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JPH0822929B2 - Method for forming thin film of perfluoropolymer - Google Patents

Method for forming thin film of perfluoropolymer

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JPH0822929B2
JPH0822929B2 JP62095216A JP9521687A JPH0822929B2 JP H0822929 B2 JPH0822929 B2 JP H0822929B2 JP 62095216 A JP62095216 A JP 62095216A JP 9521687 A JP9521687 A JP 9521687A JP H0822929 B2 JPH0822929 B2 JP H0822929B2
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JP
Japan
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thin film
perfluoropolymer
polymer
polymerization
solvent
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仁 松尾
基 神庭
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AGC Inc
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Asahi Glass Co Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、主鎖に含フッ素環構造を有するパーフルオ
ロポリマーの薄膜下方法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing a perfluoropolymer having a fluorine-containing ring structure in its main chain under a thin film.

[従来の技術] 従来、含フッ素ポリマーとしては、ポリテトラフルオ
ロエチレン(PTFE),パーフルオロアルコキシビニルエ
ーテル/テトラフルオロエチレン共重合体(PFA),テ
トラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重
合体(FEP),ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTF
E)などが知られているが、これらの含フッ素ポリマー
は一般的に溶媒に不溶であるため、薄膜化は溶融成形法
あるいは溶融成形と切削との併用法などにより行なって
いる。
[Prior Art] Conventionally, as fluoropolymers, polytetrafluoroethylene (PTFE), perfluoroalkoxy vinyl ether / tetrafluoroethylene copolymer (PFA), tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer (FEP), Polychlorotrifluoroethylene (PCTF
E) and the like are known, but since these fluoropolymers are generally insoluble in a solvent, thin film formation is performed by a melt molding method or a combination method of melt molding and cutting.

[発明の解決しようとする問題点] しかしながら、従来の含フッ素ポリマーにおいては、
これらを薄膜化する場合、特に50μ以下の薄膜を得よう
とする場合、ピンホール等の欠陥が生じたり、あるいは
大きな成形圧力、延伸力が必要であり、工業的実施に不
利を伴なうものであった。特にパーフルオロポリマーに
ついては上記の難点が顕著であり、厚さ50μ以下で無欠
陥の薄膜を円滑有利に得ることは困難であった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional fluoropolymer,
When thinning these, especially when trying to obtain a thin film of 50 μ or less, defects such as pinholes occur, or large molding pressure and stretching force are required, which is disadvantageous for industrial implementation Met. In particular, with respect to perfluoropolymer, the above-mentioned difficulties are remarkable, and it has been difficult to smoothly and advantageously obtain a defect-free thin film having a thickness of 50 μm or less.

本発明の目的は、パーフルオロポリマーについて、そ
の特性を損なうことなく、厚さ50μ以下で無欠陥の薄膜
を提供すること及び工業的に円滑有利に実施可能なパー
フルオロポリマーの薄膜化方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a perfluoropolymer thin film with a thickness of 50 μm or less and a defect-free thin film without impairing its properties, and to provide a method for thinning a perfluoropolymer which can be carried out industrially smoothly and advantageously. To do.

[問題点を解決するための手段] 本発明者は、種々研究、検討を重ねた結果、主鎖に環
構造を有するパーフルオロポリマーを採用することによ
り、パーフルオロポリマーの場合であっても、薄膜化が
容易であり、50μ以下で欠陥のない薄膜を円滑有利に製
造可能であることを見出した。さらには、前記特定のパ
ーフルオロポリマーをパーフルオロ化合物の溶媒に溶か
し、その溶液を用いることによって、これまでには得ら
れなかったような20μ以下、例えば0.02〜5μ程度の超
薄膜でも欠陥のない膜とすることができることを見出し
た。
[Means for Solving the Problems] As a result of various researches and studies, the present inventor has adopted a perfluoropolymer having a ring structure in the main chain, and thus, even in the case of a perfluoropolymer, It was found that a thin film can be easily formed, and a thin film having a size of 50 μm or less can be smoothly and advantageously manufactured. Furthermore, by dissolving the specific perfluoropolymer in a solvent of the perfluoro compound and using the solution, there is no defect even in an ultra-thin film of 20 μ or less, for example about 0.02 to 5 μ, which has not been obtained until now. It has been found that it can be a membrane.

