JPH09308292A - ブラシレスモータの駆動装置およびこれを用いた位置決めテーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ブラシレスモータにおける相切り換え位置付
近の推力またはトルク低下を極力小さく抑え、推力また
はトルクリップルを除去する。 【解決手段】 ブラシレスモータの固定子２側または可
動子３側のモータ結合部に、モータの発生する推力また
はトルクを検出する推力またはトルク検出器１３を設置
し、モータ駆動装置に、前記検出器からの推力またはト
ルク信号を駆動指令値に負帰還する手段１４を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ブラシレスモータ
の駆動装置およびこれを用いた位置決めテーブル装置に
関するものであり、特に一定速度で位置決めテーブル装
置を移動するスキャン型半導体露光装置等の半導体露光
装置に適用されて好適なブラシレスモータの駆動装置お
よびこれを用いた位置決めテーブル装置に関するもので
ある。また本発明は、一定速度で加工物や検査物を移動
する必要のある高精度ＮＣマシンや高精度検査装置等に
も利用できるものである。さらに、本発明のモータ駆動
回路は、ジッタまたはワウフラッタを嫌う、あらゆるブ
ラシレスモータの駆動回路にも有効である。

【０００２】

【従来の技術】図５は、従来の位置決めテーブル装置の
概略構成図である。電気回路以外の部分は平面図で示し
てある。この図に示すような従来の位置決めテーブル装
置は、４相のコイルを一直線上に並べたリニアモータコ
イル１０４を備えている。リニアモータコイル１０４は
コイル支持材１０３に支持されており、リニアモータコ
イル１０４を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、一対
のガイド１０２が設けられている。ガイド１０２には上
下一対のテーブル天板１０１が案内部１１２ａ，１１２
ｂを介してリニアモータコイル１０４を挟持するように
取り付けられており、上下一対のテーブル天板１０１は
ガイド１０２によって前記コイルの並ぶ方向に摺動自在
に案内される。案内部１１２ａとガイド１０２のガイド
面１０２ａはテーブル天板１０１の左右方向（図５の紙
面における上下方向）の移動を規制し、案内部１１２ｂ
とガイド１０２のガイド面１０２ｂはテーブル天板１０
１の上下方向（図５の紙面に対し表裏の方向）の移動を
規制する。案内部１１２ａ，１１２ｂとしては、位置決
め精度やメンテナンス性を考慮し、転がり、摺動、静圧
案内などが適宜用いられる。上下一対のテーブル天板１
０１の各々には可動磁石１０５が取り付けられ、可動磁
石１０５は前記コイルの並ぶ方向に永久磁石を極性を交
互にして４つ並べて構成されている。そして各可動磁石
１０５はリニアモータコイル１０４を介して互いに異な
る極性どうしが向かい合うようにしてテーブル天板１０
１に取り付けられている。

【０００３】また、ガイド１０２の側方にはテーブル天
板１０１の位置を検出するリニアスケールなどの位置検
出器１０６が設けられている。位置検出器１０６にはテ
ーブルの位置検出信号を得るカウンタユニット１０７が
接続され、カウンタユニット１０７には各コイル相を切
り替えるための相切り替えコントローラ１０９が接続さ
れている。相切り替えコントローラ１０９は、カウンタ
ユニット１０７からのテーブル位置信号に応じて、スイ
ッチ１１０を切り替え制御するものである。各スイッチ
１１０ごとにはコイル相が電流アンプ１１１を介して接
続されており、相切り替えコントローラ１０９から出力
されるコイル選択信号によりスイッチ１１０が切り替え
制御されて各コイルへの通電が切り替えられる。また、
カウンタユニット１０７にはテーブルの目標位置とカウ
ンタユニット１０７から得られる現在位置との差分を演
算し、各スイッチ１１０へ指令値として出力するサーボ
コントローラ１０８が接続されている。サーボコントロ
ーラ１０８、相切り替えコントローラ１０９、スイッチ
１１０、および電流アンプ１１１によりテーブル制御部
を構成している。

