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JPH09511465A - インクジェット記録装置 - Google Patents

インクジェット記録装置

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Publication number
JPH09511465A
JPH09511465A JP8517445A JP51744596A JPH09511465A JP H09511465 A JPH09511465 A JP H09511465A JP 8517445 A JP8517445 A JP 8517445A JP 51744596 A JP51744596 A JP 51744596A JP H09511465 A JPH09511465 A JP H09511465A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
chamber
duct
pressure chambers
pressure
Prior art date
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Ceased
Application number
JP8517445A
Other languages
English (en)
Inventor
ヨセフ ロベルト レネ アンケルト
Original Assignee
フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ filed Critical フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ
Publication of JPH09511465A publication Critical patent/JPH09511465A/ja
Ceased legal-status Critical Current

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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/21Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2103Features not dealing with the colouring process per se, e.g. construction of printers or heads, driving circuit adaptations
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B41J2/135Nozzles
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    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
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    • B41J2002/14387Front shooter

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 インクジェット記録装置は、相対する位置にある第1面(9)及び第2面(11)を持つ室板(7)と、前記室板の第1面と第2面との間に延在するスルーホールとして形成される圧力室(13)であって、略平行な第1行と第2行(15、17)とに配される前記圧力室と、前記室板の前記面の一つに結合されるノズル板(39)であって、前記圧力室(13)の数と対応する多くのノズル開口(37)を有し、前記各ノズル開口がインクの滴を放出するための前記圧力室の一つと連通する前記ノズル板と、前記各圧力室(13)と関連する圧電アクチュエータ素子であって、動作方向を持ち圧電材料の少なくとも一つの層(23)と電極層間に電圧の印加で前記動作方向に前記アクチュエータ素子の寸法が変化するように配される少なくとも二つの前記電極層(25、27)とを有し、前記動作方向に前記アクチュエータ素子の前記寸法が変化するとき前記圧力室が該容積を変化するように当該圧力室と共働する関係に配される前記アクチュエータ素子と、を含む記録ヘッド(1)を有する。