JPH08195645A - Package for mounting element - Google Patents
Package for mounting elementInfo
- Publication number
- JPH08195645A JPH08195645A JP458495A JP458495A JPH08195645A JP H08195645 A JPH08195645 A JP H08195645A JP 458495 A JP458495 A JP 458495A JP 458495 A JP458495 A JP 458495A JP H08195645 A JPH08195645 A JP H08195645A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- matching circuit
- impedance matching
- board
- circuit board
- package
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は素子搭載用パッケージに
関し、更に詳細には表面弾性波フィルタ素子等の素子が
搭載されるパッケージに形成された、前記素子とワイヤ
等で連結される内部接続端子と、外部回路等に接続され
る外部接続端子との間に、インピーダンス整合用回路が
形成された素子搭載用パッケージに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an element mounting package, and more particularly to an internal connection terminal formed on a package in which an element such as a surface acoustic wave filter element is mounted and which is connected to the element by a wire or the like. And an external connection terminal connected to an external circuit or the like, the present invention relates to an element mounting package in which an impedance matching circuit is formed.
【0002】[0002]
【従来の技術】移動通信機器に使用される表面弾性波フ
ィルタ素子が搭載される素子搭載用パッケージとして
は、特開平6−112762号公報において、図3に示
す素子搭載用パッケージが提案されている。図3に示す
素子搭載用パッケージには、セラミック製のパッケージ
100に表面弾性波フィルタ素子102、104が搭載
される。かかる表面弾性波フィルタ素子102、104
にワイヤ等で連結される内部接続端子118と、パッケ
ージ100の表面に形成された外部接続端子116との
間には、接地層112、114に挟まれたストリップラ
イン構造のインピーダンス整合用回路106が形成され
ている。このインピーダンス整合用回路106は、通
常、そのパターンの全長が、パッケージ100に形成さ
れた他の信号入出力用配線パターンに比較して長いもの
である。かかるインピーダンス整合用回路106と搭載
する表面弾性波フィルタ素子102、104とのインピ
ーダンスのマッチングは、通常、インピーダンス整合用
回路106のパターン長さ及び/又はパターン幅を調整
することによって行われている。2. Description of the Related Art As an element mounting package for mounting a surface acoustic wave filter element used in mobile communication equipment, Japanese Patent Laid-Open No. 6-112762 proposes an element mounting package shown in FIG. . In the device mounting package shown in FIG. 3, surface acoustic wave filter devices 102 and 104 are mounted on a ceramic package 100. Such surface acoustic wave filter elements 102, 104
An impedance matching circuit 106 having a stripline structure sandwiched between ground layers 112 and 114 is provided between an internal connection terminal 118 that is connected to the external connection terminal 118 on the surface of the package 100 and an external connection terminal 116 formed on the surface of the package 100. Has been formed. In the impedance matching circuit 106, the total length of the pattern is usually longer than other signal input / output wiring patterns formed on the package 100. The impedance matching between the impedance matching circuit 106 and the surface acoustic wave filter elements 102 and 104 to be mounted is usually performed by adjusting the pattern length and / or the pattern width of the impedance matching circuit 106.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この様に、搭載される
表面弾性波フィルタ素子102、104とのインピーダ
ンスがマッチングされたインピーダンス整合用回路10
6を具備する素子搭載用パッケージによれば、移動通信
機器の小型化要請に応えることが可能である。しかしな
がら、インピーダンス整合用回路106のパターンの全
長は、他の信号入出力用配線パターンに比較して長いた
め、パッケージ100内に他の信号入出力用配線パター
ンと混在してインピーダンス整合用回路106を形成せ
んとすると、パッケージが著しく複雑な構造となり易
く、パッケージの製造工程も複雑化し易い。かかる傾向
は、パッケージが小型化される程顕著となり易い。ま
た、通常、インピーダンス整合用回路106は、他の配
線パターンと同様にパッケージ100を形成するアルミ
ナ成分を含有するグリーンシート等と同時焼成されて形
成されるため、アルミナ成分を含有するグリーンシート
の焼成温度(1500〜1600℃)で焼成できるタン
グステン等の金属が使用される。しかし、タングステン
等の金属を焼成して形成された回路は、タングステン等
の金属よりも低融点の銅等の低融点金属によって形成さ
れた回路に比較して、電気抵抗値が高くなる。As described above, the impedance matching circuit 10 in which the impedances of the surface acoustic wave filter elements 102 and 104 to be mounted are matched.
