を除去する。Ｌｃ測定端子と電流測定部との間は、同軸
ケーブル２本並列の外側にシールド導体を有する２重シ
ールド構造のケーブルで接続する。増幅回路の作用によ
り該ケーブルの中間導体（同軸ケーブルの外部導体）を
中心導体と同電位に保ち、該ケーブルの静電容量の効果
を除去する。
【００１２】
【実施例】図１に本発明の第１の実施例を示す。従来技
術の図３と同じ機能の構成要素には同じ参照記号を付し
てある。Ｈｐ測定端子２０と電圧測定部との間は、トラ
イアキシャル・ケーブル２４で接続されている。トライ
アキシャル・ケーブル２４は、２重シールドケーブルの
一種であり、同軸ケーブルの中心導体と外部導体の間に
網状の中間導体を持つ構造である。
術の図３と同じ機能の構成要素には同じ参照記号を付し
てある。Ｈｐ測定端子２０と電圧測定部との間は、トラ
イアキシャル・ケーブル２４で接続されている。トライ
アキシャル・ケーブル２４は、２重シールドケーブルの
一種であり、同軸ケーブルの中心導体と外部導体の間に
網状の中間導体を持つ構造である。
【００１３】増幅回路２３の非反転入力にはトライアキ
シャル・ケーブル２４の中心導体が、反転入力には中間
導体が接続されている。また出力が反転入力に帰還され
ているので、反転入力及び中間導体は中心導体と等電位
に維持される。このため、トライアキシャル・ケーブル
の中心導体と中間導体の間の静電容量には電流が流れ
ず、Ｈｐ測定端子２０とグランド間のシャントインピー
ダンスは原理上無限大となる。測定対象の電圧測定は、
トライアキシャル・ケーブル２４の中間導体と外部導体
間の電圧を測定すればよい。
シャル・ケーブル２４の中心導体が、反転入力には中間
導体が接続されている。また出力が反転入力に帰還され
ているので、反転入力及び中間導体は中心導体と等電位
に維持される。このため、トライアキシャル・ケーブル
の中心導体と中間導体の間の静電容量には電流が流れ
ず、Ｈｐ測定端子２０とグランド間のシャントインピー
ダンスは原理上無限大となる。測定対象の電圧測定は、
トライアキシャル・ケーブル２４の中間導体と外部導体
間の電圧を測定すればよい。
【００１４】Ｌｃ測定端子４０と電流測定部との間は、
２本の同軸ケーブル４４及び４５並びに該同軸ケーブル
を包み込む外部シールド編組４６から構成される２重シ
ールドケーブルで接続されている。同軸ケーブル４４及
び４５の中心導体は、Ｌｃ測定端子４０に接続されてい
る。同軸ケーブル４４の電流測定部側の中心導体は増幅
回路４７の反転入力に、外部導体は非反転入力に接続さ
れ、増幅回路４７の出力が可変電流源４３を制御する。
同軸ケーブル４５の中心導体と外部導体間に、電流計４
２と可変電流源４３の直列接続が接続されている。ま
た、同軸ケーブル４５の外部導体は、Ｌｐ測定端子３０
の電圧を増幅する増幅回路３２で制御される。
２本の同軸ケーブル４４及び４５並びに該同軸ケーブル
を包み込む外部シールド編組４６から構成される２重シ
ールドケーブルで接続されている。同軸ケーブル４４及
び４５の中心導体は、Ｌｃ測定端子４０に接続されてい
る。同軸ケーブル４４の電流測定部側の中心導体は増幅
回路４７の反転入力に、外部導体は非反転入力に接続さ
れ、増幅回路４７の出力が可変電流源４３を制御する。
同軸ケーブル４５の中心導体と外部導体間に、電流計４
２と可変電流源４３の直列接続が接続されている。ま
た、同軸ケーブル４５の外部導体は、Ｌｐ測定端子３０
の電圧を増幅する増幅回路３２で制御される。
【００１５】増幅回路３２の出力は、同軸ケーブル４５
と可変電流源４３との接続点に接続されている。Ｌｐ測
定端子の電位は、増幅回路３２、同軸ケーブル４５の外
部導体、同軸ケーブル４４の外部導体及び増幅回路４７
を介して電流源４３の制御に用いられる。その結果、同
軸ケーブル３１の中心導体と外部導体が同電位に、同軸
ケーブル４４及び４５の中心導体と外部導体が同電位に
制御される。同軸ケーブル４５の中心導体と外部導体の
電位差がないため、静電容量に電流が流れない。接触抵
抗による電位降下がどうであろうとも、同軸ケーブル４
５の静電容量に電流は流れないため、電流計４２に余分
な電流は流れ込まない。
と可変電流源４３との接続点に接続されている。Ｌｐ測
定端子の電位は、増幅回路３２、同軸ケーブル４５の外
部導体、同軸ケーブル４４の外部導体及び増幅回路４７
を介して電流源４３の制御に用いられる。その結果、同
軸ケーブル３１の中心導体と外部導体が同電位に、同軸
