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JPH08201750A - Ｌｃｄパネル画質検査装置用カメラ装置 - Google Patents

Ｌｃｄパネル画質検査装置用カメラ装置

Info

Publication number
JPH08201750A
JPH08201750A JP7027434A JP2743495A JPH08201750A JP H08201750 A JPH08201750 A JP H08201750A JP 7027434 A JP7027434 A JP 7027434A JP 2743495 A JP2743495 A JP 2743495A JP H08201750 A JPH08201750 A JP H08201750A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
focal length
optical
plane parallel
optical filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7027434A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaki Hayashi
林　　正樹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP7027434A priority Critical patent/JPH08201750A/ja
Priority to KR1019950029956A priority patent/KR0181580B1/ko
Priority to US08/590,594 priority patent/US5689341A/en
Publication of JPH08201750A publication Critical patent/JPH08201750A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置の規模を大きくしたり、コストを上昇さ
せることなく、色収差による焦点距離の違いを補正する
構成をもったＬＣＤパネル画質検査装置用カメラ装置を
実現する。 【構成】 従来の構成に加えて、Ｒ、Ｇ、Ｂ及び透明板
の４種類の光学フィルタ毎に、光学フィルタを装備する
回転板１４のポケットに、光学フィルタと共に挿入する
平面平行板２１を設ける。以上のような構成であるた
め、装置の規模が大きくなることがなく、コストの上昇
も小さく、目的とする、色収差による焦点距離の違いを
補正できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタを切り
替えて画像を取り込むとき、カラーフィルタを変更して
も焦点距離がずれないＬＣＤパネル画質検査装置用カメ
ラ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来のＬＣＤパネル画質検査装置
の概略ブロックを示す。このＬＣＤパネル画質検査装置
用のカメラ装置は、検査対象パネル１０の画像明暗デー
タを取り込むための撮像素子、例えばＣＣＤが内蔵され
たカメラ部１９と、画像をＲ（Red ）、Ｇ（Green ）、
Ｂ（Blue）及び透明板の４種類の光学フィルタを通して
取り込むため、それら光学フィルタを実装した回転板１
４と、カメラ部１９に画像を結像するための焦点調整の
機構を持つ光学レンズ部１３と、回転板１４を回転させ
るモータＡ１５と、焦点調整のため光学レンズ部１３を
移動するモータＤ２０とで構成される。
【０００３】ところで、レンズを透過する光は、レンズ
の色収差により、その波長帯域によって結像する距離Ｌ
が異なる。具体的には、図４（ａ）に示すように、波長
の短い青色光においてはＬが短く、波長の長い赤色光に
おいてはＬが長い。このため、図４（ｂ）に示すよう
に、カラーフィルタを用いて特定の色のみを透過させた
場合、その色の違いにより結像する距離が違う。図３の
ＬＣＤパネル画質検査装置においては、光学レンズ部１
３とカメラ部１９との距離を固定すると、カラーフィル
タの色によって像の焦点が合わず、欠陥検出率の低下を
招く。このため、カラーフィルタを変更するたびに、モ
ータＤ２０により光学レンズ部１３の位置を変更する必
要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上のようにモータＤ
２０により光学レンズ部１３の位置を変更する構造とし
た場合には、装置の規模が大きくなり、重量が増し、コ
ストが上昇する。本発明は、装置の規模を大きくした
り、コストを上昇させることなく、色収差による焦点距
離の違いを補正する構成をもったＬＣＤパネル画質検査
装置用カメラ装置を実現することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては次のように構成している。つま
り、検査対象パネル１０の画像明暗データを取り込むた
めの撮像素子が内蔵されたカメラ部１９と、画像をＲ、
Ｇ、Ｂ及び透明板の４種類の光学フィルタを通して取り
込むため、それら光学フィルタを実装した回転板１４
と、カメラ部１９に画像を結像するための焦点調整の機
構を持つ光学レンズ部１３と、回転板１４を回転させる
モータＡ１５とで構成されるカメラ装置において、Ｒ、
