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JPH08151082A - Preservation of part applied with metal vapor deposition film - Google Patents

Preservation of part applied with metal vapor deposition film

Info

Publication number
JPH08151082A
JPH08151082A JP29139494A JP29139494A JPH08151082A JP H08151082 A JPH08151082 A JP H08151082A JP 29139494 A JP29139494 A JP 29139494A JP 29139494 A JP29139494 A JP 29139494A JP H08151082 A JPH08151082 A JP H08151082A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vapor deposition
oxygen
metal vapor
deposition film
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29139494A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsushi Watanabe
哲志 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Original Assignee
Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Gas Chemical Co Inc filed Critical Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Priority to JP29139494A priority Critical patent/JPH08151082A/en
Publication of JPH08151082A publication Critical patent/JPH08151082A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To well hold a metal vapor deposition film by preventing the oxidation of the metal film applied to glass, ceramic matter, various metals, plastic, paper or cloth by vapor deposition. CONSTITUTION: A part to which a metal vapor deposition film is applied is hermetically sealed in a gas barrier container along with an oxygen absorbing agent containing a substance based on an unsaturated fatty acid compd. and/or a chain hydrocarbon polymer having an unsaturated group and accelerating oxygen absorption and a dehumidifying agent to be preserved under an atmosphere from which oxygen and moisture are substantially removed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、金属蒸着膜を施した部
品の保存方法に関するもので、例えば、溶接用のガラス
蒸着、光ディスクの反射層のAl蒸着、さらには電子工
業における半導体部品の基板やフォトマスクの蒸着等、
ガラス、セラミック体、各種金属、プラスチック、紙、
および布上に蒸着された金属蒸着膜の酸化防止に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for storing a component having a metal vapor deposition film, for example, glass vapor deposition for welding, Al vapor deposition of a reflective layer of an optical disk, and a substrate for semiconductor components in the electronic industry. And photomask deposition,
Glass, ceramic body, various metals, plastic, paper,
And to prevent oxidation of a vapor deposited metal film deposited on a cloth.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、真空蒸着法、イオンプレーティン
グ法、レーザー蒸着法等の表面加工処理技術が進歩し
て、金属を非常に薄くかつ均一に蒸着する事が可能にな
り、表面の改質のために高価な金属を少量しか使わない
で、その金属の持つ特徴を生かせるようになってきてい
る。例えば、溶接時のマスクとして、ガラス表面にTi
を蒸着したものを使用する技術がある。この場合、Ti
の蒸着後直ちに合わせガラスにしてしまえば問題はない
が、蒸着後長期に保管することになると、活性化された
蒸着膜は表面が曇ってしまい、合わせガラスにしたとき
に溶接用マスクとしての性能が得られなくなってしまう
ことが多かった。
2. Description of the Related Art In recent years, surface processing techniques such as vacuum deposition method, ion plating method and laser deposition method have progressed, and it has become possible to deposit a metal very thinly and uniformly. For this reason, it is becoming possible to utilize the characteristics of the metal by using only a small amount of expensive metal. For example, as a mask for welding, Ti on the glass surface
There is a technique of using a vapor-deposited product. In this case, Ti
There is no problem if it is made into laminated glass immediately after vapor deposition of, but if it is stored for a long time after vapor deposition, the surface of the activated vapor deposition film becomes cloudy, and when it is made into laminated glass, the performance as a welding mask It was often not possible to get.

【0003】また、コンパクトディスクやビデオディス
ク等の光ディスクのAl反射層は、ポリカーボネートや
アクリル等の合成樹脂を用いディスク成形された後、ピ
ット転写面にAlを蒸着することによって形成される。
このAl反射層を保護するために透明な樹脂の保護層を
設ける工程があるが、保護層を設けるまでに保管期間を
おくと後から保護層を設けても、保管期間中にAl蒸着
面が腐食して良好な反射面が得られないことがあった。
The Al reflection layer of an optical disk such as a compact disk or a video disk is formed by forming a disk using a synthetic resin such as polycarbonate or acrylic, and then depositing Al on the pit transfer surface.
There is a step of providing a transparent resin protective layer to protect the Al reflective layer, but if a protective layer is provided before the protective layer is provided, even if a protective layer is provided later, the Al vapor deposition surface will be There was a case where a good reflective surface could not be obtained due to corrosion.

