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JPH0880072A - 振動波モータ - Google Patents

振動波モータ

Info

Publication number
JPH0880072A
JPH0880072A JP6212828A JP21282894A JPH0880072A JP H0880072 A JPH0880072 A JP H0880072A JP 6212828 A JP6212828 A JP 6212828A JP 21282894 A JP21282894 A JP 21282894A JP H0880072 A JPH0880072 A JP H0880072A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
shaft
receiver
wave motor
gear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6212828A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Endo
孝 遠藤
Yoshio Sakai
酒井義夫
Akira Moriya
章 森谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Canon Precision Inc
Original Assignee
Canon Inc
Canon Precision Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc, Canon Precision Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP6212828A priority Critical patent/JPH0880072A/ja
Publication of JPH0880072A publication Critical patent/JPH0880072A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来の振動波モータでは、外筒の外側に突出
した軸に伝導機構としてのギア等を取付けるようになっ
ていたので該モータを含めた動力伝達系の総体積が大型
にならざるを得なかった。本発明は該モータを含めた動
力伝達系が従来よりも小さくなり、且つ、複数の被駆動
対象に動力供給を行うことができる、改善された振動波
モータを提供する。 【構成】 図1において、1はステータユニットで、振
動子2、圧電素子3、フレキシブルプリント基板4、摩
擦材5、から構成されている。8はロータユニットで、
軸9、ロータ受け10、防振材12、ロータ13、ばね
14、ばね受け15、で構成されている。本発明の振動
波モータでは、ロータ受け10に歯車11が形成されて
ロータ受け10自身が動力伝達機構の一部になっている
ので、該モータを含む動力伝達系の総体積を従来よりも
小型にできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は振動波モータに関する。
【0002】
【従来の技術】図5及び図6を参照して従来の振動波モ
ータの構造と、その使用例とを説明する。
【0003】図5は従来の振動波モータの一部破断分解
斜視図である。同図において、46は該モータのステー
タユニットであり、該ステータユニット46は、櫛歯形
状を有する振動子47、所定の角度に分割したパターン
に分極を施した薄いドーナッツ状の圧電素子48、該圧
電素子48に給電するためのフレキシブルプリント基板
(以下、フレキと略す)49、ロータ57と振動子47
との摩耗を低減するための摩擦材50、とから構成され
ている。
【0004】該モータのケーシングである後蓋51には
軸受52を圧入固定し、更に該ステータユニット46も
加締めにより機械的に固定する。
【0005】ロータユニット53は軸54、ロータ受け
55、防振材56、ロータ57、ばね58、ばね受け5
9、とから構成されている。
【0006】ステータユニット46の振動を受けるロー
タ57と、軸54に固定したロータ受け55との間には
防振材56が配置されている。
【0007】通常、ロータユニットは、軸にロータを固
定しただけの構成であるが、図5に示す振動波モータは
