JPH0829279A - Pressure sensor - Google Patents
Pressure sensorInfo
- Publication number
- JPH0829279A JPH0829279A JP6160191A JP16019194A JPH0829279A JP H0829279 A JPH0829279 A JP H0829279A JP 6160191 A JP6160191 A JP 6160191A JP 16019194 A JP16019194 A JP 16019194A JP H0829279 A JPH0829279 A JP H0829279A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- guiding chamber
- opening
- diaphragm
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、被測定媒体の圧力を検
出する圧力センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure sensor for detecting the pressure of a medium to be measured.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の圧力センサとして、被測
定媒体の圧力、例えば自動車のエンジン吸気管圧力を、
圧力導入管より導入し、その導入した圧力によりダイヤ
フラムを変位させ、その変位により被測定媒体の圧力を
検出するようにしたものが種々提案されている。このよ
うな圧力センサにおいて、圧力導入管より水が侵入した
場合、あるいは圧力導入路内の温度変化により結露が生
じた場合、水がダイヤフラム部分に溜まることがある。
このような状態の時にその水が凍ると、その氷結による
体積膨張でダイヤフラムに応力が加わり、その応力がダ
イヤフラムの破壊耐圧以上であるとダイヤフラムが破損
してしまうという問題がある。2. Description of the Related Art Conventionally, as a pressure sensor of this type, the pressure of a medium to be measured, for example, the pressure of an automobile engine intake pipe,
Various types have been proposed in which the pressure is introduced from a pressure introducing pipe, the diaphragm is displaced by the introduced pressure, and the pressure of the medium to be measured is detected by the displacement. In such a pressure sensor, when water enters from the pressure introducing pipe or when dew condensation occurs due to a temperature change in the pressure introducing passage, water may collect in the diaphragm portion.
When the water freezes in such a state, stress is applied to the diaphragm due to volume expansion due to the freezing, and there is a problem that the diaphragm is damaged if the stress is higher than the breakdown withstand pressure of the diaphragm.
【０００３】このような問題を解決するため、本件出願
人は、特開昭６１ー２４６６４２号公報に示す「圧力セ
ンサ」を出願した。このものの概略構成を図３に示す。
図３において、ハウジング２１内に形成される密閉空間
に圧力検出ユニット１００が取り付けられている。この
圧力検出ユニット１００は、ステム２２と、導圧孔２３
ａを有するガラス台座２３と、この台座２３上に形成さ
れたシリコンダイヤフラム式の圧力検出素子２４を有す
る。In order to solve such a problem, the applicant of the present application applied for a "pressure sensor" disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 61-246642. The schematic structure of this product is shown in FIG.
In FIG. 3, the pressure detection unit 100 is attached to the closed space formed in the housing 21. The pressure detection unit 100 includes a stem 22 and a pressure guide hole 23.
It has a glass pedestal 23 having a and a silicon diaphragm type pressure detection element 24 formed on the pedestal 23.
【０００４】このシリコンダイヤフラム式の圧力検出素
子２４は、シリコン単結晶の一面を部分的に凹形状にし
てダイヤフラム２４ａを形成し、このダイヤフラム２４
ａの所定箇所に形成した歪みゲージによりダイヤフラム
２４ａの変位を抵抗値変化として検出するようにしたも
のである。上記ステム２２には、シェル２５が接着固定
されるとともに、リード２６が貫通して設けられてい
る。このリード２６を介し、圧力検出素子２４からの電
気信号が図示しない圧力検出回路に送出され、圧力検出
が行われる。In this silicon diaphragm type pressure detecting element 24, one surface of a silicon single crystal is partially concave to form a diaphragm 24a.
The displacement of the diaphragm 24a is detected as a change in resistance value by a strain gauge formed at a predetermined position of "a". A shell 25 is adhesively fixed to the stem 22, and a lead 26 is provided so as to penetrate therethrough. An electric signal from the pressure detection element 24 is sent to a pressure detection circuit (not shown) through the lead 26, and pressure detection is performed.
【０００５】また、ステム２２には、金属製のパイプ２
７が接続されるとともに、開口部２２ａが形成されてお
り、パイプ２７からの圧力は開口部２２ａを介して導圧
孔２３ａに導かれる。また、パイプ２７の先端部は、ハ
ウジング２１に取り付けられた圧力導入管２８に、Ｏリ
ング２９ａ、２９ｂを介して連結されている。この圧力
導入管２８からパイプ２７および台座２３を介しダイヤ
フラム２４ａに至る圧力導入路には、外部からのゴミ等
の異物の侵入を防止する充填剤としてのシリコンオイル
３０が充填されている。従って、このシリコンオイル３
０を介して被測定媒体の圧力が検出される。The stem 22 has a metal pipe 2
7 is connected and an opening 22a is formed, and the pressure from the pipe 27 is guided to the pressure guiding hole 23a through the opening 22a. The tip of the pipe 27 is connected to the pressure introducing pipe 28 attached to the housing 21 via O-rings 29a and 29b. A silicon oil 30 as a filler for preventing foreign matter such as dust from entering from the outside is filled in the pressure introducing passage from the pressure introducing pipe 28 to the diaphragm 24a via the pipe 27 and the pedestal 23. Therefore, this silicone oil 3
The pressure of the medium to be measured is detected via 0.
