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JPH0997494A - Semiconductor memory device - Google Patents

Semiconductor memory device

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Publication number
JPH0997494A
JPH0997494A JP8098202A JP9820296A JPH0997494A JP H0997494 A JPH0997494 A JP H0997494A JP 8098202 A JP8098202 A JP 8098202A JP 9820296 A JP9820296 A JP 9820296A JP H0997494 A JPH0997494 A JP H0997494A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
word line
bit line
signal
line
memory cell
Prior art date
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Granted
Application number
JP8098202A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2709050B2 (en
Inventor
Shoji Hanamura
昭次 花村
Osamu Minato
修 湊
Shigeru Honjo
繁 本城
Toshiaki Masuhara
利明 増原
Nobuyuki Moriwaki
信行 森脇
Fumio Kojima
文夫 小嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Solutions Technology Ltd
Original Assignee
Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi ULSI Engineering Corp, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi ULSI Engineering Corp
Priority to JP8098202A priority Critical patent/JP2709050B2/en
Publication of JPH0997494A publication Critical patent/JPH0997494A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2709050B2 publication Critical patent/JP2709050B2/en
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Abstract

(57)【要約】 【課題】揮発性のメモリセルを用いた半導体メモリ装置
において、チップ非選択状態でのリフレッシュ動作時の
消費電力を極めて小さくし、リフレッシュ動作の電池バ
ックアップを可能とする。 【解決手段】リフレッシュ動作時には、ワード線分割制
御手段13、13′は、ワード線分割手段5がデコード
信号によらずに主ワード線6の信号に応答して対応する
分割ワード線7、7′を選択せしめるようにワード線分
割手段5を制御し、情報のリード、ライト時には、ワー
ド線分割制御手段13、13′は、ワード線分割手段5
がデコード信号と主ワード線6の信号とに応答して対応
する分割ワード線7、7′を選択せしめるようにワード
線分割手段5を制御する。
(57) Abstract: In a semiconductor memory device using volatile memory cells, power consumption during refresh operation in a chip non-selected state is made extremely small, and battery backup for the refresh operation is possible. During a refresh operation, word line division control means 13 and 13 'respond to a signal of a main word line 6 by the word line division means 5 in response to a signal of a main word line 6 without depending on a decode signal. The word line dividing means 5 is controlled so that the word line dividing means 5 is selected, and the word line dividing control means 13 and 13 'are used for the word line dividing means 5 at the time of reading and writing of information.
Responds to the decode signal and the signal of the main word line 6 to control the word line dividing means 5 so that the corresponding divided word lines 7 and 7'are selected.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、揮発性のメモリセ
ルを用いた半導体メモリ装置に係り、特に電池による情
報保存を可能とするMOSランダムアクセスメモリ装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device using volatile memory cells, and more particularly to a MOS random access memory device capable of storing information by a battery.

【0002】[0002]

【従来の技術】揮発性のメモリセルを用いた半導体メモ
リ装置として、ダイナミック型メモリ装置あるいは擬似
スタティック型メモリ装置があげられる。これらのメモ
リ装置は、情報をスタティックに保持するための電流供
給手段をメモリセル内に備えていないため、セル面積を
小さくすることができ、高集積化に適している。(1985
アイ・イー・イー・イー インターナショナル ソリッド
ステイト サーキッツコンファレンス(1985 IEEE Inte
rnational Solid-State Circuits Conference)1985年
2月15日、250〜251頁) (イレブンス ヨーロピアン ソリッド ステイト サーキ
ット コンファレンス(11th European Solid State Cir
cuit Conference)1985年9月16〜18日、139〜146頁) しかし、これらのメモリ装置では、十分低い電力で情報
のリフレッシュ動作を行なうことができないため、電池
による情報保存が不可能であった。
2. Description of the Related Art As a semiconductor memory device using a volatile memory cell, there is a dynamic type memory device or a pseudo static type memory device. Since these memory devices do not have a current supply means for statically holding information in the memory cells, the cell area can be reduced and they are suitable for high integration. (1985
IEE International Solid State Circus Conference (1985 IEEE Inte
rnational Solid-State Circuits Conference) February 15, 1985, pp. 250-251) (11th European Solid State Cir.
(Cuit Conference) September 16-18, 1985, pp. 139-146) However, in these memory devices, information cannot be refreshed with sufficiently low power, so that it is impossible to store information by a battery. .

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記従来のメモリ装置
では、情報のリード(読み出し)、ライト(書き込み)
動作を行なうチップ選択状態での低電力化を図り、かつ
高速動作を行なうために、必要最少限のワード線のみ活
性化する、すなわち等価的にワード線数を増加する、い
わゆるワード線分割の技術が用いられている。
In the above conventional memory device, information reading (reading) and information writing (writing) are performed.
A so-called word line division technique in which only the minimum necessary word lines are activated, that is, the number of word lines is equivalently increased, in order to achieve low power consumption and high-speed operation in a chip selected state in which an operation is performed. Is used.

【0004】ところで、メモリセル内に蓄えられた情報
のリフレッシュ(再生)動作を行なうチップ非選択(待
機)状態の場合のビット線への給電に要する消費電力P
BPは次式のように表わされる。
By the way, the power consumption P required to supply power to the bit line in the chip non-selected (standby) state in which the refresh (reproduction) operation of the information stored in the memory cell is performed.
BP is expressed by the following equation.

