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JPH09145180A - Cryogenic refrigerator - Google Patents

Cryogenic refrigerator

Info

Publication number
JPH09145180A
JPH09145180A JP30617295A JP30617295A JPH09145180A JP H09145180 A JPH09145180 A JP H09145180A JP 30617295 A JP30617295 A JP 30617295A JP 30617295 A JP30617295 A JP 30617295A JP H09145180 A JPH09145180 A JP H09145180A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cold heat
refrigerant gas
regenerator
displacer
cylinder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP30617295A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eiji Haraguchi
英司 原口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daikin Industries Ltd filed Critical Daikin Industries Ltd
Priority to JP30617295A priority Critical patent/JPH09145180A/en
Publication of JPH09145180A publication Critical patent/JPH09145180A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent eddy current from being generated in a cryogenic freezer in which refrigerant gas of which temperature is decreased is passed through a cold heat accumulator stored in a displacer so as to store cold heat therein by a method wherein the cold heat accumulator is constructed such that many metallic cold heat accumulating members are stored in a container and some partition members having aeration characteristic are arranged at predetermined positions. SOLUTION: A Solvay-cycle type helium freezer is operated such that a temperature in an expansion chamber of a cylinder is decreased as an adiabatic expansion of refrigerant gas is performed in it so as to generate cold heat and the refrigerant gas of which temperature is decreased is passed through a cold heat accumulator stored in a displacer so as to accumulate cold heat. This cold heat accumulator is constructed such that a plurality of partition members 32 having aeration characteristic and non-conductive characteristic such as mesh made of Bakelite, urethane coated copper wire, mesh made of polyimide amide coated copper wire or the like are arranged in a cylindrical container 30 in a predetermined spaced-apart interval so as to be crossed with a central axis of the container 30 and to divide an inner side of the container 30 into a plurality of segments, and a limitless number of lead balls 31 with a diameter of about 0.1mm are filled and enclosed in each of the segments.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は極低温冷凍機に関
し、さらに詳細にいえば、シリンダ内でのディスプレー
サ(置換器)の往復動により冷媒ガスを膨脹させて寒冷
を発生させる極低温冷凍機であって、発生した寒冷の一
部を蓄える蓄冷器をディスプレーサに内蔵したタイプの
極低温冷凍機の改良技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cryogenic refrigerator, and more specifically, to a cryogenic refrigerator for expanding and refrigerating a refrigerant gas by a reciprocating motion of a displacer (replacer) in a cylinder to generate cold. Therefore, the present invention relates to an improved technology of a cryogenic refrigerator of a type in which a displacer has a built-in regenerator that stores a part of the generated cold.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、高圧の冷媒ガスをシリンダ内
で膨脹させて寒冷を発生させる膨脹機を有する極低温冷
凍機として、例えば特開昭58−214758号公報な
どに記載されているように、冷媒ガスとしてのヘリウム
ガスを圧縮する圧縮機と、その圧縮されたヘリウムガス
を膨脹させる膨脹機とを高圧配管および低圧配管によっ
て閉回路に接続してなり、前記膨脹機における切換バル
ブにより前記高圧配管および低圧配管を膨脹機のシリン
ダ内に交互に連通させるとともに、この切換バルブの切
換動作に応じてシリンダ内でスラックピストンを往復動
させ、このスラックピストンによりディスプレーサを往
復駆動してヘリウムガスを膨脹させることにより、寒冷
を発生させるようにしたいわゆる改良ソルベーサイクル
のヘリウム冷凍機が知られている。また、この他、スラ
ックピストンを使用せず、ディスプレーサを直接ガス圧
によって駆動するようにしたG−Mサイクル(ギフォー
ド・マクマホン・サイクル)のものもよく知られてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a cryogenic refrigerator having an expander for expanding a high-pressure refrigerant gas in a cylinder to generate cold, as disclosed in, for example, JP-A-58-214758. A compressor that compresses helium gas as a refrigerant gas and an expander that expands the compressed helium gas are connected to a closed circuit by high-pressure piping and low-pressure piping, and the high pressure by a switching valve in the expander. The piping and low-pressure piping are alternately communicated with the cylinder of the expander, and the slack piston is reciprocated in the cylinder according to the switching operation of this switching valve, and the slack piston reciprocally drives the displacer to expand the helium gas. A so-called improved solve cycle helium refrigerator that generates cold by It is known. In addition, a GM cycle (Gifford-McMahon cycle) in which a displacer is directly driven by gas pressure without using a slack piston is also well known.

【0003】このような冷凍機においては、シリンダ内
膨脹室における冷媒ガスの断熱膨脹に伴ない、その温度
が低下して寒冷が発生する。そして、通常、膨脹機のコ
ンパクト化を図る目的で、容器内に鉛の球や銅の網など
からなる多数の金属製蓄冷材を収容してなる蓄冷器をデ
ィスプレーサに内蔵させており、先ず、膨脹に伴なって
温度降下した冷媒ガスをシリンダの膨脹室から排出する
排気工程で、その冷媒ガスをディスプレーサ内の蓄冷器
を通して排出し、冷媒ガス通過の際に蓄冷器で寒冷の一
部を蓄冷する。次に、シリンダ内膨脹室に冷媒ガスを供
給する吸気工程では、膨脹室に至る冷媒ガスを前記蓄冷
器を通して供給して、冷媒ガスと蓄冷器との熱交換によ
り冷媒ガス温度を低下させ、前記吸気工程と排気工程と
の繰返しによって次第に極低温レベルの寒冷を得るよう
になされている。
In such a refrigerator, the temperature of the refrigerating machine is lowered due to the adiabatic expansion of the refrigerant gas in the in-cylinder expansion chamber, and cold is generated. And, in order to make the expander compact, usually, a regenerator that contains a large number of metal regenerator materials such as lead balls and copper nets in a container is built in the displacer. In the exhaust process of discharging the refrigerant gas whose temperature has dropped due to expansion from the expansion chamber of the cylinder, the refrigerant gas is discharged through the regenerator in the displacer, and when the refrigerant gas passes, part of the cold is stored in the regenerator. To do. Next, in the intake step of supplying the refrigerant gas to the expansion chamber in the cylinder, the refrigerant gas reaching the expansion chamber is supplied through the regenerator, and the temperature of the refrigerant gas is lowered by heat exchange between the refrigerant gas and the regenerator. By repeating the intake process and the exhaust process, it is possible to gradually obtain a cryogenic level of cold.

