JPH09236122A - 磁気軸受制御装置 - Google Patents
磁気軸受制御装置Info
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- JPH09236122A JPH09236122A JP8042570A JP4257096A JPH09236122A JP H09236122 A JPH09236122 A JP H09236122A JP 8042570 A JP8042570 A JP 8042570A JP 4257096 A JP4257096 A JP 4257096A JP H09236122 A JPH09236122 A JP H09236122A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- rotating body
- natural frequency
- signal
- gain
- Prior art date
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0451—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2326/00—Articles relating to transporting
- F16C2326/10—Railway vehicles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転体を所定位置に支承する磁気軸受制御装
置において、高速回転体の前廻り後廻りの固有振動数が
変化する場合においても、その曲げ固有振動数を十分減
衰させかつ高剛性を得ることを目的とする。 【解決手段】 主回路とは別に、回転体の位置信号をセ
ンサ回路１から入力し、回転体の前廻り後廻りの固有振
動数範囲をほとんど位相を変化させることなくとりだす
帯域通過フィルタ５と、その出力信号にゲイン回路６は
ゲイン調整を施すとともに、固有振動数より低い周波数
成分を減衰させるノッチフィルタ回路Ｂ７に出力する。
このノッチフィルタ回路Ｂ７の出力信号を加算回路８を
通じて主回路に正帰還させることにより、固有振動数が
変化する場合においても十分な減衰効果を得られる。
置において、高速回転体の前廻り後廻りの固有振動数が
変化する場合においても、その曲げ固有振動数を十分減
衰させかつ高剛性を得ることを目的とする。 【解決手段】 主回路とは別に、回転体の位置信号をセ
ンサ回路１から入力し、回転体の前廻り後廻りの固有振
動数範囲をほとんど位相を変化させることなくとりだす
帯域通過フィルタ５と、その出力信号にゲイン回路６は
ゲイン調整を施すとともに、固有振動数より低い周波数
成分を減衰させるノッチフィルタ回路Ｂ７に出力する。
このノッチフィルタ回路Ｂ７の出力信号を加算回路８を
通じて主回路に正帰還させることにより、固有振動数が
変化する場合においても十分な減衰効果を得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気軸受を構成する
電磁石に流す電流を制御し、回転体を所定位置に支承す
る磁気軸受制御装置に関するものである。
電磁石に流す電流を制御し、回転体を所定位置に支承す
る磁気軸受制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の磁気軸受制御装置の回路と
しては、特開昭５９−２１２５１９号公報に開示された
ものがある。図６はこの磁気軸受制御装置の回路構成を
示すブロック図である。
しては、特開昭５９−２１２５１９号公報に開示された
ものがある。図６はこの磁気軸受制御装置の回路構成を
示すブロック図である。
【０００３】図示するように、磁気軸受制御装置は、変
位センサ回路１０１、位相補償回路１０２、帯域消去フ
ィルタ回路１０３、加算回路１０４、パワー増幅回路１
０５、帯域通過フィルタ回路１０６、ゲイン調整器１０
７、加算回路１０８、位相進み回路１０９、ノッチフィ
ルタ１１０及び制御対象１１１で構成されている。
位センサ回路１０１、位相補償回路１０２、帯域消去フ