【0004】このような金属蒸着膜の曇りを防止する目
的で、ガラスやセラミック体、各種金属、プラスチッ
ク、紙、布等に蒸着された金属の保管にシリカゲル等の
乾燥剤を用いても、金属蒸着後、系内の酸素により表面
が光沢を失い曇ってしまい、蒸着膜として充分機能しな
いことが多かった。そこで、さらに脱酸素を目的とし酸
素剤を乾燥剤に併用して金属蒸着膜を施した部品の保存
を試みた。ところが、従来公知の脱酸素剤、例えば鉄
粉、亜硫酸塩、カテコール、アスコルビン酸等を主剤と
する脱酸素剤を用いても、酸素吸収能が途中で低下して
十分脱酸素できなかったり、たとえ十分酸素が除去でき
ても、やはり表面が曇り金属蒸着膜を必ずしも良好に保
持することはできなかった。このように、これまでのと
ころ金属蒸着膜を施した部品の簡便な保存方法はないと
いうのが実情である。
For the purpose of preventing such a metal vapor deposition film from fogging, even if a desiccant such as silica gel is used to store the vapor deposited metal on glass, ceramics, various metals, plastics, paper, cloth, etc. After vapor deposition, the surface lost its gloss due to oxygen in the system and became cloudy, and often did not function sufficiently as a vapor deposition film. Therefore, for the purpose of deoxidizing oxygen, an attempt was made to store the parts on which a metal vapor deposition film was formed by using an oxygen agent in combination with a desiccant. However, even if a conventionally known deoxidant, for example, an iron powder, sulfite, catechol, or a deoxidant containing ascorbic acid as a main component is used, the oxygen absorption capacity is lowered on the way and the oxygen cannot be sufficiently deoxidized. Even if oxygen was sufficiently removed, the surface was still cloudy and the vapor deposited metal film could not always be held well. As described above, the fact is that there is no simple storage method for a component provided with a metal vapor deposition film so far.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
課題を解決して、金属を蒸着後その活性な蒸着膜が酸化
により変質することを防ぎ、金属の蒸着面を良好に保持
することができる金属蒸着膜を施した部品の保存方法を
提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to prevent the active vapor-deposited film from being deteriorated by oxidation after vapor-depositing the metal, and to keep the vapor-deposited surface of the metal well. It is an object of the present invention to provide a method of storing a component having a metal vapor deposition film, which can achieve the above.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、金属蒸着
膜の変質を防ぎ上記の目的を達成するためには、保存雰
囲気中の酸素と水分の両方を同時に絶つことが必要であ
り、金属蒸着膜を施した部品を不飽和脂肪酸化合物およ
び/または不飽和基を有する鎖状炭化水素重合物を主剤
とする酸素吸収剤と脱湿剤と共にガスバリヤ性容器内に
密封することにより上記目的を容易に達成できることを
見いだし、本発明に到達した。
The inventors of the present invention need to simultaneously cut off both oxygen and moisture in the storage atmosphere in order to prevent the deterioration of the metal vapor deposition film and achieve the above object. The above object is obtained by sealing the metal vapor-deposited component in a gas barrier container together with an oxygen absorbent and a dehumidifying agent whose main component is an unsaturated fatty acid compound and / or a chain hydrocarbon polymer having an unsaturated group. The inventors have found that this can be easily achieved and have reached the present invention.

【0007】すなわち、本発明の金属蒸着膜を施した部
品の保存方法は、金属蒸着膜を施した部品を酸素並びに
水分を実質的に取り去ったガスバリヤ性容器内に密封す
ることを特徴とする方法である。さらに本発明の方法
は、上記方法において該ガスバリヤ性容器内を酸素濃度
5%以下であり、かつ相対湿度10%以下に保つことを
特徴とするものである。さらには、本発明の方法は、上
記方法において、金属蒸着膜を施した部品を、不飽和脂
肪酸化合物および/または不飽和基を有する鎖状炭化水
素重合物を主剤とし酸素吸収を促進する物質を含む酸素
吸収剤と脱湿剤と共に、ガスバリヤ性容器内に密封する
ことを特徴とするものである。さらに本発明の方法は、
上記方法において該ガスバリヤ性容器内に、さらに酸性
ガス吸収剤を同封することを特徴とするものである。以
下に本発明を詳しく説明する。
That is, the method for preserving a component provided with a metal vapor deposition film of the present invention is characterized in that the component provided with a metal vapor deposition film is sealed in a gas barrier container from which oxygen and water have been substantially removed. Is. Further, the method of the present invention is characterized in that in the above method, the inside of the gas barrier container is kept at an oxygen concentration of 5% or less and a relative humidity of 10% or less. Furthermore, the method of the present invention is a method in which a metal vapor-deposited film-containing component is used as a main component of a chain hydrocarbon polymer having an unsaturated fatty acid compound and / or an unsaturated group to promote oxygen absorption. It is characterized in that it is sealed in a gas barrier container together with an oxygen absorbent and a dehumidifying agent. Further, the method of the present invention comprises
In the above method, an acidic gas absorbent is further enclosed in the gas barrier container. The present invention will be described in detail below.

