JPH09229797A - 磁歪式歪センサ - Google Patents
磁歪式歪センサInfo
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- JPH09229797A JPH09229797A JP6003596A JP6003596A JPH09229797A JP H09229797 A JPH09229797 A JP H09229797A JP 6003596 A JP6003596 A JP 6003596A JP 6003596 A JP6003596 A JP 6003596A JP H09229797 A JPH09229797 A JP H09229797A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁性膜の温度に検出コイルの温度が追従す
るようにして、測定誤差の生じない磁歪式歪センサを提
供する。 【解決手段】 表面に逆磁歪効果を有する円筒状の力伝
達部材１と、力伝達部材１に形成した力伝達部２と、力
伝達部２に隣接して力伝達部材１に形成した非力伝達部
３と、力伝達部２と非力伝達部３にそれぞれ空隙を介し
て対向して設けた励磁コイル５１Ａ，５１Ｂおよび検出
コイル５２Ａ，５２Ｂからなる二つのコイル群５Ａ，５
Ｂとを備え、力伝達部材１とコイル群５Ａ，５Ｂとの間
の空間に熱伝導度が１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃以
上である非磁性の粘性流体８を充填した磁歪式歪センサ
である。
るようにして、測定誤差の生じない磁歪式歪センサを提
供する。 【解決手段】 表面に逆磁歪効果を有する円筒状の力伝
達部材１と、力伝達部材１に形成した力伝達部２と、力
伝達部２に隣接して力伝達部材１に形成した非力伝達部
３と、力伝達部２と非力伝達部３にそれぞれ空隙を介し
て対向して設けた励磁コイル５１Ａ，５１Ｂおよび検出
コイル５２Ａ，５２Ｂからなる二つのコイル群５Ａ，５
Ｂとを備え、力伝達部材１とコイル群５Ａ，５Ｂとの間
の空間に熱伝導度が１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃以
上である非磁性の粘性流体８を充填した磁歪式歪センサ
である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁性体の逆磁歪効
果を利用して、温度変化の激しい油圧装置の作動油など
の流体の圧力や架線などの張力を検出する磁歪式歪セン
サに関する。
果を利用して、温度変化の激しい油圧装置の作動油など
の流体の圧力や架線などの張力を検出する磁歪式歪セン
サに関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、油圧を利用したダイキャストマシ
ンや、アクチュエータの高性能化が進められている。例
えば、ダイキャストマシンで、油圧装置の油圧を正確に
コントロールすることにより、ダイキャスト材の不良率
を低下させている。また、アクチュエータの油圧を正確
にコントロールすることにより、正確な位置決め動作を
させることができる。したがって、油圧装置の圧力セン
サは安定した特性を必要とするが、このような要求に対
応したものとして、とくに耐熱性に優れている磁歪式歪
センサが開発されている（例えば、工業調査会発行：Ｍ
＆Ｅ、１９８９年９月号、１２４ページ）。図３は、そ
の一例を示す断面図で、チタン製パイプからなる力伝達
部材１の内側に隔壁１１を設けて、二つの空洞部１２、
１３を形成し、一方側を力検出部２、他方側を非力検出
部３とし、力検出部２の空洞部１２を作動油の配管に接
続し、油圧を直接受けるようにしてある。この力検出部
２と非力検出部３の両方の外周表面に亙って、アモルフ
ァス磁性体からなる磁性膜４を設け、それぞれ励磁コイ
ル５１Ａと検出コイル５２Ａおよび励磁コイル５１Ｂと
検出コイル５２Ｂを同心円状に配置した二つのコイル群
５Ａ，５Ｂを、磁性膜４に空隙を介して対向させてあ
る。６はコイル群５Ａ，５Ｂの外周に設けたヨークであ
る。このような圧力センサにおいて、空洞部１２の油圧
が変化すると、力検出部２を介して磁性膜４に歪が生
じ、磁気特性が変化し、それに伴い、検出コイル５２Ａ
のインピーダンスが変化する。非力検出部３の周囲に配
置した検出コイル５２Ｂにはインピーダンスの変化はな