ィルタ回路１０３、加算回路１０４、パワー増幅回路１
０５、帯域通過フィルタ回路１０６、ゲイン調整器１０
７、加算回路１０８、位相進み回路１０９、ノッチフィ
ルタ１１０及び制御対象１１１で構成されている。
【０００４】変位センサ回路１０１の出力信号は、位相
補償回路１０２によって位相補償された後、帯域消去フ
ィルタ回路１０３を通して加算回路１０４に送る。帯域
消去フィルタ回路１０３は回転軸の固有振動数を含む所
定範囲の周波数の帯域のゲインが殆ど零または小さい値
となっている。また、変位センサ回路１０１を入力とす
る帯域通過フィルタ回路１０６は帯域消去フィルタ回路
１０３と逆に上記所定範囲の局周波数を通過させるよう
になっている。帯域通過フィルタ回路１０６の出力とゲ
イン調整器１０７の出力は加算回路１０８により加算さ
れる。加算回路１０８の出力は、位相進み回路１０９に
よって少なくとも上記所定の帯域において、完全に進相
するようにその位相を進相させ、より適したゲイン・位
相特性を得るためにノッチフィルタ１１０を通し加算回
路１０４に送る。加算回路１０４の出力はパワー増幅回
路１０５を通して増幅され、制御対象１１１に出力され
る。
補償回路１０２によって位相補償された後、帯域消去フ
ィルタ回路１０３を通して加算回路１０４に送る。帯域
消去フィルタ回路１０３は回転軸の固有振動数を含む所
定範囲の周波数の帯域のゲインが殆ど零または小さい値
となっている。また、変位センサ回路１０１を入力とす
る帯域通過フィルタ回路１０６は帯域消去フィルタ回路
１０３と逆に上記所定範囲の局周波数を通過させるよう
になっている。帯域通過フィルタ回路１０６の出力とゲ
イン調整器１０７の出力は加算回路１０８により加算さ
れる。加算回路１０８の出力は、位相進み回路１０９に
よって少なくとも上記所定の帯域において、完全に進相
するようにその位相を進相させ、より適したゲイン・位
相特性を得るためにノッチフィルタ１１０を通し加算回
路１０４に送る。加算回路１０４の出力はパワー増幅回
路１０５を通して増幅され、制御対象１１１に出力され
る。
【０００５】上記構成の磁気軸受制御回路は高速スピン
ドルなどの工作機械に用いられているもので、回転体の
固有振動数に減衰を与え、且つ高剛性を得る回路構成と
なっている。
ドルなどの工作機械に用いられているもので、回転体の
固有振動数に減衰を与え、且つ高剛性を得る回路構成と
なっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、以下のような課題を有していた。
の構成では、以下のような課題を有していた。
【０００７】回転体の曲げ固有振動数は、即ち前廻り、
後廻りの周波数は回転体の回転数に応じて変化する。工
作機械のスピンドルにおいても低速からより高速で運転
させようとした場合、回転体の曲げ固有振動数は変化す
る。このとき前記従来例では、帯域通過フィルタ回路１
０６や位相進み回路１０９が回転体の一定の固有振動数
に対してのみ、十分に減衰させるよう構成されているた
め、回転体の固有振動数が変化する場合、十分な減衰効
果が得られないという問題点を有していた。
後廻りの周波数は回転体の回転数に応じて変化する。工
作機械のスピンドルにおいても低速からより高速で運転
させようとした場合、回転体の曲げ固有振動数は変化す
る。このとき前記従来例では、帯域通過フィルタ回路１
０６や位相進み回路１０９が回転体の一定の固有振動数
に対してのみ、十分に減衰させるよう構成されているた
め、回転体の固有振動数が変化する場合、十分な減衰効
果が得られないという問題点を有していた。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、回転体の曲げ固有振動数が変化する場合において
も、その曲げ固有振動数を十分減衰させる磁気軸受制御
装置を提供することを目的としている。
ので、回転体の曲げ固有振動数が変化する場合において
も、その曲げ固有振動数を十分減衰させる磁気軸受制御
装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、回転体の位置を検出するセンサと、該セン