【０００４】図６は、図５の位置決めテーブル装置に備
えられたリニアモータコイルの通電パターンを示す図
で、図５のリニアモータコイル１０４および可動磁石１
０５をその配列方向に切った断面を示している。図６
中、リニアモータコイルを構成する４つのコイルを図中
左から便宜上コイル１ないし２とする。また記号Ａおよ
びＢはコイルに流れる電流の向きを示し、記号Ａは図面
正面から見て手前向きの電流方向を示し、記号Ｂは図面
正面から見て奥向きの電流方向を示している。

【０００５】図６の（ａ）〜（ｋ）に示すように可動磁
石１０５の位置によって通電するコイルおよびそのコイ
ルに流れる電流の向きを切り替え、同一方向に推力を発
生させることで、可動磁石１０５を所定の方向に移動さ
せるとともにテーブルを移動させている。

【０００６】図７は上記従来例のテーブル制御部の詳細
図である。簡単に動作を説明するため、コイル１，２の
みを記す。同図において、１２０はモータに電流を供給
するパワーアンプ、１２１はモータの駆動電流を検出す
る電流検出抵抗、１２２は電流検出抵抗１２１の電位差
より駆動電流を検出するオペアンプ、１２３は各検出電
流を各コイルの電流指令値に負帰還させる差分器であ
る。

【０００７】上記のように電流を供給するパワーアンプ
１２０、駆動電流を検出する電流検出抵抗１２１および
オペアンプ１２２、各検出電流を各電流指令値に負帰還
させる差分器１２３より図５に示す電流アンプ１１１が
構成されている。

【０００８】サーボコントローラ１０８からは３［Ａ］
の電流を流すように電流指令値が出力されているものと
する。相切り替えコントローラ１０９からはスイッチ１
１０を切り替えるオン・オフのデジタル信号が出力され
る。この時コイル１が選択されているとすると、コイル
１のスイッチ１１０は接点ａの側に選択され、コイル１
の電流指令値１は３［Ａ］となり、コイル２のスイッチ
１１０は接点ｂの側に選択され、コイル２の電流指令値
２は０［Ａ］となる。この時可動磁石がある速度Ｖ［ｍ
／ｓｅｃ］をもって移動していると、モータの推力定数
をＴ［Ｎ／Ａ］、コイル１および２の抵抗値をＲ［Ω］
として、その時コイル１および２には逆起電力Ｅ［Ｖ］
（Ｅ＝Ｔ・Ｖ）が発生するが、電流アンプ１１１を図７
のように負帰還アンプとして構成すると、コイル１のパ
ワーアンプ１２０は出力電圧Ｖ１［Ｖ］（Ｖ１＝Ｅ＋３
Ｒ）を出力して電流指令値１の通りに３［Ａ］の電流を
流し、コイル２のパワーアンプ１２０は逆起電力Ｅ
［Ｖ］を打ち消す出力電圧Ｖ２［Ｖ］（Ｖ２＝Ｅ）を出
力して電流指令値２の通り電流を流さない、すなわちオ
ープン状態を作り出すことができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、次に示
すように、上記従来例では磁束発生手段である可動磁石
１０５の磁束密度分布が原理的に方形波状に作れないこ
とと、リニアモータコイル１０４に駆動方向の幅がある
ために、通電するリニアモータコイル１０４に一定の駆
動電流を流しても、可動磁石１０５とリニアモータコイ
ル１０４の位置関係により推力が波状に変化する、すな
わち推力リップルが発生するという問題点がある。

