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JPH09502131A - 多孔質メンブランおよびその製造方法 - Google Patents

多孔質メンブランおよびその製造方法

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Publication number
JPH09502131A
JPH09502131A JP7515587A JP51558795A JPH09502131A JP H09502131 A JPH09502131 A JP H09502131A JP 7515587 A JP7515587 A JP 7515587A JP 51558795 A JP51558795 A JP 51558795A JP H09502131 A JPH09502131 A JP H09502131A
Authority
JP
Japan
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slurry
membrane
group
porous membrane
porous
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7515587A
Other languages
English (en)
Inventor
アッカラージュ セクハー,ジャイナゲッシュ
ジェー. リュー,ジェイムズ
ヅー,ネイピング
Original Assignee
マイクロパイレティックス、ヒーターズ、インターナショナル
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by マイクロパイレティックス、ヒーターズ、インターナショナル filed Critical マイクロパイレティックス、ヒーターズ、インターナショナル
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Abstract

(57)【要約】 少なくとも一つの微小発熱性物質および少なくとも一つの液体キャリヤーからなるスラリーにより製造される多孔質メンブラン。このスラリーを所望の幾何学的構造を有する未焼成形状物に乾燥させる。この未焼成形状物の燃焼により多孔質メンブランが製造される。

Description

【発明の詳細な説明】 多孔質メンブランおよびその製造方法 発明の分野 本発明は、様々な種類の多孔質メンブランの製造方法およびそれによって製造 された多孔質メンブランに関する。 発明の背景 多孔質メンブランは、非常に様々な工業用途に使用される。その様なメンブラ ンは、気体または蒸気の分離、逆浸透、電気化学用途、超濾過(hyperfiltration )、限外濾過および微小濾過に使用されることが多い。その様なメンブランは、 選択的イオン分離を含む化学反応の操作にも使用できる。メンブランは通常、厚 さが0.5mm未満で、20%までの気孔率を有する、薄い2次元的な物体である 。これらのメンブラン中の細孔は、半径が数ナノメートル〜数ミクロンである。 メンブランを通る液体またはガスの流れは、圧力または電界の勾配により駆動さ れる。 その様な多孔質メンブランを製造する従来の方法では、アルミナおよびアルミ ニウムの様な材料の密着性で連続性の高い層を堆積させている。これらの材料は 、テープキャスティング、押出し、蒸着、物理的蒸着(PVD) および化学的蒸着(CVD)の両方、および電気化学的方法の様な多くの技術を 使用して堆積させている。テープキャスティングおよび押出しは、多孔質メンブ ランの製造に使用できる材料の幅が限られている。これらの技術のどちらかで得 られるメンブランの気孔率または細孔密度の程度も限られている。蒸着は極めて 遅く、経費のかかる製法であり、大型部品の製造には向いていない。電気化学的 方法の様な他の技術も、その様な大きさの制限があるのが不利である。さらに、 ある種の電気化学的方法に使用できる材料の種類は、極めて限られている。 多孔質メンブラン製造のためのゾル−ゲルおよび水熱技術も公知である。これら の技術の限界は、Ramesh Bhaveにより、この主題に関する本(Inorganic Membran es,van Nostrand 1991)に記載されている。例えば、これらの技術は経費がかか り過ぎ、使用できる材料の数が限られている。さらに、多孔質メンブラン製造の ためのゾル−ゲル技術の使用は、Y.S.LinおよびA.J.Burggraaf,J.Amer.Cera m.Soc.,Vol.4,1991,219頁に記載されている。 幾つかの公知の材料は、ある種の多孔質メンブラン用途に有用であろう特性、 例えば耐熱性および耐蝕性を有している。これらの材料の幾つかは、上記の様な 先行技術の方法で、その様な多孔質メンブランの製造に使用されているが、これ らの材料の多くは、これらの先行技術 の方法との相容性がないことを含む様々な理由から使用されていない。相容性の あることが分かっており、効果的なメンブランを製造できる公知の材料および方 法は、一般的に複雑で高価である。 したがって、多孔質メンブラン用途に公知の材料のみならず、望ましい特性を 有するが、その様なメンブランの製造に以前には知られていない材料をも使用す る、多孔質メンブランを原価的により有利に製造する方法が必要とされている。 発明の概要 本発明は、原価的により有効な多孔質メンブランの製造方法に関する。また本 発明は、より広範囲な特性および用途を有する多孔質メンブランを製造するため に、より多様な材料で使用できる方法も目的としている。本発明方法は、理論的 には複雑であるが、多孔質メンブランを製造するための多くの先行方法よりも実 施がはるかに簡単で、複雑さが少ない。本発明方法は、多層ならびに単層の一体 化されたメンブラン、および複合材料メンブランの層も製造できる。ほとんどが 無機メンブランの製造に使用されるが、無機および有機の多層メンブランも、開 示する方法により直接または二次的な作業により製造することができる。 本発明の方法は、微小発熱(micropyretic)(すなわち、 燃焼合成)原理を利用している。ここで使用する様に、微小発熱製法は、未焼成 粉末の圧縮物または形状物の内側で極めて高い内部熱が急速に発生する製法であ る。