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JPH09274991A - Multicolor electroluminescent device - Google Patents

Multicolor electroluminescent device

Info

Publication number
JPH09274991A
JPH09274991A JP8084883A JP8488396A JPH09274991A JP H09274991 A JPH09274991 A JP H09274991A JP 8084883 A JP8084883 A JP 8084883A JP 8488396 A JP8488396 A JP 8488396A JP H09274991 A JPH09274991 A JP H09274991A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phosphor layer
filter
light emitting
blue
green
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP8084883A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yukinori Kawamura
幸則 河村
Hisato Kato
久人 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP8084883A priority Critical patent/JPH09274991A/en
Publication of JPH09274991A publication Critical patent/JPH09274991A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】高輝度で低コストな多色発光エレクトロルミネ
ッセンス装置を提供する。 【解決手段】第1の電極21、第1の絶縁層31、蛍光
体層、第2の絶縁層32び第2の電極22が積層されて
なる素子部とカラーフィルタ5との重畳部を少なくとも
有し、この重畳部からはカラーフィルタを透過した光を
外部に発光する多色発光EL装置において、前記重畳部
の1つはZnS:Mnからなる蛍光体層4rgを有する素子部
と赤色フィルタ5rの組み合わせであり、前記重畳部の
他の1つはZnS:Mnからなる蛍光体層を有する素子部と緑
色フィルタ5gの組み合わせであり、青色素子部はSrS:
Ceからなる蛍光体層4bを有することとする。11は第
1の基板、12は第2の基板、6はシリコーンオイルで
ある。
(57) Abstract: A multicolor light emitting electroluminescent device having high brightness and low cost is provided. At least an overlapping portion of a color filter 5 and an element portion formed by laminating a first electrode 21, a first insulating layer 31, a phosphor layer, a second insulating layer 32, and a second electrode 22. In the multicolor light emitting EL device, which has the superposed portion and emits the light transmitted through the color filter to the outside, one of the superposed portions is an element portion having a phosphor layer 4rg made of ZnS: Mn and a red filter 5r. The other one of the superposed parts is a combination of an element part having a phosphor layer made of ZnS: Mn and a green filter 5g, and a blue element part is SrS:
It is supposed to have a phosphor layer 4b made of Ce. Reference numeral 11 is a first substrate, 12 is a second substrate, and 6 is silicone oil.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーディスプレ
イ等に用いられるカラーエレクトロルミネッセンス装置
に関し、特に異なる発光色を呈する多色発光エレクトロ
ルミネッセンス装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color electroluminescence device used for a color display or the like, and more particularly to a multicolor light emission electroluminescence device exhibiting different emission colors.

【0002】[0002]

【従来の技術】フラットディスプレイ装置の一つとして
の薄膜エレクトロルミネッセンス(以下、ELと略記す
る)ディスプレイ装置は鮮明でコントラスト比が高く、
視野角依存性も小さいためFA用表示装置、車両への搭
載用表示装置、コンピュータ端末の表示装置として研究
開発が進められている。黄橙色発光のZnS:Mnからなる蛍
光体を用いたモノクローム薄膜ELディスプレイは既に
実用化されているが、ディスプレイの多様化に伴いカラ
ー化が不可欠となりつつある。
2. Description of the Related Art A thin film electroluminescence (hereinafter abbreviated as EL) display device as one of flat display devices is sharp and has a high contrast ratio.
Since the viewing angle dependence is also small, research and development are being conducted as FA display devices, vehicle-mounted display devices, and computer terminal display devices. Although a monochrome thin film EL display using a phosphor composed of yellow-orange emitting ZnS: Mn has already been put into practical use, colorization is becoming indispensable as the display is diversified.

【0003】無機物蛍光体薄膜を用いたカラー薄膜EL
装置を実現するための方法としては、以下に示す2つの
代表的な方法がある。1つはRGB独立発光方式(RG
Bは赤色、緑色および青色を表している)であり他の1
つはカラーフィルタ方式である。図5は従来のRGB独
立発光方式のカラー薄膜EL装置の断面図である。この
方式は発光層が発光色別にパターニングされていること
が特徴である。第1のガラス基板11には、ストライプ
状(ストライプの方向は紙面に平行)の透明導電性材料
(以下、TCOと記す)の第1の電極21、全体を被覆
する第1の絶縁層31、交代して配列、パターニングさ
れているストライプ状(ストライプの方向は紙面に垂
直)各赤色、緑色および青色の光を発光する3種の蛍光
体層4r、4g、4bが個別に、全体を被覆する第2の
絶縁層32、各蛍光体層上に重畳したストライプ状の第
2の電極22が順次形成されている。この第1のガラス
基板と第2のガラス基板12は封止部材7を介して固定
され、基板間の空隙は防湿用のシリコーンオイル6が満
たされてEL装置とされる。
Color thin film EL using inorganic phosphor thin film
There are the following two typical methods for realizing the device. One is RGB independent light emission method (RG
B represents red, green and blue) and the other 1
One is the color filter method. FIG. 5 is a cross-sectional view of a conventional RGB independent light emitting color thin film EL device. This method is characterized in that the light emitting layer is patterned for each color of light emission. On the first glass substrate 11, a first electrode 21 made of a transparent conductive material (hereinafter referred to as TCO) in a stripe shape (the stripe direction is parallel to the paper surface), a first insulating layer 31 covering the whole, Stripe patterns alternately arranged and patterned (the direction of the stripes is perpendicular to the paper surface) are individually covered with three types of phosphor layers 4r, 4g, and 4b that respectively emit red, green, and blue light. The second insulating layer 32 and the stripe-shaped second electrode 22 are sequentially formed on the respective phosphor layers. The first glass substrate and the second glass substrate 12 are fixed via a sealing member 7, and the space between the substrates is filled with moisture-proof silicone oil 6 to form an EL device.

