JPH08179202A - 紫外線結像光学システム - Google Patents
紫外線結像光学システムInfo
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- JPH08179202A JPH08179202A JP6321033A JP32103394A JPH08179202A JP H08179202 A JPH08179202 A JP H08179202A JP 6321033 A JP6321033 A JP 6321033A JP 32103394 A JP32103394 A JP 32103394A JP H08179202 A JPH08179202 A JP H08179202A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70241—Optical aspects of refractive lens systems, i.e. comprising only refractive elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/14—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use with infrared or ultraviolet radiation
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Lenses (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 組立調整時及び使用時にレンズ性能を容易に
評価することができる紫外線結像光学システムを得るこ
と。 【構成】 紫外線光源からの光束を平行光束化するコリ
メートレンズと；このコリメートレンズからの平行光束
を結像する結像レンズと；コリメートレンズからの射出
平行光束と、結像レンズを透過して反射体で反射して再
び結像レンズを透過した反射光との少なくとも一方を外
部観察系へ導く、コリメートレンズから結像レンズに至
る平行光束中に配設された光分岐系と；を備えた紫外線
結像光学システム。
評価することができる紫外線結像光学システムを得るこ
と。 【構成】 紫外線光源からの光束を平行光束化するコリ
メートレンズと；このコリメートレンズからの平行光束
を結像する結像レンズと；コリメートレンズからの射出
平行光束と、結像レンズを透過して反射体で反射して再
び結像レンズを透過した反射光との少なくとも一方を外
部観察系へ導く、コリメートレンズから結像レンズに至
る平行光束中に配設された光分岐系と；を備えた紫外線
結像光学システム。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、紫外線を光源として微細パター
ンをウエハ上に縮小投影する紫外線結像光学システムに
関する。
ンをウエハ上に縮小投影する紫外線結像光学システムに
関する。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】ＩＣ、ＬＳＩ等の集積回
路の微細パターンを半導体基板上に縮小投影する投影装
置では、集積回路の一層の高密度化の要求から、使用光
の短波長化が進み、エキシマレーザのような紫外線（紫
外域光）が使用されつつある。この紫外線結像光学シス
テムは、使用できるガラス材料が事実上、紫外域での透
過率に優れている石英（ＳｉＯ2 ）と蛍石（ＣａＦ2 ）
に限られること、これらの精密加工が必要であること、
収差補正が困難であること、等の問題点の他に、組立調
整時のレンズ系の評価、及び使用状態におけるレンズ系
の評価が困難という問題がある。すなわち、紫外線を用
いた投影光学系は、回折限界の像形成を目的としている
ため、光学系に残存する収差量を波長に比例して小さく
する必要があり、このため、可視光用のレンズに比べ、
レンズ製造時の面精度等の加工精度を高めるとともに高
精度に調整する必要がある。特に高精度の調整が可能で
あれば、加工精度をそれほど高める必要がなくなるの
で、加工がしやすい。
路の微細パターンを半導体基板上に縮小投影する投影装
置では、集積回路の一層の高密度化の要求から、使用光
の短波長化が進み、エキシマレーザのような紫外線（紫
外域光）が使用されつつある。この紫外線結像光学シス
テムは、使用できるガラス材料が事実上、紫外域での透
過率に優れている石英（ＳｉＯ2 ）と蛍石（ＣａＦ2 ）
に限られること、これらの精密加工が必要であること、
収差補正が困難であること、等の問題点の他に、組立調
整時のレンズ系の評価、及び使用状態におけるレンズ系
の評価が困難という問題がある。すなわち、紫外線を用
いた投影光学系は、回折限界の像形成を目的としている
ため、光学系に残存する収差量を波長に比例して小さく
する必要があり、このため、可視光用のレンズに比べ、
レンズ製造時の面精度等の加工精度を高めるとともに高
精度に調整する必要がある。特に高精度の調整が可能で
あれば、加工精度をそれほど高める必要がなくなるの
で、加工がしやすい。
【０００３】
【発明の目的】本発明は、組立調整時及び使用時にレン
ズ性能を容易に評価することができる紫外線結像光学シ
ステムを得ることを目的とする。
ズ性能を容易に評価することができる紫外線結像光学シ
ステムを得ることを目的とする。
【０００４】
【発明の概要】本発明の紫外線結像光学システムは、紫
外線光源からの光束を平行光束化するコリメートレンズ
と；このコリメートレンズからの平行光束を結像する結
像レンズと；コリメートレンズからの射出平行光束と、
結像レンズを透過して反射体で反射して再び結像レンズ
を透過した反射光との少なくとも一方を外部観察系へ導
く、コリメートレンズから結像レンズに至る平行光束中
に配設された光分岐系と；を備えたことを特徴としてい
る。フォーカシングは、結像レンズのみを移動させて行
なうことができる。
外線光源からの光束を平行光束化するコリメートレンズ
と；このコリメートレンズからの平行光束を結像する結
像レンズと；コリメートレンズからの射出平行光束と、
結像レンズを透過して反射体で反射して再び結像レンズ
