JPH08220200A - 磁場センサ - Google Patents
磁場センサInfo
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- JPH08220200A JPH08220200A JP5210595A JP5210595A JPH08220200A JP H08220200 A JPH08220200 A JP H08220200A JP 5210595 A JP5210595 A JP 5210595A JP 5210595 A JP5210595 A JP 5210595A JP H08220200 A JPH08220200 A JP H08220200A
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- magnetic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ホールセンサに対する磁力線の集中と組立て
工程の簡素化を図る。 【構成】 ホールセンサ１，２は樹脂パッケージ５で封
止されている。パッケージ５の表面にはホールセンサに
対応する位置に凹部５１，５２が形成されていて、この
凹部には集磁用のピース８の凸部が符合している。磁石
７による磁力線はピース８の凸部に集中し、その集中さ
れた磁力線がホールセンサ１，２に作用する。この結
果、ホールセンサでの磁場変化の検出精度が向上すると
ともに、センサの組立てに際しても前記凹凸を符合させ
るだけで位置の精度を確保できる。
工程の簡素化を図る。 【構成】 ホールセンサ１，２は樹脂パッケージ５で封
止されている。パッケージ５の表面にはホールセンサに
対応する位置に凹部５１，５２が形成されていて、この
凹部には集磁用のピース８の凸部が符合している。磁石
７による磁力線はピース８の凸部に集中し、その集中さ
れた磁力線がホールセンサ１，２に作用する。この結
果、ホールセンサでの磁場変化の検出精度が向上すると
ともに、センサの組立てに際しても前記凹凸を符合させ
るだけで位置の精度を確保できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁場センサに関するもの
であり、特に、該磁場センサに対する磁力線の集中作用
を向上させるのに好適な差動式磁場センサに関する。
であり、特に、該磁場センサに対する磁力線の集中作用
を向上させるのに好適な差動式磁場センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】軸の回転量や移動体の変位量を検出する
ために磁気抵抗素子（ＭＲ素子）やホール素子等の磁電
変換素子が使用される。例えば、図７に示す差動式磁場
センサ１００は、回転状態の検出対象物である歯車３に
対向して配置され、検知素子として一対のホールセンサ
１および２を有している。該ホールセンサ１および２は
ベース４上に配置され、樹脂製パッケージ５で封止され
たホールＩＣ６を形成している。磁石７はホールセンサ
１および２、ならび該ホールセンサ１および２と対向す
る歯車３の一部を包む磁場を形成している。
ために磁気抵抗素子（ＭＲ素子）やホール素子等の磁電
変換素子が使用される。例えば、図７に示す差動式磁場
センサ１００は、回転状態の検出対象物である歯車３に
対向して配置され、検知素子として一対のホールセンサ
１および２を有している。該ホールセンサ１および２は
ベース４上に配置され、樹脂製パッケージ５で封止され
たホールＩＣ６を形成している。磁石７はホールセンサ
１および２、ならび該ホールセンサ１および２と対向す
る歯車３の一部を包む磁場を形成している。
【０００３】前記ホールＩＣ６と歯車３との間には、前
記磁場における磁力線をホールＩＣ６に集中させるため
の透磁率の高い鉄系材料からなるピース８が設けられて
いる。さらに、該ピース８の前面つまり歯車側には、同
じく透磁率の高い鉄系材料からなるキャップ９が固定さ
れている。
記磁場における磁力線をホールＩＣ６に集中させるため
の透磁率の高い鉄系材料からなるピース８が設けられて
いる。さらに、該ピース８の前面つまり歯車側には、同
じく透磁率の高い鉄系材料からなるキャップ９が固定さ
れている。
【０００４】このような構成において、歯車３が矢印Ｄ
の方向に回転すると、その歯先がホールセンサ１，２と
順次近接し、ホールセンサ１，２は、該ホールセンサ
１，２に対する前記歯先の近接程度に応じたレベルの信