前記記録ヘッド(1)はさらに、前記室板(7)の前記面(9、11)に設けられたインク供給手段であって、前記圧力室(13)の前記行(15、17)に略平行に延在する4個のダクト(19)を有し、前記各圧力室がインク供給チャネル(21)を介して前記インク供給手段と連通する。第1及び第2ダクト(19)は前記室板(7)の第1面(9)に設けられ、第3及び第4ダクト(19)は前記室板の第2面(11)に設けられる。第1行(15)の第2、第4、第6等々の圧力室(13)は第1ダクトと連通し、第2行(17)の第2、第4、第6等々の圧力室は第2ダクトと連通し、第1行の第1、第3、第5等々の圧力室は第3ダクトと連通し、第2行の第1、第3、第5等々の圧力室は第4ダクトと連通する。結果として、フルカラープリントが1個の記録ヘッド(1)だけで可能である。

Description

【発明の詳細な説明】 インクジェット記録装置 技術分野 本発明は、相対する位置にある第1面及び第2面を持つ室板と、前記室板の第 1面と第2面との間に延在するスルーホールとして形成される圧力室であって、 略平行な第1行と第2行とに配される前記圧力室と、 前記室板の前記面の少なくとも一つに設けられたインク供給手段であって、前記 圧力室の前記行に略平行に延在するダクトとインク供給チャネルとを有し、前記 各圧力室が前記インク供給チャネルの一つを介して前記インク供給手段と連通す る前記インク供給手段と、 前記室板の前記面の一つに結合されるノズル板であって、前記圧力室の数と対応 する多くのノズル開口を有し、前記各ノズル開口がインクの滴を放出するための 前記圧力室の一つと連通する前記ノズル板と、 前記各圧力室と関連する圧電アクチュエータ素子であって、動作方向を持ち圧電 材料の少なくとも一つの層と電極層間に電圧の印加で前記動作方向に前記アクチ ュエータ素子の寸法が変化するように配される少なくとも二つの前記電極層とを 有し、前記動作方向に前記アクチュエータ素子の前記寸法が変化するとき前記圧 力室が該容積を変化するように当該圧力室と共働する関係に配される前記アクチ ュエータ素子と、 を有する記録ヘッドを含むインクジェット記録装置に関する。 背景技術 このような装置はヨーロッパ特許公告公報EP-B-145066号から既知である。当 該既知の装置の記録ヘッドは、2行の圧力室を持つ室板を有し、ダクトは前記室 板の面の一つに設けられる。ノズル板は、前記室板の面の一つに結合され、膜板 は対向面に結合される。圧電アクチュエータ素子は、前記膜板上に設けられ、こ れらアクチュエータ素子の各々は前記圧力室の一つと共働する。この記録ヘッド は、 とてもコンパクトであり信頼性がある。多色カラープリンタのためのインクジェ ット記録ヘッドが所望ならば、このような記録ヘッドの一つが、記録されるべき 各色に対して必要であろう。多色カラー記録装置は三つの基本色(イエロー、シ アン、マゼンタ)と黒とを使用することが通常である。従って、4個のプリンタ ヘッドが既知の記録装置を多色プリンタに適するために必要だろう。これは装置 をほとんどコンパクトにはさせないだろう。 発明の開示 本発明の目的は、1個の記録ヘッドだけしか持ってないにもかかわらず、多色 記録に適したこの種のインクジェット記録装置を提供することである。この目的 を達成するために、本発明に従う装置は、インク供給手段が複数のダクトを有し 、当該各ダクトは副セットの圧力室と連通することを特徴とする。好ましくは、 複数の前記ダクトは、室板の第1面に設けられる第1及び第2ダクトと、前記室 板の第2面に設けられる第3及び第4ダクトとを有し、第1行の第2、第4、第 6等々の圧力室は第1のダクトと連通し、第2行の第2、第4、第6等々の圧力 室は第2のダクトと連通し、第1行の第1、第3、第5等々の圧力室は第3ダク トと連通し、第2行の第1、第3、第5等々の圧力室は第4ダクトと連通する。 本発明による装置では、記録ヘッドは4個の異なるグループの圧力室を有し、各 グループは異なるダクトと接続される。各ダクトは上述のような4色のうちの一 つのインクを供給できる。あらかじめ決められた色のドットは、該色のインクを 有するダクトと接続された圧力室の選択された一つと共働してアクチュエータ素 子を動作させることにより、プリントできる。 本発明に従う装置の好ましい実施例は、前記室板の面の少なくとも一つに設け られるダクトと当該ダクトに関連するインク供給チャネルが前記室板の該面内に 窪みとして形成されることを特徴とする。当該窪みは前記圧力室を形成するスル ーホールとともに形成でき、製造工程の効率が増大する。 他の実施例は、前記室板の面の少なくとも一つに設けられるダクトと当該ダク トに関連するインク供給チャネルが前記室板の該面に結合される他の板内に窪み として形成されることを特徴とする。