以下に示す効果を持つ。
【0008】(1)ロータ57とロータ受け55との間
の防振材56で振動を遮断するため、ロータ57で受け
た振動がロータ受け55及び軸54に伝わらない。この
為、軸54に取付けられる歯車等の伝導機構に振動を与
えない。
【0009】(2)ロータ57とステータユニット46
との片当たりや加圧分布むらを緩和する効果がある。こ
の為、異常摩耗による寿命の低下や鳴きの低減、回転特
性の安定性が図られる。また、片当たりや加圧分布むら
を回避するために要する部品の寸法精度や組立精度も緩
和できる為、部品コストや組立コストの削減や、量産性
の向上を図ることができる。
【0010】該モータのもう一方のケーシングである外
筒60にはボールベアリング62が取付けられている。
軸受52とボールベアリング62により軸54でロータ
ユニット53を保持しつつステータユニット46を固定
した後蓋51と外筒60とを組み付けることにより該モ
ータが完成する。その際、後蓋51のエッジや外筒60
の切り欠き61でフレキ49を傷つけることがないよう
にゴムやウレタン等による保護具63を取付ける。
【0011】図6は従来の振動波モータを装置に取付け
る状態を示した斜視図である。
【0012】ボールベアリング62を保持する為に外筒
60に設けた凸起部64は装置の取付板66の穴67へ
の芯出しのためのガイドとして利用している。軸54を
取付板66の穴67に通し、穴67に対してわずかなす
き間をもって嵌合する凸起部64で芯出しした状態でね
じ69を取付板66のすきま穴68に挿通し、モータの
外筒60のねじ穴65で締めつけることにより取付板6
6に振動波モータを固定する。続いて軸54にプーリ7
0や歯車やカム等の各種伝導機構の回転物体を装着す
る。
【0013】以上のようにして振動波モータが取付けら
れた装置においては、該振動波モータの軸54を回転さ
せたり、止めたりすることにより該伝導機構の働きで該
装置が目的の動作を行う。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図6に
示すように、従来の振動波モータに各種伝導機構の回転
物体を装着して使用するに当たり、以下に示すような問
題があった。
【0015】(1)小さなスペースで大きなトルクを発
生するのが特徴である振動波モータを用いながらモータ
の体積にくらべて大きな回転物体を軸に装着して用いて
いるので該モータの特質を生かせない使用方法となって
いた。
【0016】(2)一本の出力軸から一種類の回転出力
しか得られないため、同期して何種類もの異なった回転
出力を得ようとする場合には一本の出力軸に何段もの歯
車やプーリを取付けることが必要となり、その結果、伝
導機構が非常に大きくなるという問題があった。
【0017】
【発明の目的】本発明の目的は、前記の問題点を解決
し、新規な構成の振動波モータを提供することである。
【0018】すなわち、請求項1に記載した発明は、所
定の角度に分割したパターンに分極を施した円板状の圧
電素子を取付けた放射状の櫛歯形状を有する円板状のス
テータに該圧電素子に位相の異なる2相以上の交流電圧
を印加することにより該ステータを周回する進行波を起
振し、該ステータの櫛歯部分にロータを圧接することに
より該ロータが該進行波の波頭の周方向振幅を摩擦で受
け、回転するロータにより出力を得る振動波モータにお
いて、該ロータの回転中心は軸受により支持された軸で
あり、該軸に固定したロータ受けに歯車、プーリ、カム
等の伝導手段を形成し、該ロータと該ロータ受けとの間
に防振材を配置したことを特徴とする振動波モータを提
供することを目的とする。
【0019】請求項2の発明は、請求項1の構成を有す
る振動波モータにおいて該軸に歯車、プーリ、カム等の
伝導手段やエンコーダ円板等の回転検出手段を装着した
ことを特徴とする振動波モータを提供することを目的と
する。
【0020】請求項3の発明は、請求項1の構成を有す
る振動波モータにおいて、該ロータ受けに形成した伝導
手段により回転検出を行うことを特徴とする振動波モー
タを提供することを目的とする。
【0021】請求項4の発明は、請求項1の構成を有す
る振動波モータにおいて、該ロータ受けに回転検出手段
を設置したことを特徴とする振動波モータを提供するこ
とを目的とする。
【0022】
【課題を解決するための手段及び作用】従来の振動波モ
ータは軸に歯車等の伝導機構の回転物体を装着すること