号を出力する。一般に、回転体つまり歯車３の回転位置
を判断することができるように、ホールセンサ１，２の
出力差つまり差動出力が最終的なセンサ出力として使用
される。
の方向に回転すると、その歯先がホールセンサ１，２と
順次近接し、ホールセンサ１，２は、該ホールセンサ
１，２に対する前記歯先の近接程度に応じたレベルの信
号を出力する。一般に、回転体つまり歯車３の回転位置
を判断することができるように、ホールセンサ１，２の
出力差つまり差動出力が最終的なセンサ出力として使用
される。
【０００５】また、磁力線をより効率的にホールＩＣに
集中させる手段として前記ピース８に代わるものも提案
されている。例えば、実公平３−４７２３６号公報およ
び実開昭５６−４８７７号公報に記載された磁気近接ス
イッチや磁気検出装置では、凸部を有する集磁部品を、
該凸部がホールＩＣまたは磁気検出器に対向するように
配置している。すなわち、集磁部品の凸部をホールＩＣ
等に対応させることによって、該ホールＩＣに対する磁
力線集中の効率の向上を図っている。
集中させる手段として前記ピース８に代わるものも提案
されている。例えば、実公平３−４７２３６号公報およ
び実開昭５６−４８７７号公報に記載された磁気近接ス
イッチや磁気検出装置では、凸部を有する集磁部品を、
該凸部がホールＩＣまたは磁気検出器に対向するように
配置している。すなわち、集磁部品の凸部をホールＩＣ
等に対応させることによって、該ホールＩＣに対する磁
力線集中の効率の向上を図っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記磁気スイッチ等に
は、次のような問題点があった。前記磁力線集中のため
の集磁部品の凸部はホールＩＣ全体をカバーするほどの
寸法となっている。したがって、ワンチップの中に２つ
のホールセンサを小さい間隔で配置して図７に示したよ
うなホールＩＣを構成しているような場合に、磁力線を
各ホールセンサのそれぞれに正確に集中させることがで
きない。そのために、結果的には、前記公報に記載され
た集磁部品によっても、図７に記載した凸部を有してい
ないピース８と同程度の磁力線集中効果しか得られない
という問題点があった。
は、次のような問題点があった。前記磁力線集中のため
の集磁部品の凸部はホールＩＣ全体をカバーするほどの
寸法となっている。したがって、ワンチップの中に２つ
のホールセンサを小さい間隔で配置して図７に示したよ
うなホールＩＣを構成しているような場合に、磁力線を
各ホールセンサのそれぞれに正確に集中させることがで
きない。そのために、結果的には、前記公報に記載され
た集磁部品によっても、図７に記載した凸部を有してい
ないピース８と同程度の磁力線集中効果しか得られない
という問題点があった。
【０００７】また、仮に、ホールセンサの間隔に合わせ
て寸法の小さい微細な凸部を２つ有する集磁部品を製作
したとしても、上記公報に記載された磁気近接スイッチ
等においては、該集磁部品はホールＩＣと別部品である
ため、それぞれの凸部を各ホールセンサに正確に対向さ
せて組立てることは極めて困難である。特に、ホールＩ
Ｃの面内でのＸ−Ｙ方向のみでなく、面内での回転方向
つまりθ方向の位置合わせも行わなければならないとい
う困難さがある。
て寸法の小さい微細な凸部を２つ有する集磁部品を製作
したとしても、上記公報に記載された磁気近接スイッチ
等においては、該集磁部品はホールＩＣと別部品である
ため、それぞれの凸部を各ホールセンサに正確に対向さ
せて組立てることは極めて困難である。特に、ホールＩ
Ｃの面内でのＸ−Ｙ方向のみでなく、面内での回転方向
つまりθ方向の位置合わせも行わなければならないとい
う困難さがある。
【０００８】前記凸部とホールセンサとが正確に対向せ
ず、組立て誤差によってずれが生じると、磁力線が所望
の位置に集束されず、反ってホールセンサ上での磁力が
低下するという問題点がある。
ず、組立て誤差によってずれが生じると、磁力線が所望
の位置に集束されず、反ってホールセンサ上での磁力が
低下するという問題点がある。
【０００９】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであり、その目的は、ホールセンサに確実に
磁力線を集中させることができ、かつ組立ての容易な磁
場センサを提供することにある。
されたものであり、その目的は、ホールセンサに確実に
磁力線を集中させることができ、かつ組立ての容易な磁