いので、検出コイル５２Ａと５２Ｂの差を検出し、油圧
の変化として測定しする。
ンや、アクチュエータの高性能化が進められている。例
えば、ダイキャストマシンで、油圧装置の油圧を正確に
コントロールすることにより、ダイキャスト材の不良率
を低下させている。また、アクチュエータの油圧を正確
にコントロールすることにより、正確な位置決め動作を
させることができる。したがって、油圧装置の圧力セン
サは安定した特性を必要とするが、このような要求に対
応したものとして、とくに耐熱性に優れている磁歪式歪
センサが開発されている（例えば、工業調査会発行：Ｍ
＆Ｅ、１９８９年９月号、１２４ページ）。図３は、そ
の一例を示す断面図で、チタン製パイプからなる力伝達
部材１の内側に隔壁１１を設けて、二つの空洞部１２、
１３を形成し、一方側を力検出部２、他方側を非力検出
部３とし、力検出部２の空洞部１２を作動油の配管に接
続し、油圧を直接受けるようにしてある。この力検出部
２と非力検出部３の両方の外周表面に亙って、アモルフ
ァス磁性体からなる磁性膜４を設け、それぞれ励磁コイ
ル５１Ａと検出コイル５２Ａおよび励磁コイル５１Ｂと
検出コイル５２Ｂを同心円状に配置した二つのコイル群
５Ａ，５Ｂを、磁性膜４に空隙を介して対向させてあ
る。６はコイル群５Ａ，５Ｂの外周に設けたヨークであ
る。このような圧力センサにおいて、空洞部１２の油圧
が変化すると、力検出部２を介して磁性膜４に歪が生
じ、磁気特性が変化し、それに伴い、検出コイル５２Ａ
のインピーダンスが変化する。非力検出部３の周囲に配
置した検出コイル５２Ｂにはインピーダンスの変化はな
いので、検出コイル５２Ａと５２Ｂの差を検出し、油圧
の変化として測定しする。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、油圧装置の作動油の温度が変化した場合、力伝
達部材１が高い熱伝導率を持ったチタン製パイプから形
成されているため、作動油が入る力検出部２はただちに
作動油の温度と同じになり、力検出部２の外周に設けら
れた磁性膜４自体の温度も作動油の温度にすぐ追従す
る。しかし、検出コイル５２Ａ，５２Ｂは力伝達部材１
に非接触で配置され、熱伝導率の低い空気を介して熱が
検出されるため、作動油の温度変化に直ちに追従できな
い。圧力センサとしての温度特性は、磁性膜４と検出コ
イル５２Ａ，５２Ｂの温度が同じ場合のデータで求める
ため、磁性膜４と検出コイル５２Ａ，５２Ｂの温度が異
なる場合には、実際と異なる測定結果となり、測定誤差
が生じるという問題があった。本発明は、力伝達部材ま
たは力伝達部材に設けた磁性膜の温度に検出コイルの温
度が追従するようにして、測定誤差の生じない磁歪式歪
センサを提供することを目的とするものである。
術では、油圧装置の作動油の温度が変化した場合、力伝
達部材１が高い熱伝導率を持ったチタン製パイプから形
成されているため、作動油が入る力検出部２はただちに
作動油の温度と同じになり、力検出部２の外周に設けら
れた磁性膜４自体の温度も作動油の温度にすぐ追従す
る。しかし、検出コイル５２Ａ，５２Ｂは力伝達部材１
に非接触で配置され、熱伝導率の低い空気を介して熱が
検出されるため、作動油の温度変化に直ちに追従できな
い。圧力センサとしての温度特性は、磁性膜４と検出コ
イル５２Ａ，５２Ｂの温度が同じ場合のデータで求める
ため、磁性膜４と検出コイル５２Ａ，５２Ｂの温度が異
なる場合には、実際と異なる測定結果となり、測定誤差
が生じるという問題があった。本発明は、力伝達部材ま
たは力伝達部材に設けた磁性膜の温度に検出コイルの温
度が追従するようにして、測定誤差の生じない磁歪式歪
センサを提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、少なくとも表面に逆磁歪効果を有する円
筒状または円柱状の力伝達部材と、前記力伝達部材と空
隙を介して対向して設けた励磁コイルおよび検出コイル
からなるコイル群とを備えた磁歪式歪センサにおいて、
前記力伝達部材と前記コイル群との間の空間に熱伝導度
が１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃以上である非磁性の
粘性流体を充填したものである。また、前記コイル群の
両端に、前記空間から前記粘性流体の流出を防ぐＯリン
グ部材を設けたものである。また、前記力伝達部材は、