【0005】 PBP=k・(ΔVB/VCC)2・CBB・2N …(1) ここで、kは定数、ΔVBはビット線電圧振幅、VCC
電源電圧、CBBは単位ビット当りのビット線容量、Nは
ワード線選択に要するアドレス数(したがって、2N
ワード線数)である。上記(1)式によると、リード、
ライト動作時の要求を満足するためには、Nの値を大き
くせざるを得ないため、リフレッシュ動作時の消費電力
を電池によるバックアップが可能な程度に低減すること
ができない。
P BP = k · (ΔV B / V CC ) 2 · C BB · 2 N (1) where k is a constant, ΔV B is the bit line voltage amplitude, V CC is the power supply voltage, and C BB is The bit line capacity per unit bit, N is the number of addresses required for word line selection (hence 2 N is the number of word lines). According to the above equation (1), the lead,
In order to satisfy the request during the write operation, the value of N must be increased, and therefore the power consumption during the refresh operation cannot be reduced to the extent that battery backup is possible.

【0006】また、上記メモリ装置において、リード、
ライト動作を行なうチップ選択状態では、一定のサイク
ル時間内にビット線を充電するいわゆるプリチャージ期
間が必要であるため、駆動電力の大きな、すなわち自己
寄生容量の大きなビット線への給電手段を用いなければ
ならない。
In the above memory device, the lead,
In the chip selection state in which the write operation is performed, a so-called precharge period for charging the bit line within a fixed cycle time is required, so a power supply means to the bit line with large driving power, that is, large self-parasitic capacitance must be used. I have to.

【0007】一方、リフレッシュ動作を行なうチップ非
選択状態では、情報が破壊されない範囲でサイクル時間
を十分大きく(チップ選択状態の場合の100倍以上)
することが可能である。しかし、上記従来のメモリセル
装置では、チップ選択時、非選択時にかかわらず同一の
ビット線給電手段を用いているため、リフレッシュ動作
を行なうチップ非選択時のビット線給電手段を駆動する
ための電力が低減できないという問題があった。
On the other hand, in the chip non-selected state in which the refresh operation is performed, the cycle time is sufficiently long in the range where the information is not destroyed (100 times or more that in the chip selected state).
It is possible to However, in the conventional memory cell device described above, the same bit line power supply means is used regardless of whether the chip is selected or not selected. Therefore, the power for driving the bit line power supply means when the chip is not selected for refresh operation is used. There was a problem that could not be reduced.

【0008】本発明の目的は、上記のような揮発性のメ
モリセルを用いた半導体メモリ装置において、チップ非
選択状態でのリフレッシュ動作時の消費電力を極めて小
さくし、リフレッシュ動作の電池バックアップを可能と
することにある。
The object of the present invention is to reduce the power consumption during the refresh operation in the chip non-selected state in the semiconductor memory device using the volatile memory cells as described above, and to enable the battery backup for the refresh operation. To do so.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の半導体メモリ装置は、それぞれがビット
線と、第1ワード線と、該ビット線と第1ワード線との
交点に設けられかつリフレッシュ動作によるリフレッシ
ュを要する揮発性のメモリセルとを有する複数のメモリ
アレーと、上記複数のメモリアレーの第1ワード線と並
行に配置された状態をもって上記複数のメモリアレーに
配置されかつ上記複数のメモリアレーに共通にされた主
ワード線と、上記複数のメモリアレーの第1ワード線に
それぞれ対応して設けられてなるとともにメモリアレー
の外に配置され、デコード信号と上記主ワード線の信号
とに応答することにより対応する第1ワード線を選択す
る複数のワード線分割手段と、リフレッシュ制御信号線
における制御信号を受けるワード線分割制御手段とを具
備してなり、リフレッシュ動作時には、上記ワード線分
割制御手段は、上記ワード線分割手段が上記デコード信
号によらずに上記主ワード線の信号に応答して対応する
分割ワード線を選択せしめるように上記ワード線分割手
段を制御し、情報のリード、ライト時には、上記ワード
線分割制御手段は、上記ワード線分割手段が上記デコー
ド信号と上記主ワード線の信号とに応答して対応する分
割ワード線を選択せしめるように上記ワード線分割手段
を制御することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the semiconductor memory device of the present invention has a bit line, a first word line, and an intersection of the bit line and the first word line, respectively. A plurality of memory arrays each having a volatile memory cell that is provided and needs to be refreshed by a refresh operation; and a plurality of memory arrays arranged in parallel with the first word lines of the plurality of memory arrays. The main word line shared by the plurality of memory arrays and the first word line of the plurality of memory arrays are provided in correspondence with each other and are arranged outside the memory array, and the decode signal and the main word line are provided. Control signal in the refresh control signal line, and a plurality of word line dividing means for selecting the corresponding first word line in response to the signal of The word line division control means for receiving the word line division control means responds to the signal on the main word line in response to the signal on the main word line without the word line division means depending on the decode signal during the refresh operation. The word line dividing means is controlled so that the divided word lines can be selected, and at the time of reading or writing information, the word line dividing control means causes the word line dividing means to select the decode signal and the signal of the main word line. In response, the word line dividing means is controlled so as to select the corresponding divided word line.

【0010】また、上記揮発性のメモリセルは、自己増
幅機能を有するメモリセルからなり、上記ビット線と動
作電位点との間にはビット線給電手段が設けられてなる
ことを特徴とする。
Further, the volatile memory cell is composed of a memory cell having a self-amplifying function, and a bit line feeding means is provided between the bit line and the operating potential point.

【0011】また、上記自己増幅機能を有するメモリセ
ルは、ゲートドレインが交差接続された1対のMOSF
ETと、対応するビット線と該1対のMOSFETのド
レインとの間に設けられかつゲートが対応する第1ワー
ド線に接続されてなる1対のMOSFETとからなるこ
とを特徴とする。
Further, the memory cell having the self-amplifying function has a pair of MOSFs whose gates and drains are cross-connected.
ET and a pair of MOSFETs provided between the corresponding bit line and the drains of the pair of MOSFETs and having a gate connected to the corresponding first word line.

