JPH0818990A - カラー画像投影装置 - Google Patents
カラー画像投影装置Info
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- JPH0818990A JPH0818990A JP6148878A JP14887894A JPH0818990A JP H0818990 A JPH0818990 A JP H0818990A JP 6148878 A JP6148878 A JP 6148878A JP 14887894 A JP14887894 A JP 14887894A JP H0818990 A JPH0818990 A JP H0818990A
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- JP
- Japan
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- spatial light
- color image
- light modulator
- filter
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 画素毎の駆動に同期させたフィルター交換や
フィルターと画素の位置合わせが必要なく、また、クロ
ストーク光も除去できるカラー画像投影装置を提供す
る。 【構成】 白色の点光源である投影用光源２１と、投影
用光源２１からの光が通過されるコンデンサーレンズ２
２と、コンデンサーレンズ２２による平行光が照射され
る素子面２３を有する空間光変調素子と、空間光変調素
子の画素毎からのＯＮ／ＯＦＦ情報としての反射光をス
クリーン面２５へ投影する投影レンズ２４とを備えたカ
ラー画像投影装置であり、空間光変調素子の画素毎の反
射面には、Ｒ，Ｇ，Ｂの反射分光特性を持つフィルター
が形成されている。
フィルターと画素の位置合わせが必要なく、また、クロ
ストーク光も除去できるカラー画像投影装置を提供す
る。 【構成】 白色の点光源である投影用光源２１と、投影
用光源２１からの光が通過されるコンデンサーレンズ２
２と、コンデンサーレンズ２２による平行光が照射され
る素子面２３を有する空間光変調素子と、空間光変調素
子の画素毎からのＯＮ／ＯＦＦ情報としての反射光をス
クリーン面２５へ投影する投影レンズ２４とを備えたカ
ラー画像投影装置であり、空間光変調素子の画素毎の反
射面には、Ｒ，Ｇ，Ｂの反射分光特性を持つフィルター
が形成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光源と、画素毎に反射
光の向きを切り換える空間光変調素子を用いて画像情報
をスクリーンに投影する画像投影装置に関する。
光の向きを切り換える空間光変調素子を用いて画像情報
をスクリーンに投影する画像投影装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、画素毎に反射光の向きを切り換え
る空間光変調素子としては、「光学」［日本光学会発
行：Vol.20(1991)653］、特開昭６１−１１６３２４号
公報、特開昭６１−１２９６２７号公報、特公平３−７
８６２２号公報、特開昭５８−１０７１４号公報などに
開示されているタイプのものが知られている。
る空間光変調素子としては、「光学」［日本光学会発
行：Vol.20(1991)653］、特開昭６１−１１６３２４号
公報、特開昭６１−１２９６２７号公報、特公平３−７
８６２２号公報、特開昭５８−１０７１４号公報などに
開示されているタイプのものが知られている。
【０００３】この空間光変調素子は概ね、図６および図
７に示すような構成からなる一画素分が、一次元または
二次元に配列されたものである。
７に示すような構成からなる一画素分が、一次元または
二次元に配列されたものである。
【０００４】図６は、従来の、カンチレバータイプの空
間光変調素子の一画素分を示し、（ａ）はその縦断面
図、（ｂ）はその平面図である。図７は、従来の、ねじ
れタイプの空間光変調素子の一画素分を示し、（ａ）は
その縦断面図、（ｂ）はその平面図である。これらの図
において、同一の構成要素には同一の符号を付してあ
る。
間光変調素子の一画素分を示し、（ａ）はその縦断面
図、（ｂ）はその平面図である。図７は、従来の、ねじ
れタイプの空間光変調素子の一画素分を示し、（ａ）は
その縦断面図、（ｂ）はその平面図である。これらの図
において、同一の構成要素には同一の符号を付してあ
る。
【０００５】図６および図７に示される空間光変調素子
は、Ｓｉ基板１０１上に、絶縁層１０２、アドレス電極
１０３、スペーサー１０４、画素に相当するフラップ１
０６を有する反射膜１０５をこの順に形成することによ
り構成されている。図６に示すカンチレバータイプのも
のは、一つの支持部１０７でフラップ１０６を支持した
ものであり、図７に示すねじれタイプのものは、対称な