その内部に流体を導入し得る空洞部を設けた円筒状のも
のからなり、前記流体の圧力を測定するものである。ま
た、前記伝達部材は、円柱状のものからなり、軸方向の
力を測定するものである。
め、本発明は、少なくとも表面に逆磁歪効果を有する円
筒状または円柱状の力伝達部材と、前記力伝達部材と空
隙を介して対向して設けた励磁コイルおよび検出コイル
からなるコイル群とを備えた磁歪式歪センサにおいて、
前記力伝達部材と前記コイル群との間の空間に熱伝導度
が１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃以上である非磁性の
粘性流体を充填したものである。また、前記コイル群の
両端に、前記空間から前記粘性流体の流出を防ぐＯリン
グ部材を設けたものである。また、前記力伝達部材は、
その内部に流体を導入し得る空洞部を設けた円筒状のも
のからなり、前記流体の圧力を測定するものである。ま
た、前記伝達部材は、円柱状のものからなり、軸方向の
力を測定するものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
ついて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す正
断面図である。図において、１は中空円筒状のチタン製
パイプなどの非磁性体からなる力伝達部材、１１は力伝
達部材１の内側に設けた隔壁で、その両側に二つの空洞
部１２、１３を形成してある。隔壁１１を境に、一方の
空洞部１２側を力検出部２、他方の空洞部１３側を非力
検出部３とし、力検出部２の空洞部１２を作動油の配管
に接続して、作動油を空洞部１２に導入し、油圧を直接
受けるようにしてある。４は力検出部２と非力検出部３
の両方の外周表面に亙って、力伝達部材１の表面に逆磁
歪効果を有するアモルファス磁性体からなる磁歪材料
で、真空蒸着法やスパッタ法などにより設けた磁性膜で
ある。５Ａ，５Ｂは、それぞれ励磁コイル５１Ａと検出
コイル５２Ａおよび励磁コイル５１Ｂと検出コイル５２
Ｂを同心円状に配置した二つのコイル群で、それぞれ、
磁性膜４に空隙を介して対向させてある。６は検出コイ
ル５２Ａ，５２Ｂの外側に設けたヨーク、７はヨーク６
の力伝達部材１に対向する部分に設けたＯリング、８は
力伝達部材１とコイル群５Ａおよびコイル群５ＢとＯリ
ング７によって囲まれた空間Ｓに充填された非磁性の粘
性流体で、Ｏリング７によって粘性流体８の空間Ｓから
の流出を防いである。
ついて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す正
断面図である。図において、１は中空円筒状のチタン製
パイプなどの非磁性体からなる力伝達部材、１１は力伝
達部材１の内側に設けた隔壁で、その両側に二つの空洞
部１２、１３を形成してある。隔壁１１を境に、一方の
空洞部１２側を力検出部２、他方の空洞部１３側を非力
検出部３とし、力検出部２の空洞部１２を作動油の配管
に接続して、作動油を空洞部１２に導入し、油圧を直接
受けるようにしてある。４は力検出部２と非力検出部３
の両方の外周表面に亙って、力伝達部材１の表面に逆磁
歪効果を有するアモルファス磁性体からなる磁歪材料
で、真空蒸着法やスパッタ法などにより設けた磁性膜で
ある。５Ａ，５Ｂは、それぞれ励磁コイル５１Ａと検出
コイル５２Ａおよび励磁コイル５１Ｂと検出コイル５２
Ｂを同心円状に配置した二つのコイル群で、それぞれ、
磁性膜４に空隙を介して対向させてある。６は検出コイ
ル５２Ａ，５２Ｂの外側に設けたヨーク、７はヨーク６
の力伝達部材１に対向する部分に設けたＯリング、８は
力伝達部材１とコイル群５Ａおよびコイル群５ＢとＯリ
ング７によって囲まれた空間Ｓに充填された非磁性の粘
性流体で、Ｏリング７によって粘性流体８の空間Ｓから
の流出を防いである。
【０００６】粘性流体８はグリースに、例えば、Ａｌ2
Ｏ3 ，Ｚｒ2 Ｏ3 ，ＢｅＯなどの非磁性酸化物の粒子を
混合し、混合量を変えることにより熱伝導度を高めてあ
る。ここで、非磁性酸化物の粒子の混合量を変えて、熱
伝導度の異なる粘性流体８を作製し、この粘性流体８を
空間Ｓの中に充填し、作動油の温度を５０℃から７０℃
に変化させたときに、コイル群５Ａ，５Ｂの温度が７０
℃付近に達する時間を求め、コイル群５Ａ，５Ｂの作動
油の温度変化への追従性を調べた結果を次の表１に示
す。空間Ｓに充填した条件は、粘性流体８を充填しない
