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JPH08309523A - Method for mounting metallic ball - Google Patents

Method for mounting metallic ball

Info

Publication number
JPH08309523A
JPH08309523A JP7112893A JP11289395A JPH08309523A JP H08309523 A JPH08309523 A JP H08309523A JP 7112893 A JP7112893 A JP 7112893A JP 11289395 A JP11289395 A JP 11289395A JP H08309523 A JPH08309523 A JP H08309523A
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JP
Japan
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metal ball
adhesive sheet
electrode
mask
mounting
Prior art date
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Application number
JP7112893A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3271472B2 (en
Inventor
Tadahiko Sakai
忠彦 境
Teruaki Nishinaka
輝明 西中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP11289395A priority Critical patent/JP3271472B2/en
Publication of JPH08309523A publication Critical patent/JPH08309523A/en
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Publication of JP3271472B2 publication Critical patent/JP3271472B2/en
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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    • H01L2224/11Manufacturing methods
    • H01L2224/11001Involving a temporary auxiliary member not forming part of the manufacturing apparatus, e.g. removable or sacrificial coating, film or substrate
    • H01L2224/11003Involving a temporary auxiliary member not forming part of the manufacturing apparatus, e.g. removable or sacrificial coating, film or substrate for holding or transferring the bump preform
    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/1133Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector in solid form
    • H01L2224/11334Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector in solid form using preformed bumps
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3478Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Automatic Assembly (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide a metallic ball mounting method capable of smoothly transferring even a fine metallic ball to an electrode. CONSTITUTION: A metallic ball 19 is mounted on an electrode 4 of a base plate 3 with a step to adhere the metallic ball 19 onto the adhesive face of an adhesive sheet 23 exposed through plural numbers of positioning holes (through-hole) formed on a mask 33, a step to allign the metallic ball 19 to the electrode 4 of the base plate 3, and a step to strip the adhesive sheet from the mask 33.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、金属ボールを用いた金
属ボールの搭載方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal ball mounting method using a metal ball.

【0002】[0002]

【従来の技術】基板やあるいは電子部品の電極に半田の
プリコートあるいはバンプを形成するために、近年直径
1ミリメートル以下の小径の金属ボールとしての半田ボ
ールを用いる工法が実施されるにいたっている。また、
同様に電極に金属ボールとしての金ボールを搭載するこ
ともある。
2. Description of the Related Art In recent years, in order to form a solder precoat or bump on a substrate or an electrode of an electronic component, a method of using a solder ball as a metal ball having a small diameter of 1 mm or less has been implemented. Also,
Similarly, gold balls as metal balls may be mounted on the electrodes.

【0003】ところが、回路構成あるいは電子部品自体
の集積度が向上するに伴い、電極が緻密化し、金属ボー
ル自体の直径が小さくなる傾向にある。このように、金
属ボールが微少化するに伴って、次のような問題点が顕
著になってきている。
However, as the circuit structure or the degree of integration of the electronic components themselves is improved, the electrodes are densified and the diameter of the metal balls themselves tends to become smaller. As described above, as the metal balls are miniaturized, the following problems have become remarkable.

【0004】即ち、金属ボールを電極に移載する具体的
方法として、吸着ヘッドに多数の小さな穴をあけ、この
穴に金属ボールを吸着して転写する技術が一般的であ
る。
That is, as a specific method of transferring the metal balls to the electrodes, a technique is generally used in which a large number of small holes are formed in the suction head and the metal balls are sucked and transferred to the holes.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この技
術によると、上述したように、金属ボールが微少化する
につれ、吸着ヘッドにさらに細かな穴をあける加工が必
要になる。ここで、ドリル等の工具を用いて多数の細か
な穴を精度よくあける加工は、実際のところ非常に難し
く、最近この工法では、金属ボールの微少化に対応でき
なくなっている。
However, according to this technique, as described above, as the metal balls become finer, it becomes necessary to make a further fine hole in the suction head. Here, it is actually very difficult to accurately drill a large number of small holes using a tool such as a drill, and recently, this method cannot cope with the miniaturization of metal balls.