当該他の板はノズル板でよく、前記窪みは ノズル開口とともに設けられる。前記他の板は、前記ノズル板が結合される面と 対向して位置する前記室板の面に結合される背面板でもよい。 さらに他の実施例は、前記室板の面の少なくとも一つに設けられるダクトと当 該ダクトに関連するインク供給チャネルが前記室板の該面に結合される中間板内 に開口として形成されることを特徴とし、当該中間板は前記室板と他の板との間 に挟まれる。この実施例の利点は、前記中間板内の開口が、アクチュエータ素子 の動作時インクがダクトへ逆流することを防止するために隘路を形成する必要が あるインク供給チャネルに対して特に有利となる高い精度で製造できることであ る。 好ましくは、室板は、電極材料の層間に挟まれた圧電材料の少なくとも一つの 層を有する多層板として形成され、アクチュエータ素子は該板内の各圧力室に対 する室板内に形成され、当該アクチュエータ素子の動作方向は前記室板の厚さ方 向と一致する。これは非常にコンパクトな記録ヘッドとなる、なぜならばアクチ ュエータ素子が前記室板内に統合されるからである。しかしながら、分離したア クチュエータ素子の使用が好まれるならば、膜板が、ノズル板が結合される面に 対向する室板の面に結合されることを特徴とする実施例が可能であり、アクチュ エータ素子は各圧力室の場所で前記膜板に結合される。 本発明のこれら及び他の特徴はこれ以降述べられる実施例で明らかになるだろ う。 図面の簡単な説明 第1図は本発明に従うインクジェット記録装置の簡略化したブロック図であり 、第2図は第1図に示される装置のための記録ヘッドの第1実施例の(実寸では ない)断面図であり、第3A図及び第3B図は第2図に示される記録ヘッドの室 板の第1及び第2面の可能なレイアウトを示し、第4図は第2図に示される記録 ヘッドのための室板を製造するのに適した板の断面図を示し、第5図は第4図に 示される板の電極層の可能なレイアウトを示し、第6図、第7図及び第8図は第 2、第3及び第4実施例での第2図に類似したそれぞれの断面図である。 発明を実施するための最良の形態 全ての図を通じて同じ参照番号が、対応する素子に対して用いられる。第1図 は、本発明に従うインクジェット記録装置の主要部だけを示すブロック図である 。このような装置は、インクジェット記録ヘッド1、ペーパー移送機構3及び制 御ユニット5を有する。インクジェットプリンタ装置の一般的構造は、例えば米 国特許公報3946398号でわかるように従来技術として知られている。本発明によ る装置は、主に記録ヘッド1の構造が既知の装置と異なる。 第2図は、第1図の装置に対する記録ヘッド1の第1実施例の断面図を示す。 当該図は実寸ではないことに留意すべきである。明瞭のために、寸法がいくつか 誇張されている。前記記録ヘッド1は、第1面9と当該第1面と対向する第2面 11とを持つ室板7を有する。圧力室13は前記室板7内に形成され、各圧力室 は第1面9と第2面11との間に延在するスルーホールからなる。圧力室13は 、第3A図及び第3B図でわかるように2個の略平行な行に配される。 第3A図は第1面9を示し、第3B図は第2面11を示す。第3A図は、第2 図の上からみた図である。前記圧力室13は、当該図の左側の第1行15と当該 図の右側の第1行と平行な第2行17内に配される。各行の圧力室13の数は、 とても多く、例えば200である。第3B図は、第3A図に示される前記室板を 第1行15、第2行17の方向に平行なラインの周りに180度回転することに より得られるであろう図である。従って、第3B図では、第1行15は右側に示 され、第2行17は左側に示される。前記室板7の端部18は、第3A図及び第 3B図の下部に示される。前記室板7の第1面9及び第2面11では、インク供 給手段はこれらの面内に窪みを形成することにより設けられる。これらの窪みは 、ダクト19とインク供給チャネル21との形式を持ち、各圧力室13は前記イ ンク供給チャネルの一つによりダクトの一つと接続される。前記ダクト19は、 圧力室13の行15、17と略平行に延在する。前記室板7の第1面9には第1 及び第2ダクト19が設けられ、第2面11には第3及び第4ダクト19が設け られる。前記端部18に最も近い圧力室を番号1で始めて、前記行15及び17 の各々の圧力室13は番号付けされる。第1行15での番号2、4、6等々を持 つ圧力室は第1ダクト19と連通し、第2行17での同じ数字を持つ圧力室は第 2 ダクト19と連通し、第3及び第4行内の番号1、3、5等々を持つ圧力室は第 3及び第4ダクト19とそれぞれ連通する。 