状態、すなわち、空気（熱伝導度が０．０６×１０-3ｃ
ａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃）が充填された状態と、粘性流
体８の熱伝導度が０．５×１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ
・℃〜２×１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃まで４段階
に変えて、測定した。なお、温度測定は銅−コンスタン
タン熱電対で行った。
Ｏ3 ，Ｚｒ2 Ｏ3 ，ＢｅＯなどの非磁性酸化物の粒子を
混合し、混合量を変えることにより熱伝導度を高めてあ
る。ここで、非磁性酸化物の粒子の混合量を変えて、熱
伝導度の異なる粘性流体８を作製し、この粘性流体８を
空間Ｓの中に充填し、作動油の温度を５０℃から７０℃
に変化させたときに、コイル群５Ａ，５Ｂの温度が７０
℃付近に達する時間を求め、コイル群５Ａ，５Ｂの作動
油の温度変化への追従性を調べた結果を次の表１に示
す。空間Ｓに充填した条件は、粘性流体８を充填しない
状態、すなわち、空気（熱伝導度が０．０６×１０-3ｃ
ａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃）が充填された状態と、粘性流
体８の熱伝導度が０．５×１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ
・℃〜２×１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃まで４段階
に変えて、測定した。なお、温度測定は銅−コンスタン
タン熱電対で行った。
【０００７】
【表１】
【０００８】この結果より、作動油の温度を５０℃から
７０℃に変化させた時間から１０秒以内にコイル群５
Ａ，５Ｂの温度が追従したのは、粘性流体８の熱伝導度
が１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃以上であった。これ
は、粘性流体８を充填しない場合に、追従時間が５０秒
かかったときに比べて比べて、著しく速く追従してお
り、測定上、許される遅れ時間である１０秒以内に入っ
ていることがわかる。このような構成により、作動油の
温度変化が生じても、両方の検出コイルの温度が追随す
るので、測定誤差が生じなくなる。
７０℃に変化させた時間から１０秒以内にコイル群５
Ａ，５Ｂの温度が追従したのは、粘性流体８の熱伝導度
が１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃以上であった。これ
は、粘性流体８を充填しない場合に、追従時間が５０秒
かかったときに比べて比べて、著しく速く追従してお
り、測定上、許される遅れ時間である１０秒以内に入っ
ていることがわかる。このような構成により、作動油の
温度変化が生じても、両方の検出コイルの温度が追随す
るので、測定誤差が生じなくなる。
【０００９】図２は本発明の第２の実施例を示す正断面
図である。上記第１の実施例では、円筒状の力伝達部材
に空洞部を設けて圧力を加える場合について説明した
が、この場合は、力伝達部材を中実の円柱状に形成し、
温度変化がある熱が検出される状態で加えられる張力を
非接触で検出する張力センサに適用したものである。す
なわち、力伝達部材１は電線や回転軸などの非磁性体の
円柱状部材で、力伝達部材１の一部分である力検出部
２’の表面に逆磁歪効果を有するアモルファス磁性体か
らなる磁歪材料で、真空蒸着法やスパッタ法などにより
磁性膜４を設けてある。磁性膜４のない部分は非力検出
部３’である。コイル群５Ａ，５Ｂは、それぞれ励磁コ
イル５１Ａと検出コイル５２Ａおよび励磁コイル５１Ｂ
と検出コイル５２Ｂとからなり、それぞれ力検出部２’
と非力検出部３’の外周に空隙を介して同心円状に配置
してある。検出コイル５２Ａ，５２Ｂの外側にはヨーク
６を設け、ヨーク６の力伝達部材１に対向する部分にＯ
リング７を設けてある。力伝達部材１とコイル群５Ａお
よびコイル群５ＢとＯリング７によって囲まれた空間Ｓ
には非磁性の粘性流体を充填し、Ｏリング７によって粘
性流体８が空間Ｓから流出するのを防いでいる。このよ
うな構成により、検出コイル５２Ａ，５２Ｂの差をと
り、力伝達部材１に軸方向に加えられる張力または圧力