【0004】第1の電極21と第2の電極22の交差部
の間には蛍光体層4r、4g、4bのいずれかが挟まれ
ていて画素をなし、画素全体がマトリクスを形成してい
る。各画素からは各単色光R(赤)、G(緑)、B
(青)がEL装置外部に発光される。図6は従来のRG
B独立発光方式の他のカラー薄膜ELディスプレイの断
面図である。第1のガラス基板11には、赤色フィルタ
5rと重複している赤色発光蛍光体層4rと緑色発光蛍
光体層4gが配置されている。第2のガラス基板12に
は、青緑色発光する蛍光体層4gbが形成されている。
前記例と同様に2つのガラス基板はEL装置に組み立て
られる。
Any of the phosphor layers 4r, 4g, 4b is sandwiched between the intersections of the first electrode 21 and the second electrode 22 to form a pixel, and the entire pixel forms a matrix. . From each pixel, each monochromatic light R (red), G (green), B
(Blue) is emitted outside the EL device. Figure 6 shows the conventional RG
It is sectional drawing of the other color thin film EL display of B independent light emission system. On the first glass substrate 11, a red light emitting phosphor layer 4r and a green light emitting phosphor layer 4g overlapping with the red filter 5r are arranged. On the second glass substrate 12, a phosphor layer 4gb that emits blue-green light is formed.
Similar to the above example, two glass substrates are assembled into an EL device.

【0005】この構成では、赤色光は赤色発光蛍光体層
4rから赤色フィルタ5rを透過して、青色光は蛍光体
層4gbから直接そして緑色光は蛍光体層4gbから緑
色フィルタ5gを透過して外部に発光される。上記のい
ずれの場合も、蛍光体層4rとしてはZnS:SmやCaS:Eu、
蛍光体層4gとしてはZnS:TbやCaS:Ce、蛍光体層4bと
してはZnS:Tm、SrS:Ceが用いられており(特開昭61−
560594号公報および特開平5−65478号公
報)、蛍光体層4gbとしてはSrGa2O4:Ce(特開平5−
65478号公報)が用いられていて、各蛍光体層につ
き1回、計3回のパターニング工程が必要である。
In this structure, red light is transmitted from the red-emitting phosphor layer 4r through the red filter 5r, blue light is transmitted directly from the phosphor layer 4gb, and green light is transmitted from the phosphor layer 4gb through the green filter 5g. It is emitted to the outside. In any of the above cases, as the phosphor layer 4r, ZnS: Sm or CaS: Eu,
ZnS: Tb and CaS: Ce are used as the phosphor layer 4g, and ZnS: Tm and SrS: Ce are used as the phosphor layer 4b (Japanese Patent Laid-Open No. 61-
560594 and Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 5-65478), and SrGa 2 O 4 : Ce (Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No.
No. 65478) is used, and the patterning process is required once for each phosphor layer, that is, three times in total.

【0006】図7は従来のカラーフィルタ方式のカラー
薄膜ELディスプレイの断面図である。この方式は発光
層からの白色発光をカラーフィルタにより3原色に分割
する方式である。第1のガラス基板11の蛍光体層は、
赤色と緑色発光をする第1の蛍光体層4rgと青色と緑
色の発光をする第2の蛍光体層4gbの積層である。第
2のガラス基板には各赤、緑、青色のストライプ状カラ
ーフィルタが第1の基板の第2の電極22と重なるよう
にパターニングされている。
FIG. 7 is a cross-sectional view of a conventional color filter type color thin film EL display. In this method, white light emitted from the light emitting layer is divided into three primary colors by a color filter. The phosphor layer of the first glass substrate 11 is
It is a stack of a first phosphor layer 4rg that emits red and green light and a second phosphor layer 4gb that emits blue and green light. Striped color filters of red, green, and blue are patterned on the second glass substrate so as to overlap the second electrode 22 of the first substrate.

