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JPH09266338A - Laser diode excitation solid laser - Google Patents

Laser diode excitation solid laser

Info

Publication number
JPH09266338A
JPH09266338A JP7479996A JP7479996A JPH09266338A JP H09266338 A JPH09266338 A JP H09266338A JP 7479996 A JP7479996 A JP 7479996A JP 7479996 A JP7479996 A JP 7479996A JP H09266338 A JPH09266338 A JP H09266338A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
solid
laser diode
resonator
crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7479996A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeaki Miura
栄朗 三浦
Shinji Mitsumoto
真司 三本
Kazuhiko Nagano
和彦 永野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP7479996A priority Critical patent/JPH09266338A/en
Publication of JPH09266338A publication Critical patent/JPH09266338A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent fluctuations in output attributable to change in the length of a resonator or oscillation wave length by employing a simple and low cost structure in a laser diode excitation solid laser. SOLUTION: In a laser diode excitation solid laser which is provided with a solid laser crystal 13, a laser diode 11 which emits an excitation light which excites this solid laser crystal 13, and a resonator (for example, comprising the solid laser crystal 13 and a resonator mirror 14), the solid laser crystal 13, the laser diode 11 and the resonator are housed inside a vessel which consists of a package cover 30 and a package mount 31, for example and keeps both the inside and outside in air tightness.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、固体レーザー結晶
をレーザーダイオード(半導体レーザー)によって励起
するレーザーダイオード励起固体レーザーに関し、特に
詳細には、共振器長の変化による出力や発振波長の変動
を防止するようにしたレーザーダイオード励起固体レー
ザーに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser diode pumped solid-state laser in which a solid-state laser crystal is pumped by a laser diode (semiconductor laser), and more specifically, it prevents fluctuations in output and oscillation wavelength due to changes in cavity length. The present invention relates to a solid-state laser pumped by a laser diode.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば特開昭62−189783号公報
に示されるように、ネオジウム等の希土類が添加された
固体レーザー結晶を、レーザーダイオードから発せられ
た光によって励起するレーザーダイオード励起固体レー
ザーが公知となっている。
2. Description of the Related Art As disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-189783, a laser diode pumped solid-state laser is known in which a solid laser crystal doped with a rare earth element such as neodymium is pumped by light emitted from a laser diode. Has become.

【0003】この種のレーザーダイオード励起固体レー
ザーにおいては、ファブリ・ペロー型共振器やリング共
振器等の共振器が採用されるが、使用環境の湿度や気圧
が変化すると共振器長が変化し、そのために発振波長が
変動してしまうという問題が認められる。
In this type of laser diode pumped solid-state laser, a resonator such as a Fabry-Perot resonator or a ring resonator is adopted, but the resonator length changes when the humidity or atmospheric pressure of the operating environment changes, Therefore, the problem that the oscillation wavelength fluctuates is recognized.

【0004】特開平6−140706号公報には、共振
器を容器内に収納し、圧力調節手段によってこの容器内
の圧力を調節することにより、発振波長を安定化する固
体レーザー装置が開示されている。
Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 6-140706 discloses a solid-state laser device in which a resonator is housed in a container and the pressure in the container is adjusted by a pressure adjusting means to stabilize the oscillation wavelength. There is.

【0005】また、上記公報において従来技術として示
されているように、1対の共振器ミラーを電歪素子に支
持し、この電歪素子により共振器長が変わるように共振
器ミラーを位置調節して、発振波長を安定化する固体レ
ーザー装置も知られている。
Further, as disclosed in the above publication as a prior art, a pair of resonator mirrors are supported by an electrostrictive element, and the position of the resonator mirrors is adjusted so that the resonator length is changed by the electrostrictive element. A solid-state laser device that stabilizes the oscillation wavelength is also known.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のように
容器内の圧力を調節したり、共振器ミラーの位置を調節
する手段を設けると、レーザー装置の構成が複雑化して
信頼性が低下し、また大幅なコストアップを招くことに
もなる。
However, if the means for adjusting the pressure in the container and the position of the resonator mirror are provided as described above, the structure of the laser device becomes complicated and the reliability is lowered. Also, it will lead to a significant cost increase.