を検出することができる。しかも、力伝達部材１と磁性
膜４とコイル群５Ａおよびコイル群５Ｂとによって囲ま
れる空間Ｓに粘性流体８が充填されているので、力伝達
部材１からのコイル群５Ａおよびコイル群５Ｂの温度変
化への追従性が、粘性流体８を充填しない場合に比べて
数倍速くなる。したがって、力伝達部材１の温度変化が
生じても、両方の検出コイル５２Ａ，５２Ｂの温度が追
随するので、測定誤差が生じなくなる。
図である。上記第１の実施例では、円筒状の力伝達部材
に空洞部を設けて圧力を加える場合について説明した
が、この場合は、力伝達部材を中実の円柱状に形成し、
温度変化がある熱が検出される状態で加えられる張力を
非接触で検出する張力センサに適用したものである。す
なわち、力伝達部材１は電線や回転軸などの非磁性体の
円柱状部材で、力伝達部材１の一部分である力検出部
２’の表面に逆磁歪効果を有するアモルファス磁性体か
らなる磁歪材料で、真空蒸着法やスパッタ法などにより
磁性膜４を設けてある。磁性膜４のない部分は非力検出
部３’である。コイル群５Ａ，５Ｂは、それぞれ励磁コ
イル５１Ａと検出コイル５２Ａおよび励磁コイル５１Ｂ
と検出コイル５２Ｂとからなり、それぞれ力検出部２’
と非力検出部３’の外周に空隙を介して同心円状に配置
してある。検出コイル５２Ａ，５２Ｂの外側にはヨーク
６を設け、ヨーク６の力伝達部材１に対向する部分にＯ
リング７を設けてある。力伝達部材１とコイル群５Ａお
よびコイル群５ＢとＯリング７によって囲まれた空間Ｓ
には非磁性の粘性流体を充填し、Ｏリング７によって粘
性流体８が空間Ｓから流出するのを防いでいる。このよ
うな構成により、検出コイル５２Ａ，５２Ｂの差をと
り、力伝達部材１に軸方向に加えられる張力または圧力
を検出することができる。しかも、力伝達部材１と磁性
膜４とコイル群５Ａおよびコイル群５Ｂとによって囲ま
れる空間Ｓに粘性流体８が充填されているので、力伝達
部材１からのコイル群５Ａおよびコイル群５Ｂの温度変
化への追従性が、粘性流体８を充填しない場合に比べて
数倍速くなる。したがって、力伝達部材１の温度変化が
生じても、両方の検出コイル５２Ａ，５２Ｂの温度が追
随するので、測定誤差が生じなくなる。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、力
伝達部材とコイル群の間に熱伝導度の高い粘性流体を充
填して、力検出部の温度変化に対するコイル群の温度の
追従性をよくしてあるので、作動油などによる力検出部
の温度変化に基づく測定精度の低下が生じることがな
く、高精度の磁歪式歪センサを提供できる効果がある。
伝達部材とコイル群の間に熱伝導度の高い粘性流体を充
填して、力検出部の温度変化に対するコイル群の温度の
追従性をよくしてあるので、作動油などによる力検出部
の温度変化に基づく測定精度の低下が生じることがな
く、高精度の磁歪式歪センサを提供できる効果がある。
【図１】 本発明の第１の実施例を示す正断面図であ
る。
る。
【図２】 本発明の第２の実施例を示す正断面図であ
る。
る。
【図３】 従来例を示す正断面図である。
１：力伝達部材、１１：隔壁、１２、１３：空洞部、
２、２’：力検出部、２１：雌螺子、３１：雄螺子、
３、３’：非力検出部、４：磁性膜、５Ａ，５Ｂ：コイ
ル群、５１Ａ，５１Ｂ：励磁コイル、５２Ａ，５２Ｂ：
検出コイル、６：ヨーク、７：Ｏリング、８：粘性流体
２、２’：力検出部、２１：雌螺子、３１：雄螺子、
３、３’：非力検出部、４：磁性膜、５Ａ，５Ｂ：コイ
ル群、５１Ａ，５１Ｂ：励磁コイル、５２Ａ，５２Ｂ：
検出コイル、６：ヨーク、７：Ｏリング、８：粘性流体
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくとも表面に逆磁歪効果を有する円
筒状または円柱状の力伝達部材と、前記力伝達部材と空
隙を介して対向して設けた励磁コイルおよび検出コイル
からなるコイル群とを備えた磁歪式歪センサにおいて、
前記力伝達部材と前記コイル群との間の空間に熱伝導度
が１０-3ｃａｌ／ｃｍ・ｓｅｃ・℃以上である非磁性の
粘性流体を充填したことを特徴とする磁歪式歪センサ。 - 【請求項２】 前記コイル群の両端に、前記空間から前
記粘性流体の流出を防ぐＯリング部材を設けた請求項１
記載の磁歪式歪センサ。 - 【請求項３】 前記力伝達部材は、その内部に流体を導