第4図は、圧力室及びインク供給手段が設けられる前の第2図の記録ヘッドの 室板7の断面を示す。この室板は、電極層により交番される(好ましくは圧電セ ラミックの)圧電材料の複数の層23を有する多層板として形成される。参照番 号25、27及び29で示される三つのタイプの電極層がある。第5図は、第4 図に示される室板を上から見た図である。第5図において、第1タイプの電極層 25と第2タイプの電極層27とは点線で示され、第3タイプの電極層29は一 点鎖線で示される。第4図及び第5図から、第1タイプの電極層25は、長方形 の室板7の左端部から垂直中心線31の左側へ延在することが明らかである。第 2タイプの電極層27は、前記室板の右側端部から前記垂直中心線31の右側へ 延在し、第3タイプの電極層29は第5図の頂端部から前記室板の略全体の長さ にわたって下方に延在する。第1及び第2のタイプの電極層25、27は前記室 板7の頂端部及び下端部まで延在せず、第3のタイプの電極層29は該板の左側 及び右側端部まで延在しない。従って、(図示しない)電気的接続は、前記室板 7の左側端部で第1のタイプの電極層25に、右側端部で第2タイプの電極層2 7に及び頂端部での第3タイプの電極層29になされる。 第2図では、前記圧力室13が前記室板7内に設けられた後で(例えばソーイ ング、湿式化学エッチング、粉末噴射又はレーザカッティング)、第1行15の 圧力室13は第1タイプの電極層25と第3タイプの電極層29とにより囲まれ 、第2行17の圧力室は第2タイプの電極層27と第3タイプの電極層29とに より囲まれる。第3A図及び第3B図において、スリット33が前記室板7内に 設けられることがわかる。これらスリットの各々は、2個の隣接する圧力室13 間に延在するので、各圧力室は前記室板7内に形成される分離フィンガ35に位 置される。前記スリット33は、行15又は17内の隣接する圧力室13間の前 記電極層25又は27を中断するために、前記室板7に充分深く延在する。従っ て、各圧力室13は、関連するフィンガ35の自由端にある(図示しない)個別 端子と電気的に接続される該圧力室自体の第1又は第2タイプの電極層25又は 27により囲まれる。さらに、各圧力室13は、第3タイプの多くの電極層29 によ り囲まれ、第3タイプの全ての電極層は電気的に一緒に接続される。圧力室13 を囲む電極層25(又は27)及び29と圧電層23とは、該圧力室と共働して 圧電アクチュエータ素子を形成する。各圧電アクチュエータ素子は、前記室板7 の厚さ方向と一致する動作方向(第2図及び第4図の垂直方向)を持つ。電圧が 第1電極層25(又は第2電極層27)と第3電極層29との間に印加されると き、前記動作方向でのアクチュエータ素子の寸法は変化するので、関連する圧力 室13の容積は変化する。前記圧力室13が拡張するとき、インクが前記インク 供給チャネル21を介して前記ダクト19から前記圧力室へ流入する。前記圧力 室13が収縮するとき、インクはノズル開口37を介して前記圧力室から前記室 板7の第2面11に結合されたノズル板39に放出される。ベース板41は、前 記室板7の第1面に結合されるので、前記圧力室13は前記ノズル開口37と前 記インク供給チャネル21とを除いて覆われている。開口43(点線で示される )は、前記ダクト19をインク貯留部(図示しない)に接続するため背面板41 内に設けられる。同様の開口(図示しない)がもちろん前記ノズル板39内に設 けられてもよい。前記インク供給チャネル21の寸法は、前記圧力室が収縮する とき前記ダクト19へインクが逆流できないように選ばれる。前記記録ヘッド1 のこの動作は、未公開の特許出願(PHN15.079)に詳細に説明されている。前記 室板7が電極層25、27、29の間に挟まれた相対的に多くの圧電層23を持 つならば、アクチュエータ素子の寸法の大きな変化は、前記電極層間での相対的 に低い電圧で得られる。それにもかかわらず、二つの電極層間に挟まれる単一の 圧電層を有する室板を用いることも可能である。この場合、アクチュエータ素子 の寸法の所望の変化を得るために、高い電圧が必要だろう。 動作時、第1、第2、第3及び第4ダクト19は、異なる色、例えば黒、イエ ロー、シアン及びマゼンタのインクで満たされる。第1行15の偶数番号の圧力 室13の一つと共働してアクチュエータ素子が動作するならば、黒インクの滴が 該圧力室のノズル開口37から放出されるだろう。第2行17の偶数番号の圧力 室13の一つと共働してアクチュエータ素子が動作するならば、イエローインク の滴が該圧力室のノズル開口37から放出されるだろう。