ケーブル４４及び４５の中心導体と外部導体が同電位に
制御される。同軸ケーブル４５の中心導体と外部導体の
電位差がないため、静電容量に電流が流れない。接触抵
抗による電位降下がどうであろうとも、同軸ケーブル４
５の静電容量に電流は流れないため、電流計４２に余分
な電流は流れ込まない。
【００１６】以上のように、Ｈｐ測定端子２０における
シャントインピーダンスに電流が流れない手段を考案
し、測定対象６０の両端の電圧を忠実に検出し、またＬ
ｃ測定端子４０における接触抵抗で発生する電圧に関わ
らず、測定対象６０を通過する電流を忠実に検出できる
手段を考案した。
シャントインピーダンスに電流が流れない手段を考案
し、測定対象６０の両端の電圧を忠実に検出し、またＬ
ｃ測定端子４０における接触抵抗で発生する電圧に関わ
らず、測定対象６０を通過する電流を忠実に検出できる
手段を考案した。
【００１７】本発明の第２の実施例として、ケーブルに
インピーダンス整合を施した例を図２に示す。第１の実
施例で示した基本動作と効果に何ら影響を与える事な
く、各ケーブルに整端を行っている。整端の目的は、測
定周波数の１／４波長がケーブル長に近づく、あるいは
越す場合に生じる、ケーブル共振の特異点の問題を解消
することである。なお、通常の４端子対の整端の有効性
に関しては、特願昭６３−１６７０６１で説明されてい
る。また類似トライアキシャル・ケーブルの整端例が、
特願平５−３５２０１２にある。
インピーダンス整合を施した例を図２に示す。第１の実
施例で示した基本動作と効果に何ら影響を与える事な
く、各ケーブルに整端を行っている。整端の目的は、測
定周波数の１／４波長がケーブル長に近づく、あるいは
越す場合に生じる、ケーブル共振の特異点の問題を解消
することである。なお、通常の４端子対の整端の有効性
に関しては、特願昭６３−１６７０６１で説明されてい
る。また類似トライアキシャル・ケーブルの整端例が、
特願平５−３５２０１２にある。
【００１８】図２では、同軸ケーブルの特性インピーダ
ンスはすべてＲoである例を示した。また、トライアキ
シャル・ケーブルは、中心導体と中間導体間の特性イン
ピーダンス及び中間導体と外部導体間の特性インピーダ
ンスがそれぞれＲoである例を示した。Ｈｐ測定端子２
０と電圧測定部との間はトライアキシャル・ケーブル２
４及び同軸ケーブル２１で接続されている。トライアキ
シャル・ケーブル２４の中心導体は、Ｈｐ測定端子２０
の検出電圧を増幅回路２３の非反転入力に印加する。増
幅回路２３の反転入力には増幅回路２３の出力及びトラ
イアキシャル・ケーブルの中間導体に接続されている。
したがって、トライアキシャル・ケーブルの中間導体の
電位は中心導体の電位に等しくなる。トライアキシャル
・ケーブル２４の中心導体と中間導体の間には抵抗２５
が接続されてインピーダンス整合している。
ンスはすべてＲoである例を示した。また、トライアキ
シャル・ケーブルは、中心導体と中間導体間の特性イン
ピーダンス及び中間導体と外部導体間の特性インピーダ
ンスがそれぞれＲoである例を示した。Ｈｐ測定端子２
０と電圧測定部との間はトライアキシャル・ケーブル２
４及び同軸ケーブル２１で接続されている。トライアキ
シャル・ケーブル２４の中心導体は、Ｈｐ測定端子２０
の検出電圧を増幅回路２３の非反転入力に印加する。増
幅回路２３の反転入力には増幅回路２３の出力及びトラ
イアキシャル・ケーブルの中間導体に接続されている。
したがって、トライアキシャル・ケーブルの中間導体の
電位は中心導体の電位に等しくなる。トライアキシャル
・ケーブル２４の中心導体と中間導体の間には抵抗２５
が接続されてインピーダンス整合している。
【００１９】実施例１と同様に、増幅回路２３のグラン
ドはトライアキシャル・ケーブル２４の外部導体に接続
されていて、トライアキシャル・ケーブル２４の中間導
体と外部導体間の電圧は、Ｈｐ測定端子２０の電圧に等
しい。
ドはトライアキシャル・ケーブル２４の外部導体に接続
されていて、トライアキシャル・ケーブル２４の中間導
体と外部導体間の電圧は、Ｈｐ測定端子２０の電圧に等
しい。
【００２０】トライアキシャル・ケーブル２４のＨｐ端
子側の中間導体は同軸ケーブル２１の中心導体に接続さ
れ、同軸ケーブル２１の外部導体はトライアキシャル・
ケーブル２４の外部導体に接続されている。同軸ケーブ
ル２１の電圧測定部側には、整合のための抵抗２６が接