【0008】本発明における金属蒸着膜を施した部品と
は、ガラス、セラミックス、各種金属、プラスチック、
紙、布等の表面に蒸着された金属蒸着膜を有するものを
言う。該金属蒸着膜は、Cu、Ag、Au、Ni、P
d、Pt、Co、Rh、Ru、Ti、Zr、Hf、V、
Cr、Mn、Al、Pb、Bi等の金属の薄膜が、蒸着
法、例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、レ
ーザー蒸着法等によって形成されたものである。
The parts provided with the metal vapor deposition film in the present invention include glass, ceramics, various metals, plastics,
It means one having a metal vapor deposition film deposited on the surface of paper, cloth and the like. The metal vapor deposition film is made of Cu, Ag, Au, Ni, P.
d, Pt, Co, Rh, Ru, Ti, Zr, Hf, V,
A thin film of a metal such as Cr, Mn, Al, Pb, or Bi is formed by a vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method, an ion plating method, or a laser vapor deposition method.

【0009】本発明の方法においては、金属蒸着膜を施
した部品は、実質的に酸素並びに水分を取り去ったガス
バリヤ性容器内に密封する必要がある。ここで実質的に
酸素を取り去った状態とは、酸素濃度5%以下、好まし
くは1%以下、さらに好ましくは0.1%以下をいう。
また、実質的に水分を取り去った状態とは、相対湿度1
0%以下、好ましくは5%以下、さらに好ましくは1%
以下をいう。本発明の方法では、酸素あるいは水分の何
れか一方のみを除去した雰囲気では不十分であり、実質
的に系内を無酸素かつ低湿度の状態を同時に作り出すこ
とが必須である。酸素濃度又は相対湿度の何れかが高い
場合には、金属蒸着膜の酸化が進み、蒸着面に曇が生じ
たりする。
In the method of the present invention, it is necessary that the metal vapor-deposited film-coated component is hermetically sealed in a gas barrier container from which oxygen and water have been substantially removed. Here, the state in which oxygen is substantially removed means an oxygen concentration of 5% or less, preferably 1% or less, and more preferably 0.1% or less.
In addition, the state in which water is substantially removed means that the relative humidity is 1
0% or less, preferably 5% or less, more preferably 1%
Says: In the method of the present invention, an atmosphere in which only one of oxygen and water is removed is insufficient, and it is essential to create a state of substantially oxygen-free and low humidity in the system at the same time. When either the oxygen concentration or the relative humidity is high, oxidation of the metal vapor deposition film progresses and clouding may occur on the vapor deposition surface.

【0010】本発明では、金属蒸着膜を施した部品を酸
素吸収剤と脱湿剤と共にガスバリヤ性容器内に密封する
ことにより上記の雰囲気を作りだすことができ、酸素吸
収剤は特に低湿度下でも酸素を吸収することができるも
のである必要がある。また酸性ガスが存在すると蒸着面
の変質がより促進されるため、さらに酸性ガス吸収剤と
の併用も有効である。ところで、従来、例えば鉄粉、亜
硫酸塩、カテコール、アスコルビン酸および/またはそ
の塩等を主剤とする酸素吸収剤がよく知られているが、
これらの酸素吸収剤は酸素を吸収するためには水分が必
要であり、乾燥系では水分を共存させたものが使用され
ている。しかしながら、このように酸素吸収に水分を必
要とする酸素吸収剤は本発明に用いることはできない。
In the present invention, the above atmosphere can be created by sealing the metal vapor-deposited film part together with the oxygen absorbent and the dehumidifying agent in the gas barrier container, and the oxygen absorbent can be used even under low humidity. It must be able to absorb oxygen. Further, since the deterioration of the vapor deposition surface is further promoted in the presence of the acidic gas, the combined use with the acidic gas absorbent is also effective. By the way, conventionally, for example, an oxygen absorbent containing iron powder, sulfite, catechol, ascorbic acid and / or a salt thereof as a main ingredient is well known.
These oxygen absorbents require moisture in order to absorb oxygen, and those in which moisture coexists are used in the dry system. However, such an oxygen absorbent that requires water for absorbing oxygen cannot be used in the present invention.