かくして本発明は、上記知見に基いて完成されたもの
であり、主鎖に環構造を有するパーフルオロポリマーが
厚さ50μ以下に薄膜化されていることを特徴とするパー
フルオロポリマーの薄膜を新規に提供するものである。
Thus, the present invention has been completed based on the above findings, and a novel perfluoropolymer thin film characterized in that the perfluoropolymer having a ring structure in the main chain is thinned to a thickness of 50 μm or less. Is provided to.

本発明において、主鎖に環構造を有するパーフルオロ
ポリマーとしては、例えば一般式 の如き環構造を有するものが挙げられる。これらの内、
次の如き環構造を有するポリマーが代表的である。ただ
し、本発明の内容はこれらのみに限定されるものではな
い。
In the present invention, examples of the perfluoropolymer having a ring structure in the main chain include those represented by the general formula: And those having a ring structure such as Of these,
Polymers having the following ring structures are typical. However, the content of the present invention is not limited to these.

これら重合体の製造法を示すと、次の2通りである。
ただし、これら製造法に限定されるものではない。
The methods for producing these polymers are as follows.
However, it is not limited to these manufacturing methods.

1.環化重合によるもの 2.環状モノマーを使用するもの(USP 3978030など) 重合反応としては、ラジカル的に進行するものであれ
ば特に限定されないが、例えば有機、無機ラジカル開始
剤、光、電離性放射線あるいは熱による重合などが挙げ
られる。また重合の方法も特に限定されるものではな
く、モノマーをそのまま重合に供するいわゆるバルク重
合、モノマーを溶解する有機溶媒中で行なう溶液重合、
水性媒体中で適当な有機溶剤の存在下あるいは非存在下
に行なう懸濁重合、水性媒体に乳化剤を添加して行なう
乳化重合などが例示される。
1. By cyclopolymerization 2. Using cyclic monomers (such as USP 3978030) The polymerization reaction is not particularly limited as long as it proceeds radically, and examples thereof include polymerization by an organic or inorganic radical initiator, light, ionizing radiation or heat. The method of polymerization is also not particularly limited, so-called bulk polymerization in which the monomer is directly subjected to polymerization, solution polymerization performed in an organic solvent in which the monomer is dissolved,
Examples thereof include suspension polymerization carried out in an aqueous medium in the presence or absence of a suitable organic solvent, and emulsion polymerization carried out by adding an emulsifier to the aqueous medium.

また、これらの成分の本質を損なわない程度に共重合
成分を使用することは何ら差し支えがない。共重合せし
める他の単量体としては、ラジカル重合性を有するモノ
マーであれば、特に限定されずに含フツ素系が広範囲に
わたって例示され得る。当然のことであるが、これら他
の単量体は一種単独で前記の如き特定環構造を主鎖に導
入可能なモノマーとラジカル共重合せしめても良く、あ
るいは適宜の2種類以上を併用して上記共重合反応を行
なわせても良い。本発明においては、通常は他の単量体
としてフルオロオレフィン、フルオロビニルエーテルな
どの含フッ素系モノマーを選定するのが望ましい。例え
ば、テトラフルオロエチレン、パーフルオロビニルエー
テルなどは好適な具体例である。
Further, there is no problem in using the copolymerization component to the extent that the essence of these components is not impaired. Other monomers to be copolymerized are not particularly limited as long as they are radically polymerizable monomers, and fluorine-containing compounds can be widely exemplified. As a matter of course, one of these other monomers may be used alone for radical copolymerization with a monomer capable of introducing the specific ring structure into the main chain as described above, or two or more of them may be used in combination. You may make it carry out the said copolymerization reaction. In the present invention, it is usually desirable to select a fluorine-containing monomer such as fluoroolefin or fluorovinyl ether as the other monomer. For example, tetrafluoroethylene and perfluorovinyl ether are suitable specific examples.