【0007】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、簡単かつ安価な構成により、共振器長の変化に
よる出力や発振波長の変動を確実に防止できるレーザー
ダイオード励起固体レーザーを提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a laser diode pumped solid-state laser capable of reliably preventing fluctuations in output and oscillation wavelength due to changes in resonator length, with a simple and inexpensive structure. The purpose is to

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明によるレーザーダ
イオード励起固体レーザーは、前述したように固体レー
ザー結晶と、この固体レーザー結晶を励起する励起光を
発するレーザーダイオードと、共振器とを備えてなるレ
ーザーダイオード励起固体レーザーにおいて、固体レー
ザー結晶、レーザーダイオードおよび共振器が、内外を
気密状態に保つ容器の内部に収納されていることを特徴
とするものである。
A laser diode-pumped solid-state laser according to the present invention comprises a solid-state laser crystal, a laser diode that emits pumping light for exciting the solid-state laser crystal, and a resonator, as described above. A laser diode pumped solid-state laser is characterized in that a solid-state laser crystal, a laser diode and a resonator are housed inside a container that keeps the inside and outside airtight.

【0009】なお上記の構成において、より好ましく
は、容器内にN2 ガス等の不活性ガスが封入される。
In the above construction, more preferably, an inert gas such as N 2 gas is sealed in the container.

【0010】[0010]

【発明の効果】上述のように固体レーザー結晶、レーザ
ーダイオードおよび共振器が、内外を気密状態に保つ容
器の内部に収納されていると、これらの要素には、使用
環境の湿度や気圧の変化の影響が及ばなくなる。そこ
で、この湿度や気圧の変化による共振器長の変化を無く
して、固体レーザーの出力や発振波長の変動を確実に防
止できるようになる。
As described above, when the solid-state laser crystal, the laser diode, and the resonator are housed inside a container that keeps the inside and outside airtight, these elements have a change in humidity or atmospheric pressure in the operating environment. Will not be affected. Therefore, it is possible to reliably prevent the output of the solid-state laser and the fluctuation of the oscillation wavelength by eliminating the change of the cavity length due to the change of the humidity and the atmospheric pressure.

【0011】なお、上記容器内にN2 ガス等の不活性ガ
スを封入しておけば、コート膜、金属、接着剤等のレー
ザー構成要素の劣化が防止される。
If an inert gas such as N 2 gas is enclosed in the container, deterioration of laser components such as a coat film, metal, adhesive and the like can be prevented.

【0012】そして本発明によるレーザーダイオード励
起固体レーザーは、上記の通り固体レーザー結晶、レー
ザーダイオードおよび共振器を気密封止された容器内に
収納しただけの簡単な構成のものであるから、信頼性も
高く、また比較的低コストで作製できるものとなる。
The laser diode-pumped solid-state laser according to the present invention has a simple structure in which the solid-state laser crystal, the laser diode, and the resonator are simply housed in a hermetically sealed container as described above. It is also expensive and can be manufactured at a relatively low cost.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図1および図2はそれぞ
れ、本発明の1つの実施形態であるレーザーダイオード
励起固体レーザーの平面形状、側面形状を示すものであ
る。このレーザーダイオード励起固体レーザーは、励起
光としてのレーザービーム10を発するレーザーダイオー
ド11と、発散光である上記レーザービーム10を集光する
例えば屈折率分布型ロッドレンズ等からなる集光レンズ
12と、ネオジウム(Nd)がドーピングされた固体レー
ザー媒質であるYAG結晶(以下、Nd:YAG結晶と
称する)13と、このNd:YAG結晶13の前方側(図中
右方側)に配された共振器ミラー14と、この共振器ミラ
ー14とNd:YAG結晶13との間に配された周期ドメイ
ン反転構造を有するLiNbO3 結晶(以下、LN結晶
と称する)15と、このLN結晶15と共振器ミラー14との
間に配されたカルサイトエタロン16とを有している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 and 2 respectively show a plane shape and a side shape of a laser diode pumped solid-state laser which is one embodiment of the present invention. This laser diode-pumped solid-state laser is a condenser lens composed of a laser diode 11 that emits a laser beam 10 as excitation light, and, for example, a gradient index rod lens that condenses the laser beam 10 that is divergent light.
12, a YAG crystal (hereinafter referred to as an Nd: YAG crystal) 13 which is a solid-state laser medium doped with neodymium (Nd), and a front side (right side in the figure) of the Nd: YAG crystal 13. A resonator mirror 14, a LiNbO 3 crystal (hereinafter referred to as an LN crystal) 15 having a periodic domain inversion structure disposed between the resonator mirror 14 and the Nd: YAG crystal 13, and the LN crystal 15. It has a calcite etalon 16 disposed between it and a resonator mirror 14.

