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JPH0851299A - Electronic component mounter - Google Patents

Electronic component mounter

Info

Publication number
JPH0851299A
JPH0851299A JP6184704A JP18470494A JPH0851299A JP H0851299 A JPH0851299 A JP H0851299A JP 6184704 A JP6184704 A JP 6184704A JP 18470494 A JP18470494 A JP 18470494A JP H0851299 A JPH0851299 A JP H0851299A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electronic component
mounting
nozzle
inclination
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6184704A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Takahashi
健一 高橋
Kohei Yabuno
光平 薮野
Tadayuki Saito
忠之 斉藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Plant Technologies Ltd
Original Assignee
Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Techno Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Priority to JP6184704A priority Critical patent/JPH0851299A/en
Publication of JPH0851299A publication Critical patent/JPH0851299A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a mounter which mounts electronic components with high accuracy without generating solder bridges or floating leads. CONSTITUTION:Visible flat laser generators 63 and 64 are provided to apply linear beams that orthogonally intersects at a desired position on a substrate 4 whereupon an electronic component 1 is mounted. Flat laser beams 61 and 62 are applied from the visible flat laser generators 63 and 64, and reflection position on the substrate 4 is recognized by a CCD camera 65. The electronic component mounter is provided with an optical measuring means, which measures the inclination of the substrate at the desired position by measuring the crossing angle of the linear beams recognized by the CCD camera 65, and a means which adjusts the posture of the electronic component 1, which is held by a mounting nozzle 5, against the substrate 4, based on the measurement results of the optical measuring means. Thus, the descending distances of the leads on each side of the electronic component held by the mounting nozzle are permitted to be uniform to the substrate and pressing nonuniformity is not generated. Therefore solder bridges and floating leads are not generated and highly accurate mounting is allowed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は電子部品搭載機に係り、
特に、搭載ノズルを用いて電子部品を真空吸着し、プリ
ント基板上に搭載する電子部品搭載機に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component mounting machine,
In particular, the present invention relates to an electronic component mounting machine that vacuum-sucks an electronic component using a mounting nozzle and mounts it on a printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品搭載機は、電子部品を保持した
搭載ノズルをプリント基板上に駆動し、保持を解除する
ことによってプリント基板上の所望箇所に電子部品を搬
送、搭載するものである。
2. Description of the Related Art An electronic component mounting machine drives and mounts a mounting nozzle holding an electronic component on a printed circuit board, and releases the retention to mount and mount the electronic component on a desired position on the printed circuit board.

【0003】従来の電子部品搭載機の構成及び大まかな
動作を図6に基づき説明し、その部品搭載部の詳細な構
成及び動作は図7に基づいて説明する。搭載機は、電子
部品1を吸着(保持)するノズル部10及び該ノズル部
をZ軸方向に駆動するZ軸駆動機構からなる部品搭載
部、該部品搭載部をX軸方向に駆動するX軸駆動機構、
該X軸駆動機構に保持された前記部品搭載部をY軸方向
に駆動するY軸駆動機構等により構成されている。
The structure and general operation of a conventional electronic component mounting machine will be described with reference to FIG. 6, and the detailed structure and operation of the component mounting portion will be described with reference to FIG. The mounting machine is a component mounting unit including a nozzle unit 10 that sucks (holds) the electronic component 1 and a Z-axis drive mechanism that drives the nozzle unit in the Z-axis direction, and an X-axis that drives the component mounting unit in the X-axis direction. Drive mechanism,
The component mounting portion held by the X-axis drive mechanism is configured by a Y-axis drive mechanism or the like that drives in the Y-axis direction.

【0004】Y軸駆動機構は架台100に設けたボ−ル
ねじ1001及び該ボ−ルねじに接続されたモ−タ10
02から構成され、ボ−ルねじ1001にはベ−ス10
31に保持した前記X軸駆動機構が接続され、レ−ル1
003上をY軸方向に移動する。X軸駆動機構はボ−ル
ねじ1032及び該ボ−ルねじに接続されたモ−タ10
33から構成され、ボ−ルねじ1032には架台27に
保持した上記部品搭載部が接続され、レ−ル1034上
をX軸方向に駆動する。
The Y-axis drive mechanism includes a ball screw 1001 provided on the mount 100 and a motor 10 connected to the ball screw.
No. 02, and the ball screw 1001 has a base 10
The X-axis drive mechanism held in 31 is connected to the rail 1.
003 is moved in the Y-axis direction. The X-axis drive mechanism includes a ball screw 1032 and a motor 10 connected to the ball screw.
The ball screw 1032 is connected to the component mounting portion held on the mount 27, and drives the rail 1034 on the rail 1034 in the X-axis direction.

【0005】前記部品搭載部の動作指令は制御装置20
に格納されており、Y軸駆動機構に対し部品搭載部を保
持するX軸駆動機構をY軸方向に移動させる指令が出さ
れると、モ−タ1002がボ−ルねじ1001を回転さ
せ該部品搭載部はY軸方向に移動する。同様に、X軸駆
動機構に対し、部品搭載部をX軸方向に移動させる指令
が出されると、モ−タ1033がボ−ルねじ1032を
回転させ該部品搭載部はX軸方向に移動する。
The operation command of the component mounting section is sent to the control unit 20.
When a command is issued to the Y-axis drive mechanism to move the X-axis drive mechanism holding the component mounting portion in the Y-axis direction, the motor 1002 rotates the ball screw 1001 to cause the component to move. The mounting part moves in the Y-axis direction. Similarly, when the X-axis drive mechanism is instructed to move the component mounting portion in the X-axis direction, the motor 1033 rotates the ball screw 1032 and the component mounting portion moves in the X-axis direction. .

【0006】図7に示すように、部品搭載部は真空吸着
により保持した電子部品1を基板4上に搭載するノズル
部10,該ノズル部をZ軸に対して水平方向に回転させ
るモ−タ18,該ノズル部を保持するベ−ス19等によ
り構成されている。ベ−ス19はリニアガイド21に保
持され、ナット23によりボ−ルねじ24を保持する架
台27に接続されており、ボ−ルねじ24の上部にはカ
ップリング25を介してモ−タ26が接続されている。
As shown in FIG. 7, the component mounting portion is a nozzle portion 10 for mounting the electronic component 1 held by vacuum suction on the substrate 4, and a motor for rotating the nozzle portion horizontally with respect to the Z axis. 18, a base 19 for holding the nozzle portion and the like. The base 19 is held by a linear guide 21 and is connected to a pedestal 27 holding a ball screw 24 by a nut 23, and a motor 26 is mounted on the upper portion of the ball screw 24 via a coupling 25. Are connected.

【0007】ノズル部10は、シャフト12,該シャフ
トの先端に設けたノズルホルダ11,該ノズルホルダに
より保持された吸着ノズル5,シャフト12に取り付け
たEL支持板6,該EL支持板によって支持されたEL
照明板7等から構成されており、ノズル部10の上部に
は、カップリング17を介してモ−タ18が接続されて
いる。
The nozzle portion 10 is supported by a shaft 12, a nozzle holder 11 provided at the tip of the shaft, an adsorption nozzle 5 held by the nozzle holder 5, an EL support plate 6 attached to the shaft 12, and the EL support plate. EL
It is composed of an illumination plate 7 and the like, and a motor 18 is connected to an upper portion of the nozzle portion 10 via a coupling 17.