共重合体組成としては、溶解性、製膜性および含フッ
素ポリマーとしての特性などを生かすために、環状構造
の組成が20%以上が好ましく、更に好ましくは40%以上
であることが望ましい。このようなポリマーは溶媒に可
溶であり、用いられる溶媒としては、上記ポリマーを溶
解するもののであれば限定はないが、パーフルオロベン
ゼン、“アフルード”(商品名:旭硝子社製のフッ素系
溶剤)、“フロリナート”(商品名:3M社製のパーフル
オロ(2−ブチルテトラヒドロフラン)を含んだ液体)
等のパーフルオロ化合物の溶媒が好適である。当然のこ
とであるが、適宜の2種類以上を併用して溶媒として用
いることができる。特に混合溶媒の場合、炭化水素系、
塩化炭化水素、弗塩化炭化水素、アルコール、その他の
有機溶媒も併用できる。溶液濃度は0.01wt%〜50wt%
で、好ましくは0.1wt%〜20wt%である。
The composition of the copolymer preferably has a cyclic structure of 20% or more, more preferably 40% or more, in order to take advantage of the solubility, film-forming property, and properties of the fluoropolymer. Such a polymer is soluble in a solvent, and the solvent used is not limited as long as it dissolves the above polymer, but perfluorobenzene, "Aflude" (trade name: fluorine-based solvent manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. ), "Fluorinert" (trade name: liquid containing perfluoro (2-butyltetrahydrofuran) manufactured by 3M)
Solvents of perfluoro compounds such as As a matter of course, two or more appropriate types can be used in combination as a solvent. Especially in the case of a mixed solvent, a hydrocarbon type,
Chlorinated hydrocarbons, fluorochlorinated hydrocarbons, alcohols, and other organic solvents can be used together. Solution concentration is 0.01 wt% to 50 wt%
And preferably 0.1 wt% to 20 wt%.

薄膜化方法は上記の溶液を用い、ロールコーター法、
キャスト法、ディッピング法、スピンコート法、水上キ
ャスト法、ラングミュア・プロジェット法等の溶液から
膜を形成させる方法であれば特に限定はない。
The thin film formation method uses the above solution, a roll coater method,
There is no particular limitation as long as it is a method of forming a film from a solution such as a casting method, a dipping method, a spin coating method, a water casting method, and a Langmuir-Projet method.

得られた薄膜は、基材上に接着させたまま、あるいは
基材から剥離させて用いることができ、基材上に接着さ
せたまま用いる場合、基材はあらゆる形状、あらゆる材
料が適用される。例えば、磁気ディスク基板、光ファイ
バー、電線、レンズ材料、分離膜支持体、ホローファイ
バー、磁気テープなど各種テープ、光学ガラス材料、電
極、血液バッグ等医用材料、各種建材、ステンレス、ガ
ラス、アルミニウム、金属、さらには現在用いられてい
るフッ素樹脂塗料、PFA、ETFE、PTFE、PCTFE、PVdF、FE
P等の含フッ素樹脂のコーティングされている基材など
も例示され得る。
The obtained thin film can be used as it is adhered on the base material or separated from the base material, and when used while being adhered on the base material, any shape and any material is applied to the base material. . For example, magnetic disk substrates, optical fibers, electric wires, lens materials, separation membrane supports, hollow fibers, various tapes such as magnetic tapes, optical glass materials, electrodes, medical materials such as blood bags, various building materials, stainless steel, glass, aluminum, metals, Furthermore, currently used fluororesin paints, PFA, ETFE, PTFE, PCTFE, PVdF, FE
A substrate coated with a fluorine-containing resin such as P may also be exemplified.

薄膜は、ピンホールなどの欠陥がなく、透明で屈折率
が低く、耐熱性、耐薬品性に優れているため、各種コー
ティング材、電子部材、光学部材、分離膜等に用いるこ
とができる。
The thin film has no defects such as pinholes, is transparent and has a low refractive index, and is excellent in heat resistance and chemical resistance, and thus can be used for various coating materials, electronic members, optical members, separation films, and the like.