【0004】ところで、一般に、磁場中に配置された金
属が移動すると、該金属内に誘導起電流のループ(渦電
流)が生成し、このループの面積が大きいほど渦電流も
増大して磁場の変動が大きくなるという現象がある。し
たがって、前記ディスプレーサの往復動に伴ない、その
内部の蓄冷器における蓄冷材が地磁気などの磁場中で移
動することになり、蓄冷材中に渦電流が流れる。この渦
電流は、個々の蓄冷材中に発生するものと、蓄冷材の集
合体において発生するものとに分かれるが、このうち、
前者の渦電流は隣接する蓄冷材間で互いにうち消し合う
ので、後者の渦電流のみが問題になる。具体的には、後
者の渦電流が作る磁場はディスプレーサの半径の4乗に
比例する。
By the way, generally, when a metal placed in a magnetic field moves, a loop of induced electromotive current (eddy current) is generated in the metal, and the larger the area of this loop is, the larger the eddy current is and the magnetic field of the magnetic field increases. There is a phenomenon that fluctuations become large. Therefore, as the displacer reciprocates, the regenerator material in the regenerator therein moves in a magnetic field such as geomagnetism, and an eddy current flows in the regenerator material. This eddy current is divided into those generated in individual cool storage materials and those generated in the aggregate of cool storage materials.
Since the former eddy currents cancel each other out between the adjacent regenerator materials, only the latter eddy currents become a problem. Specifically, the magnetic field generated by the latter eddy current is proportional to the fourth power of the radius of the displacer.

【0005】このため、例えば、SQUID(超伝導量
子干渉素子;Superconducting QUa
ntum Interference Device)
を前記極低温冷凍機によって極低温レベルにまで冷却し
ようとすれば、前記蓄冷器に発生した渦電流に起因する
磁場をノイズとして検出してしまい、SQUIDを用い
た磁束計の磁場検出感度、精度が低下してしまうという
不都合がある。
For this reason, for example, SQUID (superconducting quantum interference device; Superconducting QUAa)
ntum Interference Device)
To cool to a cryogenic level by the cryogenic refrigerator, the magnetic field due to the eddy current generated in the regenerator is detected as noise, and the magnetic field detection sensitivity and accuracy of the magnetometer using the SQUID. However, there is an inconvenience that

【0006】また、特に超伝導マグネットの冷却等、強
磁場中で運転するとき渦電流が発生すると、発熱の原因
になってしまい、極低温冷凍機の冷却効率を低下させる
ことになる。このような不都合を考慮して、特開平2−
85652号公報に記載されているように、蓄冷材の表
面を伝熱性、蓄熱性および非導電性を有するコーティン
グ膜で被覆することが提案されている。
Further, when an eddy current is generated when the superconducting magnet is operated in a strong magnetic field, such as cooling, it causes heat generation and reduces the cooling efficiency of the cryogenic refrigerator. In consideration of such inconvenience, JP-A-2-
As described in Japanese Patent No. 85652, it has been proposed to coat the surface of a regenerator material with a coating film having heat transfer, heat storage and non-conductivity.

【0007】この構成を採用すれば、蓄冷材の集合体に
おいて発生する渦電流を皆無にすることができる。
If this structure is adopted, it is possible to eliminate eddy currents generated in the regenerator material aggregate.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】特開平2−85652
号公報に示す構成を採用した場合には、蓄冷器に収容さ
れる多数の蓄冷材のそれぞれの表面を伝熱性、蓄熱性お
よび非導電性を有するコーティング膜で被覆しなければ
ならず、蓄冷材に対する加工が難しく、また極低温冷凍
機を長期間にわたって使用した場合にコーティング膜が
剥離してしまう可能性があるという不都合がある。
[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-85652
In the case of adopting the configuration shown in the publication, the surface of each of the many regenerator materials housed in the regenerator must be coated with a coating film having heat conductivity, heat retentivity and non-conductivity. Is difficult to process, and the coating film may peel off when the cryogenic refrigerator is used for a long period of time.

【0009】[0009]

【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、蓄冷材自体に加工を施すことなく、蓄冷
器全体として簡単な加工を施すだけでよく、しかも渦電
流に起因する磁気を大幅に抑制することができる極低温
冷凍機を提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is sufficient to perform simple processing for the regenerator as a whole without processing the regenerator material itself, and moreover, due to eddy current. It is an object of the present invention to provide a cryogenic refrigerator capable of significantly suppressing magnetism.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】請求項1の極低温冷凍機
は、蓄冷器として、容器内に多数の金属製蓄冷材を収容
してなるとともに、所定位置に通気性および非導電性を
有する仕切り部材を設けてなるものを採用している。請
求項2の極低温冷凍機は、仕切り部材として、蓄冷器の
冷媒ガス通過方向と平行な中心軸を基準とする回転対称
位置に複数個設けられたものを採用している。
The cryogenic refrigerator according to claim 1 is a regenerator, in which a large number of metallic regenerator materials are accommodated in a container and which has air permeability and non-conductivity at predetermined positions. A partition member is provided. In the cryogenic refrigerator according to the second aspect, as the partition member, a plurality of partition members are provided at rotationally symmetric positions with respect to the central axis parallel to the refrigerant gas passage direction of the regenerator.

【0011】請求項3の極低温冷凍機は、仕切り部材と
して、蓄冷器の冷媒ガス通過方向と直交する状態で配置
されたものを採用している。
The cryogenic refrigerator of claim 3 employs, as the partition member, a partition member arranged in a state orthogonal to the refrigerant gas passage direction of the regenerator.

【0012】[0012]

【作用】請求項1の極低温冷凍機であれば、冷凍機の差
動時、ディスプレーサがシリンダ内で往復動するのに伴
ない、該ディスプレーサに内臓された蓄冷器における各
蓄冷材に渦電流が発生する。そして、蓄冷材は全体が1
つの集合体を構成しているのではなく、仕切り部材によ
って区画された空間内に位置する蓄冷材のみが1つの集
合体を構成することになるので、渦電流は各区画内にお
いて発生することになる。ここで、各区画は蓄冷器全体
の半径よりも小さい半径を有しており、しかも各渦電流
により発生する磁場は半径の4乗に比例するのであるか
ら、前記のように仕切り部材によって区画することによ
り、全体としての発生磁場を著しく低減することができ
る。もちろん、渦電流が抑制されるので、発熱も抑制で
き、冷却効率を高めることができる。
According to the cryogenic refrigerator of claim 1, when the displacer reciprocates in the cylinder during differential operation of the refrigerator, an eddy current flows in each regenerator material in the regenerator incorporated in the displacer. Occurs. And the whole cold storage material is 1
Since only the regenerator material located in the space partitioned by the partition member does not constitute one aggregate but one aggregate, an eddy current is generated in each compartment. Become. Here, each partition has a radius smaller than the radius of the entire regenerator, and since the magnetic field generated by each eddy current is proportional to the fourth power of the radius, it is partitioned by the partition member as described above. As a result, the generated magnetic field as a whole can be significantly reduced. Of course, since the eddy current is suppressed, heat generation can be suppressed and the cooling efficiency can be improved.

