JPH0829148A - ニアフィールド顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 物質表面の微小形状を正確に測定するため
に、光学式チップを確実に物質表面に対して垂直に振動
させるニアフィールド顕微鏡を提供する。 【構成】 先端端面に微小突起７を有するファイバー６
と、ファイバー６を該軸方向に振動させる電気機械エネ
ルギー変換素子１６と、ファイバー６と電気機械エネル
ギー変換素子１６とを薄肉弾性梁９により支持する振動
励振部材８と、ファイバー６及び振動励振部材８の軸方
向振動の変化量を検出する機械電気エネルギー変換素子
１７と、軸方向振動の変化量に基づいて移動量が変化
し、ファイバー６及び振動励振部材８を物質表面方向に
移動させるアクチュエータ１４とから成る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は物質表面の微小形状を観
察する光学式ニアフィールド顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、物質表面の微小形状を観察する装
置として、導電性トンネルチップによってトンネル電流
を検出し、電流の変動を利用して片持ち梁の撓み量を決
定する原子間力顕微鏡が一般に知られている。また、特
開昭６３−３０９８０３号公報に開示されているよう
に、片持ち梁もトンネル電流も利用しない原子間力顕微
鏡もある。そして同公報に記載された装置は、図９に示
すように、チップ３１が電位の印加を可能にする一対の
電極３２を両面に備えた発信本体３３の表面のうちの一
つに取り付けられ、作動中にチップ３１が物質表面から
充分に離れている時には、発信本体３３がその共振周波
数で励振される。そして、物質３４表面に近づくと、発
信本体３３の振動数がその本来の共振周波数からずれ
る。このずれ量により、Ｚ方向の距離を制御し、チップ
３１の各走査の輪郭イメージをプロットするものであ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記従来の例において
は、発信本体３３として水晶発信子が用いられ、Ｙカッ
ト水晶発信の共振が挙げられている。水晶発信子３３の
変形を模式的に描くと、図９の点線のように変形する。
これにより、発信本体３３の表面に配設されたチップ３
１は軸方向に移動するとともに、軸方向と垂直な方向に
も移動し、図９の矢印Ａの方向に移動することになる。
このため、サンプル表面３４に対して垂直な振動が得ら
れない（チップ３１の軸方向の振動とならない）。

【０００４】また、発信本体３３に対して、チップは細
径で、しかも一方向に延出されたものとなっている。こ
のため、軸方向に移動しない振動（矢印Ａ方向の振動）
の場合、図１０に示すようにチップ延出部３５に屈曲振
動（点線Ｂ）が発生しやすく、チップ３１先端が矢印Ａ
方向の振動と屈曲振動との合成振動である略楕円振動と
なってしまう場合が起こる。

【０００５】このような場合、サンプル表面３４との距
離が正確に定まらず、正確な距離情報をＺ方向距離にフ
ィードバックすることができなくなり、チップ３１の走
査位置の輪郭イメージが実際と異なるものとなってしま
うという問題がある。

【０００６】よって本発明は前記問題点に鑑みてなされ
たものであり、物質表面の微小形状を正確に測定するた
めに、光学式チップを確実に物質表面に対して垂直に振
動させるニアフィールド顕微鏡の提供を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る手段として、本発明は物質表面の微
小形状を観察するニアフィールド顕微鏡において、先端
端面に微小突起を有し、物質の表面に光を照射するとと
もに表面凹凸からの反射光を検出するファイバーと、交
番電圧の印加によりファイバーを該軸方向に振動させる
電気機械エネルギー変換素子と、前記ファイバーと電気
機械エネルギー変換素子とを薄肉弾性梁により支持する
振動励振部材と、前記電気機械エネルギー変換素子に固
定され、ファイバー及び振動励振部材の軸方向振動の変
化量を検出する機械電気エネルギー変換素子と、前記軸
方向振動の変化量に基づいて移動量が変化し、ファイバ
ー及び振動励振部材を物質表面方向に移動させるアクチ
ュエータとを具備したことを特徴とする。