【0006】また細かな穴には、ゴミ等が吸引されてつ
まりやすく、このため吸着ミスが多発して生産性を悪化
させるといった問題があった。そこで本発明は、加工が
難しい吸着ヘッドを使用しないで金属ボールを移載する
ことができる金属ボールの搭載方法を提供することを目
的とする。また本発明は微少な金属ボールであっても、
生産性よく電極に搭載できる金属ボールの搭載方法を提
供することを目的とする。
Further, there is a problem that dust or the like is easily sucked into the small holes, which often causes suction errors to deteriorate productivity. Therefore, an object of the present invention is to provide a metal ball mounting method capable of transferring a metal ball without using a suction head that is difficult to process. In addition, the present invention, even if it is a minute metal ball,
An object of the present invention is to provide a method of mounting a metal ball that can be mounted on an electrode with high productivity.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の金属ボールの搭
載方法は、基板又は電子部品の複数の電極に複数の金属
ボールを搭載する金属ボールの搭載方法であって、マス
クに形成された複数の貫通孔から露呈する粘着シートの
粘着面に金属ボールを接着するステップと、金属ボール
と電極とを位置合わせするステップと、粘着シートをマ
スクから剥離することにより金属ボールをこの電極に搭
載するステップを含む。
A method of mounting a metal ball according to the present invention is a method of mounting a plurality of metal balls on a plurality of electrodes of a substrate or an electronic component. Adhering a metal ball to the adhesive surface of the adhesive sheet exposed from the through hole, aligning the metal ball and the electrode, and mounting the metal ball on this electrode by peeling the adhesive sheet from the mask including.

【0008】[0008]

【作用】マスクの位置決め孔に位置決めされた金属ボー
ルは、この位置決め孔から露呈する粘着シートの粘着面
に接着する。粘着シートに接着した金属ボールは電極に
位置合わせされ、この状態でマスクから粘着シートを剥
離すると、金属ボールは位置決め孔を通過できないので
粘着シートから外れ、電極に搭載される。
The metal ball positioned in the positioning hole of the mask adheres to the adhesive surface of the adhesive sheet exposed through the positioning hole. The metal ball adhered to the adhesive sheet is aligned with the electrode, and when the adhesive sheet is peeled off from the mask in this state, the metal ball cannot pass through the positioning hole, so it is removed from the adhesive sheet and mounted on the electrode.

【0009】[0009]

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施例に
ついて説明する。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.

【0010】図1は本発明の一実施例における金属ボー
ルの搭載装置の正面図である。図1中、1は金属ボール
(本実施例では半田ボール)を流動状態で供給する金属
ボール供給部、2は金属ボール供給部1から離れた位置
に配置される電子部品、3は電子部品2の基板、4は基
板3の表面に形成された電極である。5は電子部品2を
保持するホルダ、6はホルダ5をX方向に移動させるX
テーブル、7はXテーブル6をY方向に移動させるYテ
ーブルである。
FIG. 1 is a front view of a metal ball mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is a metal ball supply part for supplying a metal ball (solder ball in this embodiment) in a fluid state, 2 is an electronic component arranged at a position away from the metal ball supply part 1, and 3 is an electronic component 2. Substrates 4 and 4 are electrodes formed on the surface of the substrate 3. Reference numeral 5 is a holder for holding the electronic component 2, and 6 is X for moving the holder 5 in the X direction.
A table 7 is a Y table for moving the X table 6 in the Y direction.

【0011】また、8は金属ボール供給部1と電子部品
2の上部にわたって回転自在に軸支させる送りネジ、9
は送りネジ8を回転させるモータ、10は送りネジ8に
螺合し、移動テーブル11の上部に連結された送りナッ
トである。12は移動テーブル11に対して昇降可能に
支持される移載部、13は移載部12を昇降させるZモ
ータである。
Reference numeral 8 is a feed screw for rotatably supporting the metal ball supply unit 1 and the upper portion of the electronic component 2 and 9
Is a motor for rotating the feed screw 8, and 10 is a feed nut screwed onto the feed screw 8 and connected to the upper part of the moving table 11. Reference numeral 12 is a transfer unit that is supported to be movable up and down with respect to the moving table 11, and 13 is a Z motor that moves the transfer unit 12 up and down.