【0007】赤と緑成分を持つ発光材料としてはZnS:M
n、青と緑成分を持つ発光材料としてはSrS:Ceを用いる
ことが提案されている(特開昭62−74986号公
報)。
ZnS: M as a light emitting material having red and green components
It has been proposed to use SrS: Ce as a light emitting material having n, blue and green components (Japanese Patent Laid-Open No. 62-74896).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のカラー
ELディスプレイの構成を実現するためには幾つかの問
題点があり、未だに実用化に到った例がない。以下に問
題点について述べる。まず、カラーフィルタを用いない
RGB独立発光方式においては、最近色純度の良好なSr
Ga2O4:Ceの様な青色蛍光体が開発され色純度の面では改
善されつつあるが、RGB三種類の発光層を個別に形成
する必要があるため3回のパターニング工程が必要で、
工程的にも長くなり、歩留りも低下するのでコストアッ
プの要因となる。また、2枚基板に分けた方式(図6)
では発光層のパターニング回数は同じであるが、基板が
2枚必要であることから、さらにコストアップの要因と
なる。
However, there are some problems in realizing the structure of the color EL display described above, and there is still no example in which it has been put to practical use. The problems will be described below. First, in the RGB independent light emission method that does not use a color filter, Sr, which has a good color purity recently,
Although a blue phosphor such as Ga 2 O 4 : Ce has been developed and is being improved in terms of color purity, three patterning steps are required because it is necessary to separately form three types of light emitting layers of RGB.
The process also becomes long and the yield decreases, which causes a cost increase. Also, a method of dividing into two substrates (Fig. 6)
Then, although the number of times of patterning the light emitting layer is the same, the cost is further increased because two substrates are required.

【0009】カラーフィルタ方法では、実用化の検討が
なされつつあるが、フィルタによる輝度低下が大きく、
実用的な輝度を出すには白色発光層の輝度向上が課題で
ある。現状の発光効率では、膜厚をさらに厚くして輝度
向上を図る方法があるが、駆動IC側の電圧に制限があ
るため膜厚による解決はかなり困難と考えられている。
The color filter method is being studied for practical use, but the decrease in luminance due to the filter is large,
In order to obtain practical brightness, improvement of the brightness of the white light emitting layer is an issue. Regarding the current luminous efficiency, there is a method of further increasing the film thickness to improve the brightness, but it is considered that it is quite difficult to solve the problem by the film thickness because the voltage on the driving IC side is limited.

【0010】本発明は上記の問題点に鑑みてなされ、そ
の目的は、高輝度で低コストな多色発光EL装置を提供
することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a multicolor light emitting EL device having high brightness and low cost.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、第1の電極、第1の絶縁層、蛍光体層、第2の絶
縁層および第2の電極が積層されてなる素子部とカラー
フィルタとの重畳部を少なくとも有し、この重畳部から
はカラーフィルタを透過した光を外部に発光する多色発
光EL装置において、前記重畳部の1つはZnS:Mnからな
る蛍光体層を有する素子部と赤色フィルタの組み合わせ
であり、前記重畳部の他の1つはZnS:Mnからなる蛍光体
層を有する素子部と緑色フィルタの組み合わせであり、
青色素子部はSrS:Ceからなる蛍光体層を有することとす
る。
In order to achieve the above object, an element portion in which a first electrode, a first insulating layer, a phosphor layer, a second insulating layer and a second electrode are laminated. And a color filter at least, and in the multicolor light emitting EL device which emits the light transmitted through the color filter to the outside from the superposition part, one of the superposition parts is a phosphor layer made of ZnS: Mn. Is a combination of an element unit having a red filter, and the other one of the overlapping portions is a combination of an element unit having a phosphor layer made of ZnS: Mn and a green filter,
The blue element portion has a phosphor layer made of SrS: Ce.

【0012】あるいは、第1の電極、第1の絶縁層、蛍
光体層、第2の絶縁層および第2の電極が積層されてな
る素子部とカラーフィルタとの重畳部を少なくとも有
し、この重畳部からはカラーフィルタを透過した光を外
部に発光する多色発光EL装置において、前記重畳部の
1つはZnS:Mnからなる蛍光体層を有する素子部と赤色フ
ィルタの組み合わせであり、前記重畳部の他の1つはZn
S:Mnからなる蛍光体層とSrS:Ceからなる蛍光体層との積
層を有する素子部と緑色フィルタの組み合わせであり、
青色素子部はSrS:Ceからなる蛍光体層を有することとす
る。
Alternatively, it has at least an overlapping portion of a color filter and an element portion formed by laminating a first electrode, a first insulating layer, a phosphor layer, a second insulating layer and a second electrode, In the multi-color light emitting EL device which emits the light transmitted through the color filter to the outside from the superimposing section, one of the superimposing sections is a combination of an element section having a phosphor layer made of ZnS: Mn and a red filter, The other one of the overlapping parts is Zn
S: is a combination of a green filter and an element unit having a phosphor layer made of Mn and a phosphor layer made of SrS: Ce,
The blue element portion has a phosphor layer made of SrS: Ce.