【0011】本発明に用いられる酸素吸収剤は、主剤で
ある不飽和脂肪酸化合物および/または不飽和基を有す
る鎖状炭化水素重合物、および酸素吸収を促進する物質
を含むものであり、通常はさらに担体物質を含む。
The oxygen absorbent used in the present invention contains an unsaturated fatty acid compound which is a main component and / or a chain hydrocarbon polymer having an unsaturated group, and a substance which promotes oxygen absorption, and is usually It further comprises a carrier material.

【0012】ここで用いられる不飽和脂肪酸化合物と
は、炭素数が10以上で炭素間に2重結合を持った不飽
和脂肪酸、または該不飽和脂肪酸の塩もしくはエステル
である。該不飽和脂肪酸およびその肪酸の塩もしくはエ
ステルには、置換基、例えば水酸基、ホルミル基等を有
していても良い。また、不飽和脂肪酸化合物は必ずしも
純物質である必要はない。
The unsaturated fatty acid compound used herein is an unsaturated fatty acid having 10 or more carbon atoms and a double bond between carbons, or a salt or ester of the unsaturated fatty acid. The unsaturated fatty acid and its fatty acid salt or ester may have a substituent such as a hydroxyl group and a formyl group. Further, the unsaturated fatty acid compound does not necessarily have to be a pure substance.

【0013】不飽和脂肪酸化合物の例として、オレイン
酸、リノール酸、リノレン酸、アラキドン酸、パリナリ
ン酸ダイマー酸、リチノレイン酸またはリシノール酸等
の不飽和脂肪酸、およびこれらのエステルを含有する油
脂、エステル類、金属塩が挙げられる。また、不飽和脂
肪酸として植物油、動物油から得られる脂肪酸、すなわ
ち、アマニ油脂肪酸、大豆油脂肪酸、桐油脂肪酸、糠油
脂肪酸、胡麻油脂肪酸、綿実油脂肪酸菜種油脂肪酸、ト
ール油脂肪酸等も用いられる
Examples of unsaturated fatty acid compounds include unsaturated fatty acids such as oleic acid, linoleic acid, linolenic acid, arachidonic acid, parinaric acid dimer acid, ritinoleic acid and ricinoleic acid, and fats and oils containing these esters. , And metal salts. Further, as the unsaturated fatty acid, vegetable oil, fatty acid obtained from animal oil, that is, linseed oil fatty acid, soybean oil fatty acid, tung oil fatty acid, bran oil fatty acid, sesame oil fatty acid, cottonseed oil fatty acid rapeseed oil fatty acid, tall oil fatty acid and the like are also used.

【0014】また、不飽和基を有する鎖状炭化水素重合
物とは、炭素数10以上で炭素原子間に2重結合を1つ
以上を有した重合物およびその誘導体である。該誘導体
は、置換基として、例えば水酸基、アミノ基、ホルミル
基、カルボキシル基等が存在しても良い。不飽和基を有
する鎖状炭化水素重合物を例示すれば、ブタジエン、イ
ソプレン、1,3ペンタジエンなどのオリゴマーや重合
体が挙げられる。不飽和基を有する鎖状炭化水素重合物
は、必ずしも純物質である必要はなく、その製造時に混
入してくる溶媒等の少量の不純物は、常識的な範囲で許
容される。
The chain hydrocarbon polymer having an unsaturated group is a polymer having 10 or more carbon atoms and one or more double bonds between carbon atoms and its derivatives. The derivative may have, for example, a hydroxyl group, an amino group, a formyl group or a carboxyl group as a substituent. Examples of chain hydrocarbon polymers having unsaturated groups include oligomers and polymers such as butadiene, isoprene and 1,3 pentadiene. The chain hydrocarbon polymer having an unsaturated group does not necessarily have to be a pure substance, and a small amount of impurities such as a solvent mixed in at the time of its production is allowed within a common sense range.

