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JPH0829488A - I/o pin electronics circuit - Google Patents

I/o pin electronics circuit

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Publication number
JPH0829488A
JPH0829488A JP6186792A JP18679294A JPH0829488A JP H0829488 A JPH0829488 A JP H0829488A JP 6186792 A JP6186792 A JP 6186792A JP 18679294 A JP18679294 A JP 18679294A JP H0829488 A JPH0829488 A JP H0829488A
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JP
Japan
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circuit
test
driver
common
comparator
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JP6186792A
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Kazumichi Yoshiba
一道 葭葉
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Advantest Corp
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Advantest Corp
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Abstract

PURPOSE:To provide an I/O pin electronics circuit which enables device tests, without wasting a comparator circuit, a comparison voltage generating circuit, a waveform shaping circuit and an applied voltage generating circuit and cutting in half the number of DUT measured simultaneously, in conducting, in addition to a conventional I/O common test, an IC separate test for such high-speed devices that an IC dead band becomes problematic. CONSTITUTION:Two drivers DR1, DR2 which have a common applied/terminal voltage generating circuit 10 and a common waveform shaping circuit 11 are provided. Either one of the driver DR1 or the driver DR2 is provided with a comparator CP which is combined with both a comparator circuit 12 and a comparison voltage generating circuit 13. The driver DR2 is subjected to DRE control and the driver DR1 is used at a terminal, so that an O/O common test can be conducted. Also, the driver DR1 is subjected to DRE control and the driver DR2 is used at the terminal of the comparator CP, so that an I/O separate test can be conducted.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、I/Oコモン試験とI
/Oセパレート試験の両方を可能にするI/Oピンエレ
クトロニクス回路に関するものである。
The present invention relates to an I / O common test and an I / O common test.
The present invention relates to an I / O pin electronic circuit that enables both the I / O separate test.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体試験装置において、通常のI/O
ピンエレクトロニクス回路は、図5(a)に示すような
ドライバ(DR)とコンパレータ(CP)の両方の機能
を持つI/Oコモンピンとなっている。そして、DR及
びCPと被試験デバイス(DUT)は伝播遅延時間長T
のケーブルで接続されている。図5(b)に書き込み、
読みだし動作を繰り返す場合のタイミング図を示す。D
Rからの出力データDR1は、時間T後にDUT端に到
達し、書き込みデータW1となる。続けて読みだし動作
が始まったとすると、DUTからの読みだしデータR
は、時間T後にCP端に到達する。さらに読みだし動作
の終了後、ただちに書き込み動作を行うには、DUTへ
の書き込みデータW2より時間Tだけ早くDRからデー
タDR2を出力しなければならない。DRから出力され
たデータDR2は、時間遅れなしにCP端にも到達す
る。するとCP端にはDUTからの読みだしデータR
と、自らのDRから出力されたデータDR2の合成され
たものが入力される時間が生じる。この合成されている
時間は、Tの2倍で、この間はCPで正しい比較判定が
できない。この範囲をI/Oデッドバンドと言い、DR
及びCPとDUT間の伝播遅延時間長Tで決定される。
2. Description of the Related Art In semiconductor test equipment, normal I / O
The pin electronics circuit is an I / O common pin having the functions of both a driver (DR) and a comparator (CP) as shown in FIG. The DR and CP and the device under test (DUT) have a propagation delay time T
It is connected with a cable. Write in Figure 5 (b),
The timing chart at the time of repeating a read-out operation is shown. D
The output data DR1 from R reaches the DUT end after the time T and becomes the write data W1. If the read operation continues, the read data R from the DUT
Reaches the CP edge after time T. Furthermore, in order to immediately perform the write operation after the end of the read operation, it is necessary to output the data DR2 from DR earlier by the time T than the write data W2 to the DUT. The data DR2 output from the DR also reaches the CP end without a time delay. Then, at the CP end, read data R from the DUT
Then, there occurs a time when the combined data DR2 output from its own DR is input. This combined time is twice as long as T, and during this period, the CP cannot make a correct comparison judgment. This range is called the I / O dead band, and DR
And the propagation delay time length T between the CP and the DUT.