一対の支持部１０８ａ，１０８ｂでフラップ１０６を支
持したものである。
は、Ｓｉ基板１０１上に、絶縁層１０２、アドレス電極
１０３、スペーサー１０４、画素に相当するフラップ１
０６を有する反射膜１０５をこの順に形成することによ
り構成されている。図６に示すカンチレバータイプのも
のは、一つの支持部１０７でフラップ１０６を支持した
ものであり、図７に示すねじれタイプのものは、対称な
一対の支持部１０８ａ，１０８ｂでフラップ１０６を支
持したものである。
【０００６】Ｓｉ基板１０１内にはＭＯＳトランジスタ
（不図示）が形成されており、このＭＯＳトランジスタ
を用いてアドレス電極１０３に電荷をアドレスすると、
フラップ１０６は、アドレス電極１０３に電荷があるか
否かで面が傾いたり元に戻ったりする。
（不図示）が形成されており、このＭＯＳトランジスタ
を用いてアドレス電極１０３に電荷をアドレスすると、
フラップ１０６は、アドレス電極１０３に電荷があるか
否かで面が傾いたり元に戻ったりする。
【０００７】このため空間光変調素子は、フラップ１０
６の面の傾き具合によって入射光に対する反射光の方向
を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とすることができる。
６の面の傾き具合によって入射光に対する反射光の方向
を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とすることができる。
【０００８】上記のような空間光変調素子を使った応用
例としては、空間光変調素子を光源によって照明し、空
間光変調素子からのＯＮ／ＯＦＦ情報としての反射光
を、投影レンズによってスクリーン面へ投影する投影装
置が知られている。
例としては、空間光変調素子を光源によって照明し、空
間光変調素子からのＯＮ／ＯＦＦ情報としての反射光
を、投影レンズによってスクリーン面へ投影する投影装
置が知られている。
【０００９】この投影装置をカラー対応とする場合に
は、図８、図９に示されるような二つの方法がある。
は、図８、図９に示されるような二つの方法がある。
【００１０】図８は、図６または図７に示した空間光変
調素子を用いたカラー画像投影装置の一例であり、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３種類のカラーフィルターを備えたカラー画像
投影装置を示す概略構成図である。
調素子を用いたカラー画像投影装置の一例であり、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３種類のカラーフィルターを備えたカラー画像
投影装置を示す概略構成図である。
【００１１】図８に示されるカラー画像投影装置は、点
光源の撮影用光源１２１から凸レンズであるコンデンサ
ーレンズ１２２を通して空間光変調素子の素子面１２３
が照明される平行光路中に、フィルター（Ｒ）１２６
ａ、フィルター（Ｇ）１２６ｂ、フィルター（Ｂ）１２
６ｃを交換可能に配置し、フィルター１２６ａ〜１２６
ｃを高速度で順次交換すると共に、フィルター交換に同
期させた時分割の信号で空間光変調器の素子（フラッ
プ）を駆動することにより、空間光変調素子の素子面１
２３によるカラー画像情報を投影レンズ１２４を通して
スクリーン面１２５に投影している。
光源の撮影用光源１２１から凸レンズであるコンデンサ
ーレンズ１２２を通して空間光変調素子の素子面１２３
が照明される平行光路中に、フィルター（Ｒ）１２６
ａ、フィルター（Ｇ）１２６ｂ、フィルター（Ｂ）１２
６ｃを交換可能に配置し、フィルター１２６ａ〜１２６
ｃを高速度で順次交換すると共に、フィルター交換に同
期させた時分割の信号で空間光変調器の素子（フラッ
プ）を駆動することにより、空間光変調素子の素子面１
２３によるカラー画像情報を投影レンズ１２４を通して
スクリーン面１２５に投影している。
【００１２】図９は、図６または図７に示した空間光変
調素子を用いたカラー画像投影装置の他の例であり、
（ａ）は空間光変調素子の前にフィルターを備えたカラ
ー画像投影装置を示す概略構成図、（ｂ）は（ａ）に示
すフィルターの構成図である。この図において、図８に
示したものと同一の構成要素には同一の符号を付してあ
る。
調素子を用いたカラー画像投影装置の他の例であり、
（ａ）は空間光変調素子の前にフィルターを備えたカラ
ー画像投影装置を示す概略構成図、（ｂ）は（ａ）に示
すフィルターの構成図である。この図において、図８に
示したものと同一の構成要素には同一の符号を付してあ
る。
【００１３】図９に示されるカラー画像投影装置は、空
間光変調素子の素子面１２３の前に、各画素毎にＲ，
Ｇ，Ｂが配列されたフィルター１２７を配置することに
より、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラー画像情報を空間分割の信号と
して取り出している。
間光変調素子の素子面１２３の前に、各画素毎にＲ，