この熱は、粉末粒子間で焼結が起こる程の強度を有する。 しかし、高熱は長続きせず、それによって緻密化を防ぐ。この急速な高温熱工程 により、微小発熱前線または波の伝播が起こる、あるいはこの工程が未焼成形状 物全体の多くの点で同時に開始することがある。 したがって、本発明方法では、少なくとも1種の微小発熱性物質および少なく とも1種の液体キャリヤーからなる柔軟性のスラリーを製造する。次いで、この スラリーを、所望の幾何学的構造を有する未焼成形状物に乾燥させる。次いで、 未焼成形状物を焼成する、または燃焼させ、多孔質メンブランを製造する。 スラリーに使用する微小発熱性物質は、未焼成形状物の燃焼の際に発熱反応し (すなわち、熱を与え)、燃焼後にメンブランに所望の成分ならびに燃焼から清 浄な発生期の生成物を加える燃焼性物質である。反応粒子の大きさは数十ミクロ ンであるが、微小発熱生成物(すなわち、相)の大きさは、一般的に1ミクロン 未満である。代表的な反応は、例えば、Cr23+Al+B、Ni+Alまたは Ti+BまたはC+Al+SiO2、等であり、これらが自然に反応して、それ ぞれCrB2、Ni3AlまたはTiB2またはSiCおよび Al23を形成し、大量の熱を放出する。その様な微小発熱反応の断熱温度は、 6,500°Kにもなることがある。微小発熱反応の生成物は、導電性であり、 最終的なメンブランは、薄または厚膜抵抗、ならびにヒーター、電気化学反応、 バッテリーまたは燃料電池における電極としても使用できる。微小発熱性物質の 混合物も可能である。これらのスラリーは、燃焼性または非燃焼性の希釈剤また は添加剤を含むこともでき、これらの物質は生成物自体でも、あるいは他の様々 な形態の物質、例えば予め決められた大きさを有する粉体、ホイル、または繊維 でもよい。これらの希釈剤は、最終的なメンブランの組成および特性、およびメ ンブラン細孔の密度および大きさを調整するのに使用することができる。これら の希釈剤は、他のセラミック材料に加えて耐火性材料、金属材料(すなわち、元 素状金属または金属間化合物)、金属有機化合物、熱分解性有機ケイ素重合体お よび他の酸化性成分に加えて燃焼性物質を含むことができる。金属性またはセラ ミック材料は、一般的に粒子または粉体の形態にある。微小発熱性物質用のキャ リヤーおよび希釈剤には、様々な液体が好適である。キャリヤーは水性または非 水性および可塑剤でよい。ある種の可塑剤の様なキャリヤーは、希釈剤として作 用する成分を含むことができる。可能な可塑剤には、メチルセルロースおよび関 連成分、粘土、ケイ酸塩、ホウ酸塩、ステアリン酸エ ステルを含むあらゆる種類の潤滑剤、有機液体、コロイド液体またはそれらの混 合物が含まれる。 スラリー(非常に液体に近いものから非常に粉体に近いものまで)の製造後、 所望の幾何学的形状を有するメンブランの未焼成または粉体圧縮形状物を製造す る。スラリーの粘度は、未焼成形状物、したがってメンブランの最終気孔率(す なわち、細孔密度)および細孔径に影響を及ぼすことができる。未焼成形状物は 、例えば、表面上にスラリーを塗布(ブラシまたはローラーによる)、浸漬、ス プレー、または流し込む、などの良く知られた様々な被覆技術のいずれかを使用 してスラリーを基材または物体の表面上に塗布することにより、製造することが できる。次いで、塗布したスラリーを空気乾燥、焼付け、等により乾燥させる。 乾燥した未焼成形状物を、燃焼させる前に、乾燥温度よりも高い中間温度で均熱 (soak)するのが望ましい場合がある。一般的に平らなメンブランを製造するが、 円筒形などの他の形状も考えられる。多重被覆が、必要な厚さを得るために必要 である、または多層メンブランを製造するために望ましい場合、それぞれの被覆 を少なくとも部分的に乾燥させてから次の被覆を加えるべきである。少なくとも ある種のメンブラン材料には、すでに焼成した被覆に追加のスラリーを塗布して 蓄積させることができる。使用中に、まったく新しいメンブランに交換せずに、 メンブランをその場で 修理することも考えられる。一般的に、微小発熱層は幾つかの層を結合するため の熱を与え、これらの層を被覆表面に結合させるのに十分な熱も与えることがで きる。そのため、完成したメンブランは表面から取り外すことも、そこに永久的 に取り付けておくこともできる。複数の微小発熱層を有するメンブランの製造に 加えて、所望により、一つ以上の非微小発熱層を有するメンブランを製造するこ ともできる。例えば、より小さな細孔を有する非微小発熱層を、より大きな細孔 を有する2つの微小発熱層の間に挟むことができる。この例では、非微小発熱層 がメンブランである。 未焼成メンブランの燃焼には、2つの様式、すなわち、波様式または熱爆発様 式を使用することができる。波様式では、燃焼が離れた位置で開始し、未焼成メ ンブラン全体を横切って波状様式で広がる。熱爆発様式では、燃焼反応が、集中 した熱源により一点で開始される代わりに、幾つかの位置で開始される。細孔径 は、燃焼の温度(Tc)および波の速度()により制御することができる。さ らに、Tcおよびuは、粒子径、雰囲気(真空を含む)、燃焼性および非燃焼性 希釈剤の使用、燃焼前の未焼成形状物の初期温度(Ti)、および使用する場合 、均熱温度により調整することができる。 形成後、未焼成メンブランの燃焼は、直接火炎、一点に集中した日光、プラズ マ、レーザーまたは電子線を含 む、多くの焼成または燃焼技術のいずれかにより達成することができる。さらに 、基材または物体が導電性である場合、基材または物体に電流を通して未焼成形 状物を燃焼させることもできる。被覆された基材または物体は、炉の内側に予め 決められた温度および時間置くか、あるいは誘導方法または放射加熱により加熱 することができる。Ni+Al→NiAlの様な固体−固体反応が最も一般的に 使用されるが、窒素ガスが耐火性金属と反応する、TiNの様な耐火性窒化物の 合成における様な固体−気体反応も使用される。 発明の詳細な説明 本発明は、多種多様な工業用途に使用される、非常に様々な単層または多層の 多孔質メンブランに関する。これらのメンブランは通常は薄い、2次元的な物体 であり、単層メンブランの厚さは50ミクロン〜10mmである。本発明のメンブ ランにおける細孔は、大きさが0.1ミクロン〜500ミクロンであると考えら れる。