【０００６】ここで、圧力導入路内のシリコンオイル３
０の表面を覆うほど水が溜まり、その後その水が氷結し
て体積膨張した場合、シリコンオイル３０にその体積膨
張による応力が伝わる。しかし、このものにおいては、
Ｏリング２９ｂと圧力導入管２８との間に中空体３１が
設けられており、応力発生時に中空体３１が収縮し、応
力を吸収するようにしている。従って、そのような氷結
時のダイヤフラム２４ａの破壊を防止することができ
る。Here, the silicone oil 3 in the pressure introducing passage
When the surface of No. 0 is covered with water, water accumulates, and when the water freezes and expands in volume, stress due to the expansion of volume is transmitted to the silicon oil 30. But in this one,
A hollow body 31 is provided between the O-ring 29b and the pressure introducing pipe 28 so that the hollow body 31 contracts when stress is generated and absorbs the stress. Therefore, it is possible to prevent the diaphragm 24a from being broken during freezing.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ものについて、種々検討したところ、エンジン吸気管圧
力の脈動や自動車環境による熱、振動等の影響により、
シリコンオイル３０が抜けてしまい、ダイヤフラム２４
ａから台座２３に至る部分までしかシリコンオイル３０
が残っていないというような状況が発生することが判明
した。このような状況になると、中空体３１よりも上部
の圧力導入路に水が滞留することになるため、中空体３
１の機能が発揮されず、氷結時の体積膨張による応力が
ダイヤフラム２４ａにかかってしまい、上述したような
ダイヤフラム２４ａの破損という問題が発生する。However, as a result of various studies on the above-mentioned matter, it was found that the pulsation of the engine intake pipe pressure and the influence of heat and vibration due to the automobile environment
The silicone oil 30 has come off and the diaphragm 24
Silicon oil 30 only from a to pedestal 23
It turns out that a situation occurs where there is no left over. In such a situation, water will stay in the pressure introducing passage above the hollow body 31, so that the hollow body 3
The function of No. 1 is not exerted, and the stress due to the volume expansion during freezing is applied to the diaphragm 24a, and the problem of the diaphragm 24a being damaged as described above occurs.
【０００８】本発明は上記問題に鑑みてなされたもの
で、新規な構造により、氷結時のダイヤフラムの破損を
防止することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to prevent the diaphragm from being damaged when frozen due to the novel structure.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本願発明者等は、圧力導
入路より侵入してくる水、あるいは圧力導入路内の温度
変化により発生する結露による影響を防止するため、ハ
ウジング２１内の空間を利用し圧力検出ユニットを逆向
きにして固定することを考えた。すなわち、図３に示す
ような基本構成に対し、パイプ２７をなくして導圧孔２
３ａが上向きになるように圧力検出ユニット１００を上
向きに配置するというものである。The inventors of the present invention have set a space in the housing 21 in order to prevent the influence of water entering from the pressure introducing passage or dew condensation caused by a temperature change in the pressure introducing passage. It was considered that the pressure detection unit was used in the opposite direction and fixed. That is, with respect to the basic structure as shown in FIG.
The pressure detection unit 100 is arranged so that 3a faces upward.
【００１０】このように、圧力検出ユニットを逆向きに
するものとして、本件出願人は、特開昭６４ー５４２２
６号公報に示すものを既に提案しているが、このものは
そのような逆向き配置により圧力導入路からの異物が、
圧力検出ユニットの圧力導入部分に侵入しにくいように
したものである。しかしながら、このような圧力検出ユ
ニット１００を逆向きに配置した場合でも、ハウジング
２１内の空間全てに水が侵入し、それが氷結した場合に
は、その体積膨張による応力がシリコンオイル３０を介
しダイヤフラム２４ａに加わってしまう。As described above, the applicant of the present invention discloses that the pressure detecting unit is reversed, and is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-5422.
Although the one shown in Japanese Patent Publication No. 6 has been already proposed, this one has such a reverse arrangement that foreign matter from the pressure introducing passage is
The pressure detection unit is designed so as not to easily enter the pressure introduction portion. However, even when such a pressure detection unit 100 is arranged in the reverse direction, when water enters the entire space inside the housing 21 and it freezes, the stress due to the volume expansion thereof causes the diaphragm through the silicon oil 30. It will join 24a.
【００１１】そこで、本願発明者等は、台座２３による
導圧孔２３ａの上部を先に凍らせてそこに氷の壁を作っ
てしまえば、その後に全体が凍ってもその時の氷の体積
膨張による応力はダイヤフラム２４ａには加わらないと
いうことを考えた。すなわち、導圧孔２３ａの上部の氷
の壁の形成時には、まだ周りが水の状態であるため、氷
の壁形成時に発生する応力は周りの水の部分にて緩和さ
れる。その後、周囲の水が凍る場合には、先に形成した
氷の壁によりダイヤフラム２４ａへの応力伝達が防止さ
れる。Therefore, if the inventors of the present application freeze the upper part of the pressure guiding hole 23a by the pedestal 23 first to form an ice wall there, the volume expansion of the ice at that time will occur even if the whole is frozen thereafter. It was considered that the stress due to the stress is not applied to the diaphragm 24a. That is, when the ice wall above the pressure guiding hole 23a is formed, the surroundings are still in a water state, so that the stress generated when the ice wall is formed is relaxed in the surrounding water portion. After that, when the surrounding water freezes, the ice wall formed previously prevents the stress transmission to the diaphragm 24a.