を透過した反射光との少なくとも一方を外部観察系へ導
く、コリメートレンズから結像レンズに至る平行光束中
に配設された光分岐系と；を備えたことを特徴としてい
る。フォーカシングは、結像レンズのみを移動させて行
なうことができる。
【０００５】光分岐系には、コリメートレンズからの射
出平行光束と、結像レンズを透過して反射体で反射した
光を干渉させて干渉縞を作る干渉計を配設し、結像レン
ズの収差状態を観察しながら、組立調整を行なうことが
できる。
出平行光束と、結像レンズを透過して反射体で反射した
光を干渉させて干渉縞を作る干渉計を配設し、結像レン
ズの収差状態を観察しながら、組立調整を行なうことが
できる。
【０００６】この光分岐系は、例えば、一方の面に半透
過膜を付し、他方の面に反射防止膜を付した略平行平面
板を作り、この略平行平面板をコリメートレンズから結
像レンズに至る平行光束中に光軸に対して斜めに配設し
て構成することができる。この略平行平面板を挿入した
場合、コリメートレンズの光軸と結像レンズの光軸は、
この略平行平面板による光軸のシフト量に対応させた量
だけ平行にシフトさせることが好ましい。この略平行平
面板は、その表裏面が完全に平行ではない微小角度の楔
状とすることが好ましい。
過膜を付し、他方の面に反射防止膜を付した略平行平面
板を作り、この略平行平面板をコリメートレンズから結
像レンズに至る平行光束中に光軸に対して斜めに配設し
て構成することができる。この略平行平面板を挿入した
場合、コリメートレンズの光軸と結像レンズの光軸は、
この略平行平面板による光軸のシフト量に対応させた量
だけ平行にシフトさせることが好ましい。この略平行平
面板は、その表裏面が完全に平行ではない微小角度の楔
状とすることが好ましい。
【０００７】結像レンズによる焦点調節は、該結像レン
ズを透過して反射体で反射した反射光を光分岐系により
分岐させ、この反射光の情報によって得られる該結像レ
ンズの像点位置情報から、該結像レンズを反射体に対し
て光軸方向に相対的に動かして行なうことができる。
ズを透過して反射体で反射した反射光を光分岐系により
分岐させ、この反射光の情報によって得られる該結像レ
ンズの像点位置情報から、該結像レンズを反射体に対し
て光軸方向に相対的に動かして行なうことができる。
【０００８】光分岐系には、コリメートレンズからの射
出平行光束と反射体からの反射光とを集光する集光レン
ズと、この集光レンズの後側焦点近傍に配置した空間フ
ィルタとをさらに有することが好ましい。光分岐系はま
た、コリメートレンズからの射出平行光束と、反射体か
らの反射光とのいずれか一方の進行方向を変化させるた
めの回転可能に保持された反射部材を有することが好ま
しい。
出平行光束と反射体からの反射光とを集光する集光レン
ズと、この集光レンズの後側焦点近傍に配置した空間フ
ィルタとをさらに有することが好ましい。光分岐系はま
た、コリメートレンズからの射出平行光束と、反射体か
らの反射光とのいずれか一方の進行方向を変化させるた
めの回転可能に保持された反射部材を有することが好ま
しい。
【０００９】光分岐系に配置した干渉計を用いて結像レ
ンズの性能を測定するため、結像レンズの焦点面には、
感光材料と、該焦点面内に位置する反射面または該焦点
面内に曲率中心を位置させる球面状反射面とを交換して
配置可能とし、一方、コリメートレンズの前側焦点位置
には、縮小露光用パターンと、ピンホール板とを交換し
て配置可能とすることが好ましい。そしてこの球面状反
射面は、その曲率中心を焦点面内に保持したまま移動可
能とする。
ンズの性能を測定するため、結像レンズの焦点面には、
感光材料と、該焦点面内に位置する反射面または該焦点
面内に曲率中心を位置させる球面状反射面とを交換して
配置可能とし、一方、コリメートレンズの前側焦点位置
には、縮小露光用パターンと、ピンホール板とを交換し
て配置可能とすることが好ましい。そしてこの球面状反
射面は、その曲率中心を焦点面内に保持したまま移動可
能とする。
【００１０】本発明のシステムはさらに、集光レンズの
焦点を、ビデオカメラの撮像面と共役にする調整用観測
レンズを備えることが好ましい。
焦点を、ビデオカメラの撮像面と共役にする調整用観測
レンズを備えることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施例】以下図示実施例について本発明を説明
する。図１は、本発明による紫外線結像光学システムの
全体模式図である。本発明の紫外線結像光学システム
は、コリメートレンズ１１と結像レンズ１２の２つのレ
ンズを備えている。コリメートレンズ１１は、レチクル
（縮小露光用チャート）１３上の一点からの発散光を平
行光束とするもので、一方、結像レンズ１２は、この平
行光束を受けて、ウエハ（感光材料）１４上にレチクル
１３の像を縮小投影する。コリメートレンズ１１と結像
レンズ１２の間は平行光束であり、このように２つのレ
ンズを光束が平行になっている部分で分離すると、結像
レンズ１２だけを移動させてフォーカシングを行なって
も、倍率が変化しない。ステッパの用途では、レンズの
フォーカシングやウエハ１４の微細な段差（露光面の意
図しない位置ズレ）により倍率が変化しない結像倍率の
安定性がきわめて重要な要素である。本発明では、平行
光束を作り出すコリメートレンズ１１だけでなく、平行
光束が入射する結像レンズ１２も無限補正（物体距離が
無限遠であるときの平行光束入射時に最も良好な性能が
得られるにように収差を補正すること）されているか
ら、結像レンズ１２が移動しても、収差変化も起こらな
い。よって、フォーカシングは結像レンズ１２だけの移
動で行なうことができ、レンズ全体を移動させてフォー
カシングを行なう従来例に比して、フォーカシング機構
の簡略化ができる。結像レンズ１２の移動は、勿論、ウ
エハ１４に対して相対的に生じればよいから、ウエハ１
４を移動させてもよいが、ウエハ１４は、繰り返し露光
のため光軸と直交する方向の移動機構を要するから、さ
らに光軸方向の移動機構を付設すると移動機構が大型化
する。このため結像レンズ１２側に光軸Ｏ方向の移動調
整機構を設けることが好ましい。また、露光面の微細な