Ｇ，Ｂが配列されたフィルター１２７を配置することに
より、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラー画像情報を空間分割の信号と
して取り出している。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８に
示したカラー画像投影装置では、３種類のフィルター
（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の交換タイミングと、空間光変調素子の
各画素のＯＮ／ＯＦＦタイミングとの同期が、空間光変
調素子の応答性との絡みで繁雑であると共に、ＲＧＢの
信号の組を取り出すのに図９に示したカラー画像投影装
置の３倍の時間がかかるという問題点がある。
示したカラー画像投影装置では、３種類のフィルター
（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の交換タイミングと、空間光変調素子の
各画素のＯＮ／ＯＦＦタイミングとの同期が、空間光変
調素子の応答性との絡みで繁雑であると共に、ＲＧＢの
信号の組を取り出すのに図９に示したカラー画像投影装
置の３倍の時間がかかるという問題点がある。
【００１５】一方、図９に示したカラー画像投影装置で
は、空間光変調素子の画素毎にフィルターのＲＧＢを位
置合わせすることが大変であるという問題点がある。ま
た、空間光変調素子の素子面に対して斜め上方からの入
射光を使う場合、素子面とフィルターが完全密着してい
ない為に、隣りのフィルターを通過したクロストーク光
が飛び込んでノイズを生じさせるので、投影されたカラ
ー画像の解像力が低下するという問題点が生じる。
は、空間光変調素子の画素毎にフィルターのＲＧＢを位
置合わせすることが大変であるという問題点がある。ま
た、空間光変調素子の素子面に対して斜め上方からの入
射光を使う場合、素子面とフィルターが完全密着してい
ない為に、隣りのフィルターを通過したクロストーク光
が飛び込んでノイズを生じさせるので、投影されたカラ
ー画像の解像力が低下するという問題点が生じる。
【００１６】そこで本発明は、各画素に相当するフラッ
プ（反射板）をクーロン力で傾かせることより反射光の
方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とする前述の空間光
変調素子において、画素毎のフラップの反射面を着色し
て、素子面上にＲ，Ｇ，Ｂなどの反射分光特性を持つフ
ィルターをモノリシックに持たせたことにより、画素毎
の駆動に同期させたフィルター交換やフィルターと画素
の位置合わせが必要なく、また、クロストーク光も除去
できるカラー画像投影装置を提供することを目的とす
る。
プ（反射板）をクーロン力で傾かせることより反射光の
方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とする前述の空間光
変調素子において、画素毎のフラップの反射面を着色し
て、素子面上にＲ，Ｇ，Ｂなどの反射分光特性を持つフ
ィルターをモノリシックに持たせたことにより、画素毎
の駆動に同期させたフィルター交換やフィルターと画素
の位置合わせが必要なく、また、クロストーク光も除去
できるカラー画像投影装置を提供することを目的とす
る。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、白色光源と、画素毎の反射面を個別にクー
ロン力で傾かせることによって該光源からの光の反射光
の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とする空間光変調
素子と、該空間光変調素子による画素毎のＯＮ／ＯＦＦ
情報をスクリーンに投影する投影レンズを含むカラー画
像投影装置において、前記空間光変調素子の画素毎の反
射面に、Ｒ、Ｇ、Ｂの反射分光特性を持つフィルターが
一体的に設けられたことを特徴とする。
に本発明は、白色光源と、画素毎の反射面を個別にクー
ロン力で傾かせることによって該光源からの光の反射光
の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とする空間光変調
素子と、該空間光変調素子による画素毎のＯＮ／ＯＦＦ
情報をスクリーンに投影する投影レンズを含むカラー画
像投影装置において、前記空間光変調素子の画素毎の反
射面に、Ｒ、Ｇ、Ｂの反射分光特性を持つフィルターが
一体的に設けられたことを特徴とする。
【００１８】そして、前記空間光変調素子は、カンチレ
バータイプやねじれタイプであることを特徴とする。
バータイプやねじれタイプであることを特徴とする。
【００１９】
【作用】上記のとおりに構成された本発明では、白色光
源からの光を空間光変調素子の素子面に照射し、空間光
変調素子の画素毎の、Ｒ，Ｇ，Ｂの反射分光特性を持つ
フィルターが一体的に設けられた反射面を個別にクーロ