【0013】また、多数の蓄冷材のそれぞれに伝熱性、
蓄熱性および非導電性を有するコーティング膜を設ける
必要がなく、単に仕切り板を設けて多数の蓄冷材を複数
に区画するだけでよいから、構成を簡単化することがで
きる。そして、仕切り部材としては、蓄冷器の冷媒ガス
通過方向と平行な中心軸を基準とする回転対称位置に複
数個設けられたもの、蓄冷器の冷媒ガス通過方向と直交
する状態で配置されたもの、両者を併用したものの何れ
であっても採用することができ、請求項1と同様の作用
を達成することができる。
Further, heat transfer to each of a large number of regenerator materials,
It is not necessary to provide a coating film having heat storage properties and non-conductivity, and it is only necessary to provide a partition plate to divide a large number of regenerator materials into a plurality of parts, so that the configuration can be simplified. As the partition member, a plurality of partition members are provided at rotationally symmetric positions with reference to the central axis parallel to the refrigerant gas passage direction of the regenerator, and those arranged in a state orthogonal to the refrigerant gas passage direction of the regenerator. It is possible to employ any of the above, and a combination of both, and it is possible to achieve the same effect as in claim 1.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、添付図面によってこの発明
の実施の態様を詳細に説明する。図3はこの発明の極低
温冷凍機の一実施態様である改良ソルベーサイクルを持
つヘリウム冷凍機の要部を示す要部縦断面図である。1
は図示しない圧縮機で圧縮されたヘリウムガス(冷媒ガ
ス)を膨脹させる膨脹機であり、この膨脹機1は圧縮機
に対し高圧ガス配管(図示せず)および低圧ガス(図示
せず)によって接続されて閉回路が形成されている。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 3 is a longitudinal cross-sectional view of a main part showing a main part of a helium refrigerator having an improved solve cycle which is one embodiment of the cryogenic refrigerator of the present invention. 1
Is an expander for expanding helium gas (refrigerant gas) compressed by a compressor not shown. The expander 1 is connected to the compressor by a high pressure gas pipe (not shown) and a low pressure gas (not shown). As a result, a closed circuit is formed.

【0015】前記膨脹機1は、前記高圧ガス配管が接続
される高圧ガス入口2および低圧ガス配管が接続される
低圧ガス出口3を有するバルブハウジング4と、該バル
ブハウジング4の下部に一体的に気密接合され、上側の
大径部5aおよび下側の小径部5bからなる2段構造の
シリンダ5とを備え、前記バルブハウジング4の内部に
は前記高圧ガス入口2に連通するモータ室6と、該モー
タ室6に連通する上下方向の貫通孔7と、前記低圧ガス
出口3に補助オリフィス8を介して連通するサージボリ
ューム室9とが形成されている。
The expander 1 has a valve housing 4 having a high-pressure gas inlet 2 to which the high-pressure gas pipe is connected and a low-pressure gas outlet 3 to which the low-pressure gas pipe is connected, and a lower part of the valve housing 4 integrally formed therewith. A cylinder 5 having a two-stage structure that is airtightly joined and has an upper large diameter portion 5a and a lower small diameter portion 5b is provided. Inside the valve housing 4, a motor chamber 6 that communicates with the high pressure gas inlet 2 is provided. A vertical through hole 7 communicating with the motor chamber 6 and a surge volume chamber 9 communicating with the low pressure gas outlet 3 via an auxiliary orifice 8 are formed.

【0016】また、前記バルブハウジング4とシリンダ
5との接続部には該シリンダ5の上側閉塞端部を構成す
るバルブステム10が嵌装され、該バルブステム10は
前記バルブハウジング4の貫通孔7に気密嵌合されたバ
ルブシート部10aと、シリンダ大径部5aの内径より
も小計に形成され、該シリンダ大径部5a内上部に垂下
する垂下部10bとを備えてあり、バルブシート部10
aの上面と貫通孔7の壁面とで囲まれる空間により、前
記高圧ガス配管にモータ室6を介して連通するバルブ室
11が形成されている。
A valve stem 10 constituting an upper closed end portion of the cylinder 5 is fitted in a connecting portion between the valve housing 4 and the cylinder 5, and the valve stem 10 has a through hole 7 in the valve housing 4. The valve seat portion 10a that is airtightly fitted to the valve seat portion 10a and the hanging portion 10b that is formed in a subtotal smaller than the inner diameter of the cylinder large diameter portion 5a and hangs above the inside of the cylinder large diameter portion 5a.
A valve chamber 11 that communicates with the high-pressure gas pipe via the motor chamber 6 is formed by the space surrounded by the upper surface of a and the wall surface of the through hole 7.

【0017】また、前記バルブステム10には、上半分
が2つの分岐流路12a,12bに分岐され、かつ前記
バルブ室11をシリンダ5内に連通する第1ガス流路1
2と、一端が第1ガス流路12に後述するロータリーバ
ルブ24の低圧ポート27を介して連通するとともに、
他端が前記低圧ガス出口3バルブハウジング4に形成し
た連通路14を介して連通する第2ガス流路13とが貫
通形成され、両ガス流路12,13は、バルブステム1
0上面においてバルブ室11に対し、第2ガス流路13
にあってはバルブステム10中心部分に、第1ガス流路
12の分岐流路12a,12bにあっては前記第2ガス
流路13の開口部に対して対称な位置にそれぞれ開口さ
れている。
In addition, the valve stem 10 has a first gas passage 1 whose upper half is branched into two branch passages 12a and 12b and which communicates the valve chamber 11 with the cylinder 5.
2, and one end communicates with the first gas flow path 12 via a low pressure port 27 of a rotary valve 24 described later,
The other end is formed to penetrate through the low pressure gas outlet 3 and the second gas flow path 13 communicating with the valve housing 4 through the communication path 14 formed in the valve housing 4.
0 upper surface with respect to the valve chamber 11, the second gas flow path 13
Then, in the central portion of the valve stem 10, the branch flow passages 12a and 12b of the first gas flow passage 12 are opened at positions symmetrical to the opening of the second gas flow passage 13, respectively. .