【0013】前記青色素子部に青色フィルタの組み合わ
せて重畳部の1つとすると良い。また、前記重畳部が形
成されている第1の基板と、前記カラーフィルタが形成
されているガラスよりなる第2の基板とが対向して組み
立てられて前記構成とされていると良い。
A combination of a blue filter with the blue element portion may be used as one of superimposing portions. Further, it is preferable that the first substrate on which the overlapping portion is formed and the second substrate made of glass on which the color filter is formed face each other and are assembled to each other.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明に係る多色発光EL装置の
基本構成は、第1の電極、第1の絶縁層、赤色光と緑色
光を同時に発光する蛍光体層、第2の絶縁層および第2
の電極が積層されてなる素子部とカラーフィルタとの重
畳部を有しており、この重畳部には個別の赤色フィルタ
と緑色フィルタが組み合わせられている。一方、青色発
光部の素子部の蛍光体層は青色発光よりなり、青色フィ
ルタを組み合わせて重畳部とする場合と青色フィルタを
組み合わせない場合とがある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The basic structure of a multicolor light emitting EL device according to the present invention is: a first electrode, a first insulating layer, a phosphor layer that simultaneously emits red light and green light, and a second insulating layer. And the second
It has an overlapping portion of a color filter and an element portion in which the electrodes of (1) are laminated, and individual red filters and green filters are combined in this overlapping portion. On the other hand, the phosphor layer of the element portion of the blue light emitting portion is made of blue light emission, and there are cases where a blue filter is combined to form a superposed portion and cases where a blue filter is not combined.

【0015】赤色発光部の蛍光体層はZnS:Mn単層であ
り、緑色発光部の蛍光体層はZnS:Mn単層の場合とZnS:Mn
とSrS:Ceの積層の場合がある。青色発光部の蛍光体層は
SrS:Ce単層である。素子部の第1の電極と第2の電極は
最も単純には互いに直交する多数のストライプであり、
各1本が交差する部分が1つの画素である。1色に対応
する蛍光体層とフィルタは少なくとも各画素に重畳して
いる。蛍光体層の発光を透過する側の電極はインジウム
スズ酸化物などの透明導電性材料を用いる必要がある。
The red light emitting part phosphor layer is a ZnS: Mn single layer, and the green light emitting part phosphor layer is a ZnS: Mn single layer and a ZnS: Mn single layer.
And SrS: Ce may be laminated. The phosphor layer of the blue light emitting part
It is a single layer of SrS: Ce. The first electrode and the second electrode of the element part are most simply a number of stripes orthogonal to each other,
The portion where each one intersects is one pixel. The phosphor layer and the filter corresponding to one color are superimposed on at least each pixel. It is necessary to use a transparent conductive material such as indium tin oxide for the electrode on the side of the phosphor layer that transmits light emission.

【0016】素子部とフィルタは薄膜であり、単独には
形状を維持できないので基板上に形成される。基板は基
板を通して外部発光する場合は光透過のためガラス基板
である。他の側の場合はセラミクス、金属あるいは樹脂
などであってもよいが、発光側の基板との対向組み立て
の必要があるので、熱膨張係数があまり違う材料は好ま
しくなく、光透過側と同じガラス基板が適している。
Since the element portion and the filter are thin films and cannot maintain the shape independently, they are formed on the substrate. The substrate is a glass substrate for transmitting light when external light is emitted through the substrate. On the other side, it may be ceramics, metal, or resin, but it is necessary to assemble the substrate on the light emitting side so that it is not preferable to use a material having a different coefficient of thermal expansion. Substrate is suitable.

【0017】素子部は次の順で形成される。ガラス基板
に第1の電極を成膜、パターニングして形成し、全体を
第1絶縁層で被覆する。次にZnS:Mn蛍光体層とSrS:Ce蛍
光体層の何方か一方を先に成膜、パターニングし、必要
に応じて、次に他の蛍光体層を成膜、パターニングす
る、このとき必要に応じて蛍光体層は積層部分を形成す
る。さらに全体を第2の絶縁層で被覆し、最後に第2の
電極を成膜、パターニングして形成する。いずれの場合
も蛍光体層の成膜パターニングは2回である。
The element portion is formed in the following order. The first electrode is formed on the glass substrate by film formation and patterning, and the whole is covered with the first insulating layer. Next, one of the ZnS: Mn phosphor layer and the SrS: Ce phosphor layer is formed and patterned first, and then another phosphor layer is formed and patterned, if necessary. Accordingly, the phosphor layer forms a laminated portion. Further, the whole is covered with a second insulating layer, and finally a second electrode is formed by film formation and patterning. In any case, the phosphor layer is patterned twice.

【0018】カラーフィルタは素子部に直接形成するこ
とも可能であり、フィルタと素子部の間に隙間がなく光
学的には高効率が期待できるが、別の基板に形成した方
が歩留りを考慮すれば有利である。いずれの場合も、フ
ィルタ材料の成膜、パターニングにより、フィルタを形
成する。カラーフィルタ用材料としては顔料分散タイプ
の有機材料フィルタの他に染料タイプ、干渉フィルタ等
のフィルタも適用可能である。
The color filter can be directly formed on the element part, and there is no gap between the filter and the element part, and high optical efficiency can be expected, but it is better to form the color filter on another substrate in consideration of the yield. It will be advantageous. In any case, the filter is formed by film formation and patterning of the filter material. As the color filter material, in addition to the pigment dispersion type organic material filter, a dye type filter or an interference filter can be applied.

【0019】このようにして作製された素子部搭載基板
は、他の基板と封止部材を介して周囲を固定され、基板
間の空隙にはシリコーンオイルを封入して封止され、多
色発光EL装置が完成される。また、本発明に係る多色
発光EL装置には、薄膜型、分散型、あるいは交流型、
直流型のいずれの駆動方式も適用できる。
The element portion mounting substrate thus manufactured has its periphery fixed to another substrate via a sealing member, and silicone oil is sealed in the space between the substrates to seal the multi-color light emission. The EL device is completed. Further, the multicolor light emitting EL device according to the present invention includes a thin film type, a dispersion type, or an AC type,
Any DC type drive system can be applied.