同様に、第1行15又 は第2行17の奇数番号の圧力室13と共働してアクチュエータ素子がそれぞれ 動作するならば、シアン又はマゼンタの滴がそれぞれ放出されるだろう。従って 、全てのカラープリントが第2図及び第3図に示される単一の記録ヘッド1で可 能である。 第6図は、記録ヘッド1の第2実施例の第2図と同様な断面を示す。この実施 例では、ダクト19と関連インク供給チャネルとは、室板7の第1面9及び第2 面11それぞれに結合される中間板45及び47内に開口として形成される。室 板7、ノズル板39及び背面板41は、第2図に示された第1実施例に対応する 板と類似してもよい。前記中間板45、47は例えば金属板であり、ダクト19 とインク供給チャネル21とを形成する前記開口はエッチングにより形成される 。第1の中間板45は、前記室板7と前記背面板41との間に挟まれ、第2の中 間板47は、前記室板と前記ノズル板39との間に挟まれる。第1の中間板45 内の前記ダクト19及び前記インク供給チャネル21のレイアウトは、第3A図 に示されたレイアウトと同じでもよく、第2中間板47内のレイアウトは、第3 B図に示されたレイアウトと同じでもよい。結果として、第1中間板45内のイ ンク供給チャネル21だけが第6図で見える。 記録ヘッド1の第3の実施例の断面が第7図に示される。この実施例において 、ダクト19とインク供給チャネル21とは、ノズル板39及び背面板41内に 窪みとして形成される。なぜならば、前記ダクト19及び前記インク供給チャネ ル21のレイアウトは、第3A図と第3B図とに示されるレイアウトと同じであ るからであり、前記背面板41内に設けられるインク供給チャネルだけが第7図 に見える。前記ノズル板39及び前記背面板41内の窪みは、前記室板7の第2 面11と第1面9とにそれぞれ結合されるこれらの板の面に設けられる。 第8図は、記録ヘッド1の第4実施例の断面を示す。この実施例では、室板7 は、金属又は適切なプラスチック材料の不活性の(圧電でない)材料でできてい てもよい。第2図に示される第1実施例と同様に、圧力室13、ダクト19及び インク供給チャネル21は、前記室板7内に設けられる。前記ダクト19及びイ ンク供給チャネル21のレイアウトは、第1実施例と同じでもよい。前記室板7 の第2面11のインク供給チャネル21だけが、第8図で見える。前述の実施例 のように、ノズル板39は、前記室板7の第2面11に結合される。膜板49は 、 前記室板7の第1面9に結合される。当該膜板49は、薄い金属板でもよい。各 圧力室13の場所で、アクチュエータ素子51は、前記膜板49に結合される。 前記アクチュエータ素子51が、ヨーロッパ特許公開公報EP-A-516188号に開示 されているように2個の電極層間に挟まれた圧電材料の一つ又はそれ以上の層を 有する。膜板49は、前記室板7の第2面11に面する金属層と当該金属層の頂 部の圧電層とを有することも可能である。各圧力室13の場所で、拡張された厚 さの領域が前記圧電層に形成され、当該領域は電極層(図示しない)を持つ他方 の側で覆われる。このような構造は、ヨーロッパ特許公告公報EP-B-145066号に 詳細に述べられる。全てのバリエーションで、アクチュエータ素子51の電極層 の一部は、膜板49の金属部分を介して第1端子53と共通に接続され、前記電 極層の残存部は第2端子55と接続される。一つの第2端子55が各アクチュエ ータ素子51に対して設けられるので、各アクチュエータ素子は前述の実施例の ように個別に動作できる。従って、フルカラープリンタが第8図に示される記録 ヘッドで可能である。 今まで述べた実施例の他に本発明の他の実施例が可能であることは、当業者に は明らかである。例えば、第6図に示される中間板45、47と組み合わせて第 8図に示される不活性の室板7を使うことは可能である。例えば、室板の第1面 9とノズル板39又は前記ノズル板と前記室板の第2面11との間に設けられる 中間板47内の窪みとして、ダクト19とインク供給チャネル21とを形成する ことも可能である。既述の特徴の他の組み合わせは、同じようにまた可能である 。
