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JPH09194216A - Die for forming optical element - Google Patents

Die for forming optical element

Info

Publication number
JPH09194216A
JPH09194216A JP554696A JP554696A JPH09194216A JP H09194216 A JPH09194216 A JP H09194216A JP 554696 A JP554696 A JP 554696A JP 554696 A JP554696 A JP 554696A JP H09194216 A JPH09194216 A JP H09194216A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mold
film
die
glass
molding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP554696A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sunao Miyazaki
直 宮崎
Keiji Hirabayashi
敬二 平林
Kiyoshi Yamamoto
潔 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP554696A priority Critical patent/JPH09194216A/en
Publication of JPH09194216A publication Critical patent/JPH09194216A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B11/00Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
    • C03B11/06Construction of plunger or mould
    • C03B11/08Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
    • C03B11/084Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor
    • C03B11/086Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor of coated dies
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2215/00Press-moulding glass
    • C03B2215/02Press-mould materials
    • C03B2215/08Coated press-mould dies
    • C03B2215/14Die top coat materials, e.g. materials for the glass-contacting layers
    • C03B2215/22Non-oxide ceramics

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a die for forming optical elements which is low in adhesion power of the die with glass and is low in the friction coefft. of the die with the glass as well and withstands long-term continuous forming and with which the performance of formed goods is sufficiently assured. SOLUTION: At least the forming surfaces of die preforms 1, 2 for press forming of the die for forming the optical elements used for producing the optical elements by press forming from a softened glass blank are coated with amorphous hydrogen-contg. Si-C(a-C:H:Si) films.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、軟化したガラス素
材からプレス成形により、レンズ、プリズムなどの光学
素子を製造するために用いられる光学素子成形用型に関
するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical element molding die used for manufacturing optical elements such as lenses and prisms by press molding from a softened glass material.

【0002】[0002]

【従来の技術】軟化したガラス素材からプレス成形によ
ってレンズなどの光学素子を製造する技術は、従来のレ
ンズの製造において必要とされた、研磨工程などの面倒
な工程をなくし、簡単かつ安価に、光学素子を製造する
ことを可能にした。特に、最近は、非球面レンズなどの
光学素子のみならず、プリズム、その他の、種々な光学
素子の製造にも、プレス成形法が採用されるようになっ
てきた。
2. Description of the Related Art A technique for manufacturing an optical element such as a lens from a softened glass material by press molding eliminates a troublesome process such as a polishing process, which is required in the conventional lens manufacturing, and is simple and inexpensive. It has made it possible to manufacture optical elements. In particular, recently, the press molding method has been adopted not only for optical elements such as aspherical lenses but also for manufacturing various optical elements such as prisms.

【0003】このようなガラスの光学素子のプレス成形
において使用される型材には、硬さ、耐熱性、離型性、
鏡面加工性などに優れた性質の材料が用いられる必要が
ある。そこで、従来、この種の型材として、金属、セラ
ミックスを採用するか、あるいは、それらを型材の成形
表面にコーティングしたものが、数多くの提案がされて
いる。
Mold materials used in press molding of such glass optical elements include hardness, heat resistance, mold releasability,
It is necessary to use a material having excellent properties such as mirror surface workability. Therefore, many proposals have heretofore been made to use metal or ceramics as the mold material of this type, or to coat these on the molding surface of the mold material.