【0003】上記I/Oデッドバンドが問題になるよう
な高速デバイスを試験する場合には、DRからDUTま
での経路と、DUTからCPまでの経路を分けて試験す
る図6(a)に示すようなI/Oセパレート試験を行
う。図6(b)で明きらかなように、CP端でDUTか
らの読みだしデータRとDRの出力データDR1及びD
R2が合成されることはない。従って、CPでの正しい
比較判定ができる。なお、DR端では、出力データDR
2とDUTからの読みだしデータRが波形合成される
が、進行波同士の衝突は互いに通過するだけで影響を及
ぼさず、DUTからの波形はDR端で終端されるためC
P端には影響しない。
When testing a high-speed device in which the above-mentioned I / O dead band becomes a problem, a route from DR to DUT and a route from DUT to CP are separately tested and shown in FIG. 6 (a). Such an I / O separate test is performed. As is clear from FIG. 6B, the output data DR1 and D of the read data R and DR from the DUT at the CP end.
R2 is never synthesized. Therefore, the CP can make a correct comparison determination. At the DR end, the output data DR
2 and the read data R from the DUT are combined into a waveform, but the collision of the traveling waves does not affect the other because they only pass each other, and the waveform from the DUT is terminated at the DR end.
It does not affect the P end.

【0004】通常のI/Oピンエレクトロニクス回路は
I/Oコモンピンである。そこで、図7にDRとDUT
間、DUTとCP間を別経路で接続するI/Oセパレー
ト試験に、I/Oコモンピンを使用した場合を示す。I
/OコモンピンCH1をDRとして、I/Oコモンピン
CH2をCPとして使用する。
A typical I / O pin electronics circuit is the I / O common pin. So, in Figure 7, DR and DUT
Shows the case where the I / O common pin is used for the I / O separate test in which the DUT and the CP are connected by another route. I
The / O common pin CH1 is used as DR and the I / O common pin CH2 is used as CP.

【0005】図8のようなI/Oセパレートピンの場合
は、I/Oセパレート試験に適しており、DRとDU
T、及びDUTとCPをそれぞれ接続することでI/O
セパレート試験ができる。
The I / O separate pin as shown in FIG. 8 is suitable for the I / O separate test, and DR and DU
I / O by connecting T, DUT and CP respectively
Separate test is possible.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】図7に示すように、I
/OコモンピンによるI/Oセパレート試験は、通常の
I/Oコモンピンとして使う場合に比べ、I/Oコモン
ピンが2倍必要である。このためDUT同時測定個数が
半減する。またCH1はDRとして使うため比較回路と
比較電圧発生回路が無駄になり、CH2はCPとして使
うため波形整形回路と印加電圧発生回路が無駄になる。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention As shown in FIG.
The I / O separate test using the / O common pin requires twice as many I / O common pins as compared to the case of using as a normal I / O common pin. Therefore, the number of DUTs that can be simultaneously measured is halved. Further, since CH1 is used as DR, the comparison circuit and comparison voltage generation circuit are wasted, and since CH2 is used as CP, the waveform shaping circuit and applied voltage generation circuit are wasted.

【0007】図8に示すように、I/Oセパレートピン
によるI/Oセパレート試験は、比較回路、比較電圧発
生回路、波形整形回路および印加電圧発生回路とも無駄
は生じないが、I/Oコモンピンとしての試験ができな
い。
As shown in FIG. 8, in the I / O separate test using the I / O separate pin, no waste occurs in the comparison circuit, the comparison voltage generation circuit, the waveform shaping circuit, and the applied voltage generation circuit, but the I / O common pin is used. I can't test.

【0008】I/Oセパレート試験の場合、読みだしサ
イクルではDR側とCP側の両端で終端するので、その
分DUTの駆動能力が必要になる。駆動能力のないDU
TではI/Oセパレート試験は行えず、I/Oコモン試
験をせざるを得ない。また、DR及びCPでDUTの1
ピンを試験する場合、I/Oセパレート試験は、I/O
コモン試験に比べDUTと半導体試験装置本体間の配線
本数が多くなる。DUT多数個取りの場合においては、
配線の煩雑さを避けるためにもI/Oコモン試験を必要
とする場合がある。
In the case of the I / O separate test, since the read cycle is terminated at both ends of the DR side and the CP side, the drive capability of the DUT is required accordingly. DU without drive capability
In T, the I / O separate test cannot be performed, and the I / O common test cannot be avoided. In addition, DR and CP are DUT 1
When testing pins, I / O separate test is I / O
The number of wires between the DUT and the main body of the semiconductor test device is larger than that in the common test. In case of multiple DUT,
An I / O common test may be required to avoid the complexity of wiring.