サ信号により電磁石に流す電流を制御する回路と、前記
回転体を所定の位置に設定する電磁石から構成され、外
乱による回転体の振動を極力抑制し、高速で回転する回
転体を高剛性に支持する必要がある磁気軸受制御装置に
おいて、前記センサ信号から回転体の固有振動数成分を
減衰させるノッチフィルタ回路Ａと、この出力と回転体
の位置基準信号の差を演算する偏差回路と、該偏差信号
を位相補償する位相補償回路からなる主回路と、前記セ
ンサ信号から回転体の固有振動数の前廻り後廻りを含む
周波数範囲の成分をとりだすとともに、該周波数範囲内
で位相の進みおよび遅れを抑える機能を有した帯域通過
フィルタと、この出力信号のゲイン調整をするゲイン回
路と、ゲイン調整された信号に対して回転体の固有振動
数より低い周波数成分を減衰させるノッチフィルタ回路
Ｂからなる第２回路と、前記主回路の出力と第２回路の
出力を加算する加算回路を有することを特徴とする。
に本発明は、回転体の位置を検出するセンサと、該セン
サ信号により電磁石に流す電流を制御する回路と、前記
回転体を所定の位置に設定する電磁石から構成され、外
乱による回転体の振動を極力抑制し、高速で回転する回
転体を高剛性に支持する必要がある磁気軸受制御装置に
おいて、前記センサ信号から回転体の固有振動数成分を
減衰させるノッチフィルタ回路Ａと、この出力と回転体
の位置基準信号の差を演算する偏差回路と、該偏差信号
を位相補償する位相補償回路からなる主回路と、前記セ
ンサ信号から回転体の固有振動数の前廻り後廻りを含む
周波数範囲の成分をとりだすとともに、該周波数範囲内
で位相の進みおよび遅れを抑える機能を有した帯域通過
フィルタと、この出力信号のゲイン調整をするゲイン回
路と、ゲイン調整された信号に対して回転体の固有振動
数より低い周波数成分を減衰させるノッチフィルタ回路
Ｂからなる第２回路と、前記主回路の出力と第２回路の
出力を加算する加算回路を有することを特徴とする。
【００１０】この構成によって、所定の曲げ固有振動数
の前廻り後廻りを含む周波数範囲のセンサ出力信号につ
いて位相をほとんど変化させることなく帯域通過フィル
タで取り出し、ゲイン調整、そしてノッチフィルタ回路
Ｂにより回転体固有振動数より低い一定の周波数域のゲ
インを殆んど零にして、第２回路の出力とする。ところ
で、加工等の外乱により、回転体が曲げ固有振動数で振
動する場合に、この制振のためには位相を１８０°反転
した制御信号をパワー増幅回路に入力すればよいことが
判明している。したがって第２回路の出力信号を主回路
の出力信号に対して加算回路へポジティブフィードバッ
クで返せば、制振効果を得ることができる。
の前廻り後廻りを含む周波数範囲のセンサ出力信号につ
いて位相をほとんど変化させることなく帯域通過フィル
タで取り出し、ゲイン調整、そしてノッチフィルタ回路
Ｂにより回転体固有振動数より低い一定の周波数域のゲ
インを殆んど零にして、第２回路の出力とする。ところ
で、加工等の外乱により、回転体が曲げ固有振動数で振
動する場合に、この制振のためには位相を１８０°反転
した制御信号をパワー増幅回路に入力すればよいことが
判明している。したがって第２回路の出力信号を主回路
の出力信号に対して加算回路へポジティブフィードバッ
クで返せば、制振効果を得ることができる。
【００１１】この本発明によれば、前廻り後廻り作用に
より曲げ固有振動数が変化する場合においても、第２回
路はほぼ一定の位相、ゲイン特性を有し、変化する曲げ
固有振動数を十分減衰させることができる。
より曲げ固有振動数が変化する場合においても、第２回
路はほぼ一定の位相、ゲイン特性を有し、変化する曲げ
固有振動数を十分減衰させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について、図１から図４を用いて説明する。
態について、図１から図４を用いて説明する。
【００１３】図１は、本発明の磁気軸受制御装置の回路
構成を示すブロック図である。図示するように、磁気軸
受制御装置の回路は、センサ回路１，ノッチフィルタ回
路Ａ２，偏差回路３、位相補償回路４、帯域通過フィル