段差（露光面の意図しない位置ズレ）に対しては、両側
テレセントリックになるように、両レンズの焦点位置を
定め、絞位置を定めることにより、結像倍率が変化しな
い。
する。図１は、本発明による紫外線結像光学システムの
全体模式図である。本発明の紫外線結像光学システム
は、コリメートレンズ１１と結像レンズ１２の２つのレ
ンズを備えている。コリメートレンズ１１は、レチクル
（縮小露光用チャート）１３上の一点からの発散光を平
行光束とするもので、一方、結像レンズ１２は、この平
行光束を受けて、ウエハ（感光材料）１４上にレチクル
１３の像を縮小投影する。コリメートレンズ１１と結像
レンズ１２の間は平行光束であり、このように２つのレ
ンズを光束が平行になっている部分で分離すると、結像
レンズ１２だけを移動させてフォーカシングを行なって
も、倍率が変化しない。ステッパの用途では、レンズの
フォーカシングやウエハ１４の微細な段差（露光面の意
図しない位置ズレ）により倍率が変化しない結像倍率の
安定性がきわめて重要な要素である。本発明では、平行
光束を作り出すコリメートレンズ１１だけでなく、平行
光束が入射する結像レンズ１２も無限補正（物体距離が
無限遠であるときの平行光束入射時に最も良好な性能が
得られるにように収差を補正すること）されているか
ら、結像レンズ１２が移動しても、収差変化も起こらな
い。よって、フォーカシングは結像レンズ１２だけの移
動で行なうことができ、レンズ全体を移動させてフォー
カシングを行なう従来例に比して、フォーカシング機構
の簡略化ができる。結像レンズ１２の移動は、勿論、ウ
エハ１４に対して相対的に生じればよいから、ウエハ１
４を移動させてもよいが、ウエハ１４は、繰り返し露光
のため光軸と直交する方向の移動機構を要するから、さ
らに光軸方向の移動機構を付設すると移動機構が大型化
する。このため結像レンズ１２側に光軸Ｏ方向の移動調
整機構を設けることが好ましい。また、露光面の微細な
段差（露光面の意図しない位置ズレ）に対しては、両側
テレセントリックになるように、両レンズの焦点位置を
定め、絞位置を定めることにより、結像倍率が変化しな
い。
【００１２】また本発明の対象とする紫外線結像光学シ
ステムは、縮小倍率を持っている。従って、紫外線光源
からの光束を平行光束化するコリメートレンズ１１は、
比較的小さいＮＡで広いイメージサークルを持ち、一
方、結像レンズ１２は、画角はコリメートレンズ１１と
同じであるが、比較的大きいＮＡでコリメートレンズ１
１より狭いイメージサークルを持つこととなる。このよ
うにすると、コリメートレンズ１１と結像レンズ１２は
それぞれ、平行光束を入射させる干渉計を用いて、残存
波面収差を容易にかつ高精度に測定することができる。
一般的に、平行光束に対して収差補正されていないレン
ズの性能評価は、その装置専用の干渉計を新たに用意す
る必要があるが、平行光束に対して収差補正されている
レンズは、汎用の干渉計で性能測定ができる。本発明
は、ともに平行光束入射（出射）のコリメートレンズ１
１と結像レンズ１２の間に光分岐系を持っているので、
この光分岐系に汎用の干渉計を配置して性能測定がで
き、その性能測定の結果に基づいて、収差補正、偏心調
整等のレンズの調整を行なうことができる。つまり、本
発明の紫外線結像光学システムは、汎用の干渉計を用い
てその性能を容易に確認しながら、調整、使用ができ
る。なお、コリメートレンズ１１は、比較的小さいＮＡ
で広いイメージサークルを持ち、一方、結像レンズ１２
は、比較的大きいＮＡで狭いイメージサークルを持って
いる。一般に、高ＮＡの結像レンズ１２の方が収差が変
化する可能性が高く、その状態を確認しながら組立調整
を行なうことがこのましい。そこで、本発明は、結像レ
ンズ１２の収差の測定を直接の目的としている。
ステムは、縮小倍率を持っている。従って、紫外線光源
からの光束を平行光束化するコリメートレンズ１１は、
比較的小さいＮＡで広いイメージサークルを持ち、一
方、結像レンズ１２は、画角はコリメートレンズ１１と
同じであるが、比較的大きいＮＡでコリメートレンズ１
１より狭いイメージサークルを持つこととなる。このよ
うにすると、コリメートレンズ１１と結像レンズ１２は
それぞれ、平行光束を入射させる干渉計を用いて、残存
波面収差を容易にかつ高精度に測定することができる。
一般的に、平行光束に対して収差補正されていないレン
ズの性能評価は、その装置専用の干渉計を新たに用意す
る必要があるが、平行光束に対して収差補正されている
レンズは、汎用の干渉計で性能測定ができる。本発明
は、ともに平行光束入射（出射）のコリメートレンズ１
１と結像レンズ１２の間に光分岐系を持っているので、
この光分岐系に汎用の干渉計を配置して性能測定がで
き、その性能測定の結果に基づいて、収差補正、偏心調
整等のレンズの調整を行なうことができる。つまり、本
発明の紫外線結像光学システムは、汎用の干渉計を用い
てその性能を容易に確認しながら、調整、使用ができ
る。なお、コリメートレンズ１１は、比較的小さいＮＡ
で広いイメージサークルを持ち、一方、結像レンズ１２
は、比較的大きいＮＡで狭いイメージサークルを持って
いる。一般に、高ＮＡの結像レンズ１２の方が収差が変
化する可能性が高く、その状態を確認しながら組立調整
を行なうことがこのましい。そこで、本発明は、結像レ
ンズ１２の収差の測定を直接の目的としている。
【００１３】コリメートレンズ１１と結像レンズ１２の
間には、このような干渉計を構成するための略平行平面
板１５が配設されている。この略平行平面板１５は、光
軸Ｏに対して約４５゜をなして配置されたもので、その
表裏の一方の面１５ａ（図５）に半透過ミラーを付し、
他方の面１５ｂに反射防止膜を付している。この略平行
平面板１５は、コリメートレンズ１１からの射出平行光
束と、結像レンズ１２を透過してウエハ１４で反射し再
び結像レンズ１２を透過した反射光とを外部観察系に導
くものである。具体的には、コリメートレンズ１１から
の出射平行光束は参照ミラー１６に反射され、結像レン
ズ１２からの戻り光は、参照ミラー１６と反対の方向に
反射される。
間には、このような干渉計を構成するための略平行平面
板１５が配設されている。この略平行平面板１５は、光
