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JPH09155773A - Sample holding method and apparatus - Google Patents

Sample holding method and apparatus

Info

Publication number
JPH09155773A
JPH09155773A JP31775095A JP31775095A JPH09155773A JP H09155773 A JPH09155773 A JP H09155773A JP 31775095 A JP31775095 A JP 31775095A JP 31775095 A JP31775095 A JP 31775095A JP H09155773 A JPH09155773 A JP H09155773A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
arms
gripping
arm
drive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP31775095A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideo Kashima
秀夫 鹿島
Masabumi Kanetomo
正文 金友
Takamichi Suzuki
高道 鈴木
Hitoshi Odajima
均 小田島
Michiyasu Inoue
道泰 井上
Takeshi Tajima
武 但馬
Seiichiro Kobayashi
誠一郎 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Priority to JP31775095A priority Critical patent/JPH09155773A/en
Publication of JPH09155773A publication Critical patent/JPH09155773A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To dispense with a slide mechanism and provide an inexpensive device with high reliability and high precision by providing a pair of right and left arms for a carrier system, putting hands provided at the free ends of the rotationally driven arms in contact with a sample and gripping the sample with gripping force corresponding to elastic deformation caused in the arms. SOLUTION: The output of a motor 1 is transmitted to two driving shafts 4a, 4b arranged in parallel via a single worm 3 and two worm wheels 2, to which rotating arms 5a, 5b are joined. Elastic arms 6a, 6b formed with band plate springs are joined to respective one end of the rotating arms 5a, 5b and hands 7 are joined to the respective other ends. The motor 1, are worm wheels 2, the worm 3 and the driving shafts 4a, 4b are held on a base to drive the motor 1 so that a sample 8 may be held between the right and left hands 7, but at this time the driving shafts 4a, 4b are rotated for the elastic arms 6a, 6b to have desired elastic deformation so that the sample 8 may be gripped.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は所定の位置に設置さ
れ、該位置より構成部材の屈曲運動またはしゅう動運動
によって、試料を把持、搬送する試料把持方法及び装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample holding method and apparatus which are installed at a predetermined position and hold and transport a sample by bending or sliding motion of constituent members from the position.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の試料把持装置として、例えば図9
に示した方法がある。
2. Description of the Related Art As a conventional sample holding device, for example, FIG.
There is a method shown in.

【0003】試料8と接触する左右一対のハンド7と、
一方のハンド7を駆動するモータ1、モータ1と接続す
る送りネジ18、送りネジ18と噛み合うナット17及
び直進案内軸28と直進案内ガイド29から成る直進案
内機構から構成される。直進案内軸28とモータ1、送
りねじ18はベース(図示せず)に固定される。
A pair of left and right hands 7 that come into contact with the sample 8;
It is composed of a motor 1 that drives one hand 7, a feed screw 18 that is connected to the motor 1, a nut 17 that meshes with the feed screw 18, and a linear guide mechanism that includes a linear guide shaft 28 and a linear guide 29. The linear guide shaft 28, the motor 1, and the feed screw 18 are fixed to a base (not shown).

【0004】試料8を左右のハンド7の間に挟叉するよ
うに試料把持装置を別に備えた移動手段(図示せず)に
よって移動させ、モータ1を駆動し送りネジ18を回転
させる。送りネジ18の回転に伴い、ナット17を固定
した一方のハンド7が直進案内軸28の軌道に沿って直
進案内ガイド29を介して稼働し、試料8がハンド7に
当接され挟み込まれることで試料7は把持される。一般
的にこのような試料把持装置は、特開平4ー25435
1記載の間接型搬送装置の先端に取付けられ、ハンドリ
ング装置として使用される。
The sample 8 is moved by a moving means (not shown) separately provided with a sample holding device so as to sandwich the sample between the left and right hands 7, and the motor 1 is driven to rotate the feed screw 18. With the rotation of the feed screw 18, the one hand 7 with the nut 17 fixed operates along the trajectory of the linear guide shaft 28 via the linear guide 29, and the sample 8 is brought into contact with and pinched by the hand 7. The sample 7 is gripped. Generally, such a sample holding device is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 25435/1992.
It is attached to the tip of the indirect transfer device described in 1 and used as a handling device.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の試
料把持装置は、試料の把持の際の把持力がモータの動力
に依存するため、対物、対人などの把持対称物に応じ
て、把持力を検出するセンサ等の検出手段を付加してい
た。センサによって常に試料の把持力を監視し、試料を
損なうことない把持力で把持する様にモータの動力を制
御する必要があった。また従来の試料把持装置は、しゅ
う動部品を多用した構成となっており、試料把持の際、
しゅう動部からの発塵が生じ試料または環境を汚染する
ことが考えられる。特に清浄な把持または環境が要求さ
れる食品、医薬品、半導体などの把持には適用できず、
その使用範囲は限られたものとなっていた。またこれま
での把持装置は、単に試料の把持機能のみであったこと
から、一般的に多関節型ロボットの先端に取付け、搬送
の自由度は多関節型ロボットの自由度に依存する形で構
成していた。
However, in the conventional sample gripping device, the gripping force at the time of gripping the sample depends on the power of the motor, and therefore, the gripping force is detected according to the object to be gripped, such as an object or a person. A detection means such as a sensor that operates is added. It was necessary to constantly monitor the gripping force of the sample by the sensor and control the power of the motor so as to grip the sample with a gripping force that does not impair the sample. In addition, the conventional sample holding device has a structure that uses a lot of sliding parts.
It is conceivable that dust may be generated from the sliding parts and pollute the sample or the environment. In particular, it cannot be applied to foods, pharmaceuticals, semiconductors, etc. that require clean grip or environment,
Its use range was limited. In addition, since the gripping device up to now has only a sample gripping function, it is generally attached to the tip of an articulated robot, and the degree of freedom in transportation depends on the degree of freedom of the articulated robot. Was.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】試料と接触し把持するハ
ンドの一端に、少なくともその一部が弾性材料から成る
弾性変形可能なバネを、重力方向の剛性が得られる姿勢
で固定する。各々のバネのもう一方の端を、各々回転自
在な回転軸受けを介してフランジに支持された駆動軸に
固定した回転アームの一端に左右一対となるように固定
する。単に試料の把持機能のみを欲する場合は、フラン
ジに支持された単一の駆動源の出力軸の動力を、フラン
ジに支持された歯車例えばウオームホイール歯車を介し
て互いに逆方向に回転するように並列に配された2つの
駆動軸に伝達する。回転アームはこの2つの駆動軸に各
々固定される。駆動軸に伝達された駆動源の動力によっ
て、回転アームは互いに逆方向に回転する。回転アーム
の回転に伴い、回転アームに固定された各々のバネが試
料を挟叉するように回転移動し、バネの自由端に固定し
たハンドが試料に当接する。当接後さらに回転アームを
回転させ、バネに弾性変形を生じさせて試料を把持す
る。この時試料の把持力は、各々のバネの弾性変形量で
決まるバネ力となる。従って試料把持後、回転アームの
回転量に対応して生じるバネの弾性変形量を制御するこ
とで、試料の把持力を調整できる。
An elastically deformable spring, at least a part of which is made of an elastic material, is fixed to one end of a hand that comes into contact with and grips a sample in such a posture that rigidity in the direction of gravity can be obtained. The other end of each spring is fixed to one end of a rotary arm fixed to a drive shaft supported by a flange via a rotatable rotary bearing so as to form a left-right pair. If only the sample gripping function is desired, the power of the output shaft of the single drive source supported by the flange is paralleled so as to rotate in opposite directions via gears supported by the flange, for example, worm wheel gears. It is transmitted to the two drive shafts arranged in. The rotating arms are fixed to these two drive shafts, respectively. The power of the drive source transmitted to the drive shaft causes the rotary arms to rotate in opposite directions. With the rotation of the rotary arm, each spring fixed to the rotary arm rotationally moves so as to sandwich the sample, and the hand fixed to the free end of the spring contacts the sample. After the contact, the rotary arm is further rotated to elastically deform the spring and hold the sample. At this time, the gripping force of the sample becomes a spring force determined by the elastic deformation amount of each spring. Therefore, after gripping the sample, the gripping force of the sample can be adjusted by controlling the amount of elastic deformation of the spring that occurs corresponding to the amount of rotation of the rotating arm.