【0020】本発明に係る多色発光EL装置の各重畳部
における、作用を以下に述べる。2価のMnイオンを発光
不純物とするZnS蛍光体は、発光効率が2〜8lm/W と
極めて高く、発光スペクトルは580nmを発光中心と
するブロードな発光であるため、赤色フィルタと緑色フ
ィルタを透過させることにより色純度の良い赤色発光と
緑色発光を得ることができる。
The operation of each superimposing portion of the multicolor light emitting EL device according to the present invention will be described below. The ZnS phosphor, which uses divalent Mn ion as a luminescent impurity, has a very high luminous efficiency of 2 to 8 lm / W, and has a broad emission spectrum centered at 580 nm in the emission spectrum, so it passes through the red and green filters. By doing so, red emission and green emission with good color purity can be obtained.

【0021】3価のCeイオンを不純物とするSrS 蛍光体
は、490nmを中心波長とするブロードな青緑発光で
あるため、青色フィルタを透過させなくても、多色発光
に適した青色光として用いることができる。しかし、Sr
S:Ceの青緑発光を青色フィルタを透過させて用いること
により、緑色光を除いて青色の色純度を改善して、フル
カラー画像に適するようにすることができる。
Since the SrS phosphor containing trivalent Ce ions as an impurity emits a broad blue-green light having a center wavelength of 490 nm, it is possible to obtain blue light suitable for multicolor emission without passing through a blue filter. Can be used. But Sr
By using the blue-green light emission of S: Ce after passing through the blue filter, it is possible to improve the color purity of blue by removing the green light and make it suitable for a full-color image.

【0022】また、緑色フィルタを透過させたZnS:Mn蛍
光体からの緑色発光は、やや赤色に近い色度の緑色であ
るので、緑色発光画素の部分だけ、ZnS:MnとSrS:Ceを積
層させた蛍光体層からの発光を用いることにより、緑色
光を増加させて、色純度を改善することができる。 実施例1 図1は本発明に係る実施例の多色発光EL装置断面図で
ある。ガラス基板11上にスパッタにより厚さ200nm の
タングステン薄膜を形成し、フォトリソグラフィとドラ
イエッチングによりストライプ状の第1の電極21を形
成した。ストライプの長手方向は図1の紙面に平行であ
る。その上全面に、高周波スパッタによりSiO2とSi3N4
の積層膜を200nm 形成し第1の絶縁層31とした。
Further, since the green light emitted from the ZnS: Mn phosphor that has passed through the green filter is green with a chromaticity that is slightly close to red, ZnS: Mn and SrS: Ce are laminated only in the green light emitting pixel portion. By using the emitted light from the phosphor layer, the green light can be increased and the color purity can be improved. Example 1 FIG. 1 is a sectional view of a multicolor light emitting EL device of an example according to the present invention. A 200 nm-thick tungsten thin film was formed on the glass substrate 11 by sputtering, and a stripe-shaped first electrode 21 was formed by photolithography and dry etching. The longitudinal direction of the stripe is parallel to the paper surface of FIG. The entire surface is covered with SiO 2 and Si 3 N 4 by high frequency sputtering.
The laminated film of 200 nm was formed to be the first insulating layer 31.

【0023】第1絶縁層31の上に、電子線加熱蒸着に
よりZnS:Mnからなる蛍光体層を厚さ700nm 成膜し、フォ
トリソグラフィとドライエッチングによりストライプ状
にパターニグし赤色と緑色用の同時発光する蛍光体層4
rgを形成した。さらにその上にSrS:Ceからなる第2の
蛍光体層5を同様の電子線加熱蒸着により厚さ1000nm成
膜し、フォトリソグラフィとドライエッチングによりス
トライプ状にパターニングし、青色用の蛍光体層4bを
形成した。その後H2S 雰囲気中で600 ℃で30分熱処理を
行った。これらの蛍光体層のストライプの方向は第1の
電極のストライプの方向に垂直である。
A phosphor layer made of ZnS: Mn having a thickness of 700 nm is formed on the first insulating layer 31 by electron beam heating vapor deposition, and is patterned in stripes by photolithography and dry etching to simultaneously perform red and green. Phosphor layer 4 that emits light
rg was formed. A second phosphor layer 5 made of SrS: Ce is further formed thereon by the same electron beam heating vapor deposition to a thickness of 1000 nm, and is patterned into stripes by photolithography and dry etching, and the blue phosphor layer 4b is formed. Was formed. After that, heat treatment was performed at 600 ° C for 30 minutes in an H 2 S atmosphere. The stripe direction of these phosphor layers is perpendicular to the stripe direction of the first electrode.