【００１２】本発明は上記検討に基づきなされたもので
あり、その構成上の特徴とするところは、特許請求の範
囲に記載した通りものである。具体的には、請求項１に
記載の発明においては、ダイヤフラム（２４ａ）の変位
にて圧力に応じた電気信号を発生する圧力検出素子（２
４）と、開口部（２２ａ）を有し前記ダイヤフラムに圧
力を導く導圧孔（２３ａ）を形成する導圧孔形成部材
（２２，２３）と、前記導圧孔（２３ａ）内に充填され
た充填剤（３０）とを有する圧力検出ユニット（１０
０）と、内部に導圧室（４）を有し、この導圧室（４）
内に前記圧力検出ユニット（１００）を収納するととも
に、前記導圧室（４）内に、被測定媒体の圧力を導入す
るハウジング（２００）とを備えた圧力センサであっ
て、前記導圧室（４）に充填された水が氷結する時に、
前記開口部（２２ａ）との間に氷の壁を形成する氷壁形
成部材（２ａ）を、前記開口部（２２ａ）の直上に設け
たことを特徴としている。The present invention has been made based on the above-mentioned examination, and the characteristic features of the present invention are as described in the claims. Specifically, in the invention according to claim 1, the pressure detecting element (2) that generates an electric signal according to the pressure by the displacement of the diaphragm (24a).
4), a pressure guide hole forming member (22, 23) having an opening (22a) and forming a pressure guide hole (23a) for guiding pressure to the diaphragm, and the pressure guide hole (23a) is filled. Pressure detecting unit (10) having a filler (30)
0) and a pressure guiding chamber (4) inside, and this pressure guiding chamber (4)
A pressure sensor having the pressure detection unit (100) housed therein and a housing (200) for introducing the pressure of a medium to be measured into the pressure guiding chamber (4). When the water filled in (4) freezes,
An ice wall forming member (2a) that forms an ice wall between the opening (22a) and the opening (22a) is provided directly above the opening (22a).
【００１３】請求項２に記載の発明においては、ダイヤ
フラム（２４ａ）の変位にて圧力に応じた電気信号を発
生する圧力検出素子（２４）と、開口部（２２ａ）を有
し前記ダイヤフラムに圧力を導く導圧孔（２３ａ）を形
成する導圧孔形成部材（２２，２３）と、前記導圧孔
（２３ａ）内に充填された充填剤（３０）とを有する圧
力検出ユニット（１００）と、内部に導圧室（４）を有
し、この導圧室（４）内に前記圧力検出ユニット（１０
０）を収納するとともに、前記導圧室（４）内に、被測
定媒体の圧力を導入するハウジング（２００）とを備え
た圧力センサであって、前記ハウジング（２００）は、
前記開口部（２２ａ）の直上位置において、前記導圧室
（４）に充填された水が氷結する時に、前記開口部（２
２ａ）との間に氷の壁を形成する突起（２ａ）を有する
ことを特徴としている。According to the second aspect of the present invention, the diaphragm (24a) has a pressure detecting element (24) for generating an electric signal according to the pressure when the diaphragm (24a) is displaced, and an opening (22a). And a pressure detecting unit (100) having a pressure guiding hole forming member (22, 23) forming a pressure guiding hole (23a) for guiding the pressure guiding agent and a filler (30) filled in the pressure guiding hole (23a). , Which has a pressure guiding chamber (4) therein, and the pressure detecting unit (10) is provided in the pressure guiding chamber (4).
0) and a housing (200) for introducing the pressure of the medium to be measured into the pressure guiding chamber (4), the housing (200) comprising:
When the water filling the pressure guiding chamber (4) freezes at a position directly above the opening (22a), the opening (2)
It is characterized by having a protrusion (2a) which forms an ice wall between it and 2a).