【0008】前記ノズル部10の動作指令は制御装置2
0に格納されており、リニアガイド21に保持されてい
るベ−ス19を上下動させる指令がモ−タ26に対して
出されると、ノズル部10がZ軸方向に対して垂直に移
動し、同様にモ−タ18に対して指令が出されると、ノ
ズル部10はZ軸方向に対して水平回転する。該Z軸方
向に対する水平回転を以下θ方向として説明する。
The operation command of the nozzle portion 10 is given by the control device 2
When a command to move the base 19 stored in the linear guide 21 up and down is issued to the motor 26, the nozzle portion 10 moves vertically to the Z-axis direction. Similarly, when a command is issued to the motor 18, the nozzle unit 10 horizontally rotates in the Z-axis direction. The horizontal rotation with respect to the Z-axis direction will be described below as the θ direction.

【0009】前記制御装置20は、電磁弁13を開きシ
ャフト12及びノズルホルダ11の内部を連通する連通
管(図示せず)を介して吸着ノズル5内の空間29を減
圧する指令を真空ポンプ15に出すことにより、電子部
品1は吸着ノズル5先端に吸着する。吸着した電子部品
1の吸着ノズル5に対する吸着位置を、EL支持板6に
支持されたEL照明板7の光を利用して認識を行う認識
カメラ(図示せず)により認識し、部品認識デ−タとし
て格納する。
The control device 20 opens the electromagnetic valve 13 and sends a command to decompress the space 29 in the suction nozzle 5 via a communication pipe (not shown) that communicates the shaft 12 and the interior of the nozzle holder 11 with each other. Then, the electronic component 1 is sucked onto the tip of the suction nozzle 5. The suction position of the sucked electronic component 1 with respect to the suction nozzle 5 is recognized by a recognition camera (not shown) that recognizes the light of the EL illumination plate 7 supported by the EL support plate 6, and the component recognition data is displayed. Stored as a data.

【0010】リ−ル106からテ−プフィ−ダ107で
供給されるチップ部品やトレ−108で供給される大形
QFP部品など、各種フィ−ダから電子部品1を吸着し
た吸着ノズル5は、X軸駆動機構及びY軸駆動機構によ
りX軸及びY軸方向に移動し、印刷機(図示せず)によ
りはんだペ−スト3を印刷され搭載機内部にコンベア1
05により搬送されたプリント基板4の所望個所上部に
到達する。
The suction nozzle 5 which sucks the electronic component 1 from various feeders, such as a chip component supplied from the reel 106 by the tape feeder 107 and a large QFP component supplied by the tray 108, The X-axis drive mechanism and the Y-axis drive mechanism move in the X-axis and Y-axis directions, the solder paste 3 is printed by a printing machine (not shown), and the conveyor 1 is installed inside the mounting machine.
The printed circuit board 4 conveyed by 05 reaches an upper portion of a desired portion.

【0011】ノズル部10が基板4上の所望個所上部に
到達すると、制御装置20から、モ−タ26により架台
27に保持されたボ−ルねじ24が回転しナット23に
より固定されたベ−ス19が所定の距離(距離Hとす
る。)を下降する指令が出され、吸着ノズル5に吸着し
た電子部品1のリ−ド2が基板4上のはんだペ−スト3
に接触する。ノズル部10が停止する際に発生する上下
方向の振動による衝撃は、吸着ノズル5の上方に設けた
スプリング(図示せず)により吸収された後、真空ポン
プ15の動作を停止する指令が制御装置20から出さ
れ、吸着を解除し電子部品1の搭載が終了する。
When the nozzle portion 10 reaches the upper portion of the desired position on the substrate 4, the ball screw 24 held on the mount 27 by the motor 26 is rotated by the controller 20 and is fixed by the nut 23. A command is issued for the space 19 to descend a predetermined distance (distance H), and the lead 2 of the electronic component 1 sucked by the suction nozzle 5 is soldered on the board 4.
To contact. A shock caused by vertical vibration generated when the nozzle unit 10 is stopped is absorbed by a spring (not shown) provided above the suction nozzle 5, and then a command to stop the operation of the vacuum pump 15 is issued. Then, the suction is released, and the mounting of the electronic component 1 is completed.

【0012】上述した従来の搭載機において、吸着ノズ
ル5先端に吸着した電子部品1と基板4とは平行である
と仮定し、吸着ノズル5の先端に吸着した電子部品1の
リ−ド2と基板4上面との距離をあらかじめ測定した距
離Hを該吸着ノズルの下降距離としている。しかし、こ
の距離Hは理論上の距離であり実際の製造ラインで使用
される基板には若干の反りが生じ個々の基板によって一
定ではない。更に、同一基板上においても搭載位置によ
って変化しているため吸着ノズル5の下降距離は常に一
定とは限らない。すなわち、基板4に反りが生じている
ため実際に電子部品を載置する基板上の箇所によって
は、吸着ノズルに保持された電子部品のリ−ドの下降距
離が均一にならないため確実にはんだペ−スト上に載ら
ず、電子部品の各辺のリ−ドにおいても押圧むらが生
じ、はんだのブリッジやリ−ドの浮きなどが生じる問題
があった。
In the above-described conventional mounting machine, assuming that the electronic component 1 attracted to the tip of the suction nozzle 5 and the substrate 4 are parallel, the lead 2 of the electronic component 1 attracted to the tip of the suction nozzle 5 A distance H, which is obtained by measuring the distance from the upper surface of the substrate 4 in advance, is set as the descending distance of the suction nozzle. However, this distance H is a theoretical distance, and the substrate used in the actual manufacturing line is slightly warped and is not constant depending on the individual substrate. Further, even on the same substrate, the descending distance of the suction nozzle 5 is not always constant because it changes depending on the mounting position. That is, since the board 4 is warped, the lead-down distance of the lead of the electronic component held by the suction nozzle may not be uniform depending on the position on the substrate where the electronic component is actually mounted. -There is a problem in that pressure unevenness occurs in the leads on each side of the electronic component that are not placed on the strike, resulting in solder bridges and floating of the leads.

【0013】特開平5−13991号公報では、基板の
反りを検出する手段として基板上に形成されたはんだパ
タ−ンを認識する基板認識カメラを設け、該基板認識カ
メラからの認識情報に基づいて装着ヘッドを基板の反り
に応じて傾けるXY揺動ヘッドを設けたことにより、は
んだパタ−ンに対して直角の方向から部品を装着し装着
位置精度を確保することが提案されている。
In Japanese Patent Laid-Open No. 5-13991, a board recognition camera for recognizing a solder pattern formed on the board is provided as means for detecting the warp of the board, and based on the recognition information from the board recognition camera. By providing an XY swing head that tilts the mounting head according to the warp of the substrate, it has been proposed to mount the component from a direction perpendicular to the solder pattern and secure the mounting position accuracy.