タ５、ゲイン回路６、ノッチフィルタＢ７、加算器８、
パワー増幅回路９および制御対象１０で構成されてい
る。
構成を示すブロック図である。図示するように、磁気軸
受制御装置の回路は、センサ回路１，ノッチフィルタ回
路Ａ２，偏差回路３、位相補償回路４、帯域通過フィル
タ５、ゲイン回路６、ノッチフィルタＢ７、加算器８、
パワー増幅回路９および制御対象１０で構成されてい
る。
【００１４】上記回路構成の磁気軸受制御回路におい
て、制御対象１０である回転体の位置を検出するセンサ
回路１の出力信号をノッチフィルタ回路Ａ２により、回
転体の前廻り後廻りの固有振動数範囲で減衰させ、偏差
回路３にフィードバックする。偏差回路３は回転体の位
置基準信号と前記ノッチフィルタ回路Ａ２の出力信号の
差を演算し、その偏差信号を位相補償回路４に出力し、
ＰＩＤ等（比例，積分，微分）の位相補償を施す。セン
サ回路１，ノッチフィルタ回路Ａ２、偏差回路３、位相
補償回路４からなる回路を主回路とし、これは、磁気軸
受支持を全般的に担う回路である。また、センサ回路１
の出力信号から、帯域通過フィルタ５により、回転体の
固有振動数の前廻り後廻りの周波数範囲成分を取り出
す。このとき、帯域通過フィルタ５は、該周波数範囲内
で、位相をほとんど変化させないように構成されてい
る。例えば、図２に示す帯域通過フィルタは中心周波数
の異る４つの帯域通過フィルタを結合して構成されてお
り、図３にそのゲイン位相特性を示す。図中のＤの周波
数範囲内ではゲイン、位相ともほぼ一定の特性とするこ
とができている。このＤの周波数範囲を回転体の固有振
動数の前廻り後廻りの周波数範囲とすることは容易であ
る。このようにしてとり出された周波数成分信号は、ゲ
イン回路６によりゲイン調整され、回転体の固有振動数
より低い周波数でのゲイン特性を低下させるために、ノ
ッチフィルタ回路Ｂ７に入力する。帯域通過フィルタ
５、ゲイン回路６、ノッチフィルタ回路Ｂ７からなる回
路を第２回路とする。第２回路のゲイン位相特性を図４
に示す。加算回路８は、主回路の出力信号と第２の回路
の出力信号を加算し、パワー増幅回路９に出力する。パ
ワー増幅回路９は該加算信号をもとに、制御対象１０内
の電磁石に電流を供給する。
て、制御対象１０である回転体の位置を検出するセンサ
回路１の出力信号をノッチフィルタ回路Ａ２により、回
転体の前廻り後廻りの固有振動数範囲で減衰させ、偏差
回路３にフィードバックする。偏差回路３は回転体の位
置基準信号と前記ノッチフィルタ回路Ａ２の出力信号の
差を演算し、その偏差信号を位相補償回路４に出力し、
ＰＩＤ等（比例，積分，微分）の位相補償を施す。セン
サ回路１，ノッチフィルタ回路Ａ２、偏差回路３、位相
補償回路４からなる回路を主回路とし、これは、磁気軸
受支持を全般的に担う回路である。また、センサ回路１
の出力信号から、帯域通過フィルタ５により、回転体の
固有振動数の前廻り後廻りの周波数範囲成分を取り出
す。このとき、帯域通過フィルタ５は、該周波数範囲内
で、位相をほとんど変化させないように構成されてい
る。例えば、図２に示す帯域通過フィルタは中心周波数
の異る４つの帯域通過フィルタを結合して構成されてお
り、図３にそのゲイン位相特性を示す。図中のＤの周波
数範囲内ではゲイン、位相ともほぼ一定の特性とするこ
とができている。このＤの周波数範囲を回転体の固有振
動数の前廻り後廻りの周波数範囲とすることは容易であ
る。このようにしてとり出された周波数成分信号は、ゲ
イン回路６によりゲイン調整され、回転体の固有振動数
より低い周波数でのゲイン特性を低下させるために、ノ
ッチフィルタ回路Ｂ７に入力する。帯域通過フィルタ
５、ゲイン回路６、ノッチフィルタ回路Ｂ７からなる回
路を第２回路とする。第２回路のゲイン位相特性を図４
に示す。加算回路８は、主回路の出力信号と第２の回路
の出力信号を加算し、パワー増幅回路９に出力する。パ
ワー増幅回路９は該加算信号をもとに、制御対象１０内
の電磁石に電流を供給する。
【００１５】ところで、本発明によれば、第２回路を通
過した回転体の固有振動数成分はポジティブフィードバ
ックされ、一見固有振動数成分を増幅する働きがあるか