を前提として構成されていたため、小型で大トルクを発
生する振動波モータの特性を生かすことができなかっ
た。
【0023】それ故、本発明ではロータ受けに歯車等の
伝導機構の回転物体を形成することにより小型化を可能
とした。また、本発明では、ロータ受けと軸との二つの
部分から出力を取り出すようにしたので数種の被駆動物
体を機構的に無理なく駆動可能とした。
【0024】前記課題を解決するために請求項1の発明
は、所定の角度に分割したパターンに分極を施した円板
状の圧電素子を取付けた放射状の櫛歯形状を有する円板
状のステータに該圧電素子に位相の異なる2相以上の交
流電圧を印加することにより該ステータを周回する進行
波を起振し、該ステータの櫛歯部分にロータを圧接する
ことにより該ロータが該進行波の波頭の周方向振幅を摩
擦で受け、回転するロータにより出力を得る振動波モー
タにおいて、該ロータの回転中心は軸受により支持され
た軸であり、該軸に固定したロータ受けに歯車、プー
リ、カム等の伝導手段を形成し、該ロータと該ロータ受
けとの間に防振材を配置したことを特徴とする振動波モ
ータを提供する。
【0025】本発明の構成によれば、振動波モータの主
要構成要素であるロータ受け自身が伝導手段となってい
るため、本来小型な振動波モータの特質を生かした構造
となり、また、ロータとロータ受けとの間に防振材が配
置されているのでステータからロータに伝達される振動
が出力系にまで伝達せず、振動のない滑らかな回転を取
り出すことができる。
【0026】前記課題を解決するために請求項2の発明
は、請求項1の構成を有する振動波モータにおいて該軸
に歯車、プーリ、カム等の伝導手段やエンコーダ円板等
の回転検出手段を装着したことを特徴とする振動波モー
タを提供する。
【0027】本発明の構成によれば、ロータ受けとロー
タとの二つの部分から出力を取り出すことができるとと
もに、該軸の回転検出を行うことができる。
【0028】前記課題を解決するために請求項3の発明
は、請求項1の構成を有する振動波モータにおいて、該
ロータ受けに形成した伝導手段により回転検出を行うこ
とを特徴とする振動波モータを提供する。
【0029】本発明の構成によれば、該伝導手段が回転
検出手段を兼ねているので、更に小型化が可能となる。
【0030】前記課題を解決するために請求項4の発明
は、請求項1の構成を有する振動波モータにおいて、該
ロータ受けに回転検出手段を設置したことを特徴とする
振動波モータを提供する。
【0031】本発明の構成によれば、該ロータ受けに該
回転検出手段を設けることにより他に回転検出手段を要
しないので更に小型化が可能となる。
【0032】
【実施例】以下に図1〜図4を参照して本発明の実施例
について説明する。
【0033】<実施例1>図1及び図2に本発明の第一
実施例の振動波モータを示す。
【0034】図1は本発明の第1実施例の振動波モータ
の断面図である。
【0035】図1において、1はステータユニットであ
り、該ステータユニット1は振動子2、圧電素子3、フ
レキ4、摩擦材5、により構成されている。振動子2に
は櫛歯が形成され、該櫛歯の上面は摩擦材5で覆われて
いる。また、該櫛歯と反対側の面には圧電素子3及びフ
レキ4が取付けられている。
【0036】ステータユニット1と地板6とは軸受7の
加締めにより固定されている。
【0037】ロータユニット8は軸9、ロータ受け1
0、防振材12、ロータ13、ばね14、ばね受け15
で構成されている。
【0038】ステータユニット1に当接するロータ13
は防振材12を介してロータ受け10で保持されてい
る。軸9に固定したロータ受け10の外周には歯車11
が形成され、該歯車11から他の歯車23へ力が伝達さ
れる。また、同時に軸9からも出力を取り出すことがで
きるようになっている。ばね14の加圧反力はばね受け
15を介してボールベアリング16で受けている。該ボ
ールベアリング16を保持するハウジング17は地板1
8に固定されている。地板18と地板6とは支柱19に
固定されている。また、地板6及び18にはそれぞれ軸
受20及び21が固定され、該両軸受に軸22が支持さ
れており、軸22には歯車23及びカラー24が固定さ
れている。カラー24は歯車23の軸方向位置をロータ
受け10の歯車11の位置に合わせるための位置出し材
であり、歯車23とカラー24とを一体にした部材を用
いてもよい。
【0039】振動波モータは回転検出装置を付加するこ