【0015】酸素吸収を促進する物質としては、有機化
合物の自動酸化を促進する金属塩やラジカル開始剤を例
示することができる。ここで金属は遷移金属であり、好
ましくはCu、Fe、Co、Ni、Cr、Mn等が挙げ
られる。遷移金属塩として、例えば不飽和脂肪酸遷移金
属塩が好適に用いることができる。
Examples of the substance that promotes oxygen absorption include metal salts and radical initiators that promote autoxidation of organic compounds. Here, the metal is a transition metal, and preferably Cu, Fe, Co, Ni, Cr, Mn and the like can be mentioned. As the transition metal salt, for example, unsaturated fatty acid transition metal salt can be preferably used.

【0016】本発明で用いられる脱湿剤としては、天然
パルプ、合成パルプからなる紙や合成紙、シリカゲル、
アルミナ、活性炭、ゼオライト、パーライト、活性白
土、生石灰、酸化バリウム、塩化カルシウム、臭化バリ
ウム、水素化カルシウム、硫酸カルシウム、塩化マグネ
シウム、酸化マグネシウム、硫酸マグネシウム、硫酸ア
ルミニウム、硫酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カ
リウム、塩化亜鉛等が例示される。
The dehumidifying agent used in the present invention includes paper made of natural pulp and synthetic pulp, synthetic paper, silica gel,
Alumina, activated carbon, zeolite, perlite, activated clay, quicklime, barium oxide, calcium chloride, barium bromide, calcium hydride, calcium sulfate, magnesium chloride, magnesium oxide, magnesium sulfate, aluminum sulfate, sodium sulfate, sodium carbonate, potassium carbonate , Zinc chloride and the like.

【0017】これらの脱湿剤は、脱湿剤として機能させ
るとともに、酸素吸収剤の一成分として酸素吸収促進物
質と共に主剤を含浸させたり混合したりして、担体物質
として用いることができる。液状物質は吸着性物質に担
持されることが望ましい。本発明では、脱湿剤を担体と
して用いることは実際的な使用法である。
These dehumidifying agents can function as dehumidifying agents and can be used as a carrier substance by impregnating or mixing the main ingredient with an oxygen absorption promoting substance as one component of the oxygen absorbing agent. It is desirable that the liquid substance is supported by the adsorptive substance. In the present invention, using a dehumidifying agent as a carrier is a practical use.

【0018】本発明では、脱湿剤にさらに酸性ガス吸収
剤を併用することが好ましい。酸性ガス吸収剤として
は、保存する雰囲気に含まれる酸性物質や主剤と酸素と
の反応により生成する酸性物質を吸収又は吸着できる物
質であればよく、この目的を達成するものであれば、酸
性ガス吸収剤は特に限定されることはない。酸性ガス吸
収剤としては好ましくは、アルカリ金属またはアルカリ
土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、有機酸塩、有機
アミン類が挙げられる。本発明では、上記脱湿剤に酸性
ガスの吸収能を持つものを選ぶことにより、脱湿剤を酸
性ガス吸収剤として機能させることができる。
In the present invention, it is preferable to further use an acid gas absorbent in combination with the dehumidifying agent. The acidic gas absorbent may be any substance capable of absorbing or adsorbing an acidic substance contained in the atmosphere to be stored or an acidic substance generated by the reaction of the main agent and oxygen, and if the object to achieve this purpose is acidic gas The absorbent is not particularly limited. Preferable examples of the acidic gas absorbent include oxides, hydroxides, carbonates, organic acid salts and organic amines of alkali metals or alkaline earth metals. In the present invention, the dehumidifying agent can function as an acidic gas absorbing agent by selecting a dehumidifying agent having an acid gas absorbing ability.

【0019】本発明に用いられる酸素吸収剤において
は、主剤100重量部に対して、通常、酸化促進物質
0.01〜10重量部の範囲が好ましい。さらに脱湿剤
は、酸素吸収剤の主剤100重量部に対して1〜100
0重量部の範囲が好ましく、また、酸性ガス吸収剤は1
〜1000重量部の範囲が好ましい。
In the oxygen absorbent used in the present invention, the range of 0.01 to 10 parts by weight is usually preferable for 100 parts by weight of the main agent. Further, the dehumidifying agent is 1 to 100 with respect to 100 parts by weight of the main component of the oxygen absorbent.
The range of 0 parts by weight is preferable, and the acid gas absorbent is 1
A range of up to 1000 parts by weight is preferred.

