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JPH08221731A - Magnetic head assembly and magnetic disk device - Google Patents

Magnetic head assembly and magnetic disk device

Info

Publication number
JPH08221731A
JPH08221731A JP2368995A JP2368995A JPH08221731A JP H08221731 A JPH08221731 A JP H08221731A JP 2368995 A JP2368995 A JP 2368995A JP 2368995 A JP2368995 A JP 2368995A JP H08221731 A JPH08221731 A JP H08221731A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic disk
slider
magnetic
magnetic head
head assembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2368995A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshio Itagaki
登志雄 板垣
Tetsuya Hamaguchi
哲也 浜口
Satomitsu Imai
郷充 今井
Yukio Kato
幸男 加藤
Sadakuni Nagaike
完訓 長池
Yoichi Inoue
陽一 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2368995A priority Critical patent/JPH08221731A/en
Publication of JPH08221731A publication Critical patent/JPH08221731A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】磁気ヘッドを搭載するスライダ12の磁気ディ
スク対向面上に、スライダ支持構造体から印荷される押
し付け力を受けて磁気ディスク表面と接触して摺動し、
磁気ディスク表面からの支持反力を受ける複数のパッド
15、16を設ける。パッドは、スライダの進行方向の
前端側に1個、後端側に2個設けると良い。パッドは、
摺動面と側面とのなす角度を略直角となるように形成す
る。 【効果】本発明によれば、磁気ヘッドと磁気ディスク表
面とを継続的に接触摺動させ相互の距離を小さくし、従
来よりも高い記録密度を達成できる。パッドがスライダ
に凸状に形成されており浮上力の発生が抑制されるため
スライダを磁気ディスクに強く押し付ける必要がないた
め、摩耗による塵埃の発生に起因した磁気ディスク、磁
気ヘッドアセンブリの損傷と情報の破壊の発生が低減さ
れ、磁気ディスク装置稼働中の信頼性を高く維持でき
る。
(57) [Summary] [Structure] The slider 12 on which the magnetic head is mounted is brought into contact with the surface of the magnetic disk and slides on the surface of the slider 12 facing the magnetic disk, receiving a pressing force applied from the slider support structure.
A plurality of pads 15 and 16 which receive a supporting reaction force from the surface of the magnetic disk are provided. It is preferable to provide one pad on the front end side and two pads on the rear end side in the traveling direction of the slider. Pad is
The sliding surface and the side surface are formed so that the angle between them is substantially right angle. According to the present invention, the magnetic head and the surface of the magnetic disk are continuously brought into contact and slid to reduce the mutual distance, and a higher recording density than the conventional one can be achieved. Since the pad is formed in a convex shape on the slider and the generation of the levitation force is suppressed, it is not necessary to press the slider strongly against the magnetic disk.Therefore, damage to the magnetic disk and magnetic head assembly due to dust generation due to wear and information It is possible to reduce the occurrence of breakage of the magnetic disk device and maintain high reliability during operation of the magnetic disk device.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド装置に係り、
特にディスク表面上に接触して磁気記録を行なう磁気ヘ
ッド搭載体及びこの磁気ヘッド搭載体を備える磁気ディ
スク装置の構成に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head device,
In particular, the present invention relates to the configuration of a magnetic head mounting body that comes into contact with the surface of a disk for magnetic recording, and a magnetic disk device including the magnetic head mounting body.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の磁気ディスク装置は主に、表面に
磁気記録が可能な回転するディスクと、記録されたディ
スク状の情報を読み書きする磁気ヘッド及び磁気ヘッド
支持体アセンブリと、磁気ヘッドをディスク上に主に半
径方向に位置決めする機構とで構成される。モーターに
より回転するディスク上には同心状に情報が格納されて
おり、磁気ヘッドを搭載したスライダとそのスライダを
支持するサスペンション構造に連結されたアクチュエー
タ機構が、磁気ヘッドを磁気ディスク上の所望の位置に
移動し、ディスク上に記録された情報を読みだしまたは
ディスク上に情報を書き込みする間、磁気ヘッドの位置
を維持する。
2. Description of the Related Art A conventional magnetic disk device mainly includes a rotating disk capable of magnetic recording on its surface, a magnetic head and a magnetic head support assembly for reading and writing recorded disk-shaped information, and a magnetic head for the disk. It is mainly composed of a mechanism for positioning in the radial direction. Information is stored concentrically on a disk rotated by a motor, and an actuator mechanism connected to a slider carrying a magnetic head and a suspension structure supporting the slider moves the magnetic head to a desired position on the magnetic disk. And the position of the magnetic head is maintained while reading the information recorded on the disk or writing the information on the disk.

【0003】この磁気ディスク装置はコンピュータの外
部記憶装置として用いられ、求められる性能としては、
(1)記憶の大容量化、(2)情報の高速伝達、(3)高い信頼
性が挙げられ、近年のコンピュータ本体装置の小型高性
能化により、更に磁気ディスク装置の小型化が求められ
ている。
This magnetic disk device is used as an external storage device of a computer, and the required performance is as follows.
(1) Large storage capacity, (2) High-speed transmission of information, (3) High reliability, and recent miniaturization of computer main unit and high performance demand further miniaturization of magnetic disk unit. There is.

【0004】この小型且つ大容量化を実現するもっとも
有効な手段は磁気ヘッドと磁気ディスクとの距離を狭小
化し、記録密度を高くすることである。
The most effective means for realizing this small size and large capacity is to shorten the distance between the magnetic head and the magnetic disk and increase the recording density.

【0005】従来の磁気ディスク装置では、磁気ヘッド
を搭載したスライダは複数本のレール面を有している。
磁気ディスクが回転して磁気ヘッド搭載スライダと磁気
ディスクが相対運動することで生じる磁気ヘッド搭載ス
ライダとディスク表面間の空気流により、スライダのレ
ール面に浮上圧力を発生させるエアベアリング方式によ
りスライダを磁気ディスク表面上である高さに維持して
いる。この方式の典型的な例として例えば特開平2-1016
99号公報に記載のものがある。この公知例に示されてい
る磁気ヘッド搭載スライダを図15に示す。図に明らか
なように、従来の磁気ディスクに用いられるスライダは
磁気ディスク対向面に1つあるいは複数のレールを形成
しこのレール面を空気軸受け面として浮上圧力を発生さ
せている。
In the conventional magnetic disk device, the slider on which the magnetic head is mounted has a plurality of rail surfaces.
The air bearing system generates a floating pressure on the rail surface of the slider by the air flow between the slider on which the magnetic head is mounted and the surface of the disk caused by the relative movement of the slider that mounts the magnetic head and the magnetic disk as the magnetic disk rotates. It is maintained at a certain height on the surface of the disc. As a typical example of this method, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei2-1016
There is one described in Japanese Patent Publication No. 99. The magnetic head mounting slider shown in this known example is shown in FIG. As is apparent from the figure, the slider used in the conventional magnetic disk has one or a plurality of rails formed on the surface facing the magnetic disk, and the rail surface is used as an air bearing surface to generate the levitation pressure.

【0006】しかし、磁気ヘッドと磁気ディスクとの距
離が小さくなるにつれ、両者の接触の可能性が大きくな
り、磁気ヘッド及び磁気ディスク表面の破壊、損傷とそ
れに起因する情報の欠失の危険性が増大する。このた
め、従来型の磁気ディスク装置では、信頼性を高くする
ためにはスライダをディスク上に一定の高さで浮上さ
せ、情報を欠失する接触を避けるように設計されてき
た。
However, as the distance between the magnetic head and the magnetic disk decreases, the possibility of contact between the two increases, and there is a risk of destruction and damage of the magnetic head and the surface of the magnetic disk and loss of information due to the damage. Increase. For this reason, in the conventional magnetic disk device, in order to improve the reliability, the slider is designed to be floated above the disk at a constant height so as to avoid the contact that loses information.

【0007】この従来技術では、磁気ヘッド搭載スライ
ダと磁気ディスク表面との隙間の大部分は、空気の膜で
構成されており、この空気が流体として持つ粘性により
レール面に生じる圧力を、スライダの浮上力としてスラ
イダの支持体によりディスク表面方向に印荷される押し
付け力と釣り合わせ、磁気ヘッドを非接触に保ち浮上さ
せている。
In this prior art, most of the gap between the magnetic head mounting slider and the surface of the magnetic disk is composed of an air film, and the pressure generated on the rail surface by the viscosity of the air as a fluid is The flying force is balanced with the pressing force applied in the disk surface direction by the support of the slider, and the magnetic head is levitated while keeping it in non-contact.

【0008】しかし、磁気ヘッドスライダと磁気ディス
ク表面との間隔すなわち浮上高さが、空気分子の平均自
由工程以下になると空気分子による流体的な発生圧力は
小さくなり、磁気ヘッド搭載スライダを所望の浮上高さ
に保つことが困難になる。このため磁気ディスク表面と
磁気ヘッド搭載スライダとの接触が生じやすくなり、塵
埃発生、ヘッドクラッシュ、ディスク表面の破壊発生の
危険が著しく増大する。
However, if the distance between the magnetic head slider and the surface of the magnetic disk, that is, the flying height, is less than the mean free path of the air molecules, the fluid pressure generated by the air molecules becomes small, and the slider with the magnetic head mounted thereon is desired to fly. Difficult to keep at height. Therefore, the surface of the magnetic disk and the slider for mounting the magnetic head are likely to come into contact with each other, and the risk of dust generation, head crash, and destruction of the disk surface increases significantly.

【0009】このような空気軸受け方式に替わる方式を
用いる磁気ディスク装置として、これまでに種々の提案
がなされている。
Various proposals have been made so far as a magnetic disk device using a system replacing the air bearing system.

【0010】たとえば特開平5-114116号公報では、磁気
ヘッドを低剛性なアームと一体成形して、磁気ヘッドの
磁極を摩耗可能な部材とすることで、磁気ヘッドを磁気
ディスク表面と継続的に接触させて、磁気ヘッドと磁気
ディスク表面との距離を低減させ、高記録密度を達成す
る方法が提案されている。
For example, in Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 5-114116, a magnetic head is integrally formed with a low-rigidity arm, and a magnetic pole of the magnetic head is made a wearable member so that the magnetic head is continuously connected to the magnetic disk surface. A method has been proposed in which the recording head is contacted with the magnetic head to reduce the distance between the magnetic head and the surface of the magnetic disk to achieve a high recording density.

【0011】さらに、特開平5-151735号公報には、装置
内部に高粘度の潤滑膜を塗布した磁気ディスクと、稼動
期間中にわたり潤滑材を補充する潤滑材リザーバを有す
ることを特徴とし、スライダはスライダから伸びる複数
の円錐台状の滑走脚を有しており潤滑材表面を滑走する
ことで粘着、損傷を低減する方法を提案している。
Further, Japanese Patent Laid-Open No. 5-517735 discloses a slider characterized by having a magnetic disk coated with a high-viscosity lubricating film inside the apparatus and a lubricant reservoir for replenishing the lubricant during the operating period. Proposes a method of reducing sticking and damage by sliding on a lubricant surface, which has a plurality of frustoconical sliding legs extending from a slider.

【0012】他の例として、特開平6-60329号公報に
は、スライダの形状を1レールの空気力支持面をL字型
に切り欠いた形として、磁気ヘッドを搭載したスライダ
を軽質量にして、軽荷重で磁気ディスク表面に押しつ
け、継続的に接触させつつ磁気記録を行なう方式、ある
いはヘッドスライダ部は浮上する前部2個のパッドと接
触を行い磁気ヘッドのギャップが置かれる1個のパッド
から構成され、接触面積を減少させ寿命を増加し、デー
タ損失を低減する方式が提案されている。
As another example, in Japanese Patent Laid-Open No. 6-60329, the shape of the slider is formed by cutting out the aerodynamic support surface of one rail into an L-shape, and the slider on which the magnetic head is mounted has a light weight. A magnetic load is applied to the surface of the magnetic disk with a light load to continuously make contact with the magnetic recording, or the head slider part comes into contact with the two floating pads on the front side to form a gap of the magnetic head. A method has been proposed which is composed of pads and reduces the contact area to increase the life and reduce the data loss.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上述のエアベアリング
技術での問題点として、磁気記録密度の増大と装置とし
ての高い信頼性を保つことの両立させることが、本質的
に困難になってきていることがあげられる。
As a problem in the above air bearing technology, it is essentially difficult to achieve both the increase in magnetic recording density and the high reliability of the apparatus. Can be mentioned.

【0014】継続的な接触による磁気記録においては、
ディスク表面のうねりが存在することによるディスク面
の上下動、磁気ヘッド搭載スライダを支持する支持構造
体の取付位置の誤差等により、磁気ヘッドの磁気ディス
ク表面に対向する端部と磁気ディスク表面との間のすき
間が変動し磁気ヘッドの磁気的な情報の読み出し/書き
込みに影響を与え、磁気ヘッドの性能を安定に保ち情報
の読み出し/書き込みを行なうことができないという問
題がある。
In magnetic recording by continuous contact,
Due to vertical movement of the disk surface due to the presence of undulations on the disk surface, an error in the mounting position of the support structure that supports the magnetic head mounting slider, and the like, the end of the magnetic head facing the magnetic disk surface and the magnetic disk surface There is a problem that the gap changes to affect the magnetic information read / write of the magnetic head, and the performance of the magnetic head is kept stable and the information read / write cannot be performed.

【0015】このような方式の磁気ディスク装置におい
て磁気ヘッドと磁気ディスクとの定常的な接触を行って
も、読みだし/書き込み時にエラーが発生しない、また
は記録データの破壊を生じない耐摺動性を確保し、従来
と同様な信頼性を維持することが必然的な課題となる。
In the magnetic disk device of such a system, even if the magnetic head and the magnetic disk are constantly contacted with each other, no error occurs during reading / writing, or the recorded data is not destroyed, and the sliding resistance is improved. It is an indispensable task to secure the same and maintain the same reliability as before.

【0016】装置の稼働期間中、上記のような磁気ディ
スク表面および磁気ヘッド搭載スライダの摩耗、損傷に
起因する情報の破壊、あるいは読み出し/書き込み時の
エラーを低減するには、磁気ヘッドおよびスライダと磁
気ディスク表面両者の摩耗率を小さくし、両者の摺動に
より発生する塵挨の発生を低下させるために、磁気ヘッ
ド搭載スライダに印荷する荷重を十分小さくして生じる
接触面圧を小さくすることが必要となる。
During the operation of the apparatus, in order to reduce the damage of information due to the wear and damage of the magnetic disk surface and the slider for mounting the magnetic head as described above, or the error at the time of reading / writing, the magnetic head and the slider are used. In order to reduce the wear rate of both surfaces of the magnetic disk and to reduce the generation of dust generated by the sliding of both, the load applied to the slider on which the magnetic head is mounted should be sufficiently small to reduce the contact surface pressure. Is required.

【0017】さらに、このような軽荷重条件を達成する
ために、サスペンションは必然的に従来以上に低剛性と
なるため、シーク動作時に大きなねじりが生じて磁気デ
ィスク表面との隙間変動を増大して、磁気ヘッドの記録
/変換性能を大きく損なう。
Further, in order to achieve such a light load condition, the suspension inevitably has a lower rigidity than the conventional one, so that a large torsion is generated during the seek operation to increase the fluctuation of the clearance between the suspension and the magnetic disk surface. , The recording / conversion performance of the magnetic head is greatly impaired.

