JPH0854234A - 三次元座標位置計測方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 例えば気温の変化による熱変形や移動時の振
動等に起因する誤差を計測直前にその場で補正すること
ができて，三次元座標位置計測を簡便に行うことのでき
る三次元座標位置計測方法。 【構成】 本方法は，第１，第２ミラーの回転中心４
ａ，７ａを結ぶ基準軸２０からの距離の真値が既知の第
１，第２，第３ターゲット２１，２２，２３にそれぞれ
投光したときの投光角度及び撮像角度を計測し，これら
の計測値に基づいてそれぞれの誤差量を演算し，これら
の誤差量を用いて被測定物５上のスポット像６の座標位
置を補正するように構成されている。上記構成により，
高精度計測を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は三次元座標位置計測方法
に係り，詳しくは三角測量の原理を利用した三次元座標
位置計測装置が持つ装置誤差を校正するキャリブレーシ
ョン方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より，被測定物の三次元座標位置を
非接触で計測する手法の１つとして，三角測量の原理が
広く用いられている。図９は，この三角測量の原理を用
いた三次元座標位置計測装置の一例を示している。この
三次元座標位置計測装置１では，光源２からレーザ光３
が投光されると，第１ミラー４を介して被測定物５上に
スポット像６が形成される。このスポット像６は第２ミ
ラー７を介して集光部８に集光され，ここに設けられた
光学センサ８ａ上に撮像される。第１ミラー４の回転角
度及び第２ミラー７の回転角度はそれぞれ第１駆動部９
及び第２駆動部１０に内蔵された第１エンコーダ１１及
び第２エンコーダ１２により検出され，制御部１３に入
力される。また，光源２と集光部８とは回転構造部１４
ａ内に一体的に取り付けられ，装置１の支持構造部１４
ｂ上に矢印Ａ方向に回転自在に取り付けられている。こ
の回転構造部１４ａの回転角度は第３駆動部１５に内蔵
された第３エンコーダ１６により検出され，制御部１３
に入力される。第１ミラー４の回転中心４ａと第２ミラ
ー７の回転中心７ａとの間の距離Ｌは三角測量の基準距
離Ｌであり，一定値である。この従来装置１による計測
手順について以下述べる。操作部１７の所定操作によ
り，第３駆動部１５が駆動されて回転構造部１４ａが回
転される。さらに，第１ミラー４が回転されて被測定物
５上にレーザ光３が投光され，この被測定物５上にスポ
ット像６が照射される。そして，第２ミラー７が回転さ
れてスポット像６が第２ミラー７により反射され光学セ
ンサ８ａ上に結像される。この結像された像の位置は光
学センサ８ａによって検出され，像検出部１８を介して
スポット像の結像位置情報に変換され制御部１３に入力
される。この結像位置情報に基づき，さらに第２ミラー
７が回転制御される。そして，光学センサ８ａ上に結像
されたスポット像が例えば光学センサ８ａの中心点位置
となったとき，第２ミラー７の回転角度及び第１ミラー
４の回転角度が求められる。これら求められた両回転角
度及び第１ミラー４の回転中心４ａと第２ミラー７の回
転中心７ａとの間の距離Ｌから被測定物５上のスポット
像６の座標位置が演算される。以下，スポット像６の三
次元座標位置の演算原理について図１０を参照しつつ説
明する。これは三角測量の原理そのものであり，図１０
における三角形ＡＢＣの各頂点は，図９における第１ミ
ラー４の回転中心４ａ，第２ミラー７の回転中心７ａ及
びスポット像６にそれぞれ相当する。従って，上記基準
距離Ｌは，ここでは頂点Ａ，Ｂ間の距離となる。座標系
の各軸は次のように設定する。直線ＡＢをＺ軸とし，頂
点Ａから頂点Ｂに向かう方向を正方向とする。線分ＡＢ
の中点Ｏを通って直線ＡＢと直交する軸を図１０に示す
ようにＸ軸及びＹ軸とする。図９における回転構造物１
４ａの回転軸はここではＺ軸と一致する。従って，回転
構造部１４ａが回転することにより，この三角形ＡＢＣ
はＺ軸を，すなわち，辺ＡＢを回転軸として回転するこ
とになる。さらに，三角形ＡＢＣが作る平面とＸＹ平面
との交線をＲ軸とする。辺ＡＣ，辺ＡＢがＲ軸となす角
度をそれぞれ順番にθ１及びθ２とする。ただしこれら
の角度は図中の矢印Ｐ及びＱの方向を正方向とする。ま
た，Ｒ軸とＹ軸とのなす角度をφとする。ただし，矢印
Ｓの方向を正方向とする。第１エンコーダ１１により計
測される第１ミラー４の回転角度からθ１を算出し，第
２エンコーダ１２により計測される第２ミラー７の回転
角度からθ２を算出する。また，第３エンコーダ１６に
よって計測される第３駆動部１５の回転量をφとする。
このとき，スポット像６のＲ軸上の座標位置Ｒは次のよ
うに表される。