【0014】上述の公報に記載された従来技術は、あら
かじめ登録した基準はんだパタ−ン長さと上記基板認識
カメラが認識したはんだパタ−ン長さとを比較し、基準
はんだパタ−ン長さよりも短い場合には基板が反ってい
る、すなわち、基板には局部的に傾きが生じていると判
断し該基板の傾きを求めることによって、装着位置精度
を確保している。上記方法は、認識するはんだパタ−ン
を精度よく形成していることが前提条件となる。
In the prior art described in the above-mentioned publication, the reference solder pattern length registered in advance is compared with the solder pattern length recognized by the board recognition camera, and the length is shorter than the reference solder pattern length. In this case, the mounting position accuracy is ensured by determining that the board is warped, that is, the board is locally tilted and the tilt of the board is obtained. The above method is premised on that the solder pattern to be recognized is accurately formed.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】電子部品の大型化が進
むとともにリ−ド間隔が0.3mm以下と微細化が進
み、搭載の前工程においてもはんだペ−ストのパタ−ン
間隔をより微細に形成する必要が生じてきている。基板
上にはんだパタ−ンを形成する手段として印刷用マスク
に所望のパタ−ンを開口し、該印刷用マスクを介して基
板上にはんだペ−ストを印刷する印刷機があるが、印刷
用マスクの開口部の加工精度により該開口部にはんだペ
−ストが残り、基板上のはんだペ−スト量が少なくなる
かすれや印刷時の基板と該印刷用マスクとの位置ずれな
どにより所望のパタ−ン形状よりもずれて印刷されるな
どの不具合が生じる。
As electronic components have become larger and smaller, the lead spacing has been reduced to 0.3 mm or less, and the solder paste pattern spacing has been made finer even in the pre-mounting process. It has become necessary to form them. As a means for forming a solder pattern on a substrate, there is a printing machine that opens a desired pattern on a printing mask and prints a solder paste on the substrate through the printing mask. Due to the processing accuracy of the opening of the mask, the solder paste remains in the opening, and the amount of solder paste on the substrate decreases, and the desired pattern is generated due to misalignment between the substrate and the printing mask during printing. -Defects such as misaligned printing are generated.

【0016】そのために、基板上に形成したはんだパタ
−ンが基準パタ−ン長さよりも短いと基板認識カメラが
認識する要因が、基板の反りによるものか印刷時のかす
れによるものか区別することができず、印刷時のかすれ
が主要因であるにもかかわらず基板に反りが生じている
と誤認識することがある。従って、誤認識した基板の傾
きに装着ヘッドの傾きを合わせるため、該装着ヘッドの
傾きが基板の実際の傾きよりも過大になりはんだパタ−
ンからずれた状態で電子部品のリ−ドが接触する不具合
が生じることがある。
Therefore, it is necessary to distinguish whether the factor that the board recognition camera recognizes that the solder pattern formed on the board is shorter than the reference pattern length is due to the warp of the board or the blur at the time of printing. However, there is a case where the substrate is erroneously recognized as being warped although the main cause is a blur at the time of printing. Therefore, since the inclination of the mounting head is matched with the inclination of the board that is erroneously recognized, the inclination of the mounting head becomes larger than the actual inclination of the board, and the solder pattern
There may be a problem that the leads of the electronic components come into contact with each other in a state where the leads are displaced from each other.

【0017】また、装着ヘッドに保持された電子部品は
誤認識に基づいた基板の傾きに合わせられているため、
該電子部品のリ−ドが基板上に衝突してはんだペ−スト
を崩しパタ−ン同士が接触する、いわゆるブリッジが発
生したり、これとは逆に電子部品のリ−ドの一辺がはん
だペ−ストに接触していても他辺が接触していない、い
わゆるリ−ドの浮きが発生する不具合が生じることもあ
る。
Further, since the electronic parts held by the mounting head are aligned with the inclination of the board based on the erroneous recognition,
The lead of the electronic component collides with the substrate to break the solder paste and the patterns come into contact with each other, so-called bridge occurs, or conversely, one side of the lead of the electronic component is soldered. There may be a problem that the other side is not in contact with the paste but the so-called lead float occurs.

【0018】さらに、はんだペ−ストの粒子の凹凸やは
んだパタ−ンの表面の盛り上がりにより影が生じるた
め、上記基板認識カメラにおけるはんだパタ−ン長さの
認識に誤差が生じ搭載精度が低下することもあった。
Furthermore, since the shadow is generated by the unevenness of the particles of the solder paste and the swelling of the surface of the solder pattern, an error occurs in the recognition of the solder pattern length in the board recognition camera, and the mounting accuracy is lowered. There were things.

【0019】本発明の目的は、上記課題を解決し、基板
上に電子部品を高精度に搭載することができる電子部品
搭載機を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above problems and provide an electronic component mounting machine capable of mounting electronic components on a substrate with high accuracy.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明の電子部品搭載機
の特徴とするところは、電子部品を搭載すべき基板の所
望個所に対して、交差する線形状の光を照射する光発生
器と、認識カメラで捕えた該基板上での前記光の反射光
の交差角度を計測することによって該基板の所望箇所の
傾きを計測する光学式計測手段と、該基板の所望個所の
傾きに応じて前記搭載ノズルに保持した電子部品の姿勢
を調整する姿勢調整手段とを備えたことにある。
The electronic component mounting machine of the present invention is characterized by a light generator for irradiating a desired portion of a substrate on which electronic components are mounted with a linear light beam intersecting with each other. , Optical measuring means for measuring the inclination of the desired portion of the substrate by measuring the crossing angle of the reflected light of the light on the substrate captured by the recognition camera, and according to the inclination of the desired portion of the substrate Attitude adjustment means for adjusting the attitude of the electronic component held by the mounting nozzle.

【0021】[0021]

【作用】本発明によれば、光発生器から基板の所望個所
に対して交差する線形状の光を照射し認識カメラが基板
上での上記光の反射光を交差する線形状で認識するが、
基板に傾きが生じている場合、該認識カメラが認識する
線形状の光の交差角度と照射した線形状の光の交差角度
を一致しないため、照射した線形状の光の交差角度に対
する認識した線形状の光の交差角度の差を計測すること
によって基板の傾きを認識することができる。すなわ
ち、電子部品を搭載すべき基板の所望個所の傾きを計測
し、該計測結果に基づき搭載ノズルに保持した電子部品
の基板に対する姿勢を調整することができるため、該搭
載ノズルに保持した電子部品の各辺のリ−ドの下降距離
が該基板に対して均一となり押圧むらが生じない。従っ
て、はんだのブリッジやリ−ドの浮きなどが発生せず高
精度に搭載することができる。
According to the present invention, the light generator irradiates a desired position on the substrate with a line of light intersecting with it, and the recognition camera recognizes the reflected light of the light on the substrate with the line of crossing. ,
When the substrate is tilted, the crossing angle of the linear light recognized by the recognition camera does not match the crossing angle of the irradiated linear light, and thus the recognized line with respect to the crossing angle of the irradiated linear light is recognized. The inclination of the substrate can be recognized by measuring the difference in the crossing angle of the light beams. That is, it is possible to measure the inclination of the desired portion of the board on which the electronic component is to be mounted and adjust the attitude of the electronic component held by the mounting nozzle with respect to the substrate based on the measurement result. The descending distance of the leads on each side is uniform with respect to the substrate, and uneven pressure does not occur. Therefore, the solder can be mounted with high accuracy without causing a bridge or lead floating.