【0007】試料を把持し駆動軸周りの回転搬送の自由
度を欲する場合は、駆動軸を同軸に配し、各々の駆動軸
に独立に任意の方向に任意の角度、速度を同期して動力
を伝達する2つの駆動源を接続することで得られる。各
々の駆動源はフランジに支持する。試料の把持は、各々
の駆動源を駆動し、駆動軸を互いに逆方向に回転するこ
とで前述した作用で得られる。次に試料の駆動軸周りの
回転は、各々の駆動源を回転し、駆動軸の回転方向を同
方向にすることで、2つの回転アームは同方向に回転す
る。従って回転アームにバネを介してハンドに支持され
た試料は、回転アームの回転に同期して任意の角度回転
移動を行なう。
When the sample is held and the degree of freedom of rotary transportation around the drive shaft is desired, the drive shafts are arranged coaxially, and each drive shaft is independently driven in an arbitrary direction and at an arbitrary angle and speed in synchronization with power. Is obtained by connecting two drive sources that transmit Each drive source is supported by a flange. The gripping of the sample is obtained by the above-described operation by driving each drive source and rotating the drive shafts in opposite directions. Next, the rotation of the sample around the drive axis rotates the respective drive sources so that the drive axes rotate in the same direction, whereby the two rotary arms rotate in the same direction. Therefore, the sample supported by the hand on the rotating arm via the spring makes an arbitrary angular rotational movement in synchronization with the rotation of the rotating arm.

【0008】尚以上の手段において、左右一対の腕の両
方をバネで構成する必要はない。一方の腕のみ剛性体で
形成することでも同様の効果が得られることは当然であ
る。
In the above means, it is not necessary to form both the pair of left and right arms with springs. Naturally, the same effect can be obtained by forming only one arm with a rigid body.

【0009】また左右一対の腕の自由端を、任意に接
続、分離可能な結合機構を付加することで、把持装置と
しての自由度はさらに拡大する。前述した手段で試料把
持後、結合機構を用いて左右のバネの自由端を結合し拘
束する。この後回転アームを試料把持の際とは逆方向に
各々回転する。回転アームの回転に伴い、バネが大きく
弾性変形を生じ、左右のハンドに把持された試料が左右
のバネの対称となる中心線に沿って駆動軸の回転中心側
に直進移動する。試料の直進移動量は、回転アームの回
転角と回転半径で決定する。
Further, by adding a coupling mechanism capable of arbitrarily connecting and separating the free ends of the pair of left and right arms, the degree of freedom as the gripping device is further expanded. After the sample is gripped by the above-mentioned means, the free ends of the left and right springs are joined and restrained by using the joining mechanism. After that, the rotating arms are rotated in the opposite directions to those when gripping the sample. Along with the rotation of the rotary arm, the spring is largely elastically deformed, and the sample held by the left and right hands moves straight toward the center of rotation of the drive shaft along the symmetrical center line of the left and right springs. The amount of straight movement of the sample is determined by the rotation angle and the rotation radius of the rotating arm.

【0010】ここで回転アームとハンドに保持される一
対のバネは、単一のバネで構成される必要はない。また
このバネのバネ強さは、ハンドから回転アームに向けて
徐々に硬くなるように各々することが望ましい。
Here, the pair of springs held by the rotary arm and the hand need not be composed of a single spring. Further, it is desirable that the spring strength of this spring be gradually hardened from the hand toward the rotary arm.