続されているので、同軸ケーブル２１はトライアキシャ
ル・ケーブル２４に整合して接続され、Ｈｐ測定端子２
０の電圧に等しい電圧が抵抗２６の両端に現れる。これ
を電圧計２２で読みとる。
子側の中間導体は同軸ケーブル２１の中心導体に接続さ
れ、同軸ケーブル２１の外部導体はトライアキシャル・
ケーブル２４の外部導体に接続されている。同軸ケーブ
ル２１の電圧測定部側には、整合のための抵抗２６が接
続されているので、同軸ケーブル２１はトライアキシャ
ル・ケーブル２４に整合して接続され、Ｈｐ測定端子２
０の電圧に等しい電圧が抵抗２６の両端に現れる。これ
を電圧計２２で読みとる。
【００２１】Ｌｃ測定端子４０と電流測定部との間は、
２本のトライアキシャル・ケーブル４８及び４９で接続
されている。図１のケーブルの外部シールド編組４６を
分割して同軸ケーブル４４及び４５のそれぞれに外部シ
ールドを施し、２本のトライアキシャル・ケーブルにし
た構成になっている。トライアキシャル・ケーブル４８
及び４９に整合のための抵抗５１、５０及び５２を接続
している。また同軸ケーブル１１及び３１には、それぞ
れ抵抗１４及び３３を接続して整合を得ることできる。
なお第２の実施例の図２において、整端のための抵抗２
５、２６、３３、５０、５１及び５２がなく、抵抗１４
が整端抵抗でない場合、第１の実施例と等価の構成にな
る。
２本のトライアキシャル・ケーブル４８及び４９で接続
されている。図１のケーブルの外部シールド編組４６を
分割して同軸ケーブル４４及び４５のそれぞれに外部シ
ールドを施し、２本のトライアキシャル・ケーブルにし
た構成になっている。トライアキシャル・ケーブル４８
及び４９に整合のための抵抗５１、５０及び５２を接続
している。また同軸ケーブル１１及び３１には、それぞ
れ抵抗１４及び３３を接続して整合を得ることできる。
なお第２の実施例の図２において、整端のための抵抗２
５、２６、３３、５０、５１及び５２がなく、抵抗１４
が整端抵抗でない場合、第１の実施例と等価の構成にな
る。
【００２２】以上に述べた接触抵抗が、接触インピーダ
ンスの場合でも本発明が適用できることは明らかであ
る。また、測定端子の先端部のリード線の若干のインピ
ーダンスや、固体や液体などの材料を探針で４端子測定
する場合のバルク中の広がり抵抗に対しても、Ｈｐ測定
端子及びＬｃ測定端子のシャントインピーダンスの影響
を除去できる。以上に本発明の実施例を示したが、例示
の様式、配置、その他に限定するものでなく、必要に応
じて本発明の要旨を失うことなく構成の変化も許容され
る。
ンスの場合でも本発明が適用できることは明らかであ
る。また、測定端子の先端部のリード線の若干のインピ
ーダンスや、固体や液体などの材料を探針で４端子測定
する場合のバルク中の広がり抵抗に対しても、Ｈｐ測定
端子及びＬｃ測定端子のシャントインピーダンスの影響
を除去できる。以上に本発明の実施例を示したが、例示
の様式、配置、その他に限定するものでなく、必要に応
じて本発明の要旨を失うことなく構成の変化も許容され
る。
【００２３】
【発明の効果】本発明の４端子対測定法によれば、高周
波において測定対象と測定端子との間の接触抵抗の心配
なく、再現性の良い電気部品測定が可能になり、実用に
供し有益である。
波において測定対象と測定端子との間の接触抵抗の心配
なく、再現性の良い電気部品測定が可能になり、実用に
供し有益である。
【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図３】従来技術のインピーダンス測定装置の例を示す
図である。
図である。
【図４】Ｈｐ測定端子における接触抵抗の効果を示す図
である。
である。
【図５】Ｌｃ測定端子における接触抵抗の効果を示す図
である。
である。
１０：Ｈc測定端子 １１：同軸ケーブル １２：抵抗 １３：信号源 １４：抵抗 ２０：Ｈｐ測定端子 ２１：同軸ケーブル ２２：電圧計 ２３：増幅回路 ２４：トライアキシャル・ケーブル ２５：抵抗 ２６：抵抗 ２７：Ｈｐ測定端子における接触抵抗 ２８：同軸ケーブルの静電容量 ３０：Ｌｐ測定端子 ３１：同軸ケーブル ３２：増幅回路 ３３：抵抗 ４０：Ｌｃ測定端子 ４１：同軸ケーブル ４２：電流計 ４３：電流源 ４４：同軸ケーブル ４５：同軸ケーブル ４６：外部シールド編組 ４７：増幅回路 ４８：トライアキシャル・ケーブル ４９：トライアキシャル・ケーブル ５０：抵抗 ５１：抵抗 ５２：抵抗 ５３：Ｌｃ測定端子における接触抵抗 ５４：同軸ケーブルの静電容量 ６０：測定対象 ６１：測定対象の端子 ６２：測定対象の端子 ６３：グランド端子