【００１４】請求項３に記載の発明では、請求項１又は
２に記載の発明において、前記圧力検出ユニット（１０
０）は、前記開口部（２２ａ）に対し前記圧力検出素子
（２４）が重力方向に対して下側になるように前記導圧
室（４）内に配置されていることを特徴としている。請
求項４に記載の発明では、請求項１乃至３のいずれか１
つに記載の発明において、前記ハウジング（２００）
は、上下が開口したハウジング本体部（１）と、このハ
ウジング本体部（１）の上部に密着固定される上部蓋
（２）と、前記ハウジング本体部（１）の下部に密着固
定され前記導圧室（４）に被測定媒体の圧力を導入する
圧力導入ポート（３ａ）を有する下部蓋（３）とを備
え、前記導圧室内（４）に、前記開口部（２２ａ）が前
記上部蓋（２）に向けて開口するように前記圧力検出ユ
ニット（１００）が収納されることを特徴としている。According to the invention described in claim 3, in the invention described in claim 1 or 2, the pressure detection unit (10
0) is characterized in that the pressure detecting element (24) is arranged in the pressure guiding chamber (4) so as to be below the opening (22a) in the direction of gravity. In the invention described in claim 4, any one of claims 1 to 3
In the invention described in Item 3, the housing (200)
Is a housing main body (1) which is open at the top and bottom, an upper lid (2) which is tightly fixed to the upper part of the housing main body (1), and a lower part of the housing main body (1) which is closely fixed to A lower lid (3) having a pressure introducing port (3a) for introducing the pressure of the medium to be measured into the pressure chamber (4), and the opening (22a) is provided in the pressure guiding chamber (4). The pressure detecting unit (100) is housed so as to open toward (2).
【００１５】なお、上記各手段のカッコ内の符号は、後
述する実施例記載の具体的手段との対応関係を示すもの
である。The reference numerals in parentheses of the above means indicate the correspondence with the concrete means described in the embodiments described later.
【００１６】[0016]
【発明の作用効果】請求項１乃至４に記載の発明によれ
ば、導圧孔を有し、その開口部から導入される圧力をダ
イヤフラムの変位を用いて検出する圧力検出ユニットが
ハウジング内の導圧室に収納される。ここで、前記開口
部の直上に氷壁形成部材が設けられている。この氷壁形
成部材を形成することにより、導圧室内に充填された水
が凍るような状態になった時、氷壁形成部材と前記開口
部との間に氷の壁が形成される。According to the invention described in claims 1 to 4, the pressure detecting unit having the pressure guiding hole and detecting the pressure introduced from the opening by using the displacement of the diaphragm is provided in the housing. It is stored in the pressure guiding chamber. Here, an ice wall forming member is provided directly above the opening. By forming the ice wall forming member, an ice wall is formed between the ice wall forming member and the opening when the water filled in the pressure guiding chamber is frozen.
【００１７】この氷の壁が形成される時には、周囲がま
だ水となっているため、その氷による体積膨張により生
じた応力は周囲の水の部分に吸収され、ダイヤフラムに
は伝達されない。また、その後に導圧室内全体の水が凍
るようなことになっても、それによって生じる応力は氷
の壁により遮られる。従って、導圧室内に充填された水
の氷結によるダイフラムの破損を防止することができ
る。When the ice wall is formed, since the surrounding area is still water, the stress caused by the volume expansion of the ice is absorbed by the surrounding water area and is not transmitted to the diaphragm. Further, even if the water in the entire pressure guiding chamber freezes thereafter, the stress caused thereby is blocked by the ice wall. Therefore, it is possible to prevent damage to the diaphragm due to freezing of water filled in the pressure guiding chamber.
【００１８】上記氷壁形成部材は、請求項２に記載のよ
うに、ハウジングの、前記開口部の直上位置に形成した
突起とすることができる。また、請求項３に記載の発明
においては、前記圧力検出ユニットを、前記開口部に対
し前記圧力検出素子が重力方向に対して下側になるよう
に導圧室内に配置している。従って、このような配置に
することにより、導圧孔内に充填した充填剤が、被測定
媒体の圧力変動等により洩れるの防ぐことができる。The ice wall forming member may be a protrusion formed at a position directly above the opening of the housing as described in claim 2. Further, in the invention according to claim 3, the pressure detecting unit is arranged in the pressure guiding chamber such that the pressure detecting element is below the opening in the direction of gravity. Therefore, with such an arrangement, it is possible to prevent the filler filled in the pressure guiding hole from leaking due to pressure fluctuation of the medium to be measured.
【００１９】また、請求項４に記載の発明においては、
ハウジングは、上下が開口したハウジング本体部と、こ
のハウジング本体部の上部下部に密着固定される上部蓋
とにより構成され、これらにより前記導圧室が内部に形
成される。この導圧室内に、前記開口部が前記上部蓋に
向けて開口するように、前記圧力検出ユニットが収納さ
れる。また、前記下部蓋に設けた圧力導入ポートにより
前記導圧室に被測定媒体の圧力が導入される。従って、
圧力導入ポートからの圧力導入方向と圧力検出ユニット
の圧力導入方向が逆方向に形成されるので、圧力導入ポ
ートからの異物等を圧力検出ユニットの圧力導入部分に
侵入しにくくすることができる。Further, in the invention described in claim 4,
The housing is composed of a housing body having an opening at the top and the bottom, and an upper lid closely fixed to the upper and lower parts of the housing body, and the pressure guiding chamber is formed therein. The pressure detection unit is housed in the pressure guiding chamber so that the opening opens toward the upper lid. Further, the pressure of the medium to be measured is introduced into the pressure guiding chamber by the pressure introducing port provided in the lower lid. Therefore,
Since the pressure introduction direction from the pressure introduction port and the pressure introduction direction of the pressure detection unit are formed in opposite directions, it is possible to make it difficult for foreign matter or the like to enter the pressure introduction unit of the pressure detection unit from the pressure introduction port.