【0018】一方、シリンダ5における大径部5a内の
上端部には、該シリンダ大径部5a内上部に駆動空間1
5を区画形成するほぼカップ形状のスラックピストン1
6がその上端内側面を前記バルブステム10の垂下部1
0bに気密状に摺接せしめた状態で往復動可能に嵌合さ
れ、前記駆動空間15は前記バルブハウジング4内のサ
ージボリューム室9にオリフィス17を介して常時連通
している。前記スラックピストン16は底壁16aを有
し、該底壁16aにはスラックピストン16内外を連通
する中心孔16bおよび連通孔16cが貫通形成されて
いる。
On the other hand, at the upper end of the large-diameter portion 5a of the cylinder 5, the drive space 1 is provided above the large-diameter portion 5a of the cylinder.
A cup-shaped slack piston 1 that divides and forms 5
Reference numeral 6 designates the inner surface of the upper end of the valve stem 10.
0b is fitted in the airtight manner in a reciprocating manner, and the drive space 15 is always in communication with the surge volume chamber 9 in the valve housing 4 through the orifice 17. The slack piston 16 has a bottom wall 16a, and a center hole 16b and a communication hole 16c that communicate the inside and outside of the slack piston 16 are formed through the bottom wall 16a.

【0019】また、前記シリンダ5内にはディスプレー
サ18が往復動可能に嵌合されている。該ディスプレー
サ18は、シリンダ5の大径部5a下半部内を摺動する
密閉円筒状の大径部18aと、該大径部18a下端に一
体形成され、シリンダ5の小径部5b内を摺動する密閉
円筒状の小径部18bとからなり、このディスプレーサ
18により、前記スラックピストン16下方のシリンダ
5内空間が上側から順に中間室19、第1段膨脹室20
および第2段膨脹室21に区画されている。そして、図
示しない連通孔により、前記ディスプレーサ18の大径
部18a内の空間は前記第1段膨脹室20に常時連通さ
れ、また小径部18b内の空間は前記第1段膨脹室20
および第2段膨脹室21に常時連通されている。
A displacer 18 is reciprocally fitted in the cylinder 5. The displacer 18 is integrally formed with a large-diameter portion 18a of a closed cylindrical shape that slides in the lower half of the large-diameter portion 5a of the cylinder 5 and the lower end of the large-diameter portion 18a, and slides in the small-diameter portion 5b of the cylinder 5. And a small-diameter portion 18b in the shape of a closed cylinder. The displacer 18 allows the inner space of the cylinder 5 below the slack piston 16 to be intermediate chamber 19 and first-stage expansion chamber 20 in order from the top.
And the second expansion chamber 21. The space inside the large-diameter portion 18a of the displacer 18 is always communicated with the first-stage expansion chamber 20 by a communication hole (not shown), and the space inside the small-diameter portion 18b is the first-stage expansion chamber 20.
And it is always connected to the second expansion chamber 21.

【0020】さらに、前記ディスプレーサ18の大径部
18a上端にはその大径部18a内の空間を前記中間室
19に連通する管状の係止片22が一体に突接され、該
係止片22は前記スラックピストン底壁16aの中心孔
16bを貫通してスラックピストン16内部に所定寸法
だけ延び、その上端部にはピストン底壁16aに係合す
るフランジ状の係止部22aが一体に形成されており、
スラックピストン16の上昇時、スラックピストン16
が所定ストロークだけ上昇した時点でその底壁16aと
係止片22の係止部22aとの係合により、ディスプレ
ーサ18をスラックピストン16によって駆動して上昇
開始させるように、つまりディスプレーサ18を所定ス
トロークの遅れをもってスラックピストン16に追従移
動させるようになされている。
Further, at the upper end of the large-diameter portion 18a of the displacer 18, a tubular locking piece 22 for communicating the space inside the large-diameter portion 18a with the intermediate chamber 19 is integrally projected, and the locking piece 22. Extends through the central hole 16b of the slack piston bottom wall 16a and extends into the slack piston 16 by a predetermined dimension, and a flange-shaped engaging portion 22a that engages with the piston bottom wall 16a is integrally formed at the upper end thereof. And
When the slack piston 16 rises, the slack piston 16
Is moved by a predetermined stroke, the displacer 18 is driven by the slack piston 16 to start rising by engaging the bottom wall 16a with the locking portion 22a of the locking piece 22, that is, the displacer 18 is moved by a predetermined stroke. With a delay of, the slack piston 16 is made to follow the movement.

【0021】また、前記バルブハウジング4のバルブ室
11内にはモータ室6に配置したバルブモータ23によ
って回転駆動される切換バルブとしてのロータリーバル
ブ24が配設され、該ロータリーバルブ24の切換動作
により、高圧ガス配管つまり高圧ガス配管に連通するバ
ルブ室11と、低圧ガス配管つまり低圧ガス配管に連通
する連通路14とをシリンダ5内の中間室19、第1段
膨脹室20および第2段膨脹室21に対し交互に連通す
るようになされている。
Further, a rotary valve 24 as a switching valve, which is rotationally driven by a valve motor 23 arranged in the motor chamber 6, is provided in the valve chamber 11 of the valve housing 4, and the rotary valve 24 performs a switching operation. The high pressure gas pipe, that is, the valve chamber 11 that communicates with the high pressure gas pipe, and the communication passage 14 that communicates with the low pressure gas pipe, that is, the low pressure gas pipe, are connected to the intermediate chamber 19, the first expansion chamber 20, and the second expansion chamber in the cylinder 5. The chambers 21 are alternately communicated with each other.

【0022】すなわち、前記ロータリーバルブ24はバ
ルブモータ23の出力軸23aに回転不能かつ摺動可能
に連結されている。また、バルブ24上面とバルブモー
タ23との間にはスプリング25が縮装されており、こ
のスプリング25のばね力およびバルブ室11に導入さ
れた高圧ヘリウムガスの圧力によりロータリーバルブ2
4下面をバルブステム10上面に対し一定の押圧力で押
し付けるようになされている。
That is, the rotary valve 24 is non-rotatably and slidably connected to the output shaft 23a of the valve motor 23. A spring 25 is compressed between the upper surface of the valve 24 and the valve motor 23, and the rotary valve 2 is compressed by the spring force of the spring 25 and the pressure of the high-pressure helium gas introduced into the valve chamber 11.
The lower surface of the valve 4 is pressed against the upper surface of the valve stem 10 with a constant pressing force.