【0024】蛍光体層4rgと4bの上には、高周波ス
パッタによりSiO2とSi3N4 の積層膜を厚さ200nm 形成し
第2の絶縁層32とした。最後に、透明導電層としてイ
ンジウム錫酸化物(ITO)薄膜を形成し、フォトリソ
グラフィとドライエッチングによりストライプ状の第2
の電極22を形成した。このストライプは蛍光体層のそ
れと一致させてある。
A laminated film of SiO 2 and Si 3 N 4 having a thickness of 200 nm was formed on the phosphor layers 4rg and 4b by high frequency sputtering to form a second insulating layer 32. Finally, an indium tin oxide (ITO) thin film is formed as a transparent conductive layer, and the second stripe-shaped second layer is formed by photolithography and dry etching.
The electrode 22 of was formed. This stripe is aligned with that of the phosphor layer.

【0025】第2のガラス基板12には形状が蛍光体層
のストライプと一致しているストライプ状のフィルタを
形成した。この実施例では、赤色と緑色を透過する顔料
分散タイプの有機材料からなるフィルタ5r、5gがZn
S:Mnからなる蛍光体層4rgに対応して配置した。SrS:
Ceからなる蛍光体層4gbから発光される青緑色発光は
青色フィルタを通さずに直接用いる。
On the second glass substrate 12, a stripe-shaped filter whose shape matches the stripe of the phosphor layer was formed. In this embodiment, the filters 5r and 5g made of a pigment dispersion type organic material that transmits red and green are Zn.
It was arranged corresponding to the phosphor layer 4rg made of S: Mn. SrS:
The blue-green light emitted from the phosphor layer 4gb made of Ce is directly used without passing through the blue filter.

【0026】蛍光体層などが形成されている第1の基板
11とフィルタが形成されている第2の基板12は封止
部材7を介して対向固定され、基板間の空隙にはシリコ
ーンオイルが充満されて完全に封止され、多色発光EL
装置とされる。本発明の多色発光EL装置はストライプ
状の下部金属電極2とストライプ状の上部透明電極7と
の間に交流電圧を印加することにより、これらの交差部
分の蛍光体層を発光させることができ、各カラーフィル
タを透過させることにより、赤色光と緑色光を、カラー
フィルタのない部分からは青緑色光の3原色を独立に発
光させることができるので、カラー画像を表示すること
ができた。 実施例2 図2は本発明に係る他の実施例の多色発光EL装置断面
図である。この実施例は、第1の基板11の蛍光体層他
の構成は第1の実施例と同じとした。また、第2の基板
12には第1の実施例と同じ構成の赤、緑フィルタの間
に青色フィルタ5bを追加形成して、SrS:Ceよりなる蛍
光体層4bに重なるようにした。各基板を実施例1と同
様に多色発光EL装置に組み立てた。
The first substrate 11 on which the phosphor layer is formed and the second substrate 12 on which the filter is formed are fixed to face each other via the sealing member 7, and silicone oil is filled in the space between the substrates. Filled and completely sealed, multi-colored EL
The device. In the multicolor light emitting EL device of the present invention, by applying an AC voltage between the striped lower metal electrode 2 and the striped upper transparent electrode 7, the phosphor layer at the intersection of these can be made to emit light. By transmitting the respective color filters, the red light and the green light can be emitted independently of the three primary colors of the blue-green light from the portion without the color filter, so that a color image can be displayed. Example 2 FIG. 2 is a sectional view of a multicolor light emitting EL device of another example according to the present invention. In this example, the structure of the phosphor layer of the first substrate 11 and the like were the same as in the first example. Further, on the second substrate 12, a blue filter 5b is additionally formed between the red and green filters having the same structure as in the first embodiment so as to overlap the phosphor layer 4b made of SrS: Ce. Each substrate was assembled into a multicolor light emitting EL device in the same manner as in Example 1.

【0027】本実施例の構成とすることにより、第1の
実施例と同様にカラー画像を表示することができ、しか
も青色フィルタにより緑色成分が除去されたため表示画
像の青色の色純度が改善された。この多色発光EL装置
はフルカラー画像の表示に適している。 実施例3 図3は本発明に係る別の実施例の多色発光EL装置断面
図である。
With the structure of this embodiment, a color image can be displayed as in the first embodiment, and since the green component is removed by the blue filter, the blue color purity of the display image is improved. It was This multicolor light emitting EL device is suitable for displaying a full-color image. Example 3 FIG. 3 is a sectional view of a multicolor light emitting EL device according to another example of the present invention.

【0028】この実施例は、実施例1と構成は類似して
いるが、実施例1の外部に緑色発光させるストライプ部
分の蛍光体層を赤色光と緑色光を発光する蛍光体層4r
gと青緑色光を発光する蛍光体層4bとの積層としたこ
とのみが異なっている。実施例1に重複するので、蛍光
体層の形成順のみについてのみ説明する。第1の絶縁層
31上に成膜した SrS:Ce を青色発光と緑色発光させる
ストライプ分の蛍光体層4bにパターニングした。次に
その上に成膜した ZnS:Mn を赤色発光と緑色発光させる
ストライプ分の蛍光体層4rgにパターニングした。こ
うして緑色発光する部分は蛍光体層4bと蛍光体層4r
gの積層となる。成膜とパターニングの順は逆であって
もよい。各基板を実施例1と同様に多色発光EL装置に
組み立てた。
This embodiment has a similar structure to that of the first embodiment, but the phosphor layer in the stripe portion for emitting green light to the outside of the first embodiment emits red light and green light.
g and a phosphor layer 4b that emits blue-green light are laminated. Since it overlaps with Example 1, only the order of forming the phosphor layer will be described. The SrS: Ce film formed on the first insulating layer 31 was patterned into a phosphor layer 4b for stripes that emit blue light and green light. Next, the ZnS: Mn film formed thereon was patterned into a phosphor layer 4rg for stripes that emit red light and green light. In this way, the portions emitting green light are the phosphor layer 4b and the phosphor layer 4r.
It becomes a lamination of g. The order of film formation and patterning may be reversed. Each substrate was assembled into a multicolor light emitting EL device in the same manner as in Example 1.