【0011】以上の構成を採ることによって、従来の移
動装置に必要不可欠であったアームのしゅう動機構は不
要となる。従って把持過程における塵埃、ガスなどの汚
染物を発生、拡散することはなく、単純なバネの曲げ、
伸ばしの作用によってのみ試料を把持及び回転、直進搬
送が可能となる。従って高信頼性で清浄な把持装置を提
供できる。また以上の構成からなる把持装置は、アーム
が単純な板バネで構成さることから、把持装置の小型
化、軽量化が容易である。特に把持装置の小型化によっ
て、細胞などを操作するマイクロピンセットを構築する
ことも可能である
By adopting the above construction, the arm sliding mechanism, which has been indispensable for the conventional moving device, becomes unnecessary. Therefore, in the gripping process, dust, gas, and other contaminants are not generated or diffused, and simple spring bending,
The sample can be grasped, rotated, and straightly conveyed only by the stretching action. Therefore, a highly reliable and clean gripping device can be provided. Further, in the gripping device having the above configuration, the arm is composed of a simple leaf spring, so that the gripping device can be easily reduced in size and weight. In particular, by miniaturizing the gripping device, it is also possible to construct micro-tweezers that manipulate cells etc.

【0012】。[0012]

【発明の実施の形態】以下本発明の一実施例を図を用い
て説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0013】尚図中において同一機能の部分には同一の
番号を付した。
In the figure, parts having the same function are given the same numbers.

【0014】図1は本発明の一実施例を示す把持装置の
鳥瞰図である。
FIG. 1 is a bird's eye view of a gripping device showing an embodiment of the present invention.

【0015】モータ1の出力は単一のウオーム3、2つ
のウォームホイール2を介して並列に配された2つの駆
動軸4a、4bに各々伝達している。各々の駆動軸4
a、4bには、回転アーム5a、5bが結合している。
回転アーム5a、5bの一端には、帯状の板バネからな
る弾性アーム6a、6bが結合している。各々の弾性ア
ーム6a、6bのもう一方の先端は各々ハンド7に結合
している。モータ1、ウォームホイール2、ウォーム
3、駆動軸4a、4bは回転自在な転がり軸受け(図示
せず)を介してベース(図示せず)に保持されている。
本実施例では、弾性アーム6a、6bを構成する板バネ
の厚さは0.3mm、板バネの幅は5mmである。モー
タ1を駆動し、左右のハンド7が試料8を挟叉するよう
に駆動軸4a、4bを回転させ左右のハンド7に当接さ
せる。当接後尚弾性アーム6a、6bが所望の弾性変形
が生じるように駆動軸4a、4bを回転させ、試料8を
把持する。
The output of the motor 1 is transmitted via a single worm 3 and two worm wheels 2 to two drive shafts 4a and 4b arranged in parallel. Each drive shaft 4
Rotating arms 5a and 5b are coupled to a and 4b.
Elastic arms 6a and 6b made of strip-shaped leaf springs are coupled to one ends of the rotary arms 5a and 5b. The other ends of the elastic arms 6a and 6b are connected to the hand 7, respectively. The motor 1, the worm wheel 2, the worm 3, and the drive shafts 4a and 4b are held by a base (not shown) via a rotatable rolling bearing (not shown).
In this embodiment, the leaf springs forming the elastic arms 6a and 6b have a thickness of 0.3 mm and a leaf spring width of 5 mm. The motor 1 is driven, and the drive shafts 4a and 4b are rotated so that the left and right hands 7 sandwich the sample 8 and brought into contact with the left and right hands 7. After contact, the drive shafts 4a and 4b are rotated so that the elastic arms 6a and 6b still undergo desired elastic deformation, and the sample 8 is gripped.

【0016】本発明による試料把持装置は、その腕にバ
ネからなる単純な弾性アーム6a、6bを使用している
ことから、試料8を柔らかく把持出来る。また試料8を
把持するアームには、しゅう動部がないことから、試料
の操作の過程で塵埃の発生はない。従って本構成による
把持装置は、塵埃等による汚染を伴わずにまた試料8を
破損することがなく把持出来る。さらに、試料8の把持
力は、試料把持の際弾性アーム6a、6bに生じさせる
弾性変形量と弾性アーム6a、6bを構成するバネのバ
ネ特性で把持力は決定される。この時弾性アーム6a、
6bの弾性変形量は、駆動軸4a、4bの回転量に再現
良く対応することから、モータ1の回転量を制御するこ
とで調整することが可能である。また本実施例では回転
アーム5a、5b回転にモータ1を使用しているが、手
動で駆動しても良い。この場合モータ1の取付け場所に
手で回転するグリップを設けることが望ましい。
Since the sample holding device according to the present invention uses the simple elastic arms 6a and 6b made of springs for its arms, the sample 8 can be held softly. Further, since the arm that holds the sample 8 does not have the sliding portion, no dust is generated during the process of operating the sample. Therefore, the gripping device according to this configuration can grip the sample 8 without being contaminated with dust or the like and without damaging the sample 8. Further, the gripping force of the sample 8 is determined by the amount of elastic deformation generated in the elastic arms 6a and 6b when gripping the sample and the spring characteristic of the springs forming the elastic arms 6a and 6b. At this time, the elastic arm 6a,
Since the elastic deformation amount of 6b corresponds to the rotation amount of the drive shafts 4a and 4b with good reproducibility, it can be adjusted by controlling the rotation amount of the motor 1. Although the motor 1 is used to rotate the rotating arms 5a and 5b in this embodiment, it may be manually driven. In this case, it is desirable to provide a grip that rotates by hand at the place where the motor 1 is attached.

【0017】図2は本発明の別の実施例を示している。FIG. 2 shows another embodiment of the present invention.