【0012】次に図2を参照しながら、金属ボール供給
部1について説明する。金属ボール供給部1は、外筒1
4と、外筒14の上部に内嵌される内筒15とを備え
る。また、17は外筒14の下部に装着される下段メッ
シュ、18は内筒15の下端部に装着される上段メッシ
ュであり、外筒15の下端部には、圧縮空気を吹き出す
吹き出し口16が開口している。そして、多数の金属ボ
ール19が上段メッシュ18上に載置され、吹き出し口
16から圧縮空気が吹き出されることにより、金属ボー
ル19は流動する状態で保持されており、金属ボール1
9は、外部より圧力を受けると比較的自由に内筒15内
を移動することができるようになっている。
Next, the metal ball supply unit 1 will be described with reference to FIG. The metal ball supply unit 1 is an outer cylinder 1
4 and an inner cylinder 15 fitted inside the outer cylinder 14. Further, 17 is a lower mesh attached to the lower part of the outer cylinder 14, 18 is an upper mesh attached to the lower end of the inner cylinder 15, and an outlet 16 for blowing out compressed air is provided at the lower end of the outer cylinder 15. It is open. Then, a large number of metal balls 19 are placed on the upper mesh 18, and compressed air is blown out from the blowout port 16, whereby the metal balls 19 are held in a flowing state.
9 can move in the inner cylinder 15 relatively freely when pressure is applied from the outside.

【0013】次に図3から図5を参照しながら、移載部
12について説明する。図3に示すように、移載部12
の内部には、繰り出しリール20と巻き取りリール21
とが回転自在に軸支され、巻き取りリール21は駆動モ
ータMにより回転力を与えられるようになっている。繰
り出しリール20から巻き取りリール21に向けて下面
側が粘着面となっている粘着シート23が調帯されてい
る。繰り出しリール20は、張力付与機構(図示せず)
に装着されており粘着シート23を繰り出す方向とは逆
方向の力を繰り出しリールに加えることにより粘着シー
ト23に張力付与している。
Next, the transfer section 12 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 3, the transfer section 12
Inside the reel, a pay-out reel 20 and a take-up reel 21
And are rotatably supported, and the take-up reel 21 is given a rotational force by the drive motor M. An adhesive sheet 23 whose lower surface is an adhesive surface is arranged from the delivery reel 20 toward the take-up reel 21. The delivery reel 20 is a tension applying mechanism (not shown).
The tension is applied to the adhesive sheet 23 by applying a force in the direction opposite to the direction of feeding the adhesive sheet 23 to the feeding reel.

【0014】24は移載部12の中央にした向きに固定
されるシリンダであり、そのロッド25の先端部には、
第1アーム27、第2アーム28の基端部が、軸支部2
6により揺動自在に軸支されている。また第1アーム2
7、第2アーム28の先端部には、粘着シート23の上
面側(粘着面の反対側)に周接する第1ローラ30、第
2ローラ31が、それぞれ枢着されている。なお、29
はロッド25と第1アーム27、第2アーム28に設け
られるスプリングであって、スプリング29は常時第1
アーム27、第2アーム28の先端部が閉じる方向にバ
ネ力を作用する。
Reference numeral 24 is a cylinder fixed in the direction of the center of the transfer section 12, and the tip of the rod 25 of the cylinder is
The base end portions of the first arm 27 and the second arm 28 are the shaft support portions 2.
It is pivotally supported by 6. Also, the first arm 2
7. A first roller 30 and a second roller 31, which are in circumferential contact with the upper surface side (opposite side of the adhesive surface) of the adhesive sheet 23, are pivotally attached to the tip end portion of the second arm 28, respectively. 29
Is a spring provided on the rod 25, the first arm 27, and the second arm 28, and the spring 29 is always the first spring.
A spring force acts in a direction in which the tip ends of the arm 27 and the second arm 28 are closed.