軸Ｏに対して約４５゜をなして配置されたもので、その
表裏の一方の面１５ａ（図５）に半透過ミラーを付し、
他方の面１５ｂに反射防止膜を付している。この略平行
平面板１５は、コリメートレンズ１１からの射出平行光
束と、結像レンズ１２を透過してウエハ１４で反射し再
び結像レンズ１２を透過した反射光とを外部観察系に導
くものである。具体的には、コリメートレンズ１１から
の出射平行光束は参照ミラー１６に反射され、結像レン
ズ１２からの戻り光は、参照ミラー１６と反対の方向に
反射される。
【００１４】この略平行平面板１５は、表裏を完全に平
行にすると、表面と裏面の反射光により干渉縞が発生し
測定の際にノイズとなる。このノイズの除去のために
は、略平行平面板１５の一方の面に付した反射防止膜１
５ｂも効果があるが、さらに、表裏面１５ａと１５ｂを
僅かに（数分〜数１０分）平行からずらして楔状をなす
ように形成することが好ましい。表裏面１５ａと１５ｂ
が楔状をなすと、後述する空間フィルタ１８によってノ
イズを除去しやすくなる。表裏面１５ａと１５ｂが厳密
に平行でないと、光束は略平行平面板１５を透過する前
後で僅かに傾くが、平行光束中であるため、像面倒れな
どの収差は発生せず、像位置が僅かにシフトするだけで
ある。
行にすると、表面と裏面の反射光により干渉縞が発生し
測定の際にノイズとなる。このノイズの除去のために
は、略平行平面板１５の一方の面に付した反射防止膜１
５ｂも効果があるが、さらに、表裏面１５ａと１５ｂを
僅かに（数分〜数１０分）平行からずらして楔状をなす
ように形成することが好ましい。表裏面１５ａと１５ｂ
が楔状をなすと、後述する空間フィルタ１８によってノ
イズを除去しやすくなる。表裏面１５ａと１５ｂが厳密
に平行でないと、光束は略平行平面板１５を透過する前
後で僅かに傾くが、平行光束中であるため、像面倒れな
どの収差は発生せず、像位置が僅かにシフトするだけで
ある。
【００１５】一方、略平行平面板１５は、光軸Ｏに対し
て斜めに置かれているため、図３に示すように、略平行
平面板１５を通過する前後で光軸の平行シフトが生じ
る。略平行平面板１５は、その面精度を維持するには、
その厚さｔを、その直径Ｄの７％以上に設定する必要が
あることが経験的に知られている。この平行シフトを補
償するため、コリメートレンズ１１の光軸Ｏ11と、結像
レンズ１２の光軸Ｏ12とを、略平行平面板１５による光
軸の平行シフト量ｄと同じ量だけ、平行にずらせること
が好ましい。仮に、この略平行平面板１５による平行ズ
レを無視して、コリメートレンズ１１と結像レンズ１２
の光軸を一致させる（同一直線上に位置させる）と、結
像レンズ１２に対しコリメートレンズ１１の入射瞳か射
出瞳が偏心したことに相当し、像面内に光量分布のムラ
が発生したり、実質的なＮＡの低下による解像力の低
下、テレセントリック性が崩れることによるアナモフィ
ックな倍率ムラが発生するおそれがある。
て斜めに置かれているため、図３に示すように、略平行
平面板１５を通過する前後で光軸の平行シフトが生じ
る。略平行平面板１５は、その面精度を維持するには、
その厚さｔを、その直径Ｄの７％以上に設定する必要が
あることが経験的に知られている。この平行シフトを補
償するため、コリメートレンズ１１の光軸Ｏ11と、結像
レンズ１２の光軸Ｏ12とを、略平行平面板１５による光
軸の平行シフト量ｄと同じ量だけ、平行にずらせること
が好ましい。仮に、この略平行平面板１５による平行ズ
レを無視して、コリメートレンズ１１と結像レンズ１２
の光軸を一致させる（同一直線上に位置させる）と、結
像レンズ１２に対しコリメートレンズ１１の入射瞳か射
出瞳が偏心したことに相当し、像面内に光量分布のムラ
が発生したり、実質的なＮＡの低下による解像力の低
下、テレセントリック性が崩れることによるアナモフィ
ックな倍率ムラが発生するおそれがある。
【００１６】略平行平面板１５を挟んで参照ミラー１６
の反対側には、集光レンズ１７、空間フィルタ１８、及
びビデオカメラ１９が配設されている。ビデオカメラ１
９はモニターテレビ２０に接続されている。これらは、
レチクル１３に代えてピンホール板２３を置き、ウエハ
１４に代えて平面ミラー２４Ａ、球面凸ミラー２４Ｂ、
または球面凹ミラー２４Ｃを置いたとき、結像レンズ１
２の波面収差を測定する干渉計を構成するものである。
の反対側には、集光レンズ１７、空間フィルタ１８、及
びビデオカメラ１９が配設されている。ビデオカメラ１
９はモニターテレビ２０に接続されている。これらは、
レチクル１３に代えてピンホール板２３を置き、ウエハ
１４に代えて平面ミラー２４Ａ、球面凸ミラー２４Ｂ、
または球面凹ミラー２４Ｃを置いたとき、結像レンズ１
２の波面収差を測定する干渉計を構成するものである。
【００１７】集光レンズ１７は、２つの可干渉光束を集
光してビデオカメラ１９に与えるものである。２つの可
干渉光束の１つは、コリメートレンズ１１から出射して
略平行平面板１５で反射し参照ミラー１６でさらに反射
されて略平行平面板１５を透過した平行光束であり、他
の１つは、略平行平面板１５及び結像レンズ１２を透過
して平面ミラー２４Ａないし球面凹ミラー２４Ｃで反射
した後再び結像レンズ１２を透過して略平行平面板１５
で反射した平行光束である。紫外線は見えないため、ビ
デオカメラ１９に結像される干渉縞をモニターテレビ２
０によって可視化する。
光してビデオカメラ１９に与えるものである。２つの可
干渉光束の１つは、コリメートレンズ１１から出射して
略平行平面板１５で反射し参照ミラー１６でさらに反射
されて略平行平面板１５を透過した平行光束であり、他
の１つは、略平行平面板１５及び結像レンズ１２を透過
して平面ミラー２４Ａないし球面凹ミラー２４Ｃで反射
した後再び結像レンズ１２を透過して略平行平面板１５
で反射した平行光束である。紫外線は見えないため、ビ
デオカメラ１９に結像される干渉縞をモニターテレビ２
０によって可視化する。
【００１８】空間フィルタ１８は、ほぼ集光レンズ１７
の焦点位置に配置されている。２つの可干渉光束は、ほ
ぼ平行光束なので、集光レンズ１７の焦点面上に微小点
像として結像する。そこに２光束を透過させるピンホー
ル状の透過部を有する空間フィルタ１８を配置すること