【0018】2つの駆動軸4a、4bを同軸に配し、各
々の駆動軸4a、4bを各々専用のモータ1で駆動する
点が大きく第1の実施例と異なっている点である。各々
のモータ1の出力は、駆動軸4a、4bに歯車9を介し
て伝達しており、駆動軸4a、4bは回転自在なころが
り軸受け10を介してフランジ11に接続している。ま
た本実施例では、弾性アーム6a、6bは単一の板バネ
から構成されているのではなく、弾性アーム6a、6b
の剛性を強化する目的で複数の大きさ、厚さのことなる
板バネ12及びそれらを結合する中継板13の集合体で
構成されている。
The difference from the first embodiment is that the two drive shafts 4a and 4b are coaxially arranged and each drive shaft 4a and 4b is driven by a dedicated motor 1. The output of each motor 1 is transmitted to the drive shafts 4a and 4b via a gear 9, and the drive shafts 4a and 4b are connected to a flange 11 via a rotatable rolling bearing 10. Further, in the present embodiment, the elastic arms 6a and 6b are not composed of a single leaf spring, but rather the elastic arms 6a and 6b.
For the purpose of enhancing the rigidity of the plate spring 12, the plate spring 12 and the relay plate 13 connecting the plate springs 12 having different sizes and thicknesses are assembled.

【0019】試料8の把持は、各々のモータ1を駆動
し、駆動軸4a、4bを互いに逆方向に回転することで
前述した作用で得られる。次に試料8の駆動軸4a、4
b中心周りの回転は、各々のモータ1を回転し、駆動軸
4a、4bの回転方向を同方向にすることで、回転アー
ム5a、5bに弾性アーム6a、6bを介して支持され
た試料8は任意の角度回転移動を行なう。
The sample 8 can be grasped by the above-mentioned operation by driving the respective motors 1 and rotating the drive shafts 4a and 4b in mutually opposite directions. Next, the drive shafts 4a, 4 of the sample 8
Rotation around the center b is performed by rotating each motor 1 so that the drive shafts 4a and 4b rotate in the same direction, so that the sample 8 supported by the rotating arms 5a and 5b through the elastic arms 6a and 6b. Makes an arbitrary angular rotation movement.

【0020】以上の構成を採ることによって、単に試料
を把持する機能のほか、試料を回転搬送する回転の自由
度を有していることから、ロボットのハンドリング装置
として適した構成である。また以上の実施例では、左右
一対の腕の両方をバネからなる弾性アーム構造としてい
るが、一方の腕を剛性体で形成し、他方の腕のみ弾性ア
ーム構造とすることでも同様の効果、作用が得られるこ
とは言うまでもない。
By adopting the above configuration, in addition to the function of simply gripping the sample and the degree of freedom of rotation for rotationally transporting the sample, the configuration is suitable as a robot handling device. Further, in the above embodiment, both the pair of left and right arms have the elastic arm structure composed of springs, but the same effect and action can be obtained by forming one arm with a rigid body and only the other arm with the elastic arm structure. It goes without saying that you can get

【0021】図3は本発明を真空雰囲気下で使用する別
の実施例を示している。宇宙環境における様々な用途に
用いられるマニプレータとして使用した例を示してお
り、試料の把持及び回転のほか、チルトの動作が可能な
構成としている。もちろん必要に応じて試料の把持機能
のみを欲する場合は例えば図1に示した実施例の構成と
すればよく、把持及び回転の自由度を欲する場合は図2
に示した実施例の構成の把持装置を採り、各々の駆動軸
に真空シール手段を付加して使用すればよい。駆動軸4
a、4bは真空シール手段14、回転自在なころがり軸
受け10を介してフランジ11に接続している。本実施
例では、真空シール手段14として磁性流体シールを採
っている。このほか真空シール手段として、例えばOリ
ング等を使用しても特に問題はないことは言うまでもな
い。フランジ11は、気密性を有し伸縮、変形可能なじ
ゃばら状の管15を介してベース16に接続している。
じゃばら状の管15内部には、弾性アーム6a、6b駆
動用のモータ1等の駆動部が内包している。またフラン
ジ11には、ナット17が円周上に4個等配しており、
各々のナット17はベース16に支持されたモータ1に
接続している送りネジ18とかみ合っている。ナット1
7はフランジ11のあらゆる姿勢に追随可能なカップリ
ング19を介して各々フランジ11と接続している。本
発明ではじゃばら状の管15内部は外部と気密的に隔離
されており、じゃばら状の管15内部のしゅう動部品の
潤滑材の蒸発量が十分低いレベルに収まるような圧力と
している。試料8の把持及び駆動軸4a、4b周りの回
転移動は、前述してきた動作で行なわれる。上下方向の
移動は、4本の送りネジ18を各々のモータ1を同期し
て、同量、同方向に回転させることによって、ナット1
7を固定しているフランジ11が上下動の動作を行な
う。またフランジ11のチルト動作は、所望の方向にフ
ランジ11が傾くように、4つのモータ1を制御し駆動
することで容易に行なわれる。以上説明してきたように
本構成による把持装置は、試料把持の他、回転、上下方
向、チルトの動作が可能であり、マニプレータとして要
求される自由度を満たしている。また本構成による把持
装置は、宇宙雰囲気下等の真空雰囲気下などにおいて潤
滑手段が問題となるしゅう動部を一切持たない、単純な
板バネからなる弾性アーム6a、6bのみ露出すること
から、高信頼性、高精度なマニプレータを実現できる。
またじゃばら状の管15に放射線、赤外線等のシールド
機能を持たせることによって、内包するしゅう動部品の
信頼性をさらに向上できる。
FIG. 3 shows another embodiment in which the present invention is used in a vacuum atmosphere. An example of using it as a manipulator used for various applications in a space environment is shown, and in addition to gripping and rotating a sample, a tilt operation is possible. Needless to say, if only the sample holding function is desired, for example, the configuration of the embodiment shown in FIG. 1 may be used, and if the degree of freedom of gripping and rotation is desired, FIG.
It suffices to adopt the gripping device having the configuration of the embodiment shown in FIG. 3 and use it by adding vacuum sealing means to each drive shaft. Drive shaft 4
Reference numerals a and 4b are connected to the flange 11 via the vacuum sealing means 14 and the rotatable rolling bearing 10. In this embodiment, a magnetic fluid seal is used as the vacuum sealing means 14. Needless to say, there is no particular problem even if an O-ring or the like is used as the vacuum sealing means. The flange 11 is connected to the base 16 via a bellows tube 15 which is airtight and is capable of expanding and contracting and deforming.
Inside the bellows-shaped tube 15, a drive unit such as the motor 1 for driving the elastic arms 6a and 6b is included. In addition, four nuts 17 are evenly arranged on the circumference of the flange 11,
Each nut 17 meshes with a lead screw 18 connected to the motor 1 supported by the base 16. Nut 1
7 are connected to the respective flanges 11 via couplings 19 which can follow all the postures of the flanges 11. In the present invention, the inside of the bellows tube 15 is airtightly isolated from the outside, and the pressure is set so that the evaporation amount of the lubricant of the sliding component inside the bellows tube 15 is set to a sufficiently low level. The gripping of the sample 8 and the rotational movement around the drive shafts 4a and 4b are performed by the above-described operation. The vertical movement is achieved by rotating the four feed screws 18 in the same amount and in the same direction in synchronization with the respective motors 1.
The flange 11 fixing 7 performs a vertical movement. Further, the tilting operation of the flange 11 is easily performed by controlling and driving the four motors 1 so that the flange 11 is tilted in a desired direction. As described above, the gripping device according to the present configuration is capable of rotating, vertically moving, and tilting in addition to gripping a sample, and satisfies the degree of freedom required as a manipulator. In addition, the gripping device according to this configuration exposes only the elastic arms 6a and 6b, which are simple leaf springs, and have no sliding parts, which makes lubrication means a problem in a vacuum atmosphere such as a space atmosphere. A reliable and highly precise manipulator can be realized.
Further, by providing the bellows-shaped tube 15 with a shielding function against radiation, infrared rays, etc., the reliability of the sliding component contained therein can be further improved.