【0029】このような構成とすることにより、緑色フ
ィルタにより、蛍光体層4rgからは赤色に近い緑色が
取り出され、蛍光体層4bからは青色に近い緑色が取り
出され、これらが合成されて色純度の良い緑色発光が得
られ、同様に緑色が改善されたカラー画像を表示するこ
とができた。 実施例4 図4は本発明に係る別の実施例の多色発光EL装置断面
図である。
With such a structure, the green color filter takes out a green color close to red from the phosphor layer 4rg and a green color close to blue from the phosphor layer 4b. It was possible to obtain green light emission with good purity and display a color image in which the green color was similarly improved. Example 4 FIG. 4 is a sectional view of a multicolor light emitting EL device according to another example of the present invention.

【0030】この実施例は、実施例3において、第2の
基板の青色素子部分には青色フィルタが追加されている
点のみが異なっている。この構成とすることにより、蛍
光体層4bからの青緑色発光は青色フィルタにより緑色
が除かれ、色純度が改善された。
This embodiment differs from the third embodiment only in that a blue filter is added to the blue element portion of the second substrate. With this configuration, the blue-green light emitted from the phosphor layer 4b was removed from the green color by the blue filter, and the color purity was improved.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、第1の電極、第1の絶
縁層、蛍光体層、第2の絶縁層および第2の電極が積層
されてなる素子部とカラーフィルタとの重畳部を少なく
とも有し、この重畳部からはカラーフィルタを透過した
光を外部に発光する多色発光EL装置において、前記重
畳部の1つはZnS:Mnからなる蛍光体層を有する素子部と
赤色フィルタの組み合わせであり、前記重畳部の他の1
つはZnS:Mnからなる蛍光体層またはZnS:MnとSrS:Ceから
なる積層を有するを有する素子部と緑色フィルタの組み
合わせであり、青色素子部はSrS:Ceからなる蛍光体層を
有し青色フィルタの重畳有りまたは無しとしたため、2
種の蛍光体材料でR、G、B3原色の高輝度の発光が得
られ、多色画像表示に適した多色発光EL装置が得られ
る。また、緑色発光部では2層の蛍光体層を用いること
により、または青色発光部では青色フィルタを重畳され
ることにより、それぞれ色純度を改善できフルカラー画
像に適した多色発光EL装置が得られる。
According to the present invention, the overlapping portion of the element portion and the color filter in which the first electrode, the first insulating layer, the phosphor layer, the second insulating layer and the second electrode are laminated. In the multicolor light emitting EL device, which has at least the above, and which emits the light transmitted through the color filter to the outside, one of the overlapping sections is an element section having a phosphor layer made of ZnS: Mn and a red filter. And the other one of the superposed parts
One is a combination of an element part having a phosphor layer made of ZnS: Mn or a stack made of ZnS: Mn and SrS: Ce and a green filter, and a blue element part has a phosphor layer made of SrS: Ce. 2 with or without blue filter overlap
High-luminance light emission of three primary colors of R, G, and B can be obtained by using various kinds of phosphor materials, and a multicolor light emitting EL device suitable for multicolor image display can be obtained. In addition, by using two phosphor layers in the green light emitting portion or by overlapping a blue filter in the blue light emitting portion, the color purity can be improved and a multicolor light emitting EL device suitable for a full color image can be obtained. .

【0032】また、蛍光体層を2層としたため、成膜、
パターニング工程は全2回であり、従来の3回工程に較
べ、工数は短縮し、歩留りも向上する。その結果コスト
は低減する。
Further, since the phosphor layer has two layers, film formation,
Since the patterning process is performed twice in total, the number of steps is shortened and the yield is improved as compared with the conventional three times process. As a result, costs are reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る実施例の多色発光EL装置の断面
図。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a multicolor light emitting EL device according to an embodiment of the invention.

【図2】本発明に係る他の実施例の多色発光EL装置の
断面図。
FIG. 2 is a sectional view of a multicolor light emitting EL device according to another embodiment of the present invention.

【図3】本発明に係る別の実施例の多色発光EL装置の
断面図。
FIG. 3 is a sectional view of a multicolor light emitting EL device according to another embodiment of the present invention.

【図4】本発明に係る別の実施例の多色発光EL装置の
断面図。
FIG. 4 is a sectional view of a multicolor light emitting EL device according to another embodiment of the present invention.