【0020】本発明においては、酸素吸収剤および脱湿
剤、さらには酸性ガス吸収剤の各成分は混合して用いる
ことができる。これらの混合物は組成物として、適宜、
粉体、顆粒、錠剤等にして用いられる。脱湿剤、さらに
は酸性ガス吸収剤を含む酸素吸収剤組成物は、被保存物
品に直接触れることは好ましくなく、通気性包装材料に
包装して包装体として用いられる。また、脱湿剤および
酸性ガス吸収剤は、その一部あるいは全部を、酸素吸収
剤包装体とは別の包装体として用いても差し支えない。
包装体の形態は必ずしも限定されず、例えば、小袋状、
シート状、あるいはブリスター包装体などが挙げられ
る。包装体の包装材料および構成は特に限定されない
が、例えば、紙又は不織布を基材とし孔をあけたプラス
チックフィルムをラミネートした小袋に上記組成物を充
填し、ヒートシールして包装体とすることができる。
In the present invention, the oxygen absorbent, the dehumidifying agent, and the acidic gas absorbent may be mixed and used. These mixtures as a composition, as appropriate,
It is used in the form of powder, granules, tablets and the like. The oxygen absorbent composition containing a dehumidifying agent and further an acidic gas absorbent is not preferable to directly touch the article to be stored, and is packaged in a breathable packaging material to be used as a package. Further, the dehumidifying agent and the acidic gas absorbent may be partly or wholly used as a package different from the oxygen absorbent package.
The form of the package is not necessarily limited, for example, a pouch shape,
Examples include a sheet form or a blister package. The packaging material and configuration of the package are not particularly limited, but for example, a pouch obtained by laminating a plastic film having paper or nonwoven fabric as a base material and having holes formed therein may be filled with the above composition and heat-sealed to form a package. it can.

【0021】本発明に用いられるガスバリヤ性容器は、
ガスバリヤ性として、25℃、60%RHにおける酸素
透気度が、10ml/m2・Day ・atm 以下であり、かつ、
40℃、90%RHにおける水蒸気透過度が1g /m2
Day 以下であることが好ましい。バリヤ性容器は、その
部品の保存に合せて選定され、ガスバリヤ性材料からな
るプラスチックス容器、フィルム袋であっても金属容器
であってもかまわないが、選定するバリヤ性能は、目的
とする保存期間で設定され、その目的に応じて過剰性能
とならないように選ぶことがコスト的にも有利である。
The gas barrier container used in the present invention is
As gas barrier property, oxygen permeability at 25 ° C., 60% RH is 10 ml / m 2 · Day · atm or less, and
Water vapor permeability at 40 ° C, 90% RH is 1g / m 2 ·
It is preferably Day or less. The barrier container is selected according to the storage of its parts, and it may be a plastic container made of gas barrier material, a film bag or a metal container. It is set in terms of time, and it is also advantageous in terms of cost to choose not to cause excessive performance depending on the purpose.

【0022】[0022]

【実施例】以下に本発明の実施例を示し、さらに具体的
に説明する。なお、本発明は、これらの実施例に限定さ
れるものではない。
EXAMPLES Examples of the present invention will be shown below and will be described more specifically. The present invention is not limited to these examples.