【０００８】請求項２に係る手段としては、物質表面の
微小形状を観察するニアフィールド顕微鏡において、先
端端面に微小突起を有し、物質の表面に光を照射すると
ともに表面凹凸からの反射光を検出するファイバーと、
交番電圧の印加によりファイバーを該軸方向に振動させ
る電気機械エネルギー変換素子と、前記ファイバーと電
気機械エネルギー変換素子とを薄肉弾性梁により支持す
る振動励振部材と、前記薄肉弾性梁に固定され、ファイ
バー先端端面の微小突起と物質表面との距離情報である
軸方向振動の変化量を検出する機械電気エネルギー変換
素子と、前記軸方向振動の変化量に基づいて移動量が変
化し、ファイバー及び振動励振部材を物質表面方向に移
動させるアクチュエータとを具備したことを特徴とする

【０００９】請求項３に係る手段としては、前記電気機
械エネルギー変換素子に印加される交番電圧は、ファイ
バーの軸方向振動モード以外のモードが励振されない周
波数であることを特徴とする。

【００１０】

【作用】請求項１及び２に係る作用としては、先端端面
に微小突起を有するファイバーを通して送られる光を物
質表面に照射し、照射した光が物質表面の凹凸により変
化して反射する反射光をファイバーに取り込み、この照
射光と反射光とを比較することにより物質表面の凹凸
（微小形状）を検出し測定する。

【００１１】このとき、ファイバー先端端面の微小突起
と物質表面との距離を一定に保ことにより、反射光の大
きさと物質表面凹凸との間に一定の相関性を持たせるこ
とができる。ここで、距離を一定に保つ機構として、薄
肉弾性梁を有する振動励振部材にファイバーが支持さ
れ、薄肉弾性梁の軸方向の共振周波数の交番電圧の印加
により、電気機械エネルギー交換素子が振動し、ファイ
バーを軸方向のみに振動させる。

【００１２】ファイバー先端端面の微小突起が物質表面
に近づくにつれて原子間力による影響が強くなり、振動
特性（共振周波数、インピーダンス、電圧電流位相差、
静電容量等）に変化が現れる。この振動変化量によっ
て、ファイバー先端端面の微小突起と物質表面との距離
情報が得られ、ファイバーと振動励振部材とを物質表面
方向に移動させるアクチュエータの移動量を制御し、微
小突起と物質表面との距離を一定距離になるようにす
る。これにより、ファイバーには物質表面の凹凸量に呼
応した反射光が得られることになり、表面の輪郭を正確
に測定することができる。

【００１３】ここで、振動変化量を検出する機械電気エ
ネルギー変換素子は、振動発生源としての電気機械エネ
ルギー変換素子に固定、または振動変位量の大きい薄肉
弾性梁に固定され、振動変化量を把握しやすい位置に配
設される。

【００１４】請求項３に係る作用としては、ファイバー
に屈曲振動モード等が励振されないように、電気機械エ
ネルギー変換素子には薄肉弾性梁を軸方向のみに振動さ
せる共振周波数の交番電圧が印加される。これにより、
ファイバーは薄肉弾性梁によって支持されているため、
ファイバーを非共振状態で軸方向のみに振動さることが
できる。従って、ファイバーの先端端面の微小突起が物
質表面に対し垂直に振動し、物質表面の凹凸に呼応して
正確に振動変化量が機械電気エネルギー変換素子から検
出される。

【００１５】

【実施例１】図１から図３は本発明の実施例１を示し、
図１はファイバー振動励振部材周辺の簡略斜視図、図２
は図１の断面図、図３はファイバー先端部の拡大斜視図
である。

【００１６】光を伝送するファイバー６はＳｉＯ₂ を主
成分とし、極細の針状を形成するとともに、その先端部
に図３示すように、ＳｉＯ₂ＧｅＯを主成分とし、基台
部の直径が２μｍで、先端がファイバー６の軸芯に一致
して鋭角にとがった形状をなす微小突起（チップ）７を
形成している。

【００１７】このファイバー６は長さが数ミリ程度延べ
出された状態で、振動励振部材８の中心（重心）の穴に
通され、接着固定されている。この振動励振部材８には
振動伝達効率の高いステンレス、アルミニウム合金、ジ
ュラルミン、チタン合金、リン青銅、真鍮、セラミック
等の材質が用いられる。

【００１８】また、振動励振部材８には、ファイバー６
の軸方向に対し直交の方向に薄肉弾性梁９が形成されて
いる。ファイバー６貫通穴部の厚さ１０に対して薄肉弾
性梁９は充分に薄く、ファイバー６貫通穴部から薄肉弾
性梁９にかけてテーパー形状１１となっている。本実施
例におけるテーパー形状１１はその基台部が四角形をな
している。