[作用] 本発明において、主鎖に環構造を有するパーフルオロ
ポリマーが薄膜を形成しやすい理由は、このポリマーは
パーフルオロ化合物の溶媒に可溶で、ディッピング、ス
ピンコートなど種々の薄膜形成方法を用いることができ
るためである。また、このポリマーが特殊な溶媒に可溶
である理由は明らかではないが、溶媒とポリマーの環構
造が類似していること、このポリマーの結晶性が低いこ
と等が考えられる。
[Function] In the present invention, the reason why the perfluoropolymer having a ring structure in the main chain is easy to form a thin film is that the polymer is soluble in the solvent of the perfluoro compound and various thin film forming methods such as dipping and spin coating are used. This is because it can be used. Further, the reason why this polymer is soluble in a special solvent is not clear, but it is considered that the solvent and the polymer have similar ring structures and the crystallinity of this polymer is low.

[実施例] 合成例1 パーフルオロアリルビニルエーテルの30g、トリクロ
ロトリフルオロエタンの30g及び重合開始剤 の10mgを50ccの耐圧アンプルに入れた。凍結脱気を2回
繰り返した後に20℃で16時間重合した。重合中の圧力は
大気圧よりも低かった。重合の結果、重合体を16g得
た。
Examples Synthesis Example 1 30 g of perfluoroallyl vinyl ether, 30 g of trichlorotrifluoroethane and a polymerization initiator 10mg of was placed in a 50cc pressure resistant ampoule. After freeze-deaeration was repeated twice, polymerization was carried out at 20 ° C. for 16 hours. The pressure during polymerization was below atmospheric pressure. As a result of the polymerization, 16 g of a polymer was obtained.

この重合体の赤外線吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、モノマーにあった二重結合に起因する1790cm-1付近
の吸収はなかった。また、このポリマーをパーフルオロ
ベンゼンに溶解し19FのNMRスペクトルを測定したとこ
ろ、以下の繰り返し構造を示すスペクトルが得られた。
When the infrared absorption spectrum of this polymer was measured, there was no absorption near 1790 cm −1 due to the double bond in the monomer. When this polymer was dissolved in perfluorobenzene and the 19 F NMR spectrum was measured, the spectrum showing the following repeating structure was obtained.

この重合体の固有粘度[η」は、“フロリナート"FC
−75(商品名:3M社製のパーフルオロ(2−ブチルテト
ラヒドロフラン)を主成分とした液体、以下、FC−75と
略記する)中30℃で0.530であった。重合体のガラス転
移点は69℃であり、室温ではタフで透明なガラス状の重
合体である。また10%熱分解温度は462℃であり、さら
にこの重合体は無色透明であり、屈折率は1.34と低く、
光線透過率は95%と高かった。
The intrinsic viscosity [η] of this polymer is "Fluorinert" FC
It was 0.530 at 30 ° C. in −75 (trade name: liquid containing 3M company perfluoro (2-butyltetrahydrofuran) as a main component, hereinafter abbreviated as FC-75). The glass transition temperature of the polymer is 69 ° C., and it is a tough and transparent glassy polymer at room temperature. The 10% thermal decomposition temperature is 462 ° C, and the polymer is colorless and transparent and has a low refractive index of 1.34.
The light transmittance was as high as 95%.

合成例2 パーフルオロアリルビニルエーテルの30g、トリクロ
ロトリフルオロエタンの30g及び重合開始剤 の10mgを50ccの耐圧アンプルに入れた。凍結脱気を2回
繰り返した後に30℃で16時間重合した。重合中の圧力は
大気圧よりも低かった。重合の結果、重合体を19g得
た。
Synthesis Example 2 30 g of perfluoroallyl vinyl ether, 30 g of trichlorotrifluoroethane and a polymerization initiator 10mg of was placed in a 50cc pressure resistant ampoule. After freeze-deaeration was repeated twice, polymerization was carried out at 30 ° C. for 16 hours. The pressure during polymerization was below atmospheric pressure. As a result of the polymerization, 19 g of a polymer was obtained.