According to the element mounting package including No. 6, it is possible to meet the demand for miniaturization of the mobile communication device. However, since the total length of the pattern of the impedance matching circuit 106 is longer than that of other signal input / output wiring patterns, the impedance matching circuit 106 is mixed with other signal input / output wiring patterns in the package 100. If formed, the package tends to have a remarkably complicated structure, and the manufacturing process of the package tends to be complicated. This tendency tends to be more remarkable as the package is made smaller. Further, normally, the impedance matching circuit 106 is formed by being co-fired with the green sheet or the like containing the alumina component forming the package 100, like other wiring patterns, and therefore the firing of the green sheet containing the alumina component is performed. A metal such as tungsten that can be fired at a temperature (1,500 to 1,600 ° C.) is used. However, a circuit formed by firing a metal such as tungsten has a higher electric resistance value than a circuit formed by a low melting point metal such as copper having a lower melting point than the metal such as tungsten.
【0004】このため、インピーダンス整合用回路10
6の電気抵抗値を低下させるべく、タングステン等の金
属を焼成して形成した多孔性導体中に、タングステン等
の金属よりも低融点の銅等の低融点金属を含浸させて形
成したインピーダンス整合用回路が使用されることがあ
る。この様に、電気抵抗値が低下されたインピーダンス
整合用回路106が内蔵されたパッケージ100のキャ
ビティ108には、搭載された表面弾性波フィルタ素子
102、104と内部接続端子118とをワイヤボンデ
ィング等によって電気的に接続した後、キャビティ10
8内の気密状態を保持すべく、キャップ110を被着す
る。しかしながら、多孔性導体中に含浸させた銅等の低
融点金属とセラミック製のパッケージ本体100とが剥
離し易いため、インピーダンス整合用回路106を介し
て大気や水分がキャビティ108内に侵入し、キャビテ
ィ108の気密状態が破られることがある。そこで、本
発明の目的は、表面弾性波フィルタ素子等の素子が搭載
される素子搭載用パッケージにおいて、内部接続端子と
外部接続端子との間に、インピーダンス整合用回路を形
成しても、簡素なパッケージ構造とし得る素子搭載用パ
ッケージを提供することにある。Therefore, the impedance matching circuit 10
For impedance matching, the porous conductor formed by firing a metal such as tungsten is impregnated with a low melting point metal such as copper having a lower melting point than the metal such as tungsten in order to reduce the electric resistance value of 6. Circuits may be used. As described above, the surface acoustic wave filter elements 102 and 104 and the internal connection terminals 118 mounted in the cavity 108 of the package 100 in which the impedance matching circuit 106 having the reduced electric resistance value is built-in are formed by wire bonding or the like. Cavity 10 after electrical connection
In order to maintain the airtight state inside 8, the cap 110 is attached. However, since the low melting point metal such as copper impregnated in the porous conductor and the package body 100 made of ceramic are easily separated from each other, the atmosphere or moisture enters the cavity 108 through the impedance matching circuit 106, and The airtight state of 108 may be broken. Therefore, an object of the present invention is to simplify the formation of an impedance matching circuit between an internal connection terminal and an external connection terminal in an element mounting package in which an element such as a surface acoustic wave filter element is mounted. An object is to provide an element mounting package that can have a package structure.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記目的
を達成すべく検討を重ねた結果、素子を搭載する素子搭
載基板とインピーダンス整合用回路を形成する整合用回
路基板との各々を別体に作成した後、両基板を接合して
素子搭載用パッケージを形成することによって、インピ
ーダンス整合用回路を他の入出力用配線パターンから独
立して作成することができる。この様にして形成した素
子搭載用パッケージは、インピーダンス整合用回路と他
の入出力用配線パターンとを混在させて形成した従来の
素子搭載用パッケージに比較して、パッケージ構造及び
パッケージ製造工程の簡素化が可能となることを知っ
た。更に、整合用回路基板の基板本体と剥離し易い材料
でインピーダンス整合用回路を形成しても、素子搭載基
板に形成したキャビティの気密を充分に保持できること
も併せて知り、本発明に到達した。すなわち、本発明
は、表面弾性波フィルタ素子等の素子が搭載されるパッ
ケージに形成された、前記素子とワイヤ等で連結される
内部接続端子と、外部回路等に接続される外部接続端子
との間に、インピーダンス整合用回路が形成された素子
搭載用パッケージにおいて、該インピーダンス整合用回
路が、前記素子が搭載される素子搭載基板とは別体に形