Claims (8)
- 【請求項１】測定対象に印加された電流および電圧を測
定して該測定対象のインピーダンスを測定する装置にお
いて、 互いに絶縁された中心導体、中間導体、および外部導体
を有し、前記測定対象に印加された電圧を電圧測定手段
に導くための第１のケーブルと、前記電圧測定手段と、
を有する電圧測定回路と、 互いに絶縁された中心導体、中間導体、および外部導体
を有し、前記測定対象に印加された電流を電流測定手段
に導くための第２のケーブルと、前記電流測定手段と、
を有する電流測定回路と、 を備えて成り、前記電圧測定回路および前記電流測定回
路の少なくとも一方は、その回路に含まれる前記ケーブ
ルの中間導体を中心導体とほぼ等しい電位に保持するた
めの手段を備えていることを特徴とするインピーダンス
測定装置。 - 【請求項２】前記電圧測定回路が、 前記測定対象の一端に中心導体の一端が接続されたトラ
イアキシャル・ケーブルと、 該トライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に非反
転入力が接続され、中間導体に反転入力及び出力が接続
された第１増幅器と、 前記トライアキシャル・ケーブルの中間導体と外部導体
との間に接続された電圧測定手段と、 を備えて成り、前記第１増幅器により、前記トライアキ
シャル・ケーブルの中間導体と中心導体とがほぼ同電位
に制御されることを特徴とする請求項１記載のインピー
ダンス測定装置。 - 【請求項３】前記電流測定回路が、 前記測定対象の他端に一端が接続された第１、第２中心
導体と、それぞれ該第１、第２中心導体を取り囲み、互
いに接続された第１、第２中間導体と、該第１、第２中
間導体を取り囲む外部導体と、を有するケーブルと、 前記第１中心導体の他端と前記第１中間導体との間に接
続された、電流測定手段と可変電流源との直列回路と、 前記第２中心導体の他端に反転入力が接続され、前記第
２中間導体に非反転入力が接続され、出力が前記可変電
流源の入力に接続された第２増幅器と、 前記測定対象の他端に中心導体の一端が接続された同軸
ケーブルと、 該同軸ケーブルの中心導体の他端に反転入力が接続さ
れ、外部導体に非反転入力が接続され、出力が前記可変
電流源と前記第１中間導体との接続点に接続された第３
増幅器と、 を備えて成り、前記第３増幅器により前記第１中間導体
と前記第１中心導体とがほぼ同電位に制御されることを
特徴とする請求項１記載のインピーダンス測定装置。 - 【請求項４】測定信号を測定対象の一端に導くためのＨ
ｃケーブルと、 前記測定対象の一端に中心導体の一端が接続されたＨｐ
トライアキシャル・ケーブルと、 該Ｈｐトライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に
非反転入力が接続され、中間導体に反転入力および出力
が接続された第１増幅器と、 前記Ｈｐトライアキシャル・ケーブルの中間導体と外部
導体との間に接続され、前記測定対象に印加された電圧
を測定するための電圧測定手段と、 前記測定対象の他端に一端が接続された第１、第２中心
導体と、それぞれ該第１、第２中心導体を取り囲み、互
いに接続された第１、第２中間導体と、該第１、第２中
間導体を取り囲む外部導体と、を有するＬｃケーブル
と、 前記第１中心導体の他端と前記第１中間導体との間に接
続された、可変電流源と、前記測定対象に印加された電
流を測定するための電流測定手段との直列回路と、 前記第２中心導体の他端に反転入力が接続され、前記第
２中間導体に非反転入力が接続され、出力が前記可変電
流源の入力に接続された第２増幅器と、 前記測定対象の他端に中心導体の一端が接続されたＬｐ
同軸ケーブルと、 該Ｌｐ同軸ケーブルの中心導体の他端に反転入力が接続
され、外部導体に非反転入力が接続され、出力が前記可
変電流源と前記第１中間導体との接続点に接続された第
３増幅器と、 を備えて成り、前記第１増幅器により、前記Ｈｐケーブ
ルの中間導体と中心導体とがほぼ同電位に制御され、前
記第３増幅器により前記Ｌｃケーブルの第１中間導体と
第１中心導体とがほぼ同電位に制御されることを特徴と
する、４端子対測定法を用いたインピーダンス測定装
置。 - 【請求項５】前記電圧測定回路が、 前記測定対象の一端に中心導体の一端が接続されたトラ