【0004】その幾つかの例を挙げるならば、型材料と
して、特開昭49−51112号公報には、13Crマ
ルテンサイト鋼が提示され、特開昭52−45613号
公報には、SiC及びSi34 が提示され、特開昭6
0−246230号公報には、超硬合金の型材料に、貴
金属をコーティングしたものが提示され、また、特開昭
61−183134号公報、特開昭61−281030
号公報、特開平1−301864号公報には、それぞ
れ、型材料にダイヤモンド薄膜あるいはダイヤモンド状
炭素膜をコーティングしたものが、更には、特開昭64
−83529号公報には、硬質炭素膜をコーティングし
たものが提示されている。
To give some examples, as a mold material, Japanese Patent Laid-Open No. 49-51112 discloses 13Cr martensitic steel, and Japanese Patent Laid-Open No. 52-45613 discloses SiC and Si. 3 N 4 is presented and is disclosed in JP-A-6-6.
No. 0-246230 discloses a cemented carbide mold material coated with a noble metal, and is also disclosed in JP-A-61-183134 and JP-A-61-281030.
Japanese Patent Laid-Open No. Hei 1-301864 and Japanese Patent Laid-Open No. Hei 1-301864 respectively disclose a die material coated with a diamond thin film or a diamond-like carbon film.
In Japanese Patent Publication No. 83529, a coating of a hard carbon film is presented.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、13Crマル
テンサイト鋼は、酸化しやすく、さらに、高温域でFe
がガラス中に拡散して、ガラスを着色する欠点を持って
いる。また、SiCあるいはSi34 は、一般的に酸
化されにくいとされているが、高温域では、やはり酸化
が起こり、成形表面にSiO2 の膜が形成されるため、
ガラスとの融着を起こし、さらに、材質の上で、高硬度
であるため、型自体(特に、成形表面)の加工性が、極
めて悪いという欠点を持つ。また、貴金属をコーティン
グした材料は、融着を起こしにくいが、極めて軟かいた
め、傷がつきやすく、また、変形しやすい欠点をもつ。
However, 13Cr martensitic steel is apt to oxidize, and moreover, Fe in the high temperature range is used.
Has the drawback of diffusing into the glass and coloring the glass. Further, although it is generally said that SiC or Si 3 N 4 is not easily oxidized, in the high temperature region, oxidation still occurs, and a SiO 2 film is formed on the molding surface.
It has a drawback that the workability of the mold itself (particularly the molding surface) is extremely poor because it causes fusion with glass and has high hardness in terms of material. Further, the material coated with a noble metal does not easily cause fusion bonding, but is extremely soft and therefore easily scratched and deformed.

【0006】また、ダイヤモンド薄膜、ダイヤモンド状
炭素膜(以下、DLC鋼という)、水素化アモルファス
炭素膜(以下a−C:H膜という)、硬質炭素膜を型材
料の成形表面に用いた型は、型とガラスとの離型性が良
く、ガラスとの融着を起こさないが、プレス成形を、連
続的に数百回以上、繰り返し行なうに従って、前記膜が
部分的に剥離し、成形品において、予期したような、有
効な成形性能が得られないことがある。
Further, a mold using a diamond thin film, a diamond-like carbon film (hereinafter referred to as DLC steel), a hydrogenated amorphous carbon film (hereinafter referred to as aC: H film), and a hard carbon film on the molding surface of the mold material is , The mold and the glass have good releasability and do not cause fusion with the glass, but the press-molding is continuously performed several hundred times or more, and the film is partially peeled off as the molding is repeated. However, as expected, effective molding performance may not be obtained.

【0007】これは、型とガラスとの密着力が確かに低
いけれども、型とガラスとの摩擦係数が高いため、ガラ
ス成形時の型に対する加熱、冷却の繰り返しで、膜にス
トレスが掛かるためと考えられる。
This is because the adhesive force between the mold and the glass is certainly low, but the coefficient of friction between the mold and the glass is high, so that the film is stressed by repeated heating and cooling of the mold during glass molding. Conceivable.

【0008】本発明は、上記事情に基づいてなされたも
ので、型とガラスとの密着力が低く、しかも、型とガラ
スとの摩擦係数も低くて、長期の連続成形に耐え、成形
品の性能も十分確保できる光学素子成形用型を提供する
ことを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances and has a low adhesion between the mold and the glass and a low coefficient of friction between the mold and the glass, which can endure continuous molding for a long time, It is an object of the present invention to provide an optical element molding die capable of sufficiently ensuring performance.

【0009】特に、水素化アモルファス炭素膜に比較し
て、本発明では、膜の強度を高めると共に、膜と型部材
との密着力も高めることを、その目的としている。
In particular, the object of the present invention is to increase the strength of the film and the adhesion between the film and the mold member as compared with the hydrogenated amorphous carbon film.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、軟化したガラス素材からプレス成形に
より光学素子を製造するために用いられる光学素子成形
用型において、プレス成形のための型母材の、少なくと
も成形面に、アモルファス水素含有Si−C(a−C:
H:Si)膜が被覆されていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, in the present invention, an optical element molding die used for producing an optical element from a softened glass material by press molding is used. Amorphous hydrogen-containing Si-C (a-C:
It is characterized in that it is covered with a H: Si) film.

【0011】このアモルファス水素含有Si−Cは、水
素化アモルファス炭素膜(a−C:H膜)と同様の構造
をもつ物質であるが、a−C:H膜と比較して、高温に
おけるガラスとの密着力が低く、高温におけるガラスと
の摩擦力が低い上、高硬度、耐摩耗性があり、型と膜と
の密着力が高いという特長がある。
This amorphous hydrogen-containing Si-C is a substance having a structure similar to that of a hydrogenated amorphous carbon film (aC: H film), but compared to the aC: H film, glass at a high temperature. It has low adhesion to the glass, low friction with the glass at high temperature, high hardness and abrasion resistance, and high adhesion between the mold and the film.