【0022】本実施例の他、図4に示す別の実施例のよ
うに、従来の多関節型マニプレータ20と併用すること
で、マニプレータとしての自由度、稼働範囲を著しく拡
大できることは言うまでもない。
Needless to say, the flexibility and operating range of the manipulator can be remarkably expanded by using it together with the conventional articulated manipulator 20 as in another embodiment shown in FIG. 4 in addition to this embodiment.

【0023】図5は、水中で使用する把持装置の一実施
例を示しており、図6は図5の把持装置を培養装置で使
用した場合の一実施例を示している。本実施例では、培
養槽21中に本発明による把持装置を常駐させており、
培養槽21中で培養される生体22の搬入及び搬出を行
なう。培養槽21内には、駆動軸4a、4b及び弾性ア
ーム6a、6b、ハンド7のみが露出する。本実施例で
は、培養液を汚染することないように、弾性アーム6
a、6b、ハンド7は弾性プラスチックで、駆動軸4
a、4b、フランジ11は硬質プラスチックで構成して
おり、駆動軸4a、4bのシール手段は複数のOリング
23を採用している。また本実施例では、ハンド7の固
定位置を異にした上下2つの板バネを一組として一方の
弾性アームを構成させている。本構成とすることで、ハ
ンド7の剛性を著しく強化することが可能である。前述
してきた動作で生体22をハンド7に把持し、水槽24
に回転移動させ搬出し取り出すことが可能である。本発
明によれば、培養槽21内の培養液を排出及び注入など
の操作を必要とせずに、生体22を取り出すことが可能
である。また本発明による移動手段は、培養槽21内の
把持装置の構成部品を培養液を汚染しないプラスチック
のみで構成することが可能であることから、培養槽内を
極めてクリーンに維持した状態で、高信頼性な生体22
の搬入、搬出が行なえる。またこの他、弾性アーム6
a、6b、ハンド7の材質を適切に選択することによっ
て、洗浄液、現像液、エッチング液、海水などの環境下
においても、その高信頼性、高清浄性な動作を損なうこ
とはない。また以上述べてきた実施例において、左右の
腕はいずれもバネを使用した弾性アーム構造としている
が、一方の腕のみ剛性体で形成することでも同様の効果
が得られることは当然である。
FIG. 5 shows an embodiment of the holding device used in water, and FIG. 6 shows an embodiment in which the holding device of FIG. 5 is used in a culture device. In this embodiment, the holding device according to the present invention is resident in the culture tank 21,
The living body 22 to be cultured in the culture tank 21 is carried in and out. In the culture tank 21, only the drive shafts 4a and 4b, the elastic arms 6a and 6b, and the hand 7 are exposed. In this embodiment, the elastic arm 6 is provided so as not to contaminate the culture solution.
a, 6b and the hand 7 are made of elastic plastic, and the drive shaft 4
The a and 4b and the flange 11 are made of hard plastic, and a plurality of O-rings 23 are adopted as the sealing means of the drive shafts 4a and 4b. Further, in this embodiment, one elastic arm is constructed by combining two upper and lower leaf springs with different fixing positions of the hand 7. With this configuration, the rigidity of the hand 7 can be significantly enhanced. The living body 22 is gripped by the hand 7 by the operation described above, and the water tank 24
It is possible to carry out the rotation and to carry out and take out. According to the present invention, the living body 22 can be taken out without requiring operations such as discharging and injecting the culture solution in the culture tank 21. In addition, since the moving means according to the present invention can configure the components of the gripping device in the culture tank 21 only with the plastic that does not contaminate the culture solution, the moving means maintains a high level in a highly clean state. Reliable living body 22
Can be carried in and out. In addition to this, the elastic arm 6
Proper selection of the materials of a, 6b and the hand 7 does not impair their highly reliable and highly clean operation even in environments such as cleaning solutions, developing solutions, etching solutions and seawater. Further, in the embodiments described above, the left and right arms have elastic arm structures using springs, but it is natural that the same effect can be obtained by forming one arm with a rigid body.

【0024】図7は本発明の別の実施例を示している。
図7は、試料の回転搬送のほか、直進搬送が可能な把持
装置の実施例を示しており、図8は図7のハンド部を拡
大した鳥瞰図を示している。
FIG. 7 shows another embodiment of the present invention.
FIG. 7 shows an embodiment of a gripping device which is capable of straight-line transport as well as rotary transport of the sample, and FIG. 8 is an enlarged bird's-eye view of the hand part of FIG.