重合体の構造は、合成例1と同様な方法で確認した。
この重合体の固有粘度[η」はFC−75溶液中30℃で0.32
であった。
The structure of the polymer was confirmed by the same method as in Synthesis Example 1.
The intrinsic viscosity [η] of this polymer is 0.32 at 30 ℃ in FC-75 solution.
Met.

合成例3 パーフルオロアリルビニルエーテルの10g、テトラフ
ルオロエチレンの1g、トリクロロトリフルオロエタンの
30g及び重合開始剤 の5mgを100ccの耐圧アンプルに入れた。凍結脱気を2回
繰り返した後に30℃で6時間重合した。重合の結果、重
合体を4g得た。
Synthesis Example 3 10 g of perfluoroallyl vinyl ether, 1 g of tetrafluoroethylene, and trichlorotrifluoroethane
30g and polymerization initiator 5mg of was placed in a 100cc pressure resistant ampoule. After freeze-deaeration was repeated twice, polymerization was carried out at 30 ° C. for 6 hours. As a result of the polymerization, 4 g of a polymer was obtained.

19F NMRスペクトルの測定から、この共重合体 のような構造と組成であることがわかった。 From the measurement of 19 F NMR spectrum, this copolymer It was found that the structure and composition were like.

実施例1 合成例1で得られた重合体5gを、95gの“アフルード"
E−10(商品名:旭硝子社製のパーフルオロ(2−ブチ
ルテトラヒドロフラン))に溶解した。
Example 1 5 g of the polymer obtained in Synthesis Example 1 was converted into 95 g of "Aflude".
It was dissolved in E-10 (trade name: perfluoro (2-butyltetrahydrofuran) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.).

この溶液をステンレス基板上に流延し、窒素気流下40
℃16時間、減圧下110℃5時間で処理して溶媒を除去し
たところ、20μの潤膜が形成された。この薄膜を基板上
から剥したところピンホールなどの欠陥のない透明なフ
ィルムであった。この膜の引張強度は300kg/cm2、引張
り伸度は160%であった。
This solution was cast on a stainless steel substrate and placed under a nitrogen stream.
When the solvent was removed by treatment at 16 ° C. for 16 hours and 110 ° C. for 5 hours under reduced pressure, a 20 μm wet film was formed. When this thin film was peeled from the substrate, it was a transparent film without defects such as pinholes. The tensile strength of this film was 300 kg / cm 2 , and the tensile elongation was 160%.

実施例2 実施例1で用いた溶液をガラス板に流延し、窒素気流
下40℃16時間、減圧下110℃5時間で処理して溶媒を除
去したところ、3μの薄膜が形成された。
Example 2 The solution used in Example 1 was cast on a glass plate and treated under a nitrogen stream at 40 ° C. for 16 hours and under reduced pressure at 110 ° C. for 5 hours to remove the solvent, and a 3 μm thin film was formed.

実施例3 実施例1で用いた溶液にプラスチックレンズ(ジエチ
レングリコールビスアリルカーボネート系)をつけスピ
ンコートを行なった。スピン速度1500rpmで5秒間スピ
ンコートを行なった後、60℃ 1.5時間窒素気流下で乾
燥したところ、1μの薄膜がレンズ上にコートされた。
このレンズは低反射加工レンズとして使用することがで
きる。
Example 3 A plastic lens (diethylene glycol bisallyl carbonate type) was attached to the solution used in Example 1 and spin coating was performed. After spin coating at a spin speed of 1500 rpm for 5 seconds and drying at 60 ° C. for 1.5 hours in a nitrogen stream, a 1 μm thin film was coated on the lens.
This lens can be used as a low reflection processed lens.

実施例4 実施例1で用いた溶液を石英ガラスファイバーに塗布
し、400℃に保持された加熱硬化炉に導入し、2秒間で
通過させることによって、石英ガラスファイバー上に5
μの被膜が形成された光伝送ファイバーを得た。
Example 4 The solution used in Example 1 was applied to a quartz glass fiber, introduced into a heating and curing furnace maintained at 400 ° C., and allowed to pass for 2 seconds to give 5 on the quartz glass fiber.
An optical transmission fiber having a μ coating was obtained.