【0014】なお上記レーザーダイオード11と集光レン
ズ12は、LDパッケージ17内に封入されている。また、
以上述べた各要素は共通の基準板18に固定され、この基
準板18を介してペルチェ素子19により、所定の一定温度
に温度調節される。
The laser diode 11 and the condenser lens 12 are enclosed in an LD package 17. Also,
Each element described above is fixed to a common reference plate 18, and the temperature is adjusted to a predetermined constant temperature by a Peltier element 19 via the reference plate 18.

【0015】そして上記の各要素は基準板18およびペル
チェ素子19とともに、パッケージカバー30とパッケージ
台31とで構成された容器内に収められている。なおこの
容器は、パッケージ台31にペルチェ素子19を固定した
後、該パッケージ台31にパッケージカバー30を溶接する
ことによって構成される。この溶接は連続溶接とされ、
容器内は外部に対して気密状態に保たれる。なおこの溶
接は、時間の上では間欠的に行なって、熱歪が生じない
ようにするのが望ましい。
Then, each of the above-mentioned elements, together with the reference plate 18 and the Peltier element 19, are contained in a container constituted by a package cover 30 and a package base 31. This container is constructed by fixing the Peltier device 19 to the package base 31 and then welding the package cover 30 to the package base 31. This welding is continuous welding,
The inside of the container is kept airtight with respect to the outside. It is desirable that this welding is performed intermittently in terms of time so that thermal strain does not occur.

【0016】上記パッケージカバー30には窓孔30aが形
成され、この窓孔30aには透明な窓板32が被着されてい
る。この窓板32はパッケージカバー30に対して、容器内
の気密状態を保つようにろう付けされている。またパッ
ケージカバー30には、レーザーダイオード11、ペルチェ
素子19および上記温度調節のために共振器内温度を検出
するサーミスタ(図示せず)を外部の回路に接続する複
数のコネクタピン33が取り付けられている。
A window hole 30a is formed in the package cover 30, and a transparent window plate 32 is attached to the window hole 30a. The window plate 32 is brazed to the package cover 30 so as to keep the container airtight. Further, the package cover 30 is provided with a plurality of connector pins 33 for connecting the laser diode 11, the Peltier element 19, and a thermistor (not shown) for detecting the temperature inside the resonator for the temperature adjustment to an external circuit. There is.

【0017】また本例では特に、パッケージ台31とパッ
ケージカバー30との溶接が、不活性ガスの一つである乾
燥N2 ガス雰囲気中で行なわれる。それにより上記容器
内には、この乾燥N2 ガスが封入されることになる。
Further, in this embodiment, in particular, the welding of the package base 31 and the package cover 30 is performed in a dry N 2 gas atmosphere which is one of the inert gases. As a result, the dry N 2 gas is enclosed in the container.

【0018】レーザーダイオード11としては、波長89
0nmのレーザービーム10を発するものが用いられてい
る。Nd:YAG結晶13は入射したレーザービーム10に
よってネオジウムイオンが励起されることにより、光を
放出する。この光はNd:YAG結晶13の端面13aと共
振器ミラー14のミラー面14aとの間で共振し、波長94
6nmの固体レーザービーム20が得られる。この際、エ
タロン16の作用によりレーザー発振モードが単一縦モー
ド化され、モード競合ノイズの無い安定な出力が得られ
る。以上の説明から明らかな通り本例では、Nd:YA
G結晶13と共振器ミラー14とによってファブリ・ペロー
型共振器が構成されている。
The laser diode 11 has a wavelength of 89
A laser emitting a 0 nm laser beam 10 is used. The Nd: YAG crystal 13 emits light when neodymium ions are excited by the incident laser beam 10. This light resonates between the end surface 13a of the Nd: YAG crystal 13 and the mirror surface 14a of the resonator mirror 14, and has a wavelength of 94
A 6 nm solid state laser beam 20 is obtained. At this time, the laser oscillation mode is changed to a single longitudinal mode by the action of the etalon 16, and a stable output without mode competition noise can be obtained. As is clear from the above description, in this example, Nd: YA
The G crystal 13 and the resonator mirror 14 constitute a Fabry-Perot type resonator.