場センサを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決し、目
的を達成するための本発明は、磁電変換素子と、該磁電
変換素子を内部に封止した非磁性材料からなるパッケー
ジとを具備し、前記パッケージの表面には、該磁電変換
素子を動作させる磁場強度を増大させる集磁部材を嵌合
するため、前記磁電変換素子の配置位置に対応させて凹
部を形成した点に第１の特徴がある。また、本発明は、
前記パッケージに形成された凹部に対応する凸部を有
し、前記パッケージに密着配置された集磁部材を具備し
た点に第２の特徴がある。
的を達成するための本発明は、磁電変換素子と、該磁電
変換素子を内部に封止した非磁性材料からなるパッケー
ジとを具備し、前記パッケージの表面には、該磁電変換
素子を動作させる磁場強度を増大させる集磁部材を嵌合
するため、前記磁電変換素子の配置位置に対応させて凹
部を形成した点に第１の特徴がある。また、本発明は、
前記パッケージに形成された凹部に対応する凸部を有
し、前記パッケージに密着配置された集磁部材を具備し
た点に第２の特徴がある。
【００１１】さらに、本発明は、前記磁電変換素子を動
作させる磁場を形成するための磁石を設けた点に第３の
特徴があり、前記パッケージ内に磁電変換素子が複数個
封止された点に第４の特徴がある。
作させる磁場を形成するための磁石を設けた点に第３の
特徴があり、前記パッケージ内に磁電変換素子が複数個
封止された点に第４の特徴がある。
【００１２】
【作用】第１の特徴を有する本発明によれば、磁電変換
素子に作用する磁場強度を増大させるための集磁部材
を、磁電変換素子を内部に封止したパッケージに設けら
れた凹部に嵌合することができる。また、第２および第
３の特徴を有する本発明によれば、磁電変換素子に作用
する磁場強度を増大させるための集磁部材の凸部が、パ
ッケージに設けられた凹部に嵌合されている。したがっ
て、第１ないし第４の特徴を有する本発明によれば、集
磁部材の凸部をパッケージの凹部に嵌合させられるの
で、該凹部と対応する位置にある磁電変換素子に確実に
磁力線が集中される。
素子に作用する磁場強度を増大させるための集磁部材
を、磁電変換素子を内部に封止したパッケージに設けら
れた凹部に嵌合することができる。また、第２および第
３の特徴を有する本発明によれば、磁電変換素子に作用
する磁場強度を増大させるための集磁部材の凸部が、パ
ッケージに設けられた凹部に嵌合されている。したがっ
て、第１ないし第４の特徴を有する本発明によれば、集
磁部材の凸部をパッケージの凹部に嵌合させられるの
で、該凹部と対応する位置にある磁電変換素子に確実に
磁力線が集中される。
【００１３】さらに、第３の特徴を有する本発明では、
磁石によって磁電変換素子に対するバイアス磁界が形成
されるので、被検出体に設けられた磁石によって動作す
るセンサおよび磁性体の接近によって動作するセンサに
おいても、磁電変換素子に対して磁力線を確実に集中さ
せることができる。また、第４の特徴によれば、複数個
の磁電変換素子により差動出力を得る場合にも、各磁電
変換素子に対して磁力線を確実に集中させることができ
る。
磁石によって磁電変換素子に対するバイアス磁界が形成
されるので、被検出体に設けられた磁石によって動作す
るセンサおよび磁性体の接近によって動作するセンサに
おいても、磁電変換素子に対して磁力線を確実に集中さ
せることができる。また、第４の特徴によれば、複数個
の磁電変換素子により差動出力を得る場合にも、各磁電
変換素子に対して磁力線を確実に集中させることができ
る。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。図１は本発明に係る差動式磁場センサの正面断面
図、図２は同側面断面図であり、図７と同符号は同一ま
たは同等部分を示す。図１および図２において、ホール
ＩＣ６、磁石７、ピース８およびキャップ９は接着剤ま
たはねじ止め等、適宜の固着手段によって一体化されて
いる。ホールＩＣ６はエポキシ樹脂やシリカ等非磁性材
料からなるパッケージ５およびその中に封止されたホー
ルセンサ１，２からなり、かつ、該ホールセンサ１，２
はベースつまりリードフレーム４上の予定位置に位置決
めして接着（ボンディング）されている。パッケージ５
には、前記ホールセンサ１，２の位置にその頂部を対応
させた凹部５１および５２が形成されている。一方、ピ
ース８には、前記パッケージ４の凹部５１，５２と一致
する凸部（図面の繁雑回避のため符号は付与していな