とにより高い回転精度で制御することができるので、こ
こでは軸9にエンコーダ円板25を固定し、地板6にね
じ26で固定したエンコーダモジュール27で該軸9の
回転検出を行うようにしている。
【0040】なお、エンコーダ円板に相当する回転検出
手段として、ロータ受け10に形成した歯車11を利用
したり、歯車11とエンコーダ円板とを一体に形成した
ロータ受けを用いることもできる。
【0041】図2は前記振動波モータのロータユニット
の一部破断分解斜視図である。
【0042】同図に示すように、ロータ13とロータ受
け10との間には防振材12が設置されている。このよ
うにロータ13とロータ受け10とを一体にせずに分離
した構造としたのは次の理由による。
【0043】(a)ステータユニット1の振動を妨げず
にロータ13がステータユニット1に倣って振動を受け
ながらもロータ受け10の歯車11や軸9に伝えないこ
と。
【0044】(b)ロータ13とステータユニット1と
の片当たりが緩和され、加圧分布むらが低減し、回転特
性が安定すること。
【0045】(c)防振材12がロータ13の振動を吸
収し、鳴き不良の低減を図れること。
【0046】以上に説明した第一実施例の振動波モータ
の特有の効果は以下の通りである。
【0047】(1)軸9に対して回転方向が逆で回転数
の異なる複数の出力を軸22から得ることができる。
【0048】(2)軸9と同期した運動を軸22から得
ることができる。
【0049】(3)図1には歯車23のみしか図示して
いないが、ロータ受け10の歯車11に複数の歯車を配
し、歯車の組み合わせ、ギヤ比により、所望の回転数や
回転方向の多軸構造を取ることが出来る。
【0050】<実施例2>図3は本発明の第二実施例の
振動波モータの断面図である。なお、本実施例の構成要
素の符号は第一実施例で用いた符号を使用している。
【0051】本実施例では、ロータユニット28におい
て軸9に固定したロータ受け29の外周に歯付きプーリ
30を形成し、該プーリ30により歯付きベルト31へ
と力を伝達するベルト駆動機構になっている。更に、軸
9に歯付きプーリ32を取付け、歯付きベルト33の駆
動も行う。
【0052】なお、図3には歯付きベルトの例を示した
が、Vベルトや平ベルトの構成も可能である。また、ロ
ータ受け29に複数のプーリを形成することにより複数
のベルトを駆動することもできる。
【0053】本実施例の振動波モータの特有の効果は次
の通りである。
【0054】(1)所望の種類のベルトや、ベルト送り
速度の異なる複数のベルトを同期させて駆動することが
できる。
【0055】(2)ボールベアリング16から外に出な
いように短くした軸9を用い、ロータ受け29のみによ
るベルト駆動の場合、薄型化可能な構造となる。
【0056】(3)ベルト駆動の場合は軸に大きな側圧
がかかるが、ボールベアリング16と軸受7の間にある
ロータ受け29を利用しているので大きな側圧に対して
有利な構造となる。
【0057】<実施例3>図4に本発明の第三実施例の
振動波モータの断面図を示す。なお、本図においても第
一実施例と同じ構成要素は第一実施例と同じ符号で表示
してある。
【0058】ステータユニット1は軸受34とボールベ
アリング16を保持したハウジング35により地板36
に加締め固定されている。
【0059】ロータユニット37は軸9、ロータ受け3
8、防振材12、ロータ40、ばね14、ばね受け4
1、で構成されている。軸9にはエンコーダ円板42が
固定され、地板36にねじ43で固定したエンコーダモ
ジュール44で回転検出を行う。軸9に固定されたエン
コーダ円板42は、また、ロータユニット37をステー
タユニット1に圧接するためのばね14の加圧反力を受
ける加圧機構を兼ねている。
【0060】ロータガイド38の外周には歯車39が形
成され、該歯車39により他の歯車45を駆動する。
【0061】本実施例の構成における特有の効果は次の
通りである。
【0062】(1)薄型である。
【0063】(2)ハウジング35のみの部品精度によ
りボールベアリング16と軸受34との同軸度が決まる
ため、同軸度のバラつきが発生しにくく、軸倒れが少な
い構造となる。
【0064】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、径の大きい部
品であるロータ受けに歯車、プーリ、カムといった機能
を付加することにより、比較的大きな伝導機構の回転物