イアキシャル・ケーブルと、 該トライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に非反
転入力が接続され、中間導体に反転入力および出力が接
続された第１増幅器と、 該トライアキシャル・ケーブルの中間導体に中心導体の
一端が接続された同軸ケーブルと、 該同軸ケーブルの中心導体の他端と外部導体との間に接
続された電圧測定手段と、 を備えて成り、前記第１増幅器により、前記トライアキ
シャル・ケーブルの中間導体と中心導体とがほぼ同電位
に制御されることを特徴とする請求項１記載のインピー
ダンス測定装置。 - 【請求項６】前記電流測定回路が、 前記測定対象の他端に中心導体の一端が接続された第１
トライアキシャル・ケーブルと、 該第１トライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端と
中間導体との間に接続された、電流測定手段と可変電流
源との直列回路と、 前記測定対象の他端に中心導体の一端が接続され、中間
導体の一端が前記第１トライアキシャル・ケーブルの中
間導体に接続された第２トライアキシャル・ケーブル
と、 該第２トライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に
反転入力が接続され、中間導体に非反転入力が接続さ
れ、出力が前記可変電流源の入力に接続された第２増幅
器と、 前記測定対象の他端に中心導体の一端が接続された同軸
ケーブルと、 該同軸ケーブルの中心導体の他端に反転入力が接続さ
れ、外部導体に非反転入力が接続され、出力が、前記第
１トライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記可変電
流源との接続点に接続された第３増幅器と、 を備えて成り、前記第３増幅器により前記第１トライア
キシャル・ケーブルの中間導体と中心導体とがほぼ同電
位に制御されることを特徴とする請求項１記載のインピ
ーダンス測定装置。 - 【請求項７】測定信号を測定対象の一端に導くためのＨ
ｃケーブルと、 前記測定対象の一端に中心導体の一端が接続されたＨｐ
トライアキシャル・ケーブルと、 該Ｈｐトライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に
非反転入力が接続され、中間導体に反転入力および出力
が接続された第１増幅器と、 該Ｈｐトライアキシャル・ケーブルの中間導体に中心導
体の一端が接続されたＨｐ同軸ケーブルと、 該Ｈｐ同軸ケーブルの中心導体の他端と外部導体との間
に接続され、前記測定対象に印加された電圧を測定する
ための電圧測定手段と、 前記測定対象の他端に中心導体の一端が接続されたＬｃ
第１トライアキシャル・ケーブルと、 該Ｌｃ第１トライアキシャル・ケーブルの中心導体の他
端と中間導体との間に接続された、可変電流源と、前記
測定対象に印加された電流を測定するための電流測定手
段との直列回路と、 前記測定対象の他端に中心導体の一端が接続され、中間
導体の一端が前記Ｌｃ第１トライアキシャル・ケーブル
の中間導体に接続されたＬｃ第２トライアキシャル・ケ
ーブルと、 該Ｌｃ第２トライアキシャル・ケーブルの中心導体の他
端に反転入力が接続され、中間導体に非反転入力が接続
され、出力が前記可変電流源の入力に接続された第２増
幅器と、 前記測定対象の他端に中心導体の一端が接続されたＬｐ
同軸ケーブルと、 該Ｌｐ同軸ケーブルの中心導体の他端に反転入力が接続
され、外部導体に非反転入力が接続され、出力が、前記
Ｌｃ第１トライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記
可変電流源との接続点に接続された第３増幅器と、 を備えて成り、前記第１増幅器により、前記Ｈｐトライ
アキシャル・ケーブルの中間導体と中心導体とがほぼ同
電位に制御され、前記第３増幅器により前記Ｌｃ第１ト
ライアキシャル・ケーブルの中間導体と中心導体とがほ
ぼ同電位に制御されることを特徴とする、４端子対測定
法を用いたインピーダンス測定装置。 - 【請求項８】前記ケーブルの測定手段側端において、該
ケーブルとインピーダンス整合するように抵抗を接続し
たことを特徴とする請求項５、６、または７記載のイン