【0012】さらに、上記揮発性のメモリセルは、1個
のMOSFETと1個の容量とを有するメモリセルから
なり、上記ビット線と動作電位点との間にはビット線給
電手段が設けられてなることを特徴とする。
Further, the volatile memory cell is composed of a memory cell having one MOSFET and one capacitor, and bit line feeding means is provided between the bit line and the operating potential point. It is characterized by

【0013】情報のリフレッシュ動作はワード線を活性
化することにより開始され、該ワード線に接続された全
メモリセルの情報を各々のビット線上に読み出し、これ
をメモリセル自身あるいはカラムアンプにより増幅して
再度メモリセルに蓄積して終了する。したがって、リフ
レッシュ動作においては、メモリセルを介してビット線
を共有しない範囲で何本かのワード線を共通化すること
ができる。すなわち、リフレッシュ動作時には、リー
ド、ライト動作時よりも等価的にワード線数を減らすこ
とができるため、これにより低電力化が達成できる。
The refresh operation of information is started by activating a word line, information of all memory cells connected to the word line is read onto each bit line, and this is amplified by the memory cell itself or a column amplifier. Then, the data is stored again in the memory cell and the process is completed. Therefore, in the refresh operation, some word lines can be shared in the range where the bit lines are not shared via the memory cells. That is, since the number of word lines can be equivalently reduced during the refresh operation as compared with the read and write operations, it is possible to achieve lower power consumption.

【0014】また、チップ非選択状態におけるリフレッ
シュ動作時のサイクル時間は、リード、ライト動作時の
サイクル時間に比べて約100倍以上大きくすることが
可能である。したがって、ビット線を充電するプリチャ
ージ期間も同等に長くできる。このため、ビット線への
給電手段の駆動電力をその分小さくでき、すなわち、そ
の自己寄生容量も小さくできる。このように、リフレッ
シュ動作時にはリード、ライト動作時よりも駆動能力の
小さなビット線給電手段に切り換えることにより、ビッ
ト線給電手段を駆動するための電力を理想的には従来の
100分の1以下に小さくでき、低電力化が達成でき
る。
Further, the cycle time during the refresh operation in the chip non-selected state can be made about 100 times or more longer than the cycle time during the read and write operations. Therefore, the precharge period for charging the bit line can be similarly lengthened. Therefore, the drive power of the power supply means to the bit line can be reduced by that amount, that is, its self-parasitic capacitance can be reduced. As described above, by switching to the bit line power supply means having a smaller driving capacity than the read and write operations during the refresh operation, the power for driving the bit line power supply means is ideally 1/100 or less of the conventional power. It can be made small and low power consumption can be achieved.

【0015】すなわち、本発明では、複数のメモリアレ
ーに共通に設けた主ワード線の信号と、制御手段からの
デコード信号とリフレッシュ制御信号とに応答する信号
とによって、情報のリード、ライト時には複数のメモ
リアレーの分割ワード線を選択的に活性化し、リフレ
ッシュ動作時には主ワード線の信号によって複数の分割
ワード線をともに選択する。つまり、リフレッシュ時に
選択する分割ワード線数を増加させることにより、複数
の分割ワード線につながる多数のメモリセルを同時にリ
フレッシュすることができる。したがって、リフレッシ
ュ周期ないしは間隔を長くすることができ、単位時間内
で行なうべきフレッシュ動作の繰り返し数を低減でき
る。したがって、リフレッシュ動作における消費電力を
低減できる。 すなわち、主ワード線の信号は、該主ワ
ード線に属する複数のメモリアレーにおける複数の分割
ワード線を選択するための選択信号とみなすことがで
き、主ワード線に供給すべき信号を複数のメモリアレー
に共通の回路によって形成することができる。つまり、
ワードドライバ、デコーダのような主ワード線駆動用回
路回路を複数のメモリアレーに共通とすることができる
ので、主ワード線駆動用回路のリフレッシュ時の動作回
数を減少でき、リフレッシュ動作での消費電力を低減す
ることができる。その結果、このような共通の回路によ
る信号形成によって、回路規模を十分に小さくでき、か
つ消費電力を十分に小さくできる。
That is, according to the present invention, a plurality of information are read or written by a signal of the main word line commonly provided for a plurality of memory arrays and a signal responsive to the decode signal and the refresh control signal from the control means. The divided word lines of the memory array are selectively activated, and a plurality of divided word lines are selected together by the signal of the main word line during the refresh operation. That is, by increasing the number of divided word lines selected at the time of refreshing, a large number of memory cells connected to a plurality of divided word lines can be refreshed at the same time. Therefore, the refresh cycle or interval can be lengthened, and the number of repetitions of the fresh operation to be performed within the unit time can be reduced. Therefore, the power consumption in the refresh operation can be reduced. That is, the signal of the main word line can be regarded as a selection signal for selecting a plurality of divided word lines in a plurality of memory arrays belonging to the main word line, and the signal to be supplied to the main word line is a plurality of memories. It can be formed by a circuit common to the array. That is,
Since the main word line driving circuit circuit such as the word driver and the decoder can be shared by a plurality of memory arrays, the number of operations at the time of refreshing the main word line driving circuit can be reduced and the power consumption in the refresh operation can be reduced. Can be reduced. As a result, by the signal formation by such a common circuit, the circuit scale can be sufficiently reduced and the power consumption can be sufficiently reduced.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】図1は、自己増幅機能を有する揮
発性のメモリセルを用いた場合の本発明の第1の実施例
のメモリ装置の回路模式図、図2(a)、(b)は、そ
の動作波形の一例を示す図で、図2(a)は情報のリー
ド動作時、同図(b)はリフレッシュ動作時の信号タイ
ミングチャートである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a schematic circuit diagram of a memory device according to a first embodiment of the present invention in which a volatile memory cell having a self-amplifying function is used, and FIGS. 2A is a diagram showing an example of the operation waveform, FIG. 2A is a signal timing chart at the time of the information read operation, and FIG. 2B is a signal timing chart at the time of the refresh operation.