───────────────────────────────────────────────────── 【要約の続き】 (9、11)に設けられたインク供給手段であって、前 記圧力室(13)の前記行(15、17)に略平行に延 在する4個のダクト(19)を有し、前記各圧力室がイ ンク供給チャネル(21)を介して前記インク供給手段 と連通する。第1及び第2ダクト(19)は前記室板 (7)の第1面(9)に設けられ、第3及び第4ダクト (19)は前記室板の第2面(11)に設けられる。第 1行(15)の第2、第4、第6等々の圧力室(13) は第1ダクトと連通し、第2行(17)の第2、第4、 第6等々の圧力室は第2ダクトと連通し、第1行の第 1、第3、第5等々の圧力室は第3ダクトと連通し、第 2行の第1、第3、第5等々の圧力室は第4ダクトと連 通する。結果として、フルカラープリントが1個の記録 ヘッド(1)だけで可能である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.相対する位置にある第1面(9)及び第2面(11)を持つ室板(7)と、 前記室板の第1面と第2面との間に延在するスルーホールとして形成される圧力 室(13)であって、略平行な第1行と第2行(15、17)とに配される前記 圧力室と、 前記室板の前記面の少なくとも一つに設けられたインク供給手段であって、前記 圧力室の前記行に略平行に延在するダクト(19)とインク供給チャネル(21 )とを有し、前記各圧力室が前記インク供給チャネルの一つを介して前記インク 供給手段と連通する前記インク供給手段と、 前記室板の前記面の一つに結合されるノズル板(39)であって、前記圧力室の 数と対応する多くのノズル開口(37)を有し、前記各ノズル開口がインクの滴 を放出するための前記圧力室の一つと連通する前記ノズル板と、 前記各圧力室と関連する圧電アクチュエータ素子であって、動作方向を持ち圧電 材料の少なくとも一つの層(23)と電極層間に電圧の印加で前記動作方向に前 記アクチュエータ素子の寸法が変化するように配される少なくとも二つの前記電 極層(25、27)とを有し、前記動作方向に前記アクチュエータ素子の前記寸 法が変化するとき前記圧力室が該容積を変化するように当該圧力室と共働する関 係に配される前記アクチュエータ素子と、 を有する記録ヘッド(1)を含むインクジェット記録装置において、 前記インク供給手段が複数の前記ダクト(19)を有し、前記各ダクトが副セッ トの前記圧力室(13)と連通することを特徴とするインクジェット記録装置。 2.請求項1に記載のインクジェット記録装置において、前記複数のダクトは前 記室板(7)の第1面(9)に設けられる第1及び第2ダクト(19)と前記室 板の第2面(11)に設けられる第3及び第4ダクト(19)とを有し、第1行 (15)の第2、第4、第6等々の圧力室(13)は第1ダクトと連通し、第2 行(17)の第2、第4、第6等々の圧力室は第2ダクトと連通し、第1行の第 1、第3、第5等々の圧力室は第3ダクトと連通し、第2行の第1、第3、第5 等々の圧力室は第4ダクトと連通することを特徴とするインクジェット記録装置 。 3.請求項1又は2に記載のインクジェット記録装置において、前記ダクト(1 9)と前記室板(7)の前記面(9、11)の少なくとも一つに設けられる前記 関連インク供給チャネル(21)とは、前記室板の該面内に窪みとして形成され ることを特徴とするインクジェット記録装置。 4.請求項1又は2に記載のインクジェット記録装置において、前記ダクト(1 9)と前記室板(7)の前記面(9、11)の少なくとも一つに設けられる前記 関連インク供給チャネル(21)とは、前記室板の該面に結合される他の板(3 9、41)内に窪みとして形成されることを特徴とするインクジェット記録装置 。 5.請求項1又は2に記載のインクジェット記録装置において、前記ダクト(1 9)と前記室板(7)の前記面(9、11)の少なくとも一つに設けられる前記 関連インク供給チャネル(21)とは、前記室板の該面に結合される中間板(4 5、47)内に開口として形成され、前記中間板は前記室板と他の板(39、4 1)とに挟まれることを特徴とするインクジェット記録装置。 6.請求項1乃至5の何れか1項に記載のインクジェット記録装置において、前 記室板(7)は電極材料の層(25、27、29)間に挟まれた圧電材料の少な くとも一つの層(23)を有する多層板として形成され、前記アクチュエータ素 子は該板内の各圧力室(13)に対する前記室板内に形成され、前記アクチュエ ータ素子の前記動作方向は前記室板の前記厚さ方向と一致することを特徴とする インクジェット記録装置。 7.請求項1乃至5の何れか1項に記載のインクジェット記録装置において、膜 板(49)は前記ノズル板(39)が結合される前記面(11)と対向する前記 室板(7)の前記面(9)に結合され、アクチュエータ素子(51)は前記各圧 力室(13)の場所で前記膜板に結合されることを特徴とするインクジェット記 録装置。 8.請求項1乃至7の何れか1項に記載されたインクジェット記録装置のための 記録ヘッド。
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