細孔は異なった形状を有するので、細孔径は一般的に細孔面積を対応する 円形面積に換算して決定する。細孔密度は20〜80%の範囲内である。 本発明のメンブランは、本発明の原理により、原価的に有利で、融通性のある 方法を使用して合成される。これらの原理には、微小発熱技術の使用が含まれる (この 技術の初期の応用に関しては米国特許第5,110,688号参照)。微小発熱 合成の本原理では、反応物粉体の混合物からなる未焼成圧縮物または形状物を局 所的に燃焼させ、生成物を形成する。生成物形成から放出される熱は、十分に発 熱性であれば、反応を、燃焼波の形態で、圧縮物を通して伝播させることができ る。燃焼は固体から固体(例えば、Ni+Al→NiAlまたはNi3Alまた はNiAl3)でも、固体から気体(例えば、Ti+N→TiN)でもよい。ど ちらの場合も生じる微小発熱生成物は多孔質になる。発生する高熱は固体粉末を 迅速に融合するのに十分であるが、高熱は短時間しか発生しないので、ほとんど 緻密化しない。必要な特性および微小構造を有する製品を得るためには、工程を 制御するパラメータを理解することが重要である。 反応に特徴的な、2つの最も重要なパラメータは、波の伝播および燃焼の際 に得られる最高温度Tcである。これらのパラメータは、反応熱、比熱容量、熱 拡散性、活性化エネルギーの様な熱物理的特性、ならびに反応物の大きさ、圧縮 密度および初期温度を含む熱的環境の様な処理変数により異なる。上記の燃焼方 法は、燃焼の波様式と呼ばれる。さらに、燃焼反応が幾つかの地点で開始する場 合、熱爆発様式も可能である。例えば、燃焼は、集中熱源により一つの点または 1本の線に沿って開始する代わりに、炉の中で行なうことができる。 この工程の熱力学の理解は、燃焼の際に得られる最高温度Tcを理論的に予測 するのに使用できる。これは、断熱温度または燃焼温度とも呼ばれる。この工程 中の総エンタルピー変化(ΔH°)を仮定することにより理論的に計算できる断 熱温度は、 により与えられる。変数Tは温度であり、Tは初期温度であり、Tcは燃焼温 度である。ΔHi°は、初期温度における反応のエンタルピーの変化である。こ の工程は断熱的であるので、ΔH°=0であり、温度(T)の上昇は、反応エン タルピーの変化ΔH°を生成物の比熱Cpで割ったものに等しい。このエンタル ピーは、焼結または温度獲得による多孔度の発生または調整の様な有用な目的に 変換することができる。実験的に測定される最高温度の値(Tmax)は、熱損失 のために、通常は理論値よりも低い。理論値は上限を与え、相変換が起こるのを 予測するのに有用である。この温度は、非反応成分を加えることにより、初期温 度、および、使用する場合、均熱温度を変えることにより制御することができる 。 微小発熱速度論は、均質でも不均質でもよい。均質燃焼の場合、系は全体を通 して一様である。したがって、 溶質の搬送および混合は、制限的な段階ではない。不均質燃焼の場合、系は燃焼 が開始される時は一様ではない、または燃焼が開始した後は一様ではなくなる。 その様な場合、溶質の搬送は速度制限的な段階になる。メンブラン形成の場合、 その様な反応の両方とも気孔の制御および分布にとって重要である。波の伝播は 定常状態の条件下にあるか、または定常状態の条件から外れることができよう。 定常状態の条件下では、波は一定速度で伝播し、波を横切る温度および濃度は一 定のままである。燃焼波の伝播は、反応物および生成物の熱物理学的定数の値に 応じて、脈動様式でも起こり得る。この種の挙動は、濃縮相燃焼または無気体燃 焼の特徴である過剰のエンタルピーに起因している。脈動伝播は、波が伝播する 際に温度および速度が交互に増加および減少する。別の種類の非定常伝播も可能 であり、そこでは反応区域がらせんの形態で進行する。定常および非定常燃焼の 両方とも、本発明のメンブラン合成に使用できる。 本発明の多孔質メンブランを製造または合成する基本的な方法は、少なくとも 1種の微小発熱性物質および微小発熱性物質のための少なくとも1種の液体キャ リヤーを有するスラリーを製造することを含む。好ましくは、このスラリーを基 材または物体の表面に塗布し、その表面上で乾燥させ、メンブランの未焼成形状 物を形成する。次いで、メンブランの未焼成形状物を、本発明の微小発 熱原理にしたがって焼成または燃焼させ、多孔質のメンブランを形成する。 希釈剤と呼ぶ他の物質を加えることにより、スラリーを変性するのが好ましい 場合が多い。スラリーは非常に液体に近いものから非常に粉体に近いものまでの コンシステンシーを有することができる。本発明のその様なスラリーは、下記の 成分の様々な組合せを含むことができる。 a)微小発熱性の物質または材料。これらの材料は、反応し、燃焼から熱なら びに清浄な発生期の生成物を生じることができる、Ni、Al、Ti、B、Si 、Nb、C、Cr23、Zr、Ta、Mg、Zn、MgO、ZnO2、ZrO2、 TiO2、B23、Feまたはそれらの組合せ、の様な物質の粒子、繊維、また はホイルである。代表的な反応は、例えばCr23+Al+B、Ni+Alまた はTi+BまたはC+Al+SiO2、等であり、これらは自然に反応してそれ ぞれCrB2、Ni3AlまたはTiB2またはSiCおよびAl23を与え、大 量の熱を放出する。その様な微小発熱反応の断熱温度は6,500°Kにもなり 得る。表I、II、およびIII は、微小発熱反応(反応物および生成物)およびそ れぞれの反応で放出される熱の大体の量、を部分的に示す。ΔH(KJ/モル) は、反応に対するエンタルピー放出であり、TadKはその様 な反応で到達すると予想される断熱温度である。エンタルピー放出および断熱温 度は、表I〜III におけるすべての反応に関して精確に分かっている訳ではない 。しかし、表に示す反応のすべては、十分に発熱的であると考えられる。表IVは 、幾つかの微小発熱反応および化学量論を示す。表I〜IVの成分を混合すること も、希釈剤を加えることも可能であると考えられ、その希釈剤は、生成物自体で も、あるいは予め決められた大きさの粉体、ホイル、繊維または他の形態の他の 材料でもよい。また、反応物のそれぞれ、および表I〜III に示す反応の生成物 も希釈剤として機能すると考えられる。 b)水性または非水性で、低または高粘度を有することができる液体キャリヤ ー(すなわち、液体懸濁媒体)。