【0012】上記の前2点の特長から、プレス成形に際
して、型の加熱、冷却に伴うガラスの変形によっても、
型に掛かるストレスが小さく、型の耐久性が延びる効果
が得られる。また、上記の後3点の特長から、連続でプ
レス成形を行なっても、型の劣化が殆どないという効果
がある。
Due to the above two characteristics, even when the glass is deformed by heating and cooling of the mold during press molding,
The stress applied to the mold is small, and the durability of the mold is extended. Further, from the above three characteristics, there is an effect that there is almost no deterioration of the mold even when the press molding is continuously performed.

【0013】なお、この場合に、a−C:H:Si膜に
おけるSiの含有量は、10〜23atom%が望まし
い。すなわち、Siの含有量が10atom%未満で
は、膜の硬度が低くなり(5atom%では、10at
om%の半分以下)、また、型と膜の密着力も低くな
る。また、Siの含有量が10atom%未満、また
は、24atom%以上では、ガラスとの摩擦係数が大
きくなるため、本発明の目的を達成できなくなる。
In this case, the Si content in the aC: H: Si film is preferably 10 to 23 atom%. That is, when the Si content is less than 10 atom%, the hardness of the film is low (at 5 atom%, 10 atm).
Also, the adhesive force between the mold and the film becomes low. Further, when the Si content is less than 10 atom% or 24 atom% or more, the coefficient of friction with glass becomes large, so that the object of the present invention cannot be achieved.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

(第1の実施の形態)図1は、本発明の成形用型の構成
を示す模式的な図である。1は上型、2は下型、3は上
型に被覆されたa−C:H:Si膜、4は下型に被覆さ
れたa−C:H:Si膜、5は成形された光学素子であ
る。レンズ成形用ガラス素材として、例えば、SK12
(nd=1.58313、νd=59.4、Tg=50
6℃、At=538℃)が用いられ、これにより、直径
10mm、中心厚6mmのガラスゴブが予め作成され
る。そして、上記ガラス素材から、曲率半径R1(凹)
=22.8mm、同じく、R2(凸)=14.3mm、
中心厚=2mm、光線有効径(φ)=12.3mm、外
径(φ)=13.5mmの凸メニスカスレンズを成形す
るのである。
(First Embodiment) FIG. 1 is a schematic view showing the structure of a molding die of the present invention. 1 is an upper mold, 2 is a lower mold, 3 is an aC: H: Si film coated on the upper mold, 4 is an aC: H: Si film coated on the lower mold, 5 is a molded optical It is an element. As a glass material for forming a lens, for example, SK12
(Nd = 1.58313, νd = 59.4, Tg = 50
6 ° C., At = 538 ° C.) is used, whereby a glass gob having a diameter of 10 mm and a center thickness of 6 mm is prepared in advance. And, from the above glass material, the radius of curvature R1 (concave)
= 22.8 mm, similarly, R2 (convex) = 14.3 mm,
A convex meniscus lens having a center thickness of 2 mm, an effective diameter of light (φ) = 12.3 mm, and an outer diameter (φ) = 13.5 mm is formed.

【0015】このような、図1に示す成形型を製造する
には、先ず、超硬合金よりなる型母材(上型1、下型
2)を切削、研削、研摩などの加工により、所望の外形
とし、特に、成形表面を、所望の表面精度に仕上げてお
く。そして、型母材の成形表面には、2極形のRFスパ
ッタ装置を用いて、a−C:H:Si膜3、4を形成す
る。
In order to manufacture such a mold shown in FIG. 1, first, a mold base material (upper mold 1, lower mold 2) made of cemented carbide is desired by cutting, grinding, polishing or the like. In particular, the molding surface is finished to a desired surface accuracy. Then, the aC: H: Si films 3 and 4 are formed on the molding surface of the mold base material by using a bipolar RF sputtering apparatus.

【0016】なお、型母材1、2の表面に、a−C:
H:Si膜を形成するには、ECR(Electron
cyclotron resonance)プラズマ
法が採用される。ここでの、SiとCの比率は、原料と
なるシラン(SiH4 )とエチレン(C24 )ガスの
流量によって、コントロールされる。
On the surfaces of the mold base materials 1 and 2, aC:
To form an H: Si film, ECR (Electron
The cyclotron resonance) plasma method is adopted. Here, the ratio of Si and C is controlled by the flow rates of the raw material silane (SiH 4 ) and ethylene (C 2 H 4 ) gas.