【0018】本発明の目的は、ディスクのうねりや組み
立て取り付け誤差、シーク動作による磁気ヘッドと磁気
ディスク表面との隙間の変動を低減し、且つ、定常的な
接触記録に必要な耐摺動性を確保して、高信頼性を有し
かつ、高記録密度を達成できる磁気ヘッドアセンブリ及
び磁気ディスク装置を提供することにある。
The object of the present invention is to reduce fluctuations in the gap between the magnetic head and the surface of the magnetic disk due to waviness of the disk, assembling and mounting errors, and seek operations, and to provide the sliding resistance required for steady contact recording. It is an object of the present invention to provide a magnetic head assembly and a magnetic disk device which can ensure high reliability and can achieve high recording density.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】上記目的の磁気ヘッドア
センブリは、下記の構成とすることにより達成される。
The above-described magnetic head assembly is achieved by the following constitution.

【0020】(1)回転する磁気ディスク表面を相対運
動しつつ磁気ディスクに記録された情報を読み/書きす
る磁気ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、ス
ライダを磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構
造体とを備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、前
記スライダは、磁気ディスクに対向する面に複数の凸状
部を有し、該凸状部は相対運動する磁気ディスクに対し
て進行方向の前端側に1個、進行方向の後端側に複数備
えてなる。
(1) A magnetic head for reading / writing information recorded on a magnetic disk while making a relative motion on the surface of a rotating magnetic disk, a slider for mounting the magnetic head, and a slider support structure for pressing the slider against the surface of the magnetic disk. In the magnetic head assembly including a body, the slider has a plurality of convex portions on a surface facing the magnetic disk, and the convex portions are provided on a front end side in a traveling direction with respect to the magnetic disk which moves relative to each other. One is provided in plurality at the rear end side in the traveling direction.

【0021】(2)回転する磁気ディスク表面を相対運
動しつつ磁気ディスクに記録された情報を読み/書きす
る磁気ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、ス
ライダを磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構
造体とを備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、前
記スライダは、磁気ディスクに対向する対向面に複数の
凸状部を有し、該凸状部は相対運動する磁気ディスク面
と摺動する摺動面と、前記凸状部を除く前記対向面とを
結合する側面よりなり、前記摺動面と前記側面とは略直
角を成す。
(2) A magnetic head for reading / writing information recorded on the magnetic disk while making a relative motion on the surface of the rotating magnetic disk, a slider for mounting the magnetic head, and a slider support structure for pressing the slider against the surface of the magnetic disk. In the magnetic head assembly including a body, the slider has a plurality of convex portions on a facing surface facing the magnetic disk, and the convex portions slide on a sliding surface of the magnetic disk surface which moves relative to each other. And a side surface that joins the facing surface excluding the convex portion, and the sliding surface and the side surface form a substantially right angle.

【0022】(3)回転する磁気ディスク表面を相対運
動しつつ磁気ディスクに記録された情報を読み/書きす
る磁気ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、ス
ライダを磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構
造体とを備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、前
記スライダは、磁気ディスクに対向する面に、相対運動
する磁気ディスクに対して進行方向の前端側に1個、進
行方向の後端側に複数の凸状部を備え、該凸状部は相対
運動する磁気ディスク面と摺動する摺動面と、前記凸状
部を除く前記対向面とを結合する側面よりなり、前記摺
動面と前記側面とは略直角を成す。
(3) A magnetic head for reading / writing information recorded on the magnetic disk while making relative motion on the surface of the rotating magnetic disk, a slider for mounting the magnetic head, and a slider support structure for pressing the slider against the surface of the magnetic disk. In the magnetic head assembly including a body, the slider is provided on the surface facing the magnetic disk, one on the front end side in the traveling direction with respect to the moving magnetic disk and a plurality of protrusions on the rear end side in the traveling direction. A convex portion, the convex portion including a sliding surface that slides on a magnetic disk surface that moves relative to each other, and a side surface that joins the facing surface excluding the convex portion, and the sliding surface and the side surface. Form an approximately right angle.

【0023】(4)回転する磁気ディスク表面を相対運
動しつつ磁気ディスクに記録された情報を読み/書きす
る磁気ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、ス
ライダを磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構
造体とを備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、前
記スライダは、磁気ディスクに対向する面に、相対運動
する磁気ディスクに対して進行方向の前端側に1個、進
行方向の後端側に複数の凸状部を備え、該凸状部は相対
運動する磁気ディスク面と摺動する摺動面と、前記凸状
部を除く前記対向面とを結合する側面よりなり、少なく
ともその一部に前記摺動面と前記側面とが略直角を成す
部分を有する。
(4) A magnetic head for reading / writing information recorded on the magnetic disk while relatively moving on the surface of the rotating magnetic disk, a slider for mounting the magnetic head, and a slider support structure for pressing the slider against the surface of the magnetic disk. In the magnetic head assembly including a body, the slider is provided on the surface facing the magnetic disk, one on the front end side in the traveling direction with respect to the moving magnetic disk and a plurality of protrusions on the rear end side in the traveling direction. A convex portion, the convex portion including a side surface that joins a sliding surface that slides on the magnetic disk surface that moves relatively, and the facing surface excluding the convex portion, and at least a part of the sliding surface. There is a portion where the surface and the side surface form a substantially right angle.

【0024】(5)上記(1)、(3)、(4)のいず
れかの磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記スライダの
進行方向後端側に備える凸状部は2個とすればよい。
(5) In the magnetic head assembly according to any one of (1), (3), and (4), the number of convex portions provided on the trailing end side of the slider in the traveling direction may be two.

【0025】(6)上記(1)、(3)、(4)のいず
れかの磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記磁気ヘッド
は前記スライダの前端側に備える凸状部に設けるとよ
い。
(6) In the magnetic head assembly according to any one of (1), (3), and (4), the magnetic head may be provided on a convex portion provided on the front end side of the slider.

【0026】(7)上記(1)乃至(6)のいずれかの
磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記スライダは、磁気
ディスク面と相対運動する方向の長さが最大0.8mm、
前記相対運動する方向と直交する方向の長さが最大1.
0mmであるとよい。
(7) In the magnetic head assembly according to any one of (1) to (6), the slider has a maximum length of 0.8 mm in the direction of relative movement with respect to the magnetic disk surface,
The maximum length in the direction orthogonal to the direction of relative movement is 1.
It should be 0 mm.

【0027】(8)上記(2)乃至(4)のいずれかの
磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記スライダに備える
凸状部の摺動面は、その面積が6μm×6μm以上、60
μm×60μm以下であるとよい。
(8) In the magnetic head assembly according to any one of (2) to (4), the sliding surface of the convex portion provided on the slider has an area of 6 μm × 6 μm or more, 60.
The size is preferably μm × 60 μm or less.

【0028】(9)上記(2)乃至(4)のいずれかの
磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記スライダの凸状部
は、凸状部を除く前記対向面に対して略10μm以上突
出しているとよい。
(9) In the magnetic head assembly according to any one of the above (2) to (4), it is preferable that the protruding portion of the slider protrudes from the facing surface excluding the protruding portion by about 10 μm or more. .

【0029】(10)回転する磁気ディスク表面を相対
運動しつつ磁気ディスクに記録された情報を読み/書き
する磁気ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、
スライダを磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持
構造体とを備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、
前記スライダは、磁気ディスク面と対向する面が、磁気
ディスク面と相対運動する方向の長さが最大0.8mm、
前記相対運動する方向と直交する方向の長さが最大1.
0mmであって、相対運動する磁気ディスクに対して進行
方向の前端側に1個、進行方向の後端側に2個の凸状部
を備え、凸状部は凸状部を除く前記対向面に対して略1
0μm以上突出し、且つ相対運動する磁気ディスク面と
摺動する摺動面の面積が6μm×6μm以上、60μm×
60μm以下からなり、前記磁気ヘッドはスライダの前
端側に備える凸状部に設ける。
(10) A magnetic head for reading / writing information recorded on the magnetic disk while relatively moving on the surface of the rotating magnetic disk, and a slider for mounting the magnetic head.
A magnetic head assembly comprising a slider support structure for pressing a slider against a magnetic disk surface,
The slider has a surface facing the magnetic disk surface, the maximum length in the direction of relative movement with the magnetic disk surface is 0.8 mm,
The maximum length in the direction orthogonal to the direction of relative movement is 1.
0 mm, and one convex portion is provided on the front end side in the traveling direction and two convex portions are formed on the rear end side in the traveling direction with respect to the magnetic disk moving relative to each other, and the convex portion is the facing surface excluding the convex portion. About 1
The area of the sliding surface that protrudes by 0 μm or more and slides on the surface of the magnetic disk that moves relatively is 6 μm × 6 μm or more, 60 μm ×
The magnetic head has a thickness of 60 μm or less, and is provided on a convex portion provided on the front end side of the slider.

【0030】(11)上記(1)乃至(10)のいずれ
かの磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記スライダ支持
構造体はスライダにピッチング方向、及びローリング方
向の運動を許容するジンバル的な機能を有する構造部分
を備えるとよい。
(11) In the magnetic head assembly according to any one of (1) to (10), the slider supporting structure has a gimbal-like function that allows the slider to move in the pitching direction and the rolling direction. Should be provided.

【0031】(12)上記(1)、(3)、(4)、
(5)及び(6)のいずれかの磁気ヘッドアセンブリに
おいて、前記磁気ディスクに対して進行方向の前端側に
備える凸状部と進行方向の後端側に備える凸状部と間隔
は、前記スライダが対向する磁気ディスク表面の高さ変
動パターンを最も特徴付ける波長とするとよい。
(12) The above (1), (3), (4),
In the magnetic head assembly of any one of (5) and (6), the distance between the convex portion provided on the front end side in the traveling direction and the convex portion provided on the rear end side in the traveling direction with respect to the magnetic disk is the slider. It is advisable to set the height variation pattern of the magnetic disk surfaces facing each other as the wavelength that characterizes the most.

【0032】また、上記目的の磁気ディスク装置は、下
記の構成とすることにより達成される。
The magnetic disk device for the above purpose can be achieved by the following constitution.

【0033】(13)回転する磁気ディスクと、この磁
気ディスク表面を相対運動しつつ磁気ディスクに記録さ
れた情報を読み/書きする磁気ヘッドを搭載するスライ
ダを磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構造体
を有する磁気ヘッドアセンブリとを備えて成る磁気ディ
スク装置において、前記スライダは、磁気ディスクに対
向する面に、相対運動する磁気ディスクに対して進行方
向の前端側に1個、進行方向の後端側に複数の凸状部を
有し、前記支持構造体による磁気ディスク表面への押し
付け力が6mgf以上、50mgf以下である。
(13) A slider support structure for pressing a rotating magnetic disk and a slider having a magnetic head for reading / writing information recorded on the magnetic disk while relatively moving the surface of the magnetic disk against the surface of the magnetic disk. A magnetic head assembly having the magnetic head assembly, wherein the slider is provided on the surface facing the magnetic disk, one slider on the front end side in the traveling direction with respect to the magnetic disk moving relatively, and one slider on the rear end side in the traveling direction. It has a plurality of convex portions, and the pressing force of the support structure on the surface of the magnetic disk is 6 mgf or more and 50 mgf or less.

【0034】(14)回転する磁気ディスクと、この磁
気ディスク表面を相対運動しつつ磁気ディスクに記録さ
れた情報を読み/書きする磁気ヘッドを搭載するスライ
ダを磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構造体
を有する磁気ヘッドアセンブリとを備えて成る磁気ディ
スク装置において、前記磁気ヘッドアセンブリは上記
(1)乃至(12)のいずれかを用いる。
(14) A slider support structure for pressing a rotating magnetic disk and a slider carrying a magnetic head for reading / writing information recorded on the magnetic disk while relatively moving the surface of the magnetic disk against the surface of the magnetic disk. In the magnetic disk drive including the magnetic head assembly having the above, the magnetic head assembly uses any one of the above (1) to (12).

【0035】(15)上記(13)または(14)の磁
気ディスク装置において、該磁気ディスク装置は、少な
くとも前記磁気ディスク及び磁気ヘッドアセンブリを容
器内に収納し、該容器は内部に不活性ガスを充填する。
(15) In the magnetic disk device according to (13) or (14), the magnetic disk device houses at least the magnetic disk and the magnetic head assembly in a container, and the container contains an inert gas therein. Fill.

【0036】(16)上記(13)または(14)の磁
気ディスク装置において、該磁気ディスク装置は、少な
くとも前記磁気ディスク及び磁気ヘッドアセンブリを容
器内に収納し、該容器は容器の内外を通気する通気孔を
有する。
(16) In the magnetic disk device according to (13) or (14), the magnetic disk device houses at least the magnetic disk and the magnetic head assembly in a container, and the container vents the inside and outside of the container. Has a ventilation hole.

【0037】(17)上記(13)または(14)に記
載の磁気ディスク装置において、前記磁気ディスクは表
面に潤滑剤を塗布するものであって、該磁気ディスク表
面と、前記スライダに設けた凸状部の磁気ディスクとの
摺動面とは、磁気ディスク表面上を前記スライダが相対
運動する状態において、ディスク表面に塗布された潤滑
剤の膜厚の最大値よりも厚い潤滑剤膜厚を保つ。
(17) In the magnetic disk device according to the above (13) or (14), the magnetic disk has a surface coated with a lubricant, and the magnetic disk surface and the protrusions provided on the slider are provided. The sliding surface of the disk-shaped portion with respect to the magnetic disk maintains a lubricant film thickness that is larger than the maximum value of the film thickness of the lubricant applied to the disk surface when the slider moves relative to the magnetic disk surface. .

【0038】(18)上記(13)または(14)の磁
気ディスク装置において、前記磁気ディスクは表面に潤
滑剤を塗布するものであって、該磁気ディスク表面と、
前記スライダに設けた凸状部の磁気ディスクとの摺動面
とは、磁気ディスク表面上を前記スライダが相対運動す
る状態において、非回転時におけるディスク表面上の潤
滑剤の膜厚の最大値よりも大きな間隔を保ちかつその間
に潤滑剤を有して支持される。
(18) In the magnetic disk device according to (13) or (14), the magnetic disk has a surface coated with a lubricant, and the magnetic disk surface and
The sliding surface of the convex portion provided on the slider with respect to the magnetic disk is defined by the maximum value of the film thickness of the lubricant on the disk surface when the slider is in a non-rotating state in a state where the slider relatively moves on the magnetic disk surface. Are also supported with a large spacing and with a lubricant in between.

【0039】[0039]

【作用】本発明において、スライダの磁気ディスク対向
面に磁気ディスクと摺動する凸状部(以下、パッドと称
する)をスライダの磁気ディスクに対し相対運動するス
ライダの進行方向の前端側に1個、後側に複数個備えて
いる。このため、スライダに対し、スライダ支持構造体
による磁気ディスク表面への押し付け力と、磁気ディス
ク表面との摩擦による摩擦力とによって加わるモーメン
トがスライダの前端を磁気ディスク表面に押し付けるよ
うに働くため、スライダが磁気ディスクと摺動している
ときにスライダが磁気ディスク表面から浮き上がるとび
はねが抑制できるとともに、パッドを前端部に1個配置
しているためとびはねが生じてもスライダの前端部が磁
気ディスク面に安定して着地し、スライダが磁気ディス
ク面へ早期に安定した位置をとることができる。
In the present invention, one convex portion (hereinafter referred to as a pad) that slides on the magnetic disk on the surface of the slider facing the magnetic disk is provided on the front end side in the moving direction of the slider that moves relative to the magnetic disk of the slider. , A plurality of them on the rear side. Therefore, a moment applied to the slider by the pressing force of the slider supporting structure against the magnetic disk surface and the frictional force due to the friction with the magnetic disk surface acts so as to press the front end of the slider against the magnetic disk surface. When the slider slides on the magnetic disk, the slider can be prevented from floating from the surface of the magnetic disk, and since one pad is arranged at the front end, the front end of the slider can be placed on the surface of the magnetic disk even if a jump occurs. It is possible to stably land and the slider can quickly reach a stable position on the magnetic disk surface.