い）が形成されている。なお、ピース８およびキャップ
９は高透磁性の鉄系材料で製作される。前記パッケージ
５を成型する金型には、前記凹部５１，５２に対応する
形状の凸部を設けておき、ホールセンサ１，２を樹脂で
封止する際に、該樹脂封止用の金型によって凹部５１，
５２を形成する。
る。図１は本発明に係る差動式磁場センサの正面断面
図、図２は同側面断面図であり、図７と同符号は同一ま
たは同等部分を示す。図１および図２において、ホール
ＩＣ６、磁石７、ピース８およびキャップ９は接着剤ま
たはねじ止め等、適宜の固着手段によって一体化されて
いる。ホールＩＣ６はエポキシ樹脂やシリカ等非磁性材
料からなるパッケージ５およびその中に封止されたホー
ルセンサ１，２からなり、かつ、該ホールセンサ１，２
はベースつまりリードフレーム４上の予定位置に位置決
めして接着（ボンディング）されている。パッケージ５
には、前記ホールセンサ１，２の位置にその頂部を対応
させた凹部５１および５２が形成されている。一方、ピ
ース８には、前記パッケージ４の凹部５１，５２と一致
する凸部（図面の繁雑回避のため符号は付与していな
い）が形成されている。なお、ピース８およびキャップ
９は高透磁性の鉄系材料で製作される。前記パッケージ
５を成型する金型には、前記凹部５１，５２に対応する
形状の凸部を設けておき、ホールセンサ１，２を樹脂で
封止する際に、該樹脂封止用の金型によって凹部５１，
５２を形成する。
【００１５】ＩＣ製造の分野では、例えば１００μｍ四
方のＩＣのパッドとリードフレーム上の端子とを自動的
にワイヤボンディングで接続する等の必要性から、ＩＣ
とリードフレームとの位置精度は高いことが知られてい
る。一般に、１つのパッド分すなわち１００μｍ以内の
位置精度を維持することは可能である。このような技術
背景から、ホールセンサ１，２とリードフレーム４との
位置関係を前記精度に維持することは容易である。した
がって、このリードフレーム４を金型との位置関係を固
定して前記エポキシ樹脂等を注入することにより、パッ
ケージ５内でのホールセンサ１，２の位置を精度良く維
持することができる。
方のＩＣのパッドとリードフレーム上の端子とを自動的
にワイヤボンディングで接続する等の必要性から、ＩＣ
とリードフレームとの位置精度は高いことが知られてい
る。一般に、１つのパッド分すなわち１００μｍ以内の
位置精度を維持することは可能である。このような技術
背景から、ホールセンサ１，２とリードフレーム４との
位置関係を前記精度に維持することは容易である。した
がって、このリードフレーム４を金型との位置関係を固
定して前記エポキシ樹脂等を注入することにより、パッ
ケージ５内でのホールセンサ１，２の位置を精度良く維
持することができる。
【００１６】上記差動式磁場センサによる磁場の集中の
様子を従来のセンサと比較して説明する。図３（ａ）は
従来のセンサによる磁力線の分布を示す模式図であり、
図３（ｂ）は本実施例に係るセンサによる磁力線の分布
を示す模式図である。この模式図にみられるように、本
実施例のセンサではホールセンサ１（２）に磁力線１０
を集中させることができる。
様子を従来のセンサと比較して説明する。図３（ａ）は
従来のセンサによる磁力線の分布を示す模式図であり、
図３（ｂ）は本実施例に係るセンサによる磁力線の分布
を示す模式図である。この模式図にみられるように、本
実施例のセンサではホールセンサ１（２）に磁力線１０
を集中させることができる。
【００１７】磁場シミュレーションにより効果を計算し
たところ、ピースに凸部がない従来のセンサと比較して
ホールセンサ１（２）の位置で１０％程度の磁場強度の
向上することがわかった。但し、凹部５１，５２の深さ
を０．５ｍｍ、ピース８の厚さは２．０ｍｍ（凸部は除
く）とし、ピース８は透磁率μ0 ＝２００〜３００の鉄
とする。
たところ、ピースに凸部がない従来のセンサと比較して
ホールセンサ１（２）の位置で１０％程度の磁場強度の
向上することがわかった。但し、凹部５１，５２の深さ
を０．５ｍｍ、ピース８の厚さは２．０ｍｍ（凸部は除
く）とし、ピース８は透磁率μ0 ＝２００〜３００の鉄
とする。
【００１８】次に、本発明の第２実施例を説明する。図
４は第２実施例を示す差動式磁場センサの要部断面図で
ある。図示のように、この第２実施例では前記ピース８
を省き、パッケージ５の凹部５１，５２と一致する凸部
をキャップ９に形成した。なお、キャップ９の厚さを前
記ピース８を合わせた厚さと同じにすれば図１に示した