【0022】[0022]

【実施例】図1から図5において、本発明の一実施例を
説明する。なお、従来例と同一部分には同一符号を付け
説明を省略する。本実施例は、交差する線形状の光を照
射する光発生器として可視フラットレ−ザ発生器を備
え、搭載ノズルに保持した電子部品の基板に対する姿勢
を調整する手段として搭載ノズルに球面静圧軸受を備
え、更に部品供給部に可動テ−ブル及びテ−ブル可変機
構を設けたものである。
1 to 5, one embodiment of the present invention will be described. The same parts as those of the conventional example are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. In the present embodiment, a visible flat laser generator is provided as a light generator for radiating intersecting linear light, and a spherical static pressure bearing is mounted on the mounting nozzle as means for adjusting the attitude of the electronic component held by the mounting nozzle with respect to the substrate. In addition, a movable table and a variable table mechanism are provided in the component supply section.

【0023】図1に本発明の実施例における搭載機の部
品供給部及び搭載部の要部を示し構成を説明する。部品
供給部には、可動テ−ブル31及びテ−ブル可変機構3
2を設けるとともに、トレ−33に収納された電子部品
1を可動テ−ブル31上に載置する移載手段を設けてい
る。該移載手段は、電子部品1を吸着(保持)する吸着
ノズル34,吸着ノズル34をθ軸方向に回転させるモ
−タ35,吸着ノズル34を保持するガイド36,ガイ
ド36を上下動させるボ−ルねじ37及びボ−ルねじ3
7の先端に設けたモ−タ38,ガイド36をY軸方向に
駆動させるボ−ルねじ39及びボ−ルねじ39の先端に
設けたモ−タ40,ガイド36をX軸方向に駆動させる
ボ−ルねじ41及びボ−ルねじ41の先端に設けたモ−
タ42により構成される。
FIG. 1 shows the essential parts of the component supply section and the mounting section of the mounting machine according to the embodiment of the present invention, and the configuration will be described. The parts supply section includes a movable table 31 and a table variable mechanism 3
2 is provided, and transfer means for placing the electronic component 1 housed in the tray 33 on the movable table 31 is provided. The transfer means includes a suction nozzle 34 for sucking (holding) the electronic component 1, a motor 35 for rotating the suction nozzle 34 in the θ-axis direction, a guide 36 for holding the suction nozzle 34, and a button for vertically moving the guide 36. -Roll screw 37 and ball screw 3
7 is a ball screw 39 for driving the motor 38 and the guide 36 provided at the tip of the ball guide 7 in the Y-axis direction, and a motor 40 and a guide 36 provided at the tip of the ball screw 39 are driven in the X-axis direction. The ball screw 41 and a mole installed at the tip of the ball screw 41.
It is configured by the data 42.

【0024】制御装置(図示せず)から前記モ−タ42
を回転する指令が出ることにより該モ−タ42に接続さ
れたボ−ルねじ41が回転し、ボ−ルねじ41に設けた
ガイド43がX軸方向に移動することによってガイド3
6に保持された前記吸着ノズル34がX軸方向に移動す
る。同様に、前記モ−タ40の回転によりボ−ルねじ3
9が回転しガイド36はY軸方向に移動し、トレ−33
内の電子部品1上部にガイド36に保持された前記吸着
ノズル34が到達する。前記吸着ノズル34は、ガイド
43上部に設けたモ−タ38の回転により上下動し、上
記制御装置(図示せず)が真空ポンプ(図示せず)を動
作させる指令を出し電子部品1を吸着する。前記吸着ノ
ズル34上部に設けたモ−タ35の動作によりトレ−3
3内の電子部品1はθ方向(Z軸方向に対する水平回
転)に回転し、CCDカメラ30で認識され基板4上の
搭載すべき所望箇所に搭載される姿勢に調整し可動テ−
ブル31上に載置する。
From the controller (not shown), the motor 42
The ball screw 41 connected to the motor 42 is rotated by a command to rotate the motor 42, and the guide 43 provided on the ball screw 41 is moved in the X-axis direction to guide the guide 3.
The suction nozzle 34 held by 6 moves in the X-axis direction. Similarly, the ball screw 3 is rotated by the rotation of the motor 40.
9 rotates, the guide 36 moves in the Y-axis direction, and the tray 33
The suction nozzle 34 held by the guide 36 reaches the upper part of the electronic component 1 inside. The suction nozzle 34 is moved up and down by the rotation of a motor 38 provided on the upper portion of the guide 43, and the controller (not shown) issues a command to operate a vacuum pump (not shown) to suck the electronic component 1. To do. By the operation of the motor 35 provided above the suction nozzle 34, the tray-3
The electronic component 1 in 3 rotates in the θ direction (horizontal rotation with respect to the Z-axis direction), is recognized by the CCD camera 30, is adjusted to a posture to be mounted at a desired position on the substrate 4, and is movable.
Place it on the bull 31.

【0025】可動テ−ブル31は、テ−ブル可変機構3
2に設けたモ−タ44を動作させることにより、モ−タ
44に接続されたボ−ルねじ45が回転しボ−ルねじ4
5に設けたア−ム46が上下動し可動テ−ブル31の傾
きが変化する。
The movable table 31 is a table variable mechanism 3
By operating the motor 44 provided in FIG. 2, the ball screw 45 connected to the motor 44 is rotated and the ball screw 4 is rotated.
The arm 46 provided at 5 moves up and down to change the inclination of the movable table 31.

【0026】部品搭載部は、電子部品1を吸着(保持)
するノズル部50及び該ノズル部50をZ軸方向に駆動
するZ軸駆動機構からなり、ガイド27を介してX軸駆
動機構(図示せず)及びY軸駆動機構(図示せず)に接
続されている。X軸及びY軸駆動機構については、図6
及び図7に示す従来例と同様なため説明を省略する。
The component mounting portion sucks (holds) the electronic component 1.
And a Z-axis drive mechanism that drives the nozzle section 50 in the Z-axis direction, and is connected to an X-axis drive mechanism (not shown) and a Y-axis drive mechanism (not shown) via a guide 27. ing. For the X-axis and Y-axis drive mechanisms, see FIG.
Also, since it is similar to the conventional example shown in FIG. 7, description thereof will be omitted.

【0027】ノズル部50は、シャフト12,シャフト
12の先端に設けたノズルホルダ−51,ノズルホルダ
−51により取り付けた球面静圧軸受52,球面静圧軸
受52により保持された吸着ノズル5等から構成されて
おり、ノズル部50の上部には、カップリング17を介
してモ−タ18が接続されている。
The nozzle portion 50 includes a shaft 12, a nozzle holder 51 provided at the tip of the shaft 12, a spherical static pressure bearing 52 mounted by the nozzle holder 51, an adsorption nozzle 5 held by the spherical static pressure bearing 52, and the like. A motor 18 is connected to the upper portion of the nozzle portion 50 via a coupling 17.

【0028】ノズル部50を保持するガイド27には、
基板4上面に対し斜め上部からラインレ−ザ光61,6
2を照射する可視ラインレ−ザ発生器63,64を設
け、ラインレ−ザ光61,62の基板4上部の反射光を
認識するCCDカメラ65を設けている。
The guide 27 for holding the nozzle section 50 includes:
The line laser light 61, 6 is obliquely above the substrate 4 from the upper side.
The visible line laser generators 63 and 64 for irradiating 2 are provided, and the CCD camera 65 for recognizing the reflected light of the line laser lights 61 and 62 on the upper portion of the substrate 4 is provided.