Ｇ、Ｂ及び透明板の４種類の光学フィルタ毎に、光学フ
ィルタを装備する回転板１４のポケットに、光学フィル
タと共に挿入する平面平行板２１を設ける。
【０００６】
【作用】上記のように構成されたカメラ装置において
は、平面平行板を光学フィルタと共に回転板のポケット
に挿入する構成であるため、装置の規模が大きくなるこ
とがなく、コストの上昇も小さく、目的とする、色収差
による焦点距離の違いを補正する作用がある。
【０００７】
【実施例】図１に本発明の実施例を示す。このＬＣＤパ
ネル画質検査装置用のカメラ装置は、従来の構成であ
る、検査対象パネル１０の画像明暗データを取り込むた
めの撮像素子が内蔵されたカメラ部１９と、画像をＲ、
Ｇ、Ｂ及び透明板の４種類の光学フィルタを通して取り
込むため、それら光学フィルタを実装した回転板１４
と、カメラ部１９に画像を結像するための焦点調整の機
構を持つ光学レンズ部１３と、回転板１４を回転させる
モータＡ１５とに加え、Ｒ、Ｇ、Ｂ及び透明板の４種類
の光学フィルタ毎に、光学フィルタを装備する回転板１
４のポケットに、光学フィルタと共に挿入する、色収差
による焦点距離の違いを補正する補正光学ガラス板（平
面平行板）２１を設けている。
【０００８】図２は、平面平行板２１による光の屈折に
より、焦点距離が変化する様子を示す。つまり、平面平
行板２１がない場合はＦ３に焦点を結ぶ像が、平面平行
板２１によりＦ４に移動する。また、その移動距離は平
面平行板２１の厚さにより違った値となる。この平面平
行板２１の特性を利用して、色収差による焦点距離の違
いを、平面平行板２１の厚みで各光学フィルタ毎に調整
し、相対的に焦点距離が均一になるようにする。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。つ
まり、本発明においては、各光学フィルタの色収差によ
る焦点距離の違いを補正するため、厚さの違う平面平行
板を光学フィルタと共に回転板のポケットに挿入する構
成であるため、装置の規模は大きくならない。また、追
加する部品が数個の平面平行板のみであるため、コスト
の上昇も小さく、目的とする、色収差による焦点距離の
違いを補正できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の構成を示す説明図である。
【図２】平面平行板の作用を示す説明図である。
【図３】従来の構成を示す説明図である。
【図４】色収差の説明図である。
【符号の説明】
１０ 検査対象パネル １３ 光学レンズ部 １４ 回転板 １５ モータＡ １９ カメラ部 ２０ モータＤ ２１ 平面平行板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 検査対象パネル（１０）の画像明暗デー
    タを取り込むための撮像素子が内蔵されたカメラ部（１
    ９）と、画像をＲ、Ｇ、Ｂ及び透明板の４種類の光学フ
    ィルタを通して取り込むため、それら光学フィルタを実
    装した回転板（１４）と、カメラ部（１９）に画像を結
    像するための焦点調整の機構を持つ光学レンズ部（１
    ３）と、回転板（１４）を回転させるモータＡ（１５）
    とで構成されるカメラ装置において、 Ｒ、Ｇ、Ｂ及び透明板の４種類の光学フィルタ毎に、光
    学フィルタを装備する回転板（１４）のポケットに、光
    学フィルタと共に挿入する平面平行板（２１）を設けた
    ことを特徴とするＬＣＤパネル画質検査装置用カメラ装
    置。
JP7027434A 1995-01-24 1995-01-24 Ｌｃｄパネル画質検査装置用カメラ装置 Pending JPH08201750A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7027434A JPH08201750A (ja) 1995-01-24 1995-01-24 Ｌｃｄパネル画質検査装置用カメラ装置
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JPH08201750A true JPH08201750A (ja) 1996-08-09

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ID=12221013

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JP7027434A Pending JPH08201750A (ja) 1995-01-24 1995-01-24 Ｌｃｄパネル画質検査装置用カメラ装置

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US (1) US5689341A (ja)
JP (1) JPH08201750A (ja)
KR (1) KR0181580B1 (ja)

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US5689341A (en) 1997-11-18
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KR0181580B1 (ko) 1999-04-15

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Effective date: 20030708