【0017】図において、1、1′はメモリアレー、
2、2′はビット線給電手段アレー、3はメモリセル、
4はビット線給電手段、5はワード線分割手段、6は主
ワード線、7、7′は分割ワード線、8はビット線、9
は電源線、10はビット線給電手段駆動信号線、11は
リフレッシュ制御信号線、12、12′はデコード信号
線、13、13′は本発明によるワード線分割制御手
段、14、14′はワード線分割制御信号線を示す。
In the figure, 1 and 1'are memory arrays,
2, 2'is an array of bit line feeding means, 3 is a memory cell,
4 is a bit line feeding means, 5 is a word line dividing means, 6 is a main word line, 7 and 7'are divided word lines, 8 is a bit line, 9
Is a power supply line, 10 is a bit line power supply means driving signal line, 11 is a refresh control signal line, 12 and 12 'are decode signal lines, 13 and 13' are word line division control means according to the present invention, and 14 and 14 'are words. The line division control signal line is shown.

【0018】このような構成のメモリ装置の動作は、チ
ップへの入力信号が変化した場合、あるいはチップ内部
のリフレッシュ制御信号が活性化された場合に開始され
る。
The operation of the memory device having such a configuration is started when the input signal to the chip changes or when the refresh control signal inside the chip is activated.

【0019】まず、メモリアレー内の全ビット線8がビ
ット線給電手段4によりプリチャージされる。メモリセ
ルからの情報のリード、あるいはメモリセルへの情報の
ライト動作の場合には、リフレッシュ制御信号線11が
非活性であるため、アドレスデコーダによるデコード信
号線12、12′がワード線分割制御手段13、13′
およびワード線分割制御信号線14、14′を介してそ
のままワード線分割手段5に入力されている。次いで、
特定のワード線6が選択され活性化されると、分割ワー
ド線7、7′のうち一方のみが活性化され(図2(a)
では分割ワード線7が活性化された場合を示す)、ビッ
ト線8を介してメモリセル3へのリード、ライト動作が
行なわれる。
First, all bit lines 8 in the memory array are precharged by the bit line feeding means 4. In the case of reading information from the memory cell or writing information to the memory cell, the refresh control signal line 11 is inactive, so that the decode signal lines 12 and 12 'by the address decoder are word line division control means. 13, 13 '
And the word line division control signal lines 14 and 14 'are directly input to the word line division means 5. Then
When a specific word line 6 is selected and activated, only one of the divided word lines 7 and 7'is activated (FIG. 2A).
Shows the case where the divided word line 7 is activated), and the read / write operation to the memory cell 3 is performed via the bit line 8.

【0020】一方、リフレッシュ動作の場合には、リフ
レッシュ制御信号線11が活性化されるため、ワード線
分割制御手段13、13′によってデコード信号線1
2、12′の信号の如何にかかわらず、ワード線分割制
御信号線14、14′が共に活性化される。したがっ
て、次に、特定のワード線6が活性化されると分割ワー
ド線7、7′は共に活性化される。この場合、特定のビ
ット線8の選択は行なわれず、このためビット線8にプ
リチャージされた電荷がメモリセル3に流れ込み、セル
自身の増幅機能により蓄積情報が再び書き込まれる。こ
の場合、セル自身が自己蓄積電圧の増幅機能を有するた
め、情報のリフレッシュに要する時間は微少とすること
ができ、このためビット線の電圧振幅ΔVB((1)
式)も0.5V以下にすることができる。
On the other hand, in the refresh operation, since the refresh control signal line 11 is activated, the decode signal line 1 is activated by the word line division control means 13 and 13 '.
The word line division control signal lines 14 and 14 'are both activated regardless of the signals 2 and 12'. Therefore, next, when a specific word line 6 is activated, the divided word lines 7 and 7'are activated together. In this case, the specific bit line 8 is not selected, so that the charges precharged on the bit line 8 flow into the memory cell 3, and the stored information is rewritten by the amplifying function of the cell itself. In this case, since the cell itself has the function of amplifying the self-accumulation voltage, the time required for refreshing the information can be made minute, and therefore the voltage amplitude ΔV B ((1)
Formula) can also be 0.5 V or less.

【0021】本実施例によれば、リフリレッシュ動作時
のワード線数2N((1)式)を、本実施例を施さない
場合に比べて1/2にすることができる。また、ビット
線電圧振幅ΔVB((1)式)も上記のごとく微少化す
ることができる。したがって、リフレッシュ動作を行な
うチップ非選択時の消費電力を極めて小さくできるた
め、低電力が要求される電池バックアップメモリ装置を
実現することができる。
According to this embodiment, the number of word lines 2 N (equation (1)) at the time of the refresh operation can be halved as compared with the case where this embodiment is not applied. Further, the bit line voltage amplitude ΔV B (equation (1)) can also be made minute as described above. Therefore, the power consumption when the chip for which the refresh operation is performed is not selected can be made extremely small, and a battery backup memory device requiring low power can be realized.