【0029】本発明における光学測定の原理を図2及び
図3に示し詳細に説明する。図2は基板上面の搭載個所
の横断面図、図3は基板上面の搭載個所を示す上面図で
ある。発生器、例えば、アプライド企画社製のスティッ
クラインマ−カヘッド(型式STK−L)のような発生
器から照射するレ−ザ光の基板上での反射光は、認識カ
メラにより線形状で認識することができる。ガイド27
(図1)に保持した可視ラインレ−ザ発生器63がライ
ンレ−ザ光61を所定の角度θで基板4上面に対して照
射し、可視ラインレ−ザ発生器64がラインレ−ザ光6
2を所定の角度θで照射するとして、基板4上面におい
てCCDカメラ65で認識した画像は、図3に示すよう
なものとなる。ラインレ−ザ光61,62の反射光は、
図3において、基準線71及び基準線72として示すこ
とができる。
The principle of optical measurement in the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is a cross-sectional view of the mounting portion on the upper surface of the substrate, and FIG. 3 is a top view showing the mounting portion on the upper surface of the substrate. The reflected light on the substrate of the laser light emitted from the generator such as a stick line marker head (model STK-L) manufactured by Applied Planning Co., Ltd. is recognized in a linear shape by a recognition camera. be able to. Guide 27
The visible line laser generator 63 held in FIG. 1 irradiates the line laser light 61 onto the upper surface of the substrate 4 at a predetermined angle θ, and the visible line laser generator 64 causes the line laser light 6 to illuminate.
2 is irradiated at a predetermined angle θ, the image recognized by the CCD camera 65 on the upper surface of the substrate 4 is as shown in FIG. The reflected light of the line laser lights 61 and 62 is
In FIG. 3, it can be shown as a reference line 71 and a reference line 72.

【0030】ここでは説明の都合上、基板4上面が平坦
な場合に基準線71及び基準線72の交差角度を直交す
るように、該可視ラインレ−ザ発生器63,64の上記
ガイド27への固定位置を調整し基板基準位置を決定す
る。
Here, for convenience of description, the visible line laser generators 63 and 64 are guided to the guide 27 so that the intersecting angles of the reference line 71 and the reference line 72 are orthogonal to each other when the upper surface of the substrate 4 is flat. Adjust the fixed position to determine the substrate reference position.

【0031】可視ラインレ−ザ発生器63からの照射角
度θを45°とすると、基板上の部品搭載箇所が基板基
準位置に対してX軸方向つまりY軸回りに△Z高くなっ
ている(+△Zx)場合、照射されたラインレ−ザ光6
1の基板4上面での反射光は基準線71に対して+△Z
x(図面上右側)に移動した位置となり、△Zx低くな
っている(−△Zx)場合には、基準線71に対して−
△Zx(図面上左側)に移動した位置、すなわち、実線
73としてCCDカメラ65は認識する。該CCDカメ
ラ65が認識した実線73を制御装置20において直線
近似したものが直線74である。
When the irradiation angle θ from the visible line laser generator 63 is 45 °, the component mounting position on the board is ΔZ higher than the board reference position in the X-axis direction, that is, around the Y-axis (+). ΔZx), the irradiated line laser light 6
The reflected light on the upper surface of the substrate 4 of No. 1 is + ΔZ with respect to the reference line 71.
When the position is moved to x (right side in the drawing) and ΔZx is lowered (−ΔZx), − with respect to the reference line 71.
The CCD camera 65 recognizes the position moved to ΔZx (the left side in the drawing), that is, the solid line 73. A straight line 74 is obtained by linearly approximating the solid line 73 recognized by the CCD camera 65 in the control device 20.

【0032】Y軸方向つまりX軸回りについても同様
に、可視ラインレ−ザ発生器64から照射角度θを45
°とすると、Y軸方向つまりX軸回りに高くなっている
場合は照射されたラインレ−ザ光62は、基準線72に
対して図面上上側に移動し、Y軸方向つまりX軸回りに
低くなっている場合は基準線72に対して図面上下側に
移動した位置、すなわち、実線75として上記CCDカ
メラ65は認識する。CCDカメラ65が認識した実線
75を制御装置20において直線近似したものが直線7
6である。
Similarly in the Y-axis direction, that is, around the X-axis, the irradiation angle θ from the visible line laser generator 64 is 45.
If the angle is °, the irradiated line laser light 62 moves upward in the drawing with respect to the reference line 72 when it is high in the Y-axis direction, that is, around the X-axis, and is low in the Y-axis direction, that is, around the X-axis. If it is, the CCD camera 65 recognizes it as a position moved up and down with respect to the reference line 72, that is, a solid line 75. A straight line 7 obtained by linearly approximating the solid line 75 recognized by the CCD camera 65 in the control device 20 is the straight line 7.
It is 6.

【0033】上述したように、可視ラインレ−ザ発生器
63,64の照射角度を45゜とすると、実線73上の
任意点から基準線71に対し垂線を降ろした場合、該垂
線の長さが任意点における基板4の基準位置に対する高
さとなる。すなわち、実線73の基準線71に対するX
Y平面上の偏差θxを基板4のX軸まわりの傾斜角度と
して置き換えることができる。同様に、実線76の基準
線72に対するXY平面上の偏差θyは、基板4のY軸
まわりの傾斜角度として置き換えることができる。説明
の都合上、偏差θx及び偏差θyを置き換えた値を角度
θx1及び角度θy1とする。
As described above, when the irradiation angle of the visible line laser generators 63 and 64 is 45 °, when a perpendicular line is drawn from the arbitrary point on the solid line 73 to the reference line 71, the length of the perpendicular line is reduced. It is the height with respect to the reference position of the substrate 4 at an arbitrary point. That is, X of the solid line 73 with respect to the reference line 71
The deviation θx on the Y plane can be replaced with the inclination angle of the substrate 4 around the X axis. Similarly, the deviation θy of the solid line 76 with respect to the reference line 72 on the XY plane can be replaced with the inclination angle of the substrate 4 around the Y axis. For convenience of description, the values obtained by replacing the deviation θx and the deviation θy are set as the angle θx1 and the angle θy1.

【0034】基板4の搭載箇所中心の高さ(Z軸方向の
絶対位置)は交点A(基準線71と基準線72との交
点)に対する交点B(直線74と直線76との交点)の
距離として、つまり高さ△Zとして計測できる。
The height (absolute position in the Z-axis direction) of the mounting position of the substrate 4 is the distance of the intersection B (the intersection of the straight line 74 and the straight line 76) with respect to the intersection A (the intersection of the reference line 71 and the reference line 72). , That is, the height ΔZ can be measured.

【0035】上述した基板4の傾きを示す角度θx1,
角度θy1及び搭載箇所中心の高さ(Z軸方向の絶対位
置)を示す高さ△Zを基板傾きデ−タとして制御装置2
0に格納する。同時にCCDカメラ65は、基板4上に
形成された位置決めマ−ク81あるいははんだパタ−ン
3を認識し、基板面の搭載位置デ−タを制御装置20に
格納する。
The angle θx1, which indicates the inclination of the substrate 4 described above.
The controller 2 using the angle Δy1 and the height ΔZ indicating the height of the mounting point center (absolute position in the Z-axis direction) as the substrate tilt data.
Store in 0. At the same time, the CCD camera 65 recognizes the positioning mark 81 or the solder pattern 3 formed on the substrate 4 and stores the mounting position data on the substrate surface in the controller 20.