【0009】本発明は、従来通りのI/Oコモン試験に
加え、I/Oデッドバンドが問題になるような高速デバ
イスをI/Oセパレート試験する際、比較回路、比較電
圧発生回路、波形整形回路および印加電圧発生回路を無
駄にすることなく、またDUT同時測定個数を半減せず
にデバイス試験を可能にするI/Oピンエレクトロニク
ス回路を実現することを目的としている。
In addition to the conventional I / O common test, the present invention provides a comparison circuit, a comparison voltage generation circuit, and a waveform shaping circuit when performing an I / O separate test of a high-speed device in which an I / O dead band is a problem. An object of the present invention is to realize an I / O pin electronics circuit that enables device testing without wasting a circuit and an applied voltage generating circuit and reducing the number of simultaneously measured DUTs by half.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、印加/終端電圧発生回路および
波形整形回路を共有した複数のドライバ、例えば2つの
ドライバDR1及びDR2を設けている。また、上記複
数のドライバのうち少なくとも1つ、例えばDR1また
はDR2の一方に、比較回路および比較電圧発生回路と
共に構成されたコンパレータを設ける。印加/終端電圧
発生回路は、3種類の電圧を発生する。各電圧は、スイ
ッチ回路を通して2つのドライバ、DR1およびDR2
に供給される。各スイッチ回路は、波形整形回路から出
力されるPAT(パターン信号)とDRE(ドライブイ
ネーブル信号)、そしてドライバコントロール回路内の
CONT1a、CONT1b、CONT2a及びCON
T2bの各信号によって制御される。コンパレータは、
DR1またはDR2のどちらか一方の出力に接続され
る。
In order to achieve the above object, in the present invention, a plurality of drivers, for example, two drivers DR1 and DR2 which share an applied / terminating voltage generation circuit and a waveform shaping circuit are provided. . Further, at least one of the plurality of drivers, for example, one of DR1 or DR2, is provided with a comparator configured with a comparison circuit and a comparison voltage generation circuit. The application / termination voltage generation circuit generates three types of voltages. Each voltage is fed through a switch circuit to two drivers, DR1 and DR2.
Is supplied to. Each switch circuit outputs PAT (pattern signal) and DRE (drive enable signal) output from the waveform shaping circuit, and CONT1a, CONT1b, CONT2a and CON in the driver control circuit.
It is controlled by each signal of T2b. The comparator is
It is connected to the output of either DR1 or DR2.

【0011】[0011]

【作用】上記のように構成されたI/Oピンエレクトロ
ニクス回路は、DR2側をDRE制御とし、DR1側を
終端にすることで、I/Oコモン試験が実行できる。ま
た、DR1側をDRE制御とし、DR2側をCPの終端
にすることで、I/Oセパレート試験を実行できる。
With the I / O pin electronics circuit configured as described above, the I / O common test can be executed by setting the DR2 side to DRE control and terminating the DR1 side. Further, the I / O separate test can be executed by setting the DRE control on the DR1 side and terminating the CP on the DR2 side.

【0012】[0012]

【実施例】図1に本発明であるDRを2分岐したI/O
ピンエレクトロニクス回路の概略ブロック図を、図4に
その詳細ブロック図を示す。分岐した2つのドライバD
R1及びDR2には、1チャンネル分の波形整形回路、
印加/終端電圧発生回路が割り当てられ、その一方に比
較回路、比較電圧発生回路を備えたCPが接続されてい
る。ここで、CPの機能は従来と同じである。波形整形
回路は、DRのハイレベル/ローレベルを切り換えるド
ライバパターン(PAT)と、DRのオン/オフを切り
換えるDRE(DRiver Enable )パターンを発生する回
路である。DRオン時には、PAT信号が出力され、D
Rオフ時には、ドライバにVTTのレベルが出力され、
終端として機能する。図4に示すように、2分岐のDR
は共通のPAT信号、DRE信号、印加電圧VIH及び
VIL、終端電圧VTTを持ち、DRのコントロールの
みDR1とDR2で独立して行えるようにドライバコン
トロール回路が設けられている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an I / O which is a bifurcation of DR according to the present invention.
A schematic block diagram of the pin electronics circuit is shown in FIG. 4, and a detailed block diagram thereof is shown in FIG. Two branched drivers D
R1 and DR2 have a waveform shaping circuit for one channel,
An application / termination voltage generation circuit is assigned, and one of them is connected with a comparison circuit and a CP having a comparison voltage generation circuit. Here, the function of the CP is the same as the conventional one. The waveform shaping circuit is a circuit that generates a driver pattern (PAT) for switching the DR high level / low level and a DRE (DRiver Enable) pattern for switching the DR on / off. When DR is on, PAT signal is output and D
When R is off, the VTT level is output to the driver,
Serves as a termination. As shown in FIG. 4, two-branch DR
Has a common PAT signal, DRE signal, applied voltages VIH and VIL, and termination voltage VTT, and a driver control circuit is provided so that only DR control can be performed independently by DR1 and DR2.