【数１】 ここで，第１ミラー４及び第２ミラー７の各回転角度か
らθ１及びθ２を算出する方法は次の通りである。先ず
第１ミラー４側であるが，θ１＝０となるときに第１ミ
ラー４の回転角度計測値が概略０となるように第１エン
コーダ１１を取り付ける。そして，θ１＝０のときの第
１ミラー４の回転角度予測値の０値からのずれを第１エ
ンコーダ１１の零点オフセットと定義する。第２エンコ
ーダ１２の零点オフセットも同様に定義する。第１エン
コーダ１１及び第２エンコーダ１２の各零点オフセット
量はあらかじめ計測しておく。第１エンコーダ１１で計
測される第１ミラー４の回転角度から第１エンコーダ１
１の零点オフセットを差し引いた後の値を，光軸角度は
ミラー角度の２倍なので２倍するとθ１となる。第２エ
ンコーダ１２により計測される第２ミラー７の回転角度
から同様にθ２が得られる。角度φの値を算出するため
の第３エンコーダ１６にも零点オフセットが存在する
が，これは装置１の座標系が零点オフセット分だけ回転
するだけであり，座標位置計測値の誤差に寄与しない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記したような従来の
三次元座標位置計測装置１では，構造物の部品寸法誤差
や組立誤差，あるいは温度変化にともなう熱膨張収縮効
果等により基準距離Ｌに誤差が生じる。また，第１エン
コーダ１１及び第２エンコーダ１２には零点オフセット
が必ず存在する。これらの誤差の概略値は組立時に計測
して装置パラメータとして補正できるが，装置１の使用
状況に応じて誤差量は僅かであるがその後も変化する。
この変化が計測誤差として現れるため，高精度の三次元
計測が行えなかった。本発明は，上記事情に鑑みてなさ
れたものであり，例えば気温の変化による熱変形や移動
時の振動等に起因する誤差を計測直前にその場で補正す
ることができて，高精度の三次元座標位置計測を簡便に
行うことができる三次元座標位置計測方法を提供するこ
とを目的とするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に第１の発明は，被測定物にスポット光を投光し，該投
光点から所定距離隔てた撮像面で上記被測定物上に投射
されたスポット像を撮像し，上記スポット光の投光角
度，上記スポット像の撮像角度および上記投光点と上記
撮像面との間の距離を用いて三角測量を行うことにより
上記被測定物上のスポット像の位置座標を演算する三次
元座標位置計測方法において，上記投光点と上記撮像面
とを結ぶ基準軸からの距離の真値が既知の少なくとも３
個の基準点についてそれぞれ上記投光角度および撮像角
度を計測し，上記各計測値に基づいてそれぞれの誤差量
を演算し，上記各誤差量を用いて上記被測定物上のスポ
ット像の位置座標を補正することを特徴とする三次元座
標位置計測方法として構成されている。また第２の発明
は，被測定物にスポット光を投光し，該投光点から所定
距離隔てた撮像面で上記被測定物上に投射されたスポッ
ト像を撮像し，上記スポット光の投光角度，上記スポッ
ト像の撮像角度および上記投光点と上記撮像面との間の
距離を用いて三角測量を行うことにより上記被測定物上
のスポット像の位置座標を演算する三次元座標位置計測
方法において，上記投光点と上記撮像面とを結ぶ基準軸
からの距離の真値が既知の少なくとも３個の基準点を上
記投光角度又は上記撮像角度のうちのいずれか一方が既
知の角度となるように配置しておき，上記各基準点につ
いてそれぞれ上記投光角度又は上記撮像角度のうちの未
知の方の角度を計測し，上記各計測値に基づいてそれぞ
れの誤差量を演算し，上記各誤差量を用いて上記被測定
物上のスポット像の位置座標を補正することを特徴とす
る三次元座標位置計測方法として構成されている。さら
には，上記投光角度の誤差量と撮像角度の誤差量とが等
しいと仮定して，上記計測すべき基準点の数を２個とす
ることを特徴とする三次元座標位置計測方法である。