ン力で傾け、反射面による反射光の方向を切り換えるこ
とにより、カラー画像を形成するためのＯＮ／ＯＦＦ情
報が得られる。そして、空間光変調素子によるＯＮ／Ｏ
ＦＦ情報で形成されるカラー画像は、投影レンズを通し
てスクリーンに投影される。
源からの光を空間光変調素子の素子面に照射し、空間光
変調素子の画素毎の、Ｒ，Ｇ，Ｂの反射分光特性を持つ
フィルターが一体的に設けられた反射面を個別にクーロ
ン力で傾け、反射面による反射光の方向を切り換えるこ
とにより、カラー画像を形成するためのＯＮ／ＯＦＦ情
報が得られる。そして、空間光変調素子によるＯＮ／Ｏ
ＦＦ情報で形成されるカラー画像は、投影レンズを通し
てスクリーンに投影される。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００２１】図１は、本発明のカラー画像投影装置の一
実施例を示す構成図である。
実施例を示す構成図である。
【００２２】本実施例のカラー画像投影装置は、図１に
示すように、白色の点光源である投影用光源２１と、投
影用光源２１からの光が通過されるコンデンサーレンズ
２２と、コンデンサーレンズ２２による平行光が照射さ
れる素子面２３を有する空間光変調素子と、空間光変調
素子の画素毎のＯＮ／ＯＦＦ情報としての反射光をスク
リーン面２５へ投影する投影レンズ２４とを備えてい
る。
示すように、白色の点光源である投影用光源２１と、投
影用光源２１からの光が通過されるコンデンサーレンズ
２２と、コンデンサーレンズ２２による平行光が照射さ
れる素子面２３を有する空間光変調素子と、空間光変調
素子の画素毎のＯＮ／ＯＦＦ情報としての反射光をスク
リーン面２５へ投影する投影レンズ２４とを備えてい
る。
【００２３】空間光変調素子は、クーロン力によって可
動する反射面であるフラップが多数配列されたものであ
り、各フラップが一画素分に相当している。そして、空
間光変調素子の画素毎の反射面は、蒸着、ＣＶＤなどの
手段で着色されて、フィルターの役割をも兼ねる。
動する反射面であるフラップが多数配列されたものであ
り、各フラップが一画素分に相当している。そして、空
間光変調素子の画素毎の反射面は、蒸着、ＣＶＤなどの
手段で着色されて、フィルターの役割をも兼ねる。
【００２４】ここで、本実施例に備わる空間光変調素子
の一画素分の構成を説明する。
の一画素分の構成を説明する。
【００２５】図２は、図１に示したカラー画像投影装置
に適用可能なカンチレバータイプの空間光変調素子の一
画素分を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はその平
面図である。
に適用可能なカンチレバータイプの空間光変調素子の一
画素分を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はその平
面図である。
【００２６】図２に示される空間光変調素子は、Ｓｉ基
板１上に、絶縁層２、アドレス電極３、スペーサー４、
および一つの支持部７で支持されたフラップ６を有する
反射膜５をこの順で形成し、さらに、フラップ６上に
Ｒ，Ｇ，Ｂなどの反射分光特性を持つフィルター膜１１
を形成することにより構成されている。
板１上に、絶縁層２、アドレス電極３、スペーサー４、
および一つの支持部７で支持されたフラップ６を有する
反射膜５をこの順で形成し、さらに、フラップ６上に
Ｒ，Ｇ，Ｂなどの反射分光特性を持つフィルター膜１１
を形成することにより構成されている。
【００２７】このようなカンチレバータイプのもので
は、アドレス電極３に電荷をアドレスすると、片持ち支
持のフラップ６は、アドレス電極３に電荷があるか否か
で支持部７より撓み、面が傾いたり元に戻ったりする。
このため、フラップ６の面の傾き具合によって入射光に
対する反射光の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とす
ることができる。そして、フラップ６からの反射光は、
そのフラップ６のフィルター膜１１の色となる。
は、アドレス電極３に電荷をアドレスすると、片持ち支
持のフラップ６は、アドレス電極３に電荷があるか否か
で支持部７より撓み、面が傾いたり元に戻ったりする。
このため、フラップ６の面の傾き具合によって入射光に
対する反射光の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とす
ることができる。そして、フラップ６からの反射光は、
そのフラップ６のフィルター膜１１の色となる。
【００２８】図３は、図１に示したカラー画像投影装置
に適用可能なねじれタイプの空間光変調素子を示し、
（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はその平面図である。こ
の図において、図２に示したものと同一の構成要素につ
いては同一の符号を付し、その説明は省略する。
に適用可能なねじれタイプの空間光変調素子を示し、