成された整合用回路基板に形成され、且つ前記素子搭載
基板と整合用回路基板とが接合されて、素子搭載基板に
設けられた内部接続端子と整合用回路基板に設けられた
インピーダンス整合用回路とが電気的に接続されている
ことを特徴とする素子搭載用パッケージにある。Means for Solving the Problems As a result of repeated studies to achieve the above object, the inventors of the present invention have decided to mount an element mounting board on which an element is mounted and a matching circuit board for forming an impedance matching circuit. The impedance matching circuit can be formed independently from other input / output wiring patterns by forming the element mounting package by joining the two substrates after the separate formation. The element mounting package formed in this manner has a simpler package structure and package manufacturing process than the conventional element mounting package formed by mixing the impedance matching circuit and other input / output wiring patterns. I knew that it would be possible. Further, they have also found that even if the impedance matching circuit is formed of a material that is easily separated from the substrate body of the matching circuit board, the cavity formed in the element mounting board can be sufficiently kept airtight, and thus the present invention has been reached. That is, the present invention relates to an internal connection terminal that is formed in a package in which an element such as a surface acoustic wave filter element is mounted and that is connected to the element by a wire or the like and an external connection terminal that is connected to an external circuit or the like. In the element mounting package in which the impedance matching circuit is formed, the impedance matching circuit is formed on a matching circuit board formed separately from the element mounting board on which the element is mounted, and The element mounting board and the matching circuit board are joined together, and the internal connection terminals provided on the element mounting board and the impedance matching circuit provided on the matching circuit board are electrically connected. It is in the device mounting package.
【0006】かかる構成を有する本発明において、素子
搭載基板及び整合用回路基板をセラミックによって形成
することにより、素子搭載基板に形成する導体回路を基
板本体との剥離性が低く気密性が高いタングステン等の
金属で形成できるため、素子搭載基板に形成したキャビ
ティの気密性を向上できる。特に、素子搭載基板及び整
合用回路基板をセラミックによって形成し、インピーダ
ンス整合用回路を、焼結タングステン等の焼結金属から
成る多孔性導体中に、前記焼結金属よりも低融点である
銅等の金属を含浸させて形成することによって、インピ
ーダンス整合用回路の抵抗値を低下させつつ素子搭載基
板に形成したキャビティの気密性を向上することができ
る。また、素子搭載基板と整合用回路基板とを、同一組
成のセラミック、特にアルミナ成分を主成分とするセラ
ミックにより形成することによって、両者の接合の容易
化を図ることができ、素子搭載基板と整合用回路基板と
の接合は、ろう付けによって容易に行うことができる。In the present invention having such a structure, by forming the element mounting board and the matching circuit board from ceramic, the conductor circuit formed on the element mounting board is highly peelable from the substrate body and has high airtightness. Since it can be formed of the above metal, the airtightness of the cavity formed in the element mounting substrate can be improved. In particular, the element mounting board and the matching circuit board are made of ceramics, and the impedance matching circuit is formed in a porous conductor made of a sintered metal such as sintered tungsten in which the melting point is lower than that of the sintered metal. By impregnating and forming the metal of (1), the airtightness of the cavity formed in the element mounting substrate can be improved while lowering the resistance value of the impedance matching circuit. Further, by forming the element mounting board and the matching circuit board by using a ceramic having the same composition, particularly a ceramic containing an alumina component as a main component, it is possible to facilitate the bonding of the two and to match the element mounting board. The connection with the circuit board for use can be easily performed by brazing.