【００１０】図８はリニアモータのコイルと可動磁石の
構成および可動磁石内の位置における磁束密度分布を表
わす図である。図８におけるコイルと可動磁石の位置関
係は丁度図６の（ｆ）と同じであり、この時コイル２が
選択され、図の方向に電流が流れている。磁界中の電流
に発生する力Ｆは磁束密度Ｂと電流Ｉの積に比例するの
で、この時可動磁石に発生する推力は磁束密度のグラフ
の斜線部分を積分したもの、すなわち斜線部分の面積に
比例することになる。図８の磁束密度分布のグラフが示
すように磁束密度は方形波状ではなく波状になるため、
コイルの切り換え位置付近では磁束密度が低下し、した
がってコイルの切り換え位置付近では推力も低下するこ
とになる。

【００１１】図９はリニアモータコイルに一定の電流を
流し、可動磁石が図６の（ａ）から（ｊ）まで移動した
時の可動磁石にかかる推力を表した図である。この図が
示すように、各コイルに一定の電流を流した場合は、可
動磁石の可動範囲の両端（ａ）および（ｋ）付近と、コ
イルの切り換え位置（ｂ）〜（ｊ）付近で推力が低下し
ている。

【００１２】従来の位置決めテーブル装置に備えられた
サーボコントローラ１０８は、位置決めテーブル装置の
位置決め精度、応答性等のサーボ特性（追従性）を考慮
して最適のゲインに調整されるが、このように推力の低
下があると目標速度や目標位置に対する誤差が大きくな
ったり、振動的になる等のサーボ特性の悪化を引き起こ
す。

【００１３】特に半導体露光装置において、定速駆動中
に露光（スキャン）動作を行なう場合、こうした速度ム
ラは回路パターンの焼き付け精度を悪化させるため好ま
しくない。また、目標位置近傍で推力ムラがあると位置
決め精度の悪化、位置決め時間の延長等の悪影響を制御
系に及ぼすので好ましくない。同様の問題は回転型のモ
ータにもある。すなわち、回転型のモータにおいてもト
ルクムラ等の問題があり、それを用いて位置決めする場
合、位置決め精度の悪化、位置決め時間の延長等の悪影
響を制御系に及ぼす。

【００１４】本発明は上記従来技術の問題点に鑑みなさ
れたものであって、ブラシレスモータにおける相切り換
え位置付近の推力（回転型モータではトルク）低下を極
力小さく抑えることを目的としている。また、それによ
り位置決め精度が高く、位置決め時間の短い位置決めテ
ーブル装置を提供することをさらなる目的としている。

【００１５】また、磁石は製造ロットにより磁力強度に
ばらつきが発生するので、その製造ロット毎にサーボゲ
インを調整せねばならず、例えば、モータの交換等を行
なった時はサーボコントローラ１０８のサーボゲインを
再調整しなければならなくなる。本発明はモータを交換
した場合でもサーボコントローラのサーボゲインの再調
整を不要にするという効果もある。

【００１６】

【課題を解決するための手段および作用】この目的を達
成するため本発明では、ブラシレスモータの駆動装置で
あって、モータの固定子側もしくは可動子側のモータ結
合部に、モータの発生する推力もしくはトルクを検出す
る推力検出器もしくはトルク検出器を備え、前記推力検
出器もしくはトルク検出器からの推力もしくはトルク信
号を駆動指令値に負帰還する構成によりモータの持つ推
力リップルまたはトルクリップルを補償する。

【００１７】前記ブラシレスモータが、単相モータであ
る場合には、本発明に従って、前記推力検出器もしくは
トルク検出器からの推力もしくはトルク信号を駆動指令
値に負帰還し、推力指令型もしくはトルク指令型ドライ
バアンプを構成することが可能となる。

【００１８】前記ブラシレスモータが、多相ブラシレス
モータである場合には、本発明に従って、駆動相におい
ては前記推力検出器もしくはトルク検出器からの推力信
号もしくはトルク信号を駆動指令値に負帰還し、非駆動
相においては電流検出器からの電流信号をゼロである駆
動指令値に負帰還することにより推力指令型もしくはト
ルク指令型ドライバアンプを構成することが可能とな
る。