（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はその平面図である。こ
の図において、図２に示したものと同一の構成要素につ
いては同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００２９】図３に示される空間光変調素子では、反射
膜５にてフラップ６が対称な二つの支持部８ａ，８ｂで
支持されており、フラップ６上には、Ｒ，Ｇ，Ｂなどの
反射分光特性を持つフィルター膜１１が形成されてい
る。
膜５にてフラップ６が対称な二つの支持部８ａ，８ｂで
支持されており、フラップ６上には、Ｒ，Ｇ，Ｂなどの
反射分光特性を持つフィルター膜１１が形成されてい
る。
【００３０】このようなねじれタイプのものでは、アド
レス電極３に電荷をアドレスすると、両持ち支持のフラ
ップ６は、アドレス電極１０３に電荷があるか否かで支
持部８ａ，８ｂよりねじれて、面が傾いたり元に戻った
りする。このため、フラップ６の面の傾き具合によって
入射光に対する反射光の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ
情報とすることができる。そして、フラップ６からの反
射光は、そのフラップ６のフィルター膜１１の色とな
る。
レス電極３に電荷をアドレスすると、両持ち支持のフラ
ップ６は、アドレス電極１０３に電荷があるか否かで支
持部８ａ，８ｂよりねじれて、面が傾いたり元に戻った
りする。このため、フラップ６の面の傾き具合によって
入射光に対する反射光の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ
情報とすることができる。そして、フラップ６からの反
射光は、そのフラップ６のフィルター膜１１の色とな
る。
【００３１】上記のように図２および図３に示した、
Ｒ，Ｇ，Ｂのフィルター膜を画素毎に備えたモノシリッ
クな空間光変調素子は、画素毎の反射面にフィルターが
密着しているので、画素毎にフィルターの位置合わせを
必要とせず、さらには、隣りのフィルターを通過したク
ロストーク光も除去できる。
Ｒ，Ｇ，Ｂのフィルター膜を画素毎に備えたモノシリッ
クな空間光変調素子は、画素毎の反射面にフィルターが
密着しているので、画素毎にフィルターの位置合わせを
必要とせず、さらには、隣りのフィルターを通過したク
ロストーク光も除去できる。
【００３２】図４は、上述した、Ｒ，Ｇ，Ｂのフィルタ
ー膜の配列の一例を示している。
ー膜の配列の一例を示している。
【００３３】上記のいずれのタイプにおいてもＲ，Ｇ，
Ｂの反射分光特性を持つフィルターの配列は、図４に示
すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの３画素を使ってカラー情報を表
現できるようになっている。
Ｂの反射分光特性を持つフィルターの配列は、図４に示
すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの３画素を使ってカラー情報を表
現できるようになっている。
【００３４】図５は、上述した、Ｒ，Ｇ，Ｂのフィルタ
ーの配列の他の例を示している。
ーの配列の他の例を示している。
【００３５】図５においては、上述した各タイプにおけ
る画素に相当するフラップの配列を一行おきに互いに半
画素分だけずらした、いわゆるデルタ配列を用いた。
る画素に相当するフラップの配列を一行おきに互いに半
画素分だけずらした、いわゆるデルタ配列を用いた。
【００３６】このようにすることにより、図４に示した
正方配列と比べて、Ｒ，Ｇ，Ｂ等３種の分光反射率の分
布が斜め４５°方向に同一のものが隣り合わないように
なるので、画像投影時に色モアレが目立ちにくいものと
なる。
正方配列と比べて、Ｒ，Ｇ，Ｂ等３種の分光反射率の分
布が斜め４５°方向に同一のものが隣り合わないように
なるので、画像投影時に色モアレが目立ちにくいものと
なる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、白色光源
と、画素毎の反射面を個別にクーロン力で傾かせること
によって該光源からの光の反射光の方向を切り換えてＯ
Ｎ／ＯＦＦ情報とする空間光変調素子と、該空間光変調
素子による画素毎のＯＮ／ＯＦＦ情報をスクリーンに投
影する投影レンズを含むカラー画像投影装置において、
空間光変調素子の画素毎の反射面に、Ｒ、Ｇ、Ｂの反射
分光特性を持つフィルターを一体的に設けたことによ
り、画素毎の駆動に同期させたフィルター交換やフィル
ターと画素の位置合わせが必要ない。また、クロストー
ク光も除去できるので、カラー画像の解像力が向上す
る。
と、画素毎の反射面を個別にクーロン力で傾かせること
によって該光源からの光の反射光の方向を切り換えてＯ
Ｎ／ＯＦＦ情報とする空間光変調素子と、該空間光変調
素子による画素毎のＯＮ／ＯＦＦ情報をスクリーンに投