ピーダンス測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16724096A JP3862783B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | インピーダンス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16724096A JP3862783B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | インピーダンス測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1010170A true JPH1010170A (ja) | 1998-01-16 |
| JP3862783B2 JP3862783B2 (ja) | 2006-12-27 |
Family
ID=15846065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16724096A Expired - Fee Related JP3862783B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | インピーダンス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3862783B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002047548A1 (en) * | 2000-12-14 | 2002-06-20 | Art Haven 9 Co., Ltd. | Body impedance measuring instrument |
| US6756790B2 (en) | 2000-03-07 | 2004-06-29 | Tokyo Electron Limited | Impedance detection circuit, impedance detection device, and impedance detection method |
| JP2010210385A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Shishido Seidenki Kk | 高感度測定装置 |
| JP2011257340A (ja) * | 2010-06-11 | 2011-12-22 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2013019742A (ja) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
-
1996
- 1996-06-27 JP JP16724096A patent/JP3862783B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6756790B2 (en) | 2000-03-07 | 2004-06-29 | Tokyo Electron Limited | Impedance detection circuit, impedance detection device, and impedance detection method |
| WO2002047548A1 (en) * | 2000-12-14 | 2002-06-20 | Art Haven 9 Co., Ltd. | Body impedance measuring instrument |
| JP2010210385A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Shishido Seidenki Kk | 高感度測定装置 |
| JP2011257340A (ja) * | 2010-06-11 | 2011-12-22 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2013019742A (ja) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3862783B2 (ja) | 2006-12-27 |
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