【0023】一方、ロータリーバルブ24の下面には、
その半径方向に対向する外周縁から中心方向に所定長さ
だけ切り込んでなる1対の高圧ポート26,26と、該
高圧ポート26,26に対しロータリーバルブ24の回
転方向にほぼ90°の角度間隔をあけて配置され、ロー
タリーバルブ24下面の中心から外周縁近傍に向かって
直径方向に切り欠いてなる低圧ポート27とが形成され
ている。
On the other hand, on the lower surface of the rotary valve 24,
A pair of high pressure ports 26, 26 formed by cutting a predetermined length in the center direction from the outer peripheral edges facing each other in the radial direction, and an angular interval of about 90 ° with respect to the high pressure ports 26, 26 in the rotation direction of the rotary valve 24. A low pressure port 27 is formed by diametrically cutting from the center of the lower surface of the rotary valve 24 toward the vicinity of the outer peripheral edge.

【0024】そして、バルブモータ23の駆動によりロ
ータリーバルブ24がその下面をバルブステム10上面
に圧接させながら回転して切換動作する際、このロータ
リーバルブ24の切換動作に応じてスラックピストン1
6およびディスプレーサ18をシリンダ5内で往復動さ
せ、ロータリーバルブ24下面の高圧ポート26,26
の内端がそれぞれバルブステム10上面に開口する第1
ガス流路12に合致したときには、バルブ室11を高圧
ポート26,26および第1ガス流路12を介してシリ
ンダ5内の中間室19、第1段膨脹室20および第2段
膨脹室21に連通させて、これら各室19,0,21に
高圧ヘリウムガスを導入充填することにより、スラック
ピストン16および該スラックピストン16によって駆
動されるディスプレーサ18を上昇させる。一方、バル
ブステム10上面に開口する第2ガス流路13に中央に
て常時連通する低圧ポート27の外端が前記第1ガス流
路12に合致したときには、前記シリンダ5内の各室1
9,20,21を第1ガス流路12、低圧ポート27、
第2ガス流路13および連通路14を介して低圧ガス出
口3に連通させて、各室19,20,21に充填されて
いるヘリウムガスを低圧ガス配管に排出することによ
り、スラックピストン16およびディスプレーサ18を
下降させ、このディスプレーサ18の下降移動に伴なう
第1段膨脹室20、第2段膨脹室21内へのヘリウムガ
スの膨脹によって寒冷を発生するように構成されてい
る。
When the rotary valve 24 is rotated by the drive of the valve motor 23 while pressing its lower surface against the upper surface of the valve stem 10 to perform a switching operation, the slack piston 1 responds to the switching operation of the rotary valve 24.
6 and the displacer 18 are reciprocated in the cylinder 5, and the high pressure ports 26, 26 on the lower surface of the rotary valve 24 are
The inner ends of the valve stems open on the upper surface of the valve stem 10, respectively.
When it matches the gas passage 12, the valve chamber 11 is transferred to the intermediate chamber 19, the first stage expansion chamber 20 and the second stage expansion chamber 21 in the cylinder 5 through the high pressure ports 26, 26 and the first gas passage 12. High pressure helium gas is introduced and filled into each of the chambers 19, 0 and 21 so that the slack piston 16 and the displacer 18 driven by the slack piston 16 are raised. On the other hand, when the outer end of the low-pressure port 27, which is always in the center and communicates with the second gas flow passage 13 opening on the upper surface of the valve stem 10, matches the first gas flow passage 12, each chamber 1 in the cylinder 5 is
9, 20, 21 are the first gas flow path 12, the low pressure port 27,
By communicating the low pressure gas outlet 3 through the second gas flow path 13 and the communication passage 14 and discharging the helium gas filled in the chambers 19, 20, 21 to the low pressure gas pipe, the slack piston 16 and The displacer 18 is lowered, and cold is generated by the expansion of the helium gas into the first-stage expansion chamber 20 and the second-stage expansion chamber 21 accompanying the downward movement of the displacer 18.

【0025】さらに、前記ディスプレーサ18の大径部
18a内の空間には第1段蓄冷器18が、また小径部1
8b内の空間には第2段蓄冷器機19がそれぞれ嵌装さ
れており、これら蓄冷器28,29は、円筒状容器30
内に蓄冷材として所定の直径を有する多数の鉛球31,
31,・・・(鉛のショット)を充填封入してなり、こ
れら鉛球31,31,・・・間の間隙がガス通路とされ
ており、このガス通路を流れるヘリウムガスの冷熱を各
鉛球31に蓄えるようにしている。すなわち、ディスプ
レーサ18がシリンダ5内を上昇する吸気工程にあると
きには、前の排気工程で極低温レベルに温度降下した鉛
球31,31,・・・を中間室19から第1段膨脹室2
0または第2段膨脹室21に向かう常温のヘリウムガス
と接触させて、両者の熱交換によりヘリウムガスを極低
温レベル近くまで冷却する。一方、ディスプレーサ18
が下降する排気工程にあるときには、各膨脹室20,2
1での膨脹により極低温レベルに温度降下したヘリウム
ガスをシリンダ5外に排出する途中で鉛球31,31,
・・・と接触させて、両者の熱交換により鉛球31,3
1,・・・極低温レベル近くまで再度冷却するように構
成されている。
Further, in the space inside the large diameter portion 18a of the displacer 18, the first stage regenerator 18 and the small diameter portion 1 are provided.
The second-stage regenerator 19 is fitted in the space inside 8b, and these regenerators 28 and 29 are cylindrical containers 30.
A large number of lead balls 31 each having a predetermined diameter as a regenerator material,
.. (lead shots) are filled and sealed, and the gaps between the lead balls 31, 31, ... Are gas passages, and the cold heat of the helium gas flowing through the gas passages is used for each lead ball 31. I am trying to store it in. That is, when the displacer 18 is in the intake stroke in which the displacer 18 rises in the cylinder 5, the lead balls 31, 31, ... Which have decreased in temperature to the cryogenic level in the previous exhaust stroke are transferred from the intermediate chamber 19 to the first-stage expansion chamber 2.
The helium gas is brought into contact with 0 or the helium gas at room temperature toward the second expansion chamber 21, and the helium gas is cooled to near the cryogenic level by heat exchange between the two. On the other hand, the displacer 18
Is in the exhaust process of descending, the expansion chambers 20 and 2
In the middle of discharging the helium gas whose temperature has dropped to the cryogenic level due to the expansion in No. 1 to the outside of the cylinder 5, the lead balls 31, 31,
·······
1, ... Is configured to recool to near the cryogenic level.