影する投影レンズを含むカラー画像投影装置において、
空間光変調素子の画素毎の反射面に、Ｒ、Ｇ、Ｂの反射
分光特性を持つフィルターを一体的に設けたことによ
り、画素毎の駆動に同期させたフィルター交換やフィル
ターと画素の位置合わせが必要ない。また、クロストー
ク光も除去できるので、カラー画像の解像力が向上す
る。
【図１】本発明のカラー画像投影装置の一実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】図１に示したカラー画像投影装置に適用可能な
カンチレバータイプの空間光変調素子を示し、（ａ）は
その縦断面図、（ｂ）はその平面図である。
カンチレバータイプの空間光変調素子を示し、（ａ）は
その縦断面図、（ｂ）はその平面図である。
【図３】図１に示したカラー画像投影装置に適用可能な
ねじれタイプの空間光変調素子を示し、（ａ）はその縦
断面図、（ｂ）はその平面図である。
ねじれタイプの空間光変調素子を示し、（ａ）はその縦
断面図、（ｂ）はその平面図である。
【図４】本発明の一実施例に備わる空間光変調素子のＲ
ＧＢフィルタ膜の配列の一例を示す図である。
ＧＢフィルタ膜の配列の一例を示す図である。
【図５】本発明の一実施例に備わる空間光変調素子のＲ
ＧＢフィルタ膜の配列の他の例を示す図である。
ＧＢフィルタ膜の配列の他の例を示す図である。
【図６】従来の、カンチレバータイプの空間光変調素子
の一画素分を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はそ
の平面図である。
の一画素分を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はそ
の平面図である。
【図７】従来の、ねじれタイプの空間光変調素子の一画
素分を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はその平面
図である。
素分を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はその平面
図である。
【図８】図６または図７に示した空間光変調素子を用い
たカラー画像投影装置の一例であり、Ｒ，Ｇ，Ｂの３種
類のカラーフィルターを備えたカラー画像投影装置を示
す概略構成図である。
たカラー画像投影装置の一例であり、Ｒ，Ｇ，Ｂの３種
類のカラーフィルターを備えたカラー画像投影装置を示
す概略構成図である。
【図９】図６または図７に示した空間光変調素子を用い
たカラー画像投影装置の他の例であり、（ａ）は空間光
変調素子の前にフィルターを備えたカラー画像投影装置
を示す概略構成図、（ｂ）は（ａ）に示すフィルターの
構成図である。
たカラー画像投影装置の他の例であり、（ａ）は空間光
変調素子の前にフィルターを備えたカラー画像投影装置
を示す概略構成図、（ｂ）は（ａ）に示すフィルターの
構成図である。
１ Ｓｉ基板 ２ 絶縁層 ３ アドレス電極 ４ スペーサー ５ 反射膜 ６ フラップ ７，８ａ，８ｂ 支持部 １１ フィルター膜 ２１ 投影用光源 ２２ コンデンサーレンズ ２３ 空間光変調素子の素子面 ２４ 投影レンズ ２５ スクリーン面
Claims (3)
- 【請求項１】 白色光源と、画素毎の反射面を個別にク
ーロン力で傾かせることによって該光源からの光の反射
光の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とする空間光変
調素子と、該空間光変調素子による画素毎のＯＮ／ＯＦ
Ｆ情報をスクリーンに投影する投影レンズを含むカラー
画像投影装置において、 前記空間光変調素子の画素毎の反射面に、Ｒ、Ｇ、Ｂの
反射分光特性を持つフィルターが一体的に設けられたこ
とを特徴とするカラー画像投影装置。 - 【請求項２】 前記空間光変調素子は、カンチレバータ
イプであることを特徴とする、請求項１に記載のカラー
画像投影装置。 - 【請求項３】 前記空間光変調素子は、ねじれタイプで
あることを特徴とする、請求項１に記載のカラー画像投
影装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148878A JPH0818990A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | カラー画像投影装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148878A JPH0818990A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | カラー画像投影装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0818990A true