【0017】ここで、得られた膜は、表1に示されてい
る。なお、膜厚は80nmとした。また、表1に示す各
種膜のついた型を使用して成形テストを行った。
The films obtained here are shown in Table 1. The film thickness was 80 nm. Further, a molding test was conducted using a mold with various films shown in Table 1.

【0018】[0018]

【表1】 このような構成の上型1、下型2を用いて、ガラス素材
から光学素子を成形する事例と、その成果とを、以下の
実施例をもとに説明する。 (実施例1)N2 雰囲気下の成形チャンバーの中で、上
述の成形用型を用いて、光学素子を成形した。まず、上
下型間に上述のガラス素材から予め成形されたガラスゴ
ブを投入し、型およびガラスゴブを同時に加熱して、5
80℃まで昇温した。次に、上型1を下降させて、プレ
ス成形を行い、所定の肉厚にした。
[Table 1] An example of molding an optical element from a glass material using the upper mold 1 and the lower mold 2 having such a configuration and the results thereof will be described based on the following examples. (Example 1) An optical element was molded using the above-described molding die in a molding chamber under N 2 atmosphere. First, a glass gob preformed from the above glass material is charged between the upper and lower dies, and the die and the glass gob are heated at the same time,
The temperature was raised to 80 ° C. Next, the upper mold 1 was lowered and press molding was performed to obtain a predetermined wall thickness.

【0019】このプレス圧力をかけた状態で型およびガ
ラスを冷却し、500℃まで降温されたところで、上型
1を上昇させ、成形された光学素子5を取り出した。こ
の光学素子5は、外径が15mmで、光線有効径の内部
の形状精度がクセ0.5本の良好なものであった。な
お、これは最終的に芯取りされ、外径(φ)=13.5
mmの、所望の光学素子成形品となる。
The mold and the glass were cooled while the press pressure was applied, and when the temperature was lowered to 500 ° C., the upper mold 1 was raised and the molded optical element 5 was taken out. The optical element 5 had an outer diameter of 15 mm and had a good shape accuracy of 0.5 inside the effective diameter of the light beam. In addition, this is finally centered, and the outer diameter (φ) = 13.5
A desired optical element molded product of mm is obtained.

【0020】さらに、同様のプレス成形を連続して50
0回、行った。その間に、成形上のトラブルもなく、5
00回終了後の型部材にも、何らの劣化も見られなかっ
た。その結果を表2に示す。
Further, the same press molding is continuously performed 50 times.
I went 0 times. In the meantime, there were no molding problems and 5
No deterioration was observed in the die member after the completion of 00 times. Table 2 shows the results.

【0021】[0021]

【表2】 実例1〜4に示しているSiの、mol%の範囲(10
〜23mol%)では、500shotがOKであった
が、比較例1〜6に示したように、上記範囲からはずれ
たものは、膜剥れまたは融着が発生し、NGであった。
これにより、好適なSiの、mol%の範囲は10〜2
3mol%であることがわかる。 (第2の実施の形態)図2は本発明の第2の実施例にお
ける成形用型の構成を模式的に示す図である。ここで
は、両面凸の光学素子10が成形される。このため、上
下型の成形面は、いずれも、a−C:H:Si膜の凹曲
面である。なお、レンズ成形用ガラス素材として、例え
ば、LaK12(nd=1.67790、νd=54.
9、Tg=562℃、At=593℃)が用いられ、こ
れにより、直径=12mm、中心厚=7mmのガラスゴ
ブが、予め成形される。
[Table 2] The range of mol% of Si shown in Examples 1 to 4 (10
˜23 mol%), 500 shot was OK, but as shown in Comparative Examples 1 to 6, those outside the above range were NG because film peeling or fusion occurred.
Thereby, the preferable range of Si in mol% is 10 to 2
It can be seen that it is 3 mol%. (Second Embodiment) FIG. 2 is a diagram schematically showing the structure of a molding die according to a second embodiment of the present invention. Here, the double-sided convex optical element 10 is molded. Therefore, the upper and lower mold surfaces are both concave curved surfaces of the aC: H: Si film. As the lens forming glass material, for example, LaK12 (nd = 1.67790, νd = 54.
9, Tg = 562 ° C., At = 593 ° C.), whereby a glass gob having a diameter = 12 mm and a central thickness = 7 mm is preformed.