【0025】図8に示すように、2つの分離したハンド
7をコイル25によって電磁力を発生させ、互いのハン
ド7を結合することが可能である。また本実施例では、
試料8は板バネ26を介してハンド7に当接、把持され
る構造となっているため、試料8は常に一定の把持力で
ハンド7に把持することが可能である。また図7に示す
ように、ワイヤ27をハンド7の一端と駆動軸4a、4
bの周縁に固定している。このときワイヤ27は、弾性
アーム6aが固定されたハンド7側に一端を固定し、他
端は弾性アーム6b駆動用の駆動軸4bの周縁部に巻き
回して固定する。逆に弾性アーム6b側のハンド7に固
定したワイヤ27は、弾性アーム6a駆動用の駆動軸4
aに同様に巻き回して固定する。試料8を前述してきた
動作で把持後、コイル25に通電し電磁力によって互い
のハンド7を連結する。
As shown in FIG. 8, it is possible to couple the two separate hands 7 with each other by generating an electromagnetic force by the coil 25. In this embodiment,
Since the sample 8 has a structure in which it is brought into contact with and gripped by the hand 7 via the leaf spring 26, the sample 8 can always be gripped by the hand 7 with a constant gripping force. Further, as shown in FIG. 7, the wire 27 is connected to one end of the hand 7 and the drive shafts 4a and 4a.
It is fixed to the peripheral edge of b. At this time, one end of the wire 27 is fixed to the side of the hand 7 to which the elastic arm 6a is fixed, and the other end is wound around and fixed to the peripheral edge of the drive shaft 4b for driving the elastic arm 6b. On the contrary, the wire 27 fixed to the hand 7 on the elastic arm 6b side is provided with the drive shaft 4 for driving the elastic arm 6a.
Similarly, it is wound around a and fixed. After gripping the sample 8 by the operation described above, the coil 25 is energized and the hands 7 are connected to each other by electromagnetic force.

【0026】この後モータ1を駆動し、駆動軸4a、4
b及び回転アーム5a、5bを試料把持の際とは逆方向
に各々回転する。回転アーム5a、5bの回転に伴い、
弾性アーム6a、6bが図7に示した破線で記載した形
状に弾性変形を生じ、左右のハンド7に把持された試料
8が左右の弾性アーム6a、6bが対称となる中心線に
沿って駆動軸4a、4b側に直進移動する。試料8の直
進移動量は、回転アーム5a、5bの回転角で決定する
ため、試料8の直進移動の際にハンド7と駆動軸4a、
4bに巻き回して固定したワイヤ27は弛むことなく各
々の駆動軸4a、4bに巻き取られる。この後前述して
きたように、回転アーム5a、5bを同一方向に回転さ
せることで試料8は任意の方向に回転移動される。試料
8を開放する場合は、コイル25への通電を停止し、各
々の回転アーム5a、5bを逆方向に回転駆動すること
で試料8は開放される。この時左右の弾性アーム6a、
6bはワイヤ27によってその位置を拘束されているた
め、開放状態の姿勢を保持する。従って本構成による把
持装置は、ハンド8の稼働範囲内であれば、任意の位置
で試料8の把持及び搬送、開放が可能である。もちろん
試料8の把持位置を常に弾性アーム6a、6bの伸張位
置で行なう場合は、ワイヤ27は不要となる。この場合
回転搬送軌道上に障害物がある場合でも、試料8を直進
移動することで回避しながら回転搬送が可能となる。
Thereafter, the motor 1 is driven to drive the drive shafts 4a, 4
b and the rotating arms 5a and 5b are respectively rotated in the opposite directions to those when gripping the sample. As the rotating arms 5a and 5b rotate,
The elastic arms 6a and 6b elastically deform into the shape shown by the broken line in FIG. 7, and the sample 8 held by the left and right hands 7 is driven along the center line where the left and right elastic arms 6a and 6b are symmetrical. Moves straight toward the shafts 4a, 4b. Since the amount of straight movement of the sample 8 is determined by the rotation angle of the rotating arms 5a and 5b, when the sample 8 moves straight, the hand 7 and the drive shaft 4a,
The wire 27 wound around and fixed to the drive shaft 4b is wound around the drive shafts 4a and 4b without slack. After that, as described above, the sample 8 is rotationally moved in an arbitrary direction by rotating the rotary arms 5a and 5b in the same direction. When opening the sample 8, the coil 8 is stopped from being energized, and the rotary arms 5a and 5b are rotationally driven in the opposite directions to open the sample 8. At this time, the left and right elastic arms 6a,
Since the position of 6b is restricted by the wire 27, the position of 6b is maintained in the open state. Therefore, the gripping device according to this configuration can grip, transport, and open the sample 8 at any position within the operating range of the hand 8. Of course, if the gripping position of the sample 8 is always the extended position of the elastic arms 6a and 6b, the wire 27 becomes unnecessary. In this case, even if there is an obstacle on the rotary transport path, the sample 8 can be moved linearly while avoiding the rotary transport.

【0027】以上の構成を採ることによって、単純なバ
ネの曲げ、伸ばしの作用によってのみ試料を把持及び回
転あるいは直進搬送が可能であるため、把持過程におけ
る塵埃、ガスなどの汚染物を発生、拡散することはな
い。従って高信頼性で清浄な把持装置を提供できる。ま
た以上の構成からなる把持装置を構成する弾性アーム
は、弾性変形可能な材質であれば問題なく、従ってあら
ゆる環境下に適した把持装置を構築することが可能であ
る。さらにアームが単純な板バネで構成されることか
ら、把持装置の小型化、軽量化が容易である。特に把持
装置の小型化によって、遺伝子操作の際の細胞などを操
作するマイクロピンセットを構築することも可能であ
る。
By adopting the above construction, the sample can be grasped and rotated or conveyed straight forward only by the simple bending and stretching action of the spring, so that contaminants such as dust and gas are generated and diffused during the grasping process. There is nothing to do. Therefore, a highly reliable and clean gripping device can be provided. Further, the elastic arm that constitutes the gripping device having the above-mentioned configuration does not pose any problem as long as it is an elastically deformable material, and therefore a gripping device suitable for any environment can be constructed. Furthermore, since the arm is composed of a simple leaf spring, it is easy to reduce the size and weight of the gripping device. In particular, by miniaturizing the gripping device, it is possible to construct microtweezers that manipulate cells and the like during gene manipulation.