【００１９】振動励振部材８は軸方向からみると四角形
をなし、対向する２辺には振動励振部材８を外部駆動部
材１２と固定する直方体形状の固定部１３が形成されて
いる。外部駆動部材１２は積層型圧電アクチュエータ１
４等により、ファイバー６及び振動励振部材８等の構成
部材を物質表面（サンプル表面）１５に対して垂直方向
から接近させるとともに、物質表面１５を走査するため
に物質表面１５に対して平行に移動させる。

【００２０】前述の薄肉弾性梁９は固定部１３と四角錐
形状部１１との間に２か所形成され、その２か所はファ
イバー６を中心として対称形状となっている。薄肉弾性
梁９を挟んで四角錐形状部１１の反対側には、電気機械
エネルギー変換素子としての板形状の圧電素子１６が接
着固定されている。

【００２１】この圧電素子１６はチタン酸ジルコン酸鉛
から成り、四角錐形状部１１の基台と同形状の四角形形
状で、中心（重心）にはファイバー６の貫通穴があけら
れている。圧電素子１６は、厚み方向に分極され、両端
面には銀蒸着の電極が形成されて、一方の端面をＧＮＤ
とし、もう一方の端面に交番電圧を印加するように構成
している

【００２２】また、機械電気エネルギー変換素子とし
て、前述の圧電素子１６と同形状同材質の圧電素子１７
が電気機械エネルギー変換素子のＧＮＤ面を共通電極と
して接着固定され、もう一方の端面電極からは振動変化
量の出力をするように構成している。

【００２３】この構成のニアフィールド顕微鏡の作用と
しては、電気機械エネルギー変換素子（圧電素子）１６
に対し薄肉弾性はり９が図２の点線及び２点鎖線のよう
に振動する共振周波数の交番電圧を印加する。振動励振
部材８の略中央に位置している四角錐形状部１１及びフ
ァイバー６が薄肉弾性梁９の上下振動に合わせて、ファ
イバー６の軸方向に微小振動する。本実施例ではファイ
バー６先端端面の微小突起７を軸方向に１０〜１００ｎ
ｍの振動振幅で励振する。

【００２４】振動励振部材８の固定部１３は、外部の積
層型圧電アクチュエータ１４等の駆動機構に固定され、
ファイバー６先端端面の微小突起７をサンプルの物質表
面１５に接近させる。微小突起７が物質表面１５の原子
間力の影響を受ける範囲まで接近すると、ファイバー６
の軸方向振動の振動数（図８）、共振点１８でのインピ
ーダンス（図８）、圧電素子１７で発生する電圧波形と
圧電素子１７で消費される電流波形の位相差、静電容量
等が変化し、振動変化量として、機械電気エネルギー変
換素子としての圧電素子１７から出力される。

【００２５】この振動変化量は微小突起７と物質表面１
５との距離情報として用いられ、ファイバー６先端を物
質表面１５に接近させる外部駆動機構のアクチュエータ
１４（接近用積層型圧電アクチュエータ）の移動量を制
御する。この制御によって、微小突起７と物質表面１５
との距離が一定に維持できる。

【００２６】物質表面１５の大きなうねりに合わせて、
微小突起７が一定距離を維持しながら、外部駆動機構の
アクチュエータ１４（走査用積層型圧電アクチュエー
タ）により物質表面１５に対して略平行に移動する。フ
ァイバー６からの物質表面１５に垂直に照射される照射
光と、物質表面１５の凹凸により変化する反射光との関
係が一定となり、照射光と反射光とを比較することによ
り、物質表面１５の微小形状を測定することができる。

【００２７】薄肉弾性梁９はファイバー６に対して、垂
直に配置されているため、軸方向の振動の共振現象が、
他の振動モード（屈曲振動）の共振現象よりも強く励振
される。さらに薄肉弾性梁９が共振するような振動数の
交番電圧が電気機械エネルギー変換素子１６に印加され
るが、ファイバー６は非共振状態で軸方向に振動してお
り、ファイバー６に屈曲振動が発生しづらくなってい
る。