このキャリヤーは、様々な種類のクレー、例え ばベントナイト、融解石英、カオリナイトおよび関連する化合物、ケイ酸塩、ホ ウ酸塩、ステアリン酸塩およびMoS2およびPbSを含む他の潤滑剤、メチル セルロースおよび関連する化合物、有機液体、例えばアセトン、ポリビニルブチ リル、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、様々な種類の油、テト ライソアミルオキシド、および水を含む可塑剤(すなわち、結合剤の懸濁液)の 群から選択されることが最も多い。可塑剤は、コロイド状アルミナ、コロイド状 セリア、コロイド状イットリア、コロイド状シリカ、コロイド状ジルコニア、リ ン酸一アルミニウム、コロイド状酢酸セリウムまたはそれらの混合物の様なコロ イド状液体でもよい。コロイド状結合剤は、塩酸塩、硫酸塩、硝酸塩、塩素酸塩 、過塩素酸塩または金属有機化合物の様な少なくとも1種の塩の溶液であるコロ イド前駆物質および試薬を含む懸濁液から得ることができる。コロイド状結合剤 は、通常比較的薄い水性または非水性懸濁液であるが、濃縮されたコロイドまた は部分的にまたは完全に沈殿したコロイドを使用することも可能である。あるい は、コロイド状結合剤は、アセチルアセトンおよびアセト酢酸エチルの様なキレ ート化剤を含む懸濁液から得ることもできる。 コロイドを使用する場合、3種類のコロイド処理が可能である。第一は、ある 種の多糖溶液のゲル化である。他の2種類は、コロイドおよび金属有機化合物が 関与する。これらの、後の2種類では非常に細かい材料を混合する。コロイドは 、この場合は液体である分散媒体中に、少なくとも一つの寸法が0.5nm(ナノ メートル)〜約10ミクロン(マイクロメートル)で分散した相を含むと定義で きる。この寸法の大きさがコロイドを、(a)極めて大きな表面積および(b) 大部分の分子がコロイド系の表面に存在する点で、バルク系から区別している。 分子の40%までが表面上に存在する。本発明に重要なコロイド系は、熱力学的 に安定した親液型(重合体の様な巨大分子系を含む)および速度論的に安定した 疎液型(粒子を含む系)の両方である。スラリーの形成では、新しい材料および 他の薬剤または希釈剤を可塑剤と混合することができる。 c)希釈剤の一つは、炭化物、ケイ化物、ホウ化物、窒化物、酸化物、炭化窒 化物(carbonitrides)、酸化窒化物(oxynitrides)およびそれらの組合せを含む粉 体添加剤である。粉体添加剤の組合せを選択する場合、粒子径の選択が重要であ る。100ミクロン未満の粒子径を選択し、粉体添加剤の組合せを選択する場合 、粒子の充填が最適化される様に変化する粒子径を選択するのが好ましい。一般 的に、粒子径の比率は約2:1〜約5:1 である。場合により、ある成分の大きさが他の成分の3分の1になる様に、すな わち粒子径が約3:1になる様に選択することにより、充填は最適化される。 d)金属粒子、金属間化合物粒子、またはこれらの組合せ、例えばNi、Pt 、Al、Cr、Zr、Zn、Mg、NiAl、NiAl3、CrSi、CrB、 等。これらの粒子の大きさも、上記の粉体添加剤と同様に、最適充填を達成する 様に変化するのが好ましい。 e)金属有機化合物、主として一般式M(OR)z(式中、Mは金属または2 個以上の元素からなる錯体陽イオンであり、Rはアルキル鎖であり、zは通常1 〜12の数である)の金属アルコキシド。あるいは、これらの金属アルコキシド は、有機性基の分子が酸素を通して金属原子に結合している溶液として説明する こともできる。金属アルコキシドの例は、ケイ素テトライソアミルオキシド、ア ルミニウムブトキシド、アルミニウムイソプロポキシド、オルトケイ酸テトラエ チル、等である。他の金属有機化合物の有機部分は、ギ酸塩、酢酸塩およびアセ チルアセトン酸塩を含むことができる。 f)熱分解性のクロロシラン、ポリカルボシラン、ポリシラザンおよび他の有 機ケイ素重合体は、酸化防止に有用な生成物に熱分解する結合剤として使用する ことができる。その様な化合物は、微小発熱反応に有利な、ただし複雑な様式で 関与し、メンブランに効果的な形態お よび大きさを有する有用な生成物の収率を増加させると期待される。有機ケイ素 重合体は一般的に水中に溶解するので、水溶液濾過用のメンブラン製造には避け るべきである。 g)アルカリ性または酸性溶液が、スラリーのpH調節に必要になることがある 。標準的な実験室用のアルカリおよび酸を使用する。 h)重合体(例えば、ポリウレタン、ポリエステル)または炭素質材料の様な 、燃焼および/または酸化可能な液体または固体成分をスラリーに加え、最終的 に燃焼させ、メンブラン中に予め決められた細孔径および細孔容積(密度)を残 すことができる。 上記の成分群(a)〜(h)を考慮して、本発明に使用するスラリーは、群( a)および(b)の少なくとも1種、および所望により群(c)〜(h)から選 択される1種以上の成分で構成される。群(c)〜(h)から選択される成分は 、一般的に希釈剤と考えられる。群(c)〜(h)の成分は、(1)メンブラン の最終組成を調整すること、(2)微小発熱反応の速度を調節すること(すなわ ち、波の伝播速度および燃焼温度Tcを調節すること)、(3)メンブラン構 造に別の相を追加すること、および/または(4)メンブラン中の細孔径および 細孔密度を調整すること、を含む多くの理由から、成分(a)および(b)(す なわち、微小発熱性物質お よび液体キャリヤー)の基本的なスラリーに加える。群(b)のキャリヤーは、 希釈剤として作用する成分を含むことができる。さらに、ある種の材料はこれら の項目の2つ以上に存在することができる。例えば、シリカまたはアルミニウム は、キャリヤー中にコロイド形態で、および添加剤として粉末形態で含むことが できる。また、粒子状ニッケルおよびアルミニウムは、微小発熱反応物として、 ただし化学量論的な量よりも過剰に存在することができるが、その際、過剰分は 粒子状添加剤を形成する。また、粉末添加剤は微小発熱反応の反応生成物と同じ でもよい。 表VおよびVIは、それぞれ代表的な微小発熱性スラリー組成物および非微小発 熱性スラリー組成物の例を示す。 所望のスラリー混合物が製造されたら、そのスラリーを乾燥させて所望の幾何 学的構造を有する未焼成形状物を形成する。