【００２０】[0020]
【実施例】以下、本発明を図に示す実施例について説明
する。図１は本発明の一実施例を示す圧力センサの断面
図である。図３に示すものと同一構成部分には同一符号
を付している。ハウジング２００は、上下が開口（円筒
状に開口部が形成されている）した樹脂製のハウジング
本体部１と、このハウジング本体部１の上部に密着固定
される樹脂製の上部蓋２と、ハウジング本体部１の下部
に密着固定される樹脂製の下部蓋３とを有し、これらに
より導圧室４を内部に形成している。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a pressure sensor showing an embodiment of the present invention. The same components as those shown in FIG. 3 are designated by the same reference numerals. The housing 200 includes a resin-made housing main body 1 having openings (upper and lower openings are formed in a cylindrical shape) at the top and bottom, a resin-made upper lid 2 closely fixed to an upper portion of the housing main body 1, and a housing. It has a lower lid 3 made of resin which is tightly fixed to the lower portion of the main body portion 1, and these form a pressure guiding chamber 4 inside.
【００２１】この導圧室４には、圧力検出ユニット１０
０が図３に示すものとは逆向きに取り付け固定されてい
る。この取り付け固定のために、ハウジング本体部１
は、支え部１ａ、１ｂ（図では２ヵ所となっているが、
実際には内周に部分的に３ケ所）を有しており、その支
え部１ａ、１ｂ等がステム２２に当接した状態で、リー
ド２６がリード５に溶接され、これらにより圧力検出ユ
ニット１００がハウジング２００内に固定される。In the pressure guiding chamber 4, a pressure detecting unit 10 is provided.
0 is attached and fixed in the direction opposite to that shown in FIG. In order to fix this attachment, the housing body 1
Are the support portions 1a, 1b (in the figure, there are two locations,
Actually, the inner periphery has partially three places), and the lead 26 is welded to the lead 5 in a state where the supporting portions 1a, 1b and the like are in contact with the stem 22. Are fixed in the housing 200.
【００２２】また、蓋３は圧力導入ポート３ａを有して
いる。この圧力導入ポート３ａは、図示しないゴムホー
スに接続されており、自動車用エンジン吸気管からの圧
力媒体をそのゴムホースを介し導圧室４に導いている。
この導圧室４内に導かれた圧力により圧力検出素子２４
のダイヤフラム２４ａが変位し、その変位に応じた電気
信号がリード２６およびリード５を介し外部に設けられ
た図示しない圧力検出回路に送出され、この圧力検出回
路にて圧力検出がなされる。The lid 3 has a pressure introducing port 3a. The pressure introducing port 3a is connected to a rubber hose (not shown), and guides the pressure medium from the automobile engine intake pipe to the pressure guiding chamber 4 via the rubber hose.
The pressure detected by the pressure introduced into the pressure guiding chamber 4
The diaphragm 24a is displaced, and an electric signal corresponding to the displacement is sent via a lead 26 and a lead 5 to a pressure detecting circuit (not shown) provided outside, and the pressure is detected by the pressure detecting circuit.
【００２３】ここで、圧力検出ユニット１００の圧力導
入部分（ステム２２の開口部２２ａ）が上向きになって
いるため、圧力導入ポート３ａから侵入してくる異物
は、その圧力導入部分には当たらない。従って、特開昭
６４ー５４２２６号公報に示すものと同様、その異物の
侵入による影響を低減することができる。なお、導圧室
４の容積は約４００ｍｍ3 と従来のもの（約１００ｍｍ
3 程度）より大きくしている。このように容積を大きく
することにより、その導圧室４内での結露を少なくする
ことができる。しかしながら、その結露の累積量が多く
なった場合あるいは圧力導入ポート３ａから水が侵入し
てきた場合に、導圧室４内が水で充填されることがあ
る。Here, since the pressure introducing portion of the pressure detecting unit 100 (the opening 22a of the stem 22) is directed upward, foreign matter entering from the pressure introducing port 3a does not hit the pressure introducing portion. . Therefore, similar to the one disclosed in JP-A-64-54226, it is possible to reduce the influence of the intrusion of the foreign matter. In addition, the volume of the pressure guiding chamber 4 is about 400 mm 3 and the conventional one (about 100 mm 3
3 )). By increasing the volume in this way, dew condensation in the pressure guiding chamber 4 can be reduced. However, the pressure guiding chamber 4 may be filled with water when the accumulated amount of dew condensation increases or when water enters from the pressure introducing port 3a.