【００１９】前記推力検出器もしくはトルク検出器とし
ては、ロードセル等の圧力検出器を用いることも可能で
ある。また、バネ要素と静電容量センサもしくは渦電流
センサもしくはマイクロエンコーダ等の位置検出器から
構成することも可能であり、この場合は高分解能の位置
検出器を用いることによって精度の高い推力検出もしく
はトルク検出が行なえる。さらに、モータの可動子側に
備えられた加速度検出器を用いることも可能である。

【００２０】このようなブラシレスモータ駆動装置は、
例えば位置決めテーブル装置に好ましく用いられ、また
かかる位置決めテーブル装置は、半導体露光装置に好ま
しく用いられる。

【００２１】なお、本発明の類似の特許として、特願平
５−３０５３０および特願平７−２３７８８７などに開
示されたもの等があるが、これらはサーボコントローラ
１０９内の推力補正方法に関するものであり、ブラシレ
スモータの推力またはトルクを検出して推力またはトル
クのリップルを補償する本願発明とは別個のものであ
る。

【００２２】

【実施例】

（第１の実施例）図１は、本発明の第１の実施例に係る
位置決めテーブル装置の概略構成を示す平面図である。
図１の位置決めテーブル装置は、図６に示す従来のもの
と同様に４相のコイルを一直線上に並べたリニアモータ
コイル４を備えている。リニアモータコイル４はコイル
支持材３に支持されており、リニアモータコイル４を構
成するコイルの並ぶ方向と平行に、左右（図１の紙面に
おける上下方向）一対のガイド２（ガイド面２ａ，２
ｂ）が設けられている。ガイド２には上下（図１の紙面
に対し表裏方向）一対のテーブル天板１が案内部１２
（１２ａ，１２ｂ）を介してリニアモータコイル４を挟
持するように取り付けられており、上下一対のテーブル
天板１はガイド２によって前記コイルの並ぶ方向に摺動
自在に案内される。ガイド面２ａと案内部１２ａはテー
ブル天板１の左右方向の位置を規制し、ガイド面２ｂと
案内部１２ｂはテーブル天板１の上下方向の位置を規制
する。案内部１２としては、位置決め精度やメンテナン
ス性を考慮し、転がり、摺動、静圧案内等が用いられ
る。上下一対のテーブル天板１の各々には可動磁石５が
取り付けられ、可動磁石５は前記コイルの並ぶ方向に永
久磁石を極性を交互にして４つ並べて構成されている。
そして各可動磁石５はリニアモータコイル４を介して互
いに異なる極性どうしが向き合うようにして上下のテー
ブル天板１に取り付けられている。

【００２３】また、ガイド２の側方にはテーブル天板１
の位置を検出するリニアスケール等の位置検出器６が設
けられている。位置検出器６にはテーブルの位置信号を
得るカウンタユニット７が接続され、カウンタユニット
７には各コイル相を切り替えるための相切り替えコント
ローラ９が接続されている。相切り替えコントローラ９
は、カウンタユニット７からのテーブル位置信号に応じ
て、スイッチ１０を切り替え制御するものである。各ス
イッチ１０毎にはコイル相が電流アンプ１１を介して接
続されており、相切り替えコントローラ９から出力され
るコイル選択信号によりスイッチ１０が切り換え制御さ
れて各コイルへの通電が切り換え制御される。また、カ
ウンタユニット７にはテーブルの目標位置とカウンタユ
ニット７から得られる現在位置信号との差分を演算し、
各電流アンプ１１へ推力指令値として出力するサーボコ
ントローラ８が接続されている。

【００２４】コイル支持部材３はリニアモータの駆動方
向にロードセル１３によって拘束され、テーブル天板１
に加える推力の反作用力を圧力としてロードセル１３に
伝える。