【0007】更に、整合用回路基板の上面に、複数個の
素子搭載基板を接合することにより、複数の機能を具備
する素子搭載用パッケージを提供できる。この様な、本
発明に係る素子搭載用パッケージにおいて、整合用回路
基板に形成するインピーダンス整合用回路を、接地層間
に挟まれて成るストリップライン構造とすることによ
り、高周波対応用とすることができる。尚、インピーダ
ンス整合用回路と内部接続端子との電気的接続を、導電
性ペーストが充填されて形成されたビアを介して行うこ
とにより、最短距離で両者を電気的に連結することがで
きる。Further, by bonding a plurality of element mounting boards to the upper surface of the matching circuit board, an element mounting package having a plurality of functions can be provided. In such an element mounting package according to the present invention, the impedance matching circuit formed on the matching circuit board has a stripline structure sandwiched between ground layers, so that it can be used for high frequencies. . By electrically connecting the impedance matching circuit and the internal connection terminal via the via formed by filling the conductive paste, the two can be electrically connected at the shortest distance.
【0008】[0008]
【作用】本発明においては、表面弾性波フィルタ素子等
の素子を搭載する素子搭載基板と、インピーダンス整合
用回路が設けられた整合用回路基板とを別体に形成し、
両者を電気的に接合してパッケージを形成したものであ
る。このため、素子搭載基板に形成されるビアを含む導
体回路をインピーダンス整合用回路を考慮することなく
作成でき、整合用回路基板に形成されるインピーダンス
整合用回路も導体回路を考慮することなく作成できるた
め、両回路を混在させてパッケージを形成した場合に比
較して、パッケージ構造及びパッケージ製造工程の簡素
化が可能である。更に、素子搭載基板の導体回路は、素
子搭載基板との剥離性が低い気密性が良好なタングステ
ン等の金属で形成できる。このため、整合用回路基板と
剥離性の高いものの電気抵抗値が低い材料で形成したイ
ンピーダンス整合用回路が基板本体と剥離しても、イン
ピーダンス整合用回路を介して大気や水分が素子搭載基
板に形成したキャビティにまで侵入することを防止で
き、キャビティの気密性を確保できる。According to the present invention, the element mounting board on which the element such as the surface acoustic wave filter element is mounted and the matching circuit board provided with the impedance matching circuit are formed separately.
The two are electrically joined to form a package. Therefore, a conductor circuit including a via formed on the element mounting board can be created without considering the impedance matching circuit, and an impedance matching circuit formed on the matching circuit board can also be created without considering the conductor circuit. Therefore, the package structure and the package manufacturing process can be simplified as compared with the case where both circuits are mixed to form the package. Further, the conductor circuit of the device mounting board can be formed of a metal such as tungsten which has low peelability from the device mounting board and has good airtightness. Therefore, even if the impedance matching circuit formed of a material that has high peelability from the matching circuit board but has a low electric resistance value peels off from the board body, the atmosphere and moisture will pass through the impedance matching circuit to the device mounting board. The cavity can be prevented from entering even the formed cavity, and the airtightness of the cavity can be secured.
【0009】[0009]
【実施例】本発明を図面を用いて更に詳細に説明する。
図1は、本発明に係る素子搭載用パッケージの一実施例
を示す断面図であって、アルミナ成分を主成分とするセ
ラミック製の素子搭載基板10のキャビティ12内に
は、表面弾性波フィルタ素子14a、14bの各々が搭
載されている。かかる素子14a、14bの各々は、素
子搭載基板10に形成された導電性ペーストを充填して
形成したビアを含む導体回路18、18・・の各内部接
続端子、及び後述するインピーダンス整合用回路の一端
に接続されている内部接続端子19の各々とワイヤ1
6、16・・・によって電気的に接続され、且つキャビ
ティ12を覆うように被着されたキャップ20によって
気密封止されている。この素子搭載基板10に形成され
たビアを含む導体回路18、18・・は、焼結タングス
テンのみによって形成されており、素子搭載基板10と
同時焼成されて形成されたものである。このため、ビア
を含む導体回路18、18・・と素子搭載基板10との
気密性は良好であり、ビアを含む導体回路18、18・
・を介してキャビティ12内に大気や水分が侵入するこ
とを防止できる。The present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of an element mounting package according to the present invention, in which a surface acoustic wave filter element is provided in a cavity 12 of an element mounting substrate 10 made of ceramics containing alumina as a main component. Each of 14a and 14b is mounted. Each of the elements 14a and 14b includes internal connection terminals of conductor circuits 18, 18 ... Including vias formed by filling a conductive paste formed on the element mounting substrate 10 and an impedance matching circuit described later. Each of the internal connection terminals 19 connected to one end and the wire 1
Are electrically connected with each other, and are hermetically sealed by a cap 20 attached so as to cover the cavity 12. The conductor circuits 18 including the vias formed on the element mounting substrate 10 are formed only of sintered tungsten and are formed by being co-fired with the element mounting substrate 10. Therefore, the airtightness between the conductor circuits 18, 18 including the vias and the element mounting board 10 is good, and the conductor circuits 18, 18 including the vias.