【０００５】

【作用】第１の発明によれば，被測定物にスポット光を
投光し，該投光点から所定距離隔てた撮像面で上記被測
定物上に投射されたスポット像を撮像し，上記スポット
光の投光角度，上記スポット像の撮像角度及び上記投光
点と上記撮像面との間の距離を用いて三角測量を行うこ
とにより，上記被測定物上のスポット像の位置座標を演
算するに際し，上記投光点と上記撮像面とを結ぶ基準軸
からの距離の真値が既知の少なくとも３個の基準点につ
いてそれぞれ上記投光角度及び撮像角度が計測される。
上記各計測値に基づいてそれぞれの誤差量が演算され
る。上記各誤差量を用いて上記被測定物上のスポット像
の位置座標が補正される。これにより，例えば気温の変
化による熱変形や移動時の振動等に起因する誤差を計測
直前にその場で補正することが可能となり，高精度の三
次元座標位置計測を簡便に行うことができる。また，第
２の発明によれば，上記被測定物上のスポット像の位置
座標を演算するに際し，上記投光点と上記撮像面とを結
ぶ基準軸からの距離の真値が既知の少なくとも３個の基
準点が上記投光角度または上記撮像角度のうちのいずれ
か一方だけが既知の角度となるように配置される。上記
各基準点についてそれぞれ上記投光角度または上記撮像
角度のうちの未知の方の角度が計測される。上記各計測
値に基づいてそれぞれの誤差量が演算される。上記各誤
差量を用いて上記被測定物上のスポット像の座標位置が
補正される。この場合は，上記投光角度または上記撮像
角度のうちのいずれか一方の計測ですむ。さらに，上記
投光角度の誤差量と撮像角度の誤差量とが等しいと仮定
して，上記計測すべき基準点の数を２個とすれば，さら
に計測数を減じることができる。

【０００６】

【実施例】以下添付図面を参照して，本発明を具体化し
た実施例につき説明し，本発明の理解に供する。尚，以
下の実施例は，本発明を具体化した一例であって，本発
明の技術的範囲を限定する性格のものではない。ここ
に，図１は第１の発明の第１の実施例に係る三次元座標
位置計測方法の基本原理を示す説明図，図２は第２の発
明の第１の実施例に係る三次元座標位置計測方法の基本
原理を示す説明図，図３は第１の発明の第２の実施例に
係る三次元座標位置計測方法の基本原理を示す説明図，
図４は第２の発明の第２の実施例に係る三次元座標位置
計測方法の基本原理を示す説明図，図５は第１の発明の
第３の実施例に係る三次元座標位置計測方法の基本原理
を示す説明図，図６は第２の発明の第３の実施例に係る
三次元座標位置計測方法の基本原理を示す説明図，図７
は第１の発明の第４の実施例に係る三次元座標位置計測
方法の基本原理を示す説明図，図８は第２の発明の第４
の実施例に係る三次元座標位置計測方法の基本原理を示
す説明図，図９は上記三次元座標位置計測方法を適用可
能な装置の概略構成を示す模式図（従来例と共用）であ
る。第１の発明の第１の実施例に係る三次元座標位置計
測方法による装置１ａは，図９に示すように，被測定物
５にレーザ光３（スポット光）を投光し，この投光点に
相当する第１ミラー４の回転中心４ａから距離Ｌだけ隔
った撮像面に相当する第２ミラー７の回転中心７ａで被
測定物５上に投射されたスポット像６を撮像し，このレ
ーザ光３の投光角度，スポット像６の撮像角度及び距離
Ｌを用いて三角測量を行うことにより被測定物５上のス
ポット像６の位置座標を演算するように構成されている
点で従来例と同様である。しかし，本実施例では，図１
に示すように上記第１ミラー４の回転中心４ａと第２ミ
ラー７の回転中心７ａとを結ぶ基準軸２０からの距離の
真値が既知の少なくとも３個の基準点に相当する補正用
ターゲット２１，２２，２３についてそれぞれ上記投光
角度及び撮像角度を計測し，上記各計測値に基づいてそ
れぞれの誤差量を演算し，上記各誤差量を用いて被測定
物５上のスポット像６の位置座標を補正する点で従来例
と異なる。