ものと同一程度の磁力線の集中を図ることができる。ま
た、このようにピース８を省くことによって当該差動式
磁場センサの組立て工程を簡素化できる。
４は第２実施例を示す差動式磁場センサの要部断面図で
ある。図示のように、この第２実施例では前記ピース８
を省き、パッケージ５の凹部５１，５２と一致する凸部
をキャップ９に形成した。なお、キャップ９の厚さを前
記ピース８を合わせた厚さと同じにすれば図１に示した
ものと同一程度の磁力線の集中を図ることができる。ま
た、このようにピース８を省くことによって当該差動式
磁場センサの組立て工程を簡素化できる。
【００１９】以上の説明のように、本実施例によれば、
２つのホールセンサ１，２に磁力線を確実に集中させて
磁場強度を向上させることができるので、次のような不
具合を解消することができる。粉塵等による空気汚染の
激しい環境で磁場センサが使用された場合、キャップ９
に鉄粉が付着してホールセンサ１，２の出力信号レベル
が変化することがある。例えば、キャップ９の、ホール
センサ１側に鉄粉が付着すると図５のような出力波形と
なることがある。同図において、縦軸がホールセンサ
１，２の出力信号であり、横軸は時間軸である。図示の
ように、鉄粉の付着がないときのホールセンサ１の出力
信号Ａに比較して、鉄粉が付着したときのホールセンサ
１の出力信号Ｃは上方にオフセットしている。その結
果、該信号Ｃとホールセンサ２の出力信号Ｂとは交差し
なくなる。
２つのホールセンサ１，２に磁力線を確実に集中させて
磁場強度を向上させることができるので、次のような不
具合を解消することができる。粉塵等による空気汚染の
激しい環境で磁場センサが使用された場合、キャップ９
に鉄粉が付着してホールセンサ１，２の出力信号レベル
が変化することがある。例えば、キャップ９の、ホール
センサ１側に鉄粉が付着すると図５のような出力波形と
なることがある。同図において、縦軸がホールセンサ
１，２の出力信号であり、横軸は時間軸である。図示の
ように、鉄粉の付着がないときのホールセンサ１の出力
信号Ａに比較して、鉄粉が付着したときのホールセンサ
１の出力信号Ｃは上方にオフセットしている。その結
果、該信号Ｃとホールセンサ２の出力信号Ｂとは交差し
なくなる。
【００２０】差動式磁場センサは、例えば２つのホール
センサの出力差が正負に反転することによって、その反
転タイミングで歯車の回転等の被検出体の状態を検出す
る場合に使用される。したがって、信号ＣとＢとが交差
しない場合には所望の反転出力が得られないこととな
る。
センサの出力差が正負に反転することによって、その反
転タイミングで歯車の回転等の被検出体の状態を検出す
る場合に使用される。したがって、信号ＣとＢとが交差
しない場合には所望の反転出力が得られないこととな
る。
【００２１】このような事態が発生しても、本実施例の
差動式磁場センサによれば、磁場強度を高くできるた
め、出力信号Ａ，Ｂの振幅が大きくなる。したがって、
鉄粉が付着することがあってもその付着量が少ない場合
は、オフセットした出力信号Ｃと信号Ｂとが交差して差
動出力の正負反転が生じ、所望の検出出力が得られる。
すなわち、付着した鉄粉の厚さをＴ１とし、ピース８ま
たはキャップ９の凸部の高さをＴ２とした場合、鉄粉の
付着による磁場強度変化の影響をＴ１／（Ｔ１＋Ｔ２）
に減少させることができる。図６は、全体に出力信号レ
ベルが上昇して鉄粉の付着による影響が低減した例を示
すホールセンサの出力波形図である。
差動式磁場センサによれば、磁場強度を高くできるた
め、出力信号Ａ，Ｂの振幅が大きくなる。したがって、
鉄粉が付着することがあってもその付着量が少ない場合
は、オフセットした出力信号Ｃと信号Ｂとが交差して差
動出力の正負反転が生じ、所望の検出出力が得られる。
すなわち、付着した鉄粉の厚さをＴ１とし、ピース８ま
たはキャップ９の凸部の高さをＴ２とした場合、鉄粉の
付着による磁場強度変化の影響をＴ１／（Ｔ１＋Ｔ２）
に減少させることができる。図６は、全体に出力信号レ
ベルが上昇して鉄粉の付着による影響が低減した例を示
すホールセンサの出力波形図である。
【００２２】なお、本実施例では一対のホールセンサを
設けた差動式磁場センサについて説明したが、単一のホ
ールセンサを封止したセンサであっても同様の効果は得
られる。また、必ずしも磁石７が設けられたものに限ら
ず、被検出物体に設けられた磁石等の磁場で動作するホ
ールセンサを封止した磁場センサにも本発明は適用でき
る。