The atmosphere and moisture can be prevented from entering the cavity 12 through the.
【0010】かかる素子搭載基板10の一面と、別体に
形成されたアルミナ成分を主成分とするセラミック製の
整合用回路基板22の一面とは、銀ろうやはんだ等のろ
う付けによって接合され、パッケージが形成されてい
る。この整合用回路基板22には、インピーダンス整合
用回路24が形成されており、インピーダンス整合用回
路24の一端は素子搭載基板10内に形成された導体回
路18を構成するビアを介して内部接続端子19に接続
されている。更に、インピーダンス整合用回路24の他
端は、整合用回路基板22の表面に形成された外部接続
端子27の一つに連結されている。この様に、インピー
ダンス整合用回路24の一端と内部接続端子19とをビ
アを介して接続することによって、両端を最短距離で接
続できる。このため、ビアのインピーダンスを実質的に
無視できる場合があり、この場合には、搭載する素子と
のインピーダンスのマッチングをインピーダンス整合用
回路24のみで行うことができる。また、かかるインピ
ーダンス整合用回路24は、接地層28、29の間に挟
まれたストリップライン構造となっており、高周波対応
構造となっている。One surface of the element mounting board 10 and one surface of a ceramic matching circuit board 22 mainly composed of an alumina component, which is separately formed, are joined by brazing such as silver solder or solder. The package is formed. An impedance matching circuit 24 is formed on the matching circuit board 22, and one end of the impedance matching circuit 24 is internally connected via a via forming a conductor circuit 18 formed in the element mounting board 10. It is connected to 19. Further, the other end of the impedance matching circuit 24 is connected to one of the external connection terminals 27 formed on the surface of the matching circuit board 22. In this way, by connecting one end of the impedance matching circuit 24 and the internal connection terminal 19 via the via, both ends can be connected in the shortest distance. Therefore, the impedance of the via may be substantially ignored, and in this case, the impedance matching with the mounted element can be performed only by the impedance matching circuit 24. Further, the impedance matching circuit 24 has a stripline structure sandwiched between the ground layers 28 and 29, and has a high frequency compatible structure.
【0011】本実施例のインピーダンス整合用回路24
は、焼結温度でガス化する有機物をタングステン中に混
入し焼成して得られた、焼結タングステンから成る多孔
性導体中に、溶融した銅を含浸させて形成したものであ
る。かかるインピーダンス整合用回路24では、焼結タ
ングステン中に形成された孔内に銅が入りこむため、焼
結タングステンのみから成る回路に比較して、電気抵抗
値を低下することができる。但し、このインピーダンス
整合用回路24を形成する銅が、整合用回路基板22を
形成するセラミック製の基板本体と剥離し易いため、イ
ンピーダンス整合用回路24と基板本体との気密性が劣
る。The impedance matching circuit 24 of this embodiment
Is formed by impregnating molten copper into a porous conductor made of sintered tungsten, which is obtained by mixing organic matter that is gasified at the sintering temperature into tungsten and firing the mixture. In the impedance matching circuit 24, since copper enters into the holes formed in the sintered tungsten, it is possible to reduce the electric resistance value as compared with the circuit formed of only the sintered tungsten. However, since the copper forming the impedance matching circuit 24 is easily separated from the ceramic substrate body forming the matching circuit board 22, the airtightness between the impedance matching circuit 24 and the substrate body is poor.