【００２５】ロードセル１３にはロードセルアンプ１４
が接続され、ロードセルアンプ１４はコイル支持部材３
の前後（図１の紙面における左右方向）両端に配置され
たロードセル１３からの圧力信号の差分からテーブル天
板１の推力信号を作り出し、電流アンプ１１に推力検出
値をフィードバックしている。

【００２６】図２は図１におけるテーブル制御部の詳細
図であり、簡単に動作を説明するためにコイル１，２の
みに関して示している。図２において、２０ａおよび２
０ｂは各コイルに電流を供給するパワーアンプ、２１ａ
および２１ｂは各コイルの駆動電流を検出する電流検出
抵抗、２２ａおよび２２ｂは電流検出抵抗２１ａおよび
２１ｂの電位差より駆動電流を検出するオペアンプ、２
３ａおよび２３ｂは各検出電流を各コイルの指令値に負
帰還させる差分器である。パワーアンプ２０ａ、電流検
出抵抗２１ａ、オペアンプ２２ａおよび差分器２３ｂは
電流アンプ１１ａを構成する。同様に、パワーアンプ２
０ｂ、電流検出抵抗２１ｂ、オペアンプ２２ｂおよび差
分器２３ｂは電流アンプ１１ｂを構成する。

【００２７】２５ａおよび２５ｂは各ロードセル１３か
らの圧力信号をそれぞれ増幅するオペアンプ、２６は各
オペアンプ２５ａと２５ｂの圧力信号を減算し、推力信
号として取り出すための差分器である。オペアンプ２５
ａ，２５ｂおよび差分器２６はロードセルアンプ１４を
構成する。２４ａおよび２４ｂはスイッチで、スイッチ
２４ａはスイッチ１０ａがａ接点に接続された場合は同
じくａ接点に接続され、スイッチ１０ａがｂ接点に接続
された場合は同じくｂ接点に接続される。同様に、スイ
ッチ２４ｂはスイッチ１０ｂがａ接点に接続された場合
は同じくａ接点に接続され、スイッチ１０ｂがｂ接点に
接続された場合は同じくｂ接点に接続される。

【００２８】コイル１が選択された場合は、スイッチ１
０ａおよびスイッチ２４ａがａ接点に接続され、コイル
１の差分器２３ａにはサーボコントローラ８からの推力
指令値である指令値１にロードセルアンプ１４の差分器
２６からの推力信号が負帰還され、コイル１の電流アン
プ１１ａを推力アンプとして構成する。一方コイル２の
スイッチ１０ｂおよびスイッチ２４ｂはｂ接点にされ、
コイル２の差分器２３ｂには電流０［Ａ］の指令である
指令値２にオペアンプ２２ｂからのコイル２の電流信号
が負帰還され、コイル２を０［Ａ］の電流状態、すなわ
ちオープン状態にする。

【００２９】以上説明したように本実施例によれば、選
択されたコイルはコイルの両端のロードセルによって検
出されたコイルの推力信号を電流アンプの負帰還信号と
して利用し、その他のコイルの指令値０［Ａ］にするこ
とによって、選択されたコイルの電流アンプのみを推力
アンプとして使用し、コイル切り替え位置付近の推力の
低下を補償し、位置決め精度、位置決め時間等制御系に
悪影響を及ぼす推力リップルもしくはトルクリップルを
防止することが可能になる。

【００３０】（第２の実施例）図３は、本発明の第２の
実施例に係る位置決めテーブル装置の概略構成図であ
る。本実施例の装置は第１の実施例に示す装置とほとん
ど同様であるので、本実施例では第１の実施例と異なる
構成について説明する。本実施例の位置決めテーブル装
置は、リニアモータの推力検出手段を位置検出器とバネ
要素で構成したものである。コイル支持部材３はリニア
モータの駆動方向にバネ１５によって拘束され、他の方
向にはガイド等で拘束されている。また、コイル支持部
材３は位置センサ１６で位置を測定され、テーブル天板
１に加える推力の反作用力を位置偏差として位置センサ
１６に伝える。位置センサ１６には位置センサアンプ１
７が接続され、位置偏差を推力信号として電流アンプ１
１にフィードバックする。ここで推力Ｆ［Ｎ］はバネの
バネ定数をＫ［Ｎ／ｍ］、位置偏差をｘ［ｍ］とすると
Ｆ＝Ｋ・ｘで表わされる。