【００２８】本実施例によれば、ファイバーを軸方向に
振動させ、物質表面１５への接近による振動変化量を検
知し、距離情報として外部駆動機構のアクチュエータの
移動量を制御し、ファイバーの先端端面の微小突起７を
物質表面１５から常に一定距離になるように維持する。

【００２９】このうようにすることで、ファイバー６か
らの照射光と物質表面１５の凹凸により変化する反射光
とを比較し、物質表面１５の凹凸を測定する。つまり、
ファイバー６は常に一定の距離で光の変化をとらえるこ
とができるようになり、非常に高精度で物質表面１５の
凹凸を測定することができる。

【００３０】また、ファイバー６には屈曲振動のような
軸方向振動モード以外のモードが発生しないために、微
小突起７の原子間力による影響を正確に振動変化量とし
て取り込むことができる。そして、ファイバー６の光量
変化の原因となる物質１５表面からの距離の変動を皆無
とし、正確な測定を助長する。

【００３１】

【実施例２】図４及び図５は本発明の実施例２を示し、
図４はファイバーと振動励振部材周辺の構成を示す斜視
図、図５は図４の断面図である。本実施例は、前記実施
例１の振動励振部材を円形形状にした点を異にするもの
で、その他の構成については前記実施例１と同様である
ので、その説明を省略する。

【００３２】ファイバー６は長さ１０ｍｍ程度延べ出さ
れた状態で振動励振部材１９の中心（重心）の穴に通さ
れ、接着固定されている。この振動励振部材１９には、
振動伝達効率の高いステンレス、アルミニウム合金、ジ
ュラルミン、チタン合金、リン青銅、真鍮、セラミック
等の材質が用いられる。

【００３３】また、振動励振部材１９には、ファイバー
６の軸方向に対して直交方向に薄肉弾性梁２０を形成し
ており、ファイバー６の貫通穴の厚さ２１に対して薄肉
弾性梁２０はは充分に薄く、ファイバー６の貫通穴部か
ら薄肉弾性梁２０にかけてテーパー形状２２となってい
る。本実施例では略円錐形状となっている。

【００３４】振動励振部材１９は軸方向から見ると円形
形状をなし、外周には振動励振部材１９を図示しない外
部駆動機構と固定する円環形状の固定部２３を形成して
いる。外部駆動機構は図示しない積層型圧電アクチュエ
ータ等により、ファイバー６及び振動励振部材１９等の
構成部材を物質表面に対して垂直に接近させるととも
に、物質表面を走査するために物質表面に対して平行に
移動させる。

【００３５】前述の薄肉弾性梁２０は、固定部２３と円
錐形状部２２との間に円環形状に形成され、ファイバー
６を中心として軸対称形状となっている。薄肉弾性梁２
０を挟んで円錐形状部２２の反対側には、電気機械エネ
ルギー変換素子として円盤形状の圧電素子２４が接着さ
れている。この圧電素子２４は、円錐形状部２２の基台
と同形状で、中心（重心）にはファイバー６を貫通する
穴があけられている。

【００３６】電圧素子２４はチタン酸ジルコン酸鉛で、
厚み方向に分極され、両端面には銀蒸着の電極を形成し
ている。そして、一方の端面をＧＮＤとし、もう一方の
端面には交番電圧が印加れている。また、機械電気エネ
ルギー変換素子として、前述の圧電素子２４と同形状同
材質の圧電素子２５が圧電素子２４のＧＮＤを共通電極
として接着固定され、分極方向が対向して配置されてい
る。そして、もう一方の端面電極から振動変化量を出力
するように構成している。

【００３７】この構成にて、機械電気エネルギー変換素
子（圧電素子）２４に薄肉弾性梁２０が図５の点線及び
２点鎖線のように振動する共振周波数の交番電圧を印加
すると、振動励振部材１９の中央に位置している円錐形
状２２部及びファイバー６が薄肉弾性梁２０の上下振動
に合わせて、軸方向に微小振動する。この場合、薄肉弾
性梁２０は共振しているが、ファイバー６は非共振状態
で振動している。