【図5】従来のRGB独立発光方式のカラー薄膜EL装
置の断面図
FIG. 5 is a cross-sectional view of a conventional RGB independent light emitting color thin film EL device.

【図6】従来のRGB独立発光方式の他のカラー薄膜E
Lディスプレイの断面図
FIG. 6 is another color thin film E of the conventional RGB independent light emission system.
Sectional view of L display

【図7】従来のカラーフィルタ方式のカラー薄膜ELデ
ィスプレイの断面図
FIG. 7 is a sectional view of a conventional color filter type color thin film EL display.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 第1のガラス基板 12 第2のガラス基板 21 第1の電極 22 第2の電極 23 第3の電極 24 第4の電極 31 第1の絶縁層 32 第2の絶縁層 33 第3の絶縁層 34 第4の絶縁層 4r 赤発光の蛍光体層 4g 緑発光の蛍光体層 4b 青発光の蛍光体層 4rg 赤緑発光の蛍光体層 4gb 青緑発光の蛍光体層 5r 赤色フィルタ 5g 緑色フィルタ 5b 青色フィルタ 6 シリコーンオイル 7 封止部材 11 1st glass substrate 12 2nd glass substrate 21 1st electrode 22 2nd electrode 23 3rd electrode 24 4th electrode 31 1st insulating layer 32 2nd insulating layer 33 3rd insulating layer 34 Fourth Insulating Layer 4r Red-Emitting Phosphor Layer 4g Green-Emitting Phosphor Layer 4b Blue-Emitting Phosphor Layer 4rg Red-Green-Emitting Phosphor Layer 4gb Blue-Green-Emitting Phosphor Layer 5r Red Filter 5g Green Filter 5b Blue filter 6 Silicone oil 7 Sealing member

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】第1の電極、第1の絶縁層、蛍光体層、第
2の絶縁層および第2の電極が積層されてなる素子部と
カラーフィルタとの重畳部を少なくとも有し、この重畳
部からはカラーフィルタを透過した光を外部に発光する
多色発光エレクトロルミネッセンス装置において、前記
重畳部の1つはZnS:Mnからなる蛍光体層を有する素子部
と赤色フィルタの組み合わせであり、前記重畳部の他の
1つはZnS:Mnからなる蛍光体層を有する素子部と緑色フ
ィルタの組み合わせであり、青色素子部はSrS:Ceからな
る蛍光体層を有することを特徴とする多色発光エレクト
ロルミネッセンス装置。
1. At least an overlapping portion of a color filter and an element portion formed by laminating a first electrode, a first insulating layer, a phosphor layer, a second insulating layer and a second electrode, In a multicolor light emitting electroluminescent device that emits light that has passed through a color filter from the superimposing portion to the outside, one of the superimposing portions is a combination of an element portion having a phosphor layer made of ZnS: Mn and a red filter, Another one of the overlapping portions is a combination of an element portion having a phosphor layer made of ZnS: Mn and a green filter, and a blue element portion has a phosphor layer made of SrS: Ce. Light-emitting electroluminescent device.
【請求項2】第1の電極、第1の絶縁層、蛍光体層、第
2の絶縁層および第2の電極が積層されてなる素子部と
カラーフィルタとの重畳部を少なくとも有し、この重畳
部からはカラーフィルタを透過した光を外部に発光する
多色発光エレクトロルミネッセンス装置において、前記
重畳部の1つはZnS:Mnからなる蛍光体層を有する素子部
と赤色フィルタの組み合わせであり、前記重畳部の他の
1つはZnS:Mnからなる蛍光体層とSrS:Ceからなる蛍光体
層との積層を有する素子部と緑色フィルタの組み合わせ
であり、青色素子部はSrS:Ceからなる蛍光体層を有する
ことを特徴とする多色発光エレクトロルミネッセンス装
置。
2. At least an overlapping portion of a color filter and an element portion formed by laminating a first electrode, a first insulating layer, a phosphor layer, a second insulating layer and a second electrode, In a multicolor light emitting electroluminescent device that emits light that has passed through a color filter from the superimposing portion to the outside, one of the superimposing portions is a combination of an element portion having a phosphor layer made of ZnS: Mn and a red filter, The other one of the overlapping portions is a combination of an element portion having a stack of a phosphor layer made of ZnS: Mn and a phosphor layer made of SrS: Ce and a green filter, and a blue element portion made of SrS: Ce. A multicolor light emitting electroluminescent device having a phosphor layer.
【請求項3】前記青色素子部に青色フィルタの組み合わ
せて重畳部の1つとしたことを特徴とする請求項1また
は2に記載の多色発光エレクトロルミネッセンス装置。
3. The multicolor light emitting electroluminescent device according to claim 1, wherein a blue filter is combined with the blue element portion to form one of the overlapping portions.
【請求項4】前記重畳部が形成されている第1の基板
と、前記カラーフィルタが形成されているガラスよりな
る第2の基板とが対向して組み立てられていることを特
徴とする請求項2または3に記載の多色発光エレクトロ
ルミネッセンス装置。
4. A first substrate on which the overlapping portion is formed and a second substrate made of glass on which the color filter is formed are assembled so as to face each other. 2. The multicolor light emitting electroluminescence device according to 2 or 3.
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