【0019】上記固体レーザービーム20はLN結晶15に
より、波長が1/2すなわち473nmの第2高調波21
に波長変換される。この第2高調波21は共振器ミラー14
から前方に出射し、窓孔30aおよび窓板32を通過して容
器外に出射する。
The solid laser beam 20 is transmitted by the LN crystal 15 to the second harmonic wave 21 having a wavelength of ½, that is, 473 nm.
The wavelength is converted to. This second harmonic 21 is generated by the resonator mirror 14
To the front, passes through the window hole 30a and the window plate 32, and is emitted to the outside of the container.

【0020】なおNd:YAG結晶端面13aには、波長
890nmのレーザービーム10は良好に透過させる一
方、波長946nmの固体レーザービーム20および波長
473nmの第2高調波21は良好に反射させる特性のコ
ートが施されている。また共振器ミラー面14aには、波
長946nmの固体レーザービーム20は良好に反射させ
る一方、波長473nmの第2高調波21は良好に透過さ
せる特性のコートが施されている。
The Nd: YAG crystal end face 13a has a characteristic that the laser beam 10 having a wavelength of 890 nm is satisfactorily transmitted while the solid-state laser beam 20 having a wavelength of 946 nm and the second harmonic wave 21 having a wavelength of 473 nm are well reflected. Has been applied. Further, the resonator mirror surface 14a is coated with a characteristic that the solid-state laser beam 20 having a wavelength of 946 nm is well reflected, while the second harmonic wave 21 having a wavelength of 473 nm is well transmitted.

【0021】ここで本装置においては、レーザーダイオ
ード11、Nd:YAG結晶13および共振器が、外部に対
して気密封止された容器内に収納されているので、これ
らの要素には、使用環境の湿度や気圧の変化の影響が及
ばなくなる。そこで、この湿度や気圧の変化による共振
器長の変化を無くして、出力や発振波長の変動を確実に
防止できるようになる。
In this device, the laser diode 11, the Nd: YAG crystal 13 and the resonator are housed in a container which is hermetically sealed from the outside. The effect of changes in humidity and atmospheric pressure will not be affected. Therefore, it is possible to eliminate the change in the resonator length due to the change in the humidity and the atmospheric pressure, and reliably prevent the change in the output and the oscillation wavelength.

【0022】さらに本例では、上記容器内に不活性ガス
であるN2 ガスが封入されているので、コート膜、金
属、接着剤等のレーザー構成要素の劣化が防止される。
Further, in this example, since N 2 gas, which is an inert gas, is sealed in the container, deterioration of laser components such as the coat film, metal and adhesive is prevented.

【0023】また本例では、レーザーダイオード11がL
Dパッケージ17内に封入された上で、さらに上記容器内
に収納されているので、このレーザーダイオード11の耐
久性が向上する。
In this example, the laser diode 11 is L
Since the laser diode 11 is enclosed in the D package 17 and then housed in the container, the durability of the laser diode 11 is improved.

【0024】なお、固体レーザー結晶や非線形光学結晶
は、上記の実施形態で用いられたNd:YAG結晶、周
期ドメイン反転構造を有するLN結晶15に限られるもの
ではないことは勿論である。また共振器も、上に挙げた
ように固体レーザー結晶と共振器ミラーとで構成される
ものに限らず、1対の共振器ミラーからなるファブリ・
ペロー型共振器や、リング共振器等も採用可能である。
Needless to say, the solid-state laser crystal and the nonlinear optical crystal are not limited to the Nd: YAG crystal and the LN crystal 15 having the periodic domain inversion structure used in the above embodiment. Further, the resonator is not limited to the one composed of the solid-state laser crystal and the resonator mirror as mentioned above, and a Fabry
Perot type resonators, ring resonators, etc. can also be adopted.