好ましくは、スラリーは基材または 物体の表面に塗布する。次いで、塗布したスラリーを、空気乾燥により、あるい は例えばオーブン中で、微小発熱反応が開始しない様に、比較的低い温度で焼き 付けることにより、乾燥させる。スラリーの塗布には、塗装(ブラシまたはロー ラーによる)、浸漬、スプレー、または液体を表面上に注ぐ、などの様々な方法 がある。一般的に、スラリーの各被覆は、別の被覆を加える前に乾燥させる。し かし、下側の被覆は次の被覆を施す前に完全に乾燥している必要はない。微小発 熱成分を含む一つ以上の被覆が存在する場合、焼成(すなわち、焼き付け工程) の前にこれらの被覆を完全に乾燥させるのが好ましい。所望の層厚を得るために は、複数の被覆が必要になることがある。スラリーの組成に応じて、修理する、 またはさら に蓄積させるために、すでに焼成した層にさらに被覆を追加することができる。 メンブランの緻密性を改良する必要がある場合、微小発熱成分が存在しなくても 、未焼成メンブランを適当な熱源、例えばトーチ(例えば、ブタンまたはオキシ アセチレン)、レーザー、炉、等で加熱するのが好ましい。その様な加熱は、好 ましくは空気中で行なうが、他の酸化性雰囲気または不活性または還元性雰囲気 中で行なうこともできよう。 一般的に微小発熱層は、幾つかの層を結合すると共に、基材または物体に結合 するための熱を与える。本発明により複数の微小発熱層を有するメンブランを製 造できるが、所望により、一つ以上の非微小発熱層を有する多層メンブランを製 造することもできる。これらの非微小発熱層は、例えば重合体からなることがで きる。 所望により、基材または物体の表面に対する被覆の結合は表面処理により強化 することができる。表面は、被覆する前に、サンドブラストまたは酸洗または氷 晶石若しくはフッ化物と塩化物の他の組合せのフラックスにより処理することが できる。同様に、基材は被覆する前にアセトンの様な有機溶剤で洗浄し、油性物 質や他のくずを除去することができる。 基材または物体の表面を被覆し、乾燥させた後、使用前に、上記の(a)〜( e)項の成分の1種以上を含む液体の最終被覆を軽く施すことができる。その様 な軽い 被覆は、浸漬または塗装により施すことができる。追加の工程として、化学的ま たは表面活性化合物をメンブラン層に加えるか、あるいは燃焼後にメンブラン中 に取り入れることができる。 微小発熱被覆の場合、スラリー被覆を乾燥させた後の追加工程は、スラリー成 分(すなわち、未焼成状態のメンブラン)焼成または燃焼である。未焼成メンブ ランの燃焼は、直接火炎、一点に集中した日光、プラズマ、レーザーまたは電子 線により行なうことができる。さらに、基材または物体が導電性である場合、未 焼成形状物は、基材または物体に電流を通すことにより燃焼させることができる 。被覆した基材または物体は、予め決められた温度および時間で炉の内部に置く か、あるいは誘導法または放射熱で加熱することもできる。塗布したスラリーは 、一定の温度以上で焼結する粒状物質、特に約0.5Tmより高い温度で反応焼 結する反応性および/または非反応性物質を含む。ここで、Tmは、最も低い融 解反応生成物の融点である。 本発明により製造される多孔質メンブランは、熱源からの過剰のエンタルピー を使用してメンブラン気孔の性質および含有量を変えることができるので、1回 可変の追加特性を有する。すなわち、メンブランに追加の熱を作用させてメンブ ラン中の細孔径および細孔密度を下げることができる。この方法は、細孔径が1 0ナノメート ル〜100ミクロンのメンブランを得るのに都合が良い。本発明の原理を使用し 、メンブランを交換する代わりに、その場で修理することも考えられる。 本発明は、高温および腐食性環境で使用される多孔質メンブランの製造に特に 適している。さらに、本発明方法は、主として無機の一体化されたおよび複合材 料の単層および多層メンブランの合成に使用されるが、無機の中間層を有する多 層メンブランも可能である。一般的に無機のメンブランは、有機の腐食性液体お よび高温の液体および気体に対する反応性が低いので、有機のメンブランよりも 優れている。 多孔質メンブランは、製造後、その最初に製造されたメンブランの特性を改良 するために、微小発熱性スラリーを含む、有機材料または他のスラリー、コロイ ド、等でさらに含浸することができる。 下記の実施例により本発明をさらに説明する。実施例1 高密度グラファイトブロックおよび銅ブロック上に非接着性メンブランが合成 される様に、微小発熱性スラリーをそれらの上に塗布した。どちらも大きさが− 325メッシュ(44ミクロン未満)の、元素状のチタン(純度99.5%)お よびホウ素(純度92%)の反応性粉末を等モル比で機械的に約15分間混合し 、30体積%のコロイド状シリカおよび70体積%のリン酸−アルミ ニウムからなるキャリヤーを加えてスラリーを形成した。粉末/キャリヤー比は 、10グラム/1mlであった。キャリヤーは、コロイド状シリカ0〜50体積% およびリン酸一アルミニウム100〜50体積%でよい。粉末/キャリヤーの比 率は、10g/10mlまたは20g/mlでよい。このスラリーをブラシ塗りで塗 布したが、ロール塗り、スプレー、浸漬または注ぎ込みでもよい。塗布したスラ リーの層を50%相対湿度の雰囲気中で約15〜30分間空気乾燥させ、厚さ約 200マイクロメートルの層を形成した。各層が乾燥してから追加の層を塗布す ることができた。乾燥速度は、亀裂が生じない様に調整した。この乾燥工程の後 、未焼成メンブランをオキシ−アセチレントーチで燃焼させた。レーザー、電子 線、プロパントーチ、オキシ−アセチレントーチまたは一点に集中させた日光で 燃焼させることもできる。微小発熱前線は試料全体に広がり、試料は合成完了後 に剥離した。合成された材料は、TiB/TiB2であったが、これは高耐火性 であることが分っている。メンブランは、微小発熱反応の前線または波が通過し た後、細孔径を維持するために低温空気ジェットで冷却することができる。実施例2 NiおよびAlの粉末を、Ni3Al、NiAlおよび/またはNiAl3を与 える組成で混合することにより、幾つかのメンブランを製造した。大きさはNi 粒子 が約3ミクロンで、Al粒子が約1ミクロンであった。