【０００７】尚，本発明実施例では便宜上第１ミラー４
の回転中心４ａと第２ミラー７の回転中心７ａとの位置
を従来例と上下逆に設定しているが，これは何ら本質的
な相違点ではない（以下の各実施例についても同様）。
以下，この装置１ａについてさらに詳しく述べる。この
装置１ａでは基準軸２０が床面１９に対して垂直になる
ように設置されている。補正用ターゲットは，第１ター
ゲット２１，第２ターゲット２２および第３ターゲット
２３の合計３つが装置１に対して一直線上に並ぶように
床面１９上に置かれている。第１，第２，第３ターゲッ
ト２１，２２，２３の奥行き方向の距離の真値Ｒｔは装
置１ａの真下から第１，第２，第３ターゲット２１，２
２，２３に向かって床面１９に平行に張られたメジャー
２４により測定される。誤差補正時には，まず第１，第
２，第３ターゲット２１，２２，２３のメジャー２４に
よる奥行き方向の距離の測定値を操作部１７を介して制
御部１３に入力する。そして，第１，第２，第３ターゲ
ットの順番で三角測量し装置１ａの投光角度θ１，撮像
角度θ２および奥行き方向の距離Ｒｍを演算し，角度誤
差Δθ１，Δθ２および距離誤差ΔＬを求める。その後
の計測においては，投光角度θ１，撮像角度θ２および
奥行き方向の距離の計測値Ｒｍを上記で求めたΔθ１，
Δθ２，ΔＬを用いて補正し，計測点の三次元座標位置
を算出する。ここで，上記装置１ａの測定原理について
述べる。本装置１ａにおいても，従来の技術ですでに述
べた，，，式にて示した各原理に基づいて測定
点の座標位置を計測している。したがって，，，
，式より式の距離Ｒが正確に算出できれば，スポ
ット像６の位置座標を高精度で計測できる。

【０００８】ここで距離Ｒを真値Ｒｔとし，角度θ１，
θ２および距離Ｌも真値そのものであるとすると，前記
式より真値Ｒｔは次式で与えられる。

【数２】 ここで，実際の計測時に角度θ１及びθ２に微小変動誤
差Δθ１及びΔθ２，基準距離Ｌに微小変動誤差ΔＬが
それぞれ含まれていたとすると，そのときの距離Ｒの計
測値Ｒｍは次のようになる。

【数３】 上記，式に式を代入して整理すると，次式のよう
になる。ただし，式の変形に際しては，Δθ１，Δθ
２，ΔＬはいずれも微小量であることを考慮して， ｔａｎΔθ１＝Δθ１ ｔａｎΔθ２＝Δθ２ とし，Δθ１² ，Δθ２² 及びΔＬΔθ１，ΔＬΔθ２
の項は無視できるものとした。

【数４】 上記式より，真値Ｒｔの異なる３か所の補正用ターゲ
ットの計測値により，３つの連立方程式が成立するた
め，これを解いて，各微小変動誤差Δθ１，Δθ２およ
びΔＬを算出する。よって，角度θ１，θ２および距離
Ｌの各微小変動を補正することができる。

【０００９】このように誤差補正の基準点は三次元座標
の全ての座標値が既知である必要がなく，例えばメジャ
ーによって奥行き方向の距離を測定しておくだけでよ
い。その為，三次元座標位置計測装置１ａを使用する現
場において簡便に補正用ターゲットを設定し，補正計算
を行うことができる。すなわち，例えば気温の変化によ
る熱変形や移動時の振動等に起因する三角測量の基準距
離Ｌや投光角度θ１および撮像角度θ２のオフセット誤
差の微小変動分であるΔＬ及びΔθ１，Δθ２を，計測
直前にその場で補正することが可能となる。これにより
高精度の三次元座標位置計測を簡便に行うことができ
る。ところで，上記補正用ターゲットについて，投光角
度θ１または撮像角度θ２のいずれかが既知であれば，
計測数を少なくすることができる。第２の発明はこの点
に着目したものであり，以下述べる。第２の発明の第１
の実施例に係る三次元座標位置計測方法による装置１ｂ
は，図２に示すように，上記第１ミラー４の回転中心４
ａと第２ミラー７の回転中心７ａとを結ぶ基準軸２０か
らの距離の真値が既知の少なくとも３個の基準点に相当
する補正用ターゲット２１，２２，２３を，上記投光角
度又は上記撮像角度のうちのいずれか一方が既知の角度
となるように配置しておき，上記各ターゲット２１，２
２，２３についてそれぞれ上記投光角度又は上記撮像角
度のうちの未知の方の角度を計測し，上記各計測値に基
づいてそれぞれの誤差量を演算し，上記各誤差量を用い
て被測定物５上のスポット像６の座標位置を補正する点
で従来例と異なる。