【0022】図3は、図1の実施例をより具体的に示す
実施例の図で、ビット線給電手段4として絶縁ゲート型
電界効果トランジスタ(以下、MOSFETと略記す
る)を用い、メモリセル3として4個のMOSFETか
ら構成されるセルを用いた場合である。
FIG. 3 is a diagram of an embodiment showing the embodiment of FIG. 1 more concretely, in which an insulated gate field effect transistor (hereinafter abbreviated as MOSFET) is used as the bit line feeding means 4 and the memory cell 3 is used. Is a case of using a cell composed of four MOSFETs.

【0023】また、図4は、図1の実施例を具体的に示
す別の実施例の図で、メモリセル3として1個のMOS
FETと1個の容量から構成されるセルを用いた場合で
ある。この場合、メモリセル自身が自己増幅機能を持た
ず、また情報読み出しが破壊読み出しであるため、各ビ
ット線8にカラムセンスアンプ15を設けている。
FIG. 4 is a diagram of another embodiment specifically showing the embodiment of FIG. 1, in which one MOS is used as the memory cell 3.
This is the case of using a cell composed of an FET and one capacitor. In this case, since the memory cell itself does not have a self-amplifying function and the information read is destructive read, the column sense amplifier 15 is provided for each bit line 8.

【0024】したがって、本実施例ではビット線電圧振
幅ΔVBを図3の実施例のように微少化することはでき
ないが、リフレッシュ動作時のワード線数2Nを本実施
例を施さない場合に比べ1/2に低減できるため、
(1)式から明らかなようにリフレッシュ動作時の低電
力化が可能となり、電池バックアップメモリ装置を実現
することができる。
Therefore, in this embodiment, the bit line voltage amplitude ΔV B cannot be reduced as in the embodiment of FIG. 3, but the word line number 2 N during the refresh operation is not applied in this embodiment. Since it can be reduced to 1/2,
As is apparent from the equation (1), it is possible to reduce the power consumption during the refresh operation, and it is possible to realize a battery backup memory device.

【0025】なお、本発明で用いるメモリセルは、揮発
性のセルであれば基本的に使用可能である。特に、図3
の実施例のように、4個のMOSFETで構成される4
素子型メモリセルが最適であり、このMOSFETがN
チャネルの場合は、このメモリセルは、P型基板上、あ
るいは、N型基板上に形成したP型ウェル内に形成され
る。また、PMOSFETを転送トランジスタ、NMO
SFETを駆動トランジスタとした4MOS型のメモリ
セルにも適用できることはいうまでもない。この場合、
ワード線が低レベルのときに該メモリセルが選択されて
リフレッシュされる。
The memory cell used in the present invention can be basically used as long as it is a volatile cell. In particular, FIG.
As in the embodiment of FIG.
Element type memory cell is most suitable, and this MOSFET is N
In the case of a channel, this memory cell is formed on a P-type substrate or in a P-type well formed on an N-type substrate. In addition, PMOSFET is a transfer transistor, NMO
It goes without saying that the present invention can also be applied to a 4MOS type memory cell using an SFET as a drive transistor. in this case,
When the word line is at the low level, the memory cell is selected and refreshed.

【0026】なお、以上の実施例では説明を簡単にする
ため、非リフレッシュ時(リード、ライト動作時)のワ
ード線分割数を2としたが、リード、ライト動作時の低
電力化および高速化に対処するためには、このワード線
分割数をさらに多くする必要がある。上記実施例におい
ても、ワード線分割数を多くすることができるのはもち
ろんであるが、その場合には、(1)式から明らかなよ
うに上記効果をさらに向上することができる。
In the above embodiment, the number of word line divisions in the non-refresh (read and write operations) is set to 2 for simplification of description. However, lower power consumption and higher speed in read and write operations. To cope with this, it is necessary to further increase the number of word line divisions. In the above embodiment as well, the number of word line divisions can be increased, but in that case, the above effect can be further improved as is apparent from the equation (1).

【0027】また、本発明は、メモリセルを介してビッ
ト線を共有しないワード線すべてに対して適用できる。
Further, the present invention can be applied to all word lines that do not share a bit line via a memory cell.

【0028】図5は、本発明の第2の実施例を模式的に
現わした回路図である。図において、3はメモリセル、
40はチップ選択時(リード、ライト動作時)に駆動信
号線10により活性化され、ビット線8に電源線9から
電荷を給電するビット線給電手段、41はチップ非選択
時(フリレッシュ動作時)に駆動信号線10′により活
性化され、ビット線8に電源線9から電荷を給電するビ
ット線給電手段、6はワード線を示す。
FIG. 5 is a circuit diagram schematically showing the second embodiment of the present invention. In the figure, 3 is a memory cell,
Reference numeral 40 denotes a bit line power supply means that is activated by the drive signal line 10 when a chip is selected (during a read or write operation) and supplies electric charge to the bit line 8 from the power supply line 9, and 41 indicates a chip not selected (during a free-resh operation) The bit line power supply means 6 is activated by the drive signal line 10 'and supplies the electric charge to the bit line 8 from the power supply line 9, and 6 is a word line.

【0029】チップ選択状態でのメモリセルへのアクセ
スは、駆動信号線10により駆動能力の大きなビット線
給電手段40を活性化し、ビット線8を高速にプリチャ
ージすることにより開始される。その後、デコード信号
により所定のビット線、ワード線が選択され、所定のメ
モリセルへの情報の書き込み、およびメモリセルからの
情報の読み出しがビット線を介して行なわれる。この場
合、アクセス動作に要するサイクル時間を短縮するため
には、ビット線プリチャージに要する時間を極力少なく
する、すなわち、ビット線給電手段40の駆動電力を大
きくする必要がある。
Access to the memory cell in the chip selected state is started by activating the bit line power supply means 40 having a large driving capability by the drive signal line 10 and precharging the bit line 8 at high speed. After that, a predetermined bit line and a word line are selected by the decode signal, and writing of information to a predetermined memory cell and reading of information from the memory cell are performed via the bit line. In this case, in order to shorten the cycle time required for the access operation, it is necessary to minimize the time required for the bit line precharge, that is, to increase the driving power of the bit line power supply means 40.