に思える。しかし、第２回路を除いた主回路のみを動作
させ、位置基準信号を回転体の固有振動数成分の正弦波
信号に変更すると、回転体は、固有振動成分で振動する
が、このとき、パワー増幅回路９への入力信号とセンサ
回路１の出力信号は位相が全く反転してしまう。つま
り、正弦波信号と回路体共振状態となるのである。した
がって、回転体の固有振動数成分を制振しようとした場
合、本発明の第２回路からの信号はポジティブフィード
バックする必要がある。磁気軸受制御装置の回路を上記
の如く構成することにより、回転体の曲げ固有振動数が
前廻り後廻り周波数に変化しても、十分な減衰効果を得
るものである。
過した回転体の固有振動数成分はポジティブフィードバ
ックされ、一見固有振動数成分を増幅する働きがあるか
に思える。しかし、第２回路を除いた主回路のみを動作
させ、位置基準信号を回転体の固有振動数成分の正弦波
信号に変更すると、回転体は、固有振動成分で振動する
が、このとき、パワー増幅回路９への入力信号とセンサ
回路１の出力信号は位相が全く反転してしまう。つま
り、正弦波信号と回路体共振状態となるのである。した
がって、回転体の固有振動数成分を制振しようとした場
合、本発明の第２回路からの信号はポジティブフィード
バックする必要がある。磁気軸受制御装置の回路を上記
の如く構成することにより、回転体の曲げ固有振動数が
前廻り後廻り周波数に変化しても、十分な減衰効果を得
るものである。
【００１６】次に、本発明の具体的な実験例を説明す
る。工作機械用の高速磁気軸受スピンドルに本発明を適
用し、実際にエンドミル加工を実施した。この場合、ス
ピンドル回転数３０００ｒｐｍ、回転体の固有振動数
１．０７ＫＨｚである。本発明を適用しない場合、加工
切り込み量を大きくしていき加工負荷を増大させると、
加工時にビビリ振動が発生し、加工面性状の劣化をきた
した。この加工時のビビリ振動は加工外乱により回転体
が固有振動数で振動したものであった。図５（ａ）、に
このときの回転体の振動状態の観測結果を示す。同条件
の加工に本発明を適用した結果を図５（ｂ）、に示す。
回転体の固有振動数５＝１．０７ＫＨｚの振動は消滅
し、回転体のアンバランスによる振れ廻り（５００Ｈ
ｚ，２μｍＰ−Ｐ）のみになっている。加工面性状も劣
化をきたさなくなった。
る。工作機械用の高速磁気軸受スピンドルに本発明を適
用し、実際にエンドミル加工を実施した。この場合、ス
ピンドル回転数３０００ｒｐｍ、回転体の固有振動数
１．０７ＫＨｚである。本発明を適用しない場合、加工
切り込み量を大きくしていき加工負荷を増大させると、
加工時にビビリ振動が発生し、加工面性状の劣化をきた
した。この加工時のビビリ振動は加工外乱により回転体
が固有振動数で振動したものであった。図５（ａ）、に
このときの回転体の振動状態の観測結果を示す。同条件
の加工に本発明を適用した結果を図５（ｂ）、に示す。
回転体の固有振動数５＝１．０７ＫＨｚの振動は消滅
し、回転体のアンバランスによる振れ廻り（５００Ｈ
ｚ，２μｍＰ−Ｐ）のみになっている。加工面性状も劣
化をきたさなくなった。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、回転体の
固有振動数が前廻り後廻りを含む周波数で変化しても、
その固有振動数を十分減衰させる高剛性の磁気軸受を得
ることができる。
固有振動数が前廻り後廻りを含む周波数で変化しても、
その固有振動数を十分減衰させる高剛性の磁気軸受を得
ることができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気軸受制御装置の
回路構成を示すブロック図
回路構成を示すブロック図
【図２】本発明の一実施形態に係る磁気受制御装置の中
で、帯域通過フィルタの回路構成の一例を示すブロック
図
で、帯域通過フィルタの回路構成の一例を示すブロック
図
【図３】同上の帯域通過フィルタの特性を示すゲイン位
相線図
相線図
【図４】本発明の一実施形態に係る磁気軸受制御装置の
中で、第２回路の特性を示すゲイン位相線図
中で、第２回路の特性を示すゲイン位相線図
【図５】本発明の一実施形態に係る磁気軸受制御装置に