【0023】〔実施例1〕あらかじめ、次のごとく、通
気性包装材料に包装した酸素吸収剤を含むガス吸収剤包
装体を製造した。大豆油1gとナフテン酸コバルト0.
2gの混合物にゼオライト3.5gを加え、ブレンダー
で混合後25℃で10分間静置して、流動性のある粉粒
体が得られた。得られた粉粒体5gと生石灰2.5gと
を混合し、内面に開孔したポリエチレンフィルムをラミ
ネートした紙の小袋(サイズ、5cm×7.5cm)に
充填した後、この小袋をヒートシールした。次に、ガラ
ス板(10mm×10mm、厚み5mm)の表面に、Tiを厚
さ20オングストロームに蒸着したTi蒸着ガラスを得
た。直ちにTi蒸着ガラスと上記に調製したガス吸収剤
包装体とを、アルミ箔積層材(延伸ポリプロピレン/ア
ルミ箔/ポリエチレン)の包装袋(サイズ:220mm×
300mm、以下「Al袋」という。)に入れ、空気50
0ml(25℃、60%RH)と共にこの袋をヒートシ
ールして密封した。上記のごとくガス吸収剤包装体を同
封したTi蒸着ガラスの密封袋を40℃、95%RHの
雰囲気下に30日間保存した。この密封袋の中の酸素濃
度、水分濃度をガスクロで測定したところ、30日目ま
で系内は実質的に酸素並びに水分を取り去った雰囲気に
維持されていたことが確認された。また、袋からTi蒸
着ガラスを取り出し表面観察を行ったところ、Tiの蒸
着面は全く曇りがなく、その表面は蒸着直後のものと変
わりはなかった。結果を表1に示す。
Example 1 A gas absorbent package containing an oxygen absorbent packaged in a breathable packaging material was manufactured in advance as follows. Soybean oil 1 g and cobalt naphthenate 0.
3.5 g of zeolite was added to 2 g of the mixture, and the mixture was mixed with a blender and allowed to stand at 25 ° C. for 10 minutes to obtain a fluid granular material. 5 g of the obtained powder and granules were mixed with 2.5 g of quick lime, and the mixture was filled in a small paper bag (size: 5 cm × 7.5 cm) laminated with a polyethylene film having an inner surface, and this small bag was heat-sealed. . Next, Ti vapor-deposited glass was obtained by vapor-depositing Ti on the surface of a glass plate (10 mm × 10 mm, thickness 5 mm) to a thickness of 20 Å. Immediately, Ti vapor-deposited glass and the above-prepared gas absorbent package are packed in an aluminum foil laminated material (stretched polypropylene / aluminum foil / polyethylene) packaging bag (size: 220 mm ×).
300mm, hereinafter referred to as "Al bag". ), Air 50
The bag was heat-sealed and sealed with 0 ml (25 ° C., 60% RH). The sealed bag of Ti vapor-deposited glass enclosing the gas absorbent package as described above was stored in an atmosphere of 40 ° C. and 95% RH for 30 days. When the oxygen concentration and the water concentration in this sealed bag were measured by gas chromatography, it was confirmed that the inside of the system was maintained in an atmosphere substantially free of oxygen and water until the 30th day. Further, when the Ti vapor-deposited glass was taken out from the bag and the surface was observed, the Ti vapor deposition surface was not clouded at all, and the surface was the same as that immediately after vapor deposition. The results are shown in Table 1.

【0024】〔比較例1〕実施例1と同様、蒸着直後の
Ti蒸着ガラスをAl袋に密封して、40℃、95%R
Hの雰囲気下に保存した。30日後に開封して袋からT
i蒸着ガラスを取り出し表面観察を行ったところ、Ti
蒸着面にはぼんやりとした曇りが認められた。
Comparative Example 1 Similar to Example 1, Ti vapor-deposited glass immediately after vapor deposition was sealed in an Al bag, and the temperature was 40 ° C. and 95% R.
It was stored under an atmosphere of H 2. Open the bag after 30 days and remove from the bag
When the i-deposited glass was taken out and the surface was observed,
Vague cloudiness was observed on the vapor deposition surface.

【0025】〔比較例2〕実施例1と同様、蒸着直後の
Ti蒸着ガラスを、フジ・シリカゲルA形(富士デヴィ
ソン化学製、2g入り)4個と共にAl袋に封入して、
40℃、95%RHの雰囲気に保存した。30日後に開
封して袋からTi蒸着ガラスを取り出し表面観察を行っ
たところ、Ti蒸着面にはわずかな曇りが認められた。
Comparative Example 2 As in Example 1, Ti vapor-deposited glass immediately after vapor deposition was enclosed in an Al bag together with four Fuji Silica Gel type A (manufactured by Fuji Davison Chemical Co., 2 g).
It was stored in an atmosphere of 40 ° C. and 95% RH. After 30 days, it was opened and the Ti vapor-deposited glass was taken out from the bag and the surface was observed. As a result, slight fog was observed on the Ti vapor deposition surface.

【0026】〔比較例3〕実施例1と同様、蒸着直後の
Ti蒸着ガラスを自力反応型鉄粉系脱酸素剤(エージレ
スZ−100PK、三菱ガス化学製)1個と共にAl袋
に密封して、40℃、95%RHの雰囲気下に保存し
た。30日後に開封して袋からTi蒸着ガラスを取り出
し表面観察を行ったところ、Ti蒸着面にはわずかな曇
りが認められた。
[Comparative Example 3] Similar to Example 1, Ti vapor-deposited glass immediately after vapor deposition was sealed in an Al bag together with one self-reactive iron powder type oxygen scavenger (Ageless Z-100PK, manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.). It was stored under an atmosphere of 40 ° C. and 95% RH. After 30 days, it was opened and the Ti vapor-deposited glass was taken out from the bag and the surface was observed. As a result, slight fog was observed on the Ti vapor deposition surface.