【００３１】ここで、位置センサ１６としては静電容量
センサや渦電流センサやリニアエンコーダ等の各種の位
置センサが利用できる。また、バネ１５としてはバネ定
数Ｋが既知であれば支柱等の構造体も使用できるが、こ
の時の位置センサの分解能はバネ定数Ｋに応じて十分高
くなければならない。

【００３２】（第３の実施例）図４は、本発明の第３の
実施例に係る位置決めテーブル装置の概略構成図であ
る。本実施例の装置は第１の実施例に示す装置とほとん
ど同様であるので、本実施例では第１の実施例と異なる
構成について説明する。本実施例の位置決めテーブル装
置は、リニアモータの推力検出を移動体の加速度から求
めるようにしたものである。図４において、１８は加速
度計で、テーブル天板１上に設置されていて、テーブル
天板１の加速度を検出する。１９は加速度計アンプで、
加速度計１８からの加速度信号を増幅し、電流アンプ１
１にフィードバックする。ここで推力Ｆ［Ｎ］はテーブ
ル天板の総重量をｍ［ｋｇ］、その加速度をａ［ｍ／ｓ
ｅｃ² ］とするとＦ＝ｍ・ａで表される。

【００３３】以上説明したようにこれらの各実施例によ
れば、選択されたコイルはコイル支持部材３の両端に配
置されたロードセルやテーブル天板１上に設置された加
速度系８等によって検出されたコイルの推力信号を電流
アンプ１１の負帰還信号として利用し、その他のコイル
は指令値０［Ａ］の電流アンプにすることによって、選
択されたコイルの電流アンプのみを推力アンプとして使
用し、コイル切り替え位置付近の推力の低下を補償し、
位置決め精度、位置決め時間等制御系に悪影響を及ぼす
推力リップルもしくはトルクリップルを防止することが
可能になる。

【００３４】なお、上記第１〜第３の実施例において
は、位置検出器６として光学式もしくは磁気式のリニア
スケールを使用したが、半導体露光装置などの高精度な
位置決めテーブル装置においては高分解能のレーザ干渉
計を使用した方がより好ましい。

【００３５】なお、これらの実施例で説明しているコイ
ルの相切り替え手段は、リニアスケール等の位置検出器
と位置検出器に接続されたカウンタユニットからの現在
位置信号から、相切り替えコントローラがコイルの相を
選択しているが、この代わりに、モータに結合されたロ
ータリー・エンコーダやリニア・エンコーダ等のエンコ
ーダ信号をデコードし、その結果を相選択に使用するよ
うにしてもよい。同様に、ホール素子等の磁気検出器を
モータに組み込み、ホール素子からの検出信号をコイル
の相選択に使用することもできる。

【００３６】以上の実施例ではリニアモータの駆動装置
について説明したものであるが、同様の手段で回転型モ
ータについても適用できるものである。この場合、リニ
アモータでいう推力は、回転型モータではトルクとな
る。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ブ
ラシレスモータの駆動装置において、モータの固定子側
もしくは可動子側のモータ結合部に、モータの発生する
推力もしくはトルクを検出する力（推力もしくはトル
ク）検出器を備え、前記力（推力もしくはトルク）検出
器からの力（推力もしくはトルク）信号を駆動指令値に
負帰還する構成によりモータの持つ推力リップルまたは
トルクリップルを補償することが可能になる。したがっ
て、このブラシレスモータの駆動装置を用いることによ
って、位置決め精度が高く、位置決め時間の短い位置決
めテーブル装置を提供することができる。さらに、速度
ムラの小さい位置決めテーブル装置を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施例に係る位置決めテーブ
ル装置の概略構成図である。