【0040】また、本発明の実施例では、スライダの磁
気ディスク対向面上の摺動パッドをスライダの前端側に
1個、後端側に2個の3個形成し、このパッドでアセン
ブリの支持構造体からの押し付け力に対するディスク表
面からの支持反力を受ける。スライダは支持構造体のジ
ンバル構造部に接合することにより、3つのパッドが受
ける支持反力はスライダをピッチングまたはローリング
方向に回転させるモーメントとして作用する。パッドの
支持反力によるモーメントにより回転する角度が、本発
明の磁気ヘッドアセンブリを磁気ディスク装置に搭載す
るときの取り付け誤差に起因したスライダと磁気ディス
ク表面とのなす角度より大きくなるジンバルによりスラ
イダを支持することで、事実上取り付け誤差によるスラ
イダの磁気ディスク対向面との磁気ディスク表面との片
当たりがなくなる。また、磁気ヘッドをスライダの前端
部のパッドの部分に配置することにより、上記したよう
にスライダにとびはねが抑制されるとともに、とびはね
が生じても、スライダの前端部のパッド部分がモーメン
トによって早く磁気ディスクに押し付けるように働くた
め磁気ディスク表面と磁気ヘッドとの隙間の変動を小さ
く抑えることができる。磁気ヘッドは、スライダの端部
に従来技術で周知の薄膜形成技術で形成される。
Further, in the embodiment of the present invention, three sliding pads on the surface of the slider facing the magnetic disk are formed, one on the front end side of the slider and two on the rear end side, and the pads support the assembly. It receives the supporting reaction force from the disk surface against the pressing force from the structure. By joining the slider to the gimbal structure portion of the support structure, the support reaction force received by the three pads acts as a moment for rotating the slider in the pitching or rolling direction. The slider is supported by a gimbal in which the angle of rotation due to the moment due to the support reaction force of the pad is larger than the angle formed between the slider and the magnetic disk surface due to the mounting error when the magnetic head assembly of the present invention is mounted on the magnetic disk device. By doing so, there is virtually no one-sided contact between the surface of the slider facing the magnetic disk and the surface of the magnetic disk due to a mounting error. Further, by disposing the magnetic head on the pad portion at the front end portion of the slider, as described above, the flying of the slider is suppressed, and even if the flying spring occurs, the pad portion of the front end portion of the slider is quickly magnetized by the moment. Since it works so as to press it against the disk, it is possible to suppress fluctuations in the gap between the magnetic disk surface and the magnetic head to be small. The magnetic head is formed on the end of the slider by a thin film forming technique known in the prior art.

【0041】磁気ヘッドアセンブリを構成するスライダ
の磁気ディスク対向面に設けた複数のパッドの、磁気デ
ィスク面と摺動する摺動面と、パッドを除く磁気ディス
ク対向面とを結合する側面とのなす角度を略直角とする
ことにより、その内部に気体を封じるか、若しくは外部
との連通孔を有する磁気ディスク装置において、スライ
ダは回転する磁気ディスクにより生ずる磁気ディスク装
置内の気体の流れによる浮上力を発生しない。したがっ
て、従来装置において、発生する浮上力を抑えるととも
に磁気ディスク面にスライダを押しつけるためスライダ
支持構造体に加える押し付け力を低減でき、磁気ディス
ク面に対する押し付け力による損傷を少なくすることが
できる。なお、上記の角度は略直角とするのがよいが、
直角に限るものではなく110度乃至70度の範囲とし
ても良い。この場合110度以上、すなわち摺動面側に
対しスライダ側の面積が広くなる形状では、気体の流れ
による浮上力が生じ始めるため、また、逆にスライダ側
の面積が狭くなる90度以下ではスライダ側の根元部分
に応力集中部が生じ70度以下は強度的に弱くなる。
A plurality of pads provided on the magnetic disk facing surface of the slider constituting the magnetic head assembly are formed by the sliding surfaces that slide on the magnetic disk surface and the side surfaces that connect the magnetic disk facing surface excluding the pads. By making the angle substantially right, in a magnetic disk device that seals gas inside or has a communication hole with the outside, the slider causes the levitation force due to the flow of gas in the magnetic disk device generated by the rotating magnetic disk. Does not occur. Therefore, in the conventional apparatus, the generated levitation force can be suppressed and the pressing force applied to the slider support structure for pressing the slider against the magnetic disk surface can be reduced, and damage due to the pressing force on the magnetic disk surface can be reduced. In addition, although the above angle should be approximately right angle,
The angle is not limited to the right angle, but may be in the range of 110 degrees to 70 degrees. In this case, in the case of 110 degrees or more, that is, in the shape in which the slider side area is wider than the sliding surface side, the levitation force starts to be generated by the gas flow, and conversely, when the slider side area is 90 degrees or less, the slider side is narrowed. A stress concentration portion occurs at the root portion on the side, and the strength is weakened below 70 degrees.

【0042】本発明の実施例では、装置の記録密度を達
成できる記録隙間を維持できるパッドの大きさに対し
て、望ましい装置寿命を達成できるスライダの磁気ディ
スク対向面上のパッドの摩耗率を満たす押付荷重の範囲
が決定される。この押付荷重の印荷時に見積られる装置
の取付け誤差に起因する回転するディスク面に対するス
ライダの相対的な傾きを事実上無くしてスライダをディ
スク表面に接触させるジンバルの剛性の範囲が決定され
る。このジンバル剛性の条件下で追従性能を満たすスラ
イダのサイズの範囲が規定され、スライダのサイズの範
囲内で記録隙間とその変動を最適にできるパッド相互の
距離と位置が選択される。
In the embodiment of the present invention, the wear rate of the pad on the magnetic disk facing surface of the slider that can achieve the desired device life is satisfied with respect to the size of the pad that can maintain the recording gap that can achieve the recording density of the device. The range of pressing load is determined. The range of rigidity of the gimbal that contacts the slider to the disk surface is determined by virtually eliminating the relative inclination of the slider with respect to the rotating disk surface due to the mounting error of the device estimated when the pressing load is applied. A slider size range that satisfies the follow-up performance under this condition of gimbal rigidity is defined, and the distance and position between the pads that can optimize the recording gap and its variation are selected within the slider size range.

【0043】磁気ヘッドを搭載するパッドを60μm×
60μm以下で6μm×6μm以上、の大きさでを形成
し、このパッドで磁気ディスク表面上を摺動する。この
ため、磁気ヘッドがディスク表面上を移動しつつ磁気デ
ィスク表面上のうねり、粗さの小さな波長の凹凸のなか
に磁気ヘッド磁極が入り込み、磁極先端が磁気ディスク
上磁性膜表面に接近する。この結果、装置稼動中の記録
隙間の変動の大きさは従来の磁気ヘッドアセンブリの記
録隙間変動より小さくなり、磁気ディスク装置の記録性
能が安定し記録密度が向上する。
The pad for mounting the magnetic head is 60 μm ×
The size of 60 μm or less and 6 μm × 6 μm or more is formed, and the pad slides on the surface of the magnetic disk. Therefore, as the magnetic head moves on the disk surface, the magnetic head magnetic pole enters into the undulations on the magnetic disk surface and the unevenness of the wavelength having a small roughness, and the magnetic pole tip approaches the magnetic film surface on the magnetic disk. As a result, the fluctuation of the recording gap during the operation of the apparatus is smaller than the fluctuation of the recording gap of the conventional magnetic head assembly, and the recording performance of the magnetic disk device is stabilized and the recording density is improved.

【0044】また、継続的な摺動中の磁気ディスク表面
との直接的固体接触による摩耗、損傷の発生を低減する
ため、他のパッドの表面にも保護膜を形成する。保護膜
としては、カーボン等の耐摺動性に優れた材料を用い
る。
Further, in order to reduce the occurrence of wear and damage due to direct solid contact with the surface of the magnetic disk during continuous sliding, a protective film is formed on the surface of other pads. As the protective film, a material having excellent sliding resistance such as carbon is used.

【0045】パッドの大きさは、望ましくは磁極が磁気
ディスク表面上のうねり、粗さの小さな波長の凹凸のな
かに入りやすく、且つ加工精度を容易に達成できる一辺
が15乃至30μmとすることにより、より小さな凹部
にパッドが入り込むので、記録密度をさらに向上させる
ことができる。なお、パッドの形状は円状に限らず、角
状、楕円状、菱形、三角状でもよい。
The size of the pad is preferably 15 to 30 .mu.m on one side so that the magnetic pole easily enters the undulations on the surface of the magnetic disk and the unevenness of the wavelength having a small roughness and the processing accuracy can be easily achieved. Since the pad enters the smaller concave portion, the recording density can be further improved. The shape of the pad is not limited to a circular shape, and may be a square shape, an elliptical shape, a rhombic shape, or a triangular shape.

【0046】また、パッドの磁気ディスク表面との摺動
面とスライダの磁気ディスク対向面との段差を10μm
以上とする、より望ましくは20μm以上とすることに
より、スライダと磁気ディスクが相対運動するときスラ
イダの磁気ディスク対向面と磁気ディスク表面との隙間
に流入する流体のベアリング効果による力の影響を極力
小さくすることができる。これにより、流体の力によっ
てスライダが磁気ディスク表面から離れて記録隙間が増
大することを抑制し、記録隙間の変動を小さくすること
ができる。なお、この段差を大きくすると、加工時間が
長くなり生産性が悪くなるため、ベアリング効果による
影響を受けず生産性の良い値としては10μm乃至30
μmの範囲が望ましい。
Further, the step between the sliding surface of the pad on the surface of the magnetic disk and the surface of the slider facing the magnetic disk is 10 μm.
By setting the above, more preferably 20 μm or more, the influence of the force due to the bearing effect of the fluid flowing into the gap between the magnetic disk facing surface of the slider and the magnetic disk surface when the slider and the magnetic disk move relative to each other is minimized. can do. As a result, it is possible to prevent the slider from separating from the surface of the magnetic disk due to the force of the fluid and to increase the recording gap, and to reduce the fluctuation of the recording gap. It should be noted that if the step is increased, the processing time becomes longer and the productivity is deteriorated. Therefore, the value is not affected by the bearing effect and the productivity is 10 μm to 30 μm.
The range of μm is desirable.

【0047】スライダの支持構造体による磁気ディスク
表面へのスライダの押し付け荷重を6mgf乃至50m
gfにすることにより、摺動パッドに発生する見かけの
押し付け圧力が、パッドと磁気ディスク表面の摩耗を適
正な率以下にするために必要な値以下になり、パッドま
たは磁気ディスク表面の摩耗が望ましい装置寿命が得ら
れる範囲に低減される条件が満たされる。あるいは油を
塗布したディスク表面を滑走する磁気ヘッドアセンブリ
においては、摺動しているパッドと磁気ディスクの保護
膜との間隔は、パッド及びその近傍の領域以外の磁気デ
ィスク表面上の潤滑膜厚よりも大きくかつパッドは潤滑
剤膜上に支持されて摺動する。このためディスク回転中
のディスク上の突起や塵埃とパッド表面との接触が低減
し、摩耗量、発生塵埃が低減する。これにより磁気ディ
スク装置の信頼性を高く、寿命を長くすることができ
る。
The load of pressing the slider against the surface of the magnetic disk by the support structure of the slider is 6 mgf to 50 m.
By setting gf, the apparent pressing pressure generated on the sliding pad becomes less than the value required to reduce the wear of the pad and the magnetic disk surface to a proper rate or less, and the wear of the pad or the magnetic disk surface is desirable. The condition for reducing the life of the device is satisfied. Alternatively, in a magnetic head assembly that slides on an oil-coated disk surface, the distance between the sliding pad and the protective film of the magnetic disk should be greater than the lubrication film thickness on the magnetic disk surface other than the pad and the area in the vicinity thereof. Is large and the pad slides while being supported on the lubricant film. For this reason, the contact between the protrusions and dust on the disc and the pad surface during the disc rotation is reduced, and the wear amount and the generated dust are reduced. As a result, the reliability of the magnetic disk device can be increased and the life can be extended.

【0048】磁気ヘッドを搭載するスライダの大きさ
を、前後0.8mm以下、幅1.0mm以下、下限はジ
ンバルがバネ性を有し正常に機能する限界である前後が
250μm、幅が500μmにすることにより従来の磁
気ヘッドアセンブリによるスライダを用いた磁気ヘッド
アセンブリよりも重量を軽くできる。このことによりス
ライダは磁気ディスク表面のうねり、粗さ、上下動によ
る振動に対し高い周波数の領域の振動に追従する。よっ
て、動作中の記録隙間変動が小さくなり、磁気ディスク
上の情報を読み出しまたは書き込みする時のエラーが減
少し、装置の信頼性をさらに高くすることができる。
The size of the slider on which the magnetic head is mounted is 0.8 mm or less in the front and rear and 1.0 mm or less in the width. The lower limit is 250 μm in the front and back, which is the limit at which the gimbal has the spring property and functions normally, and the width is 500 μm. By doing so, the weight can be reduced as compared with the conventional magnetic head assembly using the slider by the magnetic head assembly. As a result, the slider follows vibrations in a high frequency region with respect to vibrations due to waviness, roughness and vertical movement of the magnetic disk surface. Therefore, fluctuations in the recording gap during operation are reduced, errors in reading or writing information on the magnetic disk are reduced, and the reliability of the device can be further enhanced.

【0049】[0049]

【実施例】次に、本発明の実施例について添付図面を参
照にして詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【0050】図1は、本発明の一実施例の磁気ディスク
装置のカバーを除去した斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention with a cover removed.

【0051】本実施例の磁気ディスク装置は、スピンド
ル軸7に固定され、その軸の回転により回転する磁気デ
ィスク1、スピンドル軸7を駆動する駆動モータ2、キ
ャリッジ軸3に固定されたアクチュエータ4、キャリッ
ジ軸に固定され回転する剛性アーム5、剛性アーム5に
固定される磁気ヘッドアセンブリ6を備える。
The magnetic disk device of this embodiment is fixed to a spindle shaft 7, and a magnetic disk 1 that rotates by the rotation of the shaft, a drive motor 2 that drives the spindle shaft 7, and an actuator 4 that is fixed to a carriage shaft 3, A rigid arm 5 fixed to the carriage shaft and rotating, and a magnetic head assembly 6 fixed to the rigid arm 5 are provided.

【0052】磁気ディスク1は、ハブ8によりスピンド
ル軸7と接合かつ固定され、駆動モータ2がスピンドル
軸7を駆動することにより回転する。
The magnetic disk 1 is joined and fixed to the spindle shaft 7 by the hub 8, and is rotated by the drive motor 2 driving the spindle shaft 7.