3種類のスラリーは、コ ロイド状のアルミナ、セリアおよびジルコニア(粉末10g/キャリヤー3ml) のNiおよびAl粒子を混合することにより製造した。各スラリーの層を金属基 材および非常に多孔質なアルミナ基材上に堆積させた。燃焼後、各メンブランは 金属基材からは剥離したが、セラミック基材には接着したままであった。各メン ブランは気孔率が40%で、平均細孔径が約4ミクロンであり、厚さが約200 〜300ミクロンであった。実施例3 粒子径がそれぞれ40ミクロンのB23、TiO2、およびAl粉末をモル比 (3B23)+(10Al)+(3TiO2)で混合した。これらの粉末をポリ ウレタン塗料希釈剤と混合し、タンタル基材に塗布した。スラリーを塗布する毎 に、その前に塗布した被覆が除去されない様に注意した。層は厚さが550ミク ロンになるまで積み重ねた。次いで、層を燃焼させて多孔質のメンブランを得た が、このメンブランはタンタル基材から取り外すことができた。メンブランの最 終組成は、TiB2/Al23であった。実施例4 アルミニウム粉末(1〜44ミクロン)17.3重量%、炭素粉末(無定形ま たは結晶性)78.9重量%、 およびコロイド状アルミナ(所望により使用)3.8重量%を含むスラリーを製 造した。このスラリーを複数の多孔質シリカ基材上に厚さ約500ミクロンまで ブラシ塗りした。被覆した基材を炉中で1000℃に約5分間加熱するか、また はトーチの火炎で加熱した。次いで基材を、ドライアイス(CO2)の還元雰囲 気中で冷却した。実施例5 Al26.29重量%、B2320.36重量%、TiB223.35重量% 、および炭素粉末30重量%を含む微小発熱性粉末混合物を製造した。この微小 発熱性粉末をある量のコロイド状アルミナおよびより多くの炭素粉末と、微小発 熱性粉末38.5重量%+炭素粉末38.5重量%+コロイド状アルミナ23重 量%(またはメチルセルロース2重量%水溶液)になる様に混合した。上記のス ラリーを複数の多孔質アルミナ基材の表面上にブラシ塗りした。被覆した基材を 炉中で1100℃に、またはトーチの火炎で燃焼が開始するまで加熱した。次い で、被覆した基材をドライCO2の還元雰囲気中で冷却した。Ar、He、N、 等の気体も使用することができた。 上記の実施例4および5で、多孔質メンブランを製造するために主として炭素 質の材料を使用した。 燃焼、つまり微小発熱工程の後で多孔質メンブランを 集めるのに下記の処理方法が特に効果的であることが分かった。未焼成状態で、 これらのメンブランは、単層状態でも多層状態でも、最初に塗布した基材に密着 する傾向がある。基材が非多孔質金属、グラファイトまたはセラミックであり、 メンブラン材料(一般的に少なくとも約10-6/°K)と基材の間に熱膨脹係数 の不適合があっても、燃焼前線の持つ衝撃およびメンブランの対応する膨脹また は収縮は、メンブランが基材からきれいに剥離するのに十分である。ホウ素38 グラム、チタン162グラムおよびポリウレタン10ml/グラムを含む200ミ クロン厚の層をグラファイト基材に塗布し、プロパントーチで燃焼させた場合、 得られるメンブラン自体は焼成工程の後で離脱し、損傷なしに完全に回収される 。メンブランの細孔径は約0.2ミクロン〜約500ミクロンであり、細孔密度 は約60%であった。このメンブランは、TiとBの微小発熱反応から形成され たTiB2からできていた。さらに、脱離工程は、メンブランを塗布する前に基 材表面をワックス処理することにより、強化することができる。 本発明方法の別の実施態様では、メンブランを含む強靭な(すなわち、より厚 く、より強い)物体を得るために、燃焼前に、細孔径の大きな2つの多孔質材料 の間にメンブランスラリーを塗布する。同様に、強靭性を持たせるために、燃焼 前に多孔質物体の片面にスラリーを塗 布することができる。いずれの場合も、燃焼の最中および後にメンブランが多孔 質物体に密着したままである様に、多孔質材料を選択する。この実施態様は、実 施例6〜9および図1〜3に関してさらに説明する。実施例6 図1に示す様に、本発明の微小発熱方法により、多孔質支持体層(すなわち、 基材12)上にアルミナ(Al23)相および炭化ケイ素(SiC)相を有する 複合材料メンブラン層11を含む一体化されたメンブラン10を製造した。多孔 質アルミナおよびシリカ(SiO2)の支持体層の両方を使用した。2種類の微 小発熱性スラリー試料を製造した。それぞれの組成は、次の通りである。 ブラシを使用して各スラリー試料をそれぞれの種類の支持体層12上に塗布し 、未焼成複合材料メンブラン層11を含む一体化されたメンブラン10の試料を 形成した。これらの試料をオーブン中、50℃で約12時間、次いで100℃で 約3時間乾燥させた。乾燥した試料を次に炉中、1000℃で燃焼させ、多孔質 支持体層12に密着している微小発熱複合材料メンブラン層11を含む一体化さ れたメンブラン10を得た。各試料のメンブラン層11は、気孔率が約55%、 細孔径約0.5ミクロン〜約2ミクロン、および粒子径約1ミクロン〜約4ミク ロンである。 微小発熱性メンブランの細孔径分布は、様々な希釈剤を加えることにより調整 している。これらの添加剤は大きな粒子でも小さな粒子でもよい。ナノメートル サイズのシリカ粒子20は、乾燥工程の後でコロイドから得られる。これらのシ リカ粒子20は、微小発熱反応生成物である炭化ケイ素粒子24とアルミナ粒子 25の間に形成される大きな細孔22を充填し、より小さな細孔28を形成する ための希釈剤として作用する。実施例7 Cr32およびAl23の複合材料メンブラン層を含む一体化されたメンブラ ンを実施例6と同様に製造したが、スラリー組成は次の通りである。 実施例8 別の一体化されたメンブラン30は、図2に示す様に、多孔質のアルミナ支持 体層または基材32上に微小発熱性単体構造のメンブラン層31を有する。2つ の一体化されたメンブラン30は、本発明の微小発熱砲により製造した。各一体 化されたメンブラン30は、異なった微小発熱性スラリー組成物から製造された 単体構造のメンブラン層を有していた。一方のスラリー(試料A)が二ホウ化チ タン(TiB2)のメンブラン層31を形成し、もう一方のスラリー(試料B) が炭化チタン(TiC)のメンブラン層31を形成した。2種類のスラリー試料 の組成は次の通りである。 各スラリー試料に対して、ブラシを使用してスラリーを各基材32の表面上に 塗布し、約300ミクロン厚の層を形成した。