【００３８】振動励振部材１９がファイバー６を中心と
して軸対称に形成し、薄肉弾性梁２０もファイバー６を
中心として、径方向に一様の弾性を有することが可能と
なり、ファイバー６に存在する屈曲振動等の軸方向の振
動モード以外のモードを完全に除去することが可能にな
る。また、薄肉弾性梁２０の厚さＴ，長さＬを調整する
ことにより、任意の振動数でファイバー６を軸方向に振
動させることが可能である。

【００３９】このように、振動励振部材１９の形状が略
円盤状であっても、実施例１と同様に、ファイバー６を
軸方向に振動させることができ、微小突起７と物質表面
との距離を一定に保つことができる。その他の作用は実
施例１と同様であるのでその説明を省略する。

【００４０】本実施例によれば、振動励振部材１９を円
形とし、薄肉弾性梁２０がファイバー６を中心として取
り囲むように配置され、径方向に一様の弾性を有するこ
とで、ファイバー６を確実に軸方向に振動させることが
できる。従って、薄肉弾性梁２０の形状寸法の変更によ
って、ファイバー６に屈曲振動が発生することがなく、
振動数を任意に設定でき、設計の自由度を向上させるこ
とができる。また、安定した軸方向振動が得られるた
め、微小突起７と物質表面との距離をさらに正確に制御
することが可能となり、高精度の測定を行うことができ
る。

【００４１】

【実施例３】図６及び図７は本発明に実施例３を示し、
図６はファイバーと振動励振部材周辺の構成を示す斜視
図、図７は図６の断面図である。本実施例は、前記実施
例２の振動変化量を検出する機械電気エネルギー変換素
子の形状と配置を変更した点を異にするもので、その他
の構成については前記実施例１と同様であるので、その
説明を省略する。

【００４２】振動励振部材２６に連設された円環形状の
薄肉弾性梁２７の面に、薄肉弾性梁２７と略同形状の円
環形状の機械電気エネルギー変換素子としての圧電素子
２８が接着固定されている。圧電素子２８は厚み方向に
分極され、両端面に銀蒸着の電極が形成され、薄肉弾性
梁２７側の電極をＧＮＤとし、もう一方の電極から振動
変化量を出力する。この電圧素子２８の材質は電圧定数
の大きい、ソフト系圧電素子を用いる。

【００４３】また、ファイバー６を軸方向に振動させる
振動源となる電気機械エネルギー変換素子である圧電素
子２４も薄肉弾性梁２７側の電極をＧＮＤとし、もう一
方の電極に薄肉弾性梁２７が実施例２と同様に振動する
ように、その共振周波数の交番電圧を印加するように構
成している。

【００４４】この構成では、薄肉弾性梁２７の部分は共
振状態で振動しているため、振動変形量が他の構成部材
よりも大きい。このため、この部分に機械電気エネルギ
ー変換素子２８を設置すると、微弱な振動変化量をとら
えやすくすることができる。

【００４５】しかも、圧電素子２８に圧電定数の大き
い、ソフト系圧電素子を用いることで振動変化量を電圧
変化として取り出しやすくなり、振動変化量の種々の特
性値を大きな値で出力することが可能となる。その他の
作用は実施例２と同様であるのでその説明を省略する。

【００４６】本実施例によれば、共振状態で振動してい
る薄肉弾性梁２７の位置に、振動変化量を検出する機械
電気エネルギー変換素子２８を設置することによって、
微小な振動変化量も高精度に検出することができ、微小
突起７と物質表面との距離をさらに一定に維持すること
ができる。このような機械電気エネルギー変換素子とし
ては、他に、歪みゲージや高分子圧電フィルム（ＰＶＤ
Ｆ）等があるが、いずれの場合も同様な効果を得ること
が可能である。

【００４７】なお、前記実施例１から３における薄肉弾
性梁を、ファイバーの軸方向に対して直交方向にに配置
しているが、これはファイバーに屈曲振動が励振されに
くくして、ファイバーの軸方向にのみ振動を発生させる
ことにより、振動変化量を正確に検出することを可能に
するのである。

【００４８】また、前記実施例１から３において、交番
電圧を印加することにより微小変位の振動を励振する電
気機械エネルギー変換素子、または微小変位の振動を電
圧として検出する機械電気エネルギー変換素子として圧
電素子を用いているが、これは高精度、高応答性の制御
や高感度の測定を可能にするものである。