【００１０】以下，この装置１ｂについてさらに詳しく
述べる。この装置１ｂでは，基準軸２０が床面１９に対
して垂直になるように設置されている。この場合も上記
補正用ターゲットは，第１ターゲット２１，第２ターゲ
ット２２及び第３ターゲット２３の合計３つとするが，
ここではいずれも投光側の所定光軸直線上に並ぶように
配置されている。これらの第１，第２，第３ターゲット
２１，２２，２３の奥行き方向の距離の真値Ｒｔは図示
しないメジャーにより測定するかあるいは各ターゲット
を保持するための治具２５の予め測定された所定位置に
各ターゲットを取り付けることにより求めることができ
る。誤差補正時には，まず第１，第２，第３ターゲット
２１，２２，２３の奥行き方向の距離の測定値を操作部
１７を介して制御部１３に入力する。さらに投光角度θ
１の計測値を操作部１７を介して制御部１３に入力す
る。しかる後に第１，第２，第３ターゲット２１，２
２，２３の順番で三角測量し撮像角度θ２及び，奥行き
方向の距離Ｒｍを演算し，微小変動誤差Δθ１，Δθ２
及びΔＬを求める。ここでは，投光角度θ１を既知の角
度としたが，逆に撮像角度θ２を既知の角度とし，投光
角度を測定することとしてもよい。さらに，上記微小変
動誤差Δθ１およびΔθ２はいずれも微小量であること
からこれらを等しいと仮定することができる。図３，図
４はΔθ１＝Δθ２と仮定することにより補正用ターゲ
ットの数量を２個に減らした例である。このようにして
計測数を減らし，簡便な三次元座標位置計測を行うこと
ができる。以下，第１，第２の発明に係る変形例を示
す。図５は第１の発明についての変形例であるが，図１
の第１の実施例との相違点は次の通りである。

【００１１】補正用ターゲットである第１，第２，第３
ターゲット２１，２２，２３が装置１ｅに対してここで
は一直線上に並ぶように床面１９から浮いた形で配置さ
れている。これによっても，図１に示した実施例と同様
の作用効果を得ることができる。図６は第２の発明に係
る変形例である。ここでは，第１，第２，第３ターゲッ
ト２１，２２，２３を取り付ける治具２５の方向が投光
角度と常に一致するように投光側第１ミラー４の回転に
連動して回転する。これによって，第１，第２，第３タ
ーゲット２１，２２及び２３を測定する際の投光角度は
常に一定に保たれる。また，第１，第２，第３ターゲッ
ト２１，２２及び２３の装置１ｆからの真値Ｒｔは，図
示しないメジャーにより測定するかあるいは治具２５の
予め距離の測定された所定位置に各ターゲットを取り付
けることにより求めることができる。誤差補正時には，
先ず第１，第２，第３ターゲット２１，２２，２３の奥
行き方向の距離の測定値を操作部１７を介して制御部１
３に入力する。さらに投光角度θ１の計測値を操作部１
７を介して制御部１３に入力する。しかる後に第１，第
２，第３ターゲット２１，２２，２３の順番で三角測量
し撮像角度θ２及び奥行き方向の距離Ｒｍを演算する。
そして微小変動Δθ１，Δθ２及びΔＬを求める。これ
によっても図２に示した実施例と同様の作用効果を得る
ことができる。さらに図７は第１の発明に係る変形例で
あるが，これは図５の実施例を変形したものであり，こ
こでは微小変動誤差Δθ１＝Δθ２とすることにより，
補正用ターゲットの数を２個に減らしたものである。図
８は第２の発明の変形例であり，これは図６の実施例を
基に微小変動Δθ１＝Δθ２とすることにより，補正用
ターゲットの数を２個に減らしたものである。