【0015】移載部12の下面は、マスク33により閉
鎖されている。マスク33には基板3の電極4の位置に
合わせて位置決め孔(貫通孔)34が開設されている。
マスク33の厚さは、金属ボール19の直径よりも小さ
く、位置決め孔34は金属ボール19がこの位置決め孔
34を通過できない形状でかつ1個の金属ボール19だ
け、この位置決め孔34から露呈する粘着シート23の
粘着面に接着させることができる形状になっている。
The lower surface of the transfer section 12 is closed by a mask 33. Positioning holes (through holes) 34 are formed in the mask 33 in accordance with the positions of the electrodes 4 on the substrate 3.
The thickness of the mask 33 is smaller than the diameter of the metal ball 19, and the positioning hole 34 has a shape such that the metal ball 19 cannot pass through the positioning hole 34 and only one metal ball 19 is exposed from the positioning hole 34. The shape is such that it can be adhered to the adhesive surface of the sheet 23.

【0016】さて、図3に示すように、粘着シート23
を矢印方向に送る際には、シリンダ24のロッド25を
引き込ませて、ロッド25が引き込まれていることによ
り、第1ローラ30、第2ローラ31よりも上方に位置
する。そして、スプリング29のバネ力によって、第1
アーム27、第2アーム28は閉じた状態にあり、第1
ローラ30、第2ローラ31は、近接した状態にある。
つまり、粘着シート23は、マスク33に接触すること
なく、繰り出しリール20から巻き取りリール21に及
ぶ。なお、粘着シート23の粘着面に対面するマスク3
3の上面には、予め離型剤を塗っておく。これにより、
後述するように粘着シート23をマスク33の上面から
剥離する際に、スムーズな動作を行うことができる。
Now, as shown in FIG. 3, the adhesive sheet 23
Is fed in the direction of the arrow, the rod 25 of the cylinder 24 is retracted, and the rod 25 is retracted so that it is positioned above the first roller 30 and the second roller 31. Then, the spring force of the spring 29 causes the first
The arm 27 and the second arm 28 are in the closed state, and
The roller 30 and the second roller 31 are close to each other.
That is, the adhesive sheet 23 extends from the delivery reel 20 to the take-up reel 21 without contacting the mask 33. The mask 3 facing the adhesive surface of the adhesive sheet 23
The upper surface of 3 is coated with a release agent in advance. This allows
As will be described later, when the adhesive sheet 23 is peeled off from the upper surface of the mask 33, a smooth operation can be performed.

【0017】また、粘着シート23をマスク33に押し
つける際には、シリンダ24を駆動してロッド25を突
出させる。これにより、第1ローラ30、第2ローラ3
1に周接している粘着シート23の粘着面がマスク33
の上面に接触する。そして、さらにロッド25を突出さ
せると、スプリング29のバネ力に抗して、第1アーム
27、第2アーム28が押し広げられ、その結果図4に
示すように、第1ローラ30と第2ローラ31との間隔
が広がって、これらのローラ30、31間の粘着シート
23が、マスク33の上面に接触することになる。この
とき、図5に示すように、粘着シート23の下部には位
置決め孔34が位置することになる。
When the adhesive sheet 23 is pressed against the mask 33, the cylinder 24 is driven to cause the rod 25 to project. As a result, the first roller 30 and the second roller 3
1 is the mask 33.
Touch the top surface of. Then, when the rod 25 is further projected, the first arm 27 and the second arm 28 are spread apart against the spring force of the spring 29, and as a result, as shown in FIG. The distance between the roller 31 and the roller 31 increases, and the adhesive sheet 23 between the rollers 30 and 31 comes into contact with the upper surface of the mask 33. At this time, as shown in FIG. 5, the positioning hole 34 is located under the adhesive sheet 23.