【図２】 図１の装置のテーブル制御部の詳細図であ
る。

【図３】 本発明の第２の実施例に係る位置決めテーブ
ル装置の概略構成図である。

【図４】 本発明の第３の実施例に係る位置決めテーブ
ル装置の概略構成図である。

【図５】 従来の位置決めテーブル装置の概略構成図で
ある。

【図６】 図５の装置の駆動の様子を示す図である。

【図７】 図５の装置のテーブル制御部の詳細図であ
る。

【図８】 図５の装置のリニアモータコイルの構成図と
磁束密度分布を示すグラフである。

【図９】 図５の装置のテーブル移動時の推力の低下を
示したグラフである。

【符号の説明】

１：テーブル天板、２：ガイド、２ａ，２ｂ：ガイド
面、３：コイル支持部材、４：リニアモータコイル、
５：可動磁石、６：位置検出器（リニアスケール）、
７：カウンタ・ユニット、８：サーボコントローラ、
９：相切り替えコントローラ、１０，１０ａ，１０ｂ：
スイッチ、１１，１１ａ，１１ｂ：電流アンプ、１２
（１２ａ，１２ｂ）：案内部、１３：ロードセル、１
４：ロードセルアンプ、１５：バネ、１６：位置セン
サ、１７：位置センサアンプ、１８：加速度計、１９：
加速度計アンプ、２０ａ，２０ｂ：パワーアンプ、２１
ａ，２１ｂ：電流検出抵抗、２２ａ，２２ｂ：オペアン
プ、２３ａ，２３ｂ：差分器、２４ａ，２４ｂ：スイッ
チ、２５ａ，２５ｂ：ロードセルアンプ、２６：差分
器。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 モータの可動子の位置を検出する手段
   と、該検出位置に基づいてモータの固定子に設けられた
   コイルを駆動する電流値を示す駆動指令値を出力する手
   段と、前記コイルに流れる電流を検出する手段と、電流
   検出手段の出力と前記駆動指令値とに基づいて前記コイ
   ルに前記駆動指令値に相当する電流を供給する電流アン
   プとを具備するブラシレスモータの駆動装置において、
   モータの固定子側または可動子側のモータ結合部に設置
   され、該モータが発生する推力またはトルクを検出する
   力検出手段と、該力検出手段からの推力またはトルク信
   号を前記駆動指令値に負帰還する手段とを設けたことを
   特徴とするブラシレスモータの駆動装置。
2. 【請求項２】 前記ブラシレスモータが単相モータであ
   り、前記負帰還手段が前記力検出手段からの信号を前記
   駆動指令値に負帰還することにより、前記電流アンプと
   ともに推力指令型またはトルク指令型ドライバアンプを
   構成することを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
3. 【請求項３】 前記ブラシレスモータが多相ブラシレス
   モータであり、駆動相においては前記負帰還手段が前記
   力検出手段からの信号を前記駆動指令値に負帰還し、非
   駆動相においては前記電流検出手段からの信号をゼロで
   ある駆動指令値に負帰還することにより、それぞれ推力
   指令型もしくはトルク指令型ドライバアンプを構成する
   ことを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
4. 【請求項４】 前記力検出手段が圧力検出器であること
   を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の駆動装
   置。
5. 【請求項５】 前記力検出手段がバネ要素と位置検出器
   から構成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれ
   かに記載の駆動装置。
6. 【請求項６】 前記力検出手段がモータの可動子側に備
   えられた加速度検出器であることを特徴とする請求項１
   〜３のいずれかに記載の駆動装置。
7. 【請求項７】 請求項１〜６のいずれかに記載のブラシ
   レスモータ駆動装置を用いた位置決めテーブル装置。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の位置決めテーブル装置
   を用いた半導体露光装置。