により、不要光を除去することができる。干渉性がよい
光源を用いた場合、結像レンズ１２は多数の要素レンズ
から構成されているため、該結像レンズ１２を通る光は
ノイズを含みやすい。また略平行平面板１５の不要な反
射光を避けるためにも、空間フィルタ１８は設置するこ
とが好ましい。空間フィルタ１８は、ピンホール状の透
光部の周囲を不透光部材で構成することも可能である
が、透光部の周囲には、弱い透過性の散乱部を形成する
のが好ましい。干渉計を構成するには、２つの光路を通
ってきた光束を１つのピンホールに入れる必要がある
が、ピンホールの位置調整の際、及び略平行平面板１５
で反射した光束を集光レンズ１７に向け反射する参照ミ
ラー１６を調整する際に、紫外光線は不可視であるため
に、ビデオカメラ１９により調整量を検出しなければ非
常に作業性が悪い。このため、ピンホールに光束の集光
点が厳密に一致していない場合にも、ピンホールと集光
点のズレを検出するために、ピンホールの周囲は、光束
の一部を透過する拡散面とするのが好ましいのである。
の焦点位置に配置されている。２つの可干渉光束は、ほ
ぼ平行光束なので、集光レンズ１７の焦点面上に微小点
像として結像する。そこに２光束を透過させるピンホー
ル状の透過部を有する空間フィルタ１８を配置すること
により、不要光を除去することができる。干渉性がよい
光源を用いた場合、結像レンズ１２は多数の要素レンズ
から構成されているため、該結像レンズ１２を通る光は
ノイズを含みやすい。また略平行平面板１５の不要な反
射光を避けるためにも、空間フィルタ１８は設置するこ
とが好ましい。空間フィルタ１８は、ピンホール状の透
光部の周囲を不透光部材で構成することも可能である
が、透光部の周囲には、弱い透過性の散乱部を形成する
のが好ましい。干渉計を構成するには、２つの光路を通
ってきた光束を１つのピンホールに入れる必要がある
が、ピンホールの位置調整の際、及び略平行平面板１５
で反射した光束を集光レンズ１７に向け反射する参照ミ
ラー１６を調整する際に、紫外光線は不可視であるため
に、ビデオカメラ１９により調整量を検出しなければ非
常に作業性が悪い。このため、ピンホールに光束の集光
点が厳密に一致していない場合にも、ピンホールと集光
点のズレを検出するために、ピンホールの周囲は、光束
の一部を透過する拡散面とするのが好ましいのである。
【００１９】ピンホール板２３、平面ミラー２４Ａ〜球
面凹ミラー２４Ｃ、及び空間フィルタ１８は、コリメー
トレンズ１１と結像レンズ１２の軸外の収差を測定する
ため、それぞれ光軸と直交する方向に移動調整可能に支
持することが好ましい。ピンホール板２３は、コリメー
トレンズ１１の前側焦点面内で光軸と直交する方向に移
動させ、空間フィルタ１８は集光レンズ１７の焦点面内
で光軸と直交する方向に移動させ、球面凸ミラー２４
Ｂ、球面凹ミラー２４Ｃは、その曲率中心を結像レンズ
１２の焦点面に位置させた状態で移動させる。また参照
ミラー１６は、軸１６ａを中心に回動調整可能となって
いる。これは、干渉縞を作るためには、２つの可干渉光
束をほぼ平行にする必要があり、軸外光の干渉計として
も使用可能にするため、軸外光束の光軸に対する角度分
だけ、参照ミラー１６は軸１６ａを中心に回動調整可能
である。
面凹ミラー２４Ｃ、及び空間フィルタ１８は、コリメー
トレンズ１１と結像レンズ１２の軸外の収差を測定する
ため、それぞれ光軸と直交する方向に移動調整可能に支
持することが好ましい。ピンホール板２３は、コリメー
トレンズ１１の前側焦点面内で光軸と直交する方向に移
動させ、空間フィルタ１８は集光レンズ１７の焦点面内
で光軸と直交する方向に移動させ、球面凸ミラー２４
Ｂ、球面凹ミラー２４Ｃは、その曲率中心を結像レンズ
１２の焦点面に位置させた状態で移動させる。また参照
ミラー１６は、軸１６ａを中心に回動調整可能となって
いる。これは、干渉縞を作るためには、２つの可干渉光
束をほぼ平行にする必要があり、軸外光の干渉計として
も使用可能にするため、軸外光束の光軸に対する角度分
だけ、参照ミラー１６は軸１６ａを中心に回動調整可能
である。
【００２０】集光レンズ１７の焦点とビデオカメラ１９
の撮像面とは、空間フィルター１８の位置と各反射光の
集光点とを一致させて干渉縞を作るため、共役にする必
要がある。このために調整用観測レンズ２１を備えるこ
とが好ましい。すなわち空間フィルタ１８のピンホール
と集光レンズ１７による結像点の一致のために、集光レ
ンズ１７の焦点面をビデオカメラ１９の撮像面に投影す
る。これにより干渉計の軸上、軸外の設定変更が容易に
なる。調整用観測レンズ２１は、空間フィルタ１８の後
側に光分岐系を挿入してここに配置し、干渉縞観測用の
ものとは別のビデオカメラを用いてもよいし、空間フィ
ルタ１８の後に調整用観測レンズ２１を選択的に挿入可
能な構成としてもよい。
の撮像面とは、空間フィルター１８の位置と各反射光の
集光点とを一致させて干渉縞を作るため、共役にする必
要がある。このために調整用観測レンズ２１を備えるこ
とが好ましい。すなわち空間フィルタ１８のピンホール
と集光レンズ１７による結像点の一致のために、集光レ
ンズ１７の焦点面をビデオカメラ１９の撮像面に投影す
る。これにより干渉計の軸上、軸外の設定変更が容易に
なる。調整用観測レンズ２１は、空間フィルタ１８の後
側に光分岐系を挿入してここに配置し、干渉縞観測用の
ものとは別のビデオカメラを用いてもよいし、空間フィ
ルタ１８の後に調整用観測レンズ２１を選択的に挿入可
能な構成としてもよい。
【００２１】上記構成の本紫外線結像光学システムは、
コリメートレンズ１１と結像レンズ１２の組立調整時及
び使用時の調整時には、レチクル１３の代わりにピンホ
ール板２３を置き、ウエハ１４の代わりに平面ミラー２
４Ａ、球面凸ミラー２４Ｂまたは球面凹ミラー２４Ｃを
置いて、干渉計を構成する（図２ないし図４参照）。紫
外発散光束は、ピンホール板２３のピンホールから出射
されることとなる。ピンホール板２３を出た光束はコリ
メートレンズ１１により平行光束とされ、一部は略平行
平面板１５で反射されて参照ミラー１６に至り参照ミラ
ー１６で反射されて略平行平面板１５を透過し集光レン