【0022】上記ガラスゴブからは、例えば、プレス成
形で、R1(凸)=16.45mm、R2(凸)=1
6.86mm、中心厚=4.5mm、光線有効径(φ)
=12.5mm、外径(φ)=14mmの凸レンズを成
形する。
From the above glass gob, for example, by press molding, R1 (convex) = 16.45 mm, R2 (convex) = 1
6.86mm, center thickness = 4.5mm, effective ray diameter (φ)
A convex lens of = 12.5 mm and outer diameter (φ) = 14 mm is molded.

【0023】図2に示す成形型は、次のようにして成形
される。先ず、超硬合金よりなる型母材(上型6、下型
8)を切削、研削、研摩などの加工により、所望の外形
とし、特に、その成形面を所望の表面精度に仕上げてお
く。次に、成形面にイオンプレーティングにより、窒化
チタン(TiN)膜を1μm形成する。これは、a−
C:H:Si膜と型との密着力を強くするためと、型母
材成分が、拡散し、a−C:H:Si膜の劣化をひきお
こすのを防止するためである。次に、第1の実施の形態
と同様に、a−C:H:Si膜7、9を、厚さ:1μm
〜80nmで、成形面上に形成する。
The mold shown in FIG. 2 is molded as follows. First, a die base material (upper die 6 and lower die 8) made of cemented carbide is formed into a desired outer shape by processing such as cutting, grinding and polishing, and in particular, its forming surface is finished to a desired surface precision. Next, a titanium nitride (TiN) film having a thickness of 1 μm is formed on the molding surface by ion plating. This is a-
This is for strengthening the adhesion between the C: H: Si film and the mold and for preventing the mold base material component from diffusing and causing deterioration of the aC: H: Si film. Next, as in the first embodiment, the aC: H: Si films 7 and 9 are formed with a thickness of 1 μm.
˜80 nm on the molding surface.

【0024】このような構成の上型6、下型8を用い
て、ガラス素材から光学素子を成形する事例と、その成
果とを、以下の実施例をもとに説明する。なお、表3は
作成した膜の一覧、表4は成形テスト結果を示す。 (実施例2)N2 雰囲気下の成形チャンバーの中で、上
述の成形用型を用いて、光学素子を成形した。まず、上
下型間に上述のガラス素材から予め成形されたガラスゴ
ブを投入し、型およびガラスゴブを同時に加熱して、6
40℃まで昇温した。次に、上型6を下降させて、プレ
ス成形を行い、所定の肉厚にした。
An example of molding an optical element from a glass material using the upper mold 6 and the lower mold 8 having such a constitution and the results thereof will be described based on the following embodiments. In addition, Table 3 shows a list of the prepared films, and Table 4 shows the molding test results. (Example 2) An optical element was molded using the above-described molding die in a molding chamber under N 2 atmosphere. First, a glass gob preformed from the above glass material is charged between the upper and lower dies, and the die and the glass gob are heated at the same time,
The temperature was raised to 40 ° C. Next, the upper mold 6 was lowered and press molding was performed to obtain a predetermined wall thickness.

【0025】このプレス圧力をかけた状態で型およびガ
ラスを冷却し、570℃まで降温されたところで、上型
6を上昇させ、成形された光学素子10を取り出した。
この光学素子10は、外径が17mmで、光線有効径の
内部の形状精度がクセ0.5本の良好なものであった。
なお、これは最終的に芯取りされ、外径(φ)=14m
mの、所望の光学素子成形品となる。実施例1と同様
に、好適な膜の、Siのmol%は、10〜23mol
%であった。
The mold and the glass were cooled under this pressing pressure, and when the temperature was lowered to 570 ° C., the upper mold 6 was raised and the molded optical element 10 was taken out.
The optical element 10 had a good outer diameter of 17 mm and a shape accuracy of 0.5 inside the effective diameter of the light beam.
In addition, this is finally centered and the outer diameter (φ) = 14 m
The desired optical element molded product of m is obtained. As in Example 1, the mol% of Si in the suitable film was 10 to 23 mol.
%Met.