【0030】一方、チップ非選択状態では、揮発性メモ
リセルに蓄積された情報が破壊されないように、情報の
リフレッシュ動作を行なう。この動作は、駆動信号線1
0′によりビット線給電手段41を活性化し、ビット線
8をプリチャージすることにより開始され、次いで所定
のワード線が選択され、ビット線上に出力された情報デ
ータをメモリセル自身あるいはカラムセンスアンプ等に
より増幅してメモリセルに再書き込みすることにより行
なわれる。この場合、チップ選択状態と異なる点は、メ
モリセルに蓄積された情報をリフレッシュするために要
するサイクル時間を、情報が破壊されない範囲で十分大
きく(チップ選択状態でのアクセスサイクル時間の10
0倍以上)することができる点である。したがって、こ
の場合、ビット線のプリチャージに要する時間も同等に
大きくできる。すなわち、ビット線給電手段41の駆動
電力を小さくできる。これにより、ビット線給電手段駆
動信号線の寄生容量が飛躍的に低減できるため、ビッ線
給電手段を駆動するための電力を低減することができ
る。
On the other hand, in the chip non-selected state, the information refresh operation is performed so that the information stored in the volatile memory cell is not destroyed. This operation is the drive signal line 1
The bit line power supply means 41 is activated by 0'and started by precharging the bit line 8, then a predetermined word line is selected, and the information data output on the bit line is transferred to the memory cell itself or a column sense amplifier or the like. By amplifying and rewriting to the memory cell. In this case, the point different from the chip selected state is that the cycle time required to refresh the information stored in the memory cell is sufficiently large within the range where the information is not destroyed (10 cycles of the access cycle time in the chip selected state).
0 times or more). Therefore, in this case, the time required for precharging the bit line can be similarly increased. That is, the drive power of the bit line power supply means 41 can be reduced. As a result, the parasitic capacitance of the bit line power supply means drive signal line can be dramatically reduced, so that the electric power for driving the bit line power supply means can be reduced.

【0031】本実施例によれば、チップ非選択時のビッ
ト線給電手段駆動に要する電力を、本発明を適用しない
場合に比べ理想的には1/100以下にすることができ
る。したがって、チップ非選択時の消費電力を極めて小
さくできるため、低電力性が要求される電池バックアッ
プが可能なメモリ装置の実現に大きな効果がある。
According to this embodiment, the electric power required to drive the bit line feeding means when the chip is not selected can be ideally reduced to 1/100 or less as compared with the case where the present invention is not applied. Therefore, the power consumption when the chip is not selected can be made extremely small, which is very effective in realizing a battery device capable of backing up a battery that requires low power consumption.

【0032】図6は、図5の実施例を具体的に示す実施
例の図で、ビット線給電手段40、41としてNMOS
FETを、またメモリセルとして4個のNMOSFET
で構成されるセルを用いた場合である。図7(a)、
(b)は、その動作波形の一例を示す図で、図7(a)
は情報のリード動作時、同図(b)はリフレッシュ動作
時の信号タイミングチャートである。
FIG. 6 is a diagram of an embodiment specifically showing the embodiment of FIG. 5, in which NMOS is used as the bit line feeding means 40 and 41.
FET and four NMOSFETs as memory cells
This is the case when a cell configured by is used. 7 (a),
7B is a diagram showing an example of the operation waveform, and FIG.
Is a signal timing chart at the time of the information read operation, and FIG.

【0033】チップ選択状態(リード、ライト動作時)
で外部信号等によりメモリセルへのアクセスが開始され
ると、ビット線給電手段駆動信号線10はそれまでの状
態の如何にかかわらず、高電位となりビット線給電手段
40を活性化し、ビット線8を高速にプリチャージす
る。所定のワード線6が選択されている期間では上記信
号は低電位となり、ビット線給電手段40は非活性化さ
れ、この間にメモリセル3の情報がビット線8を介して
外部に読み出される。読み出しが完了すると、再度、駆
動信号線10の信号によりビット線は高速にプリチャー
ジされ次のアクセスに備える。なお、この場合、駆動信
号線10′は低電位に固定されビット線給電手段41は
活性化されない。
Chip selection state (during read and write operations)
When the access to the memory cell is started by an external signal or the like, the bit line power feeding means drive signal line 10 becomes high potential regardless of the state until then, the bit line power feeding means 40 is activated, and the bit line 8 Precharge at high speed. During the period when the predetermined word line 6 is selected, the signal becomes low potential, the bit line power supply means 40 is deactivated, and the information of the memory cell 3 is read out through the bit line 8 during this period. When the reading is completed, the bit line is precharged again by the signal of the drive signal line 10 at high speed to prepare for the next access. In this case, the drive signal line 10 'is fixed at a low potential and the bit line power supply means 41 is not activated.

【0034】一方、チップ非選択状態(リフレッシュ動
作時)では、駆動信号線10が低電位に固定され、ビッ
ト線給電手段40が活性化されず、駆動信号線10′、
ビット線給電手段41により、前述と同様の動作を行な
う。ただし、この場合のサイクル時間は前述の場合より
十分長いため、メモリセル自身の情報増幅機能により高
速にリフレッシュが終了した後、低駆動能力のビット線
給電手段41により低速にビット線をプリチャージす
る。このため、ビット線給電手段を駆動するための電力
を低減できる。
On the other hand, in the chip non-selected state (during refresh operation), the drive signal line 10 is fixed at a low potential, the bit line power supply means 40 is not activated, and the drive signal line 10 ',
The bit line power supply means 41 performs the same operation as described above. However, since the cycle time in this case is sufficiently longer than that in the case described above, after the refresh is completed at a high speed by the information amplification function of the memory cell itself, the bit line feeding means 41 having a low driving capability precharges the bit line at a low speed. . Therefore, the electric power for driving the bit line power feeding means can be reduced.