設けた差動式磁場センサについて説明したが、単一のホ
ールセンサを封止したセンサであっても同様の効果は得
られる。また、必ずしも磁石７が設けられたものに限ら
ず、被検出物体に設けられた磁石等の磁場で動作するホ
ールセンサを封止した磁場センサにも本発明は適用でき
る。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１ないし請求項４の発明によれば、集磁部材の凸部と磁
電変換素子を内部に封止したパッケージの凹部を嵌合さ
せられるので、前記凸部と凹部つまり磁電変換素子の位
置とを容易に符合させて組立てることができる。その結
果、組立てが容易になるとともに、前記集磁部材の凸部
に集中した磁力線を磁電変換素子に確実に作用させるこ
とができる。
１ないし請求項４の発明によれば、集磁部材の凸部と磁
電変換素子を内部に封止したパッケージの凹部を嵌合さ
せられるので、前記凸部と凹部つまり磁電変換素子の位
置とを容易に符合させて組立てることができる。その結
果、組立てが容易になるとともに、前記集磁部材の凸部
に集中した磁力線を磁電変換素子に確実に作用させるこ
とができる。
【００２４】また、請求項３の発明によれば、磁性体か
らなる被検出体を対象とするセンサにおいて、集磁部材
の凸部に集中した磁力線を磁電変換素子に確実に作用さ
せることができる。
らなる被検出体を対象とするセンサにおいて、集磁部材
の凸部に集中した磁力線を磁電変換素子に確実に作用さ
せることができる。
【００２５】さらに、請求項４の本発明では、複数個の
磁電変換素子により差動出力を得るセンサにおいても、
各磁電変換素子に対して磁力線を確実に集中させること
ができる。
磁電変換素子により差動出力を得るセンサにおいても、
各磁電変換素子に対して磁力線を確実に集中させること
ができる。
【図１】 本発明に係る磁場センサの正面断面図であ
る。
る。
【図２】 本発明に係る磁場センサの側面断面図であ
る。
る。
【図３】 磁力線の集中の様子を示す模式図である。
【図４】 本発明の第２実施例に係る磁場センサの正面
断面図である。
断面図である。
【図５】 従来のセンサによる出力波形図である。
【図６】 本発明のセンサによる出力波形図である。
【図７】 従来の磁場センサおよびその使用態様を示す
断面図である。
断面図である。
１，２…ホールセンサ、 ４…リードフレーム、 ５…
パッケージ、 ６…ホールＩＣ、 ７…磁石、 ８…ピ
ース、 ９…キャップ、 １０…磁力線、 ５１，５２
…凹部
パッケージ、 ６…ホールＩＣ、 ７…磁石、 ８…ピ
ース、 ９…キャップ、 １０…磁力線、 ５１，５２
…凹部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青柳 勝典 宮城県角田市佐倉字宮谷地３番地 株式会 社ハドシス内 (72)発明者 木村 巧 宮城県角田市佐倉字宮谷地３番地 株式会 社ハドシス内
Claims (4)
- 【請求項１】 磁電変換素子と、 該磁電変換素子を内部に封止した非磁性材料からなるパ
ッケージとを具備し、前記パッケージの表面には、該磁
電変換素子を動作させる磁場強度を増大させる集磁部材
を嵌合するための凹部を、前記磁電変換素子の配置位置
に対応させて形成したことを特徴とする磁場センサ。 - 【請求項２】 磁電変換素子と、 該磁電変換素子を内部に封止し、その表面に、前記磁電
変換素子の配置位置に対応させて凹部を形成した非磁性
材料からなるパッケージと、 前記パッケージの凹部に対応する凸部を有し、該パッケ
ージに密着して配置された高透磁性材料からなる集磁部
材とを具備したことを特徴とする磁場センサ。 - 【請求項３】 前記磁電変換素子を動作させる磁場を形
成するための磁石を設けたことを特徴とする請求項２記
載の磁場センサ。 - 【請求項４】 パッケージ内に磁電変換素子が複数個封
止されたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか
に記載の磁場センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05210595A JP3517015B2 (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | 磁場センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05210595A JP3517015B2 (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | 磁場センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08220200A true JPH08220200A (ja) | 1996-08-30 |