【0025】さらに、以上説明したレーザーダイオード
励起固体レーザーは、固体レーザービーム20を第2高調
波21に波長変換するものであるが、本発明はこのような
波長変換は行なわないレーザーダイオード励起固体レー
ザーに対しても適用可能であり、そして同様の効果を奏
するものである。
Further, the laser diode-pumped solid-state laser described above converts the wavelength of the solid-state laser beam 20 into the second harmonic 21, but the present invention does not perform such wavelength conversion. It is also applicable to and has the same effect.

【0026】しかし、波長変換を行なうレーザーダイオ
ード励起固体レーザーにおいては、発振波長が変化する
と位相整合が取れなくなるという問題も生じ得るもので
あり、波長変換を行なうレーザーダイオード励起固体レ
ーザーに本発明を適用すると、このような問題の発生も
防止できるので、特に好ましい。
However, in a laser diode pumped solid-state laser that performs wavelength conversion, there is a problem that phase matching cannot be achieved when the oscillation wavelength changes, and the present invention is applied to a laser diode-pumped solid-state laser that performs wavelength conversion. Then, such a problem can be prevented from occurring, which is particularly preferable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態であるレーザーダイオード
励起固体レーザーの一部破断平面図
FIG. 1 is a partially cutaway plan view of a laser diode pumped solid-state laser according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記レーザーダイオード励起固体レーザーの一
部破断側面図
FIG. 2 is a partially cutaway side view of the laser diode pumped solid-state laser.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 レーザービーム(励起光) 11 レーザーダイオード 12 集光レンズ 13 Nd:YAG結晶 14 共振器ミラー 15 周期ドメイン反転構造を有するLN結晶 16 カルサイトエタロン 17 LDパッケージ 18 基準板 19 ペルチェ素子 20 固体レーザービーム 21 第2高調波 30 パッケージカバー 30a パッケージカバーの窓孔 31 パッケージ台 32 窓板 33 コネクタピン 10 Laser Beam (Excitation Light) 11 Laser Diode 12 Condenser Lens 13 Nd: YAG Crystal 14 Resonator Mirror 15 LN Crystal with Periodic Domain Inversion Structure 16 Calcite Etalon 17 LD Package 18 Reference Plate 19 Peltier Device 20 Solid Laser Beam 21 Second harmonic 30 Package cover 30a Package cover window 31 Package stand 32 Window plate 33 Connector pin

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 固体レーザー結晶と、この固体レーザー
結晶を励起する励起光を発するレーザーダイオードと、
共振器とを備えてなるレーザーダイオード励起固体レー
ザーにおいて、 前記固体レーザー結晶、レーザーダイオードおよび共振
器が、内外を気密状態に保つ容器の内部に収納されてい
ることを特徴とするレーザーダイオード励起固体レーザ
ー。
1. A solid-state laser crystal, and a laser diode that emits excitation light for exciting the solid-state laser crystal,
A laser diode pumped solid-state laser comprising a resonator, wherein the solid-state laser crystal, the laser diode and the resonator are housed inside a container that keeps the inside and outside airtight. .
【請求項2】 前記容器内に不活性ガスが封入されてい
ることを特徴とする請求項1記載のレーザーダイオード
励起固体レーザー。
2. The laser diode pumped solid-state laser according to claim 1, wherein an inert gas is sealed in the container.
【請求項3】 前記共振器内に、固体レーザービームを
波長変換する非線形光学結晶が配設されていることを特
徴とする請求項1または2記載のレーザーダイオード励
起固体レーザー。
3. The laser diode pumped solid-state laser according to claim 1, wherein a non-linear optical crystal for wavelength-converting the solid-state laser beam is arranged in the resonator.
JP7479996A 1996-03-28 1996-03-28 Laser diode excitation solid laser Pending JPH09266338A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7479996A JPH09266338A (en) 1996-03-28 1996-03-28 Laser diode excitation solid laser

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JP7479996A JPH09266338A (en) 1996-03-28 1996-03-28 Laser diode excitation solid laser

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Publication Number Publication Date
JPH09266338A true JPH09266338A (en) 1997-10-07

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ID=13557724

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7479996A Pending JPH09266338A (en) 1996-03-28 1996-03-28 Laser diode excitation solid laser

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09266338A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6839365B1 (en) 1999-10-28 2005-01-04 Fuji Photo Film Co., Ltd. Light wavelength converting system
CN100394297C (en) * 2001-07-30 2008-06-11 松下电器产业株式会社 Coherent light source and production method therefor

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20030630