ズ１７に入射する。コリメートレンズ１１の出射光束の
うち略平行平面板１５を透過した光は、結像レンズ１２
を透過して平面ミラー２４Ａないし球面凹ミラー２４Ｃ
で反射し、再び結像レンズ１２を透過して略平行平面板
１５に至り該略平行平面板１５で反射して集光レンズ１
７に入射する。この２光束の干渉により干渉縞が発生す
るから、この干渉縞をモニターテレビ２０を介して観測
することにより、結像レンズ１２の波面収差を測定する
ことができ、さらにこの収差が最小となるように調整す
ることができる。平面ミラー２４Ａを用いた場合は、結
像レンズ１２中の往きの光束の通過点と帰りの光束の通
過点が光軸に対して対称な点となるため、結像レンズ１
２の瞳に対し奇数次の収差であるコマ収差が検出されな
い。よって、球面収差、像面湾曲、ピントずれの測定を
行ないやすい。一方、球面凸ミラー２４Ｂ、球面凹ミラ
ー２４Ｃは、全収差を検出できるため、軸上軸外を含む
像面各点の収差を測定できる。
コリメートレンズ１１と結像レンズ１２の組立調整時及
び使用時の調整時には、レチクル１３の代わりにピンホ
ール板２３を置き、ウエハ１４の代わりに平面ミラー２
４Ａ、球面凸ミラー２４Ｂまたは球面凹ミラー２４Ｃを
置いて、干渉計を構成する（図２ないし図４参照）。紫
外発散光束は、ピンホール板２３のピンホールから出射
されることとなる。ピンホール板２３を出た光束はコリ
メートレンズ１１により平行光束とされ、一部は略平行
平面板１５で反射されて参照ミラー１６に至り参照ミラ
ー１６で反射されて略平行平面板１５を透過し集光レン
ズ１７に入射する。コリメートレンズ１１の出射光束の
うち略平行平面板１５を透過した光は、結像レンズ１２
を透過して平面ミラー２４Ａないし球面凹ミラー２４Ｃ
で反射し、再び結像レンズ１２を透過して略平行平面板
１５に至り該略平行平面板１５で反射して集光レンズ１
７に入射する。この２光束の干渉により干渉縞が発生す
るから、この干渉縞をモニターテレビ２０を介して観測
することにより、結像レンズ１２の波面収差を測定する
ことができ、さらにこの収差が最小となるように調整す
ることができる。平面ミラー２４Ａを用いた場合は、結
像レンズ１２中の往きの光束の通過点と帰りの光束の通
過点が光軸に対して対称な点となるため、結像レンズ１
２の瞳に対し奇数次の収差であるコマ収差が検出されな
い。よって、球面収差、像面湾曲、ピントずれの測定を
行ないやすい。一方、球面凸ミラー２４Ｂ、球面凹ミラ
ー２４Ｃは、全収差を検出できるため、軸上軸外を含む
像面各点の収差を測定できる。
【００２２】結像レンズの調整の際には、まず平面ミラ
ー２４Ａを用いて光軸上の球面収差を測定し結像レンズ
１２の調整を行なう。次に平面ミラー２４Ａを球面凸ミ
ラー２４Ｂまたは球面凹ミラー２４Ｃに交換して光軸上
の偏心コマ収差を測定し調整する。軸外収差の測定は、
ピンホール板２３、球面凸ミラー２４Ｂまたは球面凹ミ
ラー２４Ｃ、及び空間フィルタ１８を光軸と直交する方
向に移動させ、かつ参照ミラー１６を軸１６ａを中心に
回動調整して行なう。すなわち、軸外の収差測定の際に
は、ピンホール板２３を移動させるのに合わせて球面凸
ミラー２４Ｂまたは球面凹ミラー２４Ｃを移動させ、さ
らにその結果、集光レンズ１７による光束の集光点が移
動するのに合わせて、空間フィルタ１８もピンホール板
２３のピンホールの位置に合わせて移動させる。そし
て、参照ミラー１６により集光レンズ１７に入射する２
つの可干渉光束が常時ほぼ平行となるように調整しなが
ら、軸外のコマ収差、像面湾曲の測定及び調整を行な
い、次にこの調整の結果変化する球面収差を再び調整す
るという手順で行なうことができる。
ー２４Ａを用いて光軸上の球面収差を測定し結像レンズ
１２の調整を行なう。次に平面ミラー２４Ａを球面凸ミ
ラー２４Ｂまたは球面凹ミラー２４Ｃに交換して光軸上
の偏心コマ収差を測定し調整する。軸外収差の測定は、
ピンホール板２３、球面凸ミラー２４Ｂまたは球面凹ミ
ラー２４Ｃ、及び空間フィルタ１８を光軸と直交する方
向に移動させ、かつ参照ミラー１６を軸１６ａを中心に
回動調整して行なう。すなわち、軸外の収差測定の際に
は、ピンホール板２３を移動させるのに合わせて球面凸
ミラー２４Ｂまたは球面凹ミラー２４Ｃを移動させ、さ
らにその結果、集光レンズ１７による光束の集光点が移
動するのに合わせて、空間フィルタ１８もピンホール板
２３のピンホールの位置に合わせて移動させる。そし
て、参照ミラー１６により集光レンズ１７に入射する２
つの可干渉光束が常時ほぼ平行となるように調整しなが
ら、軸外のコマ収差、像面湾曲の測定及び調整を行な
い、次にこの調整の結果変化する球面収差を再び調整す
るという手順で行なうことができる。
【００２３】また、略平行平面板１５で反射した光束を
反射する参照ミラー１６の角度調整により、コリメート
レンズ１１を透過した光と結像レンズ１２からの戻り光
との射出方向を異ならせておき、空間フィルタ１８によ
りその一方を選択的にビデオカメラ１９に入射させるこ
とにより、光量分布をモニターすることができ、紫外線
レーザの発振の不具合をチェックすることができる。
反射する参照ミラー１６の角度調整により、コリメート
レンズ１１を透過した光と結像レンズ１２からの戻り光
との射出方向を異ならせておき、空間フィルタ１８によ
りその一方を選択的にビデオカメラ１９に入射させるこ
とにより、光量分布をモニターすることができ、紫外線
レーザの発振の不具合をチェックすることができる。
【００２４】前述のように、軸外の収差を測定するに
は、球面凸ミラー２４Ｂまたは球面凹ミラー２４Ｃの曲
率中心は、必ず結像レンズ１２の焦点面上に位置してい
なければならない。このような球面凸ミラー２４Ｂまた
は球面凹ミラー２４Ｃの移動は、ステッパのウエハに繰
り返し露光を与えるための移動機構を用いて行なうこと
ができる。
は、球面凸ミラー２４Ｂまたは球面凹ミラー２４Ｃの曲
率中心は、必ず結像レンズ１２の焦点面上に位置してい
なければならない。このような球面凸ミラー２４Ｂまた
は球面凹ミラー２４Ｃの移動は、ステッパのウエハに繰
り返し露光を与えるための移動機構を用いて行なうこと
ができる。
【００２５】また結像レンズ１２のバックフォーカスが