各基材32上のスラリー層をオー ブン中、調整温度50℃で12時間乾燥させた。乾燥後、各試料の未焼成メンブ ラン層を調整炉中、800℃で燃焼、微小発熱反応させ、多孔質基材32に密着 した上記の微小発熱単体構造メンブラン層31を含む一体化されたメンブラン3 0を得た。実施例9 図3に示す様な、フィルター42上に微小発熱性の単体構造または複合材料メ ンブラン層41を有する、異なった種類の一体化されたメンブラン40を製造す ることができる。単体構造メンブラン層41を有する一体化されたメンブラン4 0は、アルミナ、アルミナ−ケイ酸塩、ジルコニア、および炭化ケイ素からなる 通常の溶融金属型フィルター42の表面を上記実施例8のスラリー組成物のいず れかで被覆することにより製造した。溶融金属型フィルター42は、通常の手段 により、またはここにその全体を参考として含める米国特許出願第07/537 ,902号の微小発熱原理により製造することができる。いずれの組成物も、フ ィルター42の表面上に、ブラシで所望の層厚に塗布することができる。未焼成 メンブラン層を乾燥させ、次いで燃焼させて一体化されたメンブラン40を製造 する。 圧力の支援によりメンブランを形成することも可能である。この圧力は、気体 が関与する微小発熱合成の際の、約2気圧のガス圧でよい。さらに、固体−固体 燃焼では、表面品質および細孔径の一様性を調整する技術として、未焼成メンブ ランの上に一様な荷重をかけることができる。微小発熱層と共に一つ以上の、有 機物質、重合体、ガラス、金属、または金属間化合物の層を含む、多層構造の、 その場で形成されたメンブランも考えられる。対 称的ならびに非対称的な様式で、幾つかのコロイド状液体の被覆を微小発熱層の 上に塗布することもできる。 上記の、本発明の一般的な開示および先行する詳細な説明から、当業者は本発 明の様々な変形を容易に行なうことができる。したがって、本発明の範囲は下記 の請求項およびその同等のものによってのみ規定される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヅー,ネイピング アメリカ合衆国オハイオ州、シンシナチ、 リドル、クレスト、アベニュ、518

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. 少なくとも1種の微小発熱性物質および前記少なくとも1種の微小発熱 性物質用の少なくとも1種の液体キャリヤーを含んでなるスラリーを製造する工 程、 前記スラリーを、所望の幾何学的構造を有する未焼成形状物に乾燥させる工程 、および 前記未焼成形状物を燃焼させて多孔質メンブランを製造する工程 を含んでなることを特徴とする、多孔質メンブランの製造方法。 2. 前記スラリーが、さらに少なくとも1種のセラミック材料を含んでなる 、請求項1に記載の方法。 3. 前記少なくとも1種のセラミック材料が、炭化物、ケイ化物、ホウ化物 、窒化物、酸化物、炭化窒化物、酸化窒化物およびそれらの混合物からなる群か ら選択される、請求項2に記載の方法。 4. 前記少なくとも1種のセラミック材料が、100ミクロン未満の粒子径 を有する粒子の形態にある、請求項2に記載の方法。 5. 前記少なくとも1種のセラミック材料粒子が、前記粒子の充填を最適化 するために異なった粒子径を有し、前記粒子径が2:1〜5:1の比率を有する 、請求項4に記載の方法。 6. 前記粒子径の比率が約3:1である、請求項5に記載の方法。 7. 前記スラリーが、元素状金属、金属間化合物およびそれらの混合物から なる群から選択された少なくとも1種の金属性材料を含む、請求項1に記載の方 法。 8. 前記少なくとも1種の金属性材料が、Ni、Pt、Al、Cr、Zr、 Zn、Mg、NiAl、NiAl3、CrSi、CrBおよびそれらの混合物か らなる群から選択される、請求項7に記載の方法。 9. 前記少なくとも1種の金属性材料が、100ミクロン未満の粒子径を有 する粒子の形態にある、請求項7に記載の方法。 10. 前記少なくとも1種の金属性材料粒子が、前記粒子の充填を最適化す るために異なった粒子径を有し、前記粒子径が2:1〜5:1の比率を有する、 請求項9に記載の方法。 11. 前記粒子径の比率が約3:1である、請求項10に記載の方法。 12. 前記スラリーが、少なくとも1種の可塑剤を含む、請求項1に記載の 方法。 13. 前記少なくとも1種の可塑剤が、クレー、メチルセルロースおよび関 連化合物、ケイ酸塩、ホウ酸塩、潤滑剤、有機液体、コロイド状液体およびそれ らの混合物からなる群から選択される、請求項12に記載の方法。 14. 前記スラリーが、ベントナイト、融解石英、カオリナイト、関連化合 物、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の方法。 15. 前記スラリーが、アセトン、ポリビニルブチラール、ポリビニルアル コール、ポリエチレングリコール、油、テトライソアミルオキシド、水およびそ れらの混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の方法。 16. 前記スラリーが、コロイド状アルミナ、コロイド状セリア、コロイド 状イットリア、コロイド状シリカ、コロイド状ジルコニア、リン酸一アルミニウ ム、コロイド状酢酸セリウムおよびそれらの混合物からなる群から選択されたコ ロイド状液体を含む、請求項1に記載の方法。 17. 前記液体キャリヤーが、水溶液、非水溶液およびそれらの混合物から なる群から選択される、請求項1に記載の方法。 18. 前記スラリーが、少なくとも1種の金属有機化合物を含む、請求項1 に記載の方法。 19. 前記少なくとも1種の金属有機化合物の有機部分が、アルコキシド、 ギ酸塩、酢酸塩、アセチルアセトン酸塩およびそれらの混合物からなる群から選 択される、請求項18に記載の方法。 20. 前記スラリーが、一般式M(OR)z (式中、Mは金属または錯体陽イオンであり、Rはアルキル鎖であり、zは数で ある) により表わされる金属アルコキシドを含む、請求項1に記載の方法。 21. zが1〜12の数である、請求項20に記載の方法。 22. 前記スラリーが、有機性基が酸素を通して金属原子に結合している分 子からなる群から選択された金属アルコキシドを含む、請求項1に記載の方法。 