【0053】上述の構成部材は、ケース9に収納されて
いる。このケース9には、一般に内部を外部の環境に合
わせて圧力を調節する通気口(図示せず)を有してい
る。装置は内部、外部の空気を強制循環させ内部に新し
い空気を供給する機構は有しておらず、装置内部は外部
環境から事実上隔離され、密封されている。
The above-mentioned components are housed in the case 9. The case 9 generally has a vent hole (not shown) that adjusts the pressure according to the external environment. The device does not have a mechanism for forcedly circulating internal and external air to supply new air to the inside, and the inside of the device is effectively isolated from the external environment and sealed.

【0054】磁気ヘッドアセンブリ6は、情報を読み出
し/書き込みする磁気ヘッドとその磁気ヘッドを搭載す
るスライダ、さらにそのヘッド/スライダが接合される
支持構造体からなる。スライダ上には磁気ヘッド(図示
せず)が形成される。支持構造体は磁気ヘッドを搭載し
たスライダを磁気ディスクの表面方向に、磁気ヘッドと
ディスク表面を事実上接触させる荷重で押しつけ、かつ
ディスク表面からスライダに加わる反力を受けスライダ
を磁気ディスク上に支持するサスペンションの機能を提
供する。
The magnetic head assembly 6 comprises a magnetic head for reading / writing information, a slider for mounting the magnetic head, and a support structure for joining the head / slider. A magnetic head (not shown) is formed on the slider. The support structure presses the slider on which the magnetic head is mounted toward the surface of the magnetic disk with a load that causes the magnetic head and the disk surface to come into contact with each other, and receives the reaction force applied to the slider from the disk surface to support the slider on the magnetic disk. It provides the function of suspension.

【0055】磁気ディスク装置の稼働中、キャリッジ軸
3に固定された直線または回転するボイスコイルモータ
であるアクチュエータ4は、軸に固定された剛性アーム
5を駆動することによって、磁気ヘッドを磁気ディスク
1の主に半径方向に横切って位置決めし、磁気ヘッドが
ことなるデータのトラックにアクセスできるようにす
る。
During operation of the magnetic disk apparatus, an actuator 4, which is a linear or rotating voice coil motor fixed to the carriage shaft 3, drives a rigid arm 5 fixed to the shaft to move the magnetic head to the magnetic disk 1. Positioned primarily across the radial direction to allow the magnetic head to access different tracks of data.

【0056】図3は本実施例の装置の磁気ヘッド/スラ
イダ/支持機構のアセンブリ6を拡大した斜視図であ
る。本実施例において、支持構造体であるサスペンショ
ン10はスライダ11に荷重を印荷して、磁気ヘッドを
磁気ディスク表面と接触した状態に維持する。この支持
機構の機能は、従来の技術による磁気ディスク装置に用
いられるサスペンション機構と同様である。
FIG. 3 is an enlarged perspective view of the magnetic head / slider / support mechanism assembly 6 of the apparatus of this embodiment. In this embodiment, the suspension 10, which is the support structure, applies a load to the slider 11 to maintain the magnetic head in contact with the surface of the magnetic disk. The function of this support mechanism is similar to that of the suspension mechanism used in the conventional magnetic disk drive.

【0057】従来の磁気ディスク装置に用いられる磁気
ヘッド/スライダ/支持構造体アセンブリを図2に示
す。この従来の実施例においてはアセンブリ101は、
支持構造体102の端に接合された、空気ベアリング面
を磁気ディスク対向面に有する磁気ヘッド搭載スライダ
103を含んでいる。磁気ヘッド104はスライダの空
気ベアリング面に対し流入する空気の流出する側の端面
に形成される。支持構造体102は本実施例と同様にア
クチュエータに固定されたキャリッジに接合された剛性
アーム(図示せず)と接合される。
FIG. 2 shows a magnetic head / slider / support structure assembly used in a conventional magnetic disk drive. In this conventional embodiment, the assembly 101 is
It includes a magnetic head mounting slider 103 joined to the end of the support structure 102 and having an air bearing surface on the surface facing the magnetic disk. The magnetic head 104 is formed on the end surface on the outflow side of the air flowing into the air bearing surface of the slider. The support structure 102 is joined to a rigid arm (not shown) joined to a carriage fixed to an actuator as in the present embodiment.

【0058】支持構造体は102は、基本的に板バネ構
造体であり、磁気ディスク装置の組立時にバネ付勢さ
れ、装置駆動中にスライダに発生する空気ベアエリング
による浮上力に釣り合う荷重をスライダに印荷する。配
線された信号線105は磁気ヘッドが変換して記録す
る、または読み出して変換するデータ信号を信号処理回
路へ伝達する。
The support structure 102 is basically a leaf spring structure, and is biased by a spring when the magnetic disk device is assembled, and a load is applied to the slider that balances the levitation force due to the air bearing which is generated in the slider while the device is being driven. To load. The wired signal line 105 transmits a data signal converted and recorded by the magnetic head or read and converted to the signal processing circuit.

【0059】本実施例では、従来の実施例の磁気ヘッド
アセンブリにおける支持構造体と同様に、磁気ディスク
表面に対して上下方向に相対的に小さな剛性を有し、左
右方向即ち磁気ディスク表面に平行な方向には相対的に
大きな剛性を有している。更に図3に示すように、磁気
ヘッド搭載スライダ12は、支持構造体10の一部をな
すジンバル的機能を有する構造部分11で支持構造体1
0と接合される。
In this embodiment, similarly to the support structure in the conventional magnetic head assembly, it has a relatively small rigidity in the vertical direction with respect to the magnetic disk surface, and is parallel to the horizontal direction, that is, the magnetic disk surface. It has a relatively large rigidity in this direction. Further, as shown in FIG. 3, the magnetic head mounting slider 12 has a structure portion 11 which forms a part of the support structure 10 and has a gimbal-like function.
Joined with 0.

【0060】ここで言うジンバル的機能とは、スライダ
が磁気ディスク表面と接触し、あるいは回転する磁気デ
ィスク表面と摺動するときに、スライダにローリング方
向、及びピッチング方向の運動を許容し、スライダの磁
気ディスク対向面上に形成された摺動パッドのそれぞれ
が常に磁気ディスク表面と接触摺動し、磁気ヘッドが事
実上ディスク表面と接するようにする機能のことであ
る。
The gimbal function here means that when the slider contacts the surface of the magnetic disk or slides on the surface of the rotating magnetic disk, the slider is allowed to move in the rolling direction and the pitching direction, and This is a function of allowing each of the sliding pads formed on the surface facing the magnetic disk to constantly slide in contact with the surface of the magnetic disk so that the magnetic head actually contacts the surface of the disk.

【0061】図4に、磁気ヘッド/スライダ/支持構造
体アセンブリを磁気ヘッドを搭載する側から見た斜視図
を示す。なお、図4には、スライダ部分に一部投影部分
を含む。スライダは磁気ヘッドをその端面上に従来技術
によるものと同様な薄膜技術により形成して搭載し、支
持構造体のジンバル機能構造部分e1の中に形成された
接触部13に接合される。この接合部のスライダ接合部
13には、Au等の材料の金属箔による接合パッド部1
4が設けられ、スライダの端面上に形成された薄膜磁気
ヘッドの被膜上の端子と接続される。この端子を通し
て、磁気ヘッドにより変換され記録されるまたは変換さ
れ読みだされる磁気変換信号が支持構造体上に配線され
た信号線を通して、結線された増幅回路へ送られる。
FIG. 4 is a perspective view of the magnetic head / slider / support structure assembly as seen from the side on which the magnetic head is mounted. It should be noted that in FIG. 4, the slider portion includes a partial projection portion. The slider mounts a magnetic head formed on its end face by a thin film technique similar to that of the prior art, and is bonded to a contact portion 13 formed in the gimbal functional structure portion e1 of the support structure. On the slider joint 13 of this joint, the joint pad 1 made of a metal foil of a material such as Au is used.
4 is provided and is connected to the terminal on the film of the thin film magnetic head formed on the end surface of the slider. Through this terminal, the magnetic conversion signal converted and recorded by the magnetic head or converted and read out is sent to the connected amplification circuit through the signal line wired on the support structure.

【0062】図5は、このようにして互いに接合される
磁気ヘッド搭載スライダと支持構造体の磁気ヘッドを含
む断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view including the magnetic head mounting slider and the magnetic head of the support structure which are bonded to each other in this manner.

【0063】磁気ヘッド搭載スライダ支持構造体の平面
図を図6に示す。磁気ヘッド搭載スライダ12は、支持
構造体10の端部に設けられたジンバル機能構造部11
の中心に形成される接合パッド部に接合される。このと
き、スライダにはスライダの端部に従来のマスキング技
術とデポジット技術により薄膜形成された薄膜磁気ヘッ
ドの被膜上に形成される、磁気ヘッド内部と結線された
端子であるパッドと、半田接合法その他の結線方法で接
合される。
FIG. 6 is a plan view of the slider support structure for mounting a magnetic head. The magnetic head mounting slider 12 includes a gimbal functional structure portion 11 provided at an end portion of the support structure 10.
Is bonded to the bonding pad portion formed at the center of the. At this time, in the slider, a pad which is a terminal connected to the inside of the magnetic head, which is formed on the film of the thin film magnetic head formed by a conventional masking technique and a deposit technique at the end of the slider, and a solder bonding method are used. Joined by other connection methods.

【0064】また、ジンバル機能構造部11上には、接
合パッドから伸びる信号線23が配置されている。更に
この信号線は支持構造体10上にも配置され、支持構造
体のスライダと接合される端部の他方の端部に設けられ
る接合パッド26まで配置され、このパッド26上で剛
性アーム(図示せず)方向から伸びる信号線と接合す
る。こうして、磁気ヘッドとデータ信号処理回路は導通
し、データが所定の回路を通じて磁気ディスク上の任意
のデータトラックにおいて記録され、読み出されたデー
タが処理される。
A signal line 23 extending from the bonding pad is arranged on the gimbal functional structure 11. Further, this signal line is also arranged on the support structure 10, and is also arranged up to a bonding pad 26 provided on the other end of the end of the support structure that is bonded to the slider, and a rigid arm (see FIG. It joins with the signal line extending from the direction (not shown). In this way, the magnetic head and the data signal processing circuit are brought into conduction, data is recorded on an arbitrary data track on the magnetic disk through a predetermined circuit, and the read data is processed.

【0065】本実施例においては支持構造体上に配置さ
れる信号線は、磁気ヘッドを形成する場合と同様な技術
を応用することにより、支持構造体上に薄膜形成される
Cu等の箔を信号線として用いることができる。この薄
膜技術による信号線26は、ジンバル機能部から支持構
造体側接合パッド26の範囲にわたり、この接合パッド
26と同一プロセスとして薄膜形成されるポリイミド等
の樹脂により周囲を絶縁される。この樹脂部分を含む接
合パッド26の長さ、幅、厚さ、配置経路は、望ましく
は、後述するジンバル構造部の剛性、信号線全体の抵抗
値、静電容量値やそれらに影響される磁気ヘッド、信号
線、処理回路全体の周波数特性をパラメータとして決め
られる。
In the present embodiment, the signal line arranged on the support structure is formed of a foil such as Cu, which is formed into a thin film on the support structure, by applying the same technique as in forming the magnetic head. It can be used as a signal line. The signal line 26 formed by the thin film technique extends from the gimbal functional portion to the support structure side bonding pad 26 and is insulated from the surroundings by a resin such as a polyimide film formed in the same process as the bonding pad 26. The length, width, thickness, and arrangement path of the bonding pad 26 including the resin portion are desirably the rigidity of the gimbal structure portion described later, the resistance value of the entire signal line, the capacitance value, and the magnetism affected by them. The frequency characteristics of the head, the signal line, and the entire processing circuit are set as parameters.

【0066】この支持構造体の材質としては、従来の技
術を用いた装置と同様に、ステンレス鋼またはエッチン
グ技術の応用によりシリコンを用いることができる。ス
テンレス鋼を材料に用いた場合には、従来の支持機構と
同様に、ディスクと平行な方向(左右方向)の曲げ、ね
じれ剛性を大きくするために支持構造体の幅方向の端部
に支持構造体のなす平面の面外方向にフランジを形成す
ることができる。この場合、フランジを形成する加工は
金型を用いてプレス加工により行うことができる。シリ
コンを用いた場合、フランジを形成する替わりに、エッ
チングにより加工深さを調節し、支持構造体の厚みを適
切にして、支持構造体及びジンバル機能構造部のディス
クに対する上下、左右の各方向の所望の曲げ及びねじり
剛性を得ることができる。
As the material of this support structure, as in the case of the device using the conventional technique, it is possible to use stainless steel or silicon by applying the etching technique. When stainless steel is used as the material, the support structure is attached to the widthwise end of the support structure in order to increase bending and torsional rigidity in the direction parallel to the disk (left-right direction), as in the conventional support mechanism. The flange can be formed out of the plane of the body. In this case, the process of forming the flange can be performed by pressing using a mold. When silicon is used, instead of forming a flange, the processing depth is adjusted by etching to make the thickness of the support structure appropriate, and the support structure and the gimbal functional structure are vertically and horizontally attached to the disk. A desired bending and torsional rigidity can be obtained.

【0067】図7は、本実施例の磁気ヘッド搭載スライ
ダを磁気ディィスク側から見た平面図を示す。磁気ヘッ
ド搭載スライダ12は、支持構造体10より印荷される
荷重を受け、磁気ディスク対向面30で磁気ディスク表
面と、常に接して磁気ディスク装置の稼動時間にわたり
摺動する。本実施例のパッドは、停止状態においては磁
気ディスクと接触している。この状態で装置を稼働させ
た場合においても、原則的に接触状態を保って稼働し、
スライダとディスクとの間に空間を持って浮き上がるこ
とはない。すなわち、浮上機構を有していないためであ
る。
FIG. 7 is a plan view of the magnetic head mounting slider of this embodiment as viewed from the magnetic disc side. The magnetic head mounting slider 12 receives a load applied from the support structure 10, and is in constant contact with the magnetic disk surface at the magnetic disk facing surface 30 and slides for the operating time of the magnetic disk device. The pad of this embodiment is in contact with the magnetic disk in the stopped state. Even when the device is operated in this state, the contact state is maintained in principle,
It does not float with a space between the slider and the disk. That is, it does not have a floating mechanism.

【0068】磁気ヘッド搭載スライダ12は、磁気ディ
スク対向面30とその他の面から構成され、磁気ディス
ク対向面30と丁度反対側となる面で支持構造体と接合
される。スライダの磁気ディスク対向面30には、磁気
ディスクと接触および摺動する間、ディスク表面からの
支持反力を受ける3つのパッド15、16が形成されて
いる。磁気ディスク対向面30は、単一の平面で構成さ
れており、その面は反対側の支持構造体と接合する面と
平行な面となるように形成され、パッド15、16はそ
の平面に同一の厚さに形成される。
The magnetic head mounting slider 12 is composed of a magnetic disk facing surface 30 and other surfaces, and is joined to the support structure at the surface just opposite to the magnetic disk facing surface 30. On the magnetic disk facing surface 30 of the slider, three pads 15 and 16 that receive a supporting reaction force from the disk surface while contacting and sliding on the magnetic disk are formed. The magnetic disk facing surface 30 is composed of a single plane, and the surface is formed so as to be parallel to the surface to be joined to the support structure on the opposite side, and the pads 15 and 16 are the same as that plane. Formed to a thickness of.