実施例5 合成例2の重合体1gを99gの“アフルード"E−16(商
品名:旭硝子社製のパーフルオロトリブチルアミン)に
溶解し金属基板上にスピンコートを行なった。スピン速
度は5000rpmで1分間回転させた。その後50℃で乾燥す
ると、0.05μの薄膜が金属基板上に形成された。この薄
膜のピンホールのないことは、この薄膜の電気抵抗を測
定したところ>1015Ωcmであることから確認された。
Example 5 1 g of the polymer of Synthesis Example 2 was dissolved in 99 g of "Aflude" E-16 (trade name: perfluorotributylamine manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) and spin-coated on a metal substrate. The spin speed was 5000 rpm and the rotation was for 1 minute. Then, when dried at 50 ° C., a 0.05 μ thin film was formed on the metal substrate. The absence of pinholes in this thin film was confirmed by measuring the electrical resistance of this thin film to be> 10 15 Ωcm.

実施例6 合成例3の共重合体1gを99gのパーフルオロベンゼン
に溶解させた。上記溶液にアルミニウム基板を浸した後
40℃で1時間乾燥したところ、1.5μの薄膜がアルミ基
板上に形成された。
Example 6 1 g of the copolymer of Synthesis Example 3 was dissolved in 99 g of perfluorobenzene. After immersing the aluminum substrate in the above solution
When dried at 40 ° C. for 1 hour, a 1.5 μ thin film was formed on the aluminum substrate.

比較例1 合成例1の重合体5gは、95gの1,1,2−トリクロロ−1,
2,2−トリフルオロエタンには溶解せず膨潤するのみで
あった。
Comparative Example 1 5 g of the polymer of Synthesis Example 1 is 95 g of 1,1,2-trichloro-1,
It did not dissolve in 2,2-trifluoroethane but only swelled.

[発明の効果] 本発明は、主鎖に環構造を有するパーフルオロポリマ
ーを特殊な溶媒に溶解し、この溶液を用い薄膜を形成す
ることにより、50μ以下の薄膜を工業的に円滑有利に製
造することができるという効果を有し、また主鎖にパー
フルオロ環構造を有するポリマーはホモポリマーでも溶
媒に可溶なため、フッ素含量の高い重合体、共重合体で
あても可溶である。したがって得られた薄膜はフッ素樹
脂としての特性、例えば低屈折率、耐熱性、低透湿性、
高い抵抗、高い絶縁破壊強度等を低下することがない。
EFFECTS OF THE INVENTION The present invention dissolves perfluoropolymer having a ring structure in the main chain in a special solvent, and forms a thin film using this solution to industrially and smoothly produce a thin film of 50 μm or less. Since the polymer having a perfluoro ring structure in the main chain is soluble in a solvent even if it is a homopolymer, it is soluble even in a polymer or copolymer having a high fluorine content. Therefore, the obtained thin film has properties as a fluororesin, such as low refractive index, heat resistance, low moisture permeability,
High resistance, high dielectric breakdown strength, etc. are not reduced.

さらに主鎖に環構造を有しているため結晶性が低く透
明な薄膜を得ることができるという特徴を有する。
Further, since it has a ring structure in the main chain, it has a feature that a transparent thin film having low crystallinity can be obtained.

共重合体においては、コモノマーとして種々の有用な
機能を有するものを選択できるため、薄膜にさらに多く
の機能を付与せしめることができる。
In the copolymer, since it is possible to select a comonomer having various useful functions, it is possible to impart more functions to the thin film.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】主鎖に含フッ素環構造を有するパーフルオ
ロポリマーをパーフルオロ化合物の溶媒に溶解した溶液
を用いて厚さ50μ以下の前記パーフルオロポリマーの薄
膜を形成することを特徴とする薄膜化方法。
1. A thin film, characterized in that a thin film of the perfluoropolymer having a thickness of 50 μm or less is formed using a solution of a perfluoropolymer having a fluorinated ring structure in its main chain dissolved in a solvent of a perfluoro compound. Method.
JP62095216A 1987-04-20 1987-04-20 Method for forming thin film of perfluoropolymer Expired - Fee Related JPH0822929B2 (en)

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