【００２４】このような水が氷結した場合には、その体
積膨張により応力が発生する。この応力によるダイヤフ
ラム２４ａへの影響をなくすために、本実施例において
は、蓋２において、圧力検出ユニット１００の圧力導入
部分の直上に、約１．５ｍｍの間隔を隔てて、直方体の
突起２ａを形成するようにしている。この突起２ａを形
成したことにより、導圧室４内に充填された水が凍るよ
うな状態になった時、突起２ａと圧力検出ユニット１０
０の圧力導入部分の間に、周囲に比べ早く氷ができ、氷
の壁が形成される。この氷の壁が形成される時には、周
囲がまだ水となっているため、その氷による体積膨張に
より生じた応力は周囲の水の部分に吸収され、ダイヤフ
ラム２４ａには伝達されない。また、その後に導圧室４
内全体の水が凍るようなことになっても、それによって
生じる応力は氷の壁により遮られる。従って、導圧室４
内に充填された水の氷結によるダイヤフラム２４ａの破
損といった問題は解決される。When such water freezes, stress is generated due to its volume expansion. In order to eliminate the influence of this stress on the diaphragm 24a, in the present embodiment, in the lid 2, the projections 2a of the rectangular parallelepiped are provided directly above the pressure introducing portion of the pressure detection unit 100 with an interval of about 1.5 mm. I am trying to form. By forming the protrusion 2a, when the water filled in the pressure guiding chamber 4 is frozen, the protrusion 2a and the pressure detection unit 10
During the zero pressure introduction part, ice forms faster than the surroundings, and an ice wall is formed. When the ice wall is formed, since the surrounding area is still water, the stress caused by the volume expansion of the ice is absorbed by the surrounding water area and is not transmitted to the diaphragm 24a. After that, the pressure guiding chamber 4
Even if the entire water freezes, the resulting stress is blocked by the ice walls. Therefore, the pressure guiding chamber 4
The problem that the diaphragm 24a is damaged due to freezing of the water filled in the inside is solved.
【００２５】上記の圧力センサは、図２にようにして組
付けられる。まず、図２（ａ）のように、圧力検出ユニ
ット１００を治具５０に固定する。この状態において、
図２（ｂ）に示すように、ハウジング本体部１を、支え
部１ａ、１ｂ等が圧力検出ユニット１００のステム２２
に当接するようにして固定する。この後、リード２６と
リード５を溶接する。そして、治具５０を取り外した
後、図２（ｃ）に示すように、蓋２、３をそれぞれの勘
合部に接着剤を注入して、ハウジング本体部１に接着固
定する。The above pressure sensor is assembled as shown in FIG. First, as shown in FIG. 2A, the pressure detection unit 100 is fixed to the jig 50. In this state,
As shown in FIG. 2 (b), the housing body 1 includes the support portions 1 a, 1 b, etc. of the stem 22 of the pressure detection unit 100.
Fix it so that it touches. Then, the lead 26 and the lead 5 are welded. Then, after removing the jig 50, as shown in FIG. 2C, an adhesive is injected into the fitting portions of the lids 2 and 3, and the housing body portion 1 is adhesively fixed.
【００２６】なお、上記実施例においては、図３に示す
金属製のパイプ２７をなくしている。このような金属製
のパイプ２７があると、その部分での熱伝達により寒冷
時に導圧室４内の水が凍りやすくなるが、本実施例にお
いてはそのようなパイプ２７をなくし導圧室４内の水を
凍りにくくしている。上記実施例においては、突起２ａ
の形状を直方体のものとしている。しかし、この突起２
ａの形状は、直方体に限らず円柱状、三角柱状のもので
あってもよい。また、圧力検出ユニット１００の圧力導
入部分と対向する部分の面は平らでなくても、緩い円弧
状のものであってもよい。要は、圧力検出ユニット１０
０の圧力導入部分との間で氷の壁を形成できる形状およ
び距離に保たれた突起であればよい。また、その突起２
ａも蓋２と一体的に形成されるものに限らず蓋２と別体
に形成するようにしてもよい。In the above embodiment, the metal pipe 27 shown in FIG. 3 is eliminated. If such a metal pipe 27 is provided, the water in the pressure guiding chamber 4 easily freezes during cold due to heat transfer in that portion, but in the present embodiment, such a pipe 27 is eliminated and the pressure guiding chamber 4 is eliminated. The water inside is hard to freeze. In the above embodiment, the protrusion 2a
Has a rectangular parallelepiped shape. However, this protrusion 2
The shape of a is not limited to a rectangular parallelepiped, and may be cylindrical or triangular. Further, the surface of the portion of the pressure detection unit 100 facing the pressure introduction portion may not be flat, but may be a loose arc. In short, the pressure detection unit 10
It is sufficient that the protrusions are kept in a shape and a distance capable of forming an ice wall with the zero pressure introduction portion. Also, the protrusion 2
The a is not limited to be integrally formed with the lid 2 and may be formed separately from the lid 2.
【００２７】また、蓋２に設けられた突起２ａとせず
に、ハウジング２００の内壁からステム２２の開口部２
２ａ直上に向けて突出部材を形成し、この突出部材と開
口部２２ａ間に氷の壁を形成するようにしてもよい。ま
た、上記実施例では、圧力導入ポート３ａを導圧室４に
対して下側に設けるものを示したが、この圧力導入ポー
トは導圧室４に圧力を導けばよいのでその導圧方向は下
に限らず他の任意の方向としてもよい。その場合、圧力
導入ポート３ａを蓋３に一体的に形成するものに限ら
ず、それらを別体に形成するようにしてもよい。Further, instead of the projection 2a provided on the lid 2, the opening 2 of the stem 22 is opened from the inner wall of the housing 200.