【0018】図6を参照しながら、本実施例における金
属ボールの搭載方法の各工程について説明する。
Each step of the method of mounting the metal balls in this embodiment will be described with reference to FIG.

【0019】まずモータ9を駆動して、移載部12を金
属ボール供給部1の上方に移動させ、Zモータ13を駆
動して、移載部12を下降させることにより、金属ボー
ル供給部1内において流動状態にある金属ボール19に
移載部12を接触させる。なお、図5を参照しながら上
述したように、あらかじめロッド25を突出させ、マス
ク33に粘着シート23を接触させておく。すると、図
6(a)に示すように、流動状態になっている金属ボー
ル19のうち、位置決め孔34の付近にあるものが、位
置決め孔34により整列させられながら、粘着シート2
3の粘着面に粘着する。
First, the motor 9 is driven to move the transfer section 12 above the metal ball supply section 1, and the Z motor 13 is driven to lower the transfer section 12 to move the metal ball supply section 1 The transfer part 12 is brought into contact with the metal ball 19 which is in a fluid state inside. As described above with reference to FIG. 5, the rod 25 is projected in advance and the mask 33 is brought into contact with the adhesive sheet 23. Then, as shown in FIG. 6A, among the metal balls 19 in the fluidized state, those in the vicinity of the positioning holes 34 are aligned by the positioning holes 34, and the adhesive sheet 2
Stick to the sticky side of 3.

【0020】次いで、Zモータ13を駆動して移載部1
2を上昇させ、さらにモータ9を駆動して移載部12と
ともに粘着シート23に粘着している金属ボール19を
電子部品2の上方へ移動させる。そして、Zモータ13
を駆動して、移載部12を下降させる。これにより、図
6(b)に示すように、電極4上に金属ボール19を位
置合わせする。なお、図6(b)において、35はあら
かじめ電極4に塗布されているフラックスである。
Next, the Z motor 13 is driven to move the transfer unit 1.
2 is moved up and the motor 9 is driven to move the metal ball 19 adhered to the adhesive sheet 23 together with the transfer section 12 to above the electronic component 2. And the Z motor 13
Is driven to lower the transfer unit 12. As a result, as shown in FIG. 6B, the metal balls 19 are aligned on the electrodes 4. In FIG. 6 (b), 35 is a flux applied to the electrode 4 in advance.

【0021】次に、図5に示した状態から、ロッド25
を引き込ませ、図6(c)の矢印Nで示すように、粘着
シート23をマスク33から剥離する。ここで、上述し
たように、位置決め孔34の直径は、金属ボール19の
直径よりも小さいので、剥離された粘着シート23に伴
って、位置合わせされた金属ボール19が位置決め孔3
4を通過して電極4上から外れてしまうことはない。な
お、金属ボール19はフラックス35の粘着力によって
も、電極4に付着している。
Next, from the state shown in FIG. 5, the rod 25
Is pulled in, and the adhesive sheet 23 is peeled off from the mask 33 as shown by an arrow N in FIG. Here, as described above, since the diameter of the positioning hole 34 is smaller than the diameter of the metal ball 19, the aligned metal ball 19 is aligned with the positioning hole 3 along with the peeled adhesive sheet 23.
It does not pass through the electrode 4 and come off the electrode 4. The metal balls 19 are also attached to the electrodes 4 by the adhesive force of the flux 35.

【0022】そして、Zモータ13を駆動し移載部12
を上昇させることにより、金属ボール19を電極4上に
搭載することができる。
Then, the Z motor 13 is driven to move the transfer section 12
It is possible to mount the metal ball 19 on the electrode 4 by raising.