入し得る空洞部を設けた円筒状のものからなり、前記流
体の圧力を測定する請求項１または２記載の磁歪式歪セ
ンサ。 - 【請求項４】 前記力伝達部材は、円柱状のものからな
り、軸方向の力を測定する請求項１または２記載の磁歪
式歪センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6003596A JPH09229797A (ja) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | 磁歪式歪センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6003596A JPH09229797A (ja) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | 磁歪式歪センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09229797A true JPH09229797A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=13130424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6003596A Pending JPH09229797A (ja) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | 磁歪式歪センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09229797A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2007004472A1 (ja) * | 2005-07-01 | 2009-01-29 | ヤマハ発動機株式会社 | 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体 |
| JP2012510632A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 充填管を用いた圧力測定方法および装置 |
| JP2012510631A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 磁気特性を用いた圧力測定方法および装置 |
| CN110187002A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-08-30 | 南昌航空大学 | 一种非电定量感磁装置 |
-
1996
- 1996-02-21 JP JP6003596A patent/JPH09229797A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2007004472A1 (ja) * | 2005-07-01 | 2009-01-29 | ヤマハ発動機株式会社 | 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体 |
| JP4731557B2 (ja) * | 2005-07-01 | 2011-07-27 | ヤマハ発動機株式会社 | 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体 |
| JP2012510632A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 充填管を用いた圧力測定方法および装置 |
| JP2012510631A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 磁気特性を用いた圧力測定方法および装置 |
| CN110187002A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-08-30 | 南昌航空大学 | 一种非电定量感磁装置 |
| CN110187002B (zh) * | 2019-06-03 | 2023-01-06 | 南昌航空大学 | 一种非电定量感磁装置 |
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