【0028】また以上述べてきた一連の実施例におい
て、使用環境に応じてシール手段を変えてきたが、いず
れの環境下においていずれのシール手段を採用するかは
任意によるものであり、また上述してきたシール手段に
限定されるものではなくそれらの複合または別のシール
手段を採用しても、以上述べてきた同等の効果が得られ
ることは言うまでもない。
Further, in the series of embodiments described above, the sealing means has been changed according to the use environment, but which sealing means is adopted in which environment is arbitrary and has been described above. It is needless to say that the same effect as described above can be obtained even if the composite or another sealing means is not limited to the above-mentioned sealing means.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明による把持装置は、ハンド及びア
ームには転がり軸受けなどの一切のしゅう動機構を必要
としない、板バネの単純な曲げ、伸ばしによる動作で試
料の把持及び移動を制御する簡易な構造であることか
ら、大気中における食品移動から宇宙環境下で使用され
るマニプレータまで多岐分野に渡る広い産業分野で、安
価で小型な高信頼性、高精度の性能を発揮する。
The gripping device according to the present invention does not require any sliding mechanism such as a rolling bearing for the hand and arm, and controls the gripping and movement of the sample by a simple bending and stretching operation of the leaf spring. Because of its simple structure, it is inexpensive, compact, highly reliable, and highly accurate in a wide range of industrial fields ranging from food movement in the atmosphere to manipulators used in space environments.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を示す把持装置の斜視図
である。
FIG. 1 is a perspective view of a gripping device showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例を示す把持装置の斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view of a gripping device showing a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3の実施例を示す把持装置の正面図
である。
FIG. 3 is a front view of a gripping device showing a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第4の実施例を示す把持装置の正面図
である。
FIG. 4 is a front view of a gripping device showing a fourth embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第4の実施例を示す把持装置の斜視図
である。
FIG. 5 is a perspective view of a gripping device showing a fourth embodiment of the present invention.

【図6】本発明の把持装置を適用した生体培養槽の正面
図である。
FIG. 6 is a front view of a biological culture tank to which the grip device of the present invention is applied.

【図7】本発明の第6の実施例を示す把持装置の斜視図
である。
FIG. 7 is a perspective view of a gripping device showing a sixth embodiment of the present invention.

【図8】ハンド部を抽出した拡大斜視図である。FIG. 8 is an enlarged perspective view in which a hand unit is extracted.