【0026】そして、この発明の特徴として、図1に示
すように、前記円筒状容器30内に、ベークライト、ウ
レタンコーティング銅線製のメッシュ、ポリイミドアミ
ドコーティング銅線製のメッシュ、テトロン製のメッシ
ュなど、通気性および非導電性を有する複数枚の仕切り
部材32を円筒状容器30の中心軸を基準として回転対
称位置に配置するとともに、円筒状容器30の中心軸と
直交するように所定間隔ごとに配置して円筒状容器30
内を複数に区画し、各区画に直径0.1mm程度の鉛球
31,31,・・・を充填封入している。ただし、回転
対称位置に配置された仕切り部材32または所定間隔ご
とに既位置された仕切り部材の何れかを省略することも
可能である。
As a feature of the present invention, as shown in FIG. 1, bakelite, a urethane-coated copper wire mesh, a polyimideamide-coated copper wire mesh, a Tetoron mesh, etc. are provided in the cylindrical container 30. , A plurality of partition members 32 having air permeability and non-conductivity are arranged at rotationally symmetric positions with respect to the central axis of the cylindrical container 30, and at predetermined intervals so as to be orthogonal to the central axis of the cylindrical container 30. Place the cylindrical container 30
The interior is divided into a plurality of compartments, and each compartment is filled with lead balls 31, 31, ... However, it is also possible to omit either the partition member 32 arranged at the rotationally symmetrical position or the partition member already positioned at predetermined intervals.

【0027】次いで、この実施態様の作用を説明する。
ただし、冷凍機の作用は例えば特開平2−85652号
公報などに示されているように従来公知であるから詳細
な説明を省略し、蓄冷器において発生する渦電流、磁場
のみについて以下に説明する。前記のようにディスプレ
ーサ18がシリンダ5内で往復動するのに伴ない、該デ
ィスプレーサ18に内蔵された蓄冷器28,29におけ
る鉛球31,31,・・・(蓄冷材)が地磁気などの磁
場中で移動するので、該鉛球31,31,・・・に渦電
流が発生する。そして、各鉛球31に発生した渦電流は
隣の鉛球31に流れる。しかし、この実施態様では、円
筒状容器30の中心軸を基準とする回転対称位置に配置
された仕切り部材32および円筒状容器30の中心軸と
直交するように所定間隔ごとに配置された仕切り部材3
2が通気性および非導電性を有しているのであるから、
各鉛球31に発生した渦電流が隣の鉛球31に流れる現
象をこれらの仕切り部材32により遮断することがで
き、各区画の最も外周縁を流れる渦電流を小さくするこ
とができます。すなわち、各区画の半径は円筒状容器3
0の半径よりも小さいので、半径の減少に比例して渦電
流も減少する。そして、渦電流により発生される磁場は
半径の4乗に比例するのであるから、ディスプレーサ1
8の往復動により発生する磁場は著しく減少する。具体
的には、仕切り部材32により円筒状容器30を4つに
区画した場合には、各区画の半径がほぼ1/4になるの
で、各区画における渦電流により発生する磁場が1/1
6になり、4つの区画の全ての渦電流により発生する磁
場は1/16×4=1/4になる。また、渦電流による
発熱は渦電流の3乗に比例するのであるから、各区画に
おける渦電流により発生する熱量が1/8になり、4つ
の区画の全ての渦電流により発生する熱量は1/8×4
=1/2になる。
Next, the operation of this embodiment will be described.
However, since the operation of the refrigerator is conventionally known as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-85652, detailed description thereof will be omitted, and only the eddy current and magnetic field generated in the regenerator will be described below. . As the displacer 18 reciprocates in the cylinder 5 as described above, the lead balls 31, 31, ... (Cold storage material) in the regenerators 28, 29 built in the displacer 18 are in a magnetic field such as geomagnetism. , So that an eddy current is generated in the lead balls 31, 31, .... Then, the eddy current generated in each lead ball 31 flows into the adjacent lead ball 31. However, in this embodiment, the partition member 32 arranged at a rotationally symmetrical position with respect to the central axis of the cylindrical container 30 and the partition member arranged at predetermined intervals so as to be orthogonal to the central axis of the cylindrical container 30. Three
Since 2 has breathability and non-conductivity,
The phenomenon that the eddy current generated in each lead ball 31 flows to the adjacent lead ball 31 can be blocked by these partition members 32, and the eddy current flowing in the outermost peripheral edge of each section can be reduced. That is, the radius of each section is the cylindrical container 3
Since the radius is smaller than 0, the eddy current also decreases in proportion to the decrease in radius. Since the magnetic field generated by the eddy current is proportional to the fourth power of the radius, the displacer 1
The magnetic field generated by the reciprocating motion of 8 is significantly reduced. Specifically, when the cylindrical container 30 is divided into four sections by the partition member 32, the radius of each section becomes approximately 1/4, so that the magnetic field generated by the eddy current in each section is 1/1.
6 and the magnetic field generated by all the eddy currents in the four sections is 1/16 × 4 = 1/4. Since the heat generated by the eddy current is proportional to the cube of the eddy current, the amount of heat generated by the eddy current in each section is 1/8, and the amount of heat generated by all the eddy currents in the four sections is 1 / 8x4
= 1/2.

【0028】さらに詳細に説明する。半径r、厚さdの
導体の円板に垂直にB=B0sinωtの磁場をかけ
る。このとき円板に流れる渦電流の分布を求め、発生す
るジュール熱を求める。ただし、円板の電気伝導度をσ
とする。円板の内部にできる電場は点対称になることが
明らかである。したがって、点P(r)上の電場E
(r)を求める。
A more detailed description will be given. A magnetic field of B = B0sin ωt is applied perpendicularly to a conductor disk having a radius r and a thickness d. At this time, the distribution of the eddy current flowing in the disk is obtained and the Joule heat generated is obtained. However, the electrical conductivity of the disk is σ
And It is clear that the electric field created inside the disk has point symmetry. Therefore, the electric field E on the point P (r)
Find (r).