【0069】このスライダの磁気ディスク対向面30上
に形成されるパッド15とその近傍の磁気ディスク対向
面とを含む部分の断面図を図8に示す。形成されるパッ
ド15は、磁気ディスク対向面30とほぼ平行で磁気デ
ィスク表面と接触をして摺動することによるディスク表
面からの支持反力を受ける面35と、側面36で構成さ
れる。パッドの支持反力を受ける面35は事実上平面と
考えることの出来る面である。
FIG. 8 is a sectional view of a portion including the pad 15 formed on the magnetic disk facing surface 30 of this slider and the magnetic disk facing surface in the vicinity thereof. The formed pad 15 is composed of a side surface 36 and a surface 35 that is substantially parallel to the magnetic disk facing surface 30 and receives a supporting reaction force from the disk surface by coming into contact with and sliding on the magnetic disk surface. The surface 35 that receives the supporting reaction force of the pad is a surface that can be considered to be a plane.

【0070】平面35と側面36とのなす角度αは略9
0度で形成する。本実施例でのパッド15は、摺動面が
円形で磁気ディスク対向面30に突出した円筒形を成し
ている。パッドの形状は、本実施例に示す円筒形に限る
ものではなく、楕円、菱形、四角形若しくは三角形を用
いてもよい。また、角度αは略90度に限らず、70度
乃至110度の範囲であれば良い。70度以下となると
磁気ディスク対向面30と側面36との結合部の応力集
中が大きくなり強度が弱くなり、110度以上では流体
の流れによって浮上力が生じ始める。
The angle α formed by the plane surface 35 and the side surface 36 is approximately 9
Form at 0 degrees. The pad 15 in this embodiment has a circular sliding surface and a cylindrical shape protruding toward the magnetic disk facing surface 30. The shape of the pad is not limited to the cylindrical shape shown in this embodiment, and an ellipse, a rhombus, a quadrangle, or a triangle may be used. Further, the angle α is not limited to about 90 degrees and may be in the range of 70 degrees to 110 degrees. When the temperature is 70 degrees or less, the stress concentration at the joint between the magnetic disk facing surface 30 and the side surface 36 becomes large and the strength becomes weak. At 110 degrees or more, the levitation force begins to be generated by the flow of the fluid.

【0071】磁気ヘッドを搭載するスライダの材質は従
来技術によるスライダと同様に、Al合金(Al2O3)と
炭化チタン(TiC)とのセラミック混合物あるいはSiの
酸化化合物等により作られ、パッド15の形はイオンミ
リング等の反応性イオンエッチング技術により形成され
る。
The material of the slider on which the magnetic head is mounted is made of a ceramic mixture of Al alloy (Al2O3) and titanium carbide (TiC) or an oxide compound of Si, as in the conventional slider, and the shape of the pad 15 is It is formed by a reactive ion etching technique such as ion milling.

【0072】このパッド15と磁気ディスク表面との界
面は図8に示されるように、ディスク表面の保護膜層3
7が、潤滑剤膜38を介してパッド表面35と接近す
る。
The interface between the pad 15 and the magnetic disk surface is, as shown in FIG. 8, a protective film layer 3 on the disk surface.
7 approaches the pad surface 35 via the lubricant film 38.

【0073】現在供用されている磁気ディスク表面の典
型的な材料構成は、コバルト合金によるスパッタ付着磁
性膜39の上部に15〜25ナノメートル程度のカーボ
ンの保護膜37を有している。この保護膜37とパッド
の面35は、相互の相対運動において直接に接触、ある
いは潤滑剤を介して十分接近する。このとき、パッド1
5には支持構造体からスライダに印荷される押し付け荷
重と釣り合うだけの支持反力が作用する。
The typical material composition of the surface of the magnetic disk currently in use has a carbon protective film 37 of about 15 to 25 nm on the sputter-deposited magnetic film 39 of cobalt alloy. The protective film 37 and the surface 35 of the pad are in direct contact with each other in a relative movement, or are sufficiently close to each other via a lubricant. At this time, pad 1
A supporting reaction force acting on 5 corresponds to a pressing load applied to the slider from the supporting structure.

【0074】パッド15の磁気ディスク対向面30から
の高さhは、事実上磁気ディスク表面とスライダの磁気
ディスク対向面との間の距離に等しい。さらにこの距離
hはある所定の大きさ以上になると、この2つの面に流
入する流体のベアリング効果により発生する浮上圧力は
著しく小さくなる。典型的な磁気ディスク装置では、内
部の気体は外部の空気と等しく圧力もほぼ等しい。距離
hを、10ミクロンメートル(以下、μmとする)以
上、望ましくは20μm以上とすると、スライダの磁気
ディスク対向面上に発生する空気軸受け力は、スライダ
に印荷される押し付け力と比較して無視できるほど小さ
くなる。
The height h of the pad 15 from the magnetic disk facing surface 30 is substantially equal to the distance between the magnetic disk surface and the magnetic disk facing surface of the slider. Further, when the distance h exceeds a certain predetermined value, the levitation pressure generated by the bearing effect of the fluid flowing into these two surfaces becomes extremely small. In a typical magnetic disk device, the gas inside is equal to the air outside and the pressure is almost equal. When the distance h is set to 10 μm or more (hereinafter referred to as μm) or more, and preferably 20 μm or more, the air bearing force generated on the surface of the slider facing the magnetic disk is compared with the pressing force applied to the slider. It becomes so small that it can be ignored.

【0075】このようにして磁気ディスクが回転してい
る間、スライダの磁気ディスク対向面のパッドが受ける
磁気ディスク表面からの支持反力は、35に作用する支
持反力のみであると考えられる。なぜなら、側面36は
面35とほぼ垂直であり、ディスク表面とは接触せず、
側面36にはパッド15とディスク表面との接触による
反力は作用しない。またこの36に作用するスライダが
回転ディスクと相対運動することにより生じる気体の流
体力の、支持反力方向の寄与は事実上無視できるほど小
さいからである。
It is considered that the supporting reaction force from the surface of the magnetic disk received by the pad on the surface facing the magnetic disk of the slider while the magnetic disk is rotating in this manner is only the supporting reaction force acting on 35. Because the side surface 36 is almost perpendicular to the surface 35 and does not contact the disk surface,
The reaction force due to the contact between the pad 15 and the disk surface does not act on the side surface 36. Also, the contribution of the fluid force of the gas generated by the relative movement of the slider acting on the rotary disk 36 to the rotating disk in the direction of the supporting reaction force is so small as to be practically negligible.

【0076】図9および図10は、本実施例における磁
気ヘッドの磁極を内部に含むように搭載する磁気ヘッド
搭載スライダのパッドの構成を示す図である。図9は磁
気ヘッド搭載スライダ31を磁気ディスク対抗面側から
パッドを見た場合の平面図であり、図10は図9のA−
A部の断面図である。図3および図4で説明したように
磁気ヘッドはスライダの端部に薄膜技術により形成され
る。よって、磁極の端部を内部に含むように搭載するパ
ッドもスライダ端部に形成されることになる。
FIG. 9 and FIG. 10 are views showing the structure of the pads of the magnetic head mounting slider mounted so as to include the magnetic poles of the magnetic head in this embodiment. 9 is a plan view of the magnetic head mounting slider 31 when the pad is viewed from the side opposite to the magnetic disk, and FIG. 10 is A- of FIG.
It is sectional drawing of A part. As described with reference to FIGS. 3 and 4, the magnetic head is formed on the end portion of the slider by the thin film technique. Therefore, the pad to be mounted so as to include the end of the magnetic pole inside is also formed at the end of the slider.

【0077】現状の技術で実現可能な磁気ヘッドの磁極
の寸法を考慮すると、図9に示されるパッドの大きさは
保護部材の大きさを考慮した場合、最小の大きさがl
1、l2は40μm程度である。磁気ヘッドは、誘導型
磁気ヘッド40、または読み出しに磁気抵抗(MR)式
磁気ヘッドを用いる磁気ヘッド41がよい。
Considering the size of the magnetic poles of the magnetic head which can be realized by the current technology, the minimum size of the pad shown in FIG. 9 is l when the size of the protective member is taken into consideration.
1 and 12 are about 40 μm. The magnetic head is preferably an induction type magnetic head 40 or a magnetic head 41 using a magnetoresistive (MR) type magnetic head for reading.

【0078】本実施例では、図10に示されるとおりこ
の形式の磁気ヘッドの磁極の先端42、43は、パッド
16の磁気ディスク表面をなめらかに移動できる面47
とほぼ同一の面とみなせるように形成される。さらに面
47の表面にカーボン等の保護膜45がスパッタリング
技術などにより成膜され、磁気ヘッドの磁極が、パッド
がディスク表面と継続的に摺動して生じる熱による磁気
ヘッドの性能低下や、磁極とディスク表面との固体接触
による磁気ヘッドの破壊の可能性を低減する。
In this embodiment, as shown in FIG. 10, the tips 42 and 43 of the magnetic poles of this type of magnetic head are surfaces 47 that can move smoothly on the surface of the magnetic disk of the pad 16.
It is formed so that it can be regarded as almost the same surface as. Furthermore, a protective film 45 of carbon or the like is formed on the surface of the surface 47 by a sputtering technique or the like, and the magnetic pole of the magnetic head deteriorates in performance due to heat generated when the pad continuously slides on the disk surface and the magnetic pole. The possibility of magnetic head destruction due to solid contact between the magnetic disk and the disk surface is reduced.

【0079】図8及び図10に示したように、従来技術
による磁気ディスク装置と同様に磁気ディスク表面上に
は液体の、あるいは事実上固体と同様の性質を持つ潤滑
剤が塗布される。本実施例においても、通常の潤滑剤で
あるパーフルオロオポリエーテル(PEFE)系の潤滑
剤を用いた。あるいは、潤滑剤に働く剪断速度の増加に
係わらず粘性がほぼ一定であるニュートン性の性質を示
す潤滑剤、および剪断速度の増加に伴い粘性が増加する
性質の潤滑剤を用いてもよい。この場合、スライダはパ
ッドの摺動面で潤滑剤の膜上を滑走して磁気ディスク表
面と摺動し、パッド摺動面には潤滑剤の流体的性質によ
る動圧即ち浮上圧力が働く。
As shown in FIGS. 8 and 10, as in the magnetic disk device according to the prior art, the surface of the magnetic disk is coated with a liquid lubricant or a lubricant having substantially the same properties as a solid. Also in this example, a perfluoroopolyether (PEFE) -based lubricant which is a normal lubricant was used. Alternatively, a lubricant having a Newtonian property in which the viscosity is substantially constant regardless of an increase in the shear rate acting on the lubricant and a lubricant having a property in which the viscosity increases with an increase in the shear rate may be used. In this case, the slider slides on the lubricant film on the sliding surface of the pad and slides on the surface of the magnetic disk, and a dynamic pressure, that is, a floating pressure due to the fluid property of the lubricant acts on the sliding surface of the pad.

【0080】この時の、浮上高さと、スライダの走行速
度との関係を測定した結果を、低粘度潤滑剤については
図11及び図12に、高粘度潤滑剤については図12に
示す。ここに浮上高さとは、磁気ディスク保護膜表面と
磁気ヘッドを搭載したパッド摺動面の最外保護膜表面と
の間隔とする。この測定は前記PFPE系の粘度の異な
る潤滑剤を用いて、浮上高さを光学的あるいは磁気記録
情報の再生波形から評価したものである。この図におい
て低粘度と高粘度の2つの潤滑剤の場合共に、走行速度
の小さな場合に浮上高さの極小が存在し速度の増大に伴
い浮上高さが大きくなっており、また浮上高さはそのプ
ロファイルの全体にわたって潤滑剤の初期塗布時の膜厚
より大きい。これは、パッド周辺、特にパッドの潤滑剤
流入部付近に大量の潤滑剤が集まった結果によると考え
られる。また、浮上プロファイルが極小となる速度は潤
滑剤粘度が大きくなると小さくなる事が示されており、
潤滑剤を適切に選択することで所定のディスク回転数に
おいてさらに望ましい浮上高さを得ることができる。
The results of measuring the relationship between the flying height and the running speed of the slider at this time are shown in FIGS. 11 and 12 for the low viscosity lubricant and in FIG. 12 for the high viscosity lubricant. Here, the flying height is the distance between the surface of the magnetic disk protective film and the surface of the outermost protective film of the pad sliding surface on which the magnetic head is mounted. In this measurement, the flying height was evaluated from the reproduced waveform of optical or magnetic recording information using the above-mentioned PFPE type lubricants having different viscosities. In this figure, for both low-viscosity and high-viscosity lubricants, there is a minimum flying height when the running speed is small, and the flying height increases as the speed increases. It is larger than the film thickness of the lubricant initially applied throughout the profile. This is probably because a large amount of lubricant gathered around the pad, especially near the lubricant inflow part of the pad. Also, it has been shown that the speed at which the floating profile becomes minimal decreases as the lubricant viscosity increases,
By appropriately selecting the lubricant, a more desirable flying height can be obtained at a predetermined disc rotation speed.

【0081】本実施例では、3つのパッドの摺動面で潤
滑剤からの前記の作用を受ける。パッドの摺動面内及び
パッド近傍の潤滑剤の膜厚は他のディスク上の領域での
潤滑膜厚より厚く、よって、磁気ヘッドの損傷や磁気デ
ィスク上の情報の欠失の原因となる、ディスク保護膜表
面上に存在する突起や塵埃との衝突の発生がなくなるか
あるいは低減され、かつ摺動するパッドの摩耗率を小さ
くすることができて、装置としての信頼性が著しく向上
する。また、図9のように磁気ヘッド磁極先端を内包す
るパッドを形成し、その摺動面の面積を小さくするに伴
い、このパッドに作用する潤滑剤のかき集められる量が
少なくなるのでこのパッドの浮上高さが低くなり、記録
隙間がより小さくなる。また、他のパッドの摺動面の面
積を大きくすると、磁極先端内包パッドの浮上高さは相
対的に低くできて望ましい。
In this embodiment, the sliding surfaces of the three pads receive the above-mentioned action from the lubricant. The film thickness of the lubricant in the sliding surface of the pad and in the vicinity of the pad is thicker than the film thickness of the lubricant in the area on the other disk, which causes damage to the magnetic head and loss of information on the magnetic disk. Collisions with projections and dust existing on the surface of the disk protective film are eliminated or reduced, and the wear rate of the sliding pad can be reduced, so that the reliability of the device is significantly improved. Further, as shown in FIG. 9, a pad that includes the magnetic head magnetic pole tip is formed, and as the area of the sliding surface is made smaller, the amount of the lubricant acting on the pad that is scraped up decreases, so that the pad floats. The height becomes lower and the recording gap becomes smaller. Further, it is desirable to increase the area of the sliding surface of the other pad because the flying height of the magnetic pole tip inclusion pad can be made relatively low.