【0036】以上述べたような計測を可動テ−ブル31
上面についても行い、可動テ−ブル31のテ−ブル面傾
き及び高さ(Z軸方向の絶対位置)をテ−ブル傾きデ−
タとして制御装置20に格納する。なお説明の都合上、
可動テ−ブル31のテ−ブル面の傾きを角度θx2,角
度θy2、テ−ブル面高さ(Z軸方向の絶対位置)を高
さ△Z2として示す。
The above-described measurement is performed on the movable table 31.
The upper surface of the movable table 31 is also tilted and the height (absolute position in the Z-axis direction) of the movable table 31 is tilted.
It is stored in the control device 20 as a data. For convenience of explanation,
The inclination of the table surface of the movable table 31 is shown as an angle θx2, the angle θy2, and the table surface height (absolute position in the Z-axis direction) is shown as a height ΔZ2.

【0037】前記制御装置20は前記基板傾きデ−タ
(角度θx1,角度θy1,高さ△Zと前記テ−ブル傾
きデ−タ(角度θx2,角度θy2,高さ△Z2)とを
比較演算し、可動テ−ブル31の変化量を補正値(角度
θx補正量,角度θy補正量,高さ△Z補正量)として
求める。
The control device 20 compares the substrate tilt data (angle θx1, angle θy1, height ΔZ) with the table tilt data (angle θx2, angle θy2, height ΔZ2). Then, the change amount of the movable table 31 is obtained as a correction value (angle θx correction amount, angle θy correction amount, height ΔZ correction amount).

【0038】可変テ−ブル31及びテ−ブル可変機構3
2の要部を示す図5を参照し以下説明する。上記補正値
(角度θx補正量,角度θy補正量,高さ△Z補正量)
に基づいて制御装置20はテ−ブル可変機構32に設け
たモ−タ44a,44bの回転数を決定する。基板4が
X軸方向つまりY軸回りにのみ傾いているとすると、該
モ−タ44aの動作によりガイド45aが支持するボ−
ルねじ46aが回転し、該ボ−ルねじ46aに設けたア
−ム47aが上昇し、該ア−ム47aに設けた該可動テ
−ブル31を支持するプッシャロッド48aを押し上げ
る。同様に、制御装置20により回転数が決定したモ−
タ44bの動作によりガイド45bが支持する、ボ−ル
ねじ46bが回転し、該ボ−ルねじ46bに設けたア−
ム47bが下降し該ア−ム47bに設けた該可動テ−ブ
ル31を支持するプッシャロッド48bを押し下げる。
制御装置20が上記補正値に基づいてテ−ブル可変機構
32を動作させる指令を出すことにより可動テ−ブル3
1の傾きが基板4の傾きと一致する。
Variable table 31 and table variable mechanism 3
2 will be described below with reference to FIG. The above correction values (angle θx correction amount, angle θy correction amount, height ΔZ correction amount)
Based on the above, the controller 20 determines the rotation speeds of the motors 44a and 44b provided in the table variable mechanism 32. If the substrate 4 is tilted only in the X-axis direction, that is, around the Y-axis, the movement of the motor 44a causes the guide 45a to support the boat.
The ball screw 46a rotates, the arm 47a provided on the ball screw 46a rises, and the pusher rod 48a supporting the movable table 31 provided on the arm 47a is pushed up. Similarly, the motor whose rotation speed is determined by the control device 20 is selected.
The ball screw 46b supported by the guide 45b is rotated by the operation of the rotor 44b, and the ball screw 46b is provided with an ball screw 46b.
The arm 47b descends and pushes down the pusher rod 48b which supports the movable table 31 provided on the arm 47b.
The control table 20 issues a command to operate the table variable mechanism 32 based on the above correction value, so that the movable table 3 is moved.
The inclination of 1 matches the inclination of the substrate 4.

【0039】以上述べたように、基板4上の電子部品1
を搭載する所望箇所の傾きと可動テ−ブル31の傾きと
が一致するため、基板上部への搭載姿勢と同様に可動テ
−ブル31上に移載手段(図示せず)により載置された
電子部品1の姿勢は、基板の傾きと同一となる。
As described above, the electronic component 1 on the substrate 4
Since the tilt of the movable table 31 and the tilt of the desired position for mounting the same are the same, the movable table 31 is mounted on the movable table 31 by a transfer means (not shown) similarly to the mounting position on the upper part of the substrate. The attitude of the electronic component 1 is the same as the inclination of the substrate.

【0040】なお、連続して電子部品の搭載を行う場合
には、可動テ−ブル31の傾きの測定を毎回行わず、初
回の測定で得られたテ−ブル傾きデ−タに合致するよう
にモ−タ44a,44bを回転させる指令を制御装置2
0が出し、可動テ−ブル31の傾きを基板4上の所望箇
所の傾きの計測中にあらかじめ校正してもよい。つま
り、常に初回の測定で得られたテ−ブル傾きデ−タを基
板傾きデ−タと比較演算し可動テ−ブル31の変化量を
求めてもよい。
When electronic components are continuously mounted, the inclination of the movable table 31 is not measured every time, and the inclination of the movable table 31 is measured so as to match the table inclination data. A command for rotating the motors 44a and 44b is sent to the controller 2
0 may be output, and the inclination of the movable table 31 may be calibrated in advance while measuring the inclination of a desired portion on the substrate 4. That is, the amount of change in the movable table 31 may be calculated by always comparing the table tilt data obtained in the first measurement with the substrate tilt data.

【0041】また、可動テ−ブル31上に電子部品1を
載置した状態で可動テ−ブル31の傾きを計測する場合
は、載置した電子部品1の外部を計測し、電子部品1を
吸着する吸着位置との距離により高さ△Z補正量に対し
更に補正をかけて可動テ−ブル31の高さを変化させて
もよい。ここでは説明の都合上、高さ△Z補正量を0と
して搭載ノズル5の下降距離を基板4上面に対しても可
動テ−ブル31上面に対しても同一の所定距離(距離H
−高さ△Z)とする。
When the tilt of the movable table 31 is measured with the electronic component 1 mounted on the movable table 31, the outside of the mounted electronic component 1 is measured and the electronic component 1 is mounted on the movable table 31. The height ΔZ correction amount may be further corrected according to the distance from the suction position to be sucked to change the height of the movable table 31. Here, for convenience of explanation, the height ΔZ correction amount is set to 0, and the descending distance of the mounting nozzle 5 is the same predetermined distance (distance H to both the upper surface of the substrate 4 and the upper surface of the movable table 31).
-Height ΔZ).

【0042】図4に搭載部50の先端部を示し、可動テ
−ブル31上において基板4の所望箇所の傾きと姿勢が
一致した電子部品1の吸着(保持)について説明する。
FIG. 4 shows the tip of the mounting portion 50, and the suction (holding) of the electronic component 1 in which the inclination and posture of the desired portion of the substrate 4 on the movable table 31 are the same will be described.