【００１２】

【発明の効果】本発明に係る三次元座標位置計測方法
は，上記したように構成されているため，例えば気温の
変化による熱変形や移動時の振動等に起因する誤差を計
測直前にその場で補正することが可能となり，高精度の
三次元座標位置計測を簡便に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１の発明の第１の実施例に係る三次元座標
位置計測方法の基本原理を示す説明図。

【図２】 第２の発明の第１の実施例に係る三次元座標
位置計測方法の基本原理を示す説明図。

【図３】 第１の発明の第２の実施例に係る三次元座標
位置計測方法の基本原理を示す説明図。

【図４】 第２の発明の第２の実施例に係る三次元座標
位置計測方法の基本原理を示す説明図。

【図５】 第１の発明の第３の実施例に係る三次元座標
位置計測方法の基本原理を示す説明図。

【図６】 第２の発明の第３の実施例に係る三次元座標
位置計測方法の基本原理を示す説明図。

【図７】 第１の発明の第４の実施例に係る三次元座標
位置計測方法の基本原理を示す説明図。

【図８】 第２の発明の第４の実施例に係る三次元座標
位置計測方法の基本原理を示す説明図。

【図９】 上記三次元座標位置計測方法を適用可能な装
置の概略構成を示す模式図（従来例と共用）。

【図１０】 三角測量の原理を示す説明図。

【符号の説明】

１ａ〜１ｈ…三次元座標位置計測装置 ３…レーザ光（スポット光） ４ａ…第１ミラーの回転中心（投光点に相当） ５…被測定物 ６…スポット像 ７ａ…第２ミラーの回転中心（撮像面に相当） ２０…基準軸 ２１…第１ターゲット（基準点に相当） ２２…第２ターゲット（基準点に相当） ２３…第３ターゲット（基準点に相当）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 住江 伸吾 兵庫県神戸市西区高塚台１丁目５番５号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内 (72)発明者 吉田 泰三 兵庫県神戸市灘区岩屋北町４丁目５番22号 神鋼プラント建設株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物にスポット光を投光し，該投光
   点から所定距離隔てた撮像面で上記被測定物上に投射さ
   れたスポット像を撮像し，上記スポット光の投光角度，
   上記スポット像の撮像角度および上記投光点と上記撮像
   面との間の距離を用いて三角測量を行うことにより上記
   被測定物上のスポット像の位置座標を演算する三次元座
   標位置計測方法において，上記投光点と上記撮像面とを
   結ぶ基準軸からの距離の真値が既知の少なくとも３個の
   基準点についてそれぞれ上記投光角度および撮像角度を
   計測し，上記各計測値に基づいてそれぞれの誤差量を演
   算し，上記各誤差量を用いて上記被測定物上のスポット
   像の位置座標を補正することを特徴とする三次元座標位
   置計測方法。
2. 【請求項２】 被測定物にスポット光を投光し，該投光
   点から所定距離隔てた撮像面で上記被測定物上に投射さ
   れたスポット像を撮像し，上記スポット光の投光角度，
   上記スポット像の撮像角度および上記投光点と上記撮像
   面との間の距離を用いて三角測量を行うことにより上記
   被測定物上のスポット像の位置座標を演算する三次元座
   標位置計測方法において，上記投光点と上記撮像面とを
   結ぶ基準軸からの距離の真値が既知の少なくとも３個の
   基準点を上記投光角度又は上記撮像角度のうちのいずれ
   か一方が既知の角度となるように配置しておき，上記各
   基準点についてそれぞれ上記投光角度又は上記撮像角度
   のうちの未知の方の角度を計測し，上記各計測値に基づ
   いてそれぞれの誤差量を演算し，上記各誤差量を用いて
   上記被測定物上のスポット像の位置座標を補正すること
   を特徴とする三次元座標位置計測方法。
3. 【請求項３】 上記投光角度の誤差量と撮像角度の誤差
   量とが等しいと仮定して，上記計測すべき基準点の数を
   ２個とすることを特徴とする請求項１又は２記載の三次
   元座標位置計測方法。