【0026】[0026]

【表3】 [Table 3]

【0027】[0027]

【表4】 [Table 4]

【0028】(比較例)図3は従来の成形用型の構成を
示す図である。ここで、符号11は上型、12は下型、
13は成形された光学素子である。ここでは、本発明の
第1の実施の形態と同様に、レンズ成形用ガラス素材と
してSK12が用いられ、凸メニスカスレンズを成形す
る。成形用型の上型16、下型17は、超硬合金よりな
り、また、その表面には水素化アモルファス炭素膜がコ
ーティングしてあり、この成形用型がプレス成形に供さ
れた。
(Comparative Example) FIG. 3 is a view showing the structure of a conventional molding die. Here, reference numeral 11 is an upper mold, 12 is a lower mold,
Reference numeral 13 is a molded optical element. Here, as in the first embodiment of the present invention, SK12 is used as the lens forming glass material to form a convex meniscus lens. The upper mold 16 and the lower mold 17 of the molding die were made of cemented carbide, and the surfaces thereof were coated with a hydrogenated amorphous carbon film, and the molding die was used for press molding.

【0029】光学素子の成形過程は、本発明の実施例1
と同様であるが、その成果は、連続的なプレス成形の2
0回目にして、直径(φ)=14mm程度から、外側の
炭素膜が剥離してしまい、その結果、周辺部の離型性が
悪化し、21回目からは成形品の割れが続出し、連続成
形が不可能になる事態であった。
The molding process of the optical element is the same as in Example 1 of the present invention.
But the result is continuous press molding.
At the 0th time, the outer carbon film peeled off from the diameter (φ) = about 14 mm, and as a result, the releasability of the peripheral part deteriorates, and from the 21st time, the cracks of the molded product continued and continued. It was a situation where molding was impossible.

【0030】なお、実例1、実例2は、ともに、a−
C:H:Si膜の厚みを80nmとしたが、膜厚を50
〜150nmの範囲で変更しても、同じ結果が得られ
た。膜厚が50nmより小さい場合には、膜をつけてい
る効果がほとんど無く、数shotで、型とガラスが融
着した。また、膜厚が150nmよりも厚い場合には、
数shotで膜が剥離した。
In each of Example 1 and Example 2, a-
Although the thickness of the C: H: Si film is 80 nm, the film thickness is 50 nm.
The same results were obtained with changes in the ~ 150 nm range. When the film thickness was smaller than 50 nm, there was almost no effect of applying the film, and the mold and the glass were fused in a few shots. When the film thickness is thicker than 150 nm,
The film peeled off after a few shots.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
軟化したガラス素材からプレス成形により光学素子を製
造するために用いられる光学素子成形用型において、プ
レス成形のための型母材の、少なくとも成形面に、アモ
ルファス水素含有Si−C(a−C:H:Si)膜が被
覆されていることにより、離型膜の剥離が発生せず、型
の耐久性の向上が達成できる。
As described above, according to the present invention,
In an optical element molding die used for manufacturing an optical element from a softened glass material by press molding, amorphous hydrogen-containing Si-C (a-C: a-C: at least a molding surface of a mold base material for press molding). Since the H: Si) film is coated, peeling of the release film does not occur and the durability of the mold can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例に係る型構成を説明する
模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a mold configuration according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例に係る型構成を説明する
模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a mold configuration according to a second embodiment of the present invention.

【図3】従来例を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 上型 2 下型 3 a−C:H:Si膜 4 a−C:H:Si膜 5 光学素子 6 上型 7 a−C:H:Si膜 8 下型 9 a−C:H:Si膜 10 光学素子 11 上型 12 下型 13 光学素子 1 Upper mold 2 Lower mold 3 a-C: H: Si film 4 a-C: H: Si film 5 Optical element 6 Upper mold 7 a-C: H: Si film 8 Lower mold 9 a-C: H: Si film Film 10 Optical element 11 Upper mold 12 Lower mold 13 Optical element

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 軟化したガラス素材からプレス成形によ
り光学素子を製造するために用いられる光学素子成形用
型において、プレス成形のための型母材の、少なくとも
成形面に、アモルファス水素含有Si−C(a−C:
H:Si)膜が被覆されていることを特徴とする光学素
子成形用型。
1. An optical element molding die used for manufacturing an optical element from a softened glass material by press molding, wherein an amorphous hydrogen-containing Si--C is contained at least on a molding surface of a mold base material for press molding. (A-C:
H: Si) film is coated, an optical element molding die.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999047346A1 (en) * 1998-03-13 1999-09-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Device for moulding flowable solids
JP2011162371A (en) * 2010-02-05 2011-08-25 Fujifilm Corp Mold for molding optical element, optical element and method for producing the optical element
JP2011190118A (en) * 2010-03-11 2011-09-29 Fujifilm Corp Mold for molding optical element, optical element and method for producing the optical element

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