【0043】シャフト12の先端にノズルホルダ−51
により取り付けた球面静圧軸受52は、電子部品1を吸
着していない状態では、該ノズルホルダ−51と該球面
静圧軸受52との間に空間53を有している。また、該
球面静圧軸受52先端に取り付けた吸着ノズル5の内部
に形成された空間54は、該球面静圧軸受52内の空間
を介して上記空間53に開放されている。
A nozzle holder 51 is attached to the tip of the shaft 12.
The spherical static pressure bearing 52 attached by means has a space 53 between the nozzle holder 51 and the spherical static pressure bearing 52 when the electronic component 1 is not adsorbed. A space 54 formed inside the suction nozzle 5 attached to the tip of the spherical static pressure bearing 52 is opened to the space 53 through the space inside the spherical static pressure bearing 52.

【0044】上記ノズル部50が基板傾きデ−タに基づ
き所定の距離(距離H−高さ△Z)を降下し、可動テ−
ブル31上に載置された電子部品1の上部に吸着ノズル
5が接触すると、吸着ノズル5の先端が電子部品1の傾
きに沿って該吸着ノズル5を保持する該球面静圧軸受5
2が回転する。吸着ノズル5の先端が電子部品1の上部
と平行度を保った時点で、制御装置20が真空ポンプ1
5を動作させ前記シャフト12内を連通する連通管14
を介して該空間53を減圧すると、該該球面静圧軸受5
2が回転後の姿勢を保ったままでノズルホルダ−51に
接触し、電子部品1を基板4の傾きと同一の傾きを保っ
た状態で保持する。
The nozzle section 50 descends a predetermined distance (distance H-height ΔZ) based on the substrate tilt data, and the movable table is moved.
When the suction nozzle 5 comes into contact with the upper portion of the electronic component 1 placed on the bull 31, the tip of the suction nozzle 5 holds the suction nozzle 5 along the inclination of the electronic component 1 and the spherical static pressure bearing 5 is held.
2 rotates. When the tip of the suction nozzle 5 maintains the parallelism with the upper part of the electronic component 1, the controller 20 causes the vacuum pump 1 to operate.
Communication pipe 14 for operating 5 to communicate the inside of the shaft 12
When the space 53 is decompressed through the spherical static pressure bearing 5
2 contacts the nozzle holder-51 while maintaining the posture after rotation, and holds the electronic component 1 in a state where the same inclination as the inclination of the substrate 4 is maintained.

【0045】X軸駆動機構(図示せず)及びY軸駆動機
構(図示せず)により基板4上の所望箇所に到達した該
ノズル部50は所定の距離(距離H−基板高さ△Z)を
降下し、該吸着ノズル5に吸着した電子部品1のリ−ド
2が基板4上のはんだペ−スト3に接触する。該ノズル
部50が停止する際に発生する上下方向の振動による衝
撃は該吸着ノズル5の上方に設けたスプリング8により
吸収され、真空ポンプ15の動作を停止する指令が該制
御装置20から出され、吸着を解除し電子部品1の搭載
が終了する。
The nozzle portion 50 which has reached a desired position on the substrate 4 by an X-axis driving mechanism (not shown) and a Y-axis driving mechanism (not shown) has a predetermined distance (distance H-substrate height ΔZ). And the lead 2 of the electronic component 1 sucked by the suction nozzle 5 comes into contact with the solder paste 3 on the substrate 4. The shock caused by the vertical vibration generated when the nozzle portion 50 is stopped is absorbed by the spring 8 provided above the suction nozzle 5, and the controller 20 issues a command to stop the operation of the vacuum pump 15. , The suction is released, and the mounting of the electronic component 1 is completed.

【0046】以上述べたように、電子部品を搭載すべき
基板の所望箇所に対して交差する線形状の光を照射する
光発生器として可視フラットレ−ザ発生器を備え、該基
板上での上記光の反射光を認識カメラが認識し、該認識
カメラが認識した線形状の光の交差角度を計測すること
によって該基板の所望箇所の状態を計測する光学式計測
手段を設けたことにより、はんだパタ−ンの形成精度の
度合いに左右されずに基板の状態を精度良く計測するこ
とができ、該光学式計測手段の計測結果に基づき搭載ノ
ズルに保持した電子部品の基板に対する姿勢を調整する
手段としてテ−ブル可変機構を有する可動テ−ブル及び
球面制圧軸受を用いる吸着ノズルを設けたことにより、
吸着ノズル先端に吸着した電子部品と基板との平行度を
保つことができる。
As described above, a visible flat laser generator is provided as a light generator for irradiating a desired position on a substrate on which electronic parts are to be mounted with a linearly intersecting light beam, and the visible flat laser generator is provided on the substrate. The recognition camera recognizes the reflected light of the light, and the optical measuring means for measuring the state of the desired portion of the board by measuring the crossing angle of the linear light recognized by the recognition camera is used. Means for accurately measuring the state of the substrate without being influenced by the degree of pattern forming accuracy, and adjusting the attitude of the electronic component held by the mounting nozzle with respect to the substrate based on the measurement result of the optical measuring means. By providing a movable table with a variable table mechanism and a suction nozzle using a spherical pressure suppression bearing,
It is possible to maintain the parallelism between the electronic component and the substrate that are attracted to the tip of the suction nozzle.

【0047】更に、基板傾きデ−タの基板高さに基づき
上記吸着ノズルの下降距離を変化することができるた
め、該吸着ノズルに吸着した電子部品の各辺のリ−ドの
下降距離が該基板上に設けたはんだペ−ストに対して均
一となり、該基板上に設けたはんだペ−ストを崩してブ
リッジを発生させることがなく高精度に搭載することが
できる。
Furthermore, since the descending distance of the suction nozzle can be changed based on the substrate height of the substrate inclination data, the descending distance of the lead on each side of the electronic component sucked by the suction nozzle can be changed by the above. It becomes uniform with respect to the solder paste provided on the substrate, and the solder paste provided on the substrate can be mounted with high precision without breaking the solder paste and generating a bridge.

【0048】なお、本実施例において可視フラットレ−
ザ発生器をノズル部とともにX軸及びY軸方向へ駆動す
る構成としているが、個別に駆動する構成としてもよ
い。また、可動テ−ブルへの電子部品の載置は移載手段
ではなくノズル部により行ってもよい。
In this embodiment, a visible flat ray is used.
Although the generator is configured to be driven in the X-axis and Y-axis directions together with the nozzle portion, it may be configured to be driven individually. Further, the electronic parts may be placed on the movable table by the nozzle portion instead of the transfer means.

【0049】[0049]

【発明の効果】本発明によれば、光発生器から基板の所
望個所に対して直交する線形状の光を照射し認識カメラ
が基板上での上記光の反射光を交差する線形状で認識す
るが、基板に傾きが生じている場合、該認識カメラが認
識する線形状の光の交差角度は照射した線形状の光の交
差角度と一致しないため、照射した線形状の光の交差角
度に対する認識した線形状の光の交差角度の差を計測す
ることによって基板の傾きを認識することができる。す
なわち、電子部品を搭載すべき基板の所望個所の傾きを
計測し、該計測結果に基づき搭載ノズルに保持した電子
部品の基板に対する姿勢を調整することができるため、
該搭載ノズルに保持した電子部品の各辺のリ−ドの下降
距離が該基板に対して均一となり押圧むらが生じない。
従って、はんだのブリッジやリ−ドの浮きなどが発生せ
ず高精度に搭載することができる。
According to the present invention, a light generator irradiates a desired position on a substrate with a linear light beam and a recognition camera recognizes the reflected light beam on the substrate with a crossing light beam. However, when the substrate is tilted, the intersecting angle of the linear light recognized by the recognition camera does not match the intersecting angle of the irradiated linear light. The inclination of the substrate can be recognized by measuring the difference in the crossing angle of the recognized linear light. That is, it is possible to measure the inclination of a desired portion of the board on which the electronic component is to be mounted, and to adjust the attitude of the electronic component held by the mounting nozzle with respect to the board based on the measurement result.
The descending distance of the lead on each side of the electronic component held by the mounting nozzle is uniform with respect to the substrate, and uneven pressure does not occur.
Therefore, the solder can be mounted with high accuracy without causing a bridge or lead floating.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明搭載機の一実施例における部品供給部及
び搭載要部を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a component supply unit and a mounting main part in an embodiment of a mounting machine of the present invention.