A protruding member may be formed right above 2a, and an ice wall may be formed between the protruding member and the opening 22a. Further, in the above-mentioned embodiment, the pressure introducing port 3a is provided on the lower side of the pressure guiding chamber 4, but since this pressure introducing port may guide the pressure to the pressure guiding chamber 4, its pressure guiding direction is The direction is not limited to the downward direction and may be any other direction. In that case, the pressure introducing port 3a is not limited to be integrally formed with the lid 3, and may be formed separately.
【００２８】また、ハウジング２００をハウジング本体
部１、蓋２、３により構成するものを示したが、図１の
ような構成になるものに限らず、図３に示すような構成
のものであってもよい。要は、内部に導圧室４を有し、
この導圧室内に圧力検出ユニット１００を収納するとと
もに、導圧室４内に被測定媒体の圧力を導入する構成で
あればよい。Further, although the housing 200 is composed of the housing main body 1, the lids 2 and 3, it is not limited to the structure as shown in FIG. 1 but the structure as shown in FIG. May be. In short, it has a pressure guiding chamber 4 inside,
The pressure detection unit 100 may be housed in the pressure guiding chamber and the pressure of the medium to be measured may be introduced into the pressure guiding chamber 4.
【００２９】また、自動車用のエンジン吸気管圧力を検
出する場合、上記のようにゴムホースを介在させてエン
ジンから離れた部分に形成するもののみならず、エンジ
ンに直接取り付けるようにしてもよい。さらに、本発明
は、上記エンジン吸気管圧力検出を行うもののみなら
ず、他の分野での圧力検出を行うものにも適用でき、ま
た導圧室４内に被測定媒体としての水を導入する水圧セ
ンサとしても適用することができる。When detecting the engine intake pipe pressure for an automobile, it may be directly attached to the engine as well as the one formed at a portion separated from the engine with the rubber hose interposed as described above. Furthermore, the present invention can be applied not only to the above-described engine intake pipe pressure detection, but also to those that perform pressure detection in other fields, and introduces water as a medium to be measured into the pressure guiding chamber 4. It can also be applied as a water pressure sensor.
【００３０】さらに、上記実施例では、圧力検出素子２
４としてシリコンダイヤフラム式のものを採用したが、
金属ダイヤフラム式のものであってもよい。Further, in the above embodiment, the pressure detecting element 2
Although a silicon diaphragm type was adopted as 4,
It may be of a metal diaphragm type.
【図１】本発明の一実施例を示す圧力センサの断面図で
ある。FIG. 1 is a sectional view of a pressure sensor showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示す圧力センサの組付け工程を示す工程
図である。FIG. 2 is a process drawing showing an assembling process of the pressure sensor shown in FIG.
【図３】従来の圧力センサの構成を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of a conventional pressure sensor.
１ ハウジング本体部 ２ 上部蓋 ２ａ 突起 ３ 下部蓋 ３ａ 圧力導入ポート ４ 導圧室 ２２ ステム ２２ａ 開口部 ２３ 台座 ２４ 圧力検出素子 ２４ａ ダイヤフラム ３０ シリコンオイル １００ 圧力検出ユニット ２００ ハウジング 1 Housing Main Body 2 Upper Lid 2a Protrusion 3 Lower Lid 3a Pressure Introduction Port 4 Pressure Transfer Chamber 22 Stem 22a Opening 23 Pedestal 24 Pressure Detection Element 24a Diaphragm 30 Silicon Oil 100 Pressure Detection Unit 200 Housing
Claims (4)
気信号を発生する圧力検出素子と、開口部を有し前記ダ
イヤフラムに圧力を導く導圧孔を形成する導圧孔形成部
材と、前記導圧孔内に充填された充填剤とを有する圧力
検出ユニットと、 内部に導圧室を有し、この導圧室内に前記圧力検出ユニ
ットを収納するとともに、前記導圧室内に、被測定媒体
の圧力を導入するハウジングとを備えた圧力センサであ
って、 前記導圧室に充填された水が氷結する時に、前記開口部
との間に氷の壁を形成する氷壁形成部材を、前記開口部
の直上に設けたことを特徴とする圧力センサ。1. A pressure detecting element for generating an electric signal according to pressure by displacement of a diaphragm, a pressure guiding hole forming member having an opening and forming a pressure guiding hole for guiding pressure to the diaphragm, and the pressure guiding element. A pressure detecting unit having a filler filled in the pressure hole, and a pressure guiding chamber inside, and the pressure detecting unit is housed in the pressure guiding chamber, and the medium to be measured is placed in the pressure guiding chamber. A pressure sensor having a housing for introducing pressure, wherein when the water filled in the pressure guiding chamber freezes, an ice wall forming member that forms an ice wall between the opening and the opening is provided. A pressure sensor characterized by being provided immediately above.