おける回転体の振動を示す図
おける回転体の振動を示す図
【図６】従来の磁気軸受制御装置の回路構成を示すブロ
ック図
ック図
１ センサ回路 ２ ノッチフィルタ回路Ａ ３ 偏差回路 ４ 位相補償回路 ５ 帯域通過フィルタ回路 ６ ゲイン回路 ７ ノッチフィルタ回路Ｂ ８ 加算回路 ９ パワー増幅回路 １０ 制御対象
Claims (1)
- 【請求項１】 回転体の位置を検出するセンサと、該セ
ンサ信号により電磁石に流す電流を制御する回路と、前
記回転体を所定の位置に設定する電磁石から構成され、
外乱による回転体の振動を極力抑制し、高速で回転する
回転体を高剛性に支持する必要がある磁気軸受制御装置
において、前記センサ信号から回転体の固有振動数成分
を減衰させるノッチフィルタ回路Ａと、この出力と回転
体の位置基準信号の差を演算する偏差回路と、該偏差信
号を位相補償する位相補償回路からなる主回路と、前記
センサ信号から回転体の固有振動数の前廻り後廻りを含
む周波数範囲の成分をとりだすとともに、該周波数範囲
内で位相の進みおよび遅れを抑える機能を有した帯域通
過フィルタと、この出力信号のゲイン調整をするゲイン
回路と、ゲイン調整された信号に対して回転体の固有振
動数より低い周波数成分を減衰させるノッチフィルタ回
路Ｂからなる第２回路と、前記主回路の出力と第２回路
の出力を加算する加算回路を有することを特徴とする磁
気軸受制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04257096A JP3591111B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 磁気軸受制御装置 |
| US08/804,688 US5760511A (en) | 1996-02-29 | 1997-02-25 | Magnetic bearing controller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04257096A JP3591111B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 磁気軸受制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236122A true JPH09236122A (ja) | 1997-09-09 |
| JP3591111B2 JP3591111B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=12639732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04257096A Expired - Fee Related JP3591111B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 磁気軸受制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5760511A (ja) |
| JP (1) | JP3591111B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000045059A1 (fr) * | 1999-01-27 | 2000-08-03 | Ebara Corporation | Dispositif de support magnetique commande |
| WO2023032767A1 (ja) | 2021-08-30 | 2023-03-09 | エドワーズ株式会社 | 磁気軸受装置及び真空ポンプ |
| WO2024204651A1 (ja) * | 2023-03-31 | 2024-10-03 | ダイキン工業株式会社 | 駆動システム、ターボ圧縮機、冷凍装置 |
Families Citing this family (11)
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