【0023】その後、駆動モータMを駆動して巻き取り
リール21に粘着シート23を巻き取って、粘着シート
23の未使用部分が位置決め孔34の上方にくるように
する。尚、粘着シート23の粘着力が十分残っている場
合は、巻き取らずに次に金属ボールの搭載を行なっても
よい。
After that, the drive motor M is driven to wind the adhesive sheet 23 on the take-up reel 21 so that the unused portion of the adhesive sheet 23 is located above the positioning hole 34. If the adhesive strength of the adhesive sheet 23 is sufficient, the metal ball may be mounted next without winding.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明の金属ボールの搭載方法は、電極
の位置に合わせて整列させながら、金属ボールの上部に
粘着シートを接触させ、粘着シートに金属ボールを転写
するステップと、粘着シートに転写された金属ボールを
電極上に移載するステップと、粘着シートを電極上の金
属ボールから剥がして金属ボールを電極上に残存させる
ステップとを含むので、吸着ツールを使用せずに金属ボ
ールを電極に搭載することができる。また吸着ミスの心
配がないので生産性よく金属ボールの搭載作業を行なう
ことができる。
According to the method of mounting a metal ball of the present invention, the step of bringing the adhesive sheet into contact with the upper part of the metal ball while aligning the metal ball with the position of the electrode and transferring the metal ball to the adhesive sheet, Since it includes a step of transferring the transferred metal ball onto the electrode and a step of peeling the adhesive sheet from the metal ball on the electrode and leaving the metal ball on the electrode, the metal ball is removed without using the suction tool. It can be mounted on the electrode. Moreover, since there is no fear of adsorption mistakes, the work of mounting the metal balls can be performed with high productivity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例における金属ボールの搭載装
置の正面図
FIG. 1 is a front view of a metal ball mounting device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例における金属ボール供給部の
断面図
FIG. 2 is a sectional view of a metal ball supply unit according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例における移載部の動作説明図FIG. 3 is an operation explanatory diagram of a transfer unit according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例における移載部の動作説明図FIG. 4 is an operation explanatory diagram of a transfer unit according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施例における移載部の動作説明図FIG. 5 is an operation explanatory diagram of the transfer section according to the embodiment of the present invention.

【図6】(a)本発明の一実施例における金属ボールの
搭載方法の工程説明図 (b)本発明の一実施例における金属ボールの搭載方法
の工程説明図 (c)本発明の一実施例における金属ボールの搭載方法
の工程説明図 (d)本発明の一実施例における金属ボールの搭載方法
の工程説明図
FIG. 6A is a process explanatory view of a metal ball mounting method according to an embodiment of the present invention. FIG. 6B is a process explanatory view of a metal ball mounting method according to an embodiment of the present invention. Process explanatory drawing of metal ball mounting method in example (d) Process explanatory drawing of metal ball mounting method in one embodiment of the present invention

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4 電極 19 金属ボール 23 粘着シート 33 マスク 34 位置決め孔 4 Electrodes 19 Metal Balls 23 Adhesive Sheets 33 Masks 34 Positioning Holes

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板又は電子部品の複数の電極に複数の金
属ボールを搭載する金属ボールの搭載方法であって、マ
スクに形成された複数の貫通孔から露呈する粘着シート
の粘着面に金属ボールを接着するステップと、前記金属
ボールと前記電極とを位置合わせするステップと、前記
粘着シートを前記マスクから剥離することにより前記金
属ボールをこの電極に搭載するステップを含むことを特
徴とする金属ボールの搭載方法。
1. A method of mounting a metal ball, wherein a plurality of metal balls are mounted on a plurality of electrodes of a substrate or an electronic component, wherein the metal ball is provided on an adhesive surface of an adhesive sheet exposed from a plurality of through holes formed in a mask. And a step of aligning the metal ball with the electrode, and a step of mounting the metal ball on the electrode by peeling the adhesive sheet from the mask. Mounting method.
【請求項2】前記位置決め孔は、金属ボールが通過でき
ない形状でかつ1個の金属ボールだけ前記粘着シートの
粘着面に接着させる形状であることを特徴とする請求項
1記載の金属ボールの搭載方法。
2. The mounting of the metal ball according to claim 1, wherein the positioning hole has a shape such that the metal ball cannot pass through and only one metal ball is bonded to the adhesive surface of the adhesive sheet. Method.
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