【0035】また、図8は、図5の実施例を具体的に示
す別の実施例の図で、ビット線給電手段40としてNM
OSFETを、ビット線給電手段41としてPMOSF
ETを用いた場合である。この場合、図9(a)、
(b)に示すように、上記実施例の駆動信号線10′の
波形の低電位側と高電位側を逆転することにより、前記
実施例と同様の動作が可能となる。
FIG. 8 is a diagram of another embodiment specifically showing the embodiment of FIG. 5, in which NM is used as the bit line feeding means 40.
OSFET is used as the bit line power supply means 41 and PMOSF
This is the case when ET is used. In this case, FIG.
As shown in (b), by reversing the low potential side and the high potential side of the waveform of the drive signal line 10 'of the above embodiment, the same operation as that of the above embodiment can be performed.

【0036】なお、本発明で用いるメモリセルは、揮発
性のセルであれば基本的に使用可能である。特に、図6
の実施例のように、4個のNMOSFETで構成される
4素子型メモリセルが最適であり、このメモリセルは、
P型基板上、あるいは、N型基板上に形成したP型ウェ
ル内に形成される。また、PMOSFETを転送トラン
ジスタ、NMOSFETを駆動トランジスタとした4M
OS型のメモリセルにも適用できることはいうまでもな
い。この場合、ワード線が低レベルのときに該メモリセ
ルが選択されてリフレッシュされる。
The memory cell used in the present invention can be basically used if it is a volatile cell. In particular, FIG.
A four-element type memory cell composed of four NMOSFETs is optimum as in the embodiment of
It is formed on a P-type substrate or in a P-type well formed on an N-type substrate. In addition, 4M using PMOSFET as a transfer transistor and NMOSFET as a drive transistor
It goes without saying that it can also be applied to an OS type memory cell. In this case, the memory cell is selected and refreshed when the word line is at the low level.

【0037】また、図10は、図5の実施例を具体的に
示すさらに別の実施例の図で、メモリセルとして1個の
NMOSと1個の容量から成るセルを用いた場合であ
る。図11(a)、(b)は、その動作波形の一例を示
す図で、図11(a)は情報のリード動作時、同図
(b)はリフレッシュ動作時の信号タイミングチャート
である。この場合、メモリセル自身が情報増幅機能を有
せずセルからの情報のリードは破壊読み出しとなるた
め、リード動作およびリフレッシュ動作はダミーセル1
6およびカラムセンスアンプ15を用いて行なうことに
なるが、ビット線駆動方法に関しては前述の実施例と同
様な動作となる。したがって、この場合においても前述
の実施例同様、リフレッシュ動作時の消費電力を極めて
小さくできる。
Further, FIG. 10 is a view of still another embodiment specifically showing the embodiment of FIG. 5, in the case where a cell composed of one NMOS and one capacitor is used as a memory cell. 11A and 11B are diagrams showing an example of the operation waveforms thereof. FIG. 11A is a signal timing chart at the time of the information read operation and FIG. 11B is a signal timing chart at the time of the refresh operation. In this case, since the memory cell itself does not have the information amplification function and the reading of information from the cell is destructive reading, the read operation and the refresh operation are performed in the dummy cell 1.
6 and the column sense amplifier 15, the bit line driving method is the same as that of the above-described embodiment. Therefore, also in this case, as in the above-described embodiment, the power consumption during the refresh operation can be made extremely small.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
情報のリード、ライト動作に何ら影響を与えることな
く、リフレッシュ動作時の低電力化が図れるため、低電
力が要求される電池バックアップが可能なメモリを実現
することができる。
As described above, according to the present invention,
Since the power consumption during the refresh operation can be reduced without affecting the read / write operation of information, it is possible to realize a battery-backable memory that requires low power consumption.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の実施例の回路模式図で
ある。
FIG. 1 is a circuit schematic diagram of an embodiment of a first embodiment of the present invention.

【図2】(a)、(b)は図1の回路の動作波形を示す
図である。
2A and 2B are diagrams showing operating waveforms of the circuit of FIG.

【図3】図1の具体的実施例を示す回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram showing a specific example of FIG.

【図4】図1の別の具体的実施例を示す回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram showing another specific example of FIG.

【図5】本発明の第2の実施例の回路模式図である。FIG. 5 is a circuit schematic diagram of a second embodiment of the present invention.

【図6】図5の具体的実施例を示す回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram showing a specific example of FIG.

【図7】(a)、(b)は図6の回路の動作波形を示す
図である。
7A and 7B are diagrams showing operation waveforms of the circuit of FIG.

【図8】図5の別の実施例の回路図である。FIG. 8 is a circuit diagram of another embodiment of FIG.

【図9】(a)、(b)は図8の回路の動作波形を示す
図である。
9A and 9B are diagrams showing operation waveforms of the circuit of FIG.

【図10】図5のさらに別の実施例の回路図である。10 is a circuit diagram of yet another embodiment of FIG.