【0029】半径r´の円環回路の起電力εはε=2π
r´Eであり、この円環回路内の磁束ΦはΦ=πr´2
(B+B´)である。ただし、B´は渦電流の作る磁場
である。したがって、2πr´E=πr´2(dB/d
t)=πr´2ωB0cosωtとなる。この結果、電
場Eは、 E=(1/2πr´)πr´2ωB0cosωt =(r´/2)ωB0cosωtとなる。
The electromotive force ε of the circular circuit having the radius r ′ is ε = 2π
r′E, and the magnetic flux Φ in this ring circuit is Φ = πr ′ 2
(B + B '). However, B'is a magnetic field created by the eddy current. Therefore, 2πr′E = πr ′ 2 (dB / d
t) = πr ′ 2 ωB0cosωt. As a result, the electric field E becomes E = (1 / 2πr ′) πr ′ 2 ωB0cosωt = (r ′ / 2) ωB0cosωt.

【0030】また、電流密度jは、j=σE=(r´/
2)ωB0cosωtとなる。ここで、電流密度jは半
径rに比例するので、発生するジュール熱Wは、数1と
なり、半径の3乗に比例することが分かる。
The current density j is j = σE = (r '/
2) ωB0cosωt. Here, since the current density j is proportional to the radius r, the generated Joule heat W is given by Equation 1, which is proportional to the cube of the radius.

【0031】[0031]

【数1】 (Equation 1)

【0032】半径がr´の円環回路を流れる渦電流のつ
くる磁気モーメントをmとすれば、m=μ0πr2iで
あり、円環回路に流れる電流iは、i=dr・dz・j
=dr・dz・(σ/2)・ω・r´・B0である。し
たがって、m=μ0π・(σ/2)・ω・B0・r2
r´・dr・dz=(1/2)μ0πσωB0r3dr
dzとなり、磁気モーメントのトータルは数2となる。
Letting m be the magnetic moment created by the eddy current flowing in the ring circuit of radius r ', m = μ0πr 2 i, and the current i flowing in the ring circuit is i = dr.dz.j.
= Dr · dz · (σ / 2) · ω · r ′ · B0. Therefore, m = μ0π · (σ / 2) · ω · B0 · r 2 ·
r ′ · dr · dz = (1/2) μ0πσωB0r 3 dr
dz, and the total magnetic moment is given by the equation 2.

【0033】[0033]

【数2】 (Equation 2)

【0034】したがって、円板に渦電流がつくる磁気モ
ーメントは数3となり、半径の4乗と厚みに比例するこ
とが分かる。
Therefore, it is understood that the magnetic moment produced by the eddy current on the disk is given by Equation 3, which is proportional to the fourth power of the radius and the thickness.

【0035】[0035]

【数3】 (Equation 3)

【0036】また、仕切り部材32として伝熱性および
蓄冷性をも有するものを採用すれば、蓄冷器28,29
の蓄冷能力を確保することができる。ここで、前記した
仕切り部材32は伝熱性および蓄冷性をも有しているの
で、蓄冷器28,29の蓄冷能力を確保できる。さら
に、直径が0.1mm程度の鉛球をコーティング膜で覆
うことは著しく困難であるが、この実施態様では、単に
円筒状容器30に仕切り部材32を配置するだけでよい
から、蓄冷器28,29の製造を著しく簡単化すること
ができる。
If a partition member 32 having both heat transfer and cold storage properties is adopted, the regenerators 28, 29 will be used.
The cold storage capacity of can be secured. Here, since the partition member 32 described above also has a heat transfer property and a cold storage property, the cold storage capabilities of the regenerators 28 and 29 can be secured. Further, it is extremely difficult to cover the lead spheres having a diameter of about 0.1 mm with the coating film, but in this embodiment, since the partition member 32 is simply arranged in the cylindrical container 30, the regenerators 28, 29 are provided. Can be significantly simplified.

【0037】前記実施態様では、円筒状容器30内に多
数の鉛球31,31,・・・を充填封入してなる蓄冷器
28,29を採用してが、鉛球以外の蓄冷材を内蔵した
蓄冷器を採用することもできる。例えば、図2に示すよ
うに、多数の銅網33,33,・・・(スクリーンメッ
シュ)を多段に積層してなる蓄冷器を採用する場合に
は、円筒状容器30内を前記実施態様に示すように区画
すべく複数の仕切り部材32a,32b(ここで、仕切
り部材32aは蓄冷器28,29の冷媒ガス通過方向と
平行な中心軸を基準とする回転対称位置に配置されたも
のであり、仕切り部材32bは銅網33と平行に配置さ
れたものであり、仕切り部材32aは冷媒ガスの通過を
許容する必要がないが、仕切り部材32bは銅網33と
同様に冷媒ガスの通過を許容するものである)を配置
し、仕切り部材32により区画された各空間に多数の銅
網33,33,・・・を多段に積層すればよく、渦電
流、渦電流に起因する発生磁場、渦電流に起因する発熱
を抑制することができる。
In the above-described embodiment, the regenerators 28 and 29 in which a large number of lead balls 31, 31, ... Are filled and sealed in the cylindrical container 30 are adopted, but the regenerator containing a regenerator material other than the lead balls is used. You can also use a container. For example, as shown in FIG. 2, in the case of adopting a regenerator in which a large number of copper nets 33, 33, ... As shown, a plurality of partition members 32a, 32b (here, the partition member 32a is arranged at a rotationally symmetrical position based on the central axis parallel to the refrigerant gas passage direction of the regenerators 28, 29). The partition member 32b is arranged in parallel with the copper net 33, and the partition member 32a does not need to allow the passage of the refrigerant gas, but the partition member 32b allows the passage of the refrigerant gas like the copper net 33. , And a large number of copper nets 33, 33, ... Are stacked in multiple layers in each space partitioned by the partition member 32. The eddy current, the magnetic field generated by the eddy current, and the eddy current Heat generated by the electric current It is possible to win.

【0038】また、この発明は、改良ソルベーサイクル
をもちヘリウム冷凍機に限らず、ヘリウムガス以外の冷
媒ガスを使用するもの、改良ソルベーサイクル以外のサ
イクルをもつものに対しても適用できるのはもちろんで
ある。
The present invention can be applied not only to the helium refrigerator having the improved solve cycle but also to those using a refrigerant gas other than helium gas and those having a cycle other than the improved solve cycle. Is.