体と駆動源とを小さなスペースに納めることができる。
また、ロータとロータ受けとの間に防振材を設けたの
で、ステータからロータに伝わる振動をロータ受け及び
出力部材に伝達しないようにすることができるため、高
精度の回転出力が得られ、ロータとステータとの片当た
りや加圧分布むらを緩和することができ、異常摩耗によ
る寿命の低下や鳴きの低減を図ることができ、また、回
転特性を安定化することができる。
【0065】請求項2の発明によれば、請求項1の発明
の効果に加えて、少なくとも2つ以上の被駆動対象に動
力を伝達できるという効果が得られる。
【0066】請求項3の発明によれば、請求項1の発明
の効果に加えて、該伝導手段が回転検出手段を兼ねてい
るので更に小型化が可能となる効果がある。
【0067】請求項4の発明によれば、請求項1の発明
の効果に加えて、該ロータ受けに該回転検出手段を設け
ることにより他に回転検出手段を要しないので更に小型
化が可能となる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施例の振動波モータの縦断面
図。
【図2】図1の振動波モータのロータユニットの一部破
断分解斜視図。
【図3】本発明の第二実施例の振動波モータの縦断面
図。
【図4】本発明の第三実施例の振動波モータの縦断面
図。
【図5】従来の振動波モータの一部破断分解斜視図。
【図6】従来の振動波モータを他の装置に取付ける状態
を示した分解斜視図。
【符号の説明】
1,46…ステータユニット 2,47…振動
子 3,48…圧電素子 4,49…フレキシブルプリント基板 5,50…摩擦材 6,18,36
…地板 7,20,21,34,52…軸受 8,28,37,53…ロータユニット 9,22,54…軸 10,29,38,55…ロータ受け 11,23,39,45…歯車 12,56…摩
擦材 13,40,57…ロータ 14,58…ば
ね 15,41,59…ばね受け 16,62…ボ
ールベアリング 17,35…ハウジング 19…支柱 24…カラー 25,42…エ
ンコーダ円板 26,43,69…ねじ 27,44…エ
ンコーダモジュール 30,32…歯付きプーリ 31,33…歯
付きベルト 51…後蓋 60…外筒 61…切り欠き 63…保護具 64…凸起部 65…ねじ穴 66…取付板 67…穴 68…すきま穴 70…プーリ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森谷 章 東京都目黒区中根2丁目4番19号 キヤノ ン精機株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の角度に分割したパターンに分極を
    施した円板状の圧電素子を取付けた放射状の櫛歯形状を
    有する円板状のステータに該圧電素子に位相の異なる2
    相以上の交流電圧を印加することにより該ステータを周
    回する進行波を起振し、該ステータの櫛歯部分にロータ
    を圧接することにより該ロータが該進行波の波頭の周方
    向振幅を摩擦で受け、回転するロータにより出力を得る
    振動波モータにおいて、 該ロータの回転中心は軸受により支持された軸であり、
    該軸に固定したロータ受けに歯車、プーリ、カム等の伝
    導手段を形成し、該ロータと該ロータ受けとの間に防振
    材を配置したことを特徴とする振動波モータ。
  2. 【請求項2】 該軸に歯車、プーリ、カム等の伝導手段
    やエンコーダ円板等の回転検出手段を装着したことを特
    徴とする請求項1の振動波モータ。
  3. 【請求項3】 該ロータ受けに形成した伝導手段により
    回転検出を行うことを特徴とする請求項1の振動波モー
    タ。
  4. 【請求項4】 該ロータ受けに回転検出手段を設置した
    ことを特徴とする請求項1の振動波モータ。
JP6212828A 1994-09-06 1994-09-06 振動波モータ Pending JPH0880072A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013055740A (ja) * 2011-09-01 2013-03-21 Nikon Corp 振動アクチュエータ及び光学機器
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