【0027】実施例1および比較例1〜比較例3の結果
を表1に示す。
The results of Example 1 and Comparative Examples 1 to 3 are shown in Table 1.

【表1】[Table 1]

【0028】 [0028]

【発明の効果】本発明の方法によれば、実質的に酸素並
びに水分を取り去った雰囲気にあるガスバリヤ性容器内
に金属蒸着膜を施した部品を保存することにより、金属
蒸着膜の酸化を防止して良好に保持することができ、例
えば、金属蒸着面に曇りが生じたりすることがない。殊
に本発明によれば、金属蒸着膜を施した部品を、不飽和
脂肪酸化合物および/または不飽和基を有する鎖状炭化
水素重合物を主剤とし酸素吸収を促進する物質を含む酸
素吸収剤と脱湿剤と共にガスバリヤ性容器内に密封する
ことにより、極めて簡便な方法で金属蒸着膜を施した部
品を良好に保存することができる。
According to the method of the present invention, oxidation of the metal vapor deposition film is prevented by storing the metal vapor deposition film in a gas barrier container in an atmosphere substantially free of oxygen and water. Can be held satisfactorily and, for example, there will be no fog on the metal vapor deposition surface. Particularly, according to the present invention, a component provided with a metal vapor-deposited film is used as an oxygen absorbent containing an unsaturated fatty acid compound and / or a chain hydrocarbon polymer having an unsaturated group as a main component and a substance that promotes oxygen absorption. By sealing in a gas barrier container together with a dehumidifying agent, it is possible to satisfactorily store a component provided with a metal vapor deposition film by a very simple method.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 金属蒸着膜を施した部品を酸素並びに水
分を実質的に取り去ったガスバリヤ性容器内に密封する
ことを特徴とする金属蒸着膜を施した部品の保存方法。
1. A method for preserving a component provided with a metal vapor deposition film, which comprises sealing the component provided with a metal vapor deposition film in a gas barrier container from which oxygen and moisture have been substantially removed.
【請求項2】 請求項1記載の方法において、該ガスバ
リヤ性容器内の雰囲気が酸素濃度5%以下であり、かつ
相対湿度10%以下であることを特徴とする金属蒸着膜
を施した部品の保存方法。
2. The method according to claim 1, wherein the atmosphere in the gas barrier container has an oxygen concentration of 5% or less and a relative humidity of 10% or less. Preservation method.
【請求項3】 金属蒸着膜を施した部品を、不飽和脂肪
酸化合物および/または不飽和基を有する鎖状炭化水素
重合物を主剤とし酸素吸収を促進する物質を含む酸素吸
収剤と脱湿剤と共に、ガスバリヤ性容器内に密封するこ
とを特徴とする請求項1又は請求項2記載の金属蒸着膜
を施した部品の保存方法。
3. An oxygen absorbent and a dehumidifying agent, which comprises a metal vapor-deposited component as a main component of a chain hydrocarbon polymer having an unsaturated fatty acid compound and / or an unsaturated group, and a substance that promotes oxygen absorption. At the same time, the container is sealed in a gas barrier container, and the method for preserving a component provided with a metal vapor deposition film according to claim 1 or 2.
【請求項4】 金属蒸着膜を施した部品を、不飽和脂肪
酸化合物および/または不飽和基を有する鎖状炭化水素
重合物を主剤とし酸素吸収を促進する物質を含む酸素吸
収剤と、脱湿剤、酸性ガス吸収剤と共に、ガスバリヤ性
容器内に密封することを特徴とする請求項1又は請求項
2記載の金属蒸着膜を施した部品の保存方法。
4. An oxygen absorbent containing a substance having a metal vapor-deposited film, a main component of which is a chain hydrocarbon polymer having an unsaturated fatty acid compound and / or an unsaturated group, and a substance which promotes oxygen absorption, and dehumidification. The method for preserving a component provided with a metal vapor deposition film according to claim 1 or 2, which is sealed in a gas barrier container together with an agent and an acidic gas absorbent.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0847232A3 (en) * 1996-11-12 1999-12-29 Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. Method for drying resin-used electronic parts
JP2009500250A (en) * 2005-06-30 2009-01-08 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Abrasive article packaging and manufacturing method thereof

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