十分に長い場合、球を正確に２分割した半球状の凸面か
らなる半球面凸ミラー２４Ｂを用いることが好ましい。
このような半球面凸ミラー２４Ｂによると、ウエハの載
置面に半球面凸ミラー２４Ｂの切断平面を正確に接触さ
せるだけで、半球面凸ミラー２４Ｂの曲率中心がウエハ
の感光面に一致するから、デフォーカス（ピントズレ）
量の測定を容易に行なうことができる。
十分に長い場合、球を正確に２分割した半球状の凸面か
らなる半球面凸ミラー２４Ｂを用いることが好ましい。
このような半球面凸ミラー２４Ｂによると、ウエハの載
置面に半球面凸ミラー２４Ｂの切断平面を正確に接触さ
せるだけで、半球面凸ミラー２４Ｂの曲率中心がウエハ
の感光面に一致するから、デフォーカス（ピントズレ）
量の測定を容易に行なうことができる。
【００２６】以上のようにして結像レンズ１２の調整が
終了したら、ピンホール板２３をレチクル１３に代え、
平面ミラー２４Ａ、球面凸ミラー２４Ｂまたは球面凹ミ
ラー２４Ｃをウエハ１４に代えて、レチクル１３の像を
ウエハ１４上に縮小投影することができる。この縮小投
影の際には、ウエハ１４からの反射光が結像レンズ１２
を通って略平行平面板１５に至り、略平行平面板１５で
さらに反射して参照ミラー１６からビデオカメラ１９に
入射する。この反射光は、結像レンズ１２の像点位置情
報、つまりウエハ１４の感光面が正確に結像レンズ１２
の焦点位置に位置しているか否かの情報を含んでいるか
ら、この情報に基づいて、結像レンズ１２を移動させて
焦点調節を行なうことができる。本発明装置は、前述の
ように、結像レンズ１２の移動だけで焦点調節ができ、
焦点調節を行なっても倍率が変化しないという特徴があ
る。
終了したら、ピンホール板２３をレチクル１３に代え、
平面ミラー２４Ａ、球面凸ミラー２４Ｂまたは球面凹ミ
ラー２４Ｃをウエハ１４に代えて、レチクル１３の像を
ウエハ１４上に縮小投影することができる。この縮小投
影の際には、ウエハ１４からの反射光が結像レンズ１２
を通って略平行平面板１５に至り、略平行平面板１５で
さらに反射して参照ミラー１６からビデオカメラ１９に
入射する。この反射光は、結像レンズ１２の像点位置情
報、つまりウエハ１４の感光面が正確に結像レンズ１２
の焦点位置に位置しているか否かの情報を含んでいるか
ら、この情報に基づいて、結像レンズ１２を移動させて
焦点調節を行なうことができる。本発明装置は、前述の
ように、結像レンズ１２の移動だけで焦点調節ができ、
焦点調節を行なっても倍率が変化しないという特徴があ
る。
【００２７】次に、コリメートレンズ１１、結像レンズ
１２及び略平行平面板１５の具体的なレンズ構成例を説
明する。図６は、そのレンズ構成図で、コリメートレン
ズ１１は５群５枚、結像レンズ１２は８群８枚からなっ
ている。このレンズ系の具体的数値データを表１に示
す。表および図面中、f は焦点距離、NAは開口数、M は
横倍率、fBはバックフォーカス、φはイメージサークル
の直径、Ｒはレンズ各面の曲率半径、Ｄはレンズ厚もし
くはレンズ間隔、Ｎ(266nm) は２６６ｎｍの光に対する
屈折率を示す。
１２及び略平行平面板１５の具体的なレンズ構成例を説
明する。図６は、そのレンズ構成図で、コリメートレン
ズ１１は５群５枚、結像レンズ１２は８群８枚からなっ
ている。このレンズ系の具体的数値データを表１に示
す。表および図面中、f は焦点距離、NAは開口数、M は
横倍率、fBはバックフォーカス、φはイメージサークル
の直径、Ｒはレンズ各面の曲率半径、Ｄはレンズ厚もし
くはレンズ間隔、Ｎ(266nm) は２６６ｎｍの光に対する
屈折率を示す。
【００２８】
【表１】 f=13.017 NA=0.40 M =-0.200 ｆB =22.469 φ=2.00 面 NO Ｒ Ｄ Ｎ(266nm) 1 196.343 5.000 1.4997 2 31.282 38.980 - 3 1148.125 8.000 1.4997 4 -44.200 45.940 - 5 117.274 7.000 1.4997 6 -126.500 0.530 - 7 48.884 6.900 1.4997 8 330.000 8.300 - 9 -275.000 6.000 1.4997 10 35.849 33.000 - 11 ∞ 10.000 1.4997 (45°チルト 略平行平面板) 12 ∞ 36.000 - 13 -33.912 6.000 1.4997 14 52.000 99.820 - 15 3000.000 12.880 1.4997 16 -88.800 0.000 - 絞 ∞ 31.810 - 17 275.000 9.000 1.4997 18 -193.485 0.100 - 19 92.741 9.000 1.4997 20 485.000 0.100 - 21 50.501 9.000 1.4997 22 96.650 2.200 - 23 1520.979 7.400 1.4997 24 130.320 0.100 - 25 26.525 12.500 1.4997 26 46.311 5.000 - 27 ∞ 2.530 1.4997 28 ∞ - - コリメートレンズ１１と結像レンズ１２の光軸のシフト
量ｔ；3.290
量ｔ；3.290
【００２９】
【発明の効果】以上のように本発明は、紫外線結像光学
システムをコリメートレンズと結像レンズに分け、両レ
ンズの間の平行光束の部分に光分岐系を設けたので、結
像光学システム内に干渉計を構成することができる。よ
って組立時あるいは使用中の測定調整、性能チェックを
容易に行なうことができるという効果が得られる。
システムをコリメートレンズと結像レンズに分け、両レ
ンズの間の平行光束の部分に光分岐系を設けたので、結
像光学システム内に干渉計を構成することができる。よ
って組立時あるいは使用中の測定調整、性能チェックを
容易に行なうことができるという効果が得られる。
【図１】本発明による紫外線結像光学システムの全体構
成を示す模式光学図である。
成を示す模式光学図である。
【図２】図１の装置において、干渉計を構成する場合の
第１の例を示す図である。
第１の例を示す図である。
【図３】同干渉計を構成する場合の第２の例を示す図で
ある。
ある。