【0012】この点、本実施例においては、気密性が要
求される素子搭載基板10のビアを含む導体回路18、
18・・を、アルミナ製の基板本体との気密性が良好な
焼結タングステンによって形成し、且つ気密性が劣るも
のの低電気抵抗値のインピーダンス整合用回路24を、
素子搭載基板10と別体に形成した整合用回路基板22
に形成している。このため、搭載した表面弾性波フィル
タ素子等の気密性が要求される素子搭載基板10におけ
る気密性を確保しつつインピーダンス整合用回路24の
低電気抵抗化を図ることができる。尚、素子搭載基板1
0のビアを含む導体回路18、18・・は、電気抵抗値
が高い焼結タングステンのみで形成されているが、通
常、その長さはインピーダンス整合用回路24よりも著
しく短いため、ビアを含む導体回路18、18・・の電
気抵抗値が問題となることはない。In this regard, in this embodiment, the conductor circuit 18 including the via of the element mounting substrate 10 which is required to be airtight,
18 ... Is formed of sintered tungsten having good airtightness with the substrate body made of alumina, and the impedance matching circuit 24 having a low electric resistance value although the airtightness is inferior,
Matching circuit board 22 formed separately from element mounting board 10
Is formed. For this reason, the electrical resistance of the impedance matching circuit 24 can be reduced while ensuring the airtightness of the element mounting substrate 10 that requires airtightness of the mounted surface acoustic wave filter element or the like. The device mounting board 1
The conductor circuits 18 including the 0 vias are formed only of sintered tungsten having a high electric resistance value, but since the length thereof is significantly shorter than that of the impedance matching circuit 24, the via circuits include the vias. The electric resistance of the conductor circuits 18, 18 ... Does not pose a problem.
【0013】本実施例においては、ビアを含む導体回路
18、18・・は、インピーダンス整合用回路24又は
整合用回路基板22に形成された導体回路26、26・
・等を経由して整合用回路基板22の底面に形成された
外部接続用端子27、27・・に接続している。このた
め、整合用回路基板22の底面に形成された外部接続用
端子27、27・・の各々に、ピンを立設してPGA(P
in Grid Array)構造としてもよく、はんだボール等を設
けてBGA(Ball Grid Array) 構造としてもよい。ま
た、図2に示す様に、整合用回路基板22の両側に、実
装基板等に設けられた回路パターン等とコンタクトして
電気的に接続される外部接続用端子30が内周面に形成
された凹部32、32・・を形成し、リードレスチップ
モジュール(LCC)構造としてもよい。更に、整合用
回路基板22上に、複数個の素子搭載基板10a、10
bを形成してもよい。In the present embodiment, the conductor circuits 18, 18 ··· including the vias are the conductor circuits 26, 26 · · formed on the impedance matching circuit 24 or the matching circuit board 22.
., And the like, and are connected to external connection terminals 27, 27, ... Formed on the bottom surface of the matching circuit board 22. Therefore, a pin is provided upright on each of the external connection terminals 27, 27, ... Formed on the bottom surface of the matching circuit board 22, and PGA (P
An in grid array) structure may be used, or a BGA (ball grid array) structure may be provided by providing solder balls or the like. Further, as shown in FIG. 2, external connection terminals 30 are formed on the inner peripheral surface on both sides of the matching circuit board 22 so as to be in contact with and electrically connected to a circuit pattern or the like provided on a mounting board or the like. The recesses 32, 32, ... Can be formed to form a leadless chip module (LCC) structure. Further, on the matching circuit board 22, a plurality of element mounting boards 10a, 10a,
b may be formed.
【0014】以上、述べてきた本実施例においては、素
子搭載基板と整合用回路基板とを同一組成のセラミック
によって形成して成る素子搭載用パッケージについて説
明してきたが、素子搭載基板と整合用回路基板とが組成
を異にするセラミックによって形成されていてもよく、
セラミック製の比較して気密性が低下するがプラスチッ
ク製であってもよい。また、搭載する素子も、表面弾性
波フィルタ素子を中心にして述べてきたが、例えば半導
体素子等の他の素子であってもよい。更に、インピーダ
ンス整合用回路は、多層に形成した整合用回路基板のう
ち一層に形成してもよく、二層以上の多層に分けて形成
してもよい。In the above-described embodiment, the element mounting package in which the element mounting substrate and the matching circuit board are made of ceramic having the same composition has been described. However, the element mounting board and the matching circuit are described. The substrate may be formed of a ceramic having a different composition,
The airtightness is lower than that of ceramic, but plastic may be used. Also, the element to be mounted has been described focusing on the surface acoustic wave filter element, but it may be another element such as a semiconductor element. Furthermore, the impedance matching circuit may be formed on one layer of the matching circuit board formed in multiple layers, or may be formed in two or more layers separately.