【図11】(a)、(b)は図10の回路の動作波形を
示す図である。
11A and 11B are diagrams showing operation waveforms of the circuit of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、1′…メモリセルアレー、2、2′…ビット線給電
手段アレー、3…メモリセル、4、40、41…ビット
線給電手段、5…ワード分割手段、6…主ワード線、
7、7′…分割ワード線、8…ビット線、9…電源線、
10、10′…ビット線給電手段駆動信号線、11…リ
フレッシュ制御信号線、13、13′…ワード線分割制
御手段、14、14′…ワード線分割制御信号線、15
…カラムセンスアンプ、16…ダミーメモリセル。
1, 1 '... Memory cell array, 2, 2' ... Bit line feeding means array, 3 ... Memory cells, 4, 40, 41 ... Bit line feeding means, 5 ... Word dividing means, 6 ... Main word line,
7, 7 '... Divided word line, 8 ... Bit line, 9 ... Power supply line,
10, 10 '... Bit line feeding means driving signal line, 11 ... Refresh control signal line, 13, 13' ... Word line division control means, 14, 14 '... Word line division control signal line, 15
... column sense amplifier, 16 ... dummy memory cell.

フロントページの続き (72)発明者 湊 修 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 本城 繁 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 増原 利明 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 森脇 信行 東京都小平市上水本町1450番地 株式会社 日立製作所武蔵工場内 (72)発明者 小嶋 文夫 東京都小平市上水本町1448番地 日立超エ ル・エス・アイ・エンジニアリング株式会 社内Front page continuation (72) Inventor Osamu Minato 1-280, Higashi Koikekubo, Kokubunji, Tokyo Inside Hitachi Central Research Laboratory (72) Inventor Shigeru Honjo 1-280, Higashi Koikeku, Kokubunji, Tokyo Hitachi Central Research Co., Ltd. In-house (72) Toshiaki Masuhara 1-280, Higashi Koikekubo, Kokubunji, Tokyo Inside Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Nobuyuki Moriwaki 1450, Kamimizuhoncho, Kodaira-shi, Tokyo Inside Musashi Factory, Hitachi (72) Inventor Fumio Kojima 1448, Kamimizumoto-cho, Kodaira-shi, Tokyo Hitachi Ultra EPS Engineering Co., Ltd. In-house

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】それぞれがビット線と、第1ワード線と、
該ビット線と第1ワード線との交点に設けられかつリフ
レッシュ動作によるリフレッシュを要する揮発性のメモ
リセルとを有する複数のメモリアレーと、 上記複数のメモリアレーの第1ワード線と並行に配置さ
れた状態をもって上記複数のメモリアレーに配置されか
つ上記複数のメモリアレーに共通にされた主ワード線
と、 上記複数のメモリアレーの第1ワード線にそれぞれ対応
して設けられてなるとともにメモリアレーの外に配置さ
れ、デコード信号と上記主ワード線の信号とに応答する
ことにより対応する第1ワード線を選択する複数のワー
ド線分割手段と、 リフレッシュ制御信号線における制御信号を受けるワー
ド線分割制御手段とを具備してなり、 リフレッシュ動作時には、上記ワード線分割制御手段
は、上記ワード線分割手段が上記デコード信号によらず
に上記主ワード線の信号に応答して対応する分割ワード
線を選択せしめるように上記ワード線分割手段を制御
し、 情報のリード、ライト時には、上記ワード線分割制御手
段は、上記ワード線分割手段が上記デコード信号と上記
主ワード線の信号とに応答して対応する分割ワード線を
選択せしめるように上記ワード線分割手段を制御するこ
とを特徴とする半導体メモリ装置。
1. A bit line, a first word line, and
A plurality of memory arrays provided at the intersections of the bit lines and the first word lines and having volatile memory cells that need to be refreshed by a refresh operation; and arranged in parallel with the first word lines of the plurality of memory arrays. Are arranged in the plurality of memory arrays and are shared by the plurality of memory arrays in common with the first word lines of the plurality of memory arrays. A plurality of word line dividing means externally arranged to select the corresponding first word line by responding to the decode signal and the signal of the main word line, and word line dividing control for receiving a control signal on the refresh control signal line. In the refresh operation, the word line division control means is provided with the word line division means. The word line division control means controls the word line division means so as to select the corresponding division word line in response to the signal of the main word line without depending on the decode signal, and when reading or writing information, the word line division control means A semiconductor memory device, wherein the word line dividing means controls the word line dividing means so as to select a corresponding divided word line in response to the decode signal and the signal of the main word line.
【請求項2】上記揮発性のメモリセルは、自己増幅機能
を有するメモリセルからなり、 上記ビット線と動作電位点との間にはビット線給電手段
が設けられてなることを特徴とする請求項1に記載の半
導体メモリ装置。
2. The volatile memory cell comprises a memory cell having a self-amplifying function, and a bit line feeding means is provided between the bit line and an operating potential point. Item 2. The semiconductor memory device according to item 1.
【請求項3】上記自己増幅機能を有するメモリセルは、
ゲートドレインが交差接続された1対のMOSFET
と、対応するビット線と該1対のMOSFETのドレイ
ンとの間に設けられかつゲートが対応する第1ワード線
に接続されてなる1対のMOSFETとからなることを
特徴とする請求項2記載の半導体メモリ装置。
3. The memory cell having the self-amplifying function,
A pair of MOSFETs whose gates and drains are cross-connected
And a pair of MOSFETs provided between the corresponding bit line and the drains of the pair of MOSFETs and having their gates connected to the corresponding first word line. Semiconductor memory device.
【請求項4】上記揮発性のメモリセルは、1個のMOS
FETと1個の容量とを有するメモリセルからなり、 上記ビット線と動作電位点との間にはビット線給電手段
が設けられてなることを特徴とする請求項1に記載の半
導体メモリ装置。
4. The volatile memory cell comprises one MOS.
2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the semiconductor memory device comprises a memory cell having an FET and one capacitor, and bit line feeding means is provided between the bit line and the operating potential point.
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