JPH0818990A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15462746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6148878A Pending JPH0818990A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | カラー画像投影装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818990A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100832623B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2008-05-27 | 삼성전기주식회사 | 단판식 회절형 광변조기를 이용한 디스플레이 장치 |
| KR100832620B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2008-05-27 | 삼성전기주식회사 | 단판식 회절형 광변조기를 이용한 디스플레이 장치 |
| US7848001B2 (en) | 1994-05-05 | 2010-12-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for interferometric modulation in projection or peripheral devices |
| US8437070B2 (en) | 2004-09-27 | 2013-05-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric modulator with dielectric layer |
| US8848294B2 (en) | 2010-05-20 | 2014-09-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and structure capable of changing color saturation |
| CN109309800A (zh) * | 2017-07-28 | 2019-02-05 | 爱思开海力士有限公司 | 具有相位差检测像素的图像传感器 |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP6148878A patent/JPH0818990A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7848001B2 (en) | 1994-05-05 | 2010-12-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for interferometric modulation in projection or peripheral devices |
| US8437070B2 (en) | 2004-09-27 | 2013-05-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric modulator with dielectric layer |
| KR100832623B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2008-05-27 | 삼성전기주식회사 | 단판식 회절형 광변조기를 이용한 디스플레이 장치 |
| KR100832620B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2008-05-27 | 삼성전기주식회사 | 단판식 회절형 광변조기를 이용한 디스플레이 장치 |
| US8848294B2 (en) | 2010-05-20 | 2014-09-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and structure capable of changing color saturation |
| CN109309800A (zh) * | 2017-07-28 | 2019-02-05 | 爱思开海力士有限公司 | 具有相位差检测像素的图像传感器 |
| US10930687B2 (en) | 2017-07-28 | 2021-02-23 | SK Hynix Inc. | Image sensor having phase difference detection pixel |
| CN109309800B (zh) * | 2017-07-28 | 2021-04-09 | 爱思开海力士有限公司 | 具有相位差检测像素的图像传感器 |
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