【0082】図13に、典型的な磁気ディスク装置での
磁気ディスク表面高さの分布を周波数分析によって求め
た図を示す。横軸は1/波長を表している。このような
ディスク表面のプロファイルはディスクの回転中心の同
心円周に沿って測定される。図13において、概略的に
波長が短くなればなるほど、その振幅は小さくなること
が示されている。また、ある長さを有した磁極を内部に
含むパッドはその長さより短い波長の表面の粗さの凹凸
の谷間には入ることはできない。従って、この凹凸の表
面粗さの波の波長以上の波の振幅が、全て磁気ヘッド磁
極先端と磁気ディスク上磁性膜表面との距離即ち記録隙
間の変動となる。この記録隙間の変動を小さくすること
が、高い記録密度を達成するうえで重要である。
FIG. 13 shows a diagram in which the distribution of the magnetic disk surface height in a typical magnetic disk device is obtained by frequency analysis. The horizontal axis represents 1 / wavelength. Such a disk surface profile is measured along a concentric circle about the center of rotation of the disk. In FIG. 13, it is shown that the shorter the wavelength, the smaller the amplitude. Further, a pad including a magnetic pole having a certain length inside cannot enter the valley of the unevenness of the surface roughness of a wavelength shorter than that length. Therefore, the amplitude of the wave having the surface roughness of the unevenness or larger than the wavelength of the wave becomes the variation of the distance between the magnetic head tip of the magnetic head and the surface of the magnetic film on the magnetic disk, that is, the recording gap. It is important to reduce the fluctuation of the recording gap in order to achieve high recording density.

【0083】従って、磁気ディスク表面の粗さの振幅を
小さくすると同時に、内部に磁極を搭載するパッドの大
きさを小さくすることで、記録隙間の変動、ロスを小さ
くすることができる。また、磁極を搭載しないパッドに
ついてもその大きさを小さくすることは、磁極搭載パッ
ドが磁気ディスク表面のうねり、粗さの傾斜によりなら
うことを可能にし記録隙間の変動を低減できる。パッド
の大きさを小さくすることで、記録隙間の変動を低減で
きる。
Therefore, by reducing the amplitude of the roughness of the magnetic disk surface and at the same time reducing the size of the pad in which the magnetic pole is mounted, the fluctuation and loss of the recording gap can be reduced. Further, by reducing the size of the pad without the magnetic pole, the pad with the magnetic pole can follow the undulation of the surface of the magnetic disk and the inclination of the roughness, and the fluctuation of the recording gap can be reduced. By reducing the size of the pad, fluctuations in the recording gap can be reduced.

【0084】図9に示される磁極を内部に含むパッドの
大きさが、直接的に本実施例における磁気ディスク装置
の性能を左右する。前述のように、図9のパッド16
は、あるプロファイルを有する磁気ディスク表面に対
し、パッドの大きさl1、l2よりも小さな表面の凹凸
の中には入り込めない。このとき図10において、磁極
先端42、43と磁気ディスク上の磁性膜39との距離
は、凹凸の大きさとパッド/ディスク表面両方の保護膜
厚さとの和で表わすことができる。よって、最低限の信
頼性を確保し、かつ磁気ヘッドの磁極先端と磁性膜との
距離(記録隙間)を小さくし、より高い記録密度を達成
するには、パッド16の大きさl1、l2を最小にし
て、記録隙間に対する凹凸の大きさの影響を小さくする
ことが必要である。
The size of the pad including the magnetic pole shown in FIG. 9 directly influences the performance of the magnetic disk drive in this embodiment. As mentioned above, the pad 16 of FIG.
Cannot enter into the surface irregularities smaller than the pad sizes l1 and l2 with respect to the magnetic disk surface having a certain profile. At this time, in FIG. 10, the distance between the magnetic pole tips 42 and 43 and the magnetic film 39 on the magnetic disk can be represented by the sum of the size of the unevenness and the protective film thickness on both the pad / disk surface. Therefore, in order to secure the minimum reliability, reduce the distance (recording gap) between the magnetic pole tip of the magnetic head and the magnetic film, and achieve higher recording density, the sizes l1 and l2 of the pads 16 should be set. It is necessary to minimize the influence of the size of the unevenness on the recording gap.

【0085】目標とする磁気ディスク装置の記録密度を
2Gbit/in2以上とすると、前述の記録隙間はお
およそ60ナノメートル以下に保たれなければならない。
よって、典型的な表面粗さを持った磁気ディスク上を摺
動する場合に、以上の記録隙間を維持できる範囲内にに
隙間の変動を制限するために、各パッドの大きさの範囲
が規定される。本実施例においてこの条件を満たすパッ
ドの大きさは、60μm×60μm以下である。さらに
望ましくは、より小さなパッドを形成することで更に小
さな凹凸の中に入り込めるため磁気ヘッドの記録/読み
出し性能の向上が見込まれる。前述のようにこのパッド
は従来技術によるイオンミリング等のエッチング技術に
より形成され、マスキング技術の制約から形成できる最
小の大きさは、6μm×6μm程度である。大きな摺動
パッドを形成することは後述するように押付荷重に対す
る余裕が大きくとれて、比較的に磨耗率を小さく抑える
ことができる。しかし、記録隙間の変動が大きく、磁気
ヘッドの性能が望ましい場合より低下する。あるいは磁
気ディスク表面粗さを低減するためにより長時間の研磨
が必要になり製造コストが大きくなる。
When the target recording density of the magnetic disk device is set to 2 Gbit / in2 or more, the above-mentioned recording gap must be maintained at about 60 nm or less.
Therefore, when sliding on a magnetic disk with typical surface roughness, the size range of each pad is specified in order to limit the fluctuation of the gap within the range where the above-mentioned recording gap can be maintained. To be done. In this embodiment, the size of the pad satisfying this condition is 60 μm × 60 μm or less. More preferably, by forming a smaller pad, it is possible to enter into even smaller irregularities, so that the recording / reading performance of the magnetic head is expected to be improved. As described above, this pad is formed by the conventional etching technique such as ion milling, and the minimum size that can be formed due to the limitation of the masking technique is about 6 μm × 6 μm. By forming a large sliding pad, as will be described later, a large margin for a pressing load can be secured, and the wear rate can be suppressed to be relatively small. However, the fluctuation of the recording gap is large, and the performance of the magnetic head is lower than that when it is desired. Alternatively, polishing for a long time is required to reduce the surface roughness of the magnetic disk, which increases the manufacturing cost.

【0086】磁気ディスク装置に求められる性能とし
て、高い信頼性と長い装置寿命がある。装置の稼働期間
をより大きくするには、磁気ヘッド/磁気ディスク両者
が摺動することにより生じる摩耗の量を低減し摩耗によ
る磁気ヘッドの損傷や発生する塵あいに起因する情報の
破壊を防ぐことが必要である。パッドに生じる摩耗量
は、パッド/磁気ディスクの接触時のパッドの見かけの
接触面圧を小さくすることで低減できる。見かけの接触
面圧は、パッドの滑らかに移動できる面47の総面積を
大きくすることで、あるいは支持構造体d2によりスラ
イダに印荷される押し付け荷重を軽くすることで小さく
できる。
The performance required of the magnetic disk device is high reliability and long device life. To increase the operating period of the device, reduce the amount of wear caused by the sliding of both the magnetic head and the magnetic disk, and prevent damage to the magnetic head due to wear and destruction of information due to dust generated. is necessary. The amount of wear generated on the pad can be reduced by reducing the apparent contact surface pressure of the pad at the time of contact between the pad and the magnetic disk. The apparent contact surface pressure can be reduced by increasing the total area of the smoothly movable surface 47 of the pad or by reducing the pressing load applied to the slider by the support structure d2.

【0087】従来技術による磁気ディスク装置における
磁気ヘッドアセンブリと同様にして、パッドに生じる見
かけの接触圧力を200kPa以下に抑えることで、従来技術
の装置と同等の装置の稼働時間と平均故障間隔を獲得で
きると考えられる。ここに、見かけの接触圧力は押し付
け荷重を接触を行うパッドの総面積で除したもの、すな
わち、接触圧力(Pa)=(荷重(N)/接触パッド総面積(m
2))である。例えば特開平3-178107号公報の記載による
と、磁気ヘッド磁極端を含む摺動パッド部の縦、横、深
さの大きさが、40μm×15μm×15μmである一体型の
磁気ヘッドアセンブリを、磁気ディスクに荷重10〜120m
gfの範囲で変化させて連続摺動させ、摩耗率を測定して
いる。この測定で、摺動時間4週間以上では13nm3/week
のほぼ一定の摩耗率が得られるとしている。現在の小型
磁気ディスク装置の使用条件から考えて、摩耗に対し数
年以上の寿命を保証できると考えられる。
Similar to the magnetic head assembly in the conventional magnetic disk device, the apparent contact pressure generated on the pad is suppressed to 200 kPa or less to obtain the operating time and the average failure interval of the device equivalent to the conventional device. It is thought to be possible. Here, the apparent contact pressure is obtained by dividing the pressing load by the total area of the pad that makes contact, that is, the contact pressure (Pa) = (load (N) / total area of the contact pad (m
2)). For example, according to the description of Japanese Patent Laid-Open No. 3-178107, an integrated magnetic head assembly in which the length, width and depth of a sliding pad portion including a magnetic head magnetic pole end is 40 μm × 15 μm × 15 μm, Load on magnetic disk 10-120m
The wear rate is measured by changing the gf range and sliding continuously. In this measurement, 13 nm 3 / week for sliding time of 4 weeks or more
The wear rate is said to be almost constant. Considering the current usage conditions of the small magnetic disk drive, it is thought that a life of several years or more can be guaranteed against wear.

【0088】また、従来のコンタクトスタートストップ
(CSS)を行う方式の磁気ディスク装置の磁気ヘッドア
センブリにおける磁気ヘッド搭載スライダの、磁気ヘッ
ド対向面の磁気ディスクとの接触面積とサスペンション
からの押付荷重とから得られる接触面圧は、200kPaを上
回る。よって、本実施例では、摩耗率を小さくでき、か
つ磁気ヘッドアセンブリの損傷を引き起こす粘着現象を
生じないようにするために見かけの接触面圧を200kPa以
下に設定する。
Further, from the contact area of the slider on which the magnetic head is mounted in the magnetic head assembly of the magnetic disk apparatus of the conventional contact start stop (CSS) system with the magnetic disk, and the pressing load from the suspension. The contact pressure obtained is above 200 kPa. Therefore, in this embodiment, the apparent contact surface pressure is set to 200 kPa or less in order to reduce the wear rate and prevent the sticking phenomenon that causes damage to the magnetic head assembly.

【0089】本発明による実施例において、図7及び図
9におけるパッドの総面積の最小値は約0.001mm2であ
る。このパッドの面積から、前述の見かけの接触面圧の
条件を満足させる押し付け力は、スライダと磁気ディス
ク表面との摺動中に生じる各パッド間での接触力の偏在
や磁気ディスク表面の突起との衝突に対する安全率を考
慮すると、50mgf以下となる。
In the embodiment according to the present invention, the minimum value of the total area of the pads in FIGS. 7 and 9 is about 0.001 mm 2 . From the area of this pad, the pressing force that satisfies the above-mentioned condition of the apparent contact surface pressure is determined by the uneven distribution of the contact force between the pads generated during sliding between the slider and the magnetic disk surface and the protrusion on the magnetic disk surface. Considering the safety factor against collision of, it will be 50 mgf or less.

【0090】スライダと、磁気ディスク表面との継続的
な接触により、本実施例の磁気ヘッドアセンブリには従
来の磁気ヘッドアセンブリより大きな摺動方向への力が
加わる。この力は、主にパッドに加わる磁気ディスク表
面からの摩擦抗力と、回転する磁気ディスク表面を磁気
ヘッドアセンブリが相対運動することによるディスク表
面近傍の流体による抗力である。磁気ヘッドアセンブリ
がこの抗力を主な成分とする力を受けつつ安定にディス
ク表面を摺動するためには、支持構造体によりスライダ
に印荷される押し付け荷重を流対抗力の大きさの数倍ま
で大きくし、スライダの摺動方向に加わる全ての力に対
する流体による抗力の影響を小さくすることが必要であ
る。
Due to the continuous contact between the slider and the surface of the magnetic disk, a larger force is applied to the magnetic head assembly of this embodiment in the sliding direction than that of the conventional magnetic head assembly. This force is mainly a frictional drag force exerted on the pad from the magnetic disk surface and a drag force due to the fluid near the disk surface due to the relative movement of the magnetic head assembly on the rotating magnetic disk surface. In order for the magnetic head assembly to stably slide on the disk surface while receiving a force mainly composed of this reaction force, the pressing load applied to the slider by the support structure is set to several times the magnitude of the flow resistance force. It is necessary to reduce the influence of the drag force of the fluid on all the forces applied in the sliding direction of the slider.

【0091】本実施例では、現在の典型的な磁気ディス
ク装置に搭載した場合の磁気ヘッドアセンブリに加わる
流体の抗力の大きさは2mgf以下であり、このため支持構
造体により印荷される押し付け荷重は、安全率を考慮し
6mgf以上となれば十分と考える。
In the present embodiment, the magnitude of the drag force of the fluid applied to the magnetic head assembly when mounted on the current typical magnetic disk drive is 2 mgf or less, and therefore the pressing load applied by the support structure is applied. Consider the safety factor
It is considered sufficient if the amount is 6 mgf or more.

【0092】スライダとディスク表面との傾きを生じさ
せる最も大きな要因は、磁気ヘッド/スライダ/支持構
造体アセンブリa6を剛性アームa5に取り付け部に生
じる誤差である。本実施例では、スライダの傾きをなく
し、記録隙間およびその変動を小さくするために、この
取り付け誤差をできるだけ小さくする機構をアセンブリ
の支持構造体に形成する。すなわち、(支持構造体によ
り押し付け荷重が印荷され、)磁気ディスク表面からパ
ッドに加わる支持反力によりスライダに加えられるトル
クによって、スライダを回転させてスライダ磁気ディス
ク対向面上の3つの各パッドでスライダをディスク表面
と接触させるように、支持構造体のジンバル機能構造部
の剛性を適切に決定する。このとき支持構造体がスライ
ダに印荷する荷重の大きさは前述の摩耗と追従性を満た
していなければならない。
The largest factor that causes the inclination of the slider and the disk surface is an error caused at the mounting portion of the magnetic head / slider / support structure assembly a6 on the rigid arm a5. In this embodiment, in order to eliminate the inclination of the slider and reduce the recording gap and its variation, a mechanism for minimizing this mounting error is formed in the support structure of the assembly. That is, the slider is rotated by the torque applied to the slider by the supporting reaction force applied to the pad from the magnetic disk surface (the pressing load is applied by the support structure), and the three pads on the slider magnetic disk facing surface are moved. The rigidity of the gimbal functional structure of the support structure is appropriately determined so that the slider contacts the disk surface. At this time, the magnitude of the load applied to the slider by the support structure must satisfy the above-mentioned wear and followability.

【0093】一方、磁気ヘッド/スライダ/支持構造体
アセンブリと磁気ディスク表面との相対運動を周知のば
ねシステムの運動と考えると、支持構造体により印荷さ
れる荷重を大きくすることは、スライダの磁気ディスク
表面のうねり、粗さ、上下動に対する追従性を向上させ
ることになる。このことは記録された情報の読み出し/
書き込み時のエラーの発生回数を低減し、ディスク上の
情報への高速アクセスに寄与する。
On the other hand, considering the relative movement between the magnetic head / slider / support structure assembly and the surface of the magnetic disk as the movement of a well-known spring system, increasing the load loaded by the support structure means increasing the load of the slider. This will improve the waviness, roughness, and vertical movement of the surface of the magnetic disk. This means reading the recorded information /
It reduces the number of write errors and contributes to high-speed access to information on the disc.