【0015】[0015]
【発明の効果】本発明によれば、表面弾性波フィルタ素
子等の素子が搭載される部分を高気密性に保持すること
ができ、且つパッケージ構造が簡素化されパッケージの
製造工程も簡素化可能な素子搭載用パッケージを提供で
きる。かかるパッケージは、移動通信機器に使用される
表面弾性波フィルタ素子等の素子が搭載される素子搭載
用パッケージとして好適に使用できる。According to the present invention, a portion on which an element such as a surface acoustic wave filter element is mounted can be kept airtight, and the package structure can be simplified and the manufacturing process of the package can be simplified. It is possible to provide a package for mounting various elements. Such a package can be suitably used as an element mounting package on which an element such as a surface acoustic wave filter element used in mobile communication equipment is mounted.
【図1】本発明の一実施例を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図2】他の実施例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing another embodiment.
【図3】インピーダンス整合用回路が設けられた、従来
の素子搭載用パッケージの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional element mounting package provided with an impedance matching circuit.
10 素子搭載基板 12 キャビティ 14a、14b 表面弾性波フィルタ素子 16 ワイヤ 18 素子搭載基板10のビアを含む導体回路 20 キャップ 22 整合用回路基板 24 インピーダンス整合用回路 26 整合用回路基板22の導体回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Element mounting board 12 Cavities 14a, 14b Surface acoustic wave filter element 16 Wire 18 Conductor circuit including vias of element mounting board 20 Cap 22 Matching circuit board 24 Impedance matching circuit 26 Conductor circuit of matching circuit board 22
Claims (9)
されるパッケージに形成された、前記素子とワイヤ等で
連結される内部接続端子と、外部回路等に接続される外
部接続端子との間に、インピーダンス整合用回路が形成
された素子搭載用パッケージにおいて、 該インピーダンス整合用回路が、前記素子が搭載される
素子搭載基板とは別体に形成された整合用回路基板に形
成され、 且つ前記素子搭載基板と整合用回路基板とが接合され
て、素子搭載基板に設けられた内部接続端子と整合用回
路基板に設けられたインピーダンス整合用回路とが電気
的に接続されていることを特徴とする素子搭載用パッケ
ージ。1. An internal connection terminal formed on a package in which an element such as a surface acoustic wave filter element is mounted and connected to the element by a wire or the like, and an external connection terminal connected to an external circuit or the like. In an element mounting package in which an impedance matching circuit is formed, the impedance matching circuit is formed on a matching circuit board formed separately from an element mounting board on which the element is mounted, and The element mounting board and the matching circuit board are joined, and the internal connection terminals provided on the element mounting board and the impedance matching circuit provided on the matching circuit board are electrically connected. A device mounting package.
ミックによって形成されている請求項1記載の素子搭載
用パッケージ。2. The device mounting package according to claim 1, wherein the device mounting board and the matching circuit board are made of ceramics.
ミックによって形成され、インピーダンス整合用回路
が、焼結タングステン等の焼結金属から成る多孔性導体
中に、前記焼結金属よりも低融点である銅等の金属を含
浸させて形成された導体である請求項1記載の素子搭載
用パッケージ。3. The element mounting board and the matching circuit board are made of ceramic, and the impedance matching circuit has a melting point lower than that of the sintered metal in a porous conductor made of a sintered metal such as sintered tungsten. 2. The device mounting package according to claim 1, which is a conductor formed by impregnating a metal such as copper.
一組成のセラミックによって形成されている請求項1〜
3のいずれか一項記載の素子搭載用パッケージ。4. The element mounting board and the matching circuit board are formed of ceramics having the same composition.
4. The element mounting package according to any one of 3 above.
ルミナ成分を主成分とするセラミックによって形成され
ている請求項1〜4のいずれか一項記載の素子搭載用パ
ッケージ。5. The device mounting package according to claim 1, wherein the device mounting board and the matching circuit board are formed of a ceramic containing an alumina component as a main component.