【図４】同干渉計を構成する場合の第３の例を示す図で
ある。
ある。
【図５】図１のシステム中の略平行平面板の拡大図であ
る。
る。
【図６】図１のシステムに用いるコリメートレンズ、結
像レンズ及び略平行平面板の具体例を示すレンズ構成図
である。
像レンズ及び略平行平面板の具体例を示すレンズ構成図
である。
１１ コリメートレンズ １２ 結像レンズ １３ レチクル（縮小露光用チャート） １４ ウエハ（感光材料） １５ 略平行平面板 １６ 参照ミラー １７ 集光レンズ １８ 空間フィルタ １９ ビデオカメラ ２０ モニターテレビ ２１ 調整用観測レンズ ２３ ピンホール板 ２４Ａ 平面ミラー ２４Ｂ 球面凸ミラー ２４Ｃ 球面凹ミラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若宮 俊一郎 東京都板橋区前野町２丁目36番９号 旭光 学工業株式会社内 (72)発明者 久保田 重夫 東京都品川区北品川６−７−35 ソニー株 式会社内 (72)発明者 菅沼 洋 東京都品川区北品川６−７−35 ソニー株 式会社内 (72)発明者 武田 実 東京都品川区北品川６−７−35 ソニー株 式会社内
Claims (13)
- 【請求項１】 紫外線光源からの光束を平行光束化する
コリメートレンズと；このコリメートレンズからの平行
光束を結像する結像レンズと；コリメートレンズからの
射出平行光束と、結像レンズを透過して反射体で反射し
て再び結像レンズを透過した反射光との少なくとも一方
を外部観察系へ導く、上記コリメートレンズから結像レ
ンズに至る平行光束中に配設された光分岐系と；を備え
たことを特徴とする紫外線結像光学システム。 - 【請求項２】 請求項１において、フォーカシングの
際、結像レンズのみが光軸方向に移動され、コリメート
レンズは移動しない紫外線結像光学システム。 - 【請求項３】 請求項１または２において、上記光分岐
系には、上記コリメートレンズからの射出平行光束と、
上記結像レンズを透過して反射体で反射した光を干渉さ
せて干渉縞を作る干渉計が配設されている紫外線結像光
学システム。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１項におい
て、上記光分岐系は、一方の面に半透過膜を付し、他方
の面に反射防止膜を付した略平行平面板からなってい
て、この略平行平面板がコリメートレンズから結像レン
ズに至る平行光束中に光軸に対して斜めに配設されてい
る紫外線結像光学システム。 - 【請求項５】 請求項４において、上記コリメートレン
ズの光軸と結像レンズの光軸は、この略平行平面板によ
る光軸のシフト量に対応させた量だけ平行にシフトして
いる紫外線結像光学システム。 - 【請求項６】 請求項４または５において、略平行平面
板は、その表裏面が完全に平行ではなく微小角度の楔状
をなしている紫外線結像光学システム。 - 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれか１項におい
て、上記結像レンズを透過して反射体で反射した反射光
を上記光分岐系により分岐させ、この反射光の情報によ
って得られる該結像レンズの像点位置情報から、該結像
レンズを反射体に対して光軸方向に相対的に動かして焦
点調節を行なう紫外線結像光学システム。 - 【請求項８】 請求項３ないし７のいずれか１項におい
て、上記光分岐系は、上記コリメートレンズからの射出
平行光束と上記反射体からの反射光とを集光する集光レ
ンズと、この集光レンズの後側焦点近傍に配置した空間
フィルタとを有する紫外線結像光学システム。 - 【請求項９】 請求項８において、上記光分岐系は、上
記コリメートレンズからの射出平行光束と、上記反射体
からの反射光とのいずれか一方の進行方向を変化させる
ための回転可能に保持された反射部材を有する紫外線結
像光学システム。 - 【請求項１０】 請求項３ないし９のいずれか１項にお
いて、上記結像レンズの焦点面には、感光材料と、該焦
点面内に位置する反射面または該焦点面内に曲率中心を
位置させる球面状反射面とを交換して配置可能である紫
外線結像光学システム。 - 【請求項１１】 請求項３ないし９のいずれか１項にお
いて、上記コリメートレンズの前側焦点位置には、縮小
露光用パターンと、ピンホール板とを交換して配置可能
である紫外線結像光学システム。 - 【請求項１２】 請求項１０において、球面状反射面
は、その曲率中心を上記焦点面内に保持したまま移動可
能である紫外線結像光学システム。 - 【請求項１３】 請求項１０において、さらに集光レン
ズの焦点を、ビデオカメラの撮像面と共役にする調整用
観測レンズを有する紫外線結像光学システム。
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| JP6321033A JPH08179202A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 紫外線結像光学システム |
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|---|---|---|---|
| JP6321033A JPH08179202A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 紫外線結像光学システム |
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Family
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Family Applications (1)
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| JP6321033A Withdrawn JPH08179202A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 紫外線結像光学システム |
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