【００４９】また、前記実施例１から３において、機械
電気エネルギー変換素子からの距離情報に基づいて、物
質表面と一定距離に維持されるようにファイバー先端面
に微小突起を設けているが、これはファイバー先端面の
微小突起と物質表面との距離を一定に維持することによ
り、照射光と反射光とを高精度に比較して、物質表面の
微小形状を高精度に測定することを可能にするものであ
る。

【００５０】

【発明の効果】請求項１及び２に係る効果としては、フ
ァイバーを確実に軸方向にのみ振動させ、ファイバーの
微小突起と物質表面との距離を一定に維持することが可
能となる。このため、ファイバーからの照射光と物質表
面からの凹凸による反射光を正確に比較することがで
き、物質表面の微小形状を高精度に測定することができ
る。

【００５１】請求項３に係る効果としては、電気機械エ
ネルギー変換素子に、軸方向のみの振動が発生する振動
数の交番電圧を印加することにより、ファイバーを物質
表面に対して垂直に振動させ、振動変化量を正確に検出
することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示すファイバー振動励振部
材周辺の簡略斜視図。

【図２】図１の断面図

【図３】ファイバー先端部の拡大斜視図。

【図４】本発明実施例２のファイバーと振動励振部材周
辺の構成を示す斜視図。

【図５】図４の断面図

【図６】本発明実施例３のファイバーと振動励振部材周
辺の構成を示す斜視図。

【図７】図６の断面図

【図８】振動の周波数に対するインピーダンスを示す
図。

【図９】従来の原子間力顕微鏡の説明図。

【図１０】従来の原子間力顕微鏡の説明図。

【符号の説明】

１ チップ ２ 電極 ３ 発信本体 ４ サンプル表面 ５ チップ延べ出し部 ６ ファイバー ７ 微小突起 ８，２６ 振動励振部材 ９，１９，２７ 薄肉弾性梁 １０ ファイバー貫通穴部厚さ １１ テーパー形状（四角錐形状部） １２ 外部駆動機構 １３，２３ 固定部 １４ 積層型圧電アクチュエータ １５ 物質上面（サンプル表面） １６，２４ 圧電素子（電気機械エネルギー変換素子） １７，２５，２８ 圧電素子（機械電気エネルギー変換
素子） １８ 共振点 １９ 振動励振部材 ２１ 貫通穴部厚さ ２２ テーパー形状（円錐形状部）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物質表面の微小形状を観察するニアフィ
   ールド顕微鏡において、 先端端面に微小突起を有し、物質の表面に光を照射する
   とともに表面凹凸からの反射光を検出するファイバー
   と、 交番電圧の印加によりファイバーを該軸方向に振動させ
   る電気機械エネルギー変換素子と、 前記ファイバーと電気機械エネルギー変換素子とを薄肉
   弾性梁により支持する振動励振部材と、 前記電気機械エネルギー変換素子に固定され、ファイバ
   ー及び振動励振部材の軸方向振動の変化量を検出する機
   械電気エネルギー変換素子と、 前記軸方向振動の変化量に基づいて移動量が変化し、フ
   ァイバー及び振動励振部材を物質表面方向に移動させる
   アクチュエータとを具備したことを特徴とするニアフィ
   ールド顕微鏡。
2. 【請求項２】 物質表面の微小形状を観察するニアフィ
   ールド顕微鏡において、 先端端面に微小突起を有し、物質の表面に光を照射する
   とともに表面凹凸からの反射光を検出するファイバー
   と、 交番電圧の印加によりファイバーを該軸方向に振動させ
   る電気機械エネルギー変換素子と、 前記ファイバーと電気機械エネルギー変換素子とを薄肉
   弾性梁により支持する振動励振部材と、 前記薄肉弾性梁に固定され、ファイバー先端端面の微小
   突起と物質表面との距離情報である軸方向振動の変化量
   を検出する機械電気エネルギー変換素子と、 前記軸方向振動の変化量に基づいて移動量が変化し、フ
   ァイバー及び振動励振部材を物質表面方向に移動させる
   アクチュエータとを具備したことを特徴とするニアフィ
   ールド顕微鏡。
3. 【請求項３】 前記電気機械エネルギー変換素子に印加
   される交番電圧は、ファイバーの軸方向振動モード以外
   のモードが励振されない周波数であることを特徴とする
   請求項１及び２記載のニアフィールド顕微鏡。