【0094】図14は、ディスク表面からの支持反力を
ディスク表面からのバネ反力とした場合に、所定の剛性
を有したバネであるサスペンションに支持されたスライ
ダがディスク表面の振動に対して追従するために必要な
押し付け力とスライダの重量との関係を表わした図であ
る。スライダの等価質量Mの増加に対し押し付け加重W
は、次第に増加率が増す関係にある。この図14に表わ
された関係より、ディスク表面のうねり、粗さ、上下動
による振動への所定の追従性を確保するために必要な、
スライダサイズの上限が規定される。
FIG. 14 shows that when the supporting reaction force from the disk surface is the spring reaction force from the disk surface, the slider supported by the suspension, which is a spring having a predetermined rigidity, responds to the vibration on the disk surface. It is a figure showing the relationship between the pressing force required for following and the weight of a slider. Pressing weight W as the equivalent mass M of the slider increases
Have a relationship in which the rate of increase gradually increases. From the relationship shown in FIG. 14, it is necessary to secure the predetermined followability to the waviness, roughness, and vibration due to vertical movement of the disk surface.
The upper limit of the slider size is specified.

【0095】スライダの磁気ディスク対向面を底面とし
た場合のスライダの高さは、搭載する磁気ヘッドの大き
さに制限を受ける。現在の典型的な磁気ヘッドの高さは
ほぼ0.3mmである。スライダを前述の材料で形成した場
合、目標とする追従性能とヘッド高さからスライダの縦
横のサイズの範囲が決まり、本発明による実施例では、
スライダの前後方向の長さの最大値が0.8mm以下とな
る。スライダの左右方向の長さの最大値が1mm以下とな
る。
The height of the slider when the surface of the slider facing the magnetic disk is the bottom is limited by the size of the magnetic head to be mounted. The height of a typical magnetic head at present is approximately 0.3 mm. When the slider is formed of the above-mentioned material, the vertical and horizontal size ranges of the slider are determined from the target tracking performance and the head height, and in the embodiment according to the present invention,
The maximum length of the slider in the front-rear direction is 0.8 mm or less. The maximum value of the horizontal length of the slider is 1 mm or less.

【0096】スライダの磁気ディスク対向面上に形成さ
れるパッドを3つにすることが、より軽荷重の印荷条件
で大きなスライダの回転を生じさせ、ジンバル構造部を
含む支持構造体の設計を容易にする。パッドを3つにす
ることで、ローリング、ピッチング方向のモーメントに
よる回転が許容され1つまたは2つのパッドのみで接触
する、いわゆる片当たりを防ぐことができる。さらに3
つのパッドの相互の距離を適切な長さにすることで、パ
ッドに加わる支持反力によるモーメントをより大きくす
る配置を選択することができる。このようにして、3パ
ッド全てでディスク表面と接触してスライダがディスク
表面に倣わず相対的に傾くことによる記録隙間の増大を
低減することができる。さらに、磁気ヘッドの磁極をパ
ッド内に搭載するように形成することで、パッド外部に
磁気ヘッド磁極を設ける構成のスライダよりも、記録隙
間を小さくでき、よってより高い記録密度を達成でき
る。
The use of three pads formed on the surface of the slider facing the magnetic disk causes a large rotation of the slider under a lighter load condition, so that the support structure including the gimbal structure can be designed. make it easier. By using three pads, it is possible to prevent so-called one-sided contact in which rotation due to a moment in the rolling or pitching direction is allowed and only one or two pads make contact. 3 more
By setting the distance between the two pads to an appropriate length, it is possible to select an arrangement in which the moment due to the supporting reaction force applied to the pads is larger. In this way, it is possible to reduce the increase in the recording gap due to the contact of the disk surface with all three pads and the relative inclination of the slider without following the disk surface. Further, by forming the magnetic pole of the magnetic head so as to be mounted inside the pad, the recording gap can be made smaller than that of the slider having the magnetic head magnetic pole provided outside the pad, and thus higher recording density can be achieved.

【0097】この磁気ヘッドの磁極先端と磁気ディスク
上磁性膜との距離である記録隙間は、スライダが磁気デ
ィスク表面の傾きに完全に倣わずに、スライダがディス
ク表面に対し相対的に傾くことによっても大きくなる。
The recording gap, which is the distance between the tip of the magnetic pole of this magnetic head and the magnetic film on the magnetic disk, is such that the slider does not completely follow the tilt of the magnetic disk surface, but the slider tilts relative to the disk surface. It also grows.

【0098】決められたジンバルの剛性に対し、スライ
ダのパッド相互の距離と位置の配置は必要な角度以上に
回転できる支持反力によるモーメントをスライダに与え
られる距離以上で、記録隙間の変動を極小にできるパッ
ド間の間隔は、望ましくは、磁気ディスク表面の粗さう
ねりのプロファイルのディスク表面形状の解析を行って
ディスク表面プロファイルの特徴的波長を抽出すること
で決められる。
With respect to the determined rigidity of the gimbal, the distance between the pads of the slider and the arrangement of the positions of the sliders are such that the fluctuation of the recording gap is minimized if the moment due to the supporting reaction force capable of rotating by a required angle or more is given to the slider. The space between the pads that can be formed is preferably determined by analyzing the disk surface shape of the profile of the roughness waviness of the magnetic disk surface and extracting the characteristic wavelength of the disk surface profile.

【0099】すなわち、ディスク表面高さのプロファイ
ルを周期関数の線形和で表わされた振動と考えて、その
振動の集合の要素のうち隙間変動に大きな影響を与える
波長を解析する。その手法はスペクトル解析法その他の
一般的に周知な数学的手法が用いられる。前述のスライ
ダのサイズの制約条件を満たし、この抽出された波長の
振動に倣って記録隙間とその変動が極小化されるパッド
の配置とその大きさを決める。
That is, considering the profile of the disk surface height as vibration represented by the linear sum of the periodic functions, the wavelength that greatly affects the gap variation among the elements of the set of vibrations is analyzed. As the method, a spectrum analysis method and other generally known mathematical methods are used. The above-mentioned slider size constraint condition is satisfied, and the arrangement and size of the recording gap and the pad for minimizing the fluctuation thereof are determined in accordance with the vibration of the extracted wavelength.

【0100】本発明の望ましい実施例では、許容する取
り付け誤差が起因するスライダとディスク表面との相対
的な角度はローリング方向、ピッチング方向ともに0.1
度と見積もられた。この角度変形を許容するためにジン
バル構造部のローリング、ピッチング方向のねじり剛性
はそれぞれ3.02gf mm / rad、2.40gf mm/ radと決めら
れる。同時にこの剛性の条件で3つのパッドでディスク
表面と接触するための、パッドの間隔の下限値も決めら
れる。現在の典型的な磁気ディスク装置に用いられる平
滑ディスクの表面プロファイルが、前述の解析手法の応
用により解析され、ディスク表面の粗さの特徴的な波長
が得られる。この制約条件を満足し、かつ記録隙間変動
を極小化するパッドの相互の距離がこのようにして決ま
り、摩耗と追従性の両方を満足するパッドの寸法と押し
付け荷重が決められる。
In the preferred embodiment of the present invention, the relative angle between the slider and the disk surface caused by the allowable mounting error is 0.1 in both the rolling direction and the pitching direction.
Was estimated. In order to allow this angular deformation, the rolling rigidity of the gimbal structure and the torsional rigidity in the pitching direction are determined to be 3.02 gf mm / rad and 2.40 gf mm / rad, respectively. At the same time, the lower limit of the space between the pads for contacting the disk surface with the three pads under this rigidity condition is also determined. The surface profile of a smooth disk used in a typical magnetic disk device at present is analyzed by applying the above-described analysis method to obtain a characteristic wavelength of the roughness of the disk surface. In this way, the mutual distances of the pads that satisfy this constraint condition and minimize the recording gap variation are determined, and the pad size and pressing load that satisfy both wear and followability are determined.

【0101】磁気ヘッド磁極搭載パッドと他のパッドの
位置は、本実施例では図7に示すようにヘッド磁極搭載
パッドが、その他のパッドの前方になるように決められ
る。ここでの前方とは、ディスク回転中のスライダから
見てディスク表面が移動する方向と逆方向である。この
ようにパッドを構成することで、スライダがパッドの端
面においてディスクと摺動している状態で、パッドに加
わるディスク表面からの摩擦力は常にスライダに対しピ
ッチングアングルを小さくするモーメントを与える。こ
れにより、磁極搭載パッドが摺動中にディスク表面から
離れるいわゆる”とびはね”が抑制され、記録隙間の変
動を抑制することができる。
In the present embodiment, the positions of the magnetic head magnetic pole mounting pad and the other pads are determined so that the head magnetic pole mounting pad is located in front of the other pads as shown in FIG. The front side here is the direction opposite to the direction in which the disk surface moves when viewed from the slider during disk rotation. By configuring the pad in this way, the frictional force applied to the pad from the disk surface always gives the slider a moment for reducing the pitching angle when the slider is sliding on the disk at the end surface of the pad. As a result, so-called "bounce" that the magnetic pole mounting pad separates from the disk surface during sliding is suppressed, and fluctuations in the recording gap can be suppressed.

【0102】[0102]

【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドと磁気ディ
スク表面とを継続的に接触摺動させることにより相互の
距離を小さくでき、その距離に相応した従来よりも高い
記録密度を達成できる。接触面積が小さいため粘着を生
じ難く、潤滑剤と磁気ヘッドの摩耗が少ないために摩耗
による塵埃の発生に起因した磁気ディスク、磁気ヘッド
アセンブリの損傷と情報の破壊の発生が低減され、磁気
ディスク装置稼働中の信頼性を高く維持できる。さら
に、従来の磁気ヘッドアセンブリに比較して軽量でかつ
軽荷重な磁気ヘッドアセンブリが構成でき高速アクセス
が可能な追従性を得ることができる。
According to the present invention, it is possible to reduce the mutual distance by continuously sliding the magnetic head and the surface of the magnetic disk into contact with each other, and it is possible to achieve a higher recording density corresponding to the distance than ever before. Since the contact area is small, adhesion is unlikely to occur, and the wear of the lubricant and the magnetic head is small, so the damage to the magnetic disk and magnetic head assembly and the destruction of information due to the generation of dust due to wear are reduced, and the magnetic disk device High reliability can be maintained during operation. Furthermore, a magnetic head assembly that is lighter in weight and lighter in weight than the conventional magnetic head assembly can be configured, and high-speed access can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の磁気ディスク装置の一部断
面を含む斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view including a partial cross section of a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来技術で用いられる空気ベアリング式の磁気
ヘッド/磁気ヘッド搭載スライダ/支持構造体アセンブ
リの斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of an air bearing type magnetic head / magnetic head mounting slider / support structure assembly used in the prior art.

【図3】本発明の一実施例における磁気ディスク装置の
磁気ヘッド/スライダ/サスペンション部を拡大して示
した斜視図である。
FIG. 3 is an enlarged perspective view of a magnetic head / slider / suspension portion of a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.

【図4】図3の磁気ヘッド搭載スライダを磁気ディスク
面側から見た斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view of the magnetic head mounting slider of FIG. 3 viewed from the magnetic disk surface side.

【図5】図3の磁気ヘッド搭載スライダの磁気ヘッドを
含む断面の断面図である。
5 is a cross-sectional view of a cross section including the magnetic head of the magnetic head mounting slider of FIG.

【図6】本発明の一実施例における磁気ディスク装置の
磁気ヘッド搭載スライダ支持構造体の平面図である。
FIG. 6 is a plan view of a magnetic head mounted slider support structure of a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施例における磁気ヘッド搭載スラ
イダを磁気ディスク面側から見た平面図である。
FIG. 7 is a plan view of a magnetic head mounting slider according to an embodiment of the present invention as viewed from the magnetic disk surface side.

【図8】本発明の一実施例におけるスライダに形成した
パッドの断面図である。
FIG. 8 is a sectional view of a pad formed on a slider according to an embodiment of the present invention.

【図9】本発明の一実施例における磁気ヘッドの磁極を
搭載した摺動パッド部の磁気ディスク面側の平面図であ
る。
FIG. 9 is a plan view on the magnetic disk surface side of a sliding pad portion on which a magnetic pole of a magnetic head according to an embodiment of the present invention is mounted.

【図10】図9のA−A部の断面図である。10 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図11】浮上高さと、スライダの走行速度との関係を
測定した結果を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a result of measuring a relationship between a flying height and a traveling speed of a slider.

【図12】浮上高さと、スライダの走行速度との関係を
測定した結果を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing a result of measuring a relationship between a flying height and a traveling speed of a slider.

【図13】従来技術における磁気ディスク表面の高さ分
布を示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing a height distribution on the surface of a magnetic disk according to a conventional technique.

【図14】スライダがディスク表面を追従するために必
要な押し付け力とスライダの重量との関係を示す図であ
る。
FIG. 14 is a diagram showing the relationship between the pressing force required for the slider to follow the disk surface and the weight of the slider.

【図15】従来技術による磁気ディスク装置における、
磁気ヘッド搭載スライダの磁気ディスク対向面の空気ベ
アリング面と磁気ヘッド搭載位置を示す斜視図である。
FIG. 15 shows a conventional magnetic disk device,
FIG. 3 is a perspective view showing an air bearing surface of a magnetic disk mounting slider facing a magnetic disk and a magnetic head mounting position.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…磁気ディスク、2…駆動モータ、3…キャリッジ
軸、4…アクチュエータ、5…剛性アーム、6…磁気ヘ
ッドアセンブリ、7…スピンドル軸、8…ハブ、9…ケ
ース、101…アセンブリ、102…支持構造体、10
3…磁気ヘッド搭載スライダ、104…磁気ヘッド、1
05…データ信号線、10…支持構造体、12…スライ
ダ、11…ジンバル構造部、20…磁気ヘッド、21…
磁気ヘッド端子、22…スライダ側接合パッド、23…
信号伝達線、26…支持構造体側接合パッド、30…磁
気ディスク対向面、16…磁気ヘッドパッド、15…摺
動パッド、13…スライダ接合部面、14…接合パッ
ド、35…接触反力を受ける摺動面、36…その他の
面、39…磁性層膜、38…潤滑剤膜、l1、l2…磁
極を搭載するパッドの大きさ、40…誘導型磁気ヘッド
磁極、41…磁気抵抗型磁気ヘッド磁極、31…スライ
ダ本体、42,43…磁極先端、47…パッド摺動面、
45…パッド保護膜、37…ディスク保護膜。
1 ... Magnetic disk, 2 ... Drive motor, 3 ... Carriage shaft, 4 ... Actuator, 5 ... Rigid arm, 6 ... Magnetic head assembly, 7 ... Spindle shaft, 8 ... Hub, 9 ... Case, 101 ... Assembly, 102 ... Support Structure, 10
3 ... Magnetic head mounting slider, 104 ... Magnetic head, 1
Reference numeral 05 ... Data signal line, 10 ... Support structure, 12 ... Slider, 11 ... Gimbal structure section, 20 ... Magnetic head, 21 ...
Magnetic head terminal, 22 ... Slider side bonding pad, 23 ...
Signal transmission lines, 26 ... Support structure side bonding pad, 30 ... Magnetic disk facing surface, 16 ... Magnetic head pad, 15 ... Sliding pad, 13 ... Slider bonding surface, 14 ... Bonding pad, 35 ... Contact reaction force Sliding surface, 36 ... Other surface, 39 ... Magnetic layer film, 38 ... Lubricant film, l1, l2 ... Size of pad for mounting magnetic pole, 40 ... Induction type magnetic head magnetic pole, 41 ... Magnetoresistive magnetic head Magnetic pole, 31 ... Slider body, 42, 43 ... Magnetic pole tip, 47 ... Pad sliding surface,
45 ... Pad protective film, 37 ... Disc protective film.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 幸男 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 長池 完訓 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 井上 陽一 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yukio Kato 502 Jinritsucho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Machinery Research Institute, Hiritsu Seisakusho Co., Ltd. Storage Systems Division (72) Inventor Yoichi Inoue 502 Kintatecho, Tsuchiura City, Ibaraki Prefecture Hiritsu Manufacturing Co., Ltd.