付けによって接合されている請求項1〜5のいずれか一
項記載の素子搭載用パッケージ。6. The device mounting package according to claim 1, wherein the device mounting board and the matching circuit board are joined by brazing.
搭載基板が接合されている請求項1〜6のいずれか一項
記載の素子搭載用パッケージ。7. The device mounting package according to claim 1, wherein a plurality of device mounting boards are bonded to the upper surface of the matching circuit board.
に挟まれて成るストリップライン構造である請求項1〜
7のいずれか一項記載の素子搭載用パッケージ。8. The impedance matching circuit has a stripline structure sandwiched between ground layers.
7. The element mounting package according to any one of 7.
子との電気的接続が、導電性ペーストが充填されて形成
されたビアを介してなされている請求項1〜7のいずれ
か一項記載の素子搭載用パッケージ。9. The device according to claim 1, wherein the impedance matching circuit and the internal connection terminal are electrically connected to each other through a via formed by being filled with a conductive paste. Mounting package.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP458495A JPH08195645A (en) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | Package for mounting element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP458495A JPH08195645A (en) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | Package for mounting element |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08195645A true JPH08195645A (en) | 1996-07-30 |
Family
ID=11588096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP458495A Pending JPH08195645A (en) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | Package for mounting element |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08195645A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6570469B2 (en) * | 2000-06-27 | 2003-05-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Multilayer ceramic device including two ceramic layers with multilayer circuit patterns that can support semiconductor and saw chips |
US6771003B2 (en) | 2001-03-09 | 2004-08-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Surface acoustic wave apparatus and communication unit |
JP2010118828A (en) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Murata Mfg Co Ltd | Acoustic wave filter apparatus |
US7999632B2 (en) | 2007-02-28 | 2011-08-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Branching filter and method for manufacturing the same |
-
1995
- 1995-01-17 JP JP458495A patent/JPH08195645A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6570469B2 (en) * | 2000-06-27 | 2003-05-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Multilayer ceramic device including two ceramic layers with multilayer circuit patterns that can support semiconductor and saw chips |
US6784765B2 (en) | 2000-06-27 | 2004-08-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Multilayer ceramic device |
US6771003B2 (en) | 2001-03-09 | 2004-08-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Surface acoustic wave apparatus and communication unit |
US7999632B2 (en) | 2007-02-28 | 2011-08-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Branching filter and method for manufacturing the same |
JP2010118828A (en) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Murata Mfg Co Ltd | Acoustic wave filter apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6424233B1 (en) | Complex electronic component with a first multilayer filter having a cavity in which a second filter is mounted | |
KR100463092B1 (en) | Multilayer ceramic device | |
US9351404B2 (en) | Electronic device | |
US5861670A (en) | Semiconductor device package | |
JP3612031B2 (en) | High frequency module | |
JP2001189605A (en) | Ceramic laminated rf device | |
CN109244045B (en) | Miniaturized metal tube shell packaging structure of thick film substrate | |
JP3578366B2 (en) | Hybrid integrated circuit device | |
JP2001127237A (en) | High frequency module | |
US7193862B2 (en) | Ceramic laminated device, communication equipment and method of manufacturing ceramic laminated device | |
JPH08195645A (en) | Package for mounting element | |
JP2003218472A (en) | Module and surface-mounted module | |
US7820490B2 (en) | Method for LTCC circuitry | |
JP3710557B2 (en) | Hybrid integrated circuit device, substrate sheet used for manufacturing the same, and electronic device incorporating the hybrid integrated circuit device | |
JP7299144B2 (en) | Wiring boards, packages and electronic components | |
JP2002016163A (en) | Ceramic package | |
JPH05235689A (en) | High frequency device | |
JP3722796B2 (en) | Semiconductor element storage package and semiconductor device using the same | |
JP3847247B2 (en) | Semiconductor element storage package and semiconductor device using the same | |
JP3780514B2 (en) | Semiconductor element storage package and semiconductor device using the same | |
JP3808423B2 (en) | Semiconductor element storage package and semiconductor device using the same | |
JP3722793B2 (en) | Semiconductor element storage package and semiconductor device using the same | |
JPS6316644A (en) | Manufacture of package for housing semiconductor element | |
JP2810655B2 (en) | Substrates for electronic components | |
JP3847250B2 (en) | Mounting structure of semiconductor device |