気信号を発生する圧力検出素子と、開口部を有し前記ダ
イヤフラムに圧力を導く導圧孔を形成する導圧孔形成部
材と、前記導圧孔内に充填された充填剤とを有する圧力
検出ユニットと、 内部に導圧室を有し、この導圧室内に前記圧力検出ユニ
ットを収納するとともに、前記導圧室内に被測定媒体の
圧力を導入するハウジングとを備えた圧力センサであっ
て、 前記ハウジングは、前記開口部の直上位置において、前
記導圧室に充填された水が氷結する時に、前記開口部と
の間に氷の壁を形成する突起を有することを特徴とする
圧力センサ。2. A pressure detecting element for generating an electric signal according to pressure by displacement of the diaphragm, a pressure guiding hole forming member having a pressure guiding hole having an opening for guiding pressure to the diaphragm, and the pressure guiding element. A pressure detection unit having a filler filled in the pressure hole, and a pressure guiding chamber inside, the pressure detecting unit is housed in the pressure guiding chamber, and the pressure of the medium to be measured is stored in the pressure guiding chamber. A housing for introducing a pressure sensor, wherein the housing has an ice wall between the opening when the water filled in the pressure guiding chamber freezes at a position directly above the opening. A pressure sensor having a protrusion that forms a pressure sensor.
対し前記圧力検出素子が重力方向に対して下側になるよ
うに前記導圧室内に配置されていることを特徴とする請
求項１又は２に記載の圧力センサ。3. The pressure detecting unit is arranged in the pressure guiding chamber so that the pressure detecting element is below the opening in the direction of gravity. The pressure sensor according to 2.
ジング本体部と、このハウジング本体部の上部に密着固
定される上部蓋と、前記ハウジング本体部の下部に密着
固定され前記導圧室に被測定媒体の圧力を導入する圧力
導入ポートを有する下部蓋とを備え、前記導圧室内に、
前記開口部が前記上部蓋に向けて開口するように前記圧
力検出ユニットが収納されることを特徴とする請求項１
乃至３のいずれか１つに記載の圧力センサ。4. The housing includes a housing body having an upper and lower opening, an upper lid closely fixed to an upper portion of the housing body, and a lower portion of the housing body closely fixed to the pressure guiding chamber. A lower lid having a pressure introducing port for introducing the pressure of the medium, and in the pressure guiding chamber,
The pressure detection unit is housed so that the opening is opened toward the upper lid.
4. The pressure sensor according to any one of 3 to 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6160191A JPH0829279A (en) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6160191A JPH0829279A (en) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | Pressure sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0829279A true JPH0829279A (en) | 1996-02-02 |
Family
ID=15709790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6160191A Pending JPH0829279A (en) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | Pressure sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829279A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000337987A (en) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Mitsubishi Electric Corp | Pressure sensor device |
| KR101117937B1 (en) * | 2009-07-13 | 2012-02-29 | 센싸타테크놀러지스코리아 주식회사 | Ceramic pressure sensor having structure of preventing freezing |
-
1994
- 1994-07-12 JP JP6160191A patent/JPH0829279A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000337987A (en) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Mitsubishi Electric Corp | Pressure sensor device |
| KR101117937B1 (en) * | 2009-07-13 | 2012-02-29 | 센싸타테크놀러지스코리아 주식회사 | Ceramic pressure sensor having structure of preventing freezing |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3870918B2 (en) | Temperature sensor integrated pressure sensor device | |
| KR101570646B1 (en) | Temperature measuring device | |
| KR20060102523A (en) | Car exterior camera | |
| MXPA04008338A (en) | Gasket having a fiber-optic pressure sensor assembly. | |
| JPH0829279A (en) | Pressure sensor | |
| US5228333A (en) | Pressure and heat-flow sensor for the combustion chamber of internal combustion engines | |
| US5741974A (en) | Pressure sensor with resonant vibration preventing means | |
| JP2007247871A (en) | Fluid-sealed vibration isolating device and sealing structure of air chamber in fluid-sealed vibration isolating device | |
| JP3465669B2 (en) | Pressure sensor | |
| JP2004513832A (en) | Heat exchanger for vehicle auxiliary heater | |
| JPH05340401A (en) | Accumulator device | |
| JP2002168371A (en) | Actuation condition detecting device for valves | |
| JPH08128900A (en) | Liquid temperature sensor and mounting device therefor | |
| US5187565A (en) | Liquid sealed semiconductor device and method of assembling the same | |
| JP3758304B2 (en) | Sensor device | |
| JP3876726B2 (en) | Pressure sensor | |
| EP0494001B1 (en) | Cold finger for semiconductor circuit and cryogenic device having such finger | |
| JPH09269534A (en) | Waterproof housing | |
| JPH08319812A (en) | Soundproof engine | |
| JP2568667B2 (en) | Pressure sensor | |
| JP2000213585A (en) | Vibration controlling support device | |
| JP2568666B2 (en) | Pressure sensor | |
| JPH05296852A (en) | Mounting structure of sensor | |
| JPS6333150Y2 (en) | ||
| JP3569098B2 (en) | Mounting structure of liquid level detector |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071212 |
|
| FPAY | Renewal fee payment |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081212 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091212 |
|
| FPAY | Renewal fee payment |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091212 |
|
| FPAY | Renewal fee payment |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101212 |
|
| FPAY | Renewal fee payment |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 14 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 14 |