Claims (18)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】回転する磁気ディスク表面を相対運動しつ
つ磁気ディスクに記録された情報を読み/書きする磁気
ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、スライダ
を磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構造体と
を備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記スラ
イダは、磁気ディスクに対向する面に複数の凸状部を有
し、該凸状部は相対運動する磁気ディスクに対して進行
方向の前端側に1個、進行方向の後端側に複数備えてな
ることを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
1. A magnetic head for reading / writing information recorded on a magnetic disk while relatively moving on the surface of a rotating magnetic disk, a slider for mounting the magnetic head, and a slider support structure for pressing the slider against the surface of the magnetic disk. And a slider having a plurality of convex portions on a surface facing the magnetic disk, the convex portions being provided on the front end side in the traveling direction with respect to the magnetic disk that moves relative to each other. A magnetic head assembly comprising a plurality of individual magnetic heads at the rear end side in the traveling direction.
【請求項2】回転する磁気ディスク表面を相対運動しつ
つ磁気ディスクに記録された情報を読み/書きする磁気
ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、スライダ
を磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構造体と
を備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記スラ
イダは、磁気ディスクに対向する対向面に複数の凸状部
を有し、該凸状部は相対運動する磁気ディスク面と摺動
する摺動面と、前記凸状部を除く前記対向面とを結合す
る側面よりなり、前記摺動面と前記側面とは略直角を成
すことを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
2. A magnetic head for reading / writing information recorded on a magnetic disk while relatively moving on the surface of a rotating magnetic disk, a slider for mounting the magnetic head, and a slider support structure for pressing the slider against the surface of the magnetic disk. And a slider having a plurality of convex portions on a facing surface facing the magnetic disk, the convex portions having a sliding surface that slides on the magnetic disk surface that moves relative to each other. A magnetic head assembly comprising: a side surface that joins the facing surface excluding the convex portion, and the sliding surface and the side surface form a substantially right angle.
【請求項3】回転する磁気ディスク表面を相対運動しつ
つ磁気ディスクに記録された情報を読み/書きする磁気
ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、スライダ
を磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構造体と
を備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記スラ
イダは、磁気ディスクに対向する面に、相対運動する磁
気ディスクに対して進行方向の前端側に1個、進行方向
の後端側に複数の凸状部を備え、該凸状部は相対運動す
る磁気ディスク面と摺動する摺動面と、前記凸状部を除
く前記対向面とを結合する側面よりなり、前記摺動面と
前記側面とは略直角を成すことを特徴とする磁気ヘッド
アセンブリ。
3. A magnetic head for reading / writing information recorded on a magnetic disk while relatively moving on the surface of a rotating magnetic disk, a slider for mounting the magnetic head, and a slider support structure for pressing the slider against the surface of the magnetic disk. In the magnetic head assembly comprising: a slider, wherein the slider is provided on the surface facing the magnetic disk, one on the front end side in the traveling direction with respect to the moving magnetic disk and a plurality of convex shapes on the rear end side in the traveling direction. And a convex portion formed of a side surface that joins a sliding surface that slides on the magnetic disk surface that moves relative to each other and the facing surface excluding the convex portion, and the sliding surface and the side surface. A magnetic head assembly characterized by forming a substantially right angle.
【請求項4】回転する磁気ディスク表面を相対運動しつ
つ磁気ディスクに記録された情報を読み/書きする磁気
ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、スライダ
を磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構造体と
を備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記スラ
イダは、磁気ディスクに対向する面に、相対運動する磁
気ディスクに対して進行方向の前端側に1個、進行方向
の後端側に複数の凸状部を備え、該凸状部は相対運動す
る磁気ディスク面と摺動する摺動面と、前記凸状部を除
く前記対向面とを結合する側面よりなり、少なくともそ
の一部に前記摺動面と前記側面とが略直角を成す部分を
有することを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
4. A magnetic head for reading / writing information recorded on a magnetic disk while relatively moving on the surface of a rotating magnetic disk, a slider for mounting the magnetic head, and a slider support structure for pressing the slider against the surface of the magnetic disk. In the magnetic head assembly comprising: a slider, wherein the slider is provided on the surface facing the magnetic disk, one on the front end side in the traveling direction with respect to the moving magnetic disk and a plurality of convex shapes on the rear end side in the traveling direction. And a convex portion formed of a side surface that couples a sliding surface that slides on the surface of the magnetic disk that moves relative to each other and the facing surface excluding the convex portion, and at least a part of the sliding surface. A magnetic head assembly, characterized in that the side surface and the side surface form a substantially right angle.
【請求項5】請求項1、3、4のいずれかに記載の磁気
ヘッドアセンブリにおいて、前記スライダの進行方向後
端側に備える凸状部は2個であることを特徴とする磁気
ヘッドアセンブリ。
5. The magnetic head assembly according to claim 1, wherein there are two convex portions provided on the rear end side in the traveling direction of the slider.
【請求項6】請求項1、3、4のいずれかに記載の磁気
ヘッドアセンブリにおいて、前記磁気ヘッドは前記スラ
イダの前端側に備える凸状部に設けることを特徴とする
磁気ヘッドアセンブリ。
6. The magnetic head assembly according to claim 1, wherein the magnetic head is provided on a convex portion provided on the front end side of the slider.
【請求項7】請求項1乃至6のいずれかに記載の磁気ヘ
ッドアセンブリにおいて、前記スライダは、磁気ディス
ク面と相対運動する方向の長さが最大0.8mm、前記相
対運動する方向と直交する方向の長さが最大1.0mmで
あることを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
7. The magnetic head assembly according to claim 1, wherein the slider has a maximum length of 0.8 mm in the direction of relative movement with respect to the magnetic disk surface, and is orthogonal to the direction of relative movement. A magnetic head assembly having a maximum length in the direction of 1.0 mm.
【請求項8】請求項2乃至4のいずれかに記載の磁気ヘ
ッドアセンブリにおいて、前記スライダに備える凸状部
の摺動面は、その面積が6μm×6μm以上、60μm×
60μm以下であることを特徴とする磁気ヘッドアセン
ブリ。
8. The magnetic head assembly according to claim 2, wherein the sliding surface of the convex portion provided on the slider has an area of 6 μm × 6 μm or more, 60 μm ×
A magnetic head assembly having a thickness of 60 μm or less.
【請求項9】請求項2乃至4のいずれかに記載の磁気ヘ
ッドアセンブリにおいて、前記スライダの凸状部は、凸
状部を除く前記対向面に対して略10μm以上突出して
いることを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
9. The magnetic head assembly according to any one of claims 2 to 4, wherein the protrusions of the slider protrude from the facing surface excluding the protrusions by about 10 μm or more. Magnetic head assembly.
【請求項10】回転する磁気ディスク表面を相対運動し
つつ磁気ディスクに記録された情報を読み/書きする磁
気ヘッドと、磁気ヘッドを搭載するスライダと、スライ
ダを磁気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構造体
とを備えてなる磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記ス
ライダは、磁気ディスク面と対向する面が、磁気ディス
ク面と相対運動する方向の長さが最大0.8mm、前記相
対運動する方向と直交する方向の長さが最大1.0mmで
あって、相対運動する磁気ディスクに対して進行方向の
前端側に1個、進行方向の後端側に2個の凸状部を備
え、凸状部は凸状部を除く前記対向面に対して略10μ
m以上突出し、且つ相対運動する磁気ディスク面と摺動
する摺動面の面積が6μm×6μm以上、60μm×60
μm以下からなり、前記磁気ヘッドはスライダの前端側
に備える凸状部に設けることを特徴とする磁気ヘッドア
センブリ。
10. A magnetic head for reading / writing information recorded on a magnetic disk while relatively moving on the surface of a rotating magnetic disk, a slider for mounting the magnetic head, and a slider support structure for pressing the slider against the surface of the magnetic disk. And a surface of the slider facing the magnetic disk surface has a maximum length of 0.8 mm in the direction of relative movement with respect to the magnetic disk surface, and the slider has a length of 0.8 mm in a direction orthogonal to the direction of relative movement. It has a maximum length of 1.0 mm, and is provided with one convex portion on the front end side in the traveling direction and two convex portions on the rear end side in the traveling direction with respect to the magnetic disk that moves relatively, and the convex portion is convex. Approximately 10μ with respect to the facing surface excluding parts
The area of the sliding surface that projects more than m and slides relative to the magnetic disk surface is 6 μm × 6 μm or more, 60 μm × 60
A magnetic head assembly having a size of less than or equal to μm, the magnetic head being provided on a convex portion provided on the front end side of the slider.
【請求項11】請求項1乃至10のいずれかに記載の磁
気ヘッドアセンブリにおいて、前記スライダ支持構造体
はスライダにピッチング方向、及びローリング方向の運
動を許容するジンバル的な機能を有する構造部分を備え
ることを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
11. The magnetic head assembly according to claim 1, wherein the slider support structure includes a structural portion having a gimbal-like function that allows the slider to move in a pitching direction and a rolling direction. A magnetic head assembly characterized by the above.
【請求項12】請求項1、3、4、5及び6のいずれか
に記載の磁気ヘッドアセンブリにおいて、前記磁気ディ
スクに対して進行方向の前端側に備える凸状部と進行方
向の後端側に備える凸状部と間隔は、前記スライダが対
向する磁気ディスク表面の高さ変動パターンを最も特徴
付ける波長とすることを特徴とする磁気ヘッドアセンブ
リ。
12. A magnetic head assembly according to any one of claims 1, 3, 4, 5 and 6, wherein a convex portion provided on a front end side in the traveling direction with respect to the magnetic disk and a rear end side in the traveling direction. The magnetic head assembly is characterized in that the convex portion and the space provided in the magnetic head assembly have a wavelength that most characterizes the height variation pattern of the magnetic disk surface facing the slider.
【請求項13】回転する磁気ディスクと、この磁気ディ
スク表面を相対運動しつつ磁気ディスクに記録された情
報を読み/書きする磁気ヘッドを搭載するスライダを磁
気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構造体を有す
る磁気ヘッドアセンブリとを備えて成る磁気ディスク装
置において、前記スライダは、磁気ディスクに対向する
面に、相対運動する磁気ディスクに対して進行方向の前
端側に1個、進行方向の後端側に複数の凸状部を有し、
前記支持構造体による磁気ディスク表面への押し付け力
が6mgf以上、50mgf以下であることを特徴とする磁気
ディスク装置。
13. A slider support structure for pressing a rotating magnetic disk and a slider having a magnetic head for reading / writing information recorded on the magnetic disk while relatively moving the surface of the magnetic disk against the surface of the magnetic disk. In a magnetic disk device including a magnetic head assembly, the slider is provided on a surface facing the magnetic disk, one slider on a front end side in a traveling direction with respect to a magnetic disk moving relatively, and a plurality of sliders on a rear end side in the traveling direction. Has a convex portion of
A magnetic disk drive, wherein the pressing force of the support structure on the surface of the magnetic disk is 6 mgf or more and 50 mgf or less.
【請求項14】回転する磁気ディスクと、この磁気ディ
スク表面を相対運動しつつ磁気ディスクに記録された情
報を読み/書きする磁気ヘッドを搭載するスライダを磁
気ディスク表面に押し付けるスライダ支持構造体を有す
る磁気ヘッドアセンブリとを備えて成る磁気ディスク装
置において、前記磁気ヘッドアセンブリは請求項1乃至
12に記載のいずれかを用いることを特徴とする磁気デ
ィスク装置。
14. A slider support structure for pressing a rotating magnetic disk and a slider carrying a magnetic head for reading / writing information recorded on the magnetic disk while relatively moving the surface of the magnetic disk against the surface of the magnetic disk. A magnetic disk device comprising a magnetic head assembly, wherein the magnetic head assembly uses any one of claims 1 to 12.
【請求項15】請求項13または14に記載の磁気ディ
スク装置において、該磁気ディスク装置は、少なくとも
前記磁気ディスク及び磁気ヘッドアセンブリを容器内に
収納し、該容器は内部に不活性ガスを充填することを特
徴とする磁気ディスク装置。
15. The magnetic disk device according to claim 13 or 14, wherein the magnetic disk device stores at least the magnetic disk and the magnetic head assembly in a container, and the container is filled with an inert gas. A magnetic disk device characterized by the above.
【請求項16】請求項13または14に記載の磁気ディ
スク装置において、該磁気ディスク装置は、少なくとも
前記磁気ディスク及び磁気ヘッドアセンブリを容器内に
収納し、該容器は容器の内外を通気する通気孔を有して
なることを特徴とする磁気ディスク装置。
16. The magnetic disk device according to claim 13 or 14, wherein the magnetic disk device houses at least the magnetic disk and the magnetic head assembly in a container, and the container is a ventilation hole for venting the inside and outside of the container. A magnetic disk device comprising:
【請求項17】請求項13または14に記載の磁気ディ
スク装置において、前記磁気ディスクは表面に潤滑剤を
塗布するものであって、該磁気ディスク表面と、前記ス
ライダに設けた凸状部の磁気ディスクとの摺動面とは、
磁気ディスク表面上を前記スライダが相対運動する状態
において、ディスク表面に塗布された潤滑剤の膜厚の最
大値よりも厚い潤滑剤膜厚を保つことを特徴とする磁気
ディスク装置。
17. The magnetic disk device according to claim 13 or 14, wherein the magnetic disk has a surface coated with a lubricant, and the magnetic disk surface and the magnetic protrusions provided on the slider are magnetic. What is the sliding surface with the disc?
A magnetic disk device, wherein a lubricant film thickness that is thicker than a maximum film thickness of a lubricant applied to the disk surface is maintained in a state where the slider relatively moves on the magnetic disk surface.
【請求項18】請求項13または14に記載の磁気ディ
スク装置において、前記磁気ディスクは表面に潤滑剤を
塗布するものであって、該磁気ディスク表面と、前記ス
ライダに設けた凸状部の磁気ディスクとの摺動面とは、
磁気ディスク表面上を前記スライダが相対運動する状態
において、非回転時におけるディスク表面上の潤滑剤の
膜厚の最大値よりも大きな間隔を保ちかつその間に潤滑
剤を有して支持されることを特徴とする磁気ディスク装
置。
18. The magnetic disk drive according to claim 13 or 14, wherein the magnetic disk has a surface coated with a lubricant, and the magnetic disk surface and the magnetic protrusions provided on the slider are magnetic. What is the sliding surface with the disc?
In a state where the slider moves relative to the surface of the magnetic disk, it is necessary to maintain a gap larger than the maximum value of the film thickness of the lubricant on the disk surface during non-rotation and to be supported with a lubricant between them. Characteristic magnetic disk device.
JP2368995A 1995-02-13 1995-02-13 Magnetic head assembly and magnetic disk device Pending JPH08221731A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010528400A (en) * 2007-05-22 2010-08-19 ドルベック,マーク,エイ. Computer high performance hard disk drive

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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