【0013】図2に示すI/Oコモン試験では、図4の
CONT1a、CONT1b、CONT2bを論理0
に、CONT2aを論理1にすることで、DR2側をD
RE制御とし、PAT信号に従った出力を発生する。一
方、DR1側は干渉を防ぐため終端の状態になる。これ
により従来のI/Oコモンピンと同様の動作になる。
In the I / O common test shown in FIG. 2, CONT1a, CONT1b and CONT2b shown in FIG.
Then, by setting CONT2a to logic 1, the DR2 side becomes D
The RE control is performed and an output according to the PAT signal is generated. On the other hand, the DR1 side is in a termination state to prevent interference. As a result, the operation is similar to that of the conventional I / O common pin.

【0014】図3に示すI/Oセパレート試験では、図
4のCONT1b、CONT2a、CONT2bを論理
0に、CONT1aを論理1にすることで、DR1側を
DRE制御とし、PAT信号に従った出力を発生する。
一方、DR2側はCPの終端として機能させる。いずれ
の場合も、比較回路、比較電圧発生回路、波形整形回路
および印加電圧発生回路を無駄にすることはなく、また
同時測定個数が減ることもない。
In the I / O separate test shown in FIG. 3, by setting CONT1b, CONT2a, and CONT2b in FIG. 4 to logic 0 and CONT1a to logic 1, the DR1 side is set to DRE control and an output according to the PAT signal is output. appear.
On the other hand, the DR2 side functions as the CP termination. In either case, the comparison circuit, the comparison voltage generation circuit, the waveform shaping circuit, and the applied voltage generation circuit are not wasted, and the number of simultaneous measurement is not reduced.

【0015】[0015]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、次のような効果を奏する。 DR2とCPによって、従来通りのI/Oコモン試
験ができる。 DR1とCPによって、I/Oセパレート試験がで
きる。 I/Oコモン試験においても、I/Oセパレート試
験においても無駄になる回路がない。 1つのI/Oピンエレクトロニクス回路でI/Oセ
パレート試験ができるため、DUT同時測定個数を半減
することが無い。 I/Oセパレート試験においても、I/Oコモン試
験に比べ、DR及びCPとDUT間の配線が増えるだけ
であり、DR及びCPと半導体試験装置本体間の配線本
数は変わらない。このため、DUT多数個取りの場合に
おいて、I/Oセパレート試験の配線が、I/Oコモン
試験と同程度であり、配線の煩雑さが改善できる。
Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. DR2 and CP allow conventional I / O common test. DR1 and CP allow I / O separate test. No circuits are wasted in both the I / O common test and the I / O separate test. Since the I / O separate test can be performed with one I / O pin electronics circuit, the number of simultaneously measured DUTs will not be reduced by half. Even in the I / O separate test, the number of wirings between the DR and CP and the DUT is increased as compared with the I / O common test, and the number of wirings between the DR and CP and the semiconductor test apparatus main body does not change. Therefore, in the case of a large number of DUTs, the wiring for the I / O separate test is almost the same as that for the I / O common test, and the complexity of the wiring can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のI/Oピンエレクトロニクス回路のブ
ロック図である。
FIG. 1 is a block diagram of an I / O pin electronics circuit of the present invention.

【図2】本発明のI/Oピンエレクトロニクス回路でI
/Oコモン試験をするときの回路ブロック図である。
FIG. 2 shows the I / O pin electronics circuit of the present invention.
It is a circuit block diagram when performing an / O common test.

【図3】本発明のI/Oピンエレクトロニクス回路でI
/Oセパレート試験をするときの回路ブロック図であ
る。
FIG. 3 shows the I / O pin electronics circuit of the present invention.
It is a circuit block diagram when performing an / O separate test.