【図9】従来の把持装置におけるハンド部を抽出した拡
大斜視図である。
FIG. 9 is an enlarged perspective view of a hand portion of a conventional gripping device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1..モータ、2...ウォームホイール、3...ウオーム、
4a、4b...駆動軸、5a、5b..回転アーム、6
a、6b....弾性アーム、7....ハンド、8...試料、
9...歯車、10...転がり軸受け、11...フランジ、
12...板バネ、13...中継板、14...真空シール手
段、15...管、16...ベース、17...ナット、1
8...送りネジ、19...カップリング、20...多関節
マニプレータ、21...培養槽、22....生体、23...
Oリング、24...水槽、25...コイル、26...板バ
ネ、27...ワイヤ、28...直進案内軸、29....直進
案内ガイド。
1 .. motor, 2 ... worm wheel, 3 ... worm,
4a, 4b ... drive shaft, 5a, 5b .. rotary arm, 6
a, 6b .... elastic arm, 7 .... hand, 8 ... sample,
9 ... Gears, 10 ... Rolling bearings, 11 ... Flange,
12 ... leaf spring, 13 ... relay plate, 14 ... vacuum sealing means, 15 ... pipe, 16 ... base, 17 ... nut, 1
8 ... Lead screw, 19 ... Coupling, 20 ... Articulated manipulator, 21 ... Culture tank, 22 .... Living body, 23 ...
O-ring, 24 ... Water tank, 25 ... Coil, 26 ... Leaf spring, 27 ... Wire, 28 ... Straight guide shaft, 29 .... Straight guide guide.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 高道 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 小田島 均 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 井上 道泰 東京都青梅市藤橋3丁目3番地の2 日立 東京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 但馬 武 東京都青梅市藤橋3丁目3番地の2 日立 東京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 小林 誠一郎 東京都青梅市藤橋3丁目3番地の2 日立 東京エレクトロニクス株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Takamichi Suzuki, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture, Ltd., Production Engineering Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Inventor, Hitoshi Odajima 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Address Incorporated company Hitachi, Ltd. Production Technology Research Laboratory (72) Inventor Michiyasu Inoue 3-3, Fujibashi, Ome-shi, Tokyo 2-3 Hitachi 2nd, Tokyo Electronics Co. (72) Inventor Takeshi Tajima 3-chome, Fujibashi, Ome-shi, Tokyo Address 2 within Hitachi Tokyo Electronics Co., Ltd. (72) Inventor Seiichiro Kobayashi 3-3 Fujitabashi, Ome City, Tokyo Address 2 within Hitachi Tokyo Electronics Co., Ltd.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくとも一方が、少なくともその一部が
弾性材料からなる左右一対で構成される搬送装置の腕を
設け、 前記各々の腕の一端を自由端の形態に成し、 前記各々の腕の他端を駆動源と接続し回転駆動可能な2
つの駆動軸に各々固定し、 前記腕の自由端にハンド部を設け、 任意の試料を挟叉するように前記各駆動軸及び前記各々
の腕を逆回転駆動して、前記ハンド部を前記試料に当接
させ、 当接の際の前記弾性材料から成る腕に生じる弾性変形量
及び前記腕のバネ特性で決まる、または前記駆動軸の回
転量に対応した把持力で前記試料を把持する試料把持方
法。
1. At least one arm is provided with a pair of left and right conveying devices, at least a part of which is made of an elastic material, and one end of each arm is in the form of a free end. The other end is connected to a drive source and can be driven to rotate.
Each of which is fixed to one drive shaft, and a hand portion is provided at a free end of the arm, and each drive shaft and each arm are driven in reverse rotation so as to sandwich an arbitrary sample, and the hand portion is moved to the sample. Sample gripping, which is determined by the amount of elastic deformation of the arm made of the elastic material and the spring characteristics of the arm at the time of contact, or which grips the sample with a gripping force corresponding to the amount of rotation of the drive shaft. Method.
【請求項2】請求項1記載の試料把持方法において、前
記駆動軸を同軸に配し、各々の駆動軸に独立にまたは同
期して駆動可能な駆動源を接続し、前記左右一対の腕の
自由端に前記試料を挟叉、把持後、前記同軸に配した駆
動軸を同期して同一方向に同量回転駆動させて前記試料
の回転搬送を行う試料把持方法。
2. The sample holding method according to claim 1, wherein the drive shafts are arranged coaxially, and a drive source capable of being driven independently or in synchronization is connected to each drive shaft, A sample gripping method in which the sample is clamped at a free end and gripped, and then the coaxially arranged drive shafts are synchronously driven to rotate in the same direction by the same amount, whereby the sample is rotationally conveyed.
【請求項3】負圧、常圧、正圧、液中、ガス中、清浄、
宇宙環境などの雰囲気条件下及びまたは、前記互いに異
なる雰囲気条件を有する少なくとも一つ以上の処理室内
で稼働し、回転駆動可能な駆動源と前記駆動源と接続す
る駆動軸と、一端が駆動軸に固定され、他端が食品、医
薬品、半導体材料、及び機械部品、電気部品、光学部品
及びまたはそれらの複合装置などの試料と直接または間
接に当接するハンドを備えた自由端の形態を採る少なく
ともその一部が弾性材料から成る腕を少なくとも一つ以
上備えた試料把持装置。
3. Negative pressure, normal pressure, positive pressure, in liquid, in gas, clean,
At least one or more processing chambers having different atmospheric conditions such as a space environment and operating in the processing chambers, the driving source capable of rotational driving, the driving shaft connected to the driving source, and one end serving as the driving shaft. At least the form of a free end having a fixed hand, the other end of which directly or indirectly abuts a sample such as foods, pharmaceuticals, semiconductor materials, and mechanical parts, electrical parts, optical parts and / or their composite devices A sample gripping device having at least one arm, a part of which is made of an elastic material.
【請求項4】請求項1、2、3記載の試料把持方法及び
装置において、前記腕が左右一対で構成された試料把持
装置であって、前記ハンドに前記試料を把持後、前記一
対の腕の自由端を結合し前記腕の自由端を互いに拘束さ
せた後、前記駆動源を独立にまたは同期して駆動し、前
記各々の腕を逆方向にまたは同一方向に回転させること
で、前記試料を前記腕の長さと回転角で決定される稼働
範囲内の任意の位置で把持及び直進及び回転搬送後、前
記各々の腕を分離し前記試料を開放する試料把持方法。
4. The sample gripping method and apparatus according to claim 1, 2, or 3, wherein the arms are a pair of left and right arms, and the pair of arms are held after gripping the sample by the hand. After connecting the free ends of the arms and restraining the free ends of the arms to each other, the drive sources are driven independently or in synchronization, and the respective arms are rotated in opposite directions or in the same direction to obtain the sample. A method of gripping a sample in which each of the arms is separated and the sample is released after being gripped at any position within an operating range determined by the length and the rotation angle of the arm, and moved straight and rotated.
【請求項5】請求項4記載の試料把持方法及び装置にお
いて、前記腕が左右一対で構成された試料把持装置であ
って、前記一対の腕の少なくとも一方の腕の自由端に、
機械力または電磁力またはそれらの複合力を用いた、前
記一対の腕を互いに任意に接続及び分離可能な結合機構
を備えた試料把持装置。
5. The sample gripping method and apparatus according to claim 4, wherein the arms are a pair of left and right arms, and at least one of the pair of arms has a free end.
A sample gripping device provided with a coupling mechanism that uses mechanical force, electromagnetic force, or a combined force thereof to connect and disconnect the pair of arms from each other.
【請求項6】請求項1、2、3記載の試料把持方法及び
装置において、前記腕の全てもしくは少なくともその一
部を構成する弾性材料が、金属、非金属、非鉄金属及び
または前記材料を前記腕の表面にコーティングした弾性
材料であることを特長とする試料把持装置。
6. The sample holding method and apparatus according to claim 1, 2, or 3, wherein the elastic material forming all or at least a part of the arm is metal, nonmetal, nonferrous metal, and / or the material. A sample gripping device characterized by an elastic material coated on the surface of the arm.
【請求項7】請求項1、2、3記載の試料把持方法及び
装置において、前記駆動軸と前記駆動軸を駆動する駆動
源を気密的にあるいは物理的に遮断し、動力を伝達する
機能を有したシール手段を介して接続されていることを
特長とする請求項1記載の試料把持装置。
7. The sample holding method and apparatus according to claim 1, 2, or 3, wherein a function of transmitting power by air-tightly or physically shutting off the drive shaft and a drive source for driving the drive shaft is provided. The sample holding device according to claim 1, wherein the sample holding device is connected via a sealing means provided therein.
【請求項8】請求項1、2、3記載の試料把持方法及び
装置において、前記駆動源を前記試料の置かれる雰囲気
に対して気密的に密閉された空間に置かれることを特長
とする試料把持装置。
8. The sample holding method and apparatus according to claim 1, 2, or 3, wherein the driving source is placed in a space hermetically sealed with respect to an atmosphere in which the sample is placed. Gripping device.
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