| JP3517015B2 JP3517015B2 (ja) | 2004-04-05 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05210595A Expired - Fee Related JP3517015B2 (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | 磁場センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3517015B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999019735A1 (en) * | 1997-10-10 | 1999-04-22 | Analog Devices, Inc. | Packaged integrated circuit with magnetic flux concentrator |
| JP2001141094A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体制御弁 |
| EP2072443A1 (en) * | 2006-10-12 | 2009-06-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic position sensor |
| JP2012079424A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Tokai Rika Co Ltd | 近接スイッチ |
| JP7090818B1 (ja) * | 2021-06-10 | 2022-06-24 | 三菱電機株式会社 | 磁気検出装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5471854B2 (ja) * | 2010-06-04 | 2014-04-16 | 日本精工株式会社 | 転がり軸受ユニットの物理量測定装置 |
-
1995
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO1999019735A1 (en) * | 1997-10-10 | 1999-04-22 | Analog Devices, Inc. | Packaged integrated circuit with magnetic flux concentrator |
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| EP2072443A1 (en) * | 2006-10-12 | 2009-06-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic position sensor |
| EP2072443A4 (en) * | 2006-10-12 | 2013-06-12 | Mitsubishi Electric Corp | MAGNETIC POSITION SENSOR |
| JP2012079424A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Tokai Rika Co Ltd | 近接スイッチ |
| JP7090818B1 (ja) * | 2021-06-10 | 2022-06-24 | 三菱電機株式会社 | 磁気検出装置 |
| WO2022259462A1 (ja) * | 2021-06-10 | 2022-12-15 | 三菱電機株式会社 | 磁気検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3517015B2 (ja) | 2004-04-05 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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