【図4】本発明のI/Oピンエレクトロニクス回路の詳
細なブロック図と動作説明図である。
FIG. 4 is a detailed block diagram and operation explanatory diagram of the I / O pin electronics circuit of the present invention.

【図5】I/Oコモン試験の場合の接続図とタイミング
図である。
FIG. 5 is a connection diagram and a timing diagram in the case of an I / O common test.

【図6】I/Oセパレート試験の場合の接続図とタイミ
ング図である。
FIG. 6 is a connection diagram and a timing diagram in the case of an I / O separate test.

【図7】従来のI/Oコモンピンを使用したI/Oセパ
レート試験のブロック図である。
FIG. 7 is a block diagram of an I / O separate test using a conventional I / O common pin.

【図8】従来のI/Oセパレートピンを使用したI/O
セパレート試験のブロック図である。
FIG. 8: I / O using a conventional I / O separate pin
It is a block diagram of a separate test.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 印加/終端電圧発生回路 11 波形整形回路 12 比較回路 13 比較電圧発生回路 14 終端電圧発生回路 15 ドライバコントロール回路 16 DR1 17 DR2 18 CP 19 スイッチ回路 20 スイッチ制御回路 10 Applied / Termination Voltage Generation Circuit 11 Waveform Shaping Circuit 12 Comparison Circuit 13 Comparison Voltage Generation Circuit 14 Termination Voltage Generation Circuit 15 Driver Control Circuit 16 DR1 17 DR2 18 CP 19 Switch Circuit 20 Switch Control Circuit

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 印加/終端電圧発生回路(10)および
波形整形回路(11)を共有した複数のドライバを設
け、 上記複数のドライバのうち少なくとも1つに、比較回路
(12)および比較電圧発生回路(13)と共に構成さ
れたコンパレータを設け、 以上を具備することを特徴としたI/Oピンエレクトロ
ニクス回路。
1. A plurality of drivers sharing an application / termination voltage generation circuit (10) and a waveform shaping circuit (11) are provided, and at least one of the plurality of drivers is provided with a comparison circuit (12) and a comparison voltage generation circuit. An I / O pin electronics circuit provided with a comparator configured with a circuit (13) and comprising the above.
【請求項2】 印加/終端電圧発生回路(10)から出
力した3種類の電圧がスイッチ回路(19)を通して供
給される2つのドライバ、DR1(16)及びDR2
(17)を設け、 上記DR1(16)及びDR2(17)の各スイッチ回
路(19)を、波形整形回路(11)からの信号と、ド
ライバコントロール回路(15)からの信号で制御する
スイッチ制御回路(20)を設け、 上記DR1(16)及びDR2(17)の各スイッチ回
路(19)を独立して制御するドライバコントロール回
路(15)を設け、 上記DR2(17)の出力にコンパレータを設け、 以上を具備することを特徴としたI/Oピンエレクトロ
ニクス回路。
2. Two drivers, DR1 (16) and DR2, to which three kinds of voltages output from the application / termination voltage generation circuit (10) are supplied through a switch circuit (19).
(17) is provided, and the switch control for controlling each switch circuit (19) of the DR1 (16) and DR2 (17) by the signal from the waveform shaping circuit (11) and the signal from the driver control circuit (15). A circuit (20) is provided, a driver control circuit (15) for independently controlling the switch circuits (19) of the DR1 (16) and DR2 (17) is provided, and a comparator is provided at the output of the DR2 (17). An I / O pin electronics circuit having the above features.
【請求項3】 請求項2において、DR1(16)の出
力にのみコンパレータを設けた、I/Oピンエレクトロ
ニクス回路。
3. The I / O pin electronics circuit according to claim 2, wherein a comparator is provided only on the output of DR1 (16).
JP18679294A 1994-07-15 1994-07-15 I / O pin electronics circuit Expired - Fee Related JP3605146B2 (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19743709B4 (en) * 1996-10-04 2004-07-08 Advantest Corp. IC tester
US8427188B2 (en) 2008-01-23 2013-04-23 Advantest Corporation Test apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19743709B4 (en) * 1996-10-04 2004-07-08 Advantest Corp. IC tester
US8427188B2 (en) 2008-01-23 2013-04-23 Advantest Corporation Test apparatus

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