23. 前記スラリーが、ケイ素テトライソアミルオキシド、アルミニウムブ トキシド、アルミニウムイソプロポキシド、オルトケイ酸テトラエチルおよびそ れらの混合物からなる群から選択された金属アルコキシドを含む、請求項1に記 載の方法。 24. 前記スラリーが、少なくとも1種の熱分解性有機ケイ素重合体を含む 、請求項1に記載の方法。 25. 前記熱分解性有機ケイ素重合体が、クロロシラン、ポリカルボシラン 、ポリシラザンおよびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項24に 記載の方法。 26. 前記スラリーが、少なくとも1種の燃焼可能および/または酸化可能 な物質を含む、請求項1に記載の方法。 27. 前記スラリーが、ポリウレタンおよびポリエ ステルを含む重合体材料、炭素質材料およびそれらの組合せからなる群から選択 された成分を含む、請求項1に記載の方法。 28. 前記スラリーが、アルカリ、酸およびそれらの混合物からなる群から 選択されたpH調整剤を含む、請求項1に記載の方法。 29. 前記少なくとも1種の微小発熱性物質が、粒子、繊維、ホイルまたは それらの組合せの形態にある、請求項1に記載の方法。 30. 前記少なくとも1種の微小発熱性物質が、Ni、Al、Ti、B、s i、Nb、C、Cr23、Zr、Ta、Mg、Zn、MgO、ZnO2、ZrO2 、TiO2、B23、Feまたはそれらの組合せからなる群から選択される、請 求項1に記載の方法。 31. 前記スラリーが、N、Be、u、Co、Mo、W、V、Mn、Cu、 pd、Hf、La、Ta、Cd、S、P、Nb、V25、Fe23、Fe34、 NiO、MnO2、SiO2、MoO3、HfO2、WO3、TiB2、CrO3、N b25、Al2Zr、B4C、ZrSiO4、B23、CdS、MnS、MoS2、 NaN3、NaCN、Si34、PbO、PbO2、WO2、BaO2、SiO、T iOおよびそれらの混合物からなる群から選択された希釈剤を含む、請求項1に 記載の方法。 32. 前記スラリーを導電性の基材上に堆積させ、乾燥し、前記導電性基材 に電流を通すことにより前記未焼成形状物を燃焼させ、前記多孔質メンブランを 形成する、請求項1に記載の方法。 33. 前記スラリーを基材または物体上に堆積させ、乾燥し、前記未焼成形 状物の燃焼後、前記多孔質メンブランが基材または物体に密着する、請求項1に 記載の方法。 34. 前記スラリーを基材または物体上に堆積させ、乾燥し、前記未焼成形 状物の燃焼後、前記多孔質メンブランを基材または物体から取り外すことができ 、それと無関係に再使用できる、請求項1に記載の方法。 35. 前記多孔質メンブランが導電性である、請求項1に記載の方法。 36. 前記多孔質メンブランが、薄または厚膜抵抗として使用するのに適し ている、請求項35に記載の方法。 37. 前記多孔質メンブランが、加熱素子として使用するのに適している、 請求項35に記載の方法。 38. 前記多孔質メンブランが、電気−化学反応における電極として使用す るのに適している、請求項35に記載の方法。 39. SiC、NiAl、Ni3Al、Cr32、MoB、MoSi2、Ti B2、Ti5Si3、 NbAl2、ZrB2、NbB2、Fe、Cr、TiB、HfB2、TaB2、Ti C、TiNi、TiPd、TiAl、TiFe、NiAl3、WC、VC、Nb C、Nb2C、ZrC、HfC、TaC、Ta2C、Al43、Mo2C、B4C、 VB2、LaB6、WB、W2B、CrB2、UB4、MoB2、MoB、AlB12、 TiN、Si34、HfN、BN、ZrN、TaN、Ta2N、VN、AlN、 LaN、Be32、UN、Mg32、NbN、Nb2N、TiSi2、TiSi、 WSi2、V5Si3、TaSi2、ZrSi,ZrSi2、Zr5Si3、NbSi2 、Ni2 Si、Ni3Si2、CdS,MnS,MoS2、NiS2、NiP、N bP、Ni3Al2、TiAl3、CuAl、CuAl2、CU4Al3、CU3Al2 、CU9Al4、FeAl、Fe3Al、ZrAl2、PdAl、TiPt、TiC o、CoAl、PbMoO3、PbWO4、BaSiO3、BaTiO3、PbTi O3、MnTiO3、MnSiO3およびそれらの組合せからなる群から選択され た物質を含んでなる組成を有することを特徴とする、多孔質メンブラン。 40. さらに、炭化物、ケイ化物、ホウ化物、窒化物、酸化物、炭化窒化物 、酸化窒化物およびそれらの混合物からなる群から選択されたセラミック材料の 粒子を 含んでなる、請求項39に記載の多孔質メンブラン。 41. 少なくとも2種類の異なった相を含んでなる組成を有することを特徴 とする、多孔質複合材料メンブラン。 42. 一つの相がAl23であり、もう一つの相が、Fe、Cr、Cr32 、SiC、Ni、Mn、Si、Ti、ZrO2、Nb、TiC、WC、B4C、Z rC、Mo2C、TiB2、ZrB、MoB、HfB、VN、TiNおよびNa からなる群から選択される、請求項41に記載の多孔質メンブラン。 43. 前記相が、TiB2、Al、TiC、Ni、Zrb2、Cu,MgO、 Fe、Cr、Mn、SiO2、TiO2、ZrO2、TiB2、TiB、AlB12、 Na、B4C、MoB、MoSi2、ZrO2、VB2、B23、CrB2、FeB およびMoB2からなる群から選択される、請求項41に記載の多孔質メンブラ ン、 44. 少なくとも一つの多孔質メンブラン層、および少なくとも一つの多孔 質基材を含んでなる一体化されたメンブランであって、前記少なくとも一つの多 孔質メンブランが前記多孔質基材に直接結合されていることを特徴とするメンブ ラン。 45. 前記少なくとも一つの多孔質メンブランが単体構造を有する、請求項 44に記載の一体化されたメンブラン。 46. 前記少なくとも一つの多孔質メンブランが複合材料である、請求項4 4に記載の一体化されたメンブラン。 47. 前記多孔質基材が焼結した粒子を含んでなる、請求項44に記載の一 体化されたメンブラン。 48. 前記多孔質基材がフィルターである、請求項44に記載の一体化され たメンブラン。
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