【0039】[0039]

【発明の効果】請求項1の極低温冷凍機は、蓄冷器を仕
切り部材によって区画することにより、全体としての発
生磁場を著しく低減することができ、しかも、渦電流が
抑制されるので、発熱も抑制でき、冷却効率を高めるこ
とができ、さらに蓄冷器の製造を簡単化することができ
るという特有の効果を奏する。
According to the cryogenic refrigerator of claim 1, since the regenerator is partitioned by the partition member, the generated magnetic field as a whole can be remarkably reduced, and the eddy current is suppressed. It also has a unique effect that the cooling efficiency can be suppressed, the cooling efficiency can be improved, and the manufacturing of the regenerator can be simplified.

【0040】請求項2の発明は、請求項1と同様の効果
を奏する。請求項3の発明は、請求項1と同様の効果を
奏する。
The invention of claim 2 has the same effect as that of claim 1. The invention of claim 3 has the same effect as that of claim 1.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】蓄冷器の構成の一例を概略的に示す斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing an example of the configuration of a regenerator.

【図2】蓄冷器の構成の他の例を概略的に示す斜視図で
ある。
FIG. 2 is a perspective view schematically showing another example of the configuration of the regenerator.

【図3】この発明の極低温冷凍機の一実施態様である改
良ソルベーサイクルを持つヘリウム冷凍機の要部を示す
要部縦断面図である。
FIG. 3 is a longitudinal cross-sectional view of a main part showing a main part of a helium refrigerator having an improved solve cycle, which is one embodiment of the cryogenic refrigerator of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

5 シリンダ 18 ディスプレーサ 20 第1段膨脹室 21 第2段膨脹室 28 第1段蓄冷器 29 第2段蓄冷器 30 円筒状容器 31 鉛球 32,32a.32b 仕切り部材 5 cylinder 18 displacer 20 first stage expansion chamber 21 second stage expansion chamber 28 first stage regenerator 29 second stage regenerator 30 cylindrical container 31 lead ball 32, 32a. 32b partition member

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 シリンダ(5)と、該シリンダ(5)内
に往復動可能に嵌装され、かつシリンダ(5)内に膨脹
室(20)(21)を区画形成するディスプレーサ(1
8)とを備え、該ディスプレーサ(18)の往復動によ
り、圧縮機から供給された冷媒ガスを前記膨脹室(2
0)(21)内で膨脹させて温度降下させるとともに、
この温度降下した冷媒ガスをディスプレーサ(18)に
内蔵した蓄冷器(28)(29)を通過させることによ
って蓄冷するようにした極低温冷凍機において、 前記蓄冷器(28)(29)は、容器(30)内に多数
の金属製蓄冷材(31)を収容してなるとともに、所定
位置に通気性および非導電性を有する仕切り部材(3
2)(32a)(32b)を設けてなることを特徴とす
る極低温冷凍機。
1. A displacer (1) which is reciprocally fitted in a cylinder (5) and which defines an expansion chamber (20) (21) in the cylinder (5).
8), and the refrigerant gas supplied from the compressor is reciprocated by the reciprocating movement of the displacer (18).
0) Expand the inside of (21) to lower the temperature,
In the cryogenic refrigerator in which the refrigerant gas whose temperature has dropped is stored by passing through the regenerator (28) (29) built in the displacer (18), the regenerator (28) (29) is a container A partition member (3) having a large number of metal cold storage materials (31) housed in (30) and having air permeability and non-conductivity at a predetermined position.
2) A cryogenic refrigerator comprising (32a) and (32b).
【請求項2】 前記仕切り部材(32)(32a)は、
蓄冷器(28)(29)の冷媒ガス通過方向と平行な状
態で配置されてある請求項1に記載の極低温冷凍機。
2. The partition members (32) (32a) are
The cryogenic refrigerator according to claim 1, wherein the cryogenic refrigerator is arranged in a state parallel to the refrigerant gas passage direction of the regenerator (28) (29).
【請求項3】 前記仕切り部材(32)(32a)は、
蓄冷器(28)(29)の冷媒ガス通過方向と平行な中
心軸を基準とする回転対称位置に複数個設けられてある
請求項1に記載の極低温冷凍機。
3. The partition members (32) (32a) are
The cryogenic refrigerator according to claim 1, wherein a plurality of the cryogenic refrigerators are provided at rotationally symmetric positions with respect to a central axis parallel to the refrigerant gas passage direction of the regenerators (28) (29).
【請求項4】 前記仕切り部材(32b)は、蓄冷器
(28)(29)の冷媒ガス通過方向と直交する状態で
配置されてある請求項1から請求項3の何れかに記載の
極低温冷凍機。
4. The cryogenic temperature according to any one of claims 1 to 3, wherein the partition member (32b) is arranged in a state orthogonal to a refrigerant gas passage direction of the regenerator (28) (29). refrigerator.
JP30617295A 1995-11-24 1995-11-24 Cryogenic refrigerator Pending JPH09145180A (en)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013217517A (en) * 2012-04-04 2013-10-24 Sumitomo Heavy Ind Ltd Regenerative refrigerator and regenerator
CN105371538A (en) * 2015-03-31 2016-03-02 中国科学院上海技术物理研究所 Gas distribution type regenerator device of pulse tube refrigerator
JP2016050714A (en) * 2014-08-29 2016-04-11 株式会社東芝 Vacuum heat insulation module case for refrigerator and refrigerator
US9423160B2 (en) 2012-04-04 2016-08-23 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Regenerative refrigerator
CN108827051A (en) * 2018-07-09 2018-11-16 西北工业大学 A kind of aluminium oxide heat storage for superhigh temperature storage heater

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013217517A (en) * 2012-04-04 2013-10-24 Sumitomo Heavy Ind Ltd Regenerative refrigerator and regenerator
US9423160B2 (en) 2012-04-04 2016-08-23 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Regenerative refrigerator
JP2016050714A (en) * 2014-08-29 2016-04-11 株式会社東芝 Vacuum heat insulation module case for refrigerator and refrigerator
CN105371538A (en) * 2015-03-31 2016-03-02 中国科学院上海技术物理研究所 Gas distribution type regenerator device of pulse tube refrigerator
CN108827051A (en) * 2018-07-09 2018-11-16 西北工业大学 A kind of aluminium oxide heat storage for superhigh temperature storage heater

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