【図2】図1に示す実施例における基板上面の搭載箇所
の横断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a mounting portion on the upper surface of the substrate in the embodiment shown in FIG.

【図3】図1に示す実施例における基板上面の搭載箇所
の上面図である。
FIG. 3 is a top view of a mounting portion on the upper surface of the substrate in the embodiment shown in FIG.

【図4】図1に示す実施例における可動テ−ブル及びテ
−ブル可変機構の細部を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing details of a movable table and a table variable mechanism in the embodiment shown in FIG.

【図5】図1に示す実施例における搭載要部の先端部を
示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a leading end portion of a mounting main part in the embodiment shown in FIG.

【図6】従来の搭載機の全体構成の概略を示す図であ
る。
FIG. 6 is a diagram showing an outline of an overall configuration of a conventional mounting machine.

【図7】図6に示す従来の搭載機における搭載部を示す
図である。
7 is a diagram showing a mounting portion in the conventional mounting machine shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…電子部品 2…リ−ド
3…はんだペ−スト 4…基板 5…吸着ノズル
6…EL支持板 7…EL照明板 8…スプリング 1
0…ノズル部 11…ノズルホルダ 12…シャフト
13…電磁弁 14…連通管 15…真空ポンプ
17…カップリング 18…モ−タ 19…ベ−ス
21…リニアガイド 23…ナット 24…ボ−ルねじ
25…カップリング 26…モ−タ 27…架台
29…空間 30…CCDカメラ 31…可動テ−ブル 32…テ−ブル可変機構 33…トレ−
34…吸着ノズル 35,38,40,42,44,44a,44b………
………モ−タ 36,43,45a,45b………………………………
………ガイド 37,39,41,46,46a,46b………………
………ボ−ルねじ 47,47a,47b………………………………………
………ア−ム 48a,48b…プッシャロッド
50…ノズル部 51…ノズルホルダ− 52…球面静圧
軸受 53,54…空間 61,62…ラ
インレ−ザ光 63,64…可視ラインレ−ザ発生器 65…CCDカ
メラ 71,72…基準線 73,75…実線
74,76…直線 100…架台 106…リ−ル 107…テ−プフィ−ダ
108…トレ− 1001…ボ−ルねじ 1002…モ−タ
1003…レ−ル 1031…ベ−ス 1032…ボ−ルねじ
1033…モ−タ
1 ... Electronic component 2 ... Lead
3 ... Solder paste 4 ... Substrate 5 ... Suction nozzle
6 ... EL support plate 7 ... EL illumination plate 8 ... Spring 1
0 ... Nozzle part 11 ... Nozzle holder 12 ... Shaft
13 ... Solenoid valve 14 ... Communication pipe 15 ... Vacuum pump
17 ... Coupling 18 ... Motor 19 ... Base
21 ... Linear guide 23 ... Nut 24 ... Ball screw
25 ... Coupling 26 ... Motor 27 ... Stand
29 ... Space 30 ... CCD camera 31 ... Movable table 32 ... Table variable mechanism 33 ... Tray
34 ... Adsorption nozzles 35, 38, 40, 42, 44, 44a, 44b ...
……… Motors 36, 43, 45a, 45b ……………………………………
……… Guides 37, 39, 41, 46, 46a, 46b ………………
……… Ball screw 47, 47a, 47b ……………………………………………
……… Arms 48a, 48b… Pusher rod
50 ... Nozzle part 51 ... Nozzle holder-52 ... Spherical hydrostatic bearing 53, 54 ... Space 61, 62 ... Line laser light 63, 64 ... Visible line laser generator 65 ... CCD camera 71, 72 ... Reference line 73, 75 ... solid line
74, 76 ... Straight line 100 ... Stand 106 ... Reel 107 ... Tape feeder
108 ... Tray 1001 ... Ball screw 1002 ... Motor
1003 ... Rail 1031 ... Base 1032 ... Ball screw
1033 ... Motor

フロントページの続き (72)発明者 斉藤 忠之 茨城県竜ケ崎市向陽台5丁目2番 日立テ クノエンジニアリング株式会社開発研究所 内Front page continuation (72) Inventor Tadayuki Saito 5-2 Koyodai, Ryugasaki-shi, Ibaraki Hitachi Techno Engineering Co., Ltd.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】電子部品を保持した搭載ノズルを基板面上
に駆動し、前記保持を解除することによって前記基板上
に該電子部品を搭載するものにおいて、 前記電子部品を搭載すべき前記基板の所望個所に対し
て、交差する線形状の光を照射する光発生器と、 認識カメラで捕えた該基板上での前記光の反射光の交差
角度を計測することによって該基板の所望箇所の傾きを
計測する光学式計測手段と、 該基板の所望個所の傾きに応じて前記搭載ノズルに保持
した電子部品の姿勢を調整する姿勢調整手段とを備え、 基板の所望個所に電子部品を搭載することを特徴とする
電子部品搭載機。
1. An electronic component is mounted on the substrate by driving a mounting nozzle holding the electronic component onto the surface of the substrate and releasing the holding, wherein the substrate on which the electronic component is mounted is mounted. A light generator that irradiates a desired position with intersecting linear light, and the inclination angle of the desired position of the substrate by measuring the intersecting angle of the reflected light of the light on the substrate captured by a recognition camera. And an attitude adjusting means for adjusting the attitude of the electronic part held by the mounting nozzle according to the inclination of the desired part of the board, and mounting the electronic part on the desired part of the board. A machine equipped with electronic parts.
【請求項2】請求項1記載の電子部品搭載機が、前記電
子部品を可動テ−ブル上に載置する移載手段を備え、 前記光学式計測手段は、前記基板の傾きを示す角度及び
搭載箇所中心の高さを基板傾きデ−タとして計測し、前
記可動テ−ブルのテ−ブル面傾き及び高さをテ−ブル傾
きデ−タとして計測し、 前記姿勢調整手段は、前記基板の傾きデ−タと前記テ−
ブル傾きデ−タとを比較演算し、前記可動テ−ブルの変
化量を補正値として求める、ことを特徴とする電子部品
搭載機。
2. The electronic component mounting machine according to claim 1, further comprising a transfer means for mounting the electronic component on a movable table, wherein the optical measuring means has an angle indicating an inclination of the substrate and The height at the center of the mounting location is measured as the board tilt data, the table surface tilt and the height of the movable table are measured as the table tilt data, and the attitude adjusting means is configured to move the board. Tilt data and the
An electronic component mounting machine, characterized in that the amount of